KR102659040B1 - 기체 구조체 및 웨이퍼 적재 장치 - Google Patents

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Abstract

기체 구조체는, 기체와, 제 1 도체층과, 비아 도체를 구비하고 있다. 기체는 제 1 면을 갖고 있다. 제 1 도체층은 기체 내에 있어서 제 1 면을 따라서 위치하고 있다. 비아 도체는 비아 도체를 포함하는, 제 1 면에 수직인 제 1 방향의 단면에 있어서 제 1 부위 및 제 2 부위를 갖고 있다. 제 1 부위는 제 1 방향에 있어서의 길이가 제 1 도체층의 두께보다도 크다. 제 2 부위는 제 1 방향에 있어서의 길이가 제 1 도체층의 두께보다 크고, 제 1 부위에 연결되어 있으며, 또한 제 1 방향으로 보아서 외측 가장자리의 적어도 일부가 제 1 부위의 외측 가장자리와 어긋나 있다.

Description

기체 구조체 및 웨이퍼 적재 장치
본 개시는 비아 도체를 포함하고 있는 기체 구조체, 및 상기 기체 구조체를 갖는 웨이퍼 적재 장치에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체를 제조하는 반도체 제조 장치에 있어서, 웨이퍼 등의 대상물을 적재하는 기체 구조체가 알려져 있다. 기체 구조체로서는, 예를 들면 히터를 들 수 있다(하기 특허문헌 1 참조).
일본 특허공개 2017-135250호 공보
본 개시의 일양태에 따른 기체 구조체는, 기체와, 제 1 도체층과, 비아 도체를 구비하고 있다. 상기 기체는 제 1 면 및 제 1 면의 반대에 위치하는 제 2 면을 갖고 있다. 상기 제 1 도체층은 상기 기체 내에 있어서 상기 제 1 면을 따라 위치하고 있다. 상기 비아 도체는 상기 기체 내에 있어서 상기 제 1 도체층에 교차해서 연결되어 있다. 상기 비아 도체는 상기 비아 도체를 포함하는, 상기 제 1 면에 수직인 제 1 방향의 단면에 있어서, 제 1 부위와 제 2 부위를 갖고 있다. 상기 제 1 부위는 상기 제 1 방향에 있어서의 길이가 상기 제 1 도체층의 두께보다 크다. 상기 제 2 부위는 상기 제 1 방향에 있어서의 길이가 상기 제 1 도체층의 두께보다 크고, 상기 제 1 부위에 연결되어 있으며, 또한 상기 제 1 방향으로 보아서 외측 가장자리의 적어도 일부가 상기 제 1 부위의 외측 가장자리와 어긋나 있다.
본 개시의 일양태에 따른 웨이퍼 적재 장치는, 상기 기체 구조체와, 상기 제 1 도체층에 급전 가능한 전력 공급부와, 상기 전력 공급부의 급전을 제어하는 제어부를 갖고 있다.
도 1은 제 1 실시형태에 의한 웨이퍼 적재 장치의 모식적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내어진 웨이퍼 적재 장치의 II-II선 단면도이다.
도 3은 도 2에 나타내어진 기체 구조체의 III 확대도이다.
도 4는 도 3에 나타내어진 비아 도체의 iv-iv선 단면도이다.
도 5의 (a), (b), (c) 및 (d)는 도 3에 나타내어진 도체층 및 비아 도체의 제조 방법을 나타내는 단면도이다.
도 6의 (a), (b) 및 (c)는 제 2 실시형태에 있어서의 기체 구조체의 비아 도체 주변의 단면도이다.
도 7은 제 3 실시형태에 있어서의 기체 구조체의 비아 도체 주변의 단면도이다.
도 8은 제 4 실시형태에 있어서의 기체 구조체의 비아 도체 주변의 단면도이다.
도 9는 도 8의 IX 확대도이다.
본 개시의 실시형태를 첨부된 도면을 이용하여 이하 설명한다. 또한, 설명 중, 상하란 기체 구조체에 웨이퍼가 적재되는 상태를 기준으로 해서 상하를 말한다. 또한, 도면 중, Up은 위, Dn은 아래를 나타내고 있다. 또한, 참조하는 각 도면은 모식적으로 나타낸 것이며, 세부가 생략되어 있는 것도 있다.
또한, 본 개시를 설명함에 있어서, 상단 및 하단 등의 방향을 나타내는 표현이 여기 저기에 사용된다. 이들 표현은 도면과의 관계에서 편의적으로 사용된 것이다. 이 때문에, 상단이 상방측의 단부에 한정되는 것이 아니고, 하단이 하방측의 단부에 한정되는 것은 아니다. 이하, 상단을 일단(한쪽의 단부)으로 바꾸어서 읽을 수 있고, 하단을 타단(다른쪽의 단부)으로 바꾸어서 읽을 수 있다. 또한, 상면 및 하면 등의 상하 방향을 나타내는 표현에 대해서도 마찬가지이다.
[제 1 실시형태]
도 1을 참조한다. 웨이퍼 적재 장치(10)는, 대상물(예를 들면, 웨이퍼)이 적재되는 기체 구조체(20)와, 이 기체 구조체(20)에 전력을 공급하는 전력 공급부(11)와, 이 전력 공급부(11)에 있어서의 전력의 공급을 제어하는 제어부(13)를 갖고 있다.
(기체 구조체)
도 2를 참조한다. 기체 구조체(20)는 통 형상의 샤프트 부재(30)와, 이 샤프트 부재(30)의 상단에 고정됨과 아울러 웨이퍼가 적재되는 면(41)을 갖는 기체(40)와, 이 기체(40) 내에 위치하는 도체층(21)과, 이 도체층(21)에 접속된 비아 도체(50)와, 일부가 기체(40) 내에 위치하고 도체층(21)과 접속된 단자(60)와, 이 단자(60)에 접속된 접속부(22)를 갖고 있다.
기체 구조체(20)를 구성하는 도체층(21)은, 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)을 포함하고 있다. 제 1 도체층(21a)은 제 2 도체층(21b)과의 관계에 있어서, 웨이퍼가 적재되는 면(41)(후술하는 제 1 면(41))측에 상대적으로 위치하고 있다. 제 2 도체층(21b)은 제 1 도체층(21a)과의 관계에 있어서, 웨이퍼가 적재되는 면(41)과는 반대의 면(42)(후술하는 제 2 면(42))측에 상대적으로 위치하고 있다. 하나의 양태로서, 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)은, 웨이퍼가 적재되는 면(41)을 따라 연장됨과 아울러 기체(40) 내의 전역에 형성되어 있다. 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)을 기준으로 해서 본 개시의 설명되는 개소가 있기 때문에, 본 단락에서는 이들 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)에 대한 간단한 설명을 했다. 이하, 기체 구조체(20)의 구성요소를 차례 차례로 설명한다.
(샤프트 부재)
샤프트 부재(30)는 통 형상을 나타내고, 상단이 기체(40)의 하면에 접합되어 있다. 하나의 양태로서, 샤프트 부재(30)는 접착재에 의해 기체(40)에 접합(접착)되어 있다. 그 밖의 양태로서, 샤프트 부재(30)는 고상 접합에 의해서 기체(40)에 접합되어 있다. 샤프트 부재(30)의 형상은 임의이다. 하나의 양태로서, 샤프트 부재(30)의 형상은 원통 형상을 나타내고 있다. 그 밖의 형태로서, 샤프트 부재(30)의 형상은, 예를 들면 각통 등의 형상을 나타내고 있다. 샤프트 부재(30)의 재료는 임의이다. 하나의 양태로서, 샤프트 부재(30)의 재료는 절연성의 세라믹스이다. 그 밖의 양태로서, 샤프트 부재(30)의 재료는, 예를 들면 도전성의 재료(금속)이다.
통 형상의 샤프트 부재(30)는 기체(40)의 하면에 접합되어 있는 상면부(31)와, 이 상면부(31)와는 반대에 위치하는 하면부(32)와, 이들 상면부(31) 및 하면부(32)를 연결함과 아울러 샤프트 부재(30)의 내측을 구성하고 있는 내면부(33)와, 상면부(31) 및 하면부(32)를 연결함과 아울러 샤프트 부재(30)의 외측을 구성하고 있는 외면부(34)를 갖고 있다.
도시의 예에서는, 내면부(33)는 샤프트 부재(30)가 영장되는 방향을 따라서, 외면부(34)에 대하여 평행하게 형성되어 있다. 다른 관점에서는, 기체(40)의 두께 방향으로 평행한 직선에 대하여 평행하게 형성되어 있다. 단, 내면부(33)는 샤프트 부재(30)의 내경이 하방을 향해서 작아지도록 경사져 있어도 좋고, 샤프트 부재(30)의 내경이 하방을 향해서 커지도록 경사져 있어도 좋다. 또한, 외면부(34)에 대해서도 같은 구성으로 할 수 있다. 이것에 의해, 샤프트 부재(30)를, 상단으로부터 하단에 걸쳐서 내경 및/또는 외경이 다르도록 할 수 있다.
