JPWO2020145080A1 - 酸化物半導体膜のエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1.第1の実施の形態(2種類の希ガスを順番に照射したエッチング方法の例)
1−1.酸化物半導体のエッチング方法
1−2.作用・効果
2.第2の実施の形態(2種類の希ガスを混合して照射したエッチング方法の例)
3.第3の実施の形態(エッチング工程の一具体例)
4.適用例
5.応用例
図1A〜図1Cは、本開示の第1の実施の形態に係る酸化物半導体膜(酸化物半導体膜12)のエッチング工程を表した断面模式図である。酸化物半導体膜12は、例えば、フラットパネルディスプレイおよびタッチパネル等の各種ディスプレイ、太陽電池および発光ダイオード(Light Emitting Diode;LED)等のデバイスを構成する電極として用いられるものである。この他、酸化物半導体膜12は、電磁シールドおよび反射防止膜等にも用いられる。本開示のエッチング方法は、例えば、電極を構成する酸化物半導体膜12のパターニング等に好適に用いられるものである。
本実施の形態の酸化物半導体膜12のエッチング方法は、希ガスG1(第1の希ガス)で変質させて酸化物半導体膜12に変質層12Xを形成したのち、希ガスG1とは異なる希ガスG2(第2の希ガス)を用いてスパッタを行い、酸化物半導体膜12を所望の形状に加工するものである。以下に、図1A〜図1Cを用いて酸化物半導体膜12のエッチング方法を説明する。
前述したように、水素プラズマを用いてITOやIGZO等の酸化物半導体膜をエッチングした場合、時間の経過と共に酸化物半導体膜の組成が変化し、これを用いたデバイスの特性を劣化させるという問題がある。
図5Aおよび図5Bは、本開示の第2の実施の形態に係る酸化物半導体膜(酸化物半導体膜12)のエッチング工程を表した断面模式図である。本実施の形態の酸化物半導体膜12のエッチング方法は、2種類の希ガスG1および希ガスG2を混合して用い、酸化物半導体膜12の変質層12Xの形成およびそのスパッタを1工程で行うものである。以下に、図5Aおよび図5Bを用いて酸化物半導体膜12のエッチング方法を説明する。
図6A〜図6Cは、本開示の第3の実施の形態に係る酸化物半導体膜(酸化物半導体膜12)のエッチング工程を表した断面模式図である。本開示の酸化物半導体膜12のエッチング方法は、上記のように、例えば、各種デバイスや電磁シールドおよび反射防止膜等において用いられるものであり、例えば、ディスプレイ関連では、TN(Twist Nematic)型およびSTN(Super Twist Nematic)型の液晶ディスプレイ、OLED(Organic Light Emitting Diode)、PDP(Plasma Display Panel)、FED(Field Emission Display)および電子ペーパーを構成する電極、薄膜トランジスタ(TFT)およびカラーフィルタの加工に好適に用いられる。以下に、図6A〜図6Cを用いて酸化物半導体膜12の具体的なエッチング方法の一例を説明する。
上記第1の実施の形態(または、第2の実施の形態)において説明したエッチング方法を用いて加工された酸化物半導体膜12は、例えば、以下に説明する電子デバイスに適用することができる。
図7は、上記第1の実施の形態(または、第2の実施の形態)において説明したエッチング方法を用いて加工された酸化物半導体膜12を用いた撮像素子(撮像素子1)の全体構成を表したものである。この撮像素子1は、CMOSイメージセンサであり、半導体基板30上に、撮像エリアとしての画素部1aを有すると共に、この画素部1aの周辺領域に、例えば、行走査部131、水平選択部133、列走査部134およびシステム制御部132からなる周辺回路部130を有している。上記第1の実施の形態等の酸化物半導体膜のエッチング方法は、例えば、有機光電変換部40を構成する一対の電極(下部電極41および上部電極45)および電荷蓄積層43の加工において好適に用いられる(いずれも、図8参照)。以下に、撮像素子1について説明する。
図10は、反射型表示装置2の概略構成を表したものである。反射型表示装置2は、電気泳動現象を利用してコントラストを生じさせる電気泳動型ディスプレイであり、駆動基板60と対向基板70との間に設けられる表示層には、電気泳動素子(電気泳動素子80)が用いられている。上記第1の実施の形態等の酸化物半導体膜のエッチング方法は、例えば、対向基板70を構成する対向電極72の加工において好適に用いられる。なお、図10は反射型表示装置2の構成を模式的に表したものであり、実際の寸法、形状とは異なる。
<内視鏡手術システムへの応用例>
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
本開示に係る技術は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット、建設機械、農業機械(トラクター)などのいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
(1)
第1の希ガスを用いて酸化物半導体膜に変質層を形成し、
前記第1の希ガスとは異なる第2の希ガスを用いて前記変質層をスパッタする
酸化物半導体膜のエッチング方法。
(2)
