JP2018101711A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.静電チャック10の構成:
図1は、第1実施形態における静電チャック10の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、第1実施形態における静電チャック10のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3および図4は、第1実施形態における静電チャック10のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図2には、図3および図4のII−IIの位置における静電チャック10のXZ断面構成が示されており、図3には、図2のIII−IIIの位置における静電チャック10のXY断面構成が示されており、図4には、図2のIV−IVの位置における静電チャック10のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック10は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
図8は、第1実施形態における静電チャック10の製造方法を示すフローチャートである。はじめに、セラミックス板100とベース部材200とを準備する(S110)。セラミックス板100およびベース部材200は、公知の製造方法によって製造可能である。例えば、セラミックス板100は以下の方法で製造される。すなわち、複数のセラミックスグリーンシート(例えばアルミナグリーンシート)を準備し、各セラミックスグリーンシートに、チャック電極400やヒータ電極500、ビア41、電極パッド42等を構成するためのメタライズインクの印刷や孔開け加工等を行い、その後、複数のセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、所定の円板形状にカットした上で焼成し、最後に研磨加工等を行うことにより、セラミックス板100が製造される。なお、セラミックス板100の下面S2における円形凹部12や環状凹部14は、焼成前のセラミックスグリーンシートへの孔開け加工によって形成されてもよいし、焼成後の研磨加工によって形成されてもよい。
以上説明したように、第1実施形態の静電チャック10は、Z軸方向に略直交する平面状の吸着面S1と、吸着面S1とは反対側の下面S2と、を有する板状のセラミックス板100と、上面S3を有し、上面S3がセラミックス板100の下面S2に対向するように配置され、冷媒流路210と上面S3に開口する端子用貫通孔22とが内部に形成された金属製のベース部材200と、セラミックス板100とベース部材200との間に配置された接着層300と、セラミックス板100の内部に配置されたチャック電極400と、セラミックス板100の下面S2における第1の領域R1であって、Z軸方向視で端子用貫通孔22に重なる第1の領域R1に配置され、チャック電極400に導通する電極パッド42と、端子用貫通孔22内に配置され、電極パッド42と接合された柱状の電極端子44と、端子用貫通孔22内に配置され、電極端子44と端子用貫通孔22の表面との間に介在するように電極端子44を連続的に取り囲む絶縁部材60と、絶縁部材60の周りに配置された接着材70とを備える。また、本実施形態の静電チャック10では、セラミックス板100の下面S2における第1の領域R1に、Z軸方向において電極パッド42が配置された位置よりチャック電極400側に凹んだ環状凹部14が、Z軸方向視で電極パッド42を取り囲むように連続的に形成されている。
図10および図11は、第2実施形態の静電チャック10aの構成を概略的に示す説明図である。図10には、第2実施形態の静電チャック10aの構成の内、図5に示す部分(X1部)と同等の部分の構成が拡大して示されている。また、図11には、図10のXI−XIの位置における静電チャック10aの一部分のXY断面構成が拡大して示されている。以下では、第2実施形態の静電チャック10aの構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック10の構成(図5および図7等参照)と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図12および図13は、第3実施形態の静電チャック10bの構成を概略的に示す説明図である。図12には、第3実施形態の静電チャック10bの構成の内、図5に示す部分(X1部)と同等の部分の構成が拡大して示されている。また、図13には、図12のXIII−XIIIの位置における静電チャック10bの一部分のXY断面構成が拡大して示されている。以下では、第3実施形態の静電チャック10bの構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック10の構成(図5および図7等参照)と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (7)
- 第1の方向に略直交する平面状の第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状のセラミックス板と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記セラミックス板の前記第2の表面に対向するように配置され、冷媒流路と前記第3の表面に開口する端子用貫通孔とが内部に形成された金属製のベース部材と、
前記セラミックス板と前記ベース部材との間に配置された第1の接着材と、
前記セラミックス板の内部に配置された内部電極と、
前記セラミックス板の前記第2の表面における第1の領域であって、前記第1の方向視で前記端子用貫通孔に重なる前記第1の領域に配置され、前記内部電極に導通する電極パッドと、
前記端子用貫通孔内に配置され、前記電極パッドと接合された柱状の電極端子と、
前記端子用貫通孔内に配置され、前記電極端子と前記端子用貫通孔の表面との間に介在するように前記電極端子を連続的に取り囲む絶縁部材と、
前記絶縁部材の周りに配置された第2の接着材と、
を備え、前記セラミックス板の前記第1の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記セラミックス板の前記第2の表面における前記第1の領域には、前記第1の方向において前記電極パッドが配置された位置より前記内部電極側に凹んだ凹部と、前記第1の方向において前記電極パッドが配置された位置より前記内部電極から離れる側に突出した凸部と、の少なくとも一方が、前記第1の方向視で前記電極パッドを取り囲むように連続的に形成されていることを特徴とする、静電チャック。 - 請求項1に記載の静電チャックであって、
前記絶縁部材には、前記凹部に嵌合する絶縁部材側凸部と、前記凸部に嵌合する絶縁部材側凹部と、の少なくとも一方が形成されていることを特徴とする、静電チャック。 - 請求項1または請求項2に記載の静電チャックであって、
前記セラミックス板の前記第2の表面における前記第1の領域には、前記凹部と前記凸部との少なくとも一方が、2つ以上形成されていることを特徴とする、静電チャック。 - 請求項2に記載の静電チャックであって、
前記セラミックス板の熱伝導率は、前記絶縁部材の熱伝導率以上であり、
前記セラミックス板の前記第2の表面における前記第1の領域には、前記凹部が、前記絶縁部材の肉厚を2等分する仮想面より内側の位置に形成されており、
前記絶縁部材には、前記凹部に嵌合する前記絶縁部材側凸部が形成されていることを特徴とする、静電チャック。 - 請求項2に記載の静電チャックであって、
前記セラミックス板の熱伝導率は、前記絶縁部材の熱伝導率以上であり、
前記セラミックス板の前記第2の表面における前記第1の領域には、前記凸部が、前記絶縁部材の肉厚を2等分する仮想面より外側の位置に形成されており、
前記絶縁部材には、前記凸部に嵌合する前記絶縁部材側凹部が形成されていることを特徴とする、静電チャック。 - 請求項2に記載の静電チャックであって、
前記セラミックス板の熱伝導率は、前記絶縁部材の熱伝導率より低く、
前記セラミックス板の前記第2の表面における前記第1の領域には、前記凹部が、前記絶縁部材の肉厚を2等分する仮想面より外側の位置に形成されており、
前記絶縁部材には、前記凹部に嵌合する前記絶縁部材側凸部が形成されていることを特徴とする、静電チャック。 - 請求項2に記載の静電チャックであって、
前記セラミックス板の熱伝導率は、前記絶縁部材の熱伝導率より低く、
前記セラミックス板の前記第2の表面における前記第1の領域には、前記凸部が、前記絶縁部材の肉厚を2等分する仮想面より内側の位置に形成されており、
前記絶縁部材には、前記凸部に嵌合する前記絶縁部材側凹部が形成されていることを特徴とする、静電チャック。
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