JPWO2018074539A1 - 硬化膜の形成方法、感放射線樹脂組成物、硬化膜を備える表示素子及びセンサー - Google Patents
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Abstract
Description
一方、着色剤等を含む感放射線性である硬化性組成物は、表示素子、イメージセンサー等の形成に広く用いられているが、着色パターン形成においては、着色機能等を効率良く実現させる観点から、近年は着色剤等を高濃度にした硬化性組成物が求められている。
1)基板上に、撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層を形成する工程、
前記親液性表面を含む層に、硬化性組成物を塗布し塗膜を形成する工程、
前記塗膜を硬化させる工程及び、
前記撥液性表面を含む層を現像液で現像して除去する工程、
とを備え、前記撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層のテトラデカンに対する接触角差が、30°以上である、硬化膜の形成方法。
本発明の一実施形態に係る硬化膜の形成方法は、
基板上に、撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層を形成する工程(A)、上記親液性表面を含む層に、硬化性組成物を塗布する工程(B)、上記塗膜を硬化させる工程(C)及び、撥液性表面を含む層を除去する工程(D)を備える。
撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層を形成する工程(A)は、テンプレート用塗膜を形成する工程(A−1)、放射線の照射により、親液性表面を含む層を形成する工程(A−2)、及び現像によりパターンを形成する工程(A−3)から好ましく構成される。
テンプレート用塗膜形成工程(A−1)は、感放射線性組成物により、撥液性の表面を有するテンプレート用塗膜を形成する工程である。感放射線性組成物は、酸解離性基を有する重合体及び感放射線性酸発生体を含む。酸解離性基とは、例えばフェノール性水酸基、カルボキシル基、スルホン酸基等の酸性官能基中の水素原子を置換した基をいい、酸の存在下で解離する基をいう。この感放射線性組成物については、後に詳述する。工程(A−1)は、具体的には、図1に示すように、基板10表面への感放射線性組成物の塗布により、テンプレート用塗膜11を形成する。
親液性表面を含む層形成工程(A−2)は、図1に示すように、テンプレート用塗膜11の一部の表面領域への放射線(hν)の照射(露光)により、親液性表面を含む層12を形成する工程である。なお、感放射線性組成物から得られるテンプレート用塗膜11の表面は、撥液性を有しており、放射線が照射された領域が親液性表面を含む層12となる。
一方、放射線が照射されていない領域は撥液性表面を含む層13である。
現像工程(A−3)は、放射線が照射されたテンプレート用塗膜11を現像する工程である。この現像により、放射線が照射された領域(親液性表面を含む層12)において酸解離性基を解離させることができる。これにより、放射線が照射された部分が親液性表面を含む層となり、現像液によって除去することができる。これにより基板表面が露出することで、親液性表面を含む層の濡れ性がより高まる。また、工程(A−4)として現像条件を変更することで、基板表面を露出ることなく、一部膜を残すことによっても親液性表面を含む層を形成することができる。
硬化性組成物を塗布する工程(B)は、放射線が照射されたテンプレート用塗膜表面または基材面への硬化性組成物を塗布することにより、硬化性組成物の塗膜を形成する工程である(図3、図4参照)。
硬化性組成物は、特に限定されるものではない。例えば、熱または光で架橋する成分を含有する硬化性材料であればよく、重合性化合物、重合開始剤、添加剤、例えば着色剤、蛍光物質、金属酸化物、樹脂等を含んでよく、硬化性樹脂組成物も好ましく使用することができる。ここで添加剤とは、重合に寄与しない成分をいう。
例えば、特開2012−149141号公報、特開2013−237835号公報等に記載の硬化性組成物が挙げられる。
重合性化合物としては、2個以上の重合可能な基を有する化合物が好ましく、重合可能な基としては、例えば、エチレン性不飽和基、オキシラニル基、オキセタニル基、N−アルコキシメチルアミノ基等を挙げることができる。本発明において、重合性化合物としては、2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物、又は2個以上のN−アルコキシメチルアミノ基を有する化合物が好ましい。
本発明の硬化性組成物は添加剤としての着色剤等を含む硬化性組成物であることが好ましい。添加剤としては、着色顔料、染料、カーボンブラック、高屈折率である金属酸化物、中空粒子等があげられる。
カーボン材料としては、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラファイト、カーボンブラック材料が挙げられ、例えば、特開2016−83618号公報、特開2016-162863号公報、特開2007−249113号公報等に記載のカーボン材料が挙げられる。
重合開始剤としては、以下の光重合開始剤を含有させることができる。光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、重合性化合物の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。光重合開始剤は、1種又は2種以上を混合して使用することができる。
ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−2−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−クロロフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,4−ジメトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)デシルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−オクチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロ3,4,5−トリメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジクロロ−3,4,5−トリメトキシベンゾイル)−4−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2−メチル−1−ナフトイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2−メチル−1−ナフトイル)−4−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2−メチル−1−ナフトイル)−2−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス(2−メチル−1−ナフトイル)−4−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2−メチル−1−ナフトイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2−メトキシ−1−ナフトイル)−4−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2−クロロ−1−ナフトイル)−2,5−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド等のビスアシルホスフィンオキサイド;などが挙げられる。