JP2010177503A - 金属製ブッシュおよびこれを備えるセラミック製品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属製ブッシュ100は、セラミック部材300の止まり穴310に嵌入、固定される金属製ブッシュ100であって、柱体形状に形成され、柱体形状の側面にロウ材溜め用の溝110を有する。これにより、ロウ材500が側面の溝110にトラップされ、セラミック部材300の表面にまで這い上がり、はみ出すことがなくなる。その結果、外観不良を防止し、はみ出したロウ材500の除去作業を不要とすることができる。また、はみ出したロウ材500が固着する基板表面の部分に、熱膨張差によりクラックが発生するのを防止することができる。
【選択図】図1
Description
(金属製ブッシュ)
図1(a)〜(c)は、それぞれ給電端子100(金属製ブッシュ)の正面図、平面図および断面図である。図1(c)は、図1(b)のAB面で切った断面を矢印方向に見た図を示している。図1(a)〜(c)に示すように、給電端子100は、柱体形状に形成され、セラミック基板300(セラミック部材)に嵌入、固定される。柱体形状としては円柱形状や多角柱形状が考えられるが、取り扱いの簡易さから円柱形状が好ましい。給電端子100は、導電性を有し、特にその材質は限定されないが、モリブデン、コバール(Kovar)、ニッケルまたはタングステン等により形成されていることが好ましい。これにより、給電端子100の熱膨張率とセラミック基板300の熱膨張率との差を小さくすることができ、セラミック基板300にクラックが発生するのを防止することができる。特にモリブデンが熱膨張の面で優れており、好適である。また、ニッケルは耐腐食性に優れている。
図3は、ウェハ保持体200の斜視図である。また、図4(a)〜(c)は、それぞれウェハ保持体200の構成を示す正面図、平面図および断面図である。図4(c)は、図4(b)のCD面で切った断面を矢印方向に見た図を示している。ウェハ保持体200は、たとえば半導体製造装置内で用いられる静電チャックやヒータであり、給電端子100が露出していない側の主面においてウェハを保持する。図3、図4(a)〜(c)に示すように、ウェハ保持体200は、給電端子100、セラミック基板300、電極400およびロウ材500を有している。
図5(a)〜(c)は、ウェハ保持体200の製造工程の一部としてロウ付け工程を模式的に示す断面図である。まず、表面から所定深さに電極400を埋設したセラミック基板300を準備し、電極400が穴の底面部に露出するように止まり穴310を開けておく。一方、給電端子100の側面には切削加工等により溝110を設けておく。
(緩衝部材)
上記の実施形態では、ロウ材500により給電端子100の底面と止まり穴310とを直接固着しているが、給電端子100の底面と止まり穴310の底面との間に緩衝部材600を設けてもよい。これにより、給電端子100とセラミック基板300との熱膨張差が緩衝される。図6(a)は、給電端子100の底面と止まり穴310の底面との間に緩衝部材600を設けた場合のウェハ保持体700(セラミック製品)の一部を示す断面図である。
給電端子100は、純度99.99%以上のモリブデンにより、外径7.9mm、長さ9.6mmの円柱状に形成されたものを用いた。給電端子100には、直径4mm、深さ5mmの雌ねじ穴120を設けた。雌ねじ穴120の開口側から2.0mmの位置に幅2.0mm、深さ0.7mmの断面矩形の溝110を設けた。また、タングステンの電極400が埋設され、窒化アルミニウムにより形成された外径390mm、厚み20mmの円板状のセラミック基板300を作製した。セラミック基板300には、8.0mm、深さ13.16mmの円筒状の止まり穴310を設け、電極400を露出させた。
得られた試料のうちW−1〜3、K−1〜3、I−1〜3について、トルクレンチによる引っ張り強度試験を行った。この試験の結果、トルク強度の指標により給電端子100のセラミック基板300への固着に対する引っ張り強度が得られた。図8は、実験方法を説明するためのウェハ保持体700の断面図である。図8に示すように、実験の際には、ウェハ保持体700とボルト810(アンブラコ製UNC10−32SHCS)の頭との間に引っ張り試験用治具800をかませ、ボルト810を雌ねじ穴120に螺合させた。そして、トルク強度を測定しながらトルクレンチ820でボルト810を締め付け、図8の白抜きの矢印の方向へ引っ張る力を給電端子100に加えた。そして、給電端子100がセラミック基板300から外れたときのトルク強度を記録した。図9(a)は、引っ張り強度試験の結果を示す表である。
また、W−4、K−4、I−4の試料を給電端子100の中央でマイクロカッティングマシンにより切断し、切断面をマイクロスコープで観察した。図9(b)は、切断面観察の結果を示す表である。
110、130、140 溝
120 雌ねじ穴
200 ウェハ保持体(セラミック製品)
300 セラミック基板(セラミック部材)
310 止まり穴
400 電極
500 ロウ材
510 ロウ材ペースト
520 箔状のロウ材
600 緩衝部材
700 ウェハ保持体(セラミック製品)
800 試験用治具
810 ボルト
820 トルクレンチ
Claims (7)
- セラミック部材の止まり穴に嵌入、固定される金属製ブッシュであって、
