JP2023049863A - 組成物、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法 - Google Patents

組成物、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、硬化膜の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】遮光性に優れ、アンダーカットが抑制されたパターン(パターン状の硬化膜)を形成できる組成物を提供する。また、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、及び硬化膜の製造方法を提供する。【解決手段】カーボンブラックと、硫酸バリウムと、銅フタロシアニン及び銅フタロシアニン誘導体からなる群から選ばれる1種以上と、酸発生剤と、酸によって架橋する架橋性基を有する架橋剤と、を含む、組成物。【選択図】なし

Description

本発明は、組成物、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、及び硬化膜の製造方法に関する。
黒色粉末を含む組成物は、従来より種々の用途に用いられており、例えば液晶表示装置、並びに、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ及びCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の固体撮像装置に配置される遮光膜の作製に使用されている。例えば、液晶表示装置に使用されるカラーフィルタには、着色画素間の光を遮蔽してコントラストを向上させる等の目的で、ブラックマトリクスと呼ばれる遮光膜が備えられている。また、固体撮像素子では、ノイズ発生防止及び画質の向上等を目的として所定位置に遮光膜が設けられている。
例えば、特許文献1では、表示素子としてのからフィルター、ブラックマトリックス、CMOSイメージセンサ、CCDイメージセンサ等に適用されるパターン状の硬化膜の製造方法を開示しており、パターン状の硬化膜を形成するための硬化性組成物として、実施例欄では、例えば、重合性化合物、光重合開始剤、及び、着色剤等の添加剤を含む組成物を開示している。
国際公開第2018/074539号公報
本発明者らは、特許文献1に記載された硬化性組成物について検討したところ、形成されるパターン(パターン状の硬化膜)にアンダーカットが発生する場合があることを明らかとした。具体的には、パターンの断面形状が逆テーパ―状となる(換言すると、パターンの凸部(露光部)において、上端部の長さが下端部の長さよりも大きくなる)ことを明らかとした。
なお、遮光膜への適用性を鑑みて、硬化性組成物においては、高い遮光性も基本性能として求められる。
そこで、本発明は、遮光性に優れ、アンダーカットが抑制されたパターン(パターン状の硬化膜)を形成できる組成物を提供することを課題とする。
また、本発明は、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、及び硬化膜の製造方法を提供することも課題とする。
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。
〔1〕 カーボンブラックと、
硫酸バリウムと、
銅フタロシアニン及び銅フタロシアニン誘導体からなる群から選ばれる1種以上と、
酸発生剤と、
酸によって架橋する架橋性基を有する架橋剤と、を含む、組成物。
〔2〕 更に、樹脂を含む、〔1〕に記載の組成物。
〔3〕 上記架橋剤が、トリアジン構造を含む、〔1〕又は〔2〕に記載の組成物。
〔4〕 上記架橋性基が、アルコキシメチル基を含む、〔1〕~〔3〕のいずれかに記載の組成物。
〔5〕 更に、上記カーボンブラックとは異なる有機粒子及び金属酸化物粒子からなる群から選ばれる1種以上の粒子Aを含む、〔1〕~〔4〕のいずれかに記載の組成物。
〔6〕 上記粒子Aの平均粒子径が、0.1~10μmの範囲にある、〔5〕に記載の組成物。
〔7〕 上記有機粒子が、フェノール樹脂粒子及びアクリル樹脂粒子の1種以上を含む、〔5〕又は〔6〕に記載の組成物。
〔8〕 上記金属酸化物粒子が、シリカ粒子を含む、〔5〕~〔7〕のいずれかに記載の組成物。
〔9〕 上記銅フタロシアニン誘導体を含み、且つ、
上記銅フタロシアニン誘導体が、スルホン酸基を有する銅フタロシアニンとジメチルジオクタデシルアンモニウムとから構成される塩である、〔1〕~〔8〕のいずれかに記載の組成物。
〔10〕 上記カーボンブラックの含有量が、組成物中の全固形分に対して、15~55質量%である、〔1〕~〔9〕のいずれかに記載の組成物。
〔11〕 更に、金属窒化物粒子及び金属酸窒化物粒子からなる群から選ばれる1種以上の粒子Bを含む、〔1〕~〔10〕のいずれかに記載の組成物。
〔12〕 上記粒子Bが、チタン、ジルコニウム、バナジウム、及びニオブからなる群から選ばれる1種以上の金属の窒化物又は酸窒化物である、〔11〕に記載の組成物。
〔13〕 更に、フッ素系界面活性剤を含む、〔1〕~〔12〕のいずれかに記載の組成物。
〔14〕 固形分の含有量が、10~45質量%である、〔1〕~〔13〕のいずれかに記載の組成物。
〔15〕 上記酸発生剤を2種以上含む、〔1〕~〔14〕のいずれかに記載の組成物。
〔16〕 上記酸発生剤が、スルホニウム塩化合物及びハロメチル化トリアジン化合物を含む、〔1〕~〔15〕のいずれかに記載の組成物。
〔17〕 上記組成物から形成される組成物層に対して下記膜形成方法を実施して膜を形成したとき、上記膜の波長400~1100nmの範囲における最大反射率が5%未満である、〔1〕~〔16〕のいずれかに記載の組成物。
≪膜形成方法≫
基板上に、上記組成物を、露光後の厚さが2.0μmになるように塗布して塗膜を形成し、上記塗膜を100℃で120秒間の条件で加熱して組成物層を形成する。次いで、高圧水銀灯を用いて、上記組成物層を露光量が1000mJ/cmとなる条件にて露光した後、露光後の上記組成物層を220℃で300秒間の条件で加熱する。
〔18〕 〔1〕~〔17〕のいずれかに記載の組成物から形成された硬化膜を含む、遮光膜。
〔19〕 〔1〕~〔17〕のいずれかに記載の組成物から形成された硬化膜を含む、固体撮像素子。
〔20〕 〔1〕~〔17〕のいずれかに記載の組成物から形成された硬化膜を含む、画像表示装置。
〔21〕 支持体上に、〔1〕~〔17〕のいずれかに記載の組成物からなる組成物層を形成する組成物層形成工程と、
活性光線又は放射線を照射して上記組成物層をパターン状に露光する露光工程と、
上記露光後の組成物層に対して現像処理を実施する現像工程と、を有する、硬化膜の製造方法。
本発明によれば、遮光性に優れ、アンダーカットが抑制されたパターン(パターン状の硬化膜)を形成できる組成物を提供できる。
また、本発明によれば、遮光膜、固体撮像素子、画像表示装置、及び硬化膜の製造方法を提供できる。
固体撮像装置の構成例を示す概略断面図である。 図1の撮像部を拡大して示す概略断面図である。 赤外線センサの構成例を示す概略断面図である。
以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に限定されない。
なお、本明細書において、「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を含有しない基と共に置換基を含む基をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を含有しないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を含むアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
また、本明細書中における「活性光線」又は「放射線」とは、例えば、遠紫外線、極紫外線(EUV:Extreme ultraviolet lithography)、X線、及び電子線等を意味する。また本明細書において光とは、活性光線及び放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、遠紫外線、X線、及びEUV光等による露光のみならず、電子線及びイオンビーム等の粒子線による描画も包含する。
また、本明細書において、「(メタ)アクリレート」はアクリレート及びメタアクリレートを表す。また、本明細書において、「(メタ)アクリル」はアクリル及びメタアクリルを表す。また、本明細書において、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルを表す。また、本明細書において、「(メタ)アクリルアミド」は、アクリルアミド及びメタアクリルアミドを表す。また、本明細書中において、「単量体」と「モノマー」とは同義である。
本明細書において重量平均分子量(Mw)は、GPC(Gel Permeation Chromatography:ゲル浸透クロマトグラフィー)法によるポリスチレン換算値である。
本明細書においてGPC法は、HLC-8020GPC(東ソー製)を用い、カラムとしてTSKgel SuperHZM-H、TSKgel SuperHZ4000、TSKgel SuperHZ2000(東ソー製、4.6mmID×15cm)を、溶離液としてTHF(テトラヒドロフラン)を用いる方法に基づく。
本明細書において、組成物における固形分とは、組成物を用いて形成される組成物層を意味し、組成物が溶剤を含む場合、溶剤を除いた全ての成分を意味する。また、組成物層を形成する成分であれば、液体状の成分も固形分とみなす。
[組成物]
本発明の組成物は、
カーボンブラックと、
硫酸バリウムと、
銅フタロシアニン及び銅フタロシアニン誘導体からなる群から選ばれる1種以上(以下「銅フタロシアニン類」ともいう。)と、
酸発生剤と、
酸によって架橋する架橋性基を有する架橋剤(以下「特定架橋剤」ともいう。)と、を含む。
本発明の組成物により形成されるパターン(パターン状の硬化膜)は、遮光性に優れる(波長400~1100nmにおけるOD(OD:Optical Density)値が高い)とともに、アンダーカットが抑制されている。このような構成を有する本発明の組成物により本発明の課題を解決できるメカニズムは必ずしも明らかではないが、本発明者らは以下のように推測している。
上記組成物中において、硫酸バリウム及び銅フタロシアニン類は、カーボンブラックの表面の電荷の状態を調整する表面改質剤としての機能を果たしていると考えている。これに起因して、上記組成物から形成される組成物層に対して熱や光等のエネルギーが付与されると、酸発生剤から発生する酸が層内の深部に至るまで拡散されやすくなり、結果として、パターンのアンダーカットが抑制されると推測している。
また、本発明の組成物は、主に、カーボンブラックを含むことにより、優れた遮光性も発現する。
以下において、組成物により形成されるパターンについて、単に「パターン」という場合、特に断りのない限りは、パターン状の硬化膜を意図する。
また、以下において、組成物により形成されるパターンの遮光性がより優れる(波長400~1100nmにおけるOD値がより高い)こと、組成物により形成されるパターンのアンダーカット抑制性能がより優れること、組成物により形成されるパターンの低反射性がより優れる(波長400~1100nmにおける最大反射率がより低い)こと、組成物の経時粘度安定性がより優れること、組成物の感度がより優れる(最低露光量が小さい)こと、及び/又は、組成物により形成されるパターンの剥がれ抑制性がより優れることを、「本発明の効果がより優れる」ともいう。
〔カーボンブラック〕
組成物は、カーボンブラックを含む。
カーボンブラックとしては、中性、酸性、及び塩基性のいずれであってもよいが、本発明の効果がより優れる点で、酸性であるのが好ましい。
酸性カーボンブラックとしては、pHが6.5未満のものが挙げられる。酸性カーボンブラックのpHとしては、2.0~6.0であるのが好ましく、2.0~4.0であるのが好ましい。
酸性カーボンブラックの具体例としては、コロンビアケミカルズ社製のRaven1080(平均一次粒子径28nm、pH2.4)及びRaven1100(平均一次粒子径32nm、pH2.9);三菱ケミカル社製のMA8(平均一次粒子径24nm、pH3.0)、MA100(平均一次粒子径24nm、pH3.5)、MA7(平均一次粒径24nm、pH3.0)、MA77(平均一次粒子径23nm、pH2.5)、MA220(平均一次粒子径55nm、pH3.0)、#2350(平均一次粒子径15nm、pH2.5、三菱ケミカル社製);オリオン・エンジニアドカーボンズ社製のスペシャルブラック250(平均一次粒子径56nm、pH3.0)、スペシャルブラック350(平均一次粒子径31nm、pH3.0)、スペシャルブラック550(平均一次粒子径25nm、pH4)、NEROX2500(平均一次粒子径56nm、pH3.0)、及びNEROX3500(平均一次粒子径31nm、pH3.0);等が挙げられる。
中性及び塩基性カーボンブラックとしては、例えば、pHが6.5以上のものが挙げられる。
中性及び塩基性カーボンブラックの具体例としては、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製のプリンテックス25(平均一次粒子径56nm、pH9.5)、プリンテックス35(平均一次粒子径31nm、pH9.5)、及びプリンテックス65(平均一次粒子径21nm、pH9.5);三菱ケミカル社製の#30(平均一次粒子径30nm、pH8.0)及び#2600(平均一次粒子径13nm、pH6.5);等が挙げられる。
カーボンブラックの平均一次粒径としては、例えば、10~60nmが好ましく、本発明の効果がより優れる点で、10~30nmであるのがより好ましい。
カーボンブラックの上述のpHは、カタログ値であるか、又はカタログ値がない場合には下記測定方法により求められる値である。
≪pH測定方法≫
カーボンブラック1gを炭酸を除いた蒸留水(pH7.0)20mlに添加してマグネチックスターラーで混合して水性懸濁液を調製し、ガラス電極を使用して25℃で測定した値である(ドイツ工業品標準規格 DIN ISO 787/9)。
また、カーボンブラックの上記平均一次粒子径は、カタログ値であるか、又はカタログ値がない場合には、電子顕微鏡観察による算術平均径の値である。
カーボンブラックの含有量としては、組成物の全固形分に対して、5.0質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、15質量%以上が更に好ましく、27質量%以上が特に好ましい。また、その上限値としては、60質量%以下が好ましく、55質量%以下がより好ましく、45質量%以下が更に好ましく、35質量%以下が特に好ましい。
カーボンブラックは、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上のカーボンブラックを併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
〔硫酸バリウム〕
組成物は、硫酸バリウムを含む。
硫酸バリウムの平均粒子径及び平均一次粒子径としては、本発明の効果がより優れる点、及び/又は分散安定性がより優れる点で、0.01~0.08μmが好ましい。
本発明の効果がより優れる点で、カーボンブラックと硫酸バリウムとの質量基準の配合比(カーボンブラック/硫酸バリウム)としては、99.5/0.5~65/35であるのが好ましく、96/4~65/35であるのがより好ましく、96/4~75/25であるのが更に好ましい。
硫酸バリウムの好適な一態様として、沈降性硫酸バリウムである態様が挙げられる。
硫酸バリウムの市販品としては、例えば、BF-20、BF-10、BF-21、BF-1、BF-40(いずれも、堺化学工業社製)、TS-3、SC-201、HC-A(いずれも竹原化学)、及び、TS-2(東新化成)等が挙げられる。
硫酸バリウムの含有量としては、組成物の全固形分に対して、例えば、0.1質量%以上であり、1.0質量%以上が好ましく、1.5質量%以上がより好ましく、2.0質量%以上が更に好ましい。また、その上限値としては、10質量%以下が好ましく、8.0質量%以下がより好ましく、6.0質量%以下が更に好ましい。
〔銅フタロシアニン及び銅フタロシアニン誘導体(銅フタロシアニン類)〕
組成物は、銅フタロシアニン及び銅フタロシアニン誘導体からなる群からなる群から選ばれる1種以上(銅フタロシアニン類)を含む。
銅フタロシアニンとは、フタロシアニンの銅錯体を意図する。銅フタロシアニン誘導体とは、置換基を有するフタロシアニンの銅錯体(置換基が酸基及び塩基性基等の極性基を含む場合には塩構造となっていてもよい。)を意図し、例えば、酸基及び塩基性基等の極性基を含む置換基を有するフタロシアニンの銅錯体及びその塩等が挙げられる。
酸基としては、スルホン酸基、カルボン酸基、及びリン酸基等が挙げられ、本発明の効果がより優れる点で、スルホン酸基が好ましい。スルホン酸基があることで、顔料と銅フタロシアニン誘導体と分散剤の相互作用がそれぞれより大きくなり経時安定性が向上する。
塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含むヘテロ環、及びアミド基等が挙げられる。
塩としては特に制限されず、例えば、ハロゲン化物塩、アルカリ金属塩、及び4級アンモニウム塩等が挙げられる。
ハロゲン化物塩を構成するハロゲン化物イオンとしては、フッ化物イオン、塩化物イオン、臭化物イオン、及びヨウ化物イオン等が挙げられる。
アルカリ金属塩を構成するアルカリ金属イオンとしては、リチウムイオン、ナトリウムイオン、及びカリウムイオン等が挙げられる。
4級アンモニウム塩を構成する4級アンモニウムイオンとしては、例えば、下記式(NA)で表される4級アンモニウムイオン等が挙げられる。
式(NA): N(R)(R)(R)(R
~Rは、各々独立に、水素原子、又は置換基を有していてもよい、アルキル基、アルケニル基、若しくはアルキニル基を表す。R~Rとしては、なかでも、置換基を有していてもよいアルキル基であるのが好ましい。なお、置換基としては、特に制限されず、水酸基等が挙げられる。
アルキル基、アルケニル基、及びアルキニル基は、直鎖状又は分岐鎖状であるのが好ましい。
アルキル基の炭素数としては、1~30であるのが好ましく、1~25であるのがより好ましい。
アルケニル基及びアルキニル基の炭素数としては、2~30であるのが好ましく、2~25であるのがより好ましい。
式(NA)で表される4級アンモニウムイオンの好適な一態様としては、R及びRが長鎖(例えば、R及びRの炭素数が、各々独立に、12~30が好ましく、12~25がより好ましい。)であり、R及びRが短鎖(例えば、R及びRの炭素数が、各々独立に、1~10が好ましく、1~6がより好ましく、メチル基が更に好ましい。)である態様が挙げられる。
本発明の効果がより優れる点で、式(NA)で表される4級アンモニウムイオンとしては、ジメチルジオクタデシルアンモニウムが好ましい。
銅フタロシアニン類としては、本発明の効果がより優れる点で、スルホン酸基を含む置換基を有するフタロシアニンの銅錯体又はその塩であるのが好ましく、スルホン酸基を含む置換基を有するフタロシアニンの銅錯体の4級アンモニウム塩であるのがより好ましく、スルホン酸基を含む置換基を有するフタロシアニンの銅錯体とジメチルジオクタデシルアンモニウムとから構成される塩であるのが更に好ましい。
なお、スルホン酸基を含む置換基とは、スルホン酸基であってもよいし、*-L-スルホン酸基(Lは、2価の連結基を表し、*は、結合位置を表す。)で表される基であってもよい。Lで表される2価の連結基としては特に制限されず、例えば、アルキレン基、アルケニレン基、アルキニレン基、-O-、-S-、-NR-、-CO-、及びこれらを組み合わせた基が挙げられる。Rは、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。上記アルキレン基、上記アルケニレン基、及び上記アルキニレン基は、更に置換基を有していてもよい。
銅フタロシアニン類としては、C.I.ピグメントブルー15:3等が挙げられる。
また、銅フタロシアニン類の市販品としては、例えば、「SOLSPERSE」シリーズの「5000」(日本ルブリゾール社製)、及びSigma-Aldrich社から販売されている銅フタロシアニン-3,4’,4’’,4’’’-テトラスルホン酸四ナトリウム塩等が挙げられる。
銅フタロシアニン類の含有量としては、組成物の全固形分に対して、1.0質量%以上が好ましく、1.5質量%以上がより好ましい。また、その上限値としては、10質量%以下が好ましく、8.0質量%以下がより好ましく、6.0質量%以下が更に好ましく、4.0質量%以下が特に好ましい。
また、組成物中の、銅フタロシアニン類の含有量に対する硫酸バリウムの含有量の質量比(硫酸バリウムの含有量/銅フタロシアニン類の含有量)としては、例えば、0.1~5.0であるのが好ましく、0.1~3.0であるのがより好ましい。
銅フタロシアニン類は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の銅フタロシアニン類を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
〔酸発生剤〕
組成物は、酸発生剤を含む。