(기체)
기체(40)는 세라믹스 등의 절연성의 재료로 이루어진다. 기체(40)를 구성하는 세라믹스는, 예를 들면 질화알루미늄(AlN), 산화알루미늄(Al2O3, 알루미나), 탄화규소(SiC), 및 질화규소(Si3N4) 등을 주성분으로 하고 있다. 여기에서 말하는 주성분이란, 예를 들면 그 재료의 50질량% 이상 또는 80질량% 이상을 차지하는 재료이다.
도시의 예에서는, 기체(40)는 상하로 두께가 있는 평판 형상의 기판이다. 기체(40)의 형상은 임의이다. 기체(40)의 형상은, 평면으로 볼 때에 있어서, 원형상, 타원형상, 직사각형상, 사다리꼴 형상 등을 나타내고 있다. 기체(40)의 크기는 임의이다. 기체(40)의 치수는, 예를 들면 직경이 20㎝ 이상 40㎝ 이하, 두께가 5㎜ 이상 35㎜ 이하이다. 기체(40)는 평판 형상에 한정되지 않고, 예를 들면 막대 형상을 나타내고 있어도 좋다.
도 2 및 도 3을 참조한다. 기체(40)는 대상물이 적재되는 제 1 면(41)과, 이 제 1 면(41)의 반대에 위치하는 제 2 면(42)과, 기체(40) 내에 형성되어 도체층(21)을 수용하고 있는 수용부(43)와, 이 수용부(43)에 연결되어 있는 비아 홀(44)을 갖고 있다. 제 1 면(41)은 기체(40)의 상면을 구성하고, 제 2 면(42)은 기체(40)의 하면을 구성하고 있다. 제 1 면(41)과 제 2 면(42)은 서로 평행하다.
수용부(43)는 제 1 면(41)측에 위치하는 제 1 수용부(43a)와, 이 제 1 수용부(43a)에 대향함과 아울러 제 2 면(42)측에 위치하는 제 2 수용부(43b)를 갖고 있다.
제 1 수용부(43a) 내에는 제 1 도체층(21a)이 위치하고 있다. 제 2 수용부(43b) 내에는 제 2 도체층(21b)이 위치하고 있다. 제 1 수용부(43a) 및 제 2 수용부(43b)는 각각 제 1 면(41)을 따라서 기체(40) 내에 위치하고 있다. 제 1 수용부(43a) 및 제 2 수용부(43b)는, 각각 기체(40)의 전역에 걸쳐서 연장되어 있다. 여기에서, 제 1 면(41)에 수직인 방향을 제 1 방향(Li)으로 정의한 경우(이하, 제 1 방향(Li)이라는 표현을 여기저기에서 사용한다.), 이 제 1 방향(Li)에 있어서의 제 1 수용부(43a) 및 제 2 수용부(43b)의 길이(이하, 본 단락에서는 「높이」라고 표현한다)는 임의이다. 상기에 말하는 제 1 수용부(43a) 및 제 2 수용부(43b)의 높이는, 예를 들면 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께에 의해 결정된다. 이 때문에, 제 1 수용부(43a)의 높이 쪽이 제 2 수용부(43b)의 높이보다 높아질 경우도 있으며, 제 2 수용부(43b)의 높이 쪽이 제 1 수용부(43a)의 높이보도 높아질 될 경우도 있다. 더욱이는, 제 1 수용부(43a) 및 제 2 수용부(43b)의 높이는 제 1 면(41)을 따라서 연장되어 있는 각 부위에 따라 다르게 할 수 있다. 이것에 의해, 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 저항값이 다른 것으로 된다.
(비아 홀)
도 3을 참조한다. 비아 홀(44)은 제 1 방향(Li)을 따라서 연장되어 있다. 다른 관점에서는, 비아 홀(44)은 기체(40)의 두께 방향을 따라서 연장되어 있다. 도 2의 예에서는, 비아 홀(44)이 1개만 나타내어져 있지만, 기체(40)가 비아 홀(44)을 복수 갖고 있어도 된다. 비아 홀(44)의 길이(기체(40)의 두께 방향에 있어서의 길이)는 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 크다. 비아 홀(44)의 길이는, 예를 들면 10㎜ 이상이어도 좋고, 4㎜ 이상이어도 좋고, 2㎜ 이상이어도 좋고, 1㎜ 이상이여도 좋다. 더욱이는, 비아 홀(44)의 길이는 1㎜보다 짧아도 좋다.
도 4를 참조한다. 비아 홀(44)의 형상은 임의이다. 하나의 양태로서, 비아 홀의 형상은 평면 투시에 있어서 타원형상을 나타내고 있다. 길이 방향 및/또는 폭 방향에 있어서의 비아 홀(44)의 내경의 크기는 임의이다. 이들 내경의 크기는, 예를 들면, 60㎛ 이상이어도 좋고, 100㎛ 이상이어도 좋고, 150㎛ 이상이어도 좋고, 300㎛ 이상이어도 좋고, 1㎜ 이상이어도 좋다. 또한, 비아 홀(44)의 내경은 60㎛보다 작아도 좋다. 그 밖의 양태로서, 비아 홀(44)의 형상은 평면 투시에 있어서, 예를 들면, 원형상을 나타내고 있어도 좋고, 직사각형상 등의 다각형 형상을 나타내고 있어도 좋다. 원형상 또는 직사각형상 등의 형상을 나타내고 있는 비아 홀(44)의 내경의 크기에 대해서도, 상기와 같이 임의이다.
도 3을 참조한다. 비아 홀(44)은 제 1 도체층(21a)에 교차하는 종단면(제 1 방향(Li))에 있어서 요철(45)을 갖고 있다. 비아 홀(44)은 제 1 도체층(21a)에 인접함과 아울러 제 2 도체층(21b)측에 위치하는 제 1 영역(44a)과, 이 제 1 영역(44a)과 연속함과 아울러 제 1 영역(44a)보다 제 2 도체층(21b)측에 위치하는 제 2 영역(44b)과, 제 1 영역(44a)에 대향하고 제 1 영역(44a)과 함께 제 1 도체층(21a)을 끼우고 있는 제 3 영역(44c)을 갖고 있다.
제 1 영역(44a)은 비아 홀(44)의 요철(45)에 의해서 구성된 1개의 영역이다. 제 2 영역(44b)은 비아 홀(44)의 요철(45)에 의해서 구성된 1개의 영역이며, 제 1 영역(44a)의 하방에 위치하는 영역이다. 제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내벽(제 1 면(41)에 대하여 평행한 방향에 있어서의 비아 홀(44)의 면)은, 제 1 방향(Li)으로 보아서 적어도 일부가 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44)의 내벽과 어긋나 있다.
「어긋나 있다」는, 제 1 면(41)을 따르는 방향에 있어서, 제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내벽과 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44)의 내벽이 일치하지 않는 것을 의미한다. 하나의 예로서, 제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경과 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경이 다르고, 제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내벽과 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44)의 내벽이 어긋나 있는 양태가 있다. 하나의 예로서, 제 1 영역(44a)의 중앙에 대하여 제 2 영역(44b)의 중앙이 어긋나 있음으로써, 이들 비아 홀(44)의 내벽이 어긋나 있는 양태가 있다. 하나의 예로서, 상기 2가지 양태에 의한 조합이 있다. 또한, 다른 관점에서는, 어긋남은 비아 홀(44)의 둘레 방향의 전체에 있어서 생겨 있어도 좋고, 둘레 방향의 일부만에 있어서 생겨 있어도 좋다. 어긋남이 발생되어 있는 둘레 방향의 길이(다른 관점에서는 평면으로 볼 때에 있어서의 비아 홀(44)의 중심 주위의 각도 범위)는 적당하게 설정되어도 좋다. 예를 들면, 어긋남이 발생되어 있는 각도 범위의 합계는, 180° 이상이어도 좋고, 180° 미만이어도 좋다.
제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경은, 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경보다 크다. 바꿔 말하면, 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서 제 1 영역(44a)은 제 2 영역(44b)보다 크다. 또한, 제 1 영역(44a) 및/또는 제 2 영역(44b)이 타원형상 등을 나타내고 있을 경우, 이 타원형상의 길이 방향 및 폭 방향의 각각에 있어서, 제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경은 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경보다 크다. 또한, 제 2 영역(44b)에 대한 제 1 영역(44a)의 크기는 임의이다. 예를 들면, 비아 홀(44)의 지름 방향에 있어서의, 제 2 영역(44b)에 대한 제 1 영역(44a)의 크기는 1.1배 이상이어도 좋고, 1.3배 이상이어도 좋고, 1.5배 이상이어도 좋고, 1.7배 이상이어도 좋다. 또한, 1.1배보다 작아도 좋다. 제 1 영역(44a) 및 제 2 영역(44b)의 두께(제 1 방향(Li)에 있어서의 두께)는, 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 두껍다.
제 3 영역(44c)은 비아 홀(44)의 요철(45)에 의해서 구성된 하나의 영역임과 아울러, 제 1 영역(44a)보다 제 2 도체층(21b)으로부터 떨어져서 위치하고 있다.
