JPWO2020067128A1 - セラミック構造体及びウェハ用システム - Google Patents
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Abstract
Description
(ヒータシステム)
図1は、実施形態に係るヒータ1の構成を示す模式的な分解斜視図である。図2は、図1のヒータ1を含むヒータシステム101の構成を示す模式図である。図2において、ヒータ1については、図1のII−II線断面図が示されている。図1は、ヒータ1の構造を示すために便宜的にヒータ1を分解して示しており、実際の完成後のヒータ1は、図1の分解斜視図のように分解可能である必要はない。
ヒータ1は、例えば、概略板状(図示の例では円盤状)のヒータプレート9と、ヒータプレート9から下方へ延びているパイプ11とを有している。
ヒータプレート9の上面13a及び下面13bは、例えば、概ね平面である。ヒータプレート9の平面形状及び各種の寸法は、加熱対象物の形状及び寸法等を考慮して適宜に設定されてよい。例えば、平面形状は、円形(図示の例)又は多角形(例えば矩形)である。寸法の一例を示すと、直径は20cm以上35cm以下、厚さは4mm以上30mm以下である。
基体13の外形は、ヒータプレート9の外形を構成している。従って、上述のヒータプレート9の形状及び寸法に係る説明は、そのまま基体13の外形及び寸法の説明と捉えられてよい。基体13の材料は、例えば、セラミックである。セラミックは、例えば、窒化アルミニウム(AlN)、酸化アルミニウム(Al2O3、アルミナ)、炭化珪素(SiC)、及び窒化珪素(Si3N4)等を主成分とする焼結体である。なお、主成分は、例えば、その材料の50質量%以上又は80質量%以上を占める材料である(以下、同様。)。
抵抗発熱体15は、基体13の上面13a及び下面13bに沿って(例えば平行に)延びている。また、抵抗発熱体15は、平面視において、例えば、基体13の概ね全面に亘って延びている。図1では、抵抗発熱体15は、第1絶縁層19A及び第2絶縁層19Bとの間に位置している。
端子部17は、例えば、抵抗発熱体15の長さ方向両端に接続されているとともに、当該両端の位置にて、基体13のうちの下面13b側の一部(第2絶縁層19B)を貫通して下面13bから露出している。これにより、ヒータプレート9の外部から抵抗発熱体15へ電力を供給可能になっている。1対の端子部17(抵抗発熱体15の両端)は、例えば、ヒータプレート9の中央側に位置している。なお、1つの抵抗発熱体15に電力を供給する3以上の端子部17が設けられてもよいし、2以上(例えば2層以上)の抵抗発熱体15に電力を供給する2組以上の端子部17が設けられてもよい。
パイプ11は、上下(軸方向両側)が開口している中空状である。別の観点では、パイプ11は、上下に貫通する空間11sを有している。パイプ11の横断面(軸方向に直交する断面)及び縦断面(軸方向に平行な断面。図2に示す断面)の形状は適宜に設定されてよい。図示の例では、パイプ11は、軸方向の位置に対して径が一定の円筒形状である。もちろん、パイプ11は、高さ方向の位置によって径が異なっていてもよい。また、パイプ11の寸法の具体的な値は適宜に設定されてよい。特に図示しないが、パイプ11には、気体又は液体が流れる流路が形成されていてもよい。
配線部材7は、パイプ11の空間11s内に挿通されている。平面透視において、ヒータプレート9のうち空間11s内に露出する領域では、複数の端子部17が基体13から露出している。そして、配線部材7は、その一端が複数の端子部17に接続されている。
図3は、図2の領域IIIの拡大図である。
基体13の下面13bは、端子部17を囲む隣接領域13baと、当該隣接領域13baを囲む主領域13bbとを有している。隣接領域13baは、傾斜面13baaを有しており、これにより、端子部17の周囲には凸部13eが構成されている。
ヒータ1の製造方法においては、例えば、ヒータプレート9、パイプ11及び配線部材7等が互いに別個に作製される。その後、これらの部材が互いに固定される。ただし、ヒータプレート9及びパイプ11は一部又は全部が共に作製されてもよい。パイプ11及び配線部材7の製造方法は、例えば、公知の種々の方法と同様とされてよい。
図4は、第2実施形態に係るヒータ201の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する。
図5は、第3実施形態に係るヒータ301の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する。
図6は、第4実施形態に係るヒータ401の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する(ただし、配線部材7の図示は省略。)。
図7は、第5実施形態に係るヒータ501の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する(ただし、配線部材7の図示は省略。)。
図8は、第6実施形態に係るヒータ601の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する(ただし、配線部材7の図示は省略。)。
図9は、第7実施形態に係るヒータ701の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する(ただし、配線部材7の図示は省略。)。
図10(a)は、第8実施形態に係るヒータ801の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する(ただし、配線部材7の図示は省略。)。
図12は、第9実施形態に係るヒータ901の要部の構成を示す図であり、第1実施形態の図3に相当する。
図13は、第10実施形態に係るヒータ1001の要部の構成を示す図である。より詳細には、図13は、ヒータ1001の端子部1017の斜視図である。
図14は、変形例に係る端子導体21−1を示す断面図であり、図3の上方の一部に相当する。なお、ここでは、端子部の全体構成及び基体13の下面13bの構成として、第1実施形態(図3)のものを示している。ただし、端子導体21−1は、他の実施形態(例えば第2〜第6及び第9実施形態)に適用されても構わない。