酸発生剤としては特に制限されず、熱酸発生剤及び光酸発生剤等が挙げられるが、本発明の効果がより優れる点で、なかでも光酸発生剤であるのが好ましい。
光酸発生剤としては、活性光線又は放射線の照射により有機酸を発生する化合物が好ましく、公知の化合物を使用できる。光酸発生剤の感応波長としては、例えば、波長300~450nmであるのが好ましい。換言すると、光酸発生剤は、上記の波長範囲の活性光線に感応して酸を発生する化合物であるのが好ましい。また、光酸発生剤から発生する酸のpKaとしては、4.0以下が好ましく、3.0以下がより好ましい。
光酸発生剤としては公知の光酸発生剤を使用できる。光酸発生剤の具体例としては、例えば、オニウム塩化合物(例えば、スルホニウム塩化合物、ヨードニウム塩化合物、ジアゾニウム塩化合物、及び、ホスホニウム塩化合物等)、トリアジン化合物(好ましくはハロメチル化トリアジン化合物であり、より好ましくはトリクロロメチル-s-トリアジン化合物)、オキシムスルホネート化合物、ビススルホニルジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、ジアゾジスルホン化合物、ジスルホン化合物、及びニトロベンジルスルホネート化合物(好ましくはo-ニトロベンジルスルホネート化合物)が挙げられる。
光酸発生剤としては、本発明の効果がより優れる点で、なかでも、スルホニウム塩化合物、ヨードニウム塩化合物、トリアジン化合物(好ましくはハロメチル化トリアジン化合物であり、より好ましくはトリクロロメチル-s-トリアジン化合物)、ジアゾメタン化合物、イミドスルホネート化合物、及びオキシムスルホネート化合物からなる群から選ばれる1種以上を含むのが好ましく、スルホニウム塩化合物、ハロメチル化トリアジン化合物(好ましくはトリクロロメチル-s-トリアジン化合物)、及びオキシムスルホネート化合物からなる群から選ばれる1種以上を含むのがより好ましく、スルホニウム塩化合物及びハロメチル化トリアジン化合物(好ましくはトリクロロメチル-s-トリアジン化合物)をいずれも含むのが更に好ましい。
スルホニウム塩化合物としては、例えば、下記式(P-1)で表される化合物が挙げられる。ヨードニウム塩化合物としては、例えば、下記式(P-2)で表される化合物が挙げられる。オキシムスルホネート化合物としては、例えば、下記式(P-3)で表される化合物が挙げられる。トリアジン化合物としては、例えば、下記式(P-4)で表される化合物が挙げられる。ジアゾメタン化合物としては、例えば、下記式(P-5)で表される化合物が挙げられる。イミドスルホネート化合物としては、例えば、下記式(P-6)で表される化合物が挙げられる。
Figure 2023049863000001
Rd~Rd14は、各々独立に、有機基を表す。Xは、対アニオンを表す。
式(P-1)において、Rd~Rdは、各々独立に、アリール基又はアルキル基(直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。)であるのが好ましい。また、Rd~Rdの2つ以上が互いに結合して環を形成していてもよい。
アリール基としては、単環であっても多環であってもよい。アリール基としては、フェニル基又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。
アリール基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、アルキル基(例えば炭素数1~15)、シクロアルキル基(例えば炭素数3~15)、アリール基、アルコキシ基(例えば炭素数1~15)、アルキルチオ基(例えば炭素数1~15)、アリールチオ基、チオール基、ハロゲン原子、水酸基、及び-S(R)(R)等が挙げられる。なお、置換基であるこれらの基は、更に置換基を有していてもよい。
置換基であるアリール基及びアリールチオ基としては、単環であっても多環であってもよい。アリール基、及びアリールチオ基におけるアリール基としては、フェニル基又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。また、アリール基、及びアリールチオ基におけるアリール基は更に置換基を有していてもよく、置換基としては、例えば、アルキル基(例えば炭素数1~6)が挙げられる。
及びRとしては、Rd~Rdと同義であり、好適態様も同じである。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれであってもよく、例えば、炭素数1~15の直鎖状アルキル基、炭素数3~15の分岐鎖状アルキル基、又は炭素数3~15のシクロアルキル基が挙げられ、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、及びシクロヘキシル基等が挙げられる。なお、アルキル基中のCHが酸素原子等のヘテロ原子及びカルボニル基等のヘテロ原子団に置換されていてもよい。
アルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、アリール基(例えば炭素数6~14)、アルコキシ基(例えば炭素数1~15)、ハロゲン原子、水酸基、及び、アリールチオ基(例えば炭素数6~14)等が挙げられる。
また、Rd~Rdの2つ以上が互いに結合して形成する環としては、芳香族環及び脂環のいずれであってもよく、単環であっても多環であってもよい。環員数としては、例えば、3~10であり、4~8が好ましく、5又は6がより好ましい。また、上記環は、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、ケトン基、エーテル結合、エステル結合、又は、アミド結合を含んでいてもよい。
としては特に制限されないが、例えば、BF 、PF 、ClO 、AsF 、置換又は無置換のアルカンスルホン酸アニオン(例えば、CFSO 、CSO 、CSO 、及びカンファースルホン酸アニオン等)、置換ベンゼンスルホン酸アニオン(例えば、p-トルエンスルホン酸アニオン及びメシチレンスルホン酸アニオン等)、ビススルホニルイミドアニオン(例えば、ビス(トリフルオロメタンスルホニルイミドアニオン及びシクロヘキサフルオロプロパン-1,3-ビス(スルホニル)イミドアニオン等)、及び、置換又は無置換のアルカンカルボン酸アニオン(例えば、CFCO 等)等が挙げられる。
式(P-1)で表されるトリアリールスルホニウム化合物の具体例としては、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4-メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、4-メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4-フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、及び、4-フェニルチオフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート等が挙げられる。
式(P-2)において、Rd及びRdとしては、Rd~Rdと同義であり、好適態様も同じである。Rd及びRdとしては、なかでも、置換又は無置換のアリール基が好ましく、置換又は無置換のフェニル基がより好ましい。
式(P-2)で表されるヨードニウム塩化合物の具体例としては、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4-メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4-メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、フェニル-4-(2’-ヒドロキシ-1’-テトラデカオキシ)フェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4-(2’-ヒドロキシ-1’-テトラデカオキシ)フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモナート、及びフェニル-4-(2’-ヒドロキシ-1’-テトラデカオキシ)フェニルヨードニウムp-トルエンスルホナート等が挙げられる。
式(P-3)において、Rdとしては、既述のRd~Rdと同義であり、好適態様も同じである。
Rdとしては、アリール基又はヘテロアリール基が好ましい。
Rdで表されるアリール基としては、単環及び多環のいずれであってもよく、環員原子数が6~20であるのが好ましく、6~15であるのがより好ましい。アリール基として、具体的には、フェニル基、ナフチル基、アントラニル基、及びフルオレニル基等が挙げられる。
Rdで表されるヘテロアリール基としては、単環及び多環のいずれであってもよく、環員原子数が5~20であるのが好ましく、5~15であるのがより好ましい。ヘテロアリール基中のヘテロ原子としては、例えば、硫黄原子及び酸素原子が挙げられる。また、ヘテロアリール基中のヘテロ原子の個数としては、例えば、1~4である。ヘテロアリール基としては、具体的には、チオフェン基及びフリル基等が挙げられる。
アリール基及びヘテロアリール基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、アルキル基(例えば炭素数1~15)、シクロアルキル基(例えば炭素数3~15)、アリール基(例えば炭素数6~14)、アルコキシ基(例えば炭素数1~15)、ハロゲン原子、及び水酸基等が挙げられる。
Rdとしては、アリール基、ヘテロアリール基、アルキル基、又は、シアノ基であるのが好ましい。
Rdで表されるアリール基及びヘテロアリール基としては、Rdで表されるアリール基及びヘテロアリール基と同様のものが挙げられる。
Rdで表されるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよく、例えば、炭素数1~15の直鎖状アルキル基、炭素数3~15の分岐鎖状アルキル基、又は炭素数3~15のシクロアルキル基が挙げられ、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、t-ブチル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、及びシクロヘキシル基等が挙げられる。なお、アルキル基中のCHが酸素原子等のヘテロ原子及びカルボニル基等のヘテロ原子団に置換されていてもよい。
アルキル基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、アリール基(例えば炭素数6~14)、アルコキシ基(例えば炭素数1~15)、ハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)、及び水酸基等が挙げられる。なお、アルキル基は、パーフルオロアルキル基であるのも好ましい。
また、RdとRdとは、互いに結合して環を形成していてもよい。RdとRdとが互いに結合して形成する環としては、芳香族環及び脂環のいずれであってもよく、単環であっても多環であってもよい。環員数としては、例えば、3~20であり、4~15が好ましく、5~15がより好ましい。また、上記環は、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、ケトン基、エーテル結合、エステル結合、又は、アミド結合を含んでいてもよい。
RdとRdとが互いに結合して形成する環の一態様としては、例えば、ヘテロ原子(好ましくは、硫黄原子又は酸素原子)を環員原子として1~2個含む、5員又は6員の芳香族複素環等が挙げられる。
また、RdとRdとが互いに結合して形成する環は、更に置換基を有していてもよい。置換基としては特に制限されず、Rd~Rdで表されるアリール基が有し得る置換基として上段部で例示した置換基等が挙げられる。
更に、RdとRdとが互いに結合する環は、上記環に置換する置換基と共役結合を形成していてもよい。
オキシムスルホネート化合物の具体例としては、例えば、IRGACURE PAG103、同108、同121、同203、同CGI725、同CGI1907、及び同CGI1397(以上、BASF社製、商品名)等が挙げられる。
式(P-4)において、Rdは、*-LX1-RdX1で表される基であるのが好ましい。LX1は、単結合又は2価の連結基を表す。RdX1は、アリール基又はヘテロアリール基が挙げられる。
X1で表される2価の連結基としては、例えば、-CO-、-O-、-SO-、-SO-、-NR-、アルキレン基(好ましくは炭素数1~6。直鎖状でも分岐鎖状でもよい)、アルケニレン基(好ましくは炭素数2~6。直鎖状でも分岐鎖状でもよい)、アルキニレン基(好ましくは炭素数2~6。直鎖状でも分岐鎖状でもよい)、及びこれらの複数を組み合わせた2価の連結基が挙げられる。また、上記アルキレン基、アルケニレン基、及びアルキニレン基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、ハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)及び水酸基等が挙げられる。Rとしては、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基が挙げられる。
X1は、なかでも、単結合又はアルケニレン基が好ましく、単結合又は炭素数2~4のアルケニレン基がより好ましい。
RdX1で表されるアリール基としては、単環及び多環のいずれであってもよく、例えば、フェニル基及びナフタレン基が挙げられる。
RdX1で表されるヘテロアリーレン基としては、単環及び多環のいずれであってもよく、例えば、ピロール環基、フラン環基、チオフェン環基、ベンゾフラン環基、及びピペロニル基等が挙げられる。
RdX1で表されるアリール基及びヘテロアリーレン基は、更に置換基を有していてもよい。置換基としては、例えば、アルキル基(例えば炭素数1~15)、シクロアルキル基(例えば炭素数3~15)、アリール基(例えば炭素数6~14)、アルコキシ基(例えば炭素数1~15)、置換又は無置換のアミノ基(置換基としては炭素数1~10のアルキル基等が挙げられる。)、アルキルチオ基(例えば炭素数1~15)、アリールチオ基(例えば炭素数6~14)、チオール基、ハロゲン原子、及び水酸基等が挙げられる。
式(P-4)で表されるトリアジン化合物の具体例としては、2-(3-クロロフェニル)-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メチルチオフェニル)-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシ-β-スチリル)-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ピペロニル-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(フラン-2-イル)エテニル]-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル]-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニル)エテニル]-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン、及び、2-(4-メトキシナフチル)-ビス(4,6-トリクロロメチル)-s-トリアジン等が挙げられる。
式(P-5)において、Rd10及びRd11としては、アルキル基又はアリール基であるのが好ましい。Rd10及びRd11で表されるアルキル基及びアリール基としては、Rdで表されるアルキル基及びアリール基と同じであり、好適態様も同じである。
ジアゾメタン化合物の具体例としては、例えば、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(t-ブチルスルホニル)ジアゾメタン、及びビス(p-トルエンスルホニル)ジアゾメタン等が挙げられる。
式(P-6)において、Rd12としては、既述のRd~Rdと同義であり、好適態様も同じである。
Rd13及びRd14としては、アルキル基であるのが好ましい。
Rd13及びRd14で表されるアルキル基としては、既述のRdで表されるアルキル基と同様のものが挙げられ、好適態様も同じである。
また、Rd13及びRd14は、互いに結合して環を形成していてもよい。Rd13及びRd14が互いに結合して形成する環としては、脂環が好ましく、単環であっても多環であってもよい。環員数としては、例えば、3~20であり、4~15が好ましく、5~15がより好ましい。また、上記環は、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、ケトン基、エーテル結合、エステル結合、又は、アミド結合を含んでいてもよい。
また、Rd13及びRd14が互いに結合して形成する環は、更に置換基を有していてもよい。置換基としては特に制限されず、Rd~Rdで表されるアリール基及びアルキル基が有し得る置換基として上段部で例示した置換基等が挙げられる。
式(P-6)で表されるイミドスルホネート化合物の具体例としては、トリフルオロメチルスルホニルオキシビシクロ[2.2.1]-ヘプト-5-エン-ジカルボキシイミド、スクシンイミドトリフルオロメチルスルホネート、フタルイミドトリフルオロメチルスルホネート、N-ヒドロキシナフタルイミドメタンスルホネート、及び、N-ヒドロキシ-5-ノルボルネン-2,3-ジカルボキシイミドプロパンスルホネート等が挙げられる。
式(P-2)~式(P-6)中のXとしては、式(P-1)中のXと同様のものが挙げられる。
酸発生剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上で用いてもよいが、本発明の効果がより優れる点で、2種以上を併用するのが好ましく、なかでも、スルホニウム塩化合物及びハロメチル化トリアジン化合物(好ましくはトリクロロメチル-s-トリアジン化合物)を併用するのが更に好ましい。
酸発生剤の含有量としては、組成物の全固形分に対して、1.0質量%以上が好ましく、2.0質量%以上がより好ましい。上限は、組成物の全固形分に対して、30質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましく、20質量%以下が更に好ましい。
〔架橋剤〕
組成物は、酸によって架橋する架橋性基を有する架橋剤(特定架橋剤)を含む。
酸によって架橋する架橋性基としては、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、アルコキシメチル基、及び、メチロール基(-CH-OH)等が挙げられ、本発明の効果がより優れる点で、エポキシ基、オキセタニル基、又はアルコキシメチル基であるのが好ましく、アルコキシメチル基であるのがより好ましい。
特定架橋剤中、架橋性基の個数としては特に制限されないが、例えば2~20個が好ましく、2~10個がより好ましい。
特定架橋剤において架橋性基の当量(特定架橋性基の分子量/架橋性基の数)としては、例えば、50~2000g/当量が好ましく、60~1000g/当量がより好ましく、75~1000g/当量が更に好ましい。
特定架橋剤の分子量としては、特に制限されないが、例えば、100~2,000であるのが好ましく、150~1,000であるのがより好ましく、180~800であるのが更に好ましく、200~500であるのが特に好ましい。
エポキシ基又はオキセタニル基を有する化合物の具体例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、及び脂肪族エポキシ樹脂等が挙げられる。
エポキシ基又はオキセタニル基を有する化合物の市販品としては、例えば、JER(登録商標)152、同157S70、同157S65、同806、同828、及び同1007(以上、(株)三菱ケミカルホールディングス製);特開2011-221494号公報の段落0189に記載の市販品;ADEKA RESIN EP-4000S、同EP-4003S、同EP-4010S、及び同EP-4011S(以上、(株)ADEKA製);NC-2000、NC-3000、NC-7300、XD-1000、EPPN-501、及び、EPPN-502(以上、(株)ADEKA製);デナコール(登録商標)EX-611、同EX-612、同EX-614、同EX-614B、同EX-622、同EX-512、同EX-521、同EX-411、同EX-421、同EX-313、同EX-314、同EX-321、同EX-211、同EX-212、同EX-810、同EX-811、同EX-850、同EX-851、同EX-821、同EX-830、同EX-832、同EX-841、同EX-911、同EX-941、同EX-920、同EX-931、同EX-212L、同EX-214L、同EX-216L、同EX-321L、同EX-850L、同DLC-201、同DLC-203、同DLC-204、同DLC-205、同DLC-206、同DLC-301、及び同DLC-402(以上、ナガセケムテックス(株)製);YH-300、YH-301、YH-302、YH-315、YH-324、及びYH-325(以上、新日鐵化学(株)製)等が挙げられる。
