JPWO2019103153A1 - 形状検査装置及び形状検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
b≧D/V
[1−1.形状検査装置の概要]
まず、図1〜図4に基づいて、本発明の第1の実施形態に係る帯状体Sの形状検査装置(以下、単に「形状検査装置」ともいう。)10の概要を説明する。図1は、本実施形態に係る形状検査装置10の一構成例を示す説明図である。なお、以下の説明において、帯状体Sは、搬送ライン(図示せず。)上を所定の方向に向かって搬送されているものとし、帯状体Sの搬送方向は帯状体Sの長手方向に対応するものとする。図2は、帯状体Sの表面が水平であるときの、ラインセンサカメラ101により取得される照明光の反射光の輝度の大きさを説明する説明図である。図3及び図4は、帯状体Sの表面に水平面に対して傾斜した凹凸があるときの、ラインセンサカメラ101により取得される照明光の反射光の輝度の大きさを説明する説明図である。
(a)測定装置
まず、図5及び図6を参照しながら、本実施形態に係る測定装置100について、詳細に説明する。なお、図5は、本実施形態に係る形状検査装置10を構成する測定装置100の一構成例を模式的に示す説明図であって、帯状体Sを側面から見た状態を示す。図6は、図5の平面図である。
ラインセンサカメラ101は、1次元のライン単位で画像を撮像する撮像装置である。ラインセンサカメラ101としては、例えば、モノクロラインセンサカメラであってもよく、3CCD方式等の、公知のカラーラインセンサカメラであってもよい。カラーラインセンサカメラを用いる場合には、検査対象の帯状体Sの表面の色も把握することが可能である。
本実施形態に係る測定装置100は、第1の照明光源103及び第2の照明光源105の、2つの照明光源を備える。第1の照明光源103は、帯状体Sの表面に対して第1の照明光を照射し、第2の照明光源105は、帯状体Sの表面に対して第2の照明光を照射する。本実施形態において、第1の照明光源103の第1の照射光と第2の照明光源105の第2の照射光とは、同一色とすることが望ましい。例えば、第1の照明光源103の第1の照射光が白色光であるときには、第2の照明光源105の第2の照射光も白色光とする。第1の照明光及び第2の照明光の色は、特に限定されるものではなく、検査対象に応じて決定すればよい。また、第1の照明光及び第2の照明光は、可視光でなくともよく、赤外光あるいは紫外光であってもよい。すなわち、第1の照明光源103及び第2の照明光源105は、波長、出力強度、光源の種類等の照射条件が略同一の光源を用いるのがよい。
次に、図7〜図20に基づいて、本実施形態に係る形状検査装置10が備える演算処理装置200の構成について、詳細に説明する。なお、図7は、本実施形態に係る演算処理装置200の全体構成の一例を示すブロック図である。図8は、ラインセンサカメラ101のライン画像取得タイミング、第1の照明光源103の点灯タイミング及び発光時間、及び、第2の照明光源105の点灯タイミング及び発光時間の一例を示す図である。図9は、図8のライン画像取得タイミング、点灯タイミング及び発光時間が設定されたときの、ラインセンサカメラ101により取得されるライン画像の撮像範囲を示す説明図である。図10は、本実施形態に係るデータ処理部205の構成の一例を示すブロック図である。図11は、本実施形態に係るデータ処理部205による差分画像生成処理を説明する説明図である。図12〜図14は、本実施形態に係るデータ処理部205による差分画像生成処理の一変形例を示す説明図である。図15は、補間処理による画像の輝度変化のイメージを示す説明図である。図16は、図11の差分画像生成処理に基づき生成される画像例を示す説明図である。図17は、図16の分離画像に対して隣接画素補間処理を施し差分画像を生成した場合の画像例を示す説明図である。図18は、図16の分離画像に対して線形補間処理を施し差分画像を生成した場合の画像例を示す説明図である。図19は、本実施形態に係る測定装置100における照明光の反射角と表面の傾き角との関係を模式的に示した説明図である。図20は、帯状体の表面の傾きと輝度差との位置関係例を示すグラフである。
データ取得部201は、例えば、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、通信装置等により実現される。データ取得部201は、測定装置100のラインセンサカメラ101によって撮像された撮像画像を取得し、後述するデータ処理部205へと伝送する。また、データ取得部201は、取得した撮像画像に、当該撮像画像を撮像した日時等に関する時刻情報を紐づけて、履歴情報として後述する記憶部209に格納してもよい。
測定制御部203は、CPU、ROM、RAM、通信装置等により実現される。測定制御部203は、本実施形態に係る測定装置100による帯状体Sの測定を制御する。より詳細には、測定制御部203は、帯状体Sの測定を開始する場合に、第1の照明光源103及び第2の照明光源105に対して、照明光を照射させるための制御信号を送出する。
データ処理部205は、例えば、CPU、ROM、RAM、通信装置等により実現される。データ処理部205は、測定装置100により取得されたライン画像を処理し、帯状体Sの表面の傾きを算出する。本実施形態に係るデータ処理部205は、例えば図10に示すように、分離画像生成部211と、差分画像生成部213と、傾き算出部215と、高さ算出部217と、を備える。
図7の説明に戻り、表示制御部207は、例えば、CPU、ROM、RAM、出力装置等により実現される。表示制御部207は、データ処理部205から伝送された、帯状体Sの表面形状に関する検査用情報の算出結果を含む各種の処理結果を、演算処理装置200が備えるディスプレイ等の出力装置や演算処理装置200の外部に設けられた出力装置等に表示する際の表示制御を行う。これにより、形状検査装置10の利用者は、帯状体Sの表面の傾きや高さ等といった各種の処理結果を、その場で把握することが可能となる。