柱体形状に形成され、前記柱体形状の側面にロウ材溜め用の溝を有することを特徴とする金属製ブッシュ。 - 前記溝は、前記柱体形状の側面外周に沿って連続的に形成されていることを特徴とする請求項1記載の金属製ブッシュ。
- 前記溝は、前記止まり穴に嵌入されたときに前記止まり穴の底面より開口部に近くなる位置に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の金属製ブッシュ。
- 前記溝の断面形状は、V字またはU字状であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の金属製ブッシュ。
- モリブデン、コバール、ニッケルまたはタングステンにより形成されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の金属製ブッシュ。
- セラミック部材と、
前記セラミック部材の止まり穴に嵌入、固定される請求項1から請求項5のいずかに記載の金属製ブッシュと、
前記金属製ブッシュと前記セラミック部材とを固着させるロウ材と、を備えることを特徴とするセラミック製品。 - 前記金属製ブッシュの底面と前記セラミック部材の止まり穴の底面との間に、前記金属製ブッシュと前記セラミック部材との熱膨張差を緩衝する緩衝部材を有することを特徴とする請求項6記載のセラミック製品。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018139255A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 京セラ株式会社 | 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置用部品 |
KR20200007201A (ko) * | 2018-07-12 | 2020-01-22 | 주식회사 엘지화학 | 매립형 투명 전극 기판 및 이의 제조방법 |
WO2020067357A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
WO2020067128A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH061701U (ja) * | 1992-06-11 | 1994-01-14 | 川崎重工業株式会社 | 金属製回転軸とセラミック製回転体との接合構造 |
JPH10175063A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-30 | Nippon Sanso Kk | ろう付け構造 |
JP2000049217A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
-
2009
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH061701U (ja) * | 1992-06-11 | 1994-01-14 | 川崎重工業株式会社 | 金属製回転軸とセラミック製回転体との接合構造 |
JPH10175063A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-30 | Nippon Sanso Kk | ろう付け構造 |
JP2000049217A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018139255A (ja) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 京セラ株式会社 | 試料保持具およびこれを用いたプラズマエッチング装置用部品 |
KR20200007201A (ko) * | 2018-07-12 | 2020-01-22 | 주식회사 엘지화학 | 매립형 투명 전극 기판 및 이의 제조방법 |
KR102361783B1 (ko) * | 2018-07-12 | 2022-02-10 | 주식회사 엘지화학 | 매립형 투명 전극 기판 및 이의 제조방법 |
WO2020067357A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
WO2020067128A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
JPWO2020067357A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-09-02 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
JPWO2020067128A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-09-02 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
JP7175323B2 (ja) | 2018-09-28 | 2022-11-18 | 京セラ株式会社 | セラミック構造体及びウェハ用システム |
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