JPWO2018138836A1 - ディスプレイ用電子基板の製造方法、ディスプレイ用電子基板の研磨方法および研磨装置 - Google Patents
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Abstract
液晶ディスプレイまたは有機ELディスプレイに用いる透光性基板を湾曲自在となる薄さになるまでその表面を化学研磨するとともに、透光性基板表面の研磨量を面ごとに調整可能としたディスプレイ用電子基板の製造方法、ディスプレイ用電子基板の研磨方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】
映像の投影領域を構成する電子素子と、基材となる透光性基板と、を積層してなるディスプレイ用電子基板の製造方法が、電子素子を透光性基板に載置固定する固定載置工程と、電子素子を透光性基板で挟む位置に、前記透光性基板とは厚みの異なる他の透光性基板を積層固定する透光性基板積層工程と、積層体を溶融研磨を行うために化学研磨液を用いて化学研磨処理を行う化学研磨工程と、溶融研磨された積層体を洗浄する洗浄工程と、からなり、化学研磨工程は、厚みの異なる一対の透光性基板のうちの何れかが溶融消滅するまで化学研磨処理を行う構成である。
【選択図】 図1
Description
また、前記透光性基板積層工程は、前記化学研磨工程による溶融研磨により一対の透光性基板の一方を溶融消滅させて他方の透光性基板のみを残存させるため、電子素子を透光性基板で挟む位置に、該透光性基板より厚みの薄い透光性基板を積層固定する構成である。
また、前記樹脂フィルムは、UV照射によって粘着性が低下するUVテープによって電子基板に貼付固定される素材からなり、前記樹脂フィルム貼付工程では、電子素子を透光性基板で挟む位置にUVテープを貼付固定するとともに、樹脂フィルム除去工程では、前記積層体からUVテープを剥離除去する構成である。
また、前記化学研磨工程は、前記積層体を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、前記積層体を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記積層体の両側面に継続的に噴射塗布する噴射塗布工程と、からなるとともに、前記噴射塗布工程は、前記積層体の一方の面の研磨量が他方の面の研磨量より大きくなるように、前記積層体の各面ごとに個別に設定された化学研磨液の噴射塗布量を噴射塗布する構成である。
また、前記化学研磨液は、フッ酸、硫酸、塩酸からなる群から選択される一または複数の溶融研磨成分を含有する構成である。
前記ディスプレイ用電子基板を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、前記ディスプレイ用電子基板を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記ディスプレイ用電子基板の両側面に継続的に噴射塗布する化学研磨工程と、からなるとともに、前記化学研磨工程は、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面の透光性基板の研磨量が他方の面の透光性基板の研磨量より大きくなるように、前記ディスプレイ用電子基板の各面ごとに個別に設定された化学研磨液の噴射塗布量を噴射塗布する構成である。
前記ディスプレイ用電子基板を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、前記ディスプレイ用電子基板を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記ディスプレイ用電子基板の両側面に継続的に噴射塗布する化学研磨工程と、からなるとともに、前記化学研磨工程は、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面の透光性基板の研磨量が他方の面の透光性基板の研磨量より大きくなるように、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面にのみ化学研磨液に代えて水からなるリンス液を供給し、前記ディスプレイ用電子基板の各面ごとに化学研磨液またはリンス液を噴射塗布する構成である。
1.電子素子を透光性基板で挟む位置に、透光性基板とは厚みの異なる他の透光性基板を積層固定した上で、一対の透光性基板の何れかが溶融消滅するまで化学研磨処理を行う構成としたため、一方の基板の溶融時間を基準として、他方の基板を溶融することが可能となり、極薄になるまで透光性基板を溶融研磨することが可能となる。
2.透光性基板より厚みのある他の透光性基板を積層固定する構成としたため、透光性基板積層工程において、透光性基板を溶融消滅させて他方の透光性基板のみを残存させることが可能となる。