記憶部209は、例えば本実施形態に係る演算処理装置200が備えるRAMやストレージ装置等により実現される。記憶部209には、本実施形態に係る演算処理装置200が、何らかの処理を行う際に保存する必要が生じた様々なパラメータや処理の途中経過等、又は、各種のデータベースやプログラム等が、適宜記録される。この記憶部209に対し、データ取得部201、測定制御部203、データ処理部205、表示制御部207等は、自由にデータのリード/ライト処理を行うことが可能である。
図21に基づいて、本実施形態に係る形状検査装置10で実施される形状検査方法の一例について説明する。なお、図21は、本実施形態に係る形状検査方法の一例を示すフローチャートである。
以上、本発明の第1の実施形態に係る形状検査装置10の構成と、これによる帯状体Sの形状検査方法について説明した。本実施形態によれば、ラインセンサカメラ101の光軸の正反射方向に対して対称となるように第1の照明光源103と第2の照明光源105とを配置して、ライン速度に基づいて、ラインセンサカメラ101のライン画像取得タイミングで第1の照明光源103と第2の照明光源105とを1つずつ逐次点灯させて、撮像範囲の重複が生じないように複数のライン画像を取得する。そして、演算処理装置200は、第1の照明光源103の発光時間内に取得されたライン画像と、第2の照明光源105の発光時間内に取得されたライン画像とに基づき得られる差分ライン画像に基づいて、帯状体Sの表面の傾きを算出する。
次に、図24に基づいて、本発明の第2の実施形態に係る形状検査装置の構成とその作用について説明する。図24は、本実施形態に係る形状検査装置を構成する測定装置の一構成例を模式的に示す説明図であって、帯状体Sを側面から見た状態を示す。
(a)光源1→光源2→光源3→光源4→光源1→光源2→光源3→光源4→・・
(b)光源1→光源2→光源3→光源1→光源2→光源4→光源1→・・
図25を参照しながら、本発明の上記実施形態に係る演算処理装置200のハードウェア構成について、詳細に説明する。図25は、本発明の各実施形態に係る演算処理装置200のハードウェア構成を示すブロック図である。
100 測定装置
101 ラインセンサカメラ
103 第1の照明光源
105 第2の照明光源
107 付加照明光源
200 演算処理装置
201 データ取得部
203 測定制御部
205 データ処理部
207 表示制御部
209 記憶部
211 分離画像生成部
213 差分画像生成部
215 傾き算出部
217 高さ算出部
S 帯状体
Claims (14)
- 帯状体の表面形状を検出する形状検査装置であって、
前記帯状体の表面を撮像してライン画像を取得するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラの光軸の正反射方向に対して対称となるように配置され、前記ラインセンサカメラの撮像位置に対して帯状の照明光を逐次交互に照射する、第1の照明光源及び第2の照明光源と、
前記第1の照明光源及び前記第2の照明光源それぞれの点灯タイミング及び発光時間と、前記ラインセンサカメラのライン画像取得タイミングとを制御する測定制御部と、
前記ラインセンサカメラにより取得された複数のライン画像を処理し、前記帯状体の表面の傾きを算出するデータ処理部と、
を備え、
前記第1の照明光源から第1の照明光が照射されているときに前記ラインセンサカメラにより取得されたライン画像を第1のライン画像とし、前記第2の照明光源から第2の照明光が照射されているときに前記ラインセンサカメラにより取得されたライン画像を第2のライン画像として、
前記測定制御部は、前記第1のライン画像と前記第2のライン画像とで撮像範囲の重複が生じないように、前記帯状体と前記ラインセンサカメラとの相対速度であるライン速度に基づいて、前記点灯タイミング及び前記発光時間と前記ライン画像取得タイミングとを制御し、
前記データ処理部は、前記第1のライン画像と前記第2のライン画像とに基づき得られる差分ライン画像に基づいて、前記帯状体の表面の傾きを算出する、形状検査装置。 - 前記測定制御部は、撮像間隔として、前記ラインセンサカメラによる先の撮像が終わり次の撮像が始まるまでに撮像が行われない時間を設ける、請求項1に記載の形状検査装置。
- 前記帯状体上での前記ラインセンサカメラの一画素当たりの前記帯状体の搬送方向の長さをDとしたとき、
前記測定制御部は、前記撮像間隔bが下記式を満たすように前記ライン画像取得タイミングを制御する、請求項2に記載の形状検査装置。
b≧D/V - 前記データ処理部は、n番目の前記ライン画像取得タイミングで取得されたライン画像と、n−1番目またはn+1番目のうち少なくともいずれか一方の前記ライン画像取得タイミングで取得されたライン画像との差分を、前記差分ライン画像として取得し、前記帯状体の表面の傾きを算出する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の形状検査装置。
- 前記データ処理部は、n番目の前記ライン画像取得タイミングで取得されたライン画像と、n−1番目以前のライン画像及びn+1番目以降のライン画像から補完されたライン画像との差分を、前記差分ライン画像として取得し、前記帯状体の表面の傾きを算出する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の形状検査装置。
- 前記データ処理部は、前記帯状体の表面の傾きを長手方向に積分して前記帯状体の表面の高さを算出する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の形状検査装置。
- 前記帯状体に対して帯状の照明光を照射する少なくとも1つの付加照明光源をさらに備え、
前記測定制御部は、
前記ラインセンサカメラの前記ライン画像取得タイミングで、前記第1の照明光源、前記第2の照明光源、及び、前記付加照明光源を1つずつ逐次点灯させ、
前記データ処理部は、
前記第1のライン画像と前記第2のライン画像とに基づき得られる前記差分ライン画像に基づいて、前記帯状体の表面の傾きを算出し、
前記付加照明光源から付加照明光が照射されているときに前記ラインセンサカメラにより取得されたライン画像に基づいて、前記帯状体の表面状態を特定する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の形状検査装置。 - 帯状体の表面形状を検出する形状検査方法であって、