第1実施形態(図3)及び第4実施形態(図6)の説明で述べたように、ヒータプレート9の基体13の材料及び端子部(例えば417)の絶縁部27の材料は、いずれもセラミックとされてよく、また、両者の材料(又はその主成分)は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。ここでは、基体13の材料及び絶縁部27の材料が、成分全体又は主成分が同一のセラミックである場合の一例について述べる。
Claims (19)
- セラミックからなり、ウェハが重ねられる上面及びその反対側の下面を有している板状の基体と、
前記基体内に位置する内部導体と、
前記内部導体に電気的に接続されており、少なくとも一部が前記基体内に位置しており、前記基体の下面から前記基体の外部へ露出している端子部と、
を有しており、
前記基体の下面は、前記端子部を囲んでいる隣接領域を有しており、
前記隣接領域は、前記端子部に達する部分に傾斜面を有している
セラミック構造体。 - 前記傾斜面は、前記端子部側ほど下方に位置して凸部を構成している
請求項1に記載のセラミック構造体。 - 前記基体の下面は、凹部を有しており、
前記凸部は、前記凹部内で突出している
請求項2に記載のセラミック構造体。 - 前記基体の下面は、前記隣接領域を囲んでいる周囲領域を更に有しており、
前記基体は、前記下面に開口しており、前記端子部が挿入されている穴を有しており、
前記傾斜面は、前記端子部側ほど上方に位置して、前記周囲領域と前記穴の内面との角部を面取りする面取り面を構成している
請求項1に記載のセラミック構造体。 - 前記基体は、前記周囲領域を囲んでいる外側領域を更に有しており、
前記周囲領域は、前記外側領域よりも上方に位置して凹部を構成している
請求項4に記載のセラミック構造体。 - 前記端子部は、少なくとも一部が前記基体内に位置しており、前記基体の下面から前記基体の外部へ露出している端子導体を有しており、
前記隣接領域は、前記端子導体に隣接しているとともに前記端子導体を囲んでいる
請求項1〜5のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記端子導体は、
前記基体内から前記基体の外部へ延び出ている本体部と、
前記基体内に位置しており、前記本体部よりも径が小さく、外周面が前記内部導体に接続されている縮径部と、を有している
請求項6に記載のセラミック構造体。 - 前記端子導体が挿通され、かつ前記隣接領域を下方から覆っている絶縁性の蓋体と、
前記隣接領域と前記蓋体との間に介在して両者に密着している絶縁性の封止材と、
を更に有している請求項6又は7に記載のセラミック構造体。 - 前記端子部は、
少なくとも一部が前記基体内に位置しており、前記基体の下面から前記基体の外部へ露出している絶縁部と、
少なくとも一部が前記基体内に位置しており、前記絶縁部を貫通することによって前記絶縁部の下面から前記基体の外部へ露出している端子導体と、を有しており、
前記隣接領域は、前記絶縁部に隣接しているとともに前記絶縁部を囲んでいる
請求項1〜5のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記絶縁部は、セラミックからなり、
前記基体と前記絶縁部とはセラミック粒子同士の密着によって固定されている
請求項9に記載のセラミック構造体。 - 前記端子部は、
前記基体の下面から前記基体の外部へ露出している絶縁部と、
少なくとも一部が前記基体内に位置しており、前記絶縁部を貫通することによって前記絶縁部の下面から前記基体の外部へ露出している端子導体と、を有しており、
前記隣接領域は、前記絶縁部に隣接しているとともに前記絶縁部を囲んでおり、
前記絶縁部は、前記隣接領域よりも下方へ延び出ている
請求項1〜5のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記端子導体は、当該端子導体の外周面が全周に亘って前記絶縁部に覆われた状態で前記絶縁部を貫通している
請求項9〜11のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記端子導体は、当該端子導体の外周面の一部を前記絶縁部の外周面から露出させた状態で前記絶縁部を貫通している
請求項9〜11のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記基体及び前記絶縁部は、主成分が同一のセラミックからなり、前記絶縁部の平均結晶粒径が前記基体の平均結晶粒径よりも大きい
請求項9〜13のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記端子部は、前記基体内に位置しており、前記内部導体に接続されている接続導体を更に有しており、
前記端子導体は、前記基体の平面視において前記接続導体よりも径が小さく、前記接続導体を介して前記内部導体に電気的に接続されており、少なくとも一部が前記接続導体よりも下方に位置している
請求項9〜14のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記端子部は、
少なくとも一部が前記基体内に位置しており、前記内部導体に接続されている接続導体と、
前記基体の平面視において前記接続導体よりも径が小さく、前記接続導体を介して前記内部導体に電気的に接続されており、少なくとも一部が前記接続導体よりも下方に位置している端子導体と、を更に有しており、
前記隣接領域は、前記接続導体に隣接しているとともに前記接続導体を囲んでいる
請求項1〜5のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記基体は、当該基体の下面に開口しており、前記端子部が挿入されている穴を有しており、
前記接続導体は、前記穴の内面に囲まれる外周面に凹状の退避部を有している
請求項15又は16のいずれか1項に記載のセラミック構造体。 - 前記退避部が前記基板の平面視において前記接続導体を周回するように延びている、又は複数の前記退避部が前記基板の平面視において前記接続導体を周回するように配列されている
請求項17に記載のセラミック構造体。 - 請求項1〜18のいずれか1項に記載のセラミック構造体と、
前記端子部に電力を供給する電力供給部と、
前記電力供給部を制御する制御部と、
を有しているウェハ用システム。
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