또, 도면에 나타나 있는 바와 같이, 제 2 영역(44b)과 제 2 도체층(21b) 사이에는 비아 홀(44)의 요철(45)에 의해서 구성되는 영역이 복수 형성되어 있다. 이들 복수의 영역의 각각은, 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 각각의 두께보다 크다. 이들 복수의 영역에 있어서의 비아 홀(44)의 내경은, 제 1 영역(44a)에 있어서의 비아 홀(44)의 내경보다 작다.
(도체층)
도 2를 참조한다. 도체층(21)은 기체(40) 내에서 제 1 면(41)측에 위치하는 제 1 도체층(21a)과, 이 제 1 도체층(21a)에 대향함과 아울러 기체(40) 내에서 제 2 면(42)측에 위치하는 제 2 도체층(21b)을 갖고 있다. 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)은 제 1 면(41)을 따라서 연장되어 있다. 제 2 도체층(21b)은 제 1 도체층(21a)에 대향하고 있다.
제 1 도체층(21a)은 전력 공급부(11)로부터의 전력에 의해 발열하는 저항 발열체를 갖고 있다. 또한, 제 2 도체층(21b)도 전력 공급부(11)로부터의 전력에 의해 발열하는 저항 발열체를 갖고 있다. 이들 저항 발열체가 발열함으로써, 제 1 면(41)에 적재된 웨이퍼가 가열된다. 즉, 기체 구조체(20)는 히터라고 할 수 있다. 제 1 도체층(21a) 및/또는 제 2 도체층(21b)은, 예를 들면 코일 또는 층상 도체 등으로 이루어진다.
제 1 도체층(21a) 및/또는 제 2 도체층(21b)은, 예를 들면 기체(40)의 평면 투시에서 소용돌이 형상 또는 미앤더 형상을 나타내고 있다. 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)은, 각각 제 1 면(41)을 따라서 기체(40)의 전역에 걸쳐서 연장되어 있다. 다른 관점에서는, 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)은, 각각 기체(40)의 두께 방향에 대하여 수직으로 연장되고, 기체(40)의 전역에 걸쳐 있다. 이것에 의해, 제 1 면(41) 전체의 온도를 효율적으로 높일 수 있다. 또, 도 2는 도체층(21)이 연장되는 방향에 직교하는 단면(도체층(21)의 폭 방향을 따르는 단면)에 있어서 도체층(21)이 나타내어져 있다. 도체층(21)은, 예를 들면, Ni, W, Mo 또는 Pt 등으로 이루어지는 금속, 또는, 이것들의 적어도 일부를 포함하는 합금이다.
(비아 도체)
도 3을 참조한다. 비아 도체(50)는 비아 홀(44) 내에 충전된 도체이다. 비아 도체(50)는 제 1 방향(Li)을 따라서 연장되어 있음과 아울러, 제 1 도체층(21a)과 제 2 도체층(21b)을 통전 가능하게 접속하고 있다. 비아 도체(50)는, 예를 들면 Ni, W, Mo 또는 Pt 등의 금속, 또는, 이것들의 적어도 일부를 포함하는 합금 등으로 이루어진다. 비아 도체(50)의 지름(예를 들면, 최대지름)은, 예를 들면, 제 1 도체층(21a)의 폭 및 제 2 도체층(21b)의 폭 각각보다 작다. 단, 도시의 예와는 달리, 비아 도체(50)의 지름은 상하 방향의 일부 또는 전부에 있어서, 및/또는 제 1 면(41)에 평행한 특정의 방향 또는 전방향에 있어서, 제 1 도체층(21a)의 폭 및 제 2 도체층(21b)의 폭 각각보다 커도 좋다.
비아 도체(50)는, 제 1 영역(44a) 내에 위치하는 제 1 부위(51)와, 제 2 영역(44b)내에 위치하는 제 2 부위(52)와, 제 3 영역(44c) 내에 위치하는 제 3 부위(53)를 갖고 있다. 제 1 부위(51) 및 제 2 부위(52)는 제 1 도체층(21a)과 제 2 도체층(21b) 사이에 위치하고 있다.
제 1 부위(51)는 제 1 도체층(21a)의 하면과 연결되어 있고, 제 1 방향(Li)을 따라서 연장되어 있다. 반복으로 되지만, 제 1 방향(Li)은 제 1 면(41)에 수직인 방향이다. 제 1 부위(51)는 제 1 방향(Li)을 따라서, 제 1 부위(51)의 지름보다 짧게 연장되어 있어도 좋고, 제 1 부위(51)의 지름보다 길게 연장되어 있어도 좋다. 제 1 부위(51)는 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a)의 두께보다 크다. 제 1 부위(51)의 지름(다른 관점에서는, 제 1 면(41)에 평행한 단면에 있어서의 면적. 이하, 다른 지름에 대해서도, 모순 등이 생기지 않는 한 같음.)은 제 2 부위(52)의 지름보다 크다. 보다 상세하게는, 제 1 부위(51)는 비아 도체(50)전체 중에서 가장 지름이 크다. 제 2 부위(52)의 지름에 대한 제 1 부위(51)의 지름의 크기는 임의이다. 예를 들면, 제 2 부위(52)의 지름에 대한 제 1 부위(51)의 지름의 크기는, 1.1배 이상이어도 좋고, 1.3배 이상이어도 좋고, 1.5배 이상이어도 좋고, 1.7배 이상이어도 좋다. 또한, 1.1배보다 작아도 좋다. 또, 제 1 부위(51)(비아 도체(50))는 재료가 제 1 도체층(21a)과 동일하여도 좋고, 이 경우에, 제 1 도체층(21a)과 일체적으로 되어 있어도 좋다.
제 2 부위(52)는 제 1 부위(51)의 하방에 위치하고, 제 1 부위(51)와 연결되어 있다. 다른 관점에서는, 제 1 부위(51)에 대하여 제 1 도체층(21a)과는 반대측에 연결되어 있다. 제 2 부위(52)는 제 1 부위(51)의 하면으로부터 제 1 방향(Li)을 따라서 연장되어 있다. 제 2 부위(52)는 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 각각의 두께보다 크다. 제 2 부위(52)는 제 1 방향(Li)으로 보아서, 외측 가장자리의 적어도 일부가 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 어긋나 있다.
「어긋나 있다」란, 제 1 면(41)을 따르는 방향에 있어서, 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리가 일치하지 않는 것을 의미한다. 하나의 예로서, 제 1 부위(51)의 지름의 크기와 제 2 부위(52)의 지름의 크기가 다르고, 이것들의 외측 가장자리가 어긋나 있는 양태가 있다. 하나의 예로서, 제 2 부위(52)의 중심에 대하여 제 1 부위(51)의 중심이 어긋남으로써, 이것들의 외측 가장자리가 어긋나 있는(오프셋되어 있는) 양태가 있다. 또한, 다른 관점에서는, 어긋남은 비아 도체(50)의 둘레 방향의 전체에 있어서 발생되어 있어도 좋고, 둘레 방향의 일부만에 있어서 발생되어 있어도 좋다. 어긋남이 발생되어 있는 둘레 방향의 길이(다른 관점에서는 평면으로 볼 때에 있어서의 비아 도체(50)의 중심 주위의 각도 범위)는 적당하게 설정되어도 좋다. 예를 들면, 어긋남이 발생되어 있는 각도 범위의 합계는, 180°이상이어도 좋고, 180°미만이어도 좋다.
제 3 부위(53)는 제 1 부위(51)에 대향하고, 제 1 부위(51)와 함께 제 1 도체층(21a)을 끼우고 있다. 제 3 부위(53)는 제 1 도체층(21a)의 상방에 위치하고, 제 1 도체층(21a)에 연결되어 있다. 제 3 부위(53)는 제 1 방향(Li)을 따라서, 제 1 도체층(21a)의 상면으로부터 제 1 부위(51)로부터 멀어지는 방향으로 연장되어 있다. 또, 제 3 부위(53)는 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 각각의 두께보다 크다. 또, 제 3 부위(53)(비아 도체(50))는, 재료가 제 1 도체층(21a)과 동일하여도 좋고, 이 경우에, 제 1 도체층(21a)과 일체적으로 되어 있어도 좋다.
도 3 및 도 4를 참조한다. 또, 비아 홀(44)의 내벽(기체(40))과 비아 도체(50) 사이에는 공극(50b)이 있다. 공극(50b)은, 예를 들면 진공으로 되어 있거나, 적당한 기체가 봉입되어 있다. 후술하는 다른 공극도 같다. 공극(50b)은, 비아 도체(50)의 둘레 방향에 있어서, 전체에 걸쳐 있어도 좋고, 일부에만 위치하고 있어도 좋다. 후자의 경우, 공극(50b)의, 비아 도체(50)의 중심 주위의 각도 범위의 합계는 180°이상이어도 좋고, 180°미만이어도 좋다. 공극(50b)의 설명은, 적당하게 후술하는 다른 공극에 적용되어도 좋다.
공극(50b)의 크기는, 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서, 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량(제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서의, 제 1 부위(51)의 외측 가장자리로부터 제 2 부위(52)의 외측 가장자리까지의 값)보다 작다. 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량을 L1이라고 하고, 공극(50b)의 크기를 L2라고 했을 경우, L1>L2로 되어 있다.