また、オキセタニル基を有する化合物の市販品としては、例えば、アロンオキセタン(登録商標)OXT-121、同OXT-221、同OX-SQ、及び同PNOX(以上、東亞合成(株)製)等が挙げられる。
アルコキシメチル基を有する化合物としては、特に制限されず、例えば、アルコキシメチル化メラミン、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン、アルコキシメチル化グリコールウリル、及びアルコキシメチル化尿素等が挙げられる。これらの化合物は、各々、メチロール化メラミン、メチロール化ベンゾグアナミン、メチロール化グリコールウリル、又は、メチロール化尿素のメチロール基をアルコキシメチル基に変換することにより得られる。なお、各化合物においてメチロール基は、化合物中のアミン窒素に置換している。
アルコキシメチル基中のアルコキシ基の炭素数としては、特に制限されないが、例えば、1~10が好ましく、1~6がより好ましく、1~4が更に好ましく、1が特に好ましい。アルコキシメチル基の具体例としては、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、及びブトキシメチル基等が挙げられる。
アルコキシメチル基を有する化合物を有する化合物の市販品としては、例えば、サイメル300、同301、同303、同370、同325、同327、同701、同266、同267、同238、同1141、同272、同202、同1156、同1158、同1123、同1170、同1174、同UFR65、及び同300(以上、三井サイアナミッド(株)製);ニカラックMX-750、同MX-750LM、同MX-032、同MX-706、同MX-708、同MX-40、同MX-31、同MX-270、同MX-280、及び同MX-290(以上、(株)三和ケミカル製);ニカラックMS-11((株)三和ケミカル製);ニカラックMW-30HM、同MW-100LM、及び同MW-390(以上、(株)三和ケミカル製)等が挙げられる。
メチロール基を有する化合物としては、特に制限されず、例えば、メチロール化メラミン、メチロール化ベンゾグアナミン、メチロール化グリコールウリル、及びメチロール化尿素等が挙げられる。
特定架橋剤としては、本発明の効果がより優れる点で、なかでもトリアジン構造を有する化合物であるのが好ましく、1,3,5-トリアジン構造を有する化合物であるのがより好ましい。トリアジン化合物であることにより、各種下地との相互作用を大きくなる効果が期待でき密着性を良化できると考えられる。
特定架橋剤の含有量としては、組成物の全固形分に対して、5.0質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましい。上限は、組成物の全固形分に対して、50質量%以下が好ましく、40質量%以下がより好ましく、30質量%以下が更に好ましい。
特定架橋剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上で用いてもよい。2種以上の特定架橋剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
また、酸発生剤の含有量に対する特定架橋剤の含有量の質量比(特定架橋剤の含有量/酸発生剤の含有量)としては、例えば、0.5~10であり、本発明の効果がより優れる点で、1.5超6.0未満であるのが好ましく、2.0~5.0であるのがより好ましい。
〔樹脂〕
本発明の組成物は樹脂を含む。樹脂としては例えば、分散剤及びアルカリ可溶性樹脂等が挙げられる。
組成物中における樹脂の含有量としては特に制限されないが、組成物の全固形分に対して、3.0~60質量%が好ましく、5.0~40質量%がより好ましく、12~35質量%が更に好ましい。
また、一態様として、本発明の組成物が後述する粒子Aを含む場合、組成物中の樹脂の含有量は、組成物の全固形分に対して、12質量%以下であるのも好ましい。この場合、粒子Aの含有量としては、組成物の全固形分に対して、5質量%以上とするのが好ましい。なお、本態様の場合の粒子Aの含有量の上限値としては、組成物の全固形分に対して、40質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましい。
樹脂は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の樹脂を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
樹脂の分子量は2000超であるのが好ましい。なお、樹脂の分子量が多分散である場合、重量平均分子量が2000超であるのが好ましい。
<分散剤>
組成物は分散剤を含むのが好ましい。なお、本明細書において、分散剤とは、後述するアルカリ可溶性樹脂とは異なる化合物を意図する。
組成物中における分散剤の含有量としては特に制限されないが、組成物の全固形分に対して2.0~40質量%が好ましく、5.0~30質量%がより好ましく、5.0~25質量%が更に好ましく、5.0~20質量%が特に好ましい。
分散剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の分散剤を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
また、組成物における、カーボンブラックの含有量に対する分散剤の含有量の質量比(分散剤の含有量/カーボンブラックの含有量)は、0.05~1.00が好ましく、0.10~0.80がより好ましく、0.20~0.80が更に好ましい。
分散剤としては、例えば、公知の分散剤を適宜選択して使用できる。なかでも、高分子化合物が好ましい。
分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、及び顔料誘導体等を挙げられる。
高分子化合物は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、及びブロック型高分子に分類できる。
・高分子化合物
高分子化合物は、カーボンブラック及び所望により併用するその他の顔料(以下、カーボンブラック及びその他の顔料を総称して、単に「顔料」ともいう)等の被分散体の表面に吸着し、被分散体の再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を含む、末端変性型高分子、グラフト型(高分子鎖を含む)高分子、又はブロック型高分子が好ましい。
上記高分子化合物は硬化性基を含んでいてもよい。
硬化性基としては、例えば、エチレン性不飽和基(例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、及びスチリル基等)、及び環状エーテル基(例えば、エポキシ基及びオキセタニル基等)等が挙げられるが、これらに制限されない。
硬化性基を含む樹脂は、ポリエステル構造及びポリエーテル構造からなる群から選ばれる1種以上を含むのが好ましい。この場合、主鎖にポリエステル構造及び/又はポリエーテル構造を含んでいてもよいし、後述するように、上記樹脂がグラフト鎖を含む構造単位を含む場合には、上記高分子鎖がポリエステル構造及び/又はポリエーテル構造を含んでいてもよい。
上記樹脂としては、上記高分子鎖がポリエステル構造を含むのがより好ましい。
高分子化合物は、グラフト鎖を含む構造単位を含むのが好ましい。なお、本明細書において、「構造単位」とは「繰り返し単位」と同義である。
このようなグラフト鎖を含む構造単位を含む高分子化合物は、グラフト鎖によって溶剤との親和性を有するために、顔料等の分散性、及び経時後の分散安定性に優れる。また、グラフト鎖の存在により、グラフト鎖を含む構造単位を含む高分子化合物は重合性化合物又はその他の併用可能な樹脂等との親和性を有する。結果として、アルカリ現像で残渣を生じにくくなる。
グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり顔料等の分散性は向上する。一方、グラフト鎖が長すぎると顔料等への吸着力が低下して、顔料等の分散性は低下する傾向となる。このため、グラフト鎖は、水素原子を除いた原子数が40~10000であるのが好ましく、水素原子を除いた原子数が50~2000であるのがより好ましく、水素原子を除いた原子数が60~500であるのが更に好ましい。
ここで、グラフト鎖とは、共重合体の主鎖の根元(主鎖から枝分かれしている基において主鎖に結合する原子)から、主鎖から枝分かれしている基の末端までを示す。
グラフト鎖は、ポリマー構造を含むのが好ましく、このようなポリマー構造としては、例えば、ポリ(メタ)アクリレート構造(例えば、ポリ(メタ)アクリル構造)、ポリエステル構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、ポリアミド構造、及びポリエーテル構造等を挙げられる。
グラフト鎖と溶剤との相互作用性を向上させ、それにより顔料等の分散性を高めるために、グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、及びポリ(メタ)アクリレート構造からなる群から選ばれる1種以上を含むグラフト鎖であるのが好ましく、ポリエステル構造及びポリエーテル構造の少なくともいずれかを含むグラフト鎖であるのがより好ましい。
このようなグラフト鎖を含むマクロモノマー(ポリマー構造を有し、共重合体の主鎖に結合してグラフト鎖を構成するモノマー)としては、特に限定されないが、反応性二重結合性基を含むマクロモノマーを好適に使用できる。
高分子化合物が含むグラフト鎖を含む構造単位に対応し、高分子化合物の合成に好適に用いられる市販のマクロモノマーとしては、AA-6(商品名、東亜合成社製)、AA-10(商品名、東亜合成社製)、AB-6(商品名、東亜合成社製)、AS-6(商品名、東亜合成社製)、AN-6(商品名、東亜合成社製)、AW-6(商品名、東亜合成社製)、AA-714(商品名、東亜合成社製)、AY-707(商品名、東亜合成社製)、AY-714(商品名、東亜合成社製)、AK-5(商品名、東亜合成社製)、AK-30(商品名、東亜合成社製)、AK-32(商品名、東亜合成社製)、ブレンマーPP-100(商品名、日油社製)、ブレンマーPP-500(商品名、日油社製)、ブレンマーPP-800(商品名、日油社製)、ブレンマーPP-1000(商品名、日油社製)、ブレンマー55-PET-800(商品名、日油社製)、ブレンマーPME-4000(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE-400(商品名、日油社製)、ブレンマーPSE-1300(商品名、日油社製)、又はブレンマー43PAPE-600B(商品名、日油社製)等が用いられる。このなかでも、AA-6(商品名、東亜合成社製)、AA-10(商品名、東亜合成社製)、AB-6(商品名、東亜合成社製)、AS-6(商品名、東亜合成社製)、AN-6(商品名、東亜合成社製)、又はブレンマーPME-4000(商品名、日油社製)が好ましい。
上記分散剤は、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び環状又は鎖状のポリエステルからなる群から選ばれる1種以上の構造を含むのが好ましく、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、及び鎖状のポリエステルからなる群から選ばれる1種以上の構造を含むのがより好ましく、ポリアクリル酸メチル構造、ポリメタクリル酸メチル構造、ポリカプロラクトン構造、及びポリバレロラクトン構造からなる群から選ばれる1種以上の構造を含むのが更に好ましい。分散剤は、一の分散剤中に上記構造を単独で含む分散剤であってもよいし、一の分散剤中にこれらの構造を複数含む分散剤であってもよい。
ここで、ポリカプロラクトン構造とは、ε-カプロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含む構造をいう。ポリバレロラクトン構造とは、δ-バレロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含む構造をいう。
ポリカプロラクトン構造を含む分散剤の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが5である分散剤が挙げられる。また、ポリバレロラクトン構造を含む分散剤の具体例としては、下記式(1)及び下記式(2)におけるj及びkが4である分散剤が挙げられる。
ポリアクリル酸メチル構造を含む分散剤の具体例としては、下記式(4)におけるXが水素原子であり、Rがメチル基である分散剤が挙げられる。また、ポリメタクリル酸メチル構造を含む分散剤の具体例としては、下記式(4)におけるXがメチル基であり、Rがメチル基である分散剤が挙げられる。
・グラフト鎖を含む構造単位
高分子化合物は、グラフト鎖を含む構造単位として、下記式(1)~式(4)のいずれかで表される構造単位を含むのが好ましく、下記式(1A)、下記式(2A)、下記式(3A)、下記式(3B)、及び下記(4)のいずれかで表される構造単位を含むのがより好ましい。
Figure 2023049863000002
式(1)~(4)において、W、W、W、及びWはそれぞれ独立に酸素原子又はNHを表す。W、W、W、及びWは酸素原子であるのが好ましい。
式(1)~(4)において、X、X、X、X、及びXは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の有機基を表す。X、X、X、X、及びXとしては、合成上の制約の観点からは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数(炭素原子数)1~12のアルキル基であるのが好ましく、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基であるのがより好ましく、メチル基が更に好ましい。
式(1)~(4)において、Y、Y、Y、及びYは、それぞれ独立に、2価の連結基を表し、連結基は特に構造上制約されない。Y、Y、Y、及びYで表される2価の連結基として、具体的には、下記の(Y-1)~(Y-21)の連結基等が例として挙げられる。下記に示した構造において、A、Bはそれぞれ、式(1)~(4)における左末端基、右末端基との結合部位を意味する。下記に示した構造のうち、合成の簡便性から、(Y-2)又は(Y-13)であるのがより好ましい。
Figure 2023049863000003
式(1)~(4)において、Z、Z、Z、及びZは、それぞれ独立に1価の有機基を表す。有機基の構造は、特に限定されないが、具体的には、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、及びアミノ基等が挙げられる。これらのなかでも、Z、Z、Z、及びZで表される有機基としては、特に分散性向上の観点から、立体反発効果を含む基が好ましく、それぞれ独立に炭素数5~24のアルキル基又はアルコキシ基がより好ましく、そのなかでも、特にそれぞれ独立に炭素数5~24の分岐アルキル基、炭素数5~24の環状アルキル基、又は炭素数5~24のアルコキシ基が更に好ましい。なお、アルコキシ基中に含まれるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。
式(1)~(4)において、n、m、p、及びqは、それぞれ独立に、1~500の整数である。
また、式(1)及び(2)において、j及びkは、それぞれ独立に、2~8の整数を表す。式(1)及び(2)におけるj及びkは、組成物の経時粘度安定性及び現像性の観点から、4~6の整数が好ましく、5がより好ましい。
また、式(1)及び(2)において、n及びmは、10以上の整数が好ましく、20以上の整数がより好ましい。また、分散剤が、ポリカプロラクトン構造、及びポリバレロラクトン構造を含む場合、ポリカプロラクトン構造の繰り返し数と、ポリバレロラクトンの繰返し数の和としては、10以上の整数が好ましく、20以上の整数がより好ましい。
式(3)中、Rは分岐鎖状又は直鎖状のアルキレン基を表し、炭素数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素数2又は3のアルキレン基がより好ましい。pが2~500のとき、複数存在するRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式(4)中、Rは水素原子又は1価の有機基を表し、この1価の有機基としては特に構造上限定はされない。Rとしては、水素原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロアリール基が好ましく、水素原子又はアルキル基がより好ましい。Rがアルキル基である場合、アルキル基としては、炭素数1~20の直鎖状アルキル基、炭素数3~20の分岐鎖状アルキル基、又は炭素数5~20の環状アルキル基が好ましく、炭素数1~20の直鎖状アルキル基がより好ましく、炭素数1~6の直鎖状アルキル基が更に好ましい。式(4)において、qが2~500のとき、グラフト共重合体中に複数存在するX及びRは互いに同じであっても異なっていてもよい。
また、高分子化合物は、2種以上の構造が異なる、グラフト鎖を含む構造単位を含有できる。即ち、高分子化合物の分子中に、互いに構造の異なる式(1)~(4)で示される構造単位を含んでいてもよく、また、式(1)~(4)においてn、m、p、及びqがそれぞれ2以上の整数を表す場合、式(1)及び(2)においては、側鎖中にj及びkが互いに異なる構造を含んでいてもよく、式(3)及び(4)においては、分子内に複数存在するR、R、及びXは互いに同じであっても異なっていてもよい。
式(1)で表される構造単位としては、組成物の経時粘度安定性及び現像性の観点から、下記式(1A)で表される構造単位であるのがより好ましい。
また、式(2)で表される構造単位としては、組成物の経時粘度安定性及び現像性の観点から、下記式(2A)で表される構造単位であるのがより好ましい。
Figure 2023049863000004
式(1A)中、X、Y、Z、及びnは、式(1)におけるX、Y、Z、及びnと同義であり、好ましい範囲も同様である。式(2A)中、X、Y、Z、及びmは、式(2)におけるX、Y、Z、及びmと同義であり、好ましい範囲も同様である。
また、式(3)で表される構造単位としては、組成物の経時粘度安定性及び現像性の観点から、下記式(3A)又は式(3B)で表される構造単位であるのがより好ましい。
Figure 2023049863000005
式(3A)又は(3B)中、X、Y、Z、及びpは、式(3)におけるX、Y、Z、及びpと同義であり、好ましい範囲も同様である。
高分子化合物は、グラフト鎖を含む構造単位として、式(1A)で表される構造単位を含むのがより好ましい。
高分子化合物において、グラフト鎖を含む構造単位(例えば、上記式(1)~(4)で表される構造単位)は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し2~90質量%の範囲で含まれるのが好ましく、5~30質量%の範囲で含まれるのがより好ましい。グラフト鎖を含む構造単位がこの範囲内で含まれると、顔料の分散性が高く、露光後の硬化膜における現像性が良好である。
・疎水性構造単位
また、高分子化合物は、グラフト鎖を含む構造単位とは異なる(すなわち、グラフト鎖を含む構造単位には相当しない)疎水性構造単位を含むのが好ましい。ただし、本明細書において、疎水性構造単位は、酸基(例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸基等)を有さない構造単位である。
疎水性構造単位は、ClogP値が1.2以上の化合物(モノマー)に由来する(対応する)構造単位であるのが好ましく、ClogP値が1.2~8の化合物に由来する構造単位であるのがより好ましい。これにより、本発明の効果をより確実に発現できる。
ClogP値は、Daylight Chemical Information System, Inc.から入手できるプログラム“CLOGP”で計算された値である。このプログラムは、Hansch, Leoのフラグメントアプローチ(下記文献参照)により算出される“計算logP”の値を提供する。フラグメントアプローチは化合物の化学構造に基づいており、化学構造を部分構造(フラグメント)に分割し、そのフラグメントに対して割り当てられたlogP寄与分を合計して化合物のlogP値を推算している。その詳細は以下の文献に記載されている。本明細書では、プログラムCLOGP v4.82により計算したClogP値を用いる。
A. J. Leo, Comprehensive Medicinal Chemistry, Vol.4, C. Hansch, P. G. Sammnens, J. B. Taylor and C. A. Ramsden, Eds., p.295, Pergamon Press, 1990 C. Hansch & A. J. Leo. SUbstituent Constants For Correlation Analysis in Chemistry and Biology. John Wiley & Sons. A.J. Leo. Calculating logPoct from structure. Chem. Rev., 93, 1281-1306, 1993.