4.電子素子を透光性基板で挟む位置に、樹脂フィルムを貼付固定するため、樹脂フィルムを貼付した面の化学研磨を抑制することが可能となり、電子基板を研磨処理から保護したり、透光性基板の研磨を抑制して研磨厚の調整を行うことが可能となる。
6.UVテープを介して樹脂フィルムを電子素子を透光性基板で挟む位置に貼付固定することとしたため、UV照射によってUVテープの粘着性を低下させて容易に樹脂フィルムを剥離することが可能となる。
8.電子素子を有機EL素子または液晶パネル用電子素子としたため、有機ELディスプレイおよび液晶ディスプレイの透光性基板を極薄に形成することが可能となる。また、液晶ディスプレイ用の透光性基板の研磨技術をそのまま有機ELディスプレイの透光性基板の研磨に利用することが可能となる。
10.ディスプレイ用電子基板を吊下して、化学研磨液を複数の噴射ノズルから両側面に継続的に噴射塗布するとともに、積層体の一方の面にのみ化学研磨液に代えて水からなるリンス液を供給して噴射塗布する構成としたため、積層体の一方の面の研磨量を他方の面の研磨量より大きくしたディスプレイ用電子基板を構成することが可能となる。
12.ディスプレイ用電子基板を設置手段によって吊下して、化学研磨液を複数の噴射ノズルから両側面に継続的に噴射塗布することでディスプレイ用電子基板を研磨する構成としたため、ムラのない研磨処理を行うことが可能となるとともに、各面ごとに化学研磨液の噴射塗布量を設定する噴射塗布量調整手段を装備したため、ディスプレイ用電子基板の一方の面の研磨量を他方の面の研磨量より大きくすることが可能となる。
14.ディスプレイ用電子基板を吊下して、化学研磨液を複数の噴射ノズルから両側面に継続的に噴射塗布することでディスプレイ用電子基板を研磨する構成としたため、ムラのない研磨処理を行うことが可能となるとともに、各面ごとに化学研磨液の噴射塗布量を設定することとしたため、ディスプレイ用電子基板の一方の面の研磨量を他方の面の研磨量より大きくすることが可能となる。
図1aから図1cは、本発明に係るディスプレイ用電子基板の製造方法のフロー図である。図2aは、電子素子を積層した透光性基板の断面図であり、図2bは、電子素子を透光性基板で挟んだ積層体の断面図である。図2cは、化学研磨処理を施した積層体の断面図であり、図2dは、個片化した積層体の断面図である。
12a・12b 透光性基板
13 UVテープ
14 電子素子
14a 有機樹脂
14b 有機材料
14c 樹脂製封止部材
14e 樹脂素材
14f TFT回路パターン
15a・15b・15c・15d 積層体
16a・16b・16c・16d・16e 積層体
17a・17b・17c・17d・17e・17f 積層体
18 樹脂フィルム
19a 第一樹脂フィルム
19b 第二樹脂フィルム
20 化学研磨液
22 リンス液
100 ディスプレイ用電子基板の製造方法
110 固定載置工程
120 透光性基板積層工程
130 化学研磨工程
140 洗浄工程
200 ディスプレイ用電子基板の製造方法
210 固定載置工程
220 樹脂フィルム貼付工程
230 化学研磨工程
240 洗浄工程
250 樹脂フィルム除去工程
300 ディスプレイ用電子基板の製造方法
310 樹脂フィルム貼付工程
320 固定載置工程
330 樹脂素材積層工程
340 樹脂フィルム積層工程
350 化学研磨工程
360 洗浄工程
370 個片処理工程
380 樹脂フィルム除去工程
410 設置工程
420 噴射塗布工程
500 ディスプレイ用電子基板の研磨装置
510 設置手段
520 噴射ノズル
530 化学研磨液供給手段
532 噴射塗布量調整手段
534 噴射液切換手段
540 洗浄手段
550 枠体
600 ディスプレイ用電子基板の研磨方法
610 設置工程
620 化学研磨工程
Claims (15)
- 映像の投影領域を構成する電子素子と、ガラスまたはプラスチックからなる基材となる透光性基板と、を積層してなるディスプレイ用電子基板の製造方法が、
電子素子を透光性基板に載置固定する固定載置工程と、
電子素子を透光性基板で挟む位置に、前記透光性基板とは厚みの異なるガラスまたはプラスチックからなる他の透光性基板を積層固定する透光性基板積層工程と、
前記透光性基板積層工程で得られた積層体をディップ方式または噴射塗布方式により溶融研磨を行うために化学研磨液を用いて化学研磨処理を行う化学研磨工程と、
前記化学研磨工程の後に溶融研磨された前記積層体を洗浄する洗浄工程と、からなり、
前記化学研磨工程は、厚みの異なる一対の透光性基板のうちの何れかが溶融消滅するまで化学研磨処理を行うことを特徴とするディスプレイ用電子基板の製造方法。 - 前記透光性基板積層工程は、前記化学研磨工程による溶融研磨により一対の透光性基板の一方を溶融消滅させて他方の透光性基板のみを残存させるため、電子素子を透光性基板で挟む位置に、該透光性基板より厚みのある透光性基板を積層固定することを特徴とする請求項1記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。