또, 어긋남량은 제 1 부위(51)와 제 2 부위(52)의 경계(둘레 방향)에 있어서의 위치에 따라서 다른 경우가 있다. 상기에 말하는, 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 크다란, 도 3에 나타내는 바와 같은 소정의 단면에 있어서 성립될 뿐이어도 좋고, 둘레 방향의 어느 정도의 길이 이상에 걸쳐서 성립되어도 좋다. 후자에 대해서는, 예를 들면 비아 도체(50)의 중심 주위의 각도 범위에 관해서, 어긋남과 공극(50b)의 쌍방이 발생되어 있는 각도 범위의 합계를 기준의 각도 범위로 한다. 상기 각도 범위 중 적어도 50%보다 높은 비율에 있어서, 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 커져도 좋다. 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 커지는 비율은 적당하게 설정할 수 있다. 하나의 양태에서는, 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 커지는 비율이 70% 이상이다. 하나의 양태에서는, 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 커지는 비율이 85% 이상이다. 하나의 양태에서는, 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 커지는 비율이 95% 이상이다. 하나의 양태에서는, 어긋남량이 공극(50b)의 크기보다 커지는 비율이 99% 이상이다.
또, 비아 도체(50)는 제 2 부위(52)와 제 2 도체층(21b) 사이에, 복수의 요철(50a)을 갖고 있다. 이들 요철(50a)의 각 부위의 지름은, 제 1 부위(51)의 지름보다 작다. 반복으로 되지만, 비아 도체(50)의 가장 지름이 큰 부위는 제 1 부위(51)이다. 단, 이들 1개 1개의 요철(50a)은, 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 크다.
(단자)
도 2를 참조한다. 단자(60)는 상하 방향으로 어느 정도의 길이를 갖는 금속(벌크재)이다. 단자(60)는, 상단측이 기체(40) 내에 위치하고, 하단측이 기체(40) 밖에 위치한다. 도시의 예에서는, 단자(60)는 제 2 도체층(21b)에 전기적으로 접속되어 있다. 단자(60)는 비아 도체(50)를 통해서 제 1 도체층(21a)과도 전기적으로 접속되어 있다. 단자(60)의 형상은 임의이다. 하나의 양태에서는, 단자(60)의 형상은 원기둥 형상을 나타내고 있다. 단자(60)는, 예를 들면, Ni, W, Mo 또는 Pt 등의 금속, 또는, 이것들의 적어도 일부를 포함하는 합금 등으로 이루어진다.
(접속부)
접속부(22)는 상단이 단자(60)에 접속되고, 하단이 전력 공급부(11)에 접속되어 있다. 접속부(22)는 전력 공급부(11) 및 단자(60)를 통전 가능하게 접속하고 있다. 접속부(22)는 도전성의 재료를 포함하고 있다.
(전력 공급부)
전력 공급부(11)는 기체(40)의 외부에 위치하고, 접속부(22)를 통해서 도체층(21)(저항 발열체)에 전력을 공급한다. 전력 공급부(11)는 접속부(22)를 통해서 도체층(21)과 전기적으로 접속되어 있다. 전력 공급부(11)는 전원으로부터 공급된 전력을 적절한 전압의 전력으로 변환하고, 이것을 도체층(21)에 공급하는 전원회로를 포함하고 있다.
다음에, 기체(40)(도체층(21) 및 비아 도체(50))의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 5(a)를 참조한다. 도 5(a)에는, 준비된 제 1 세라믹 그린시트의 상면에 도전성의 제 1 페이스트를 인쇄하는 도면이 나타내어져 있다. 도전성의 제 1 페이스트(102)에는, Ni, W, Mo 또는 Pt 등의 금속이 포함되어 있다. 하나의 양태로서, 제 1 페이스트(102)는 스크린 인쇄에 의해 제 1 세라믹 그린시트(101)의 상면에 인쇄된다. 그 밖의 형태로서는, CVD나 증착, 스퍼터 등의 방법에 의해 제 1 세라믹 그린시트(101)의 상면에 위치된다. 도시의 예에서는, 제 1 세라믹 그린시트(101)는 1매만이지만, 적층된 복수매로 이루어지는 제 1 세라믹 그린시트(101)의 상면에 제 1 페이스트(102)가 위치되어도 좋다.
도 5(b)를 참조한다. 도 5(b)에는, 제 1 페이스트를 끼워 넣도록 제 1 세라믹 그린시트의 상방에 제 2 세라믹 그린시트를 적층하는 공정이 나타내어져 있다. 제 2 세라믹 그린시트(103)에는 이 제 2 세라믹 그린시트(103)를 상하로 관통하는 관통구멍(103a)이 형성되어 있다. 제 2 세라믹 그린시트(103)를 복수매 준비하고, 이것들에 형성된 관통구멍(103a)이 오프셋하도록(각각의 관통구멍(103a)이 어긋나도록) 제 2 세라믹 그린시트(103)를 적층한다. 제 2 세라믹 그린시트(103)이 적층되면, 관통구멍(103a)에 의해서 구성된 구덩이(104)에 도전성의 비아용 페이스트(105)를 충전한다. 비아용 페이스트(105)는, Ni, W, Mo 또는 Pt 등의 금속이 포함되어 있다. 비아용 페이스트(105)의 성분은, 제 1 페이스트(102)의 성분과 동일하여도 좋고, 제 1 페이스트(102)의 성분과 달라도 좋다. 구덩이(104)로의 비아용 페이스트(105)의 충전은, 예를 들면 스크린 인쇄에 의해 행할 수 있다.
도 5(c)를 참조한다. 도 5(c)에는, 제 2 세라믹 그린시트의 상면에 제 2 페이스트를 인쇄하고, 다시 제 2 세라믹 그린시트(103)를 다시 적층한 후, 제 3 세라믹 그린시트(107)를 적층한 도면이 나타내어져 있다. 제 2 페이스트(106)에는 Ni, W, Mo 또는 Pt 등의 금속이 포함되어 있다. 제 2 페이스트(106)의 성분은, 제 1 페이스트(102)의 성분 및/또는 비아용 페이스트(105)의 성분과 동일하여도 좋고, 달라도 좋다. 또한, 제 3 세라믹 그린시트(107)에는 관통구멍(103a)이 형성되어 있지 않다. 제 1∼제 2 페이스트(102, 106) 및 비아용 페이스트(105)는, 제 1 세라믹 그린시트(101)와 제 3 세라믹 그린시트(107)에 끼워진 상태로 된다. 이것에 의해, 세라믹 적층체(100)를 얻을 수 있다.
도 5(d)를 아울러 참조한다. 도 5(c)에 나타내어진 세라믹 적층체(100)를 소성함으로써, 세라믹 적층체(100)를 소결시킨다. 이것에 의해, 내부에 비아 도체(50) 및 도체층(21)을 가진 기체(40)를 얻을 수 있다. 바꿔 말하면, 기체(40)(비아 도체(50) 및 도체층(21))를 제조할 수 있다. 공극(50b)은, 예를 들면 소성 전의 단계에 있어서, 비아용 페이스트(105)와 관통구멍(103a)의 내면 사이에 간극을 발생시킴으로써 형성되어도 좋다. 이러한 간극은, 비아용 페이스트(105)의 충전량 및 충전시의 압력 등의 조정에 의해 실현되어도 좋다. 또한, 비아용 페이스트(105)와 제 2 세라믹 그린시트(103)의 소성에 있어서의 수축량의 상위가 공극(50b)의 형성에 이용되어도 좋다.
도 3 및 도 4를 참조한다. 비아 도체(50)는, 비아 도체(50)를 포함하는, 제 1 면(41)에 수직인 제 1 방향(Li)을 따르는 단면에 있어서, 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a)의 두께보다 큰 제 1 부위(51)와, 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a)의 두께보다 크고, 제 1 부위(51)에 연결되어 있으며, 또한 제 1 방향(Li)으로 보아서 외측 가장자리의 적어도 일부가 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 어긋나 있는 제 2 부위(52)를 포함하고 있다. 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리가 어긋나 있음으로써, 비아 도체(50)의 표면적이 커진다. 이것에 의해, 비아 도체(50)에 대한 기체(40)의 접촉 면적이 커진다. 결과, 제 1 도체층(21a)으로부터 비아 도체(50)에 열이 전해 졌을 때에, 이 열이 비아 도체(50)로부터 기체(40)에 전해지기 쉬워진다. 따라서, 비아 도체(50)와 기체(40)가 보다 균형된 상태에서 온도변화하게 되기 때문에, 비아 도체(50)의 팽창에 수반되는 제 1 도체층(21a)으로의 부하가 경감된다. 결과, 내구성이 있는 기체 구조체를 제공할 수 있다.
