JP2015225952A - 静電チャック及び半導体・液晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図3〜図15は第1実施形態の静電チャックの製造方法を示す図、図16及び図17は第1実施形態の静電チャックを示す図である。第1実施形態では、静電チャックの製造方法を説明しながら、静電チャックの構造について説明する。
図18〜図23は第2実施形態の静電チャックの製造方法を示す図、図24及び図25は第2実施形態の静電チャックを示す図である。
Claims (6)
- 貫通孔を備えたベースプレートと、
前記貫通孔の上端から突出する突出部を備え、前記貫通孔に挿入された筒状絶縁部品と、
前記ベースプレートの上に配置された載置台と、
前記載置台の下面に形成され、前記筒状絶縁部品の突出部がはめ込まれたへこみ部と、
前記載置台のへこみ部に形成された凹部と、
前記載置台の凹部に形成された電極と、
前記筒状絶縁部品の内部に配置され、前記電極に接続された給電端子と
を有することを特徴とする静電チャック。 - 前記給電端子の基端が導電部品に接続され、前記給電端子の先端がはんだ層又はろう材によって前記載置台の電極に接合されていることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記給電端子の基端がコネクタの弾性体に接続され、前記給電端子の先端が前記弾性体の弾性力によって前記載置台の電極に当接していることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電チャック。
- 前記載置台の凹部は、前記ベースプレートの貫通孔の中心からずれて配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の静電チャック。
- 前記載置台は、セラミックスから形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の静電チャック。
- チャンバと、
前記チャンバに取り付けられた静電チャックとを備え、
前記静電チャックは、
貫通孔を備えたベースプレートと、
前記貫通孔の上端から突出する突出部を備え、前記貫通孔に挿入された筒状絶縁部品と、
前記ベースプレートの上に配置された載置台と、
前記載置台の下面に形成され、前記筒状絶縁部品の突出部がはめ込まれたへこみ部と、
前記載置台のへこみ部に形成された凹部と、
前記載置台の凹部に形成された電極と、
前記筒状絶縁部品の内部に配置され、前記電極に接続された給電端子と
を有することを特徴とする半導体・液晶製造装置。
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