このほか、特開平3−101686号公報、特開平5−345790号公報、特開平6−298818号公報に記載のアシルホスフィン化合物を用いることもできる。
上記以外の光重合開始剤としては、例えば、特開2010−134419の段落〔0079〕〜〔0095〕に例示されているものを挙げることができる。
特に工業的な観点から、硬化組成物の省液化が可能であり、かつ所望の位置に硬化組成物を塗布しやすいインクジェット法が好ましい。
放射線照射工程は、硬化性組成物が塗布された側に放射線(hν)を照射する工程である。この場合、フォトマスクを介して露光することもできるが、フォトマスクを使用しないで露光することもできる。この場合、硬化性組成物が塗布された親水性領域は硬化し、疎水性領域は酸解離性が解離するため、親水性領域となる。この場合、アルカリ性水溶液で現像することで、硬化した部分以外の領域を除去することができる(図7、図8参照)。
また、本発明において得られる硬化膜を逆テーパ形状(上が大きく下が小さい下向き台形やT字型の形状をいう)で得られることができる。
前記感放射線性組成物は、特に制限されないが、該組成物から形成された塗膜の一部が、放射線の照射および加熱により、揮発、分解するような組成物であることが好ましく、酸解離性基を有する重合体(以下「[A]重合体」ともいう。)および酸発生剤(以下「[C]酸発生剤」ともいう。)を含有する組成物であることがより好ましい。
前記組成物は、[C]酸発生剤の補助材料として、更に、増感剤を含んでもよく、[C]酸発生剤からの酸の拡散抑制材料としてクエンチャーを含んでもよい。
さらに、前記組成物は、本発明の効果を損なわない限り、その他の任意成分を含有してもよい。
前記[A]重合体は、酸により、解離する性質を有する基を含有する重合体であれば特に制限されない。
以下、[A]重合体を得るための2つの方法について、より具体的に説明する。
この方法では、水酸基またはカルボキシル基を有するモノマーを重合して水酸基またはカルボキシル基を有する重合体(前駆体)を得て、その後、前駆体となる重合体の水酸基またはカルボキシル基に前記化合物(1)を反応させて、[A]重合体を得ることができる。
水酸基を有するモノマーは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を使用してもよい。
カルボキシル基を有するモノマーは、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を使用してもよい。
この方法では、水酸基またはカルボキシル基を有するモノマーの水酸基またはカルボキシル基に前記化合物(1)を反応させて付加物を得て、それらを重合させることで、[A]重合体を得る。このような[A]重合体を得る方法は、公知の方法を参考にすることができる。
[B]溶剤としては特に限定されないが、[A]重合体の他、後述する[C]酸発生剤および任意成分の重合性化合物等の各成分を均一に溶解または分散することができる溶剤が好ましい。
[C]酸発生剤は、少なくとも放射線の照射によって酸を発生する化合物である。感放射線性組成物が、[C]酸発生剤を含有することで、[A]重合体から酸解離性基を解離させることができる。
[C]酸発生剤は、単独または2種類以上を用いてもよい。
上述のオキシムスルホネート化合物としては、下記式(5)で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物が好ましい。
オニウム塩としては、例えば、ジフェニルヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウム塩、アルキルスルホニウム塩、ベンジルスルホニウム塩、ジベンジルスルホニウム塩、置換ベンジルスルホニウム塩、ベンゾチアゾニウム塩、テトラヒドロチオフェニウム塩が挙げられる。これらの内、特にトリフェニルスルホニウム塩が好ましい。
[C]酸発生剤として好ましいスルホンイミド化合物としては、例えば、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(カンファスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(4−メチルフェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(4−フルオロフェニルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(カンファスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(2−トリフルオロメチルフェニルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(2−フルオロフェニルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(カンファスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミドが挙げられる。
その他の任意成分としては、界面活性剤、保存安定剤、接着助剤、耐熱性向上剤等を配合することができる。これらの任意成分の具体例、配合例はWO2014/178279号公報に記載の具体例、配合例を参考にすることができる。
以下の合成例で得られた重合体のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)及び分子量分布(Mw/Mn)は、以下の条件で測定した。
・測定方法:ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法
・標準物質:ポリスチレン換算
・装置 :東ソー社の「HLC−8220」
・カラム :東ソー社のガードカラム「HXL−H」、「TSK gel G7000HXL」、「TSK gel GMHXL」2本、及び「TSK gel G2000HXL」を順次連結したもの