제 1 부위(51)는 제 1 도체층(21a)에 연결되어 있고, 제 2 부위(52)는 제 1 부위(51)에 대하여 제 1 도체층(21a)과는 반대측에 연결되어 있고, 제 1 부위(51)의 지름은 제 2 부위(52)의 지름보다 크다. 제 1 부위(51)의 지름이 제 2 부위(52)의 지름보다 큰 것에 의해, 제 1 도체층(21a)에 대한 비아 도체(50)의 접촉 면적을 크게 할 수 있다. 부가하여, 제 2 부위(52)의 지름이 제 1 부위(51)의 지름보다 작은 것으로부터, 비아 도체(50)의 제 1 도체층(21a)측의 면이 수축에 의해 오목해지는 것이 억제된다. 구체적으로는, 온도 변화에 의한, 기체(40)의 수축률과 비아 도체(50)의 수축률이 달라도, 이것들의 수축에 의해 생기는 제 1 도체층(21a)측의 비아 도체(50)에 있어서의 면이 오목해진다는 현상을 억제할 수 있다.
비아 도체(50)는 제 1 부위(51)에 대향하고, 제 1 부위(51)와 함께 제 1 도체층(21a)을 사이에 두고 제 1 도체층(21a)에 연결되어 있는 제 3 부위(53)를 갖고 있다. 이것에 의해, 제 1 도체층(21a)에 대한 비아 도체(50)의 접촉 면적을 보다 크게 할 수 있다. 부가하여, 제 1 도체층(21a)의 상하면에 가해지는 비아 도체(50)의 수축 응력의 차를 경감할 수 있다. 따라서, 보다 내구성이 있는 기체 구조체(20)를 제공할 수 있다.
기체(40)와 비아 도체(50) 사이에는 공극(50b)이 있고, 공극(50b)의 크기는, 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서, 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량보다 작다. 기체(40)와 비아 도체(50) 사이에 공극이 있음으로써, 기체(40)와 비아 도체(50)의 열팽창에 따르는 응력을 완화할 수 있다. 부가하여, 공극(50b)의 크기가 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량보다 작음으로써, 비아 도체(50)는 기체(40)에 근접하게 된다. 기체 구조체(20)는, 비아 도체(50)의 열이 기체(40)에 전해지기 쉬운 상태에 있다,라고 할 수 있다. 따라서, 제 1 도체층(21a)에 가해지는 부하를 보다 경감할 수 있다. 결과, 보다 내구성이 있는 기체 구조체(20)를 제공할 수 있다.
도 1을 참조한다. 웨이퍼 적재 장치(10)는, 기체 구조체(20)와, 제 1 도체층(21a)에 급전 가능한 전력 공급부(11)와, 전력 공급부(11)의 급전을 제어하는 제어부(13)를 갖고 있다. 이것에 의해, 내구성이 있는 웨이퍼 적재 장치(10)를 제공할 수 있다.
[제 2 실시형태]
도 6(a)을 참조한다. 도 6(a)는 본 개시에 있어서의 제 2 실시형태를 나타낸 도면이며, 상기 도 3에 대응하고 있다. 제 2 실시형태에 있어서의 기체 구조체(20A)는, 제 1 실시형태와의 관계에 있어서, 비아 홀(44A) 및 비아 도체(50A)의 형상이 다르다. 그 밖의 구체적인 구조에 대해서는, 제 1 실시형태에 의한 기체 구조체(20)와 공통된다. 제 1 실시형태와 공통되는 부분에 대해서는, 부호를 유용함과 아울러 상세한 설명을 생략한다.
(비아 홀)
비아 홀(44A)은 제 1 영역(44a)에 대향하고 제 1 영역(44a)과 함께 제 1 도체층(21a)을 사이에 두고 있는 제 3 영역(44Ac)과, 제 2 영역(44b)보다 제 2 도체층(21b)측에 위치하고 있는 제 4 영역(44Ad)을 갖고 있다.
제 3 영역(44Ac)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내벽은, 제 1 방향(Li)으로 보아서, 적어도 일부가 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내벽과 어긋나 있다. 또한, 이 「어긋나 있다」는, 제 1 면(41)을 따르는 방향에 있어서, 제 3 영역(44Ac)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내벽과 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내벽이 일치하지 않는 것을 의미한다. 구체적인 내용에 대해서는, 제 1 실시형태에서의 설명한 사고방식과 같기 때문 생략한다.
제 3 영역(44Ac)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내경은 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내경보다 크다. 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서, 제 3 영역(44Ac)은 제 2 영역(44b)보다 크다고 할 수도 있다. 제 2 영역(44b)에 대한 제 3 영역(44Ac)의 크기는 임의이다. 예를 들면, 비아 홀(44A)의 지름 방향에 있어서의, 제 2 영역(44b) 대한 제 3 영역(44Ac)의 크기는, 1.1배 이상이어도 좋고, 1.3배 이상이어도 좋고, 1.5배 이상이어도 좋고, 1.7배 이상이어도 좋다. 또한, 1.1배보다 작아도 좋다. 제 3 영역(44Ac) 및 제 2 영역(44b)의 두께(제 1 방향(Li)에 있어서의 두께)는 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 두껍다.
제 4 영역(44Ad)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내벽은, 제 1 방향(Li)으로 보아서, 적어도 일부가 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내벽과 어긋나 있다. 제 4 영역(44Ad)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내경은, 제 2 영역(44b)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내경보다 크다. 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서, 제 4 영역(44Ad)은 제 2 영역(44b)보다 크다고 할 수도 있다. 제 2 영역(44b)에 대한 제 4 영역(44Ad)의 크기는 임의이다. 예를 들면, 비아 홀(44A)의 지름 방향에 있어서의, 제 2 영역(44b)의 크기에 대한 제 4 영역(44Ad)의 크기는, 1.1배 이상이어도 좋고, 1.3배 이상이어도 좋고, 1.5배 이상이어도 좋고, 1.7배 이상이어도 좋다. 또한, 1.1배보다 작아도 좋다. 제 4 영역(44Ad) 및 제 2 영역(44b)의 두께는, 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 두껍다.
또, 도면에 나타나 있는 바와 같이, 제 2 영역(44b)과 제 4 영역(44Ad) 사이에는, 비아 홀(44A)의 요철(45A)에 의해서 구성되는 영역이 복수 있어도 좋다. 이들 복수의 영역의 길이(높이)는, 제 1 방향(Li)을 따르는 방향에 있어서 각각이 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 크다. 이들 복수의 영역에 있어서의 비아 홀(44A)의 내경은, 제 3 영역(44Ac) 및 제 4 영역(44Ad)에 있어서의 비아 홀(44A)의 내경보다 작다.
(비아 도체)
비아 도체(50A)는 제 3 영역(44Ac) 내에 위치하는 제 3 부위(53A)와, 제 4 영역(44Ad) 내에 위치하는 제 4 부위(54A)를 갖고 있다.
제 3 부위(53A)는 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 상기 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 크다. 제 3 부위(53A)의 외측 가장자리는 제 1 방향(Li)으로 보아서, 적어도 일부가 제 2 부위(52)의 외측 가장자리와 어긋나 있다. 「어긋나 있다」의 설명에 대해서는, 제 1 실시형태에서의 설명한 사고방식과 같기 때문에 생략한다. 또한, 제 3 부위(53A)의 지름은 제 2 부위(52)의 지름보다 크다. 제 3 부위(53A)와 기체(40A) 사이에는 공극(50c)이 있다.
제 4 부위(54A)는 제 2 부위(52)보다 제 2 도체층(21b)측에 위치하고, 제 2 도체층(21b)의 상면과 연결되어 있다. 제 4 부위(54A)의 외측 가장자리는, 제 1 방향(Li)으로 보아서 적어도 일부가 제 2 부위(52)의 외측 가장자리와 어긋나 있다. 또한, 제 4 부위(54A)의 지름은 제 2 부위(52)의 지름보다 크다. 또, 제 4 부위(54A)(비아 도체(50))는, 재료가 제 2 도체층(21b)과 동일하여도 좋고, 이 경우에, 제 2 도체층(21b)과 일체적으로 되어 있어도 좋다.
도 6(b)를 아울러 참조한다. 제 3 부위(53A)와 기체(40A)(비아 홀(44A)의 내벽) 사이에는 공극(50c)이 있다. 이 공극(50c)의 크기는, 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서 제 3 부위(53A)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량보다 작다. 제 3 부위(53A)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량을 L3이라고 하고, 공극(50c)의 크기를 L4라고 했을 경우, L3>L4로된다. 이 공극(50c)은, 실시형태 1에서 설명한 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량보다 작다. 즉, L1(도 3 참조)>L4이다. 도 6(c)를 아울러 참조한다. 제 4 부위(54A)와 기체(40A) 사이에는 공극(50d)이 있다. 이 공극(50d)의 크기는, 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서 제 4 부위(54A)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량보다 크다. 제 4 부위(54A)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량을 L5라고 하고, 공극(50d)의 크기를 L6이라고 했을 경우, L5>L6으로 된다. 이 공극(50d)의 크기도 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 관계에 있어서, L1>L6이다. 즉, 제 1 실시형태에서 설명한 내용과 중복되지만, 공극(50d)의 크기는 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서, 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 제 2 부위(52)의 외측 가장자리의 어긋남량보다 작다고 할 수 있다.