前記帯状体が搬送されるライン上には、
前記帯状体の表面を撮像しライン画像を取得するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラの光軸の正反射方向に対して対称となるように配置され、前記ラインセンサカメラの撮像位置に対して帯状の照明光を逐次交互に照射する、第1の照明光源及び第2の照明光源と、
が配置されており、
前記第1の照明光源から第1の照明光が照射されているときに前記ラインセンサカメラにより取得されるライン画像を第1のライン画像とし、前記第2の照明光源から第2の照明光が照射されているときに前記ラインセンサカメラにより取得されるライン画像を第2のライン画像として、
前記第1のライン画像と前記第2のライン画像とで撮像範囲の重複が生じないように、前記帯状体と前記ラインセンサカメラとの相対速度であるライン速度に基づいて、前記第1の照明光源及び前記第2の照明光源の点灯タイミング及び発光時間と、前記ラインセンサカメラのライン画像取得タイミングとを制御し、
前記第1のライン画像と前記第2のライン画像とに基づき得られる差分ライン画像に基づいて、前記帯状体の表面の傾きを算出する、形状検査方法。 - 撮像間隔として、前記ラインセンサカメラによる先の撮像が終わり次の撮像が始まるまでに撮像が行われない時間が設けられる、請求項8に記載の形状検査方法。
- 前記帯状体上での前記ラインセンサカメラの一画素当たりの前記帯状体の搬送方向の長さをDとしたとき、
前記撮像間隔bが下記式を満たすように前記ライン画像取得タイミングを制御する、請求項9に記載の形状検査方法。
b≧D/V - 前記差分ライン画像は、n番目の前記ライン画像取得タイミングで取得されたライン画像と、n−1番目またはn+1番目のうち少なくともいずれか一方の前記ライン画像取得タイミングで取得されたライン画像との差分である、請求項8〜10のいずれか1項に記載の形状検査方法。
- 前記差分ライン画像は、n番目の前記ライン画像取得タイミングで取得されたライン画像と、n−1番目以前のライン画像及びn+1番目以降のライン画像から補完されたライン画像との差分である、請求項8〜10のいずれか1項に記載の形状検査方法。
- 前記帯状体の表面の傾きを長手方向に積分して前記帯状体の表面の高さをさらに算出する、請求項8〜12のいずれか1項に記載の形状検査方法。
- 前記帯状体に対して帯状の照明光を照射する少なくとも1つの付加照明光源をさらに備え、
前記ラインセンサカメラの前記ライン画像取得タイミングで、前記第1の照明光源、前記第2の照明光源、及び、前記付加照明光源を1つずつ逐次点灯させ、
前記第1のライン画像と前記第2のライン画像とに基づき得られる前記差分ライン画像に基づいて、前記帯状体の表面の傾きを算出し、
前記付加照明光源から付加照明光が照射されているときに前記ラインセンサカメラにより取得されたライン画像に基づいて、前記帯状体の表面状態を特定する、請求項8〜13のいずれか1項に記載の形状検査方法。
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019103153A1 (ja) | 2017-11-27 | 2019-05-31 | 日本製鉄株式会社 | 形状検査装置及び形状検査方法 |
US20200364442A1 (en) * | 2019-05-15 | 2020-11-19 | Getac Technology Corporation | System for detecting surface pattern of object and artificial neural network-based method for detecting surface pattern of object |
CN114364973B (zh) * | 2019-09-13 | 2024-01-16 | 柯尼卡美能达株式会社 | 表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序 |
JP7111370B2 (ja) * | 2019-10-23 | 2022-08-02 | 株式会社野毛電気工業 | 欠陥検査方法 |
JP7516804B2 (ja) * | 2020-03-27 | 2024-07-17 | 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 | 測定装置、情報処理装置、および、プログラム |
CN114414581B (zh) * | 2022-01-26 | 2024-02-27 | 苏州博众智能机器人有限公司 | 一种耳机盒检测设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015129715A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | リコーエレメックス株式会社 | 検査装置及び検査装置の制御方法 |
WO2016194698A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 新日鐵住金株式会社 | 金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法 |
JP2017009523A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | Jfeスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3187185A (en) * | 1960-12-22 | 1965-06-01 | United States Steel Corp | Apparatus for determining surface contour |
JPS6040930B2 (ja) | 1979-05-01 | 1985-09-13 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼片の無疵積層方法 |
