JPS58115314A - 平坦度測定装置 - Google Patents

平坦度測定装置

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JPS58115314A
JPS58115314A JP21515881A JP21515881A JPS58115314A JP S58115314 A JPS58115314 A JP S58115314A JP 21515881 A JP21515881 A JP 21515881A JP 21515881 A JP21515881 A JP 21515881A JP S58115314 A JPS58115314 A JP S58115314A
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JP
Japan
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laser light
binary
straight line
frame memory
image
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Application number
JP21515881A
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English (en)
Inventor
Satoshi Furukawa
聡 古川
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、二色（ことなる波長の）のレーザ光を盲な
る直線として平面に照射し、その反射特性により、凹部
を検出する平坦度測定装置にかかる。
第１図にしめすのは、従来例で、コンベヤ１１１をなが
れてくる板状物４の平坦度を検査するには、ビームスイ
ッチ１０の投受光器をコンベヤ１１の両側へ配置してビ
ーム１２を板状物４の表面に、かつ、ごく接近させ突部
によりビーム１２ｈ＜　ｎ　断されるとビームスイッチ
１０が作動するというものであった。この方式によれば
ビーム１２を平行光に集光することが困難で、中方向の
感度むらがしょうじるという欠点、又凹部が全く検知で
きないと云う欠点があった。
この発明は上記欠点を除去せんとする。
以下、この発明を第２図及び第３図にしめず一実施例に
より説明する。
図面において、５．７は各々レーザ光の照射装置で、異
なる波長のレーザ光９１．９２を照射する。
レーザ光９は各々シリンドリ力ルレンスらを通して重な
る直線１３として平面、例えばコンベヤ１１上をながれ
てくる板状物４に照射される。
この重なる直線１３をカラーカメラｌ上に結ａする。こ
の像はマ、イク口コンピュータ２をかいしてフレームメ
モリーに取り込まれる。
このフレームメモリー３は、例えばレーザ光がアルゴン
とヘリウムネオンであればＢとＲのみでよく、濃淡レベ
ルは不要で、単に二値化するものでよい。
而して板状物４の表面に凹部があるときは、第３図ａの
ごとくレーザ光９１．９２分離し、その二値化パルスは
レーザ光９１．９２の順ででる。又機状物４の表面に突
部があるときは、第３図すのことくレーザ光９２．９１
分離し、その二値化パルスはレーザ光９２．９１の順で
でる。第３図は、フレームメモリー３内におけるいた板
状物４の搬送方向のビットをあられしたものである。
以上の如くこの発明によれば、メモリーパターン内のラ
インを捜すこ１とにより凹凸の検出が容易におこなえる
。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来例を示す斜視図、第２図及び第３図はこの
発明の一実施例を示す概略図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹　元　敏　丸　　（ばか２名） 第１　ｔ４

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １）二色（ことなる波長の）のレーザ光を重なる直線と
    して直線運動する平面嵯照射し、その反射光の各々を二
    値化する平坦度測定装置。
JP21515881A 1981-12-28 1981-12-28 平坦度測定装置 Pending JPS58115314A (ja)

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