또, 비아 도체(50A)는 제 2 부위(52)와 제 4 부위(54A) 사이에, 복수의 요철(50Aa)을 갖고 있다. 이들 요철(50Aa)의 각 부위의 지름은, 제 3 부위(53A) 및 제 4 부위(54A)의 지름보다 작다. 제 3 부위(53A)의 지름 및 제 4 부위(54A)의 지름의 크기는 임의이다. 제 3 부위(53A)의 지름이 제 4 부위(54A)의 지름보다 커도 좋고, 제 4 부위(54A)의 지름이 제 3 부위(53A)의 지름보다 커도 좋다. 또한, 제 1 부위(51)의 지름보다 제 3 부위(53A) 및/또는 제 4 부위(54A)의 지름 쪽이 커도 좋다.
제 3 부위(53A)의 외측 가장자리는, 제 1 방향(Li)으로 보아서 적어도 일부가 제 1 부위(51)의 외측 가장자리와 어긋나 있다. 이것에 의해, 기체(40A)에 대한 비아 도체(50A)의 접촉 면적이 보다 커진다. 결과, 비아 도체(50A)의 팽창에 따르는 제 1 도체층(21a)에 가해지는 부하를 보다 경감할 수 있다. 이것에 의해, 보다 내구성이 있는 기체 구조체(20A)를 제공할 수 있다.
제 3 부위(53A)의 지름은 제 2 부위(52)의 지름보다 크다. 이것에 의해, 제 1 도체층(21a)에 대한 비아 도체(50A)의 접촉 면적을 보다 크게 할 수 있다.
제 4 부위(54A)의 지름은 제 2 부위(52)의 지름보다 크다. 이것에 의해, 제 2 도체층(21b)에 대한 비아 도체(50A)의 접촉 면적을 크게 할 수 있다.
[제 3 실시형태]
도 7을 참조한다. 도 7은 본 개시에 있어서의 제 3 실시형태를 나타낸 도면이며, 상기에 나타낸 도 6(a)에 대응하고 있다. 제 2 실시형태와 공통되는 부분에 대해서는, 부호를 유용함과 아울러 상세한 설명을 생략한다.
(비아 홀)
비아 홀(44B)은 제 3 영역(44Ac)과 제 1 면(41) 사이에, 비아 홀(44B)의 요철(45A)에 의해서 구성되는 영역을 복수 갖고 있다. 이들 각 영역은, 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 크다. 상기에 말하는 각 영역은, 제 1 면(41)에 평행한 방향에 있어서의 길이에 있어서, 제 1 부위(51), 제 3 부위(53A) 및 제 4 부위(54A)보다 작다. 비아 홀(44B)은 기체(40B)의 상면에 개구되어 있다.
(비아 도체)
비아 도체(50B)는 제 3 부위(53A)와 제 1 면(41) 사이에, 복수의 요철(50Ba)을 갖고 있다. 이들 요철(50Ba)의 각 부위의 지름은, 제 1 부위(51), 제 3 부위(53A) 및 제 4 부위(54A) 각각의 지름보다 작다. 또한, 이들 1개 1개의 요철(50Ba)은, 제 1 방향(Li)에 있어서의 길이가 제 1 도체층(21a) 및 제 2 도체층(21b)의 두께보다 크다.
[제 4 실시형태]
도 8 및 도 9를 참조한다. 도 8은 본 개시에 있어서의 제 4 실시형태를 나타낸 도면이며, 제 1 실시형태에 있어서의 도 3에 대응하고 있다. 도 9는 도 8의 영역 IX의 확대도이다. 제 1 실시형태와 공통되는 부분에 대해서는, 부호를 유용함과 아울러 상세한 설명을 생략한다.
본 실시형태는, 일반적으로 말하면, 제 1 실시형태에 대하여 비아 도체(50C)가 제 1 방향(Li)에 대하여 경사져 있는 점, 제 3 부위(53C)가 상면에 오목부(53r)를 갖고 있는 점, 공극(50e)이 상대적으로 작은 점, 및 비아 도체(50C)가 제 2 도체층(21b)을 관통하고 있는(볼록부(55)를 갖고 있는) 점이 상위하다. 또, 상기 4개의 상위점 중 어느 1개 이상이 선택적으로 제 1 실시형태에 조합되어도 좋다. 또한, 여기에서는 제 1 실시형태를 기준으로 하고 있지만, 모순 등이 생기지 않는 한, 상기 4개의 상위점의 1개 이상은 제 2 및 제 3 실시형태에 조합되어도 좋다. 상기의 상위점은, 구체적으로는 이하와 같다.
도 8에 나타내는 바와 같은, 제 1 방향(Li)으로 평행하고, 대강 비아 도체(50C)의 체적 무게중심을 지나는 단면에 있어서, 비아 도체(50C)의 중심선(Lc)을 생각한다. 이 때, 중심선(Lc)은 제 1 방향(Li)에 대하여 경사져 있다. 상술한 바와 같이, 제 1 방향(Li)은 제 1 면(41)에 수직인 방향이다. 이 때, 비아 도체(50C)는 제 1 방향(Li)에 대하여 경사져 있다고 할 수 있다.
중심선(Lc)은 합리적으로 구해져도 좋다. 예를 들면, 제 1 방향(Li)의 각 위치에 있어서 비아 도체(50C)의 지름(도 8의 좌우 방향의 길이, 제 1 방향(Li)에 직교하는 방향의 길이)을 2등분하는 중심위치를 구한다. 이 중심위치를 연결한 선을 중심선(Lc)으로 해도 좋다. 또한, 도시의 예와 같이, 비아 도체(50C)의 일정한 두께마다 지름이 다른 경우에 있어서는, 요철(50Ca)의 각 부위(예를 들면, 제 1 부위(51) 및 제 2 부위(52) 등)에 있어서, 지름 방향의 중앙 또한 두께 방향의 중앙의 위치를 구하고, 이 위치끼리를 연결하는 직선의 조합(전체로서 직선 또는 꺾인 선)을 중심선(Lc)으로 해도 좋다. 중심선(Lc)을 구할 때에는, 볼록부(55)와 같은 특이적인 부위는 무시되어도 좋다.
도시의 예에서는, 중심선(Lc)은 전체로서 대강 직선 형상으로 되어 있다. 다른 관점에서는, 중심선(Lc)은 그 전체에 있어서, 하방으로부터 상방으로의 방향이 제 1 방향(Li)에 대하여 동일 측으로 경사져 있다. 단, 중심선(Lc)은, 도중에 굴곡되어 있어도 개의치 않는다. 또한, 중심선(Lc)은, 그 일부에 있어서의 하방으로부터 상방으로의 방향과, 타부에 있어서의 하방으로부터 상방으로의 방향이, 제 1 방향(Li)에 대하여 서로 역측으로 경사져 있어도 된다. 중심선(Lc)은, 제 1 방향(Li)으로 경사져 있는 부분과, 제 1 방향(Li)에 대하여 평행한 부분을 갖고 있어도 된다. 중심선(Lc)의 제 1 방향(Li)에 대한 경사각도 적당하게 설정되어도 좋다. 일례를 들면, 경사각은 3°이상 10°이하이다.
상기와 같이 제 1 방향(Li)에 대하여 경사져 있는 비아 도체(50C)는, 적당한 방법에 의해 제작되어도 좋다. 예를 들면, 도 5(a)∼도 5(d)를 참조해서 설명한 제조 방법에 있어서, 복수의 관통구멍(103a)의 위치를 복수의 세라믹 그린시트(103)끼리에서 어긋나게 함으로써 비아 도체(50C)가 실현되어도 좋다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 비아 도체(50C)을 포함하는, 제 1 면(41)에 수직인 제 1 방향(Li)을 따르는 단면에 있어서, 비아 도체(50C)의 중심선(Lc)의 적어도 일부가 제 1 방향(Li)에 대하여 경사져 있다.
이 경우, 예를 들면, 비아 도체(50C)의 제 1 방향(Li)에 있어서의 열팽창 및 열수축에 의해 기체(40C)에 부여되는 응력이 완화된다. 그 결과, 예를 들면, 기체 구조체(20C)의 내구성이 향상된다.
제 3 부위(53C)의 오목부(53r)의 형상 및 치수는 적당하게 설정되어도 좋다. 예를 들면, 오목부(53r)는 도 8과 같은 제 1 방향(Li)에 평행한 단면에 있어서, 곡선에 의해서 구성되어 있어도 되고, 일부 또는 전부가 직선에 의해서 구성되어 있어도 된다. 또한, 오목부(53r)는 제 3 부위(53C)의 상면의 대강 전체(예를 들면, 제 3 부위(53C)의 지름의 8할 이상의 길이)에 걸쳐 있어도 좋고(도시의 예), 이것보다 작아도 좋다. 오목부(53r)의 깊이는, 예를 들면, 가장 깊은 위치에 있어서 제 3 부위(53C)의 두께의 5% 이상, 10% 이상 또는 20% 이상으로 되어도 좋고, 5% 미만이어도 좋다.