前記第1の希ガスとして前記第2の希ガスよりも分子量の小さい希ガスを用いる、前記(1)に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
(3)
前記第1の希ガスを前記酸化物半導体膜に照射したのち、前記第2の希ガスを照射する、前記(1)または(2)に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
(4)
前記第1の希ガスおよび前記第2の希ガスを混合して前記酸化物半導体膜に照射する、前記(1)または(2)に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
(5)
前記第1の希ガスおよび前記第2の希ガスを交互に前記酸化物半導体膜に照射する、前記(1)乃至(3)のうちのいずれかに記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
(6)
前記第1の希ガスとしてヘリウム(He)およびネオン(Ne)のうちの少なくとも一方を用いる、前記(1)乃至(5)のうちのいずれかに記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
(7)
前記第2の希ガスとしてネオン(Ne)、アルゴン(Ar)およびキセノン(Xe)のうちの少なくとも1種を用いる、前記(1)乃至(6)のうちのいずれかに記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
(8)
前記酸化物半導体膜は、酸化インジウム、インジウム−錫酸化物(ITO)、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)、インジウム−ガリウム酸化物(IGO)、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物(IGZO,In−GaZnO4)、インジウム−錫−亜鉛酸化物(ITZO)、IFO(FドープのIn2O3)、酸化錫(SnO2)、ATO(SbドープのSnO2)、FTO(FドープのSnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、アルミニウム−亜鉛酸化物(AZO)、ガリウム−亜鉛酸化物(GZO)、酸化チタン(TiO2)、ニオブ−チタン酸化物(TNO)、酸化アンチモン、スピネル型酸化物、YbFe2O4構造を有する酸化物、ガリウム酸化物、チタン酸化物、ニオブ酸化物およびニッケル酸化物のうちのいずれかを含む、前記(1)乃至(7)のうちのいずれかに記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
Claims (8)
- 第1の希ガスを用いて酸化物半導体膜に変質層を形成し、
前記第1の希ガスとは異なる第2の希ガスを用いて前記変質層をスパッタする
酸化物半導体膜のエッチング方法。 - 前記第1の希ガスとして前記第2の希ガスよりも分子量の小さい希ガスを用いる、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
- 前記第1の希ガスを前記酸化物半導体膜に照射したのち、前記第2の希ガスを照射する、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
- 前記第1の希ガスおよび前記第2の希ガスを混合して前記酸化物半導体膜に照射する、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
- 前記第1の希ガスおよび前記第2の希ガスを交互に前記酸化物半導体膜に照射する、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
- 前記第1の希ガスとしてヘリウム(He)およびネオン(Ne)のうちの少なくとも一方を用いる、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
- 前記第2の希ガスとしてネオン(Ne)、アルゴン(Ar)およびキセノン(Xe)のうちの少なくとも1種を用いる、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
- 前記酸化物半導体膜は、酸化インジウム、インジウム−錫酸化物(ITO)、インジウム−亜鉛酸化物(IZO)、インジウム−ガリウム酸化物(IGO)、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物(IGZO,In−GaZnO4)、インジウム−錫−亜鉛酸化物(ITZO)、IFO(FドープのIn2O3)、酸化錫(SnO2)、ATO(SbドープのSnO2)、FTO(FドープのSnO2)、酸化亜鉛(ZnO)、アルミニウム−亜鉛酸化物(AZO)、ガリウム−亜鉛酸化物(GZO)、酸化チタン(TiO2)、ニオブ−チタン酸化物(TNO)、酸化アンチモン、スピネル型酸化物、YbFe2O4構造を有する酸化物、ガリウム酸化物、チタン酸化物、ニオブ酸化物およびニッケル酸化物のうちのいずれかを含む、請求項1に記載の酸化物半導体膜のエッチング方法。
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