- 前記透光性基板積層工程は、前記化学研磨工程による溶融研磨により一対の透光性基板の一方を溶融消滅させて他方の透光性基板のみを残存させるため、電子素子を透光性基板で挟む位置に、該透光性基板より厚みの薄い透光性基板を積層固定することを特徴とする請求項1記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。
- 映像の投影領域を構成する電子素子と、ガラスまたはプラスチックからなる基材となる透光性基板と、を積層してなるディスプレイ用電子基板の製造方法が、
電子素子を透光性基板に載置固定する固定載置工程と、
電子素子を透光性基板で挟む位置に、化学研磨液による溶融研磨に耐性を有する樹脂フィルムを貼付固定する樹脂フィルム貼付工程と、
前記樹脂フィルム貼付工程で得られた積層体をディップ方式または噴射塗布方式により溶融研磨を行うために化学研磨液を用いて化学研磨処理を行う化学研磨工程と、
前記化学研磨工程の後に溶融研磨された前記積層体を洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程で得られた積層体に貼付固定された樹脂フィルムを剥離除去する樹脂フィルム除去工程と、
からなることを特徴とするディスプレイ用電子基板の製造方法。 - 前記化学研磨工程は、透光性基板が溶融消滅するまで化学研磨処理を行うことを特徴とする請求項4記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。
- 前記樹脂フィルムは、UV照射によって粘着性が低下するUVテープによって電子基板に貼付固定される素材からなり、前記樹脂フィルム貼付工程では、電子素子を透光性基板で挟む位置にUVテープを介して樹脂フィルムを貼付固定するとともに、樹脂フィルム除去工程では、前記積層体からUVテープを剥離することで樹脂フィルムを除去することを特徴とする請求項4記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。
- 映像の投影領域を構成する電子素子と、ガラスまたはプラスチックからなる基材としての透光性基板と、を積層して形成されるディスプレイ用電子基板の製造方法が、
透光性基板に化学研磨液による溶融研磨に耐性を有する第一樹脂フィルムを貼付固定する樹脂フィルム貼付工程と、
透光性基板の樹脂フィルムを貼付した面に電子素子を載置固定する固定載置工程と、
前記固定載置工程による積層体に電子素子を保護する為の樹脂素材を積層する樹脂素材積層工程と、
前記樹脂素材積層工程で得られた樹脂素材の積層された積層体に、更に化学研磨液による溶融研磨に耐性を有する第二樹脂フィルムを積層固定する樹脂フィルム積層工程と、
前記樹脂フィルム積層工程で得られた更なる積層体をディップ方式または噴射塗布方式により溶融研磨を行うために化学研磨液を用いて化学研磨処理を行う化学研磨工程と、
前記化学研磨工程の後に溶融研磨された前記積層体を洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程で得られた洗浄された積層体を切断して個片処理を行う個片処理工程と、
前記個片処理工程で得られた各積層体に積層固定されていた透光性基板を剥離除去する透光性基板除去工程と、
からなることを特徴とするディスプレイ用電子基板の製造方法。 - 前記電子素子は、有機化合物層を第1の電極および第2の電極で挟持する有機EL素子、または、対向する配向膜間の空隙に液晶層を備えた上で更にそれらを一対の電極で挟持する液晶パネル用の電子素子からなることを特徴とする請求項1、請求項4または請求項7に記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。
- 前記化学研磨工程は、
前記積層体を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、
前記積層体を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記積層体の両側面に継続的に噴射塗布する噴射塗布工程と、からなるとともに、
前記噴射塗布工程は、前記積層体の一方の面の研磨量が他方の面の研磨量より大きくなるように、前記積層体の各面ごとに個別に設定された化学研磨液の噴射塗布量を噴射塗布することを特徴とする請求項1、請求項4または請求項7に記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。 - 前記化学研磨工程は、
前記積層体を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、
前記積層体を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記積層体の両側面に継続的に噴射塗布する噴射塗布工程と、からなるとともに、