오목부(53r)에는 기체(40C)가 위치하고 있다. 바꾸어 말하면, 기체(40C)는 비아 도체(50C)의 상면(제 3 부위(53C)의 상면)에 박히는 볼록부를 갖고 있다. 단, 도시의 예와는 달리, 오목부(53r)는 공극(50b)과 마찬가지로, 진공으로 되어 있거나, 적당한 기체가 봉입되어 있거나 해도 좋다.
오목부(53r)는 적당한 방법에 의해 형성되어도 좋다. 예를 들면, 도 5(a)∼도 5(d)를 참조해서 설명한 제조 방법에 있어서, 제 3 부위(53C)로 되는 비아용 페이스트(105)의 상면에 오목부를 형성한다. 그 후, 상기 비아용 페이스트(105)에 겹치는 제 3 세라믹 그린시트(107)를 포갠다. 이와 같이 하여, 오목부(53r)가 형성되어도 좋다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는 제 3 부위(53C)의 제 1 도체층(21a)과는 반대측의 면이 오목해져 있다(오목부(53r)가 형성되어 있다.).
이 경우, 예를 들면, 기체(40C)의 일부가 오목부(53r)에 들어감으로써 기체(40C)가 비아 도체(50C)에 의해 구속된다. 그 결과, 예를 들면, 기체(40C)에 균열이 생길 개연성이 저감된다. 또한, 오목부(53r)에 기체(40C)의 일부가 위치하고 있지 않을 경우(오목부(53r)가 공극일 경우)에 있어서는, 예를 들면, 비아 도체(50C)로부터 기체(40C)로의 열의 전달이 완화되어, 비아 도체(50C)의 위치에 온도의 특이점이 생길 개연성이 저감된다.
제 1∼제 3 실시형태에서 서술한 공극(50b, 50c 및 50d)은, 도 8과 같은 제 1 방향(Li)에 평행한 단면에 있어서, 요철을 구성하는 각 부위(예를 들면, 제 1 부위(51), 제 3 부위(53A) 및 제 4 부위(54A))의 측면 전체에 걸치는 크기를 갖고 있었다. 단, 도 9에 나타내는 바와 같이, 이들 공극의 일부 또는 전부는 각 부위의 측면의 일부에만 위치하는 공극(50e)으로 되어도 좋다.
도시의 예에서는, 공극(50e)은 비아 도체(50C)의 요철(50Ca)을 구성하는 각부위 중, 볼록부를 구성하고 있는 부위의 측면의 코너부(상하 양측)에 위치하고 있다. 다른 관점에서는, 비아 홀(44C)의 요철(45C)을 구성하는 각 부위 중, 오목부를 구성하고 있는 부위의 측면의 코너부에 위치하고 있다. 도시의 예와는 달리, 요철(50Ca)을 구성하는 각 부위의 두께보다 작은 공극(50e)은, 요철(50Ca)의 오목부를 구성하는 부위의 측면에 위치하고 있어도 좋고, 각 부위의 상하 양측의 코너부의 한쪽에만 위치하고 있어도 좋고, 각 부위의 측면의 상하 중앙에 위치하고 있어도 좋다.
공극(50e)의 형상 및 치수도 적당하게 설정되어도 좋다. 도시의 예에서는, 비아 도체(50C)의 측면의 볼록부가 둥근 형상을 하고 있고, 공극(50e)은 이것에 대응한 형상을 갖고 있다. 공극(50e)의 상하 방향의 최대의 크기는, 요철(50Ca)의 각 부위의 상하 방향의 길이의 50% 미만이어도 좋고, 50% 이상이어도 좋다. 공극(50e)의 비아 도체(50C)의 둘레 방향에 있어서의 크기는, 다른 실시형태의 공극과 같은 방법으로 해도 좋고, 이것보다 작게 되어도 좋다.
본 실시형태의 비교적 작은 공극(50e)은, 적당한 방법에 의해 형성되어도 좋다. 예를 들면, 도 5(a)∼도 5(d)를 참조해서 설명한 제조 방법에 있어서, 비아 홀(44C)의 내주면의 오목부에 비아용 페이스트(105)가 충전되지만, 상기 오목부에 완전하게 비아용 페이스트(105)가 충전되지 않도록, 비아용 페이스트(105)를 배치할 때의 압력 등을 조정해도 좋다. 다른 공극과 마찬가지로, 비아용 페이스트(105)와 제 2 세라믹 그린시트(103)의 소성에 있어서의 수축량의 상위가 공극(50e)의 형성에 이용되어도 좋다.
공극(50e)도, 다른 실시형태의 공극과 동일한 효과를 이룬다. 또한, 공극(50e)은, 예를 들면 응력집중이 생기기 쉬운 요철의 코너부에만 위치하는 것이 가능하기 때문에, 다른 실시형태의 공극에 비교하여 비아 도체(50)의 체적을 확보하면서, 기체(40C)에 가하여지는 응력을 효과적으로 완화할 수 있다.
볼록부(55)는 비아 도체(50C) 중 제 2 도체층(21b)보다 상방의 부분으로부터 하방으로 돌출해서 제 2 도체층(21b)을 관통하고 있다. 또한, 볼록부(55)는 기체(40C) 중 제 2 도체층(21b)보다 하방의 부분의 일부를 관통하고 있다. 도시의 예 와는 달리, 볼록부(55)는 제 2 도체층(21b)을 관통할뿐이어도 좋고(기체(40C)를 관통하지 않아도 좋고), 기체(40C) 중 제 2 도체층(21b)보다 하방의 부분의 전체를 관통하고 있어도 좋다.
볼록부(55)의 형상 및 치수 등은 적당하게 설정되어도 좋다. 예를 들면, 제 1 방향(Li)으로 보아서, 볼록부(55)의 형상은 원형이어도 좋고, 다각형이어도 좋고, 또한 비아 도체(50C)의 다른 부위의 형상과 동일하여도 좋고, 달라도 좋다. 볼록부(55)는 제 1 방향(Li)에 평행한 기둥 형상이어도 좋고, 제 1 방향(Li)에 대하여 경사지는 기둥 형상이어도 좋고, 비아 도체(50C)의 제 2 도체층(21b)보다 상방의 부분과 마찬가지로 측면에 요철을 갖는 구성이라도 좋다.
볼록부(55)는 비아 도체(50C) 중 제 2 도체층(21b)보다 상방의 부분으로부터 돌출하는 부분이기 때문에, 그 지름은 비아 도체(50C) 중 제 2 도체층(21b)의 상면에 접속되어 있는 부위(제 2 실시형태에 따라서, 이하, 제 4 부위라고 하는 것으로 한다.)의 지름보다 작게 되어 있다. 그 지름의 상위는, 적당하게 설정되어도 좋다. 예를 들면, 볼록부(55)의 지름은 제 4 부위의 지름에 대하여 9/10 미만이어도 좋고, 1/2 미만이어도 좋고, 1/5 미만이어도 좋다. 볼록부(55)의 중심 또는 어느 하나의 위치는, 제 4 부위의 중심에 겹쳐 있어도 좋고, 겹쳐 있지 않아도 좋다.
도시의 예와는 달리, 볼록부(55)의 지름은 제 4 부위의 지름과 동등하여도 개의치 않는다. 즉, 비아 도체(50C)는 볼록부(55)가 형성되어 있다고 받아들이는 것이 곤란한 형상을 가지면서, 제 2 도체층(21b)을 관통하고 있어도 개의치 않는다.
볼록부(55)는 적당한 방법에 의해 형성되어도 좋다. 예를 들면, 도 5(a)∼도 5(d)를 참조해서 설명한 제조 방법에 있어서, 기체(40C) 중 제 2 도체층(21b)보다 하방의 부분을 복수의 세라믹 그린시트에 의해 형성하는 것으로 한다. 그리고, 제 2 도체층(21b)으로 되는 제 1 페이스트(102)가 상면에 인쇄되는 세라믹 그린시트에는, 제 1 페이스트(102)의 도포 전에 볼록부(55)가 배치되는 관통구멍(비아 홀(44C)의 하단부가 되는 관통구멍)이 형성된다.
그 후, 도 5(a) 및 도 5(b)와 마찬가지로, 상기 관통구멍이 형성된 세라믹 그린시트에 제 1 페이스트(102)가 도포되고, 그 위에, 제 2 세라믹 그린시트(103)가 적층되며, 구덩이(104)에 비아용 페이스트(105)가 충전된다. 이 때, 비아용 페이스트(105)의 일부는, 제 1 페이스트(102)의 바로 아래의 세라믹 그린시트의 관통구멍에도 흘러든다. 이 관통구멍에 흘러든 부분이 볼록부(55)로 되는 부분이다.
그 후, 제 1 페이스트(102)의 바로 아래의 세라믹 그린시트의 하면에, 기체(40C)의 제 2 면(42)을 구성하는 세라믹 그린시트를 적층한다. 또, 볼록부(55)로 되는 페이스트가 제 1 페이스트(102)의 바로 아래의 세라믹 그린시트의 하면으로부터 하방으로 밀려나온 경우에는, 제 2 면(42)을 구성하는 세라믹 그린시트를 적층하기 전에 밀려나온 부분이 닦아내어지거나 해도 좋다. 제 2 면(42)을 구성하는 세라믹 그린시트의 적층 전 또는 후에 있어서는, 도 5(c)와 마찬가지로, 제 1 면(41)을 구성하는 세라믹 그린시트(107)의 적층도 행한다. 그 후, 도 5(d)와 마찬가지로, 소성이 행하여진다.