JPS58115314A (ja) * | 1981-12-28 | 1983-07-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 平坦度測定装置 |
US6598994B1 (en) | 1998-08-24 | 2003-07-29 | Intelligent Reasoning Systems, Inc. | Multi-angle inspection of manufactured products |
US6327374B1 (en) | 1999-02-18 | 2001-12-04 | Thermo Radiometrie Oy | Arrangement and method for inspection of surface quality |
US6191856B1 (en) | 1999-05-05 | 2001-02-20 | Volution | Optical inspection device |
DE102005031490A1 (de) * | 2005-07-04 | 2007-02-01 | Massen Machine Vision Systems Gmbh | Kostengünstige multi-sensorielle Oberflächeninspektion |
US7777897B1 (en) * | 2007-08-03 | 2010-08-17 | Ventek, Inc. | Veneer roughness detection |
WO2014188457A1 (en) | 2013-05-23 | 2014-11-27 | Centro Sviluppo Materiali S.P.A. | Method for the surface inspection of long products and apparatus suitable for carrying out such a method |
JP6040930B2 (ja) | 2013-12-27 | 2016-12-07 | Jfeスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
US10352867B2 (en) * | 2014-03-07 | 2019-07-16 | Nippon Steel Corporation | Surface property indexing apparatus, surface property indexing method, and program |
ES2743217T3 (es) * | 2015-04-22 | 2020-02-18 | Nippon Steel Corp | Aparato de medición de forma y método de medición de forma |
US9903710B2 (en) * | 2015-06-05 | 2018-02-27 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Shape inspection apparatus for metallic body and shape inspection method for metallic body |
JP6179680B1 (ja) * | 2016-04-08 | 2017-08-16 | 新日鐵住金株式会社 | 表面状態監視装置及び表面状態監視方法 |
WO2017207115A1 (en) * | 2016-05-30 | 2017-12-07 | Bobst Mex Sa | Surface inspection system and inspection method |
US20180367722A1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-12-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Image acquisition device and image acquisition method |
WO2019103153A1 (ja) | 2017-11-27 | 2019-05-31 | 日本製鉄株式会社 | 形状検査装置及び形状検査方法 |
EP3722745B1 (en) * | 2017-12-08 | 2023-09-06 | Nippon Steel Corporation | Shape inspection device and shape inspection method |
-
2018
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- 2018-11-27 US US16/649,600 patent/US10890441B2/en active Active
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015129715A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | リコーエレメックス株式会社 | 検査装置及び検査装置の制御方法 |
WO2016194698A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 新日鐵住金株式会社 | 金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法 |
JP2017009523A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | Jfeスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法 |
Also Published As
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