・溶媒 :テトラヒドロフラン
・サンプル濃度:0.7質量%
・注入量 :70μL
・流速 :1mL/min
1H−NMRは、溶媒としてCDCl3を用い、核磁気共鳴装置(Bruker社の「AVANCEIII AV400N」)を用い、温度25℃の条件下で測定した。
<重合体の合成>
[合成例1]
冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)8質量部、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン2質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300質量部を仕込んだ。引き続き4-ヒドロキシフェニルメタクリレート60質量部、メタクリル酸メチル40質量部を仕込み、窒素雰囲気下、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を4時間保持して重合することにより、共重合体である重合体(A−1)を含有する溶液を得た(固形分濃度=26.1質量%、Mw=23000、Mw/Mn=2.6)。尚、固形分濃度は共重合体溶液の全質量に占める共重合体質量の割合を意味する。
冷却管および攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7質量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200質量部を仕込んだ。引き続きメタクリル酸5質量部、テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルメタクリレート40質量部、スチレン5質量部、メタクリル酸グリシジル40質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート10質量部およびα−メチルスチレンダイマー3質量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し、共重合体である重合体(P−2)を含む重合体溶液を得た。重合体(P−2)のポリスチレン換算質量平均分子量(Mw)は9000であった。また、ここで得られた重合体溶液の固形分濃度は、31.3質量%であった。
上記合成例1で得られた[A]重合体(P−1)を100質量部、[C]酸発生剤としてPA−528(ヘレウス社)を2質量部、クエンチャーとして2−フェニルベンゾイミダゾールを0.1質量部混合し、界面活性剤としてポリフローNo95(共栄社化学(株)製)0.1質量部を加え、溶剤を除く成分全量を100質量%としたときに30質量%となるように、それぞれ[B]溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタでろ過することにより、感放射線性組成物(X−1)を調製した。
上記合成例1で得られた[A]重合体(P−1)を2質量部、合成例2で得られた重合体(P−2)を98質量部、[C]酸発生剤としてN−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステルを2質量部、増感剤として2,4−ジエチルチオキサントンを0.5質量部、および、クエンチャーとして2−フェニルベンゾイミダゾールを0.2質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン3質量部を混合し、界面活性剤としてポリフローNo95(共栄社化学(株)製)0.1質量部を加え、溶剤を除く成分全量を100質量%としたときに30質量%となるように、それぞれ[B]溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタでろ過することにより、感放射線性組成物(X−2)を調製した。
上記合成例2で得られた[A]重合体(P−2)を100質量部、[C]酸発生剤としてN−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステルを2質量部、増感剤として2,4−ジエチルチオキサントンを0.5質量部、および、クエンチャーとして2−フェニルベンゾイミダゾールを0.2質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン3質量部を混合し、界面活性剤としてポリフローNo95(共栄社化学(株)製)0.1質量部を加え、溶剤を除く成分全量を100質量%としたときに30質量%となるように、それぞれ[B]溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタでろ過することにより、感放射線性組成物(X−3)を調製した。
上記の感放射線性組成物(X−1)から(X−3)を用いて、基板上に塗膜を形成し、露光、現像工程を経てテンプレートを形成した。以下に形成方法を示す。テンプレートパターン(T−1〜T−7)と記す。
9.5cm角の無アルカリガラス基板(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製))上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−1)をスピンナーにより0.5μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(ライン&スペース=50μm/450μm)を介して高圧水銀ランプを用いて露光量を200mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて90℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
残留した撥液性表面を含む層のテトラデカンに対する接触角は60°、水に対する接触角は109°であり、膜が存在しない親液性表面のテトラデカンに対する接触角は8°、水に対する接触角は23°となり、撥液性表面を含む層は十分に撥液性であることを確認した。
9.5cm角の無アルカリガラス基板(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製))上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−1)をスピンナーにより10μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(ライン&スペース=10μm/30μm)を介して高圧水銀ランプを用いて露光量を300mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて90℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
