JPWO2019031328A1 - 光学装置 - Google Patents
光学装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019031328A1 JPWO2019031328A1 JP2019535136A JP2019535136A JPWO2019031328A1 JP WO2019031328 A1 JPWO2019031328 A1 JP WO2019031328A1 JP 2019535136 A JP2019535136 A JP 2019535136A JP 2019535136 A JP2019535136 A JP 2019535136A JP WO2019031328 A1 JPWO2019031328 A1 JP WO2019031328A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- emitted
- laser light
- emitted light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 112
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4817—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements relating to scanning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4816—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/497—Means for monitoring or calibrating
- G01S7/4972—Alignment of sensor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
2 光源(出射部)
5 回折格子(光学部材)
7 MEMSミラー(照射手段)
10 受光素子(受光部)
11 集光レンズ
12 ラインセンサ(波長変動検出手段)
13 MEMS制御手段(制御手段)
14 出射制御手段(制御手段)
15 二分割PD(波長変動検出手段)
100 対象物
2 光源(出射部)
5 回折格子(光学部材)
7 MEMSミラー(走査手段)
10 受光素子(受光部)
11 集光レンズ
12 ラインセンサ(波長変動検出手段)
13 MEMS制御手段(制御手段)
14 出射制御手段(制御手段)
15 二分割PD(波長変動検出手段)
100 対象物
Claims (7)
- 出射光を出射する出射部と、
前記出射光を所定の範囲に向けて走査させる走査手段と、
前記出射光を波長に応じた方向に導くことで、前記出射光を前記走査手段に導く光学部材と、
前記出射光の波長の変化により生じる前記光学部材を介した前記出射光の光路変化によって、前記照射手段による前記出射光の走査範囲の変動を抑制するように制御を行う制御手段と、
を有することを特徴とする光学装置。 - 前記走査手段は揺動するミラーであり、
前記制御手段は、前記ミラーの揺動による角度を変化させることで前記出射光の走査範囲の変動を抑制するように制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記制御手段は、前記出射部から出射光を出射させるタイミングを制御することで前記出射光の走査範囲の変動を抑制するように制御を行うことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 前記照射手段から照射された前記出射光が対象物で反射した反射光を受光する受光部を有し、
前記光学部材は、前記反射光を前記受光部に導くことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか一項に記載の光学装置。 - 前記出射部の温度を検出する温度検出手段を有し、
前記制御手段は、前記温度検出手段が検出した前記出射部の温度に基づいて前記走査手段による前記出射光の走査範囲の変動を抑制するように制御を行うことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載の光学装置。 - 前記出射光の波長の変動を検出する波長変動検出手段を有し、
前記制御手段は、前記波長変動検出手段が検出した前記出射光の波長の変動に基づいて前記走査手段による前記出射光の走査範囲の変動を抑制するように制御を行うことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載の光学装置。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光学装置を有し、
前記出射光の出射から、前記受光部による前記出射光の受光までに要した時間に基づき、前記対象物までの距離を測定することを特徴とする距離測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022194873A JP2023029347A (ja) | 2017-08-07 | 2022-12-06 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017152325 | 2017-08-07 | ||
JP2017152325 | 2017-08-07 | ||
PCT/JP2018/028799 WO2019031328A1 (ja) | 2017-08-07 | 2018-08-01 | 光学装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022194873A Division JP2023029347A (ja) | 2017-08-07 | 2022-12-06 | 光学装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019031328A1 true JPWO2019031328A1 (ja) | 2020-08-06 |
Family
ID=65272076
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019535136A Pending JPWO2019031328A1 (ja) | 2017-08-07 | 2018-08-01 | 光学装置 |
JP2022194873A Pending JP2023029347A (ja) | 2017-08-07 | 2022-12-06 | 光学装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022194873A Pending JP2023029347A (ja) | 2017-08-07 | 2022-12-06 | 光学装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11703571B2 (ja) |
EP (1) | EP3667360A4 (ja) |
JP (2) | JPWO2019031328A1 (ja) |
WO (1) | WO2019031328A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11099001B2 (en) * | 2016-12-06 | 2021-08-24 | Pioneer Corporation | Inspection apparatus, inspection method, computer program and recording medium |
JP7315827B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-07-27 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及びその制御方法 |
WO2021168832A1 (zh) * | 2020-02-28 | 2021-09-02 | 华为技术有限公司 | 一种激光探测系统及车辆 |
TWI789666B (zh) * | 2020-12-28 | 2023-01-11 | 國家中山科學研究院 | 溫度監控裝置 |
Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62103587A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | Nec Corp | レ−ザレ−ダ装置 |
JPH03179313A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-05 | Sharp Corp | 光走査装置 |
JPH05133716A (ja) * | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Canon Inc | 双方向空間光通信装置 |
JPH05289017A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-05 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
US5859715A (en) * | 1996-07-19 | 1999-01-12 | Eastman Kodak Company | Diffractive laser scanner |
JP2000214406A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-04 | Asahi Optical Co Ltd | 走査光学装置 |
JP2002257526A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-09-11 | Mensi | レーザ放射を用いたシーンの三次元記録用装置 |
JP2003337217A (ja) * | 2002-05-20 | 2003-11-28 | Sony Corp | 光学フィルター及び画像表示装置 |
JP2008191099A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Olympus Imaging Corp | 投光装置 |
JP2009047744A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Ricoh Co Ltd | 光学系、光源装置、光走査装置、画像形成装置 |
JP2010277029A (ja) * | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光波長選択デバイス及びその光路補正方法 |
JP2011112585A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光測距装置 |
JP2013011657A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2014232252A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光学走査装置及びそれを備えた画像形成装置 |
JP2016206534A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡 |
JP2016217971A (ja) * | 2015-05-25 | 2016-12-22 | 富士通株式会社 | レーザ測距装置 |
JP2017003863A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
JP2017072532A (ja) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | 富士通株式会社 | 距離測定装置、距離測定方法、距離測定プログラムおよびテーブルの作成方法 |
WO2017104613A1 (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 株式会社リコー | 光偏向装置とヘッドアップディスプレイ装置と光書込みユニットと画像形成装置と物体認識装置 |
WO2017122440A1 (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5289017A (en) | 1976-01-20 | 1977-07-26 | Nec Corp | Device for multi input seqential layout |
JPH07220988A (ja) * | 1994-01-27 | 1995-08-18 | Canon Inc | 投影露光方法及び装置及びこれを用いたデバイス製造方法 |
DE10038527A1 (de) * | 2000-08-08 | 2002-02-21 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme |
JP2002190642A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Ando Electric Co Ltd | 波長可変光源 |
JP2004287293A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光走査装置 |
JP2007085832A (ja) | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Omron Corp | 光学式レーダ装置 |
KR100754623B1 (ko) * | 2006-02-01 | 2007-09-05 | 삼성전자주식회사 | 영상 스캔 장치 |
US20070187580A1 (en) * | 2006-02-14 | 2007-08-16 | Microvision, Inc. | Photoluminescent light sources, and scanned beam systems and methods of using same |
JP2011085559A (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Sanyo Electric Co Ltd | ビーム照射装置 |
JP5617550B2 (ja) * | 2010-11-12 | 2014-11-05 | 富士通株式会社 | 光伝送装置、光伝送システム及び光伝送方法 |
JP5121916B2 (ja) * | 2010-12-15 | 2013-01-16 | サンテック株式会社 | 光可変フィルタアレイ装置の校正方法 |
US8699024B2 (en) * | 2011-08-23 | 2014-04-15 | Jds Uniphase Corporation | Tunable optical filter and spectrometer |
US9182278B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-11-10 | Sciaps, Inc. | Wide spectral range spectrometer |
JP6072301B2 (ja) | 2013-12-10 | 2017-02-01 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
EP3190445A4 (en) * | 2014-09-05 | 2017-12-13 | Funai Electric Co., Ltd. | Laser optical device and image projection device |
JP6409511B2 (ja) * | 2014-11-04 | 2018-10-24 | 日本精機株式会社 | ヘッドアップディスプレイ装置 |
JP2017161292A (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 富士通株式会社 | 光測距システムおよび光測距方法 |
-
2018
- 2018-08-01 JP JP2019535136A patent/JPWO2019031328A1/ja active Pending
