JP4996113B2 - 強誘電体キャパシタ及び強誘電体メモリ - Google Patents
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Description
基体の上方に形成されたバッファ層と、
前記バッファ層の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成された強誘電体層と、
前記強誘電体層の上方に形成された上部電極と、
を含み、
前記バッファ層は、金属元素としてチタン及びコバルトを含み、金属元素比がTi:Co=1−x:xとすると0.05≦x<1である。
前記バッファ層の金属元素比が0.05≦x≦0.33であってもよい。
前記バッファ層は、チタン及びコバルトを含む合金あるいは金属酸化物からなる層であってもよい。
前記基体の上方に形成された少なくとも1層からなる下地金属層をさらに含み、
前記バッファ層は、前記下地金属層の上方に形成されていてもよい。
前記下地金属層は、窒化チタンアルミニウム層を含んでもよい。
スイッチングトランジスタと、
前記スイッチングトランジスタに電気的に接続されたプラグ電極と、
前記プラグ電極の上方に形成された強誘電体キャパシタであって、該プラグ電極から順番に積層された、バッファ層、下部電極、強誘電体層、及び上部電極を含む強誘電体キャパシタと、
を含み、
前記バッファ層は、金属元素としてチタン及びコバルトを含み、金属元素比がTi:Co=1−x:xとすると0.05≦x<1である。
本実施例では、チタン及びコバルトを含む金属酸化物層の抵抗と、チタン及び他の金属を含む金属酸化物層の抵抗とを比較した。
本実施例では、チタン及びコバルトの金属元素比を考察した。ここで、図3は、TiO2:CoO成分比に基づく抵抗の変化を示す図であり、図4は、Co−Tiの2元系状態図である。
60,62…下地金属層 64…バッファ層 66…下部電極 68…強誘電体層
70…上部電極 100…強誘電体メモリ
Claims (4)
- 基体の上方に形成されたバッファ層と、
前記バッファ層の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成された強誘電体層と、
前記強誘電体層の上方に形成された上部電極と、
を含み、
前記バッファ層は、金属酸化物の層であり、前記金属酸化物はチタン及びコバルトを含み、前記チタンと前記コバルトの原子数の比はTi:Co=1−x:xとすると0.05≦x≦0.33である、強誘電体キャパシタ。 - 請求項1記載の強誘電体キャパシタにおいて、
前記基体の上方に形成された少なくとも1層からなる下地金属層をさらに含み、
前記バッファ層は、前記下地金属層の上方に形成されている、強誘電体キャパシタ。 - 請求項2記載の強誘電体キャパシタにおいて、
前記下地金属層は、窒化チタンアルミニウム層を含む、強誘電体キャパシタ。 - スイッチングトランジスタと、
前記スイッチングトランジスタに電気的に接続されたプラグ電極と、
前記プラグ電極の上方に形成された強誘電体キャパシタであって、該プラグ電極から順番に積層された、バッファ層、下部電極、強誘電体層、及び上部電極を含む強誘電体キャパシタと、
を含み、
前記バッファ層は、金属酸化物の層であり、前記金属酸化物はチタン及びコバルトを含み、前記チタンと前記コバルトの原子数の比はTi:Co=1−x:xとすると0.05≦x≦0.33である、強誘電体メモリ。
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