6インチガラスウェハ(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製)上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−2)をスピンナーにより10μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(10μm×10μm)を介してミラープロジェクションアライナー(CANON(株)製)を用いて露光量を300mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて70℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
9.5cm角の無アルカリガラス基板(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製))上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−2)をスピンナーにより2μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(ライン&スペース=50μm/450μm)を介して高圧水銀ランプを用いて露光量を200mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて90℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
6インチガラスウェハ(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製)上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−2)をスピンナーにより10μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(ライン&スペース=10μm/30μm)を介してミラープロジェクションアライナー(CANON(株)製)を用いて露光量を200mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて70℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
6インチガラスウェハ(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製)上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−2)をスピンナーにより5μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(ライン&スペース=10μm/30μm)を介してミラープロジェクションアライナー(CANON(株)製)を用いて露光量を200mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて70℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
9.5cm角の無アルカリガラス基板(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製))上に、上記で調製した感放射線性樹脂組成物(X−3)をスピンナーにより2μmの膜厚になるように塗布した後、90℃のホットプレート上で3分間プレベークすることにより塗膜を形成した。得られた塗膜にフォトマスク(ライン&スペース=50μm/450μm)を介して高圧水銀ランプを用いて露光量を200mJ/cm2として放射線照射を行った。続いて70℃のホットプレート上で15分間ベークを行った。
以下のように硬化性組成物を、硬化性インク組成物として調製した。
<硬化性インク組成物(B−1)の調製>
重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(30質量部)、トリメチロールプロパントリアクリレート(30質量部)、イソボルニルアクリレート(35質量部)、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(5質量部)、光重合開始剤としてIrgacure907(BASF社、8質量部)、着色材としてベーシックブルー7(TCI社、0.5質量部)を均一になるまで攪拌し、インク組成物(B−1)を調製した。
重合性化合物としてジペンタエリスリトールポリアクリレート(新中村化学工業(株)製のA−9550)61.8質量部と、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(BASF社製のIrgacure184)3.0質量部とを混合溶解し、均一な組成物を得た。乳化剤としてアニオン系界面活性剤(日本乳化剤(株)製のニューコール707SF、有効成分濃度30質量%)3.3質量部(有効成分換算)と、水60質量部とを前記組成物に加え、氷冷下で超音波分散機を用いて分散・混合することにより、前記単量体の水性分散体を調製した。
重合性化合物としてトリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)100質量部、光重合開始剤としてIrgacure907(BASF社、3質量部)、黒色顔料としてカーボンブラックMA100R(三菱化学社製、20質量部)を加え、室温下でよく撹拌し、インク組成物(B−3)を調製した。
カーボンブラック(プリンテックス45、平均一次粒子径26nm 、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製)15質量部、分散剤としてDISPERBYK−168(ビックケミ−社製)を5質量部、重合禁止剤としてパラメトキシフェノール0.1質量部、反応性希釈剤としてフェノキシエチルアクリレート60質量部、トリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)20質量部を混合し、ビーズミルで一昼夜練肉し、黒色分散液(V−1)を調製した。
カーボンブラック(プリンテックス45、平均一次粒子径26nm 、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製)20質量部、分散剤としてDISPERBYK−161(ビックケミ−社製)を5質量部、分散助剤としてソルスパース5000(ルーブリゾール社製)を1質量部、溶剤として3−メトキシブタノールを74質量部を混合し、ビーズミルで一昼夜練肉し、黒色分散液(V−2)を調製した。
