JPWO2019035351A1 - 流体供給装置およびこの装置における液体排出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
この乾燥工程において、基板上に形成したレジストパターン間のスペース幅が90nm程度以下になるとパターン間に残存する薬液の表面張力(毛細管力)の作用により、パターン間にラプラス力が作用してパターン倒れが生ずる問題が発生する。そのパターン間に残存する薬液の表面張力の作用によるパターン倒れを防止するために、パターン間に作用する表面張力を軽減する乾燥プロセスとして、二酸化炭素の超臨界流体を用いた方法が知られている(例えば、特許文献1〜4)。
上記のような流体供給装置では、装置の稼働を停止する際には、タンクに貯留された液体状態の二酸化炭素をメイン配管に接続された排出配管を通じて大気に触れさせることで気体状態の二酸化炭素に変化させて外部に排出する。
しかしながら、タンクに貯留された液体は、自重によりメイン配管に落下しながらポンプに供給される。すなわち、ポンプはタンクよりも下方に配置されるため、タンクに貯留された液体を気化させながら外部に排出していくと、タンクとポンプを連通するメイン配管に残る液体を大気に触れさせて気化させる際に、当該メイン配管を構成する配管が凍結してしまう。タンクとポンプを結ぶメイン配管の配管には、開閉バルブ、圧力センサ、温度センサ等の各種機器が設置されており、当該配管の凍結が各種機器の故障をもたらす可能性があるという問題が存在した。
気体状態の流体を液化するコンデンサと、
前記コンデンサにより液化された流体を貯留するタンクと、
前記タンクに貯留された液化された流体を前記処理室へ向けて圧送するポンプと、
前記タンクと前記ポンプとを結び、当該タンクに貯留された液体の自重を用いて当該液体をポンプに移送させるためのメイン配管と、
一端が前記メイン配管の最低位置で当該メイン配管と接続され、他端が大気に開放され、前記タンクおよびメイン配管内の液体を気化させて外部に排出するための排出用配管と、を有し、
前記排出用配管は、前記タンクおよびメイン配管内の液体がすべて排出されたのちに、当該排出用配管の大気側の空間と前記メイン配管側の空間とを隔てる液だまりが当該排出用配管内に一時的に生じるように形成されている、ことを特徴とする。
また、好適には、前記排出用配管は、前記他端側にオリフィスが設けられ
前記排出用配管のオリフィスの出口側の近傍に接続された排気通路を有し、当該排気通路に大気を一方向に流通させる排気装置をさらに有する、構成を採用できる。
前記コンデンサにより凝液化された流体を貯留するタンクと、
前記タンクに貯留された液化された流体を前記処理室へ向けて圧送するポンプと、
前記タンクと前記ポンプとを結び、当該タンクに貯留された液体の自重を用いて当該液体をポンプに移送させるためのメイン配管と、を有し、
液体状態の流体を処理室に向けて供給する流体供給装置における液体排出方法であって、
一端が前記メイン配管の最低位置で当該メイン配管と接続され他端が大気に開放された排出用配管を用いて、前記タンクおよびメイン配管内の液体を気化させて外部に排出する際に、前記タンクおよびメイン配管内の液体をすべて排出したのち、当該排出用配管の大気側の空間とメイン配管側の空間とを隔てる液だまりを当該排出用配管内に一時的に生じさせる、ことを特徴とする。
図1に本発明の一実施形態に係る流体供給装置を示す。本実施形態では、流体として二酸化炭素を使用する場合について説明する。
図1において、2はメイン配管、3は分岐配管、5は排出用配管、100はCO2供給源、110は開閉弁、120はフィルタ、130はコンデンサ、140はタンク、150は開閉弁、160はポンプ、170は背圧弁、180は開閉弁、200は開閉弁、210はオリフィス、300は排気装置、500は処理チャンバを示す。また、図中のPTは圧力センサや温度センサ等の各種機器を示す。図1は、開閉弁110,150,180が開放され、開閉弁200が閉鎖された状態を示している。
コンデンサ130では、供給される気体状態の二酸化炭素を冷却することで液化し、液化された二酸化炭素はタンク140に貯留される。タンク140に貯留された二酸化炭素は、図6のP2のような状態(3℃、5MPa)となる。タンク140の底部から図6のP2のような状態にある液体状態の二酸化炭素がメイン配管2を通じて自重でポンプ160に送られ、ポンプ160の吐出側に圧送されることで、図6のP3のような液体状態(20℃、20MPa)となる。メイン配管2は、タンク140からポンプ160を通じて処理チャンバ500まで延びており、ポンプ160に接続された高さが、メイン配管2の最低位置となっている。
背圧弁170は、ポンプ160の吐出側の流体(液体)の圧力が設定圧力(例えば20MPa)以上になると、フィルタ120側へ液体をリリースする。これにより、ポンプ160の吐出側の液体の圧力が設定圧力を超えるのを防ぐ。