상기와는 달리, 제 2 도체층(21b)으로 되는 제 1 페이스트(102)가 도포되는 세라믹 그린시트의 관통구멍에 볼록부(55)로 되는 페이스트가 충전되기 전에, 제 2 면(42)을 구성하는 세라믹 그린시트를 적층하거나, 제 1 페이스트(102)의 도포 전에 관통구멍에 볼록부(55)로 되는 페이스트를 충전하거나 해도 좋다.
이상과 같이, 본 실시형태에서는, 비아 도체(50C)는 제 2 도체층(21b)을 관통하고 있다.
이 경우, 예를 들면, 제 3 부위(53)가 제 1 도체층(21a)과의 접속에 기여하는 효과와 동일한 효과가 제 2 도체층(21b)에 있어서도 기대된다. 예를 들면, 제 2 도체층(21b)의 상하에서 비아 도체(50C)의 수축응력의 차를 저감할 수 있다. 또한, 예를 들면, 제 4 부위(제 2 도체층(21b)의 상면에 접속되는 부분)의 하면이 제 2 도체층(21b)의 상면에 접속되는 양태에서는, 기체(40C)와 비아 도체(50C)의 수축률의 차에 기인해서 제 4 부위의 하면이 오목해질 개연성이 저감되어, 접속의 신뢰성이 향상된다. 또한, 상술한 바와 같이, 제 2 면(42)을 구성하는 세라믹 그린시트를 적층하기 전에, 구덩이(104)에 충전된 비아용 페이스트(105)를 제 2 도체층(21b)의 하방의 세라믹 그린시트의 관통구멍에 흘려 넣어서 볼록부(55)를 형성할 경우에 있어서는, 육안에 의해서, 비아용 페이스트(105)가 제 2 도체층(21b)의 위치까지 도달한 것을 확인할 수 있다.
본 개시에 따른 기술은, 이상의 실시형태에 한정되지 않고, 여러가지 형태로 실시되어도 좋다.
제 1 실시형태에 있어서, 기체가 접착재 또는 고상 접합에 의해 샤프트 부재에 접합되어 있는 양태에 대하여 설명했다. 그러나, 기체 및 샤프트 부재가 함께 세라믹스일 경우에는, 이것들을 소성에 의해 일체화시키고 있어도 좋다.
또한, 제 1 실시형태에 있어서, 제 1 도체층 및 제 2 도체층이 저항 발열체를 포함하고 있는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 제 1 도체층 및 제 2 도체층은, 저항 발열체 이외에도, 제 1 면에 웨이퍼를 흡착시키는 정전 척을 포함하고 있어도 좋고, 플라즈마를 발생시킬 때에 사용되는 고주파 전극을 포함하고 있어도 좋다. 또한, 2층으로 이루어지는 도체층의 1개에만 저항 발열체가 포함되어 있어도 좋다. 2층으로 이루어지는 도체층의 1개에만 저항 발열체가 포함되어 있을 경우, 다른쪽의 도체층(제 1 도체층 또는 제 2 도체층)은 정전 척을 포함하고 있어도 좋고, 고주파 전극을 포함하고 있어도 좋고, 전류가 흐르는 단순한 배선층이라도 좋다. 또한, 도체층은 제 1 도체층만으로 이루어진다고 해도 좋다.
또한, 제 1 실시형태에 있어서, 기체 구조체가 기체와 비아 도체 사이에 공극을 갖고 있는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 기체 구조체는 기체와 비아 도체 사이에 공극을 갖고 있지 않아도 좋다. 또한, 비아 도체는 제 2 부위와 제 2 도체층 사이에 복수의 요철을 갖고 있지 않아도 좋다.
또한, 제 1 실시형태에 있어서, 기체의 하면에 단자가 배치되어 있는 기체 구조체에 대하여 설명했다. 그러나, 단자는 기체의 상면 또는 기체의 측면 등에 배치되어도 좋다. 단자가 배치되는 개소는 임의이다.
또한, 제 1 실시형태에 있어서, 웨이퍼가 적재되는 제 1 면이 제 2 면에 대하여 평행한 기체 구조체에 대하여 설명했다. 그러나, 제 1 면은 제 2 면에 대하여 반드시 평행할 필요는 없다. 또한, 제 2 면은 여기저기에 구덩이(요철)를 갖고 있어도 좋다. 예를 들면, 이 구덩이에 단자의 기체 밖에 위치하는 부위를 둘러싸게 해도 좋다.
본 개시의 기체 구조체는 웨이퍼 이외의 대상물도 적재할 수 있다. 또한, 본 개시의 기체 구조체에 적재되는 웨이퍼는 반도체에 한정되지 않고, 예를 들면 수정 웨이퍼 등도 포함하고 있다.
10, 10A, 10B, 10C : 웨이퍼 적재 장치
11 : 전력 공급부
13 : 제어부
20, 20A, 20B, 20C : 기체 구조체
21a : 제 1 도체층
21b : 제 2 도체층
40, 40A, 40B, 40C : 기체
50, 50A, 50B, 50C : 비아 도체
50b : 공극
51 : 제 1 부위
52 : 제 2 부위
53, 53A, 53C : 제 3 부위
54A : 제 4 부위
Li : 제 1 방향

Claims (12)

  1. 기체와, 제 1 도체층과, 비아 도체를 구비하고,
    상기 기체는 제 1 면 및 상기 제 1 면의 반대에 위치하는 제 2 면을 갖고,
    상기 제 1 도체층은 상기 기체 내에 있어서 상기 제 1 면을 따라 위치하고,
    상기 비아 도체는 상기 기체 내에 있어서 상기 제 1 도체층에 교차해서 연결되어 있고,
    상기 비아 도체는,
    상기 비아 도체를 포함하는, 상기 제 1 면에 수직인 제 1 방향을 따르는 단면에 있어서,
    상기 제 1 방향에 있어서의 길이가 상기 제 1 도체층의 두께보다 큰 제 1 부위와,
    상기 제 1 방향에 있어서의 길이가 상기 제 1 도체층의 두께보다 크고, 상기 제 1 부위에 연결되어 있으며, 또한 상기 제 1 방향으로 보아서 외측 가장자리의 적어도 일부가 상기 제 1 부위의 외측 가장자리와 어긋나 있는 제 2 부위를 포함하고,
    상기 비아 도체는, 상기 제 1 부위에 대향하고, 상기 제 1 부위와 함께 상기 제 1 도체층을 사이에 두고 상기 제 1 도체층에 연결되어 있는 제 3 부위를 갖고 있는 기체 구조체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 부위는 상기 제 1 도체층에 연결되어 있고,
    상기 제 2 부위는 상기 제 1 부위에 대하여 상기 제 1 도체층과는 반대측에 연결되어 있으며,
    상기 제 1 부위의 지름은 상기 제 2 부위의 지름보다 큰 기체 구조체.
  3. 삭제
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 3 부위의 외측 가장자리는, 상기 제 1 방향으로 보아서 적어도 일부가 상기 제 1 부위의 외측 가장자리와 어긋나 있는 기체 구조체.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 3 부위의 지름은 상기 제 2 부위의 지름보다 큰 기체 구조체.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 3 부위의 상기 제 1 도체층과는 반대측의 면이 오목해져 있는 기체 구조체.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 도체층과 대향하고, 상기 제 1 도체층과 함께 상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위를 사이에 두고 있는 제 2 도체층을 갖고,
    상기 비아 도체는, 상기 제 2 부위보다 상기 제 2 도체층측에 위치하고, 또한 상기 제 2 도체층과 연결되어 있는 제 4 부위를 갖고,
    상기 제 4 부위의 지름은 상기 제 2 부위의 지름보다 큰 기체 구조체.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 도체층과 대향하고, 상기 제 1 도체층과 함께 상기 제 1 부위 및 상기 제 2 부위를 사이에 두고 있는 제 2 도체층을 갖고,
    상기 비아 도체는 상기 제 2 도체층을 관통하고 있는 기체 구조체.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 단면에 있어서 상기 비아 도체의 중심선의 적어도 일부가 상기 제 1 방향에 대하여 경사져 있는 기체 구조체.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기체와 상기 비아 도체의 사이에는 공극이 있고,
    상기 공극의 크기는, 상기 제 1 면에 평행한 방향에 있어서 상기 제 1 부위의 외측 가장자리와 상기 제 2 부위의 외측 가장자리의 어긋남량보다 작은 기체 구조체.
  11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 도체층이 저항 발열체를 포함하는 히터인 기체 구조체.
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 기체 구조체와,
    상기 제 1 도체층에 급전 가능한 전력 공급부와,
    상기 전력 공급부의 급전을 제어하는 제어부를 갖고 있는 웨이퍼 적재 장치.
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