上記黒色分散液(V−2)97.6質量部に架橋剤としてEPICLON EXA−4816(DIC社製)1.84質量部、酸発生剤としてN−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステル0.34質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.24質量部を混合し、溶剤を除く成分全量に対しカーボンブラック濃度が70質量%であるインク組成物(B−6)を調製した。
上記黒色分散液(V−2)87.8質量部に架橋剤としてEPICLON EXA−4816(DIC社製)8.6質量部、酸発生剤としてN−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステル1.6質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン1.1質量部、撥インク剤としてサーフロンS386(フッ素系撥液剤、AGCセイミケミカル社製)を0.88質量部混合し、溶剤を除く成分全量に対しカーボンブラック濃度が50質量%であるインク組成物(B−7)を調製した。
上記黒色分散液(V−2)87.8質量部に架橋剤としてEPICLON EXA−4816(DIC社製)8.6質量部、酸発生剤としてN−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステル1.6質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン1.1質量部、撥インク剤としてモディパーFS700(シリコン系撥液剤、日油社製)を0.88質量部混合し、溶剤を除く成分全量に対しカーボンブラック濃度が50質量%であるインク組成物(B−8)を調製した。
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート150質量部を仕込んで窒素置換した。80℃に加熱して、同温度で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50質量部、2−メタクリロイロキシエチルコハク酸30質量部、ベンジルメタクリレート10質量部、2−エチルヘキシルメタクリレート60質量部および2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)6質量部の混合溶液を2時間かけて滴下し、この温度を保持して1時間重合した。
重合性化合物としてトリメチロールプロパントリアクリレート(TMPTA)100量部、光重合開始剤としてIrgacure907(BASF社、3質量部)、金属酸化物料として酸化チタン(20質量部)を加え、室温下でよく撹拌し、インク組成物(B−10)を調製した。
酸化チタン(C R − 5 0、平均粒子径250nm 、石原産業社製)40質量部、分散剤としてDISPERBYK−145(ビックケミ−社製)を5質量部、溶剤として3−メトキシブタノール55質量部を混合し、ビーズミルで一昼夜練肉し、白色分散液(V−3)を調製した。
上記白色分散液(V−3)89.2質量部に架橋剤としてEPICLON EXA−4816(DIC社製)8.2質量部、酸発生剤としてN−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホン酸エステル1.5質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン1.06質量部を混合し、溶剤を除く成分全量に対し酸化チタン濃度が70質量%であるインク組成物(B−12)を調製した。
本発明の硬化性インク組成物による硬化膜は、すべて絶縁体であった。
≪アルカリ可溶性樹脂の合成≫
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコ内で、メタクリル酸15.0g、アセナフチレン30.0g、ベンジルメタクリレート40.0g、ヒドロキシエチルメタクリレート10.0g及びω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート5.0gを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート220gに溶解した。次いで、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル4.0g及びα−メチルスチレンダイマー6.0gを投入し、フラスコ内を15分間窒素パージした。
≪黒色顔料分散液(V−4)の調製≫
カーボンブラック(プリンテックス45、平均一次粒子径26nm、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製)20.0質量部と、DISPERBYK−2001(ビックケミ−社製)4.0質量部と、溶剤として3−メトキシブチルアセテートと、を固形分濃度が24質量% となるよう用いて、ビーズミルにより混合して、黒色顔料分散液(V−4)を調製した。
≪黒色レジスト組成物の調製≫
黒色顔料分散液(V−4)150質量部と、アルカリ可溶性樹脂(P−3)を含む重合溶液(固形分濃度33質量% )19質量部と、重合性オリゴマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート10.0質量部と、光重合開始剤として2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン2.6質量部、2,2’ −ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール2.0質量部、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン0.7質量部と添加剤として2−メルカプトベンゾチアゾール1.0質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.7質量部と、界面活性剤としてメガファックF475(DIC社製)0.02質量部と、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10.0質量部と、シクロヘキサノン17.0質量部とを混合して、溶剤を除く成分全量に対しカーボンブラック濃度が60質量%である黒色レジスト組成物(B−13)を得た。
≪白色顔料分散液(V−5)の調製≫
酸化チタン(CR−50、平均粒子径250nm、石原産業社製)40.0質量部と、DISPERBYK−2096(ビックケミ−社製)5.0質量部と、溶剤として55−メトキシブチルアセテートとを固形分濃度が45質量%となるよう用いて、ビーズミルにより混合して、白色顔料分散液(V−5)を調製した。
≪白色レジスト組成物の調製≫