前記噴射塗布工程は、前記積層体の一方の面の研磨量が他方の面の研磨量より大きくなるように、前記積層体の一方の面にのみ化学研磨液に代えて水からなるリンス液を供給し、前記積層体の各面ごとに化学研磨液またはリンス液を噴射塗布することを特徴とする請求項1、請求項4または請求項7に記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。 - 前記化学研磨液は、フッ酸、硫酸、塩酸からなる群から選択される一または複数の溶融研磨成分を含有することを特徴とする請求項1、請求項4または請求項7に記載のディスプレイ用電子基板の製造方法。
- ディスプレイ用電子基板の表面および/または裏面を構成するガラスまたはプラスチックからなる透光性基板を均質に研磨するためのディスプレイ用電子基板の研磨装置が、
ディスプレイ用電子基板を垂直に吊下して設置固定する設置手段と、前記ディスプレイ用電子基板の透光性基板を溶融研磨するための化学研磨液を前記ディスプレイ用電子基板の表裏両面から継続的に噴射塗布する複数からなる噴射ノズルと、前記噴射ノズルに対する化学研磨液を供給する化学研磨液供給手段と、前記噴射ノズルから噴射塗布された化学研磨液による溶融研磨の後に透光性基板が溶融研磨された前記ディスプレイ用電子基板を洗浄する洗浄手段と、からなり、
前記化学研磨液供給手段は、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面の化学研磨液の噴射塗布量が他方の面の噴射塗布量より大きくなるように、前記ディスプレイ用電子基板の各面ごとに化学研磨液の噴射塗布量を個別の設定量に制御する噴射塗布量調整手段を装備したことを特徴とするディスプレイ用電子基板の研磨装置。 - ディスプレイ用電子基板の表面および/または裏面を構成するガラスまたはプラスチックからなる透光性基板を均質に研磨するためのディスプレイ用電子基板の研磨装置が、
ディスプレイ用電子基板を垂直に吊下して設置固定する設置手段と、前記ディスプレイ用電子基板の透光性基板を溶融研磨するための化学研磨液を前記ディスプレイ用電子基板の表裏両面から継続的に噴射塗布する複数からなる噴射ノズルと、前記噴射ノズルに対する化学研磨液を供給する化学研磨液供給手段と、前記噴射ノズルから噴射塗布された化学研磨液による溶融研磨の後に透光性基板が溶融研磨された前記ディスプレイ用電子基板を洗浄する洗浄手段と、からなり、
前記化学研磨液供給手段は、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面にのみ化学研磨液に代えて水からなるリンス液を供給するように、前記ディスプレイ用電子基板の各面ごとに化学研磨液とリンス液の各噴液を切り換える噴射液切換手段を装備したことを特徴とするディスプレイ用電子基板の研磨装置。 - ディスプレイ用電子基板の表面および/または裏面を構成するガラスまたはプラスチックからなる透光性基板を均質に研磨するためのディスプレイ用電子基板の研磨方法が、
前記ディスプレイ用電子基板を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、
前記ディスプレイ用電子基板を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記ディスプレイ用電子基板の両側面に継続的に噴射塗布する化学研磨工程と、からなるとともに、
前記化学研磨工程は、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面の透光性基板の研磨量が他方の面の透光性基板の研磨量より大きくなるように、前記ディスプレイ用電子基板の各面ごとに個別に設定された化学研磨液の噴射塗布量を噴射塗布することを特徴とするディスプレイ用電子基板の研磨方法。 - ディスプレイ用電子基板の表面および/または裏面を構成するガラスまたはプラスチックからなる透光性基板を均質に研磨するためのディスプレイ用電子基板の研磨方法が、
前記ディスプレイ用電子基板を垂直に吊下して設置固定する設置工程と、
前記ディスプレイ用電子基板を溶融研磨するための化学研磨液を複数の噴射ノズルから前記ディスプレイ用電子基板の両側面に継続的に噴射塗布する化学研磨工程と、からなるとともに、
前記化学研磨工程は、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面の透光性基板の研磨量が他方の面の透光性基板の研磨量より大きくなるように、前記ディスプレイ用電子基板の一方の面にのみ化学研磨液に代えて水からなるリンス液を供給し、前記ディスプレイ用電子基板の各面ごとに化学研磨液またはリンス液を噴射塗布することを特徴とするディスプレイ用電子基板の研磨方法。
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