- 2018-08-01 EP EP18844273.5A patent/EP3667360A4/en not_active Withdrawn
- 2018-08-01 WO PCT/JP2018/028799 patent/WO2019031328A1/ja unknown
- 2018-08-01 US US16/637,731 patent/US11703571B2/en active Active
-
2022
- 2022-12-06 JP JP2022194873A patent/JP2023029347A/ja active Pending
Patent Citations (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62103587A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | Nec Corp | レ−ザレ−ダ装置 |
JPH03179313A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-05 | Sharp Corp | 光走査装置 |
JPH05133716A (ja) * | 1991-11-13 | 1993-05-28 | Canon Inc | 双方向空間光通信装置 |
JPH05289017A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-05 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
US5859715A (en) * | 1996-07-19 | 1999-01-12 | Eastman Kodak Company | Diffractive laser scanner |
JP2000214406A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-04 | Asahi Optical Co Ltd | 走査光学装置 |
JP2002257526A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-09-11 | Mensi | レーザ放射を用いたシーンの三次元記録用装置 |
JP2003337217A (ja) * | 2002-05-20 | 2003-11-28 | Sony Corp | 光学フィルター及び画像表示装置 |
JP2008191099A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Olympus Imaging Corp | 投光装置 |
JP2009047744A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Ricoh Co Ltd | 光学系、光源装置、光走査装置、画像形成装置 |
JP2010277029A (ja) * | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光波長選択デバイス及びその光路補正方法 |
JP2011112585A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光測距装置 |
JP2013011657A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2014232252A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光学走査装置及びそれを備えた画像形成装置 |
JP2016206534A (ja) * | 2015-04-27 | 2016-12-08 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡 |
JP2016217971A (ja) * | 2015-05-25 | 2016-12-22 | 富士通株式会社 | レーザ測距装置 |
JP2017003863A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
JP2017072532A (ja) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | 富士通株式会社 | 距離測定装置、距離測定方法、距離測定プログラムおよびテーブルの作成方法 |
WO2017104613A1 (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 株式会社リコー | 光偏向装置とヘッドアップディスプレイ装置と光書込みユニットと画像形成装置と物体認識装置 |
WO2017122440A1 (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3667360A4 (en) | 2021-04-07 |
JP2023029347A (ja) | 2023-03-03 |
US11703571B2 (en) | 2023-07-18 |
EP3667360A1 (en) | 2020-06-17 |
US20200182980A1 (en) | 2020-06-11 |
WO2019031328A1 (ja) | 2019-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2019031328A1 (ja) | 光学装置 | |
JP2021107832A (ja) | 距離計測装置 | |
JP6103179B2 (ja) | 距離測定装置 | |
JP7117437B2 (ja) | 光学装置 | |
US20230251084A1 (en) | Optical device | |
JP6805504B2 (ja) | 距離測定装置、移動体装置及び距離測定方法 | |
JP2004521355A (ja) | 光学的距離測定装置 | |
EP2781931A2 (en) | Limited reflection type photoelectric sensor | |
JP2011095208A (ja) | 距離測定装置 | |
JP6493018B2 (ja) | レーザ測距装置 | |
JP4996043B2 (ja) | 光波距離測定方法及び光波距離測定装置 | |
JP2003232989A (ja) | 顕微鏡ベースのシステムに対するオートフォーカスモジュール、オートフォーカスモジュールを有する顕微鏡システム、および顕微鏡ベースのシステムに対する自動焦点合わせ方法 | |
WO2019031403A1 (ja) | 光学装置 | |
JP2018040748A (ja) | レーザー距離計測装置 | |
WO2019031327A1 (ja) | 光学装置 | |
JPWO2019176749A1 (ja) | 走査装置及び測定装置 | |
KR20200135944A (ko) | 측거 유닛 및 광 조사 장치 | |
WO2019017245A1 (ja) | 光学装置 | |
JP2011095103A (ja) | 距離測定装置 | |
JP2020046341A (ja) | 投光装置、投受光装置及び測距装置 | |
JP2020067383A5 (ja) | ||
JP6876811B2 (ja) | 光学装置 | |
JP7365247B2 (ja) | レーザドップラ速度計 | |
WO2022030555A1 (ja) | 電磁波検出装置 | |
CN115280164A (zh) | 用于确定产品的速度和/或长度的设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200203 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210316 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220111 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220420 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220906 |