白色顔料分散液(V−5)150質量部と、アルカリ可溶性樹脂(P−3)を含む重合溶液(固形分濃度33質量% )19質量部と、重合性オリゴマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート10.0質量部と、光重合開始剤として2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン2.6質量部、2,2’ −ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール2.0質量部、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン0.7質量部と添加剤として2−メルカプトベンゾチアゾール1.0質量部、密着助剤として3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.7質量部と、界面活性剤としてメガファックF475(DIC社製)0.02質量部と、溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10.0質量部と、シクロヘキサノン17.0質量部とを混合して、溶剤を除く成分全量に対し酸化チタン濃度が74質量%である白色レジスト組成物(B−14)を得た。
上記で作製したテンプレートに対し、パターニング性を評価した。
[実施例1]
感放射線性樹脂組成物(X−1)を用いて得られた、0.5μmの膜厚、50μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−1)上に、インク組成物(B−1)をシリンジ塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、50μmの現像パターン上に選択的に塗布された。その後、高圧水銀ランプを用いて露光量を1000mJ/cm2として、基板全体に放射線照射を行い、続いて70℃で15分間加熱することによりインク組成物を硬化させた。
感放射線性樹脂組成物(X−1)を用いて得られた、10μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−2)上に、インク組成物(B−1)をダイマティックス・マテリアルプリンター DMP−2831(富士フイルムグローバルグラフィックシステムズ社)を用いてインクジェット塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、10μmの膜厚、10μm×10μmの四角状撥液性テンプレート(T−3)(図16)上に、インク組成物(B−1)をダイマティックス・マテリアルプリンター DMP−2831(富士フイルムグローバルグラフィックシステムズ社)を用いてインクジェット塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μm×10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターンは10μm×10μmであり、テンプレートに合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、2.0μmの膜厚、50μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−4)上に、インク組成物(B−2)をディップ塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、50μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は50μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−1)を用いて得られた、撥液性テンプレート(T−2)上に、インク組成物(B−3)をダイマティックス・マテリアルプリンター DMP−2831(富士フイルムグローバルグラフィックシステムズ社)を用いインクジェット塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μm幅の現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、10μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−5)(図18)上に、インク組成物(B−4)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された(図19)。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−5)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−6)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−7)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−8)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、2.0μmの膜厚、50μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−3)上に、インク組成物(B−9)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところ、インク組成物は撥液パターン上には残らず、50μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は50μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−10)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−11)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−2)を用いて得られた、5μmの膜厚、10μm幅のライン状撥液性テンプレート(T−6)上に、インク組成物(B−12)をマイクロキャピラリ−を用い塗布したところインク組成物は撥液パターン上には残らず、10μmの現像パターン上に選択的に塗布された。
得られたパターン幅は10μmであり、テンプレート幅に合わせたパターンが良好に形成された。
感放射線性樹脂組成物(X−3)を用いて得られた、撥液性テンプレートパターン(T−7)上に、インク組成物(B−1)をシリンジ塗布したところインク組成物は50μmの現像パターン上に選択的に塗布されることなく濡れ広がってしまい、パターニングすることが出来なかった。
感放射線性樹脂組成物(X−3)を用いて得られた、撥液性テンプレートパターン(T−7)上に、インク組成物(B−2)をディップ塗布したところインク組成物は50μmの現像パターン上に選択的に塗布されることなく全面に塗布されてしまい、パターニングすることが出来なかった。