logPは、分配係数P(Partition Coefficient)の常用対数を意味し、ある有機化合物が油(一般的には1-オクタノール)と水の2相系の平衡でどのように分配されるかを定量的な数値として表す物性値であり、以下の式で示される。
logP=log(Coil/Cwater)
式中、Coilは油相中の化合物のモル濃度を、Cwaterは水相中の化合物のモル濃度を表す。
logPの値が0をはさんでプラスに大きくなると油溶性が増し、マイナスで絶対値が大きくなると水溶性が増し、有機化合物の水溶性と負の相関があり、有機化合物の親疎水性を見積るパラメータとして広く利用されている。
高分子化合物は、疎水性構造単位として、下記式(i)~(iii)で表される単量体に由来の構造単位から選ばれる1種以上の構造単位を含むのが好ましい。
Figure 2023049863000006
上記式(i)~(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
、R、及びRは、水素原子又は炭素数が1~3のアルキル基であるのが好ましく、水素原子又はメチル基であるのがより好ましい。R及びRは、水素原子であるのが更に好ましい。
Xは、酸素原子(-O-)又はイミノ基(-NH-)を表し、酸素原子であるのが好ましい。
Lは、単結合又は2価の連結基である。2価の連結基としては、2価の脂肪族基(例えば、アルキレン基、置換アルキレン基、アルケニレン基、置換アルケニレン基、アルキニレン基、置換アルキニレン基)、2価の芳香族基(例えば、アリーレン基、置換アリーレン基)、2価の複素環基、酸素原子(-O-)、硫黄原子(-S-)、イミノ基(-NH-)、置換イミノ基(-NR31-、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、カルボニル基(-CO-)、及びこれらの組合せ等が挙げられる。
2価の脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1~20が好ましく、1~15がより好ましく、1~10が更に好ましい。脂肪族基は不飽和脂肪族基であっても飽和脂肪族基であってもよいが、飽和脂肪族基であるのが好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基、及び複素環基等が挙げられる。
2価の芳香族基の炭素数は、6~20が好ましく、6~15がより好ましく、6~10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基等が挙げられる。
2価の複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含むのが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環、又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、水酸基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N-R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基、又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基が挙げられる。
Lは、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であるのが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であるのがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、-(OCHCH)n-で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2~10の整数であるのがより好ましい。
Zとしては、脂肪族基(例えば、アルキル基、置換アルキル基、不飽和アルキル基、置換不飽和アルキル基、)、芳香族基(例えば、アリール基、置換アリール基、アリーレン基、置換アリーレン基)、複素環基、又はこれらの組み合わせが挙げられる。これらの基には、酸素原子(-O-)、硫黄原子(-S-)、イミノ基(-NH-)、置換イミノ基(-NR31-、ここでR31は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、又はカルボニル基(-CO-)が含まれていてもよい。
脂肪族基は、環状構造又は分岐構造を有していてもよい。脂肪族基の炭素数は、1~20が好ましく、1~15がより好ましく、1~10が更に好ましい。脂肪族基には、更に環集合炭化水素基、架橋環式炭化水素基が含まれ、環集合炭化水素基の例としては、ビシクロヘキシル基、パーヒドロナフタレニル基、ビフェニル基、及び4-シクロヘキシルフェニル基等が含まれる。架橋環式炭化水素環として、例えば、ピナン、ボルナン、ノルピナン、ノルボルナン、ビシクロオクタン環(ビシクロ[2.2.2]オクタン環、及びビシクロ[3.2.1]オクタン環等)等の2環式炭化水素環、ホモブレダン、アダマンタン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン、及びトリシクロ[4.3.1.12,5]ウンデカン環等の3環式炭化水素環、並びに、テトラシクロ[4.4.0.12,5.17,10]ドデカン、及びパーヒドロ-1,4-メタノ-5,8-メタノナフタレン環等の4環式炭化水素環等が挙げられる。また、架橋環式炭化水素環には、縮合環式炭化水素環、例えば、パーヒドロナフタレン(デカリン)、パーヒドロアントラセン、パーヒドロフェナントレン、パーヒドロアセナフテン、パーヒドロフルオレン、パーヒドロインデン、及びパーヒドロフェナレン環等の5~8員シクロアルカン環が複数個縮合した縮合環も含まれる。
脂肪族基は不飽和脂肪族基よりも飽和脂肪族基の方が好ましい。また、脂肪族基は、置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、脂肪族基は、置換基として酸基を有さない。
芳香族基の炭素数は、6~20が好ましく、6~15がより好ましく、6~10が更に好ましい。また、芳香族基は置換基を有していてもよい。置換基の例は、ハロゲン原子、脂肪族基、芳香族基及び複素環基が挙げられる。ただし、芳香族基は、置換基として酸基を有さない。
複素環基は、複素環として5員環又は6員環を含むのが好ましい。複素環に他の複素環、脂肪族環又は芳香族環が縮合していてもよい。また、複素環基は置換基を有していてもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、水酸基、オキソ基(=O)、チオキソ基(=S)、イミノ基(=NH)、置換イミノ基(=N-R32、ここでR32は脂肪族基、芳香族基又は複素環基)、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基が挙げられる。ただし、複素環基は、置換基として酸基を有さない。
上記式(iii)中、R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、Z、又はL-Zを表す。ここでL及びZは、上記における基と同義である。R、R、及びRとしては、水素原子、又は炭素数が1~3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
上記式(i)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子、又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基若しくはオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zが脂肪族基、複素環基、又は芳香族基である化合物が好ましい。
また、上記式(ii)で表される単量体として、Rが水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zが脂肪族基、複素環基、又は芳香族基である化合物が好ましい。また、上記式(iii)で表される単量体として、R、R、及びRが水素原子又はメチル基であって、Zが脂肪族基、複素環基、又は芳香族基である化合物が好ましい。
式(i)~(iii)で表される代表的な化合物の例としては、アクリル酸エステル類、メタクリル酸エステル類、及びスチレン類等から選ばれるラジカル重合性化合物が挙げられる。
なお、式(i)~(iii)で表される代表的な化合物の例としては、特開2013-249417号公報の段落0089~0093に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
高分子化合物において、疎水性構造単位は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対し10~90%の範囲で含まれるのが好ましく、20~80%の範囲で含まれるのがより好ましい。含有量が上記範囲において十分なパターン形成性が得られる。
・顔料等と相互作用を形成し得る官能基
高分子化合物は、顔料等(例えば、遮光顔料)と相互作用を形成し得る官能基を導入できる。ここで、高分子化合物は、顔料等と相互作用を形成し得る官能基を含む構造単位を更に含むのが好ましい。
この顔料等と相互作用を形成し得る官能基としては、例えば、酸基、塩基性基、配位性基、及び反応性を有する官能基等が挙げられる。
高分子化合物が、酸基、塩基性基、配位性基、又は反応性を有する官能基を含む場合、それぞれ、酸基を含む構造単位、塩基性基を含む構造単位、配位性基を含む構造単位、又は反応性を有する構造単位を含むのが好ましい。
特に、高分子化合物が、更に、酸基として、カルボン酸基等のアルカリ可溶性基を含有すれば、高分子化合物に、アルカリ現像によるパターン形成のための現像性を付与できる。
すなわち、高分子化合物にアルカリ可溶性基を導入すれば、上記組成物は、顔料等の分散に寄与する分散剤としての高分子化合物がアルカリ可溶性を含むことになる。このような高分子化合物を含む組成物は、露光して形成される硬化膜の遮光性に優れ、かつ、未露光部のアルカリ現像性が向上される。
また、高分子化合物が酸基を含む構造単位を含有すれば、高分子化合物が溶剤となじみやすくなり、塗布性も向上する傾向となる。
これは、酸基を含む構造単位における酸基が顔料等と相互作用しやすく、高分子化合物が顔料等を安定的に分散すると共に、顔料等を分散する高分子化合物の粘度が低くなっており、高分子化合物自体も安定的に分散されやすいためであると推測される。
ただし、酸基としてのアルカリ可溶性基を含む構造単位は、上記のグラフト鎖を含む構造単位と同一の構造単位であっても、異なる構造単位であってもよいが、酸基としてのアルカリ可溶性基を含む構造単位は、上記の疎水性構造単位とは異なる構造単位である(すなわち、上記の疎水性構造単位には相当しない)。
顔料等と相互作用を形成し得る官能基である酸基としては、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基、又はフェノール性水酸基等があり、カルボン酸基、スルホン酸基、及びリン酸基からなる群から選ばれる1種以上であるのが好ましく、カルボン酸基が更に好ましい。カルボン酸基は、顔料等への吸着力が良好で、かつ、分散性が高い。
すなわち、高分子化合物は、カルボン酸基、スルホン酸基、及びリン酸基からなる群から選ばれる1種以上を含む構造単位を更に含むのが好ましい。
高分子化合物は、酸基を含む構造単位を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、酸基を含む構造単位を含有してもしなくてもよいが、含む場合、酸基を含む構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、5~80質量%であるのが好ましく、アルカリ現像による画像強度のダメージ抑制という観点から、10~60質量%がより好ましい。
顔料等と相互作用を形成し得る官能基である塩基性基としては、例えば、第1級アミノ基、第2級アミノ基、第3級アミノ基、N原子を含むヘテロ環、及びアミド基等があり、好ましい塩基性基は、顔料等への吸着力が良好で、かつ、分散性が高い点で、第3級アミノ基である。高分子化合物は、これらの塩基性基を1種又は2種以上、含有できる。
高分子化合物は、塩基性基を含む構造単位を含有してもしなくてもよいが、含む場合、塩基性基を含む構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0.01~50質量%が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、0.01~30質量%がより好ましい。
顔料等と相互作用を形成し得る官能基である配位性基、及び反応性を有する官能基としては、例えば、アセチルアセトキシ基、トリアルコキシシリル基、イソシアネート基、酸無水物、及び酸塩化物等が挙げられる。好ましい官能基は、顔料等への吸着力が良好で、顔料等の分散性が高い点で、アセチルアセトキシ基である。高分子化合物は、これらの基を1種又は2種以上有してもよい。
高分子化合物は、配位性基を含む構造単位、又は反応性を有する官能基を含む構造単位を含有してもしなくてもよいが、含む場合、これらの構造単位の含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、10~80質量%が好ましく、現像性阻害抑制という観点から、20~60質量%がより好ましい。
上記高分子化合物が、グラフト鎖以外に、顔料等と相互作用を形成し得る官能基を含む場合、上記の各種の顔料等と相互作用を形成し得る官能基を含有していればよく、これらの官能基がどのように導入されているかは特に限定はされないが、高分子化合物は、下記式(iv)~(vi)で表される単量体に由来の構造単位から選ばれる1種以上の構造単位を含むのが好ましい。
Figure 2023049863000007
式(iv)~(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、又は炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)を表す。
式(iv)~(vi)中、R11、R12、及びR13は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1~3のアルキル基であるのが好ましく、それぞれ独立に水素原子又はメチル基であるのがより好ましい。式(iv)中、R12及びR13は、それぞれ水素原子であるのが更に好ましい。
式(iv)中のXは、酸素原子(-O-)又はイミノ基(-NH-)を表し、酸素原子であるのが好ましい。
また、式(v)中のYは、メチン基又は窒素原子を表す。
また、式(iv)~(v)中のLは、単結合又は2価の連結基を表す。2価の連結基の定義は、上述した式(i)中のLで表される2価の連結基の定義と同じである。
は、単結合、アルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であるのが好ましい。オキシアルキレン構造は、オキシエチレン構造又はオキシプロピレン構造であるのがより好ましい。また、Lは、オキシアルキレン構造を2以上繰り返して含むポリオキシアルキレン構造を含んでいてもよい。ポリオキシアルキレン構造としては、ポリオキシエチレン構造又はポリオキシプロピレン構造が好ましい。ポリオキシエチレン構造は、-(OCHCH-で表され、nは、2以上の整数が好ましく、2~10の整数であるのがより好ましい。
式(iv)~(vi)中、Zは、グラフト鎖以外に顔料等と相互作用を形成し得る官能基を表し、カルボン酸基、及び第3級アミノ基であるのが好ましく、カルボン酸基であるのがより好ましい。
式(vi)中、R14、R15、及びR16は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、炭素数が1~6のアルキル基(例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等)、-Z、又はL-Zを表す。ここでL及びZは、上記におけるL及びZと同義であり、好ましい例も同様である。R14、R15、及びR16としては、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数が1~3のアルキル基が好ましく、水素原子がより好ましい。
式(iv)で表される単量体として、R11、R12、及びR13がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基又はオキシアルキレン構造を含む2価の連結基であって、Xが酸素原子又はイミノ基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
また、式(v)で表される単量体として、R11が水素原子又はメチル基であって、Lがアルキレン基であって、Zがカルボン酸基であって、Yがメチン基である化合物が好ましい。
更に、式(vi)で表される単量体として、R14、R15、及びR16がそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であって、Lが単結合又はアルキレン基であって、Zがカルボン酸基である化合物が好ましい。
以下に、式(iv)~(vi)で表される単量体(化合物)の代表的な例を示す。
単量体の例としては、メタクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物(例えば、メタクリル酸2-ヒドロキシエチル)とコハク酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物とフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物とテトラヒドロキシフタル酸無水物との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物と無水トリメリット酸との反応物、分子内に付加重合性二重結合及び水酸基を含む化合物とピロメリット酸無水物との反応物、アクリル酸、アクリル酸ダイマー、アクリル酸オリゴマー、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、4-ビニル安息香酸、ビニルフェノール、及び4-ヒドロキシフェニルメタクリルアミド等が挙げられる。
顔料等と相互作用を形成し得る官能基を含む構造単位の含有量は、顔料等との相互作用、経時粘度安定性、及び現像液への浸透性の観点から、高分子化合物の全質量に対して、0.05~90質量%が好ましく、1.0~80質量%がより好ましく、10~70質量%が更に好ましい。
・その他の構造単位
更に、高分子化合物は、画像強度等の諸性能を向上する目的で、本発明の効果を損なわない限りにおいて、グラフト鎖を含む構造単位、疎水性構造単位、及び顔料等と相互作用を形成し得る官能基を含む構造単位とは異なる、種々の機能を有する他の構造単位(例えば、後述する溶剤との親和性を有する官能基等を含む構造単位)を更に有していてもよい。
このような、他の構造単位としては、例えば、アクリロニトリル類及びメタクリロニトリル類等から選ばれるラジカル重合性化合物に由来の構造単位が挙げられる。
高分子化合物は、これらの他の構造単位を1種又は2種以上使用でき、その含有量は、質量換算で、高分子化合物の総質量に対して、0~80質量%が好ましく、10~60質量%以下がより好ましい。含有量が上記範囲において、十分なパターン形成性が維持される。
・高分子化合物の物性
高分子化合物の酸価は、0~250mgKOH/gが好ましく、10~200mgKOH/gがより好ましく、30~180mgKOH/gが更に好ましい。
高分子化合物の酸価が160mgKOH/g以下であれば、露光後の硬化膜を現像する際におけるパターン剥離がより効果的に抑えられる。また、高分子化合物の酸価が10mgKOH/g以上であればアルカリ現像性がより良好となる。また、高分子化合物の酸価が20mgKOH/g以上であれば、顔料等の沈降をより抑制でき、粗大粒子数をより少なくでき、組成物の経時粘度安定性をより向上できる。
本明細書において酸価は、例えば、化合物中における酸基の平均含有量から算出できる。また、樹脂の構成成分である酸基を含む構造単位の含有量を変化させれば所望の酸価を有する樹脂を得られる。
また、高分子化合物のアミン価は、0~250mgKOH/gが好ましく、10~200mgKOH/gがより好ましく、10~180mgKOH/gが更に好ましい。
本明細書においてアミン価は、例えば、化合物中における置換又は無置換アミノ基の平均含有量から算出できる。また、樹脂の構成成分である置換又は無置換アミノ基を含む構造単位の含有量を変化させれば所望のアミン価を有する樹脂を得られる。
高分子化合物の重量平均分子量は、4,000~300,000であるのが好ましく、5,000~200,000であるのがより好ましく、6,000~100,000であるのが更に好ましく、10,000~50,000であるのが特に好ましい。
高分子化合物は、公知の方法に基づいて合成できる。
高分子化合物の具体例としては、楠本化成社製「DA-7301」、BYKChemie社製「Disperbyk-101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合体)、111(リン酸系分散剤)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、167、170、190(高分子共重合体)」、「BYK-P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)」、EFKA社製「EFKA4047、4050~4010~4165(ポリウレタン系)、EFKA4330~4340(ブロック共重合体)、4400~4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーPB821、PB822、PB880、PB881」、共栄社化学社製「フローレンTG-710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS-860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA-703-50、DA-705、DA-725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN-B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL-18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、日本ルーブリゾール製22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、12000、17000、20000、27000(末端部に機能部を含む高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト共重合体)」、日光ケミカル社製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS-IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」、川研ファインケミカル製 ヒノアクトT-8000E等、信越化学工業製、オルガノシロキサンポリマーKP341、裕商製「W001:カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「W004、W005、W017」等のアニオン系界面活性剤、森下産業製「EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450」、サンノプコ製「ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100」等の高分子分散剤、ADEKA製「アデカプルロニック(登録商標)L31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123」、及び三洋化成製「イオネット(商品名)S-20」等が挙げられる。また、アクリベースFFS-6752、アクリベースFFS-187も使用できる。
また、酸基及び塩基性基を含む両性樹脂を使用するのも好ましい。両性樹脂は、酸価が5mgKOH/g以上で、かつ、アミン価が5mgKOH/g以上である樹脂が好ましい。
両性樹脂の市販品としては、例えば、ビックケミー社製のDISPERBYK-130、DISPERBYK-140、DISPERBYK-142、DISPERBYK-145、DISPERBYK-180、DISPERBYK-187、DISPERBYK-191、DISPERBYK-2001、DISPERBYK-2010、DISPERBYK-2012、DISPERBYK-2025、BYK-9076、味の素ファインテクノ社製のアジスパーPB821、アジスパーPB822、及びアジスパーPB881等が挙げられる。
これらの高分子化合物は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
なお、高分子化合物の具体例の例としては、特開2013-249417号公報の段落0127~0129に記載の高分子化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
また、分散剤としては、上記の高分子化合物以外に、特開2010-106268号公報の段落0037~0115(対応するUS2011/0124824の段落0075~0133欄)のグラフト共重合体が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
また、上記以外にも、特開2011-153283号公報の段落0028~0084(対応するUS2011/279759の段落0075~0133欄)の酸基が連結基を介して結合してなる側鎖構造を含む構成成分を含む高分子化合物が使用でき、これらの内容は援用でき、本明細書に組み込まれる。
また、分散剤としては、特開2016-109763号公報の段落0033~0049に記載された樹脂も使用でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
また、分散剤としては、ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位を含む樹脂(以下「樹脂X1」ともいう。)も好適に使用できる。ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位は、主鎖にポリアルキレンイミン構造を含み、グラフト鎖としてポリエステル構造を含むことが好ましい。
上記ポリアルキレンイミン構造とは、同一又は異なるアルキレンイミン鎖を2つ以上含む重合構造である。アルキレンイミン鎖としては、具体的には下記式(4A)及び下記式(4B)で表されるアルキレンイミン鎖が挙げられる。
Figure 2023049863000008
式(4A)中、RX1及びRX2は、それぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表す。aは、2以上の整数を表す。*はポリエステル鎖、隣接するアルキレンイミン鎖、又は水素原子若しくは置換基との結合位置を表す。
Figure 2023049863000009
式(4B)中、RX3及びRX4は、それぞれ独立に水素原子又はアルキル基を表す。aは、2以上の整数を表す。式(4B)で表されるアルキレンイミン鎖は、アニオン性基を有するポリエステル鎖と、式(4B)中に明示されるNとポリエステル鎖に含まれるアニオン性基が塩架橋基を形成することにより、結合する。
式(4A)及び式(4B)中の*、及び式(4B)中の*は、それぞれ独立に、隣接するアルキレンイミン鎖、又は水素原子若しくは置換基と結合する位置を表す。
式(4A)及び式(4B)中の*としては、なかでも、隣接するアルキレンイミン鎖と結合する位置を表すことが好ましい。
式(4A)中のRX1及びRX2、並びに式(4B)中のRX3及びRX4は、それぞれ独立に、水素原子又はアルキル基を表す。
アルキル基の炭素数としては、炭素数1~6が好ましく、炭素数1~3が好ましい。
式(4A)中、RX1及びRX2としては、いずれも水素原子であることが好ましい。
式(4B)中、RX3及びRX4としては、いずれも水素原子であることが好ましい。
式(4A)中のa及び式(4B)中のaとしては、2以上の整数であれば特に制限されない。その上限値としては10以下が好ましく、6以下がより好ましく、4以下が更に好ましく、2又は3が更に好ましく、2が特に好ましい。
式(4A)及び式(4B)中、*は、隣接するアルキレンイミン鎖、又は水素原子若しくは置換基との結合位置を表す。
上記置換基としては、例えばアルキル基(例えば炭素数1~6のアルキル基)、及び-CO-Rで表される有機基等の置換基が挙げられる。上記Rとしては、酸基(例えば、カルボキシ基、スルホ基、及びリン酸基等)が置換していてもよいアルキル基(例えば炭素数1~6)又はアルケニル基(例えば炭素数2~6)が挙げられる。
また、式(4A)及び式(4B)中、*で表される結合位置において、置換基としてポリエステル鎖が結合してもよい。
式(4A)で表されるアルキレンイミン鎖は、上述した*1の位置で、ポリエステル鎖と連結していることが好ましい。具体的には、ポリエステル鎖中のカルボニル炭素が、上述した*1の位置で結合することが好ましい。
上記ポリエステル鎖としては、下記式(5A)で表されるポリエステル鎖が挙げられる。
Figure 2023049863000010
アルキレンイミン鎖が式(4B)で表されるアルキレンイミン鎖である場合、ポリエステル鎖はアニオン性(好ましくは酸素アニオンO)を含み、このアニオン性と式(4B)中のNとが塩架橋基を形成することが好ましい。
このようなポリエステル鎖としては、下記式(5B)で表されるポリエステル鎖が挙げられる。
Figure 2023049863000011
式(5A)中のLX1、及び式(5B)中のLX2は、それぞれ独立に、2価の連結基を表す。2価の連結基としては、好ましくは炭素数3~30のアルキレン基が挙げられる。
式(5A)中のb11、及び式(5B)中のb21は、それぞれ独立に2以上の整数を表し、6以上の整数が好ましく、その上限は、例えば、200以下である。
式(5A)中のb12、及び式(5B)中のb22は、それぞれ独立に0又は1を表す。
式(5A)中のX、及び式(5B)中のXは、それぞれ独立に、水素原子又は置換基を表す。置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、ポリアルキレンオキシアルキル基、及びアリール基等が挙げられる。
上記アルキル基(直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。)、及び上記アルコキシ基中に含まれるアルキル基(直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。)の炭素数としては、1~30が挙げられ、1~10が好ましい。また、上記アルキル基は更に置換基を有していてもよく、置換基としては、水酸基及びハロゲン原子(ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子等)が挙げられる。
ポリアルキレンオキシアルキル基とは、RX6(ORX7(O)-で表される置換基である。RX6はアルキル基を表し、RX7はアルキレン基を表し、pは2以上の整数を表し、qは、0又は1を表す。
X6で表されるアルキル基は、Xで表されるアルキル基と同義である。また、RX7で表されるアルキレン基としては、Xで表されるアルキル基から水素原子を1つ除いた基が挙げられる。
pは、2以上の整数であり、その上限値としては、例えば10以下であり、5以下が好ましい。
アリール基としては、例えば、炭素数6~24のアリール基(単環及び多環のいずれであってもよい。)が挙げられる。
上記アリール基は更に置換基を有していてもよく、置換基としては、アルキル基、ハロゲン原子、及びシアノ基等が挙げられる。
上記ポリエステル鎖としては、ε-カプロラクトン、δ-カプロラクトン、β-プロピオラクトン、γ-ブチロラクトン、δ-バレロラクトン、γ-バレロラクトン、エナントラクトン、β-ブチロラクトン、γ-ヘキサノラクトン、γ-オクタノラクトン、δ-ヘキサラノラクトン、δ-オクタノラクトン、δ-ドデカノラクトン、α-メチル-γ-ブチロラクトン、及びラクチド(L体であってもD体であってもよい。)等のラクトンを開環した構造が好ましく、ε-カプロラクトン又はδ-バレロラクトンを開環した構造がより好ましい。
ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位を含む樹脂としては、特許第5923557号に記載の合成方法に準じて合成できる。
ポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位を含む樹脂としては、特許第5923557号に開示されたポリアルキレンイミン構造とポリエステル構造を含む繰り返し単位を含む樹脂を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
樹脂X1の酸価は、10~100mgKOH/gが好ましく、20~80mgKOH/gがより好ましい。樹脂X1のアミン価は、5mgKOH/g以上が好ましく、20mgKOH/g以上がより好ましく、30mgKOH/g以上が更に好ましい。上限値としては、例えば、100mgKOH/g以下が好ましい。
樹脂X1の重量平均分子量は特に制限されないが、例えば、3,000以上が好ましく、4,000以上がより好ましく、5,000以上が更に好ましく、6,000以上が特に好ましい。また、上限値としては、例えば、300,000以下が好ましく、200,000以下がより好ましく、100,000以下が更に好ましく、50,000以下が特に好ましい。
<アルカリ可溶性樹脂>
組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含むのが好ましい。本明細書において、アルカリ可溶性樹脂とは、アルカリ可溶性を促進する基(アルカリ可溶性基。例えばカルボン酸基等の酸基)を含む樹脂を意図し、既に説明した分散剤とは異なる樹脂を意図する。
組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂の含有量としては特に制限されないが、組成物の全固形分に対して、1.0~30質量%が好ましく、2.0~20質量%がより好ましく、3.0~15質量%が更に好ましく、4.0~15質量%が特に好ましい。
アルカリ可溶性樹脂は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上のアルカリ可溶性樹脂を併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、分子中に少なくとも1個のアルカリ可溶性基を含む樹脂が挙げられ、例えば、ポリヒドロキシスチレン樹脂、ポリシロキサン樹脂、(メタ)アクリル樹脂、(メタ)アクリルアミド樹脂、(メタ)アクリル/(メタ)アクリルアミド共重合体樹脂、エポキシ系樹脂、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂の具体例としては、不飽和カルボン酸とエチレン性不飽和化合物の共重合体が挙げられる。
不飽和カルボン酸としては特に制限されないが、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、及びビニル酢酸等のモノカルボン酸類;イタコン酸、マレイン酸、及びフマル酸等等のジカルボン酸、又はその酸無水物;並びに、フタル酸モノ(2-(メタ)アクリロイルオキシエチル)等の多価カルボン酸モノエステル類;等が挙げられる。
共重合可能なエチレン性不飽和化合物としては、(メタ)アクリル酸メチル等が挙げられる。また、特開2010-097210号公報の段落0027、及び特開2015-068893号公報の段落0036~0037に記載の化合物も使用でき、上記の内容は本明細書に組み込まれる。
アルカリ可溶性樹脂としては、本発明の効果がより優れる点で、硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂も好ましい。
上記硬化性基としては、上述の高分子化合物が含んでいてもよい。硬化性基が同様に挙げられ、好ましい範囲も同様である。
硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂の一態様としては、側鎖にエチレン性不飽和基を含むアクリル樹脂が挙げられる。側鎖にエチレン性不飽和基を含むアクリル樹脂は、例えば、カルボン酸基を含むアクリル樹脂のカルボン酸基に、グリシジル基又は脂環式エポキシ基を含むエチレン性不飽和化合物を付加反応させて得られる。
硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂としては、硬化性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が好ましい。硬化性基を含むアルカリ可溶性樹脂としては、ダイヤナールNRシリーズ(三菱レイヨン社製)、Photomer6173(COOH含有 polyurethane acrylic oligomer.Diamond Shamrock Co.,Ltd.製)、ビスコートR-264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業社製)、サイクロマーPシリーズ(例えば、ACA230AA)、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル社製)、Ebecryl3800(ダイセル・オルネクス社製)、及びアクリキュアRD-F8(日本触媒社製)等が挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、特開昭59-044615号、特公昭54-34327号、特公昭58-012577号、特公昭54-025957号、特開昭54-092723号、特開昭59-053836号、及び特開昭59-071048号に記載されている側鎖にカルボン酸基を含むラジカル重合体;欧州特許第993966号、欧州特許第1204000号、及び特開2001-318463号等の各公報に記載されているアルカリ可溶性基を含むアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダー樹脂;ポリビニルピロリドン;ポリエチレンオキサイド;アルコール可溶性ナイロン、及び2,2-ビス-(4-ヒドロキシフェニル)-プロパンとエピクロロヒドリンとの反応物であるポリエーテル等;並びに、国際公開第2008/123097号に記載のポリイミド樹脂;等を使用できる。
アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、特開2016-075845号公報の段落0225~0245に記載の化合物も使用でき、上記内容は本明細書に組み込まれる。
アルカリ可溶性樹脂としては、ポリイミド前駆体も使用できる。ポリイミド前駆体は、酸無水物基を含む化合物とジアミン化合物とを40~100℃下において付加重合反応して得られる樹脂を意図する。
ポリイミド前駆体としては、例えば、式(1)で表される繰り返し単位を含む樹脂が挙げられる。ポリイミド前駆体の構造としては、例えば、下記式(2)で示されるアミック酸構造と、アミック酸構造が一部イミド閉環してなる下記式(3)、及び全てイミド閉環した下記式(4)で示されるイミド構造を含むポリイミド前駆体が挙げられる。
なお、本明細書において、アミック酸構造を有するポリイミド前駆体をポリアミック酸という場合がある。
Figure 2023049863000012
Figure 2023049863000013
Figure 2023049863000014
Figure 2023049863000015
上記式(1)~(4)において、Rは炭素数2~22の4価の有機基を表し、Rは炭素数1~22の2価の有機基を表し、nは1又は2を表す。
上記ポリイミド前駆体の具体例としては、例えば、特開2008-106250号公報の段落0011~0031に記載の化合物、特開2016-122101号公報の段落0022~0039に記載の化合物、及び特開2016-068401号公報の段落0061~0092に記載の化合物等が挙げられ、上記の内容は本明細書に組み込まれる。
アルカリ可溶性樹脂は、組成物により形成されるパターンの形状がより優れる点で、ポリイミド樹脂、及びポリイミド前駆体からなる群から選ばれる1種以上を含むのも好ましい。
アルカリ可溶性基を含むポリイミド樹脂としては、特に制限されず、公知のアルカリ可溶性基を含むポリイミド樹脂を使用できる。上記ポリイミド樹脂としては、例えば、特開2014-137523号公報の段落0050に記載された樹脂、特開2015-187676号公報の段落0058に記載された樹脂、及び特開2014-106326号公報の段落0012~0013に記載された樹脂等が挙げられ、上記の内容は本明細書に組み込まれる。
〔カーボンブラックとは異なる有機粒子又は金属酸化物粒子(粒子A)〕
組成物は、上述したカーボンブラック及び硫酸バリウム以外の粒子として、カーボンブラックとは異なる有機粒子及び金属酸化物粒子からなる群から選ばれる1種以上の粒子(以下「粒子A」ともいう。)を更に含んでいてもよい。
組成物が粒子Aを含む場合、組成物から形成されるパターンの表面に凹凸が形成されることで光散乱が生じやすくなり、結果として、パターンがより低反射性となり得る。また、組成物が粒子Aを含む場合、パターンのアンダーカットもより抑制され得る。
上記有機粒子としては、樹脂粒子が好ましい。
樹脂粒子を構成する樹脂としては、特に制限されないが、アクリル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、及びアラミド樹脂等が挙げられ、なかでも、本発明の効果がより優れる点で、アクリル樹脂又はフェノール樹脂であるのが好ましく、フェノール樹脂であるのがより好ましい。つまり、有機粒子としては、アクリル樹脂粒子又はフェノール樹脂粒子であるのが好ましく、フェノール樹脂粒子であるのがより好ましい。
また、上記金属酸化物粒子を構成する金属酸化物としては、特に制限されないが、例えば、シリカ、チタニア、アルミナ、酸化スズ、ジルコニア、酸化亜鉛、及び酸化アンチモン等が挙げられ、なかでもシリカが好ましい。つまり、金属酸化物粒子としては、シリカ粒子が好ましい。
組成物は、本発明の効果がより優れる点で、なかでも、粒子Aとして、アクリル樹脂粒子、フェノール樹脂粒子、及びシリカ粒子からなる群から選ばれる1種以上の粒子を含んでいるのが好ましい。
粒子Aの平均粒子径としては、0.1~10μmが好ましく、0.3~8μmがより好ましく、0.5~6μmが更に好ましい。
粒子Aの平均粒子径は、カタログ値であるか、又はカタログ値がない場合には、電子顕微鏡観察による算術平均径の値である。
組成物が粒子Aを含む場合、粒子Aの含有量としては、組成物の全固形分に対して、5.0質量%以上が好ましく、8.0質量%以上がより好ましく、10質量%以上が更に好ましい。上限は、組成物の全固形分に対して、40質量%以下が好ましく、30質量%以下がより好ましく、25質量%以下が更に好ましい。
粒子Aは、1種単独で用いてもよく、2種以上で用いてもよい。2種以上の粒子Aを併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
〔顔料〕
組成物は、上述したカーボンブラック及び硫酸バリウム以外の顔料を更に含んでいてもよい。なお、ここでいう顔料とは、上述した粒子Aに該当する有機粒子及び金属酸化物粒子とも異なるのが好ましい。
<黒色顔料>
上記顔料としては例えば、カーボンブラック以外の黒色顔料が挙げられる。
黒色顔料は、各種公知の黒色顔料を使用できる。黒色顔料は、無機顔料であっても有機顔料であってもよい。
黒色の無機顔料としては、チタン(Ti)及びジルコニウム(Zr)等の第4族の金属元素、バナジウム(V)及びニオブ(Nb)等の第5族の金属元素、コバルト(Co)、クロム(Cr)、銅(Cu)、マンガン(Mn)、ルテニウム(Ru)、鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、並びに、銀(Ag)からなる群から選ばれた1種又は2種以上の金属元素を含む、金属酸化物、金属窒化物、及び金属酸窒化物等が挙げられる。
無機顔料には、表面修飾処理が施されていてもよい。例えば、シリコーン基とアルキル基を併せ持つ表面処理剤で表面修飾処理が施された無機粒子が挙げられ、「KTP-09」シリーズ(信越化学工業社製)等が挙げられる。また、金属酸化物、金属窒化物、及び金属酸窒化物は、更に他の原子が混在した粒子として使用してもよい。例えば、更に周期表13~17族元素からなる群から選ばれる原子(好ましくは硫黄原子)を含む、金属酸化物、金属窒化物、及び金属酸窒化物として使用されてもよい。
なかでも、黒色顔料として、金属窒化物及び金属酸窒化物からなる群から選ばれる1種以上の粒子(以下「粒子B」ともいう。)を含んでいるのが好ましい。
上記粒子Bとしては、第4族の金属元素の窒化物若しくは酸窒化物、又は第5族の金属元素の窒化物若しくは酸窒化物が好ましく、チタンの窒化物若しくは酸窒化物、ジルコニウムの窒化物若しくは酸窒化物、バナジウムの窒化物若しくは酸窒化物、又はニオブの窒化物若しくは酸窒化物がより好ましい。
なお、チタンの窒化物とは窒化チタンであり、ジルコニウムの窒化物とは窒化ジルコニウムであり、バナジウムの窒化物とは窒化バナジウムであり、ニオブの窒化物とは窒化ニオブである。また、チタンの酸窒化物とは酸窒化チタンであり、ジルコニウムの酸窒化物とは酸窒化ジルコニウムであり、バナジウムの酸窒化物とは酸窒化バナジウムであり、ニオブの酸窒化物とは酸窒化ニオブである。
組成物が、黒色顔料として粒子Bを含む場合、粒子Bの含有量としては、組成物の全固形分に対して、例えば、0.1~30質量%が好ましく、3.0~25質量%がより好ましく、3.0~20質量%が特に好ましい。
粒子Bは、1種単独で用いてもよく、2種以上で用いてもよい。2種以上の粒子Bを併用する場合には、合計含有量が上記範囲内であるのが好ましい。
黒色顔料は、なるべく細かい顔料が好ましい。ハンドリング性をも考慮すると、黒色顔料の平均一次粒子径は、0.01~0.1μmが好ましく、0.01~0.05μmがより好ましい。
なお、本明細書において、窒化チタンとは、TiNを意図し、製造上不可避な酸素原子(例えば、TiNの粒子の表面が意図せず酸化したもの、等)を含んでいてもよい。
本明細書において、窒化チタンとは、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θが42.5°~42.8°である化合物を意図する。
また、本明細書において、酸窒化チタンとは、CuKα線をX線源とした場合の(200)面に由来するピークの回折角2θが42.8°超の化合物を意図する。酸窒化チタンの上記回折角2θの上限値としては特に制限されないが、43.5°以下が好ましい。
酸窒化チタンとしては、例えば、チタンブラック等が挙げられ、より具体的には、例えば、TiO、Ti2n-1(1≦n≦20)で表せる低次酸化チタン、及び/又はTiN(0<x<2.0,0.1<y<2.0)で表せる酸窒化チタンを含む形態が挙げられる。以下の説明では、窒化チタン(上記回折角2θが42.5°~42.8°)、及び酸窒化チタン(上記回折角2θが42.8°超)を併せてチタン窒化物といい、その形態について説明する。
また、チタン窒化物は、更に他の原子が混在した粒子として使用してもよい。例えば、チタン窒化物は、更に周期表13~17族元素からなる群から選ばれる原子(好ましくは、硫黄原子)を含む、チタン窒化物含有粒子として使用されてもよい。なお、その他の金属窒化物においても同様で、窒化金属と酸窒化金属を併せていう金属窒化物は、更に他の原子が混在した粒子として使用してもよい。例えば、金属窒化物は、更に周期表13~17族元素からなる群から選ばれる原子(好ましくは、硫黄原子)を含む、金属窒化物として使用されてもよい。
CuKα線をX線源としてチタン窒化物のX線回折スペクトルを測定した場合において、最も強度の強いピークとしてTiNは(200)面に由来するピークが2θ=42.5°近傍に、TiOは(200)面に由来するピークが2θ=43.4°近傍に観測される。一方、最も強度の強いピークではないがアナターゼ型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=48.1°近傍に、ルチル型TiOは(200)面に由来するピークは2θ=39.2°近傍に観測される。よって、酸窒化チタンが酸素原子を多く含むほどピーク位置は42.5°に対して高角度側にシフトする。
チタン窒化物が、酸化チタンTiOを含む場合、最も強度の強いピークとしてアナターゼ型TiO(101)に由来するピークが2θ=25.3°近傍に、ルチル型TiO(110)に由来するピークが2θ=27.4°近傍に見られる。しかし、TiOは白色であり、組成物から形成される遮光膜の遮光性を低下させる要因となるため、ピークとして観察されない程度に低減されているのが好ましい。
上記のX線回折スペクトルの測定により得られたピークの半値幅から、チタン窒化物を構成する結晶子サイズを求められる。結晶子サイズの算出はシェラーの式を用いて行える。
チタン窒化物を構成する結晶子サイズとしては、50nm以下が好ましく、20nm以上が好ましい。結晶子サイズが20~50nmであると、紫外線(特にi線(波長365nm))透過率がより高くなりやすく、より感光性が高い組成物が得られる。
チタン窒化物の比表面積については特に制限されないが、BET(Brunauer,Emmett,Teller)法により求められる。チタン窒化物の比表面積は、5~100m/gが好ましく、10~60m/gがより好ましい。
黒色顔料の製造方法としては特に制限されず、公知の製造方法を使用でき、例えば、気相反応法が挙げられる。気相反応法としては、電気炉法、及び熱プラズマ法等が挙げられるが、不純物の混入が少なく、粒子径が揃いやすく、また、生産性が高い点で、熱プラズマ法が好ましい。
熱プラズマ法において、熱プラズマを発生させる方法としては、特に制限されず、直流アーク放電、多層アーク放電、高周波(RF)プラズマ、及びハイブリッドプラズマ等が挙げられ、電極からの不純物の混入が少ない高周波プラズマがより好ましい。
熱プラズマ法による黒色顔料の具体的な製造方法としては、特に制限されないが、例えば、チタン窒化物の製造方法として、プラズマ炎中で四塩化チタンとアンモニアガスを反応させる方法(特開平2-022110号公報)、チタン粉末を高周波熱プラズマにより蒸発させ窒素をキャリアーガスとして導入し冷却過程にて窒化させ合成する方法(特開昭61-011140号公報)、及びプラズマの周縁部にアンモニアガスを吹き込む方法(特開昭63-085007号)等が挙げられる。
ただし、黒色顔料の製造方法としては、上記に制限されず、所望とする物性を有する黒色顔料が得られれば、製造方法は制限されない。
黒色顔料は、その表面に、ケイ素を含む化合物(以下「含ケイ素化合物」という。)の層を含んでいてもよい。すなわち、上記金属原子の(酸)窒化物を含ケイ素化合物で被覆し、黒色顔料としてもよい。
金属原子の(酸)窒化物を被覆する方法としては、特に制限されず、公知の方法を使用でき、例えば、特開昭53-033228号公報の2頁右下~4頁右上に記載された方法(チタン酸化物に代えて、金属原子の(酸)窒化物を用いる)、特開2008-069193の段落0015~0043に記載された方法(微粒子二酸化チタンに代えて、金属原子の(酸)窒化物を用いる)、特開2016-074870号公報の段落0020、及び段落0124~0138に記載された方法(金属酸化物微粒子に代えて、金属原子の(酸)窒化物を用いる)が挙げられ、上記の内容は本明細書に組み込まれる。
黒色顔料は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
<その他の顔料>
顔料は黒色顔料以外のその他の顔料であってもよく、その他の顔料は、無機顔料であっても有機顔料であってもよい。但し、上述した上述したカーボンブラック、硫酸バリウム、粒子A、及び粒子B以外の顔料である。
(無機顔料)
無機顔料としては、特に制限されず、公知の無機顔料を使用できる。
無機顔料としては、例えば、亜鉛華、鉛白、リトポン、酸化チタン、酸化クロム、酸化鉄、鉛丹、酸化鉄赤、黄鉛、亜鉛黄(亜鉛黄1種、亜鉛黄2種)、ウルトラマリン青、プロシア青(フェロシアン化鉄カリ)ジルコングレー、プラセオジムイエロー、クロムチタンイエロー、クロムグリーン、ピーコック、ビクトリアグリーン、紺青(プルシアンブルーとは無関係)、バナジウムジルコニウム青、クロム錫ピンク、陶試紅、並びに、サーモンピンク等が挙げられる。
無機顔料は表面修飾処理がなされていてもよい。例えば、シリコーン基とアルキル基を併せ持つ表面処理剤で表面修飾処理が施された無機顔料が挙げられ、「KTP-09」シリーズ(信越化学工業社製)等が挙げられる。
赤外線吸収性を有する顔料も使用できる。
赤外線吸収性を有する顔料としては、タングステン化合物及び金属ホウ化物等が好ましい。なかでも、赤外領域の波長における遮光性に優れる点から、タングステン化合物が好ましい。
これらの顔料は、2種以上併用してもよく、また、後述する染料と併用してもよい。色味を調整するため、及び所望の波長領域の遮光性を高めるため、例えば、黒色又は赤外線遮光性を有する顔料に、赤色、緑色、黄色、オレンジ色、紫色、及びブルー等の有彩色顔料若しくは後述する染料を混ぜる形態が挙げられる。赤外線遮光性を有する顔料に、赤色顔料若しくは染料、又は紫色顔料若しくは染料を混合するのが好ましく、赤外線遮光性を有する顔料に赤色顔料を混合するのがより好ましい。
更に、後述する赤外線吸収剤を加えてもよい。
(有機顔料)
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.I.)ピグメントイエロー1,2,3,4,5,6,10,11,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214等;
C.I.ピグメントオレンジ 2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73等;
C.I.ピグメントレッド 1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279等;
C.I.ピグメントグリーン 10,37,58,59等;
C.I.ピグメントバイオレット 1,19,23,27,32,37,42等;
C.I.ピグメントブルー 1,2,16,22,60,64,66,79,80等;が挙げられる。なお、顔料は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。
<染料>
着色染料としては、例えば、R(レッド)、G(グリーン)、及びB(ブルー)等の有彩色系の染料(有彩色染料)の他、特開2014-042375の段落0027~0200に記載の着色剤も使用できる。また、黒色染料を使用できる。
染料としては、例えば特開昭64-090403号公報、特開昭64-091102号公報、特開平1-094301号公報、特開平6-011614号公報、特登2592207号、米国特許4808501号明細書、米国特許5667920号明細書、米国特許505950号明細書、米国特許5667920号明細書、特開平5-333207号公報、特開平6-035183号公報、特開平6-051115号公報、及び特開平6-194828号公報等に開示されている色素を使用できる。化学構造として区分すると、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、又はピロロピラゾールアゾメチン化合物等を使用できる。また、染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開2011-213925号公報、及び特開2013-041097号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、分子内に重合性基を有する重合性染料を用いてもよく、市販品としては、例えば、和光純薬工業社製RDWシリーズが挙げられる。
〔紫外線吸収剤〕
組成物は、紫外線吸収剤を含んでいてもよい。これにより、組成物により形成されるパターンの形状をより優れた(精細な)形状にできる。
紫外線吸収剤としては、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、置換アクリロニトリル系、及びトリアジン系の紫外線吸収剤を使用できる。これらの具体例としては、特開2012-068418号公報の段落0137~0142(対応するUS2012/0068292の段落0251~0254)の化合物が使用でき、これらの内容が援用でき、本明細書に組み込まれる。
他にジエチルアミノ-フェニルスルホニル系紫外線吸収剤(大東化学社製、商品名:UV-503)等も好適に用いられる。
紫外線吸収剤としては、特開2012-032556号公報の段落0134~0148に例示される化合物が挙げられる。
組成物が紫外線吸収剤を含む場合、紫外線吸収剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、0.001~15質量%が好ましく、0.01~10質量%がより好ましく、0.1~5質量%が更に好ましい。
〔シランカップリング剤(密着剤)〕
組成物はシランカップリング剤を含んでいてもよい。
シランカップリング剤は、基板上に硬化膜を形成する際に、基板と硬化膜間の密着性を向上させる密着剤として機能する。
シランカップリング剤とは、分子中に加水分解性基とそれ以外の官能基とを含む化合物である。なお、アルコキシ基等の加水分解性基は、珪素原子に結合している。
加水分解性基とは、珪素原子に直結し、加水分解反応及び/又は縮合反応によってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基、及びアルケニルオキシ基が挙げられる。加水分解性基が炭素原子を含む場合、その炭素数は6以下であるのが好ましく、4以下であるのがより好ましい。特に、炭素数4以下のアルコキシ基又は炭素数4以下のアルケニルオキシ基が好ましい。
また、基板上に硬化膜を形成する場合に、シランカップリング剤は基板と硬化膜間の密着性を向上させるため、フッ素原子及び珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)を含まないのが好ましく、フッ素原子、珪素原子(ただし、加水分解性基が結合した珪素原子は除く)、珪素原子で置換されたアルキレン基、炭素数8以上の直鎖状アルキル基、及び炭素数3以上の分岐鎖状アルキル基は含まないのが望ましい。
シランカップリング剤は、エポキシ基及びオキセタニル基等の環硬化性基を含んでいてもよい。エポキシ基及びオキセタニル基等の環硬化性基を含む場合、その数は1~10個が好ましく、1~4個がより好ましい。なお、エポキシ基及びオキセタニル基等の環硬化性基を含むシランカップリング剤(例えば、珪素原子を含む加水分解性基とエポキシ基とを含む化合物)は、上述の特定架橋剤に該当しない。
上記組成物中におけるシランカップリング剤の含有量は、組成物中の全固形分に対して、0.1~10質量%が好ましく、0.5~8.0質量%がより好ましく、1.0~6.0質量%が更に好ましい。
上記組成物は、シランカップリング剤を1種単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。組成物がシランカップリング剤を2種以上含む場合は、その合計が上記範囲内であればよい。
シランカップリング剤としては、例えば、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、及び3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等が挙げられる。
〔界面活性剤〕
組成物は、界面活性剤を含んでいてもよい。界面活性剤は、組成物の塗布性向上に寄与する。
上記組成物が、界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量としては、組成物の全固形分に対して、0.001~2.0質量%が好ましく、0.005~0.5質量%がより好ましく、0.01~0.1質量%が更に好ましい。
界面活性剤は、1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。界面活性剤を2種以上併用する場合は、合計量が上記範囲内であるのが好ましい。
界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、及びアニオン系界面活性剤等が挙げられる。
界面活性剤としては、本発明の効果がより優れる点で、シリコーン系界面活性剤又はフッ素系界面活性剤を含むのが好ましく、フッ素系界面活性剤を含むのがより好ましい。
組成物がフッ素系界面活性剤を含む場合、組成物の液特性(特に、流動性)がより向上する。即ち、フッ素系界面活性剤を含有する組成物を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させて、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μm程度の薄膜を形成した場合であっても、厚さムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、3~40質量%が好ましく、5~30質量%がより好ましく、7~25質量%が更に好ましい。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性及び/又は省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
また、フッ素系界面活性剤としては、塗布均一性に優れる点で、C13基を含むのも好ましい。
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F176、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437、同F475、同F479、同F482、同F554、及び、同F780(以上、DIC(株)製);フロラードFC430、同FC431、及び、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製);サーフロンS-382、同SC-101、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC1068、同SC-381、同SC-383、同S393、及び、同KH-40(以上、旭硝子(株)製);並びに、PF636、PF656、PF6320、PF6520、及び、PF7002(OMNOVA社製)等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としてブロックポリマーも使用でき、具体例としては、例えば特開第2011-089090号公報に記載されたが化合物が挙げられる。
〔溶剤〕
組成物は、溶剤を含んでいるのが好ましい。
溶剤としては特に制限されず、公知の溶剤を使用できる。
組成物中、固形分の含有量としては、組成物の全質量に対して、10~90質量%が好ましく、10~45質量%がより好ましく、15~35質量%が更に好ましい。つまり、組成物中における溶剤の含有量としては特に制限されないが、組成物の固形分が上記含有量となるように調整されるのが好ましい。
溶剤は1種を単独で用いても、2種以上を併用してもよい。2種以上の溶剤を併用する場合には、組成物の全固形分が上記範囲内となるように調整されるのが好ましい。
溶剤としては、例えば、水、及び、有機溶剤が挙げられる。
<有機溶剤>
有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、酢酸エチル、エチレンジクロライド、テトラヒドロフラン、トルエン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、アセチルアセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3-メトキシプロパノール、メトキシメトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メトキシプロピルアセテート、N,N-ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ-ブチロラクトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、N-メチル-2-ピロリドン、及び乳酸エチル等が挙げられるが、これらに制限されない。
<水>
組成物が、水を含有する場合、その含有量は、組成物の全質量に対して、0.001~5.0質量%が好ましく、0.01~3.0質量%がより好ましく、0.1~1.0質量%が更に好ましい。なかでも、水の含有量が、組成物の全質量に対して、3.0質量%以下(より好ましくは1.0質量%以下)であれば、組成物中の成分の加水分解等による経時粘度安定性の劣化を抑制しやすく、0.01質量%以上(好ましくは0.1質量%以上)であれば、経時沈降安定性を改善しやすい。
〔その他の任意成分〕
組成物は、上述した成分以外のその他の任意成分を更に含有してもよい。例えば、増感剤、共増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤、希釈剤、及び、感脂化剤等が挙げられ、更に、基板表面への密着促進剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、及び、連鎖移動剤等)等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。
これらの成分は、例えば、特開2012-003225号公報の段落0183~0228(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落0237~0309)、特開2008-250074号公報の段落0101~0102、段落0103~0104、段落0107~0109、及び特開2013-195480号公報の段落0159~0184等の記載を参酌でき、これらの内容は本願明細書に組み込まれる。
〔組成物の製造方法〕
組成物は、まず、カーボンブラックを分散させた分散組成物を製造し、得られた分散組成物を更にその他の成分と混合して組成物とするのが好ましい。
分散組成物は、カーボンブラック、硫酸バリウム、銅フタロシアニン類、粒子B、樹脂(好ましくは分散剤)、及び溶剤を混合して調製するのが好ましい。
上記分散組成物は、上記の各成分を公知の混合方法(例えば、撹拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機、又は湿式分散機等を用いた混合方法)により混合して調製できる。
分散組成物の調製後、上記分散組成物、樹脂(好ましくはアルカリ可溶性樹脂)、光酸発生剤、特定架橋剤、粒子A、及び溶剤類等を混合して調製できる。
組成物の調製に際しては、各成分を一括配合してもよいし、各成分をそれぞれ、溶剤に溶解又は分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序及び作業条件は特に制限されない。
組成物は、異物の除去及び欠陥の低減等の目的で、フィルタで濾過するのが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されずに使用できる。例えば、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、並びに、ポリエチレン及びポリプロピレン(PP)等のポリオレフィン系樹脂(高密度、超高分子量を含む)等によるフィルタが挙げられる。これら素材のなかでもポリプロピレン(高密度ポリプロピレンを含む)、ナイロンが好ましい。
フィルタの孔径は、0.1~7.0μmが好ましく、0.2~2.5μmがより好ましく、0.2~1.5μmが更に好ましく、0.3~0.7μmが特に好ましい。この範囲とすれば、顔料(遮光顔料を含む)のろ過詰まりを抑えつつ、顔料に含まれる不純物及び凝集物等、微細な異物を確実に除去できるようになる。
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第1のフィルタでのフィルタリングは、1回のみでもよいし、2回以上行ってもよい。異なるフィルタを組み合わせて2回以上フィルタリングを行う場合は1回目のフィルタリングの孔径より2回目以降の孔径が同じ、又は大きい方が好ましい。また、上述した範囲内で異なる孔径の第1のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照できる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社(旧日本マイクロリス株式会社)、及び株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択できる。
第2のフィルタは、上述した第1のフィルタと同様の材料等で形成されたフィルタを使用できる。第2のフィルタの孔径は、0.2~10.0μmが好ましく、0.2~7.0μmがより好ましく、0.3~6.0μmが更に好ましい。
組成物は、金属、ハロゲンを含む金属塩、酸、アルカリ等の不純物を含まないのが好ましい。これら材料に含まれる不純物の含有量としては、1ppm以下が好ましく、1ppb以下がより好ましく、100ppt以下が更に好ましく、10ppt以下が特に好ましく、実質的に含まないこと(測定装置の検出限界以下であること)が最も好ましい。
なお、上記不純物は、誘導結合プラズマ質量分析装置(横河アナリティカルシステムズ製、Agilent 7500cs型)により測定できる。
〔硬化膜の製造方法〕
硬化膜の製造方法としては、以下の工程を含むのが好ましい。以下の工程を経ることで、パターン状の硬化膜が形成できる。
・組成物層形成工程
・露光工程
・現像工程
以下、各工程について説明する。
<組成物層形成工程>
組成物層形成工程においては、露光に先立ち、支持体等の上に、組成物を付与して組成物からなる層(組成物層)を形成する。支持体としては、例えば、基板(例えば、シリコン基板)上にCCD(Charge Coupled Device)又はCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)等の撮像素子(受光素子)が設けられた固体撮像素子用基板を使用できる。また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止及び基板表面の平坦化等のために下塗り層を設けてもよい。
支持体上への組成物の適用方法としては、スリット塗布法、インクジェット法、回転塗布法、流延塗布法、ロール塗布法、又はスクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用できる。組成物層の膜厚としては、0.1~10μmが好ましく、0.2~5.0μmがより好ましく、0.2~3.0μmが更に好ましい。支持体上に塗布された組成物層の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50~140℃の温度で10~300秒で行える。
〔露光工程〕
露光工程は、活性光線又は放射線を照射して、組成物層形成工程において形成された組成物層を露光する工程である。露光工程は、具体的には、組成物層形成工程において形成された組成物層に活性光線又は放射線を照射して露光し、組成物層の光照射領域を硬化させる工程である。
光照射の方法としては特に制限されないが、パターン状の開口部を有するフォトマスクを介して光照射するのが好ましい。
露光は放射線の照射により行うのが好ましく、露光に際して使用できる放射線としては、特に、g線、h線、及びi線等の紫外線が好ましく、光源としては高圧水銀灯が好まれる。照射強度は5~1500mJ/cmが好ましく、10~1000mJ/cmがより好ましい。
また、上記露光工程において、組成物層を加熱するのも好ましい。加熱の温度として特に制限されないが、80~250℃が好ましい。また、加熱の時間としては特に制限されないが、30~300秒が好ましい。
なお、露光工程において、組成物層を加熱する場合、後述する後加熱工程を兼ねてもよい。言い換えれば、露光工程において、組成物層を加熱する場合、硬化膜の製造方法は後加熱工程を含有しなくてもよい。
〔現像工程〕
現像工程は、露光後の組成物層に対して現像処理を実施する工程である。本工程により、露光工程における光露光領域の組成物層が溶出し、光硬化した部分だけが残る。例えば、露光工程においてパターン状の開口部を有するフォトマスクを介して光照射を実施した場合には、パターン状の硬化膜が得られる。
現像工程で使用される現像液の種類は特に制限されないが、下地の撮像素子及び回路等にダメージを起さない、アルカリ現像液が望ましい。
現像温度としては、例えば、20~30℃である。
現像時間は、例えば、20~90秒である。より残渣を除去するため、近年では120~180秒実施する場合もある。更には、より残渣除去性を向上するため、現像液を60秒ごとに振り切り、更に新たに現像液を供給する工程を数回繰り返す場合もある。
アルカリ現像液としては、アルカリ性化合物を濃度が0.001~10質量%(好ましくは0.01~5質量%)となるように水に溶解して調製されたアルカリ性水溶液が好ましい。
アルカリ性化合物は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシ、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、及び1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]-7-ウンデセン等が挙げられる(このうち、有機アルカリが好ましい。)。
なお、アルカリ現像液として用いた場合は、一般に現像後に水で洗浄処理が施される。
〔ポストベーク〕
露光工程の後、加熱処理(ポストベーク)を行うのが好ましい。ポストベークは、硬化を完全にするための加熱処理である。その加熱温度は、240℃以下が好ましく、220℃以下がより好ましい。下限は特にないが、効率的かつ効果的な処理を考慮すると、50℃以上が好ましく、100℃以上がより好ましい。
ポストベークは、ホットプレート、コンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、又は高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式又はバッチ式で行える。
ポストベークは、露光工程の後に実施され、なかでも現像処理後に実施されるのが好ましい。
また、上記の加熱によるポストベークに変え、UV(紫外線)照射によって硬化を完全にしてもよい。
この場合、上述した組成物は、更にUV硬化剤を含むのが好ましい。UV硬化剤は、通常のi線露光によるリソグラフィー工程のために添加する重合開始剤の露光波長である365nmより短波の波長で硬化できるUV硬化剤が好ましい。UV硬化剤としては、例えば、チバ イルガキュア 2959(商品名)が挙げられる。UV照射を行う場合においては、組成物層が波長340nm以下で硬化する材料であるのが好ましい。波長の下限値は特にないが、220nm以上であるのが一般的である。またUV照射の露光量は100~5000mJが好ましく、300~4000mJがより好ましく、800~3500mJが更に好ましい。このUV硬化工程は、リソグラフィー工程の後に行うのが、低温硬化をより効果的に行うために、好ましい。露光光源はオゾンレス水銀ランプを使用するのが好ましい。
[硬化膜の物性及び硬化膜の用途]
〔硬化膜の物性〕
本発明の組成物を用いて得られる硬化膜は、優れた遮光性を有する点で、400~1100nmの波長領域における膜厚2.0μmあたりのOD値が、3.0以上が好ましく、3.5以上がより好ましい。なお、上限値は特に制限されないが、一般に10以下が好ましい。上記硬化膜は、遮光膜として好ましく使用できる。なお、上記400~1100nmの波長領域における膜厚2.0μmあたりのOD値とは、上記400~1100nmの波長領域において透過率の最も高い波長に基づいて求められるOD値を意図する。
硬化膜の膜厚は、例えば、0.1~4.0μmが好ましく、1.0~2.5μmがより好ましい。また、硬化膜は、用途にあわせてこの範囲よりも薄膜としてもよいし、厚膜としてもよい。また、硬化膜を光減衰膜として使用する場合、上記範囲よりも薄膜(例えば、0.1~0.5μm)として遮光性を調整するのも好ましい。
また、上記硬化膜は、表面凹凸構造を有するのも好ましい。そうすれば、硬化膜を遮光膜とした場合における、硬化膜の反射率を低減できる。硬化膜そのものの表面に凹凸構造を有しても、硬化膜上に別の層を設けて凹凸構造を付与してもよい。表面凹凸構造の形状は特に限定されないが、例えば、表面粗さが0.55μm~1.5μmの範囲であるのが好ましい。表面凹凸構造を有する硬化膜を得る方法としては、既述のとおり、組成物中に粒子Aを導入する方法が挙げられる。
上記硬化膜の反射率としては、上述の組成物から形成される組成物層に対して下記膜形成方法を実施して膜を形成したとき、膜の波長400~1100nmの範囲における最大反射率が5%未満であるのが好ましく、3%未満であるのがより好ましく、1%未満であるのが更に好ましい。なお、膜の波長400~1100nmの範囲における最大反射率とは、上記400~1100nmの波長領域において最大反射率を示した波長の光の反射率を意図する。
≪膜形成方法≫
基板上に、本発明の組成物を、露光後の厚さが2.0μmになるように塗布して塗膜を形成し、得られた塗膜を100℃で120秒間の条件で加熱して組成物層を形成する。次いで、高圧水銀灯を用いて、上記組成物層を露光量が1000mJ/cmとなる条件にて露光した後、露光後の上記組成物層を220℃で300秒間の条件で加熱する。
更に、上記硬化膜の反射率を下げる方法としては、上記以外に、硬化膜上に低屈折率層を設ける方法、更に屈折率の異なる層(例えば、高屈折率層)を複数設ける方法、及び、特開2015-1654号公報に記載の、低光学濃度層と高光学濃度層とを形成する方法等が挙げられる。
また、上記硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォン、及び、デジタルカメラ等のポータブル機器;プリンタ複合機、及び、スキャナ等のOA(Office Automation)機器;監視カメラ、バーコードリーダ、現金自動預け払い機(ATM:automated teller machine)、ハイスピードカメラ、及び、顔画像認証を使用した本人認証機能を有する機器等の産業用機器;車載用カメラ機器;内視鏡、カプセル内視鏡、及び、カテーテル等の医療用カメラ機器;並びに、生体センサ、バイオセンサー、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象及び海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラ、及び、宇宙の天文及び深宇宙ターゲット用の探査カメラ等の宇宙用機器;等に使用される光学フィルタ及びモジュールの遮光部材及び遮光膜、更には反射防止部材及び反射防止膜に好適である。
上記硬化膜は、マイクロLED(Light Emitting Diode)及びマイクロOLED(Organic Light Emitting Diode)等の用途にも使用できる。上記硬化膜は、マイクロLED及びマイクロOLEDに使用される光学フィルタ及び光学フィルムのほか、遮光機能又は反射防止機能を付与する部材に対して好適である。
マイクロLED及びマイクロOLEDの例としては、特表2015-500562号及び特表2014-533890に記載された例が挙げられる。
上記硬化膜は、量子ドットセンサー及び量子ドット固体撮像素子に使用される光学及び光学フィルムとしても好適である。また、遮光機能及び反射防止機能を付与する部材として好適である。量子ドットセンサー及び量子ドット固体撮像素子の例としては、米国特許出願公開第2012/37789号及び国際公開第2008/131313号パンフレットに記載された例等が挙げられる。
〔遮光膜、並びに、固体撮像素子及び固体撮像装置〕
本発明の組成物から形成される硬化膜は、いわゆる遮光膜として使用するのも好ましい。このような遮光膜は、固体撮像素子に使用するのも好ましい。
なお、遮光膜は、本発明の硬化膜における好ましい用途の1つであって、本発明の遮光膜の製造は、上述の硬化膜の製造方法として説明した方法で同様に行える。具体的には、基板に組成物を塗布して、組成物層を形成し、露光、及び、現像して遮光膜を製造できる。
また、本発明の固体撮像素子は、上述した硬化膜(遮光膜)を含む固体撮像素子である。固体撮像素子が硬化膜(遮光膜)を含有する形態としては特に制限されず、例えば、基板上に、固体撮像素子(CCDイメージセンサ、CMOSイメージセンサ等)の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる受光素子を有し、支持体の受光素子形成面側(例えば、受光部以外の部分及び/又は色調整用画素等)又は形成面の反対側に硬化膜を有する形態が挙げられる。
また、硬化膜(遮光膜)を光減衰膜として使用する場合、例えば、一部の光が光減衰膜を通過した上で受光素子に入射するように、光減衰膜を配置すれば、固体撮像素子のダイナミックレンジを改善できる。
固体撮像装置は、上記固体撮像素子を含む。
固体撮像装置及び固体撮像素子の構成例を図1~2を参照して説明する。なお、図1~2では、各部を明確にするため、相互の厚み及び/又は幅の比率は無視して一部誇張して表示している。
図1に示すように、固体撮像装置100は、矩形状の固体撮像素子101と、固体撮像素子101の上方に保持され、この固体撮像素子101を封止する透明なカバーガラス103とを備えている。更に、このカバーガラス103上には、スペーサー104を介してレンズ層111が重ねて設けられている。レンズ層111は、支持体113とレンズ材112とで構成されている。レンズ層111は、支持体113とレンズ材112とが一体成形された構成でもよい。レンズ層111の周縁領域に迷光が入射すると光の拡散によりレンズ材112での集光の効果が弱くなり、撮像部102に届く光が低減する。また、迷光によるノイズの発生も生じる。そのため、このレンズ層111の周縁領域は、遮光膜114が設けられて遮光されている。本発明の組成物により形成される硬化膜は上記遮光膜114としても使用できる。
固体撮像素子101は、その受光面となる撮像部102結像した光学像を光電変換して、画像信号として出力する。この固体撮像素子101は、2枚の基板を積層した積層基板105を備えている。積層基板105は、同サイズの矩形状のチップ基板106及び回路基板107からなり、チップ基板106の裏面に回路基板107が積層されている。
チップ基板106として用いられる基板の材料としては特に制限されず、公知の材料を使用できる。
チップ基板106の表面中央部には、撮像部102が設けられている。また、撮像部102の周縁領域に迷光が入射すると、この周縁領域内の回路から暗電流(ノイズ)が発生するため、この周縁領域は、遮光膜115が設けられて遮光されている。本発明の組成物から形成される硬化膜は遮光膜115として用いるのが好ましい。
チップ基板106の表面縁部には、複数の電極パッド108が設けられている。電極パッド108は、チップ基板106の表面に設けられた図示しない信号線(ボンディングワイヤでも可)を介して、撮像部102に電気的に接続されている。
回路基板107の裏面には、各電極パッド108の略下方位置にそれぞれ外部接続端子109が設けられている。各外部接続端子109は、積層基板105を垂直に貫通する貫通電極110を介して、それぞれ電極パッド108に接続されている。また、各外部接続端子109は、図示しない配線を介して、固体撮像素子101の駆動を制御する制御回路、及び固体撮像素子101から出力される撮像信号に画像処理を施す画像処理回路等に接続されている。
図2に示すように、撮像部102は、受光素子201、カラーフィルタ202、マイクロレンズ203等の基板204上に設けられた各部から構成される。カラーフィルタ202は、青色画素205b、赤色画素205r、緑色画素205g、及び、ブラックマトリクス205bmを有している。本発明の組成物から形成される硬化膜は、ブラックマトリクス205bmとして用いてもよい。
基板204の材料としては、前述のチップ基板106と同様の材料を使用できる。基板204の表層にはpウェル層206が形成されている。このpウェル層26内には、n型層からなり光電変換により信号電荷を生成して蓄積する受光素子201が正方格子状に配列形成されている。
受光素子201の一方の側方には、pウェル層206の表層の読み出しゲート部207を介して、n型層からなる垂直転送路208が形成されている。また、受光素子201の他方の側方には、p型層からなる素子分離領域209を介して、隣接画素に属する垂直転送路208が形成されている。読み出しゲート部207は、受光素子201に蓄積された信号電荷を垂直転送路208に読み出すためのチャネル領域である。
基板204の表面上には、ONO(Oxide-Nitride-Oxide)膜からなるゲート絶縁膜210が形成されている。このゲート絶縁膜210上には、垂直転送路208、読み出しゲート部207、及び、素子分離領域209の略直上を覆うように、ポリシリコン又はアモルファスシリコンからなる垂直転送電極211が形成されている。垂直転送電極211は、垂直転送路208を駆動して電荷転送を行わせる駆動電極と、読み出しゲート部207を駆動して信号電荷読み出しを行わせる読み出し電極として機能する。信号電荷は、垂直転送路208から図示しない水平転送路及び出力部(フローティングディフュージョンアンプ)に順に転送された後、電圧信号として出力される。
垂直転送電極211上には、その表面を覆うように遮光膜212が形成されている。遮光膜212は、受光素子201の直上位置に開口部を有し、それ以外の領域を遮光している。本発明の組成物から形成される硬化膜は、遮光膜212として用いてもよい。
遮光膜212上には、BPSG(borophospho silicate glass)からなる絶縁膜213、P-SiNからなる絶縁膜(パシベーション膜)214、透明樹脂等からなる平坦化膜215からなる透明な中間層が設けられている。カラーフィルタ202は、中間層上に形成されている。
〔画像表示装置〕
本発明の画像表示装置は、本発明の組成物から形成される硬化膜を含む。
画像表示装置が硬化膜を有する形態としては、例えば、硬化膜がブラックマトリクスに含有され、このようなブラックマトリクスを含有するカラーフィルタが、画像表示装置に使用される形態が挙げられる。
次に、ブラックマトリクス及びブラックマトリクスを含有するカラーフィルタについて説明し、更に、画像表示装置の具体例として、このようなカラーフィルタを含有する液晶表示装置について説明する。
<ブラックマトリクス>
本発明の組成物から形成される硬化膜は、ブラックマトリクスに含有されるのも好ましい。ブラックマトリクスは、通常、カラーフィルタ、固体撮像素子、及び、液晶表示装置等の画像表示装置に含まれ得る。
ブラックマトリクスとしては、上記で既に説明したもの;液晶表示装置等の画像表示装置の周縁部に設けられた黒色の縁;赤、青、及び、緑の画素間の格子状、及び/又は、ストライプ状の黒色の部分;TFT(thin film transistor)遮光のためのドット状、及び/又は、線状の黒色パターン;等が挙げられる。このブラックマトリクスの定義については、例えば、菅野泰平著、「液晶ディスプレイ製造装置用語辞典」、第2版、日刊工業新聞社、1996年、p.64に記載がある。
ブラックマトリクスは表示コントラストを向上させるため、また薄膜トランジスタ(TFT)を用いたアクティブマトリックス駆動方式の液晶表示装置の場合には光の電流リークによる画質低下を防止するため、高い遮光性(好ましくは、OD値で3.0以上)を有するのが好ましい。
ブラックマトリクスの製造方法としては特に制限されないが、上記の硬化膜の製造方法と同様の方法により製造できる。具体的には、基板に組成物を塗布して、組成物層を形成し、露光、及び、現像してパターン状の硬化膜(ブラックマトリクス)を製造できる。なお、ブラックマトリクスとして用いられる硬化膜の膜厚としては、0.1~4.0μmが好ましい。
上記基板の材料としては、特に制限されないが、可視光(波長400~800nm)に対して80%以上の透過率を有するのが好ましい。このような材料としては、具体的には、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、及び、ホウケイ酸ガラス等のガラス;ポリエステル系樹脂、及び、ポリオレフィン系樹脂等のプラスチック;等が挙げられ、耐薬品性、及び、耐熱性の観点から、無アルカリガラス、又は、石英ガラス等が好ましい。
<カラーフィルタ>
本発明の組成物から形成される硬化膜は、カラーフィルタに含まれるのも好ましい。
カラーフィルタが硬化膜を含む形態としては、特に制限されないが、基板と、上記ブラックマトリクスとを備えるカラーフィルタが挙げられる。すなわち、基板上に形成された上記ブラックマトリクスの開口部に形成された赤色、緑色、及び青色の着色画素とを備えるカラーフィルタが例示できる。
ブラックマトリクス(硬化膜)を含有するカラーフィルタは、例えば、以下の方法により製造できる。
まず、基板上に形成されたパターン状のブラックマトリクスの開口部に、カラーフィルタの各着色画素に対応する顔料を含有した組成物の塗膜(組成物層)を形成する。なお、各色用組成物としては特に制限されず、公知の組成物を使用できるが、本明細書で説明した組成物において、遮光顔料を、各画素に対応した着色剤に置き換えた組成物を使用するのが好ましい。
次に、組成物層に対して、ブラックマトリクスの開口部に対応したパターンを有するフォトマスクを介して露光する。次いで、現像処理により未露光部を除去した後、ベークしてブラックマトリクスの開口部に着色画素を形成できる。一連の操作を、例えば、赤色、緑色、及び青色顔料を含有した各色用組成物を用いて行えば、赤色、緑色、及び、青色画素を有するカラーフィルタを製造できる。
<液晶表示装置>
本発明の組成物から形成される硬化膜は、液晶表示装置に含まれるのも好ましい。液晶表示装置が硬化膜を含む形態としては特に制限されないが、既に説明したブラックマトリクス(硬化膜)を含むカラーフィルタを含む形態が挙げられる。
本発明の液晶表示装置としては、例えば、対向して配置された一対の基板と、それらの基板の間に封入されている液晶化合物とを備える形態が挙げられる。上記基板としては、ブラックマトリクス用の基板として既に説明したとおりである。
上記液晶表示装置の具体的な形態としては、例えば、使用者側から、偏光板/基板/カラーフィルタ/透明電極層/配向膜/液晶層/配向膜/透明電極層/TFT(Thin Film Transistor)素子/基板/偏光板/バックライトユニットをこの順に含有する積層体が挙げられる。
なお、液晶表示装置としては、上記に制限されず、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」等に記載されている液晶表示装置が挙げられる。また、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている液晶表示装置が挙げられる。
〔赤外線センサ〕
本発明の組成物から形成される硬化膜は、赤外線センサに含まれるのも好ましい。
上記実施態様に係る赤外線センサについて、図3を用いて説明する。図3に示す赤外線センサ300において、図番310は、固体撮像素子である。
固体撮像素子310上に設けられている撮像領域は、赤外線吸収フィルタ311と本発明の実施形態に係るカラーフィルタ312とを組み合せて構成されている。
赤外線吸収フィルタ311は、可視光領域の光(例えば、波長400~700nmの光)を透過し、赤外領域の光(例えば、波長800~1300nmの光、好ましくは波長900~1200nmの光、より好ましくは波長900~1000nmの光)を遮蔽する膜であり、着色剤として赤外線吸収剤(赤外線吸収剤としては既に説明した赤外線吸収剤が挙げられる。)を含む硬化膜を使用できる。
カラーフィルタ312は、可視光領域における特定波長の光を透過及び吸収する画素が形成されたカラーフィルタであって、例えば、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の画素が形成されたカラーフィルタ等が用いられ、その形態は既に説明したとおりである。
赤外線透過フィルタ313と固体撮像素子310との間には、赤外線透過フィルタ313を透過した波長の光を透過させられる樹脂膜314(例えば、透明樹脂膜等)が配置されている。
赤外線透過フィルタ313は、可視光遮蔽性を有し、かつ、特定波長の赤外線を透過させるフィルタであって、可視光領域の光を吸収する着色剤(例えば、ペリレン化合物、及び/又は、ビスベンゾフラノン化合物等)と、赤外線吸収剤(例えば、ピロロピロール化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、及び、ポリメチン化合物等)と、を含む、本発明の組成物から形成される硬化膜を使用できる。赤外線透過フィルタ313は、例えば、波長400~830nmの光を遮光し、波長900~1300nmの光を透過させるのが好ましい。
カラーフィルタ312及び赤外線透過フィルタ313の入射光hν側には、マイクロレンズ315が配置されている。マイクロレンズ315を覆うように平坦化膜316が形成されている。
図3に示す形態では、樹脂膜314が配置されているが、樹脂膜314に代えて赤外線透過フィルタ313を形成してもよい。すなわち、固体撮像素子310上に、赤外線透過フィルタ313を形成してもよい。
また、図3に示す形態では、カラーフィルタ312の膜厚と、赤外線透過フィルタ313の膜厚が同一であるが、両者の膜厚は異なっていてもよい。
また、図3に示す形態では、カラーフィルタ312が、赤外線吸収フィルタ311よりも入射光hν側に設けられているが、赤外線吸収フィルタ311と、カラーフィルタ312との順序を入れ替えて、赤外線吸収フィルタ311を、カラーフィルタ312よりも入射光hν側に設けてもよい。
また、図3に示す形態では、赤外線吸収フィルタ311とカラーフィルタ312は隣接して積層しているが、両フィルタは必ずしも隣接している必要はなく、間に他の層が設けられていてもよい。本発明の組成物から形成される硬化膜は、赤外線吸収フィルタ311の表面の端部及び/又は側面等の遮光膜として使用できるほか、赤外線センサの装置内壁に用いれば、内部反射及び/又は受光部への意図しない光の入射を防ぎ、感度を向上させられる。
この赤外線センサによれば、画像情報を同時に取り込めるため、動きを検知する対象を認識したモーションセンシング等が可能である。更には、距離情報を取得できるため、3D情報を含んだ画像の撮影等も可能である。
次に、上記赤外線センサを適用した固体撮像装置について説明する。
上記固体撮像装置は、レンズ光学系と、固体撮像素子と、赤外発光ダイオード等を含有する。なお、固体撮像装置の各構成については、特開2011-233983号公報の段落0032~0036を参酌でき、この内容は本願明細書に組み込まれる。
以下に実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきものではない。
[色材分散液の調製]
以下に示す原料を用いて、色材分散液を調製した。
〔色材分散液の原料〕
<カーボンブラック>
カーボンブラックとして、以下に示すCB-1~CB-6を使用した。
・CB-1:#2350(平均一次粒子径15nm、pH2.5、三菱ケミカル社製)
・CB-2:MA77(平均一次粒子径23nm、pH2.5、三菱ケミカル社製)
・CB-3:Raven1080(平均一次粒子径28nm、pH2.4、コロンビアケミカルズ社製)
・CB-4:MA220(平均一次粒子径55nm、pH3.0、三菱ケミカル社製)
・CB-5:#2600(平均一次粒子径13nm、pH6.5、三菱ケミカル社製)
・CB-6:プリンテックス45(平均一次粒子径26nm、pH9.5、オリオン・エンジニアドカーボンズ社製)
<金属窒化物粒子及び金属酸窒化物粒子(粒子B)>
金属窒化物粒子及び金属酸窒化物粒子(粒子B)として、以下に示すP-1~P-3を使用した。
・P-1:13M-T(材質:酸窒化チタン、三菱マテリアル社製)(平均一次粒子径:0.05μm)
・P-2:チタン窒化物粒子(材質:窒化チタン、Hefei Kai’er製)(平均一次粒子径:0.05μm)
・P-3:酸窒化ジルコニウム粒子(材質:酸窒化ジルコニウム、三菱マテリアル社製)(平均一次粒子径:0.04μm)
<硫酸バリウム>
硫酸バリウムとして、以下に示すBS-1を使用した。
・BS-1:BF-20(堺化学工業社製)(平均粒子径:0.03μm、pH:10)
<銅フタロシアニン又は銅フタロシアニン誘導体>
銅フタロシアニン又は銅フタロシアニン誘導体として、以下に示すCP-1~CP-3を使用した。
・CP-1:ピグメントブルー15(銅フタロシアニン、東京化成工業製)
・CP-2:銅フタロシアニン-3,4’,4’’,4’’’-テトラスルホン酸四ナトリウム塩(銅フタロシアニン誘導体、Sigma-Aldrich社製)
・CP-3:Solsperse5000 (銅フタロシアニン誘導体、Lubrizol社製)
なお、「CP-3(Solsperse5000)」は、スルホン酸基を有する銅フタロシアニンとジメチルジオクタデシルアンモニウムとから構成される塩に該当する。
<分散剤>
分散剤として、以下の構造の分散剤H-1~H-5を使用した。
分散剤H-1~H-3において、主鎖に含まれる各構造単位に記載の数値は、全構造単位に対する各構造単位のモル%を意図する。また、側鎖に含まれる各構造単位に記載の数値は、繰り返し数を表す。
・H-1:下記構造の分散剤(酸価=103mgKOH/g、アミン価=103mgKOH/g、重量平均分子量=13,000)
Figure 2023049863000016
・H-2:下記構造の分散剤(酸価=52mgKOH/g、重量平均分子量=13,000)
Figure 2023049863000017
・H-3:下記構造の分散剤(酸価=33mgKOH/g、アミン価=44mgKOH/g、重量平均分子量=23,000)
Figure 2023049863000018
・H-4:Disperbyk167(アミン価=13mgKOH/g、BYK社製)
・H-5:Disperbyk161(アミン価=11mgKOH/g、BYK社製)
<溶剤>
・PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
・酢酸ブチル
・シクロペンタノン
〔色材分散液の調製〕
表1に記載の各成分を混合して撹拌した後、得られた混合液に更に直径0.3mmのジルコニアビーズ230質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて5時間分散処理を行った。次いで、得られた処理物からビーズをろ過により分離することで、表1に記載の各色材分散液(以下「分散液」ともいう。)を得た。
色材分散液の組成を下記表1に示す。
Figure 2023049863000019
[組成物の調製]
以下に示す原料を使用して、組成物を調製した。
〔組成物の原料〕
<色材分散液>
色材分散液として、上段部で調製した色材分散液(分散液1~20、比較用分散液1~3)を使用した。
<アルカリ可溶性樹脂>
アルカリ可溶性樹脂として、以下のC-1~C-2を用いた。以下に樹脂であるC-1~C-2のそれぞれの構造を示す。各構造単位に記載の数値は、全構造単位に対する、各構造単位のモル%を意図する。
・C-1:下記構造の樹脂(酸価=110mgKOH/g、重量平均分子量=33,000)
Figure 2023049863000020
・C-2:下記構造の樹脂(酸価=70mgKOH/g、重量平均分子量=11,000)
Figure 2023049863000021
<架橋剤>
架橋剤として、以下のD-1~D-3を用いた。
・D-1:下記構造の化合物(アルコキシメチル基含有架橋剤に該当する。)
Figure 2023049863000022
・D-2:jER828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、(株)三菱ケミカルホールディングス製(エポキシ基含有架橋剤に該当する。))
・D-3:OXT-221(ビス[1-エチル(3-オキセタニル)]メチルエーテル、東亞合成社製(オキセタニル基含有架橋剤に該当する。))
<酸発生剤>
酸発生剤として、以下のE-1~E-5を用いた。
・E-1:下記構造の化合物(スルホニウム塩化合物に該当する)
Figure 2023049863000023
・E-2:下記構造の化合物(スルホニウム塩化合物に該当する)
Figure 2023049863000024
・E-3:下記構造の化合物(ハロメチル化トリアジン化合物に該当する)
Figure 2023049863000025
・E-4:下記構造の化合物(ハロメチル化トリアジン化合物に該当する)
Figure 2023049863000026
・E-5:下記構造の化合物(オキシムスルホネート化合物に該当する)
Figure 2023049863000027
<カーボンブラックとは異なる有機粒子及び金属酸化物粒子(粒子A)>
カーボンブラックとは異なる有機粒子及び金属酸化物粒子(粒子A)として、以下のH-1~H-3を用いた。
・H-1:ベルパールR200(フェノール樹脂粒子、平均粒子径6μm、エア・ウォーター・ベルパール社製)
・H-2:ベルパールR100(フェノール樹脂粒子、平均粒子径1.5μm、エア・ウォーター・ベルパール社製)
・H-3:エポスターMA1006(アクリル樹脂粒子、平均粒子径6μm、日本触媒社製)
・H-4: ソリオスターRA Aタイプ(シリカ粒子、平均粒子径3.5μm、日本触媒社製)
<溶剤>
・PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)
<密着剤>
密着剤として、以下のG-1を用いた。
・G-1:下記構造の化合物
Figure 2023049863000028
<界面活性剤>
界面活性剤として、以下のW-1~W-4を用いた。
・下記構造の化合物(フッ素系界面活性剤。重量平均分子量=15,000。下記式において、左側の構造単位と右側の構造単位との含有量は、それぞれ62質量%、38質量%である。)
Figure 2023049863000029
・W-2:KF-6000(シリコーン系界面活性剤(カルビノール変性シリコーン;ジメチル型)。信越化学工業製)
・W-3:Dowsil SH-8400 Fluid(シリコーン系界面活性剤(EO変性シリコーン;ジメチル型)。Dow製)
・W-4:KP323(シリコーン系界面活性剤(フェニル変性型シリコーン)。信越化学工業製)
〔実施組成物及び比較組成物1~3の調製〕
表2に示す各成分を表2に示す配合で混合して、実施組成物及び比較組成物1~3を得た。得られた組成物の組成を表2に示す。
〔比較組成物4の調製〕
色材分散液5を54.1質量部、アルカリ可溶性樹脂C-1を6質量部、ラジカル重合性化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを9質量部、光ラジカル発生剤としてIrgacureOXE02(BASF社製)を3質量部、PGMEAを27.9質量部、及び、界面活性剤W-1を0.01質量部混合して、比較組成物4を調整した。
以下、表2を示す。
Figure 2023049863000030
Figure 2023049863000031
Figure 2023049863000032
Figure 2023049863000033
[評価]
得られた組成物を用いて、以下の評価を実施した。表3に評価結果を示す。
〔OD値及び反射率の評価〕
<硬化膜付き基板の作製>
上記で得られた各組成物をガラス基板上にスピンコート法により塗布し、露光後の膜厚が2.0μmになるような塗膜を作製した。得られた塗膜に対して100℃で120秒間のプリベークを実施した後、UX-1000SM-EH04(ウシオ電機社製)を用いて、基板全面に対して高圧水銀ランプ(ランプパワー50mW/cm)にて1000mJ/cmの露光量で露光処理を実施した。次いで、露光後の基板に対して220℃で300秒間のポストベークを実施し、硬化膜付き基板を得た。
<OD値の測定(遮光性の評価)>
上記<硬化膜付き基板の作製>で得られた硬化膜付き基板について、分光光度計U-4100(日立ハイテクノロジーズ製)及び積分球型受光ユニットにより、波長400~1100nmの範囲での透過率スペクトルを測定した。
最大透過率を示す波長における透過率(%)の値から次の式よりOD値を算出し、下記評価基準に基づいて評価を実施した。「A」及び「B」の評価であれば、実用上問題ないと判断した。
OD=-log10(透過率/100)
(評価基準)
「A」:OD値が、3.5以上
「B」:OD値が、3.0以上、3.5未満
「C」:OD値が、3.0未満
<反射率の評価>
上記<硬化膜付き基板の作製>で得られた硬化膜付き基板に対し、日本分光株式会社製分光器V7200(商品名)VARユニットを用いて角度5°の入射角で波長350~1200nmの光を入射し、得られた反射率スペクトルより、各波長の反射率を評価した。具体的には、波長400~1100nmの範囲で最大反射率を示した波長の光の反射率を評価の基準として、下記評価基準に基づいて評価を実施した。「A」~「C」の評価であれば、実用上問題ないと判断した。
(評価基準)
「A」:反射率が1%未満
「B」:反射率が1%以上3%未満
「C」:反射率が3%以上5%未満
「D」:反射率が5%以上
〔保存安定性(経時粘度安定性)の評価〕
各組成物において、それぞれ、静置処理前の組成物の粘度(mPa・s)を、以下に示す測定条件にて、RE-85L(東機産業社製)を使用して測定した。上記測定後、組成物を7℃、遮光下の条件にて360日静置(静置処理)した後、静置処理後の組成物の粘度(mPa・s)を、以下に示す測定条件にて、RE-85L(東機産業社製)を使用して測定した。
《粘度測定条件》
上述の静置処理前後の組成物の粘度は、いずれも、温度22±5℃、湿度60±20%に管理した実験室で、組成物の温度を25℃に調整した状態で測定した。
上記静置前後での粘度の変化率を評価の基準として、下記評価基準に基づいて保存安定性(経時粘度安定性)の評価を実施した。粘度変化率の数値が小さいほど、組成物の保存安定性(経時粘度安定性)が良好である。「A」~「C」の評価であれば、実用上問題ないと判断した。
<評価基準>
「A」:粘度変化率が3%未満
「B」:粘度変化率が3%以上5%未満
「C」:粘度変化率が5%以上10%未満
「D」:粘度変化率が10%以上15%未満
「E」:粘度変化率が15%以上
〔最低密着露光量の評価、密着性の評価(テープ剥離試験)、及び、アンダーカット形状の評価〕
<最低密着露光量の評価>
各組成物を、製膜後の膜厚が2.0μmになるようにガラス基板上にスピンコート法で塗布し、次いで、ホットプレートを用いて90℃で2分間加熱した。次いで、UX-1000SM-EH04(ウシオ電機社製)を用いて、高圧水銀ランプ(ランプパワー50mW/cm2)にて、100μmのラインアンドスペースパターンを有