開閉弁180が閉じられた状態では、図2に示すように、ポンプ160から圧送される液体は、分岐配管3を通って再びコンデンサ130およびタンク140に戻る。
ステンレス鋼等の金属製の排出用配管5は、図から分かるように、複数の配管部5a〜5eで構成され、配管部5aの端部がメイン配管2の最低位置MBの連通部CN1において接続されている。排出用配管5の配管部5aは、連通部CN1から水平方向に延び、これに続いて、配管部5bが鉛直方向下側に延びている。配管部5bの最低位置において、配管部5cの一端が接続され、配管部5cは水平方向に延びて他端部が鉛直方向上側へ延びる配管部5dに接続されている。配管部5dの上側端部は、最低位置MBとタンク140の最底部との間に位置され、配管部5dに接続されて水平方向に延びる配管部5eは、排気装置300の排気通路310に接続されている。
最低位置にある配管部5cの途中に開閉弁200が設けられている。
配管部5eには、オリフィス210が設けられ、オリフィス210の出口211の近傍が排気通路310に接続されている。
オリフィス210の出口211では、液体LQが気化する際に熱が奪われるため温度が低下するが、熱量をもつ大気A1がオリフィス210の出口211付近に常に供給されているため、オリフィス210が凍結して詰まることはない。
しかしながら、凍結部FZはメイン配管2から離れているため、メイン配管2への影響はない。
3 分岐配管
5 排出用配管
100 CO2供給源
110 開閉弁
120 フィルタ
130 コンデンサ
140 タンク
150 開閉弁
160 ポンプ
170 背圧弁
180 開閉弁
200 開閉弁
210 オリフィス
300 排気装置
310 排気通路
320 排気ファン
500 処理チャンバ
CN1 連通部
MB 最低位置
Claims (8)
- 液体状態の流体を処理室に向けて供給する流体供給装置であって、
気体状態の流体を液化するコンデンサと、
前記コンデンサにより液化された流体を貯留するタンクと、
前記タンクに貯留された液化された流体を前記処理室へ向けて圧送するポンプと、
前記タンクと前記ポンプとを結び、当該タンクに貯留された液体の自重を用いて当該液体をポンプに移送させるためのメイン配管と、
一端が前記メイン配管の最低位置で当該メイン配管と接続され、他端が大気に開放され、前記タンクおよび前記メイン配管内の液体を気化させて外部に排出するための排出用配管と、を有し、
前記排出用配管は、前記タンクおよび前記メイン配管内の液体がすべて排出されたのちに、当該排出用配管の大気側の空間と前記メイン配管側の空間とを隔てる液だまりが当該排出用配管内に一時的に生じるように形成されている、流体供給装置。 - 前記排出用配管は、その途中に前記一端及び他端の位置より低い最低位置を有することにより、当該最低位置付近に前記液だまりが生じるように形成され、当該排出用配管の最低位置に開閉弁が設けられている、請求項1に記載の流体供給装置。
- 前記排出用配管は、前記他端側にオリフィスが設けられ、
前記排出用配管の前記オリフィスの出口側の近傍に接続された排気通路を有し、当該排気通路に大気を一方向に流通させる排気装置をさらに有する、請求項1に記載の流体供給装置。 - 前記流体は、二酸化炭素を含む、請求項1ないし3のいずれかに記載の流体供給装置
- 液体状態の流体を処理室に向けて供給する流体供給装置における液体排出方法であって、
気体状態の流体を液化するコンデンサと、
前記コンデンサにより液化された流体を貯留するタンクと、
前記タンクに貯留された液化された流体を前記処理室へ向けて圧送するポンプと、
前記タンクと前記ポンプとを結び、当該タンクに貯留された液体の自重を用いて当該液体をポンプに移送させるためのメイン配管と、を有し、
一端が前記メイン配管の最低位置で当該メイン配管と接続され、他端が大気に開放された排出用配管を用いて、前記タンクおよび前記メイン配管内の液体を気化させて外部に排出する際に、前記タンクおよび前記メイン配管内の液体をすべて排出したのち、当該排出用配管の大気側の空間とメイン配管側の空間とを隔てる液だまりを当該排出用配管内に一時的に生じさせる、液体排出方法。 - 前記排出用配管は、前記他端側にオリフィスが設けられ、
前記排出用配管の前記オリフィスの出口側の近傍に接続した排気通路内に大気を一方向に流通させて、前記液体から気化した気体と大気とを混合して外部に排出する、請求項5に記載の液体排出方法。 - 請求項1ないし4に記載の流体供給装置と、
前記流体供給装置から供給される流体を用いて基体を処理する処理室と、を有する半導体製造装置。 - 請求項1ないし4に記載の流体供給装置から供給される流体を用いて基体の処理をする半導体製造方法。
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