感放射線性樹脂組成物(X−3)を用いて得られた、撥液性テンプレートパターン(T−7)上に、インク組成物(B−3)をダイマティックス・マテリアルプリンター DMP−2831(富士フイルムグローバルグラフィックシステムズ社)を用いインクジェット塗布したところインク組成物は50μmの現像(T−7)パターン上に選択的に塗布されることなく濡れ広がってしまい、パターニングすることが出来なかった。
黒色レジスト組成物(B−13)を、シリコンウエハ基板に、スピンコーターを用いて塗布した後、90℃のホットプレート上で150秒間プレベークを行って、膜厚1.7μmの被膜を形成した。次いで、基板を室温に冷却し、露光装置( 商品名「マスクアライナーMA200e」、SUSS社製)を用いて、幅50μmサイズを有するフォトマスクを介して、被膜に365nm、405nm及び436nmの各波長を含む紫外線を露光した。
白色レジスト組成物(B−14)を、シリコンウエハ基板に、スピンコーターを用いて塗布した後、90℃のホットプレート上で150秒間プレベークを行って、膜厚1.7μmの被膜を形成した。次いで、基板を室温に冷却し、露光装置( 商品名「マスクアライナーMA200e」、SUSS社製)を用いて、幅50μmサイズを有するフォトマスクを介して、被膜に365nm、405nm及び436nmの各波長を含む紫外線を露光した。このときの露光量は500mJ/cm2であった。
その結果、白色パターンは確認されず現像時に消失していることがわかった。これは白色顔料濃度が高過ぎ、光硬化が十分に進行しなかったためである。
9.5cm角の無アルカリガラス基板(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製))上に、黒色インク組成物(B−3)〜(B−7)を全面塗布し、高圧水銀ランプを用いて露光量を1000mJ/cm2として、基板全体に放射線照射を行い、続いて70℃で15分間加熱することによりインク組成物を1μm膜厚になるように硬化させた。その後、X−Rite361T(サカタインクスエンジニアリング社製)を用いて、23℃55%RHの雰囲気下、黒色硬化膜の光学濃度OD値を測定した。
9.5cm角の無アルカリガラス基板(EAGLE-XG、0.7mm厚,コーニング社製))上に、黒色インク組成物(B−5)、(B−7)、(B−8)を全面塗布し、高圧水銀ランプを用いて露光量を1000mJ/cm2として、基板全体に放射線照射を行い、続いて70℃で15分間加熱することによりインク組成物を1μm膜厚になるように硬化させた。
その後、DM−501(協和界面科学社製)を用いて、23℃55%RHの雰囲気下、黒色硬化膜の水及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)に対する静的接触角を測定した。
11 テンプレート用塗膜
12 親液性表面を含む層
13 撥液性表面を含む層
14 硬化性樹脂組成物
15 硬化膜
hν 放射線
Claims (16)
- 基板上に、撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層を形成する工程、
前記親液性表面を含む層に、硬化性組成物を塗布し塗膜を形成する工程、
前記塗膜を硬化させる工程及び、
前記撥液性表面を含む層を現像液で現像して除去する工程、
とを備え、前記撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層のテトラデカンに対する接触角差が、30°以上である、硬化膜の形成方法。 - 前記撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層を形成する工程が、
酸解離性基を有する重合体及び感放射線性酸発生体を含む感放射線性樹脂組成物により、撥液性の表面を有する塗膜を形成する工程、及び
前記塗膜の一部の表面領域への放射線の照射により、前記親液性表面を含む層を形成する工程を備える請求項1に記載の硬化膜の形成方法。 - 前記酸解離性基が、フッ素原子を含有する請求項2に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記硬化性組成物が重合性化合物および重合開始剤を含む請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記硬化性組成物が、蛍光粒子、着色剤、金属酸化物およびカーボン材料から選ばれる少なくとも一種の添加剤をさらに含む請求項4に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記添加剤が、酸化チタン、酸化バリウム、セシウムタングステン酸化物、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラファイトおよびカーボンブラックから選ばれる少なくとも一種を含む請求項4または5に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記硬化性組成物の添加剤の使用量が、硬化性組成物中、溶剤を除く成分全量を100質量%としたときに、40質量%以上95質量%以下である請求項5及び請求項6のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記硬化性組成物の添加剤の使用量が、硬化性組成物中、溶剤を除く成分全量を100質量%としたときに、60質量%以上95質量%以下である請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記硬化性組成物が撥インク剤を含む請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記撥インク剤は、フッ素原子およびケイ素原子の少なくとも1つを含む請求項9に記載の硬化膜の形成方法。
- 前記硬化性組成物が、さらに分散剤を含む請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法。
- 請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法において、硬化性組成物の塗布をインクジェット法またはディップ法により行い塗膜を形成する硬化膜の形成方法。
- 請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法により形成される硬化膜の形状が、逆テーパ形状である硬化膜の形成方法。
- 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の硬化膜の形成方法において、撥液性表面を含む層と親液性表面を含む層を形成するために用いられる感放射線性樹脂組成物。
- 請求項1から13のいずれか1項に記載の表示素子用の硬化膜の形成方法。
- 請求項1から13のいずれか1項に記載のセンサー用の硬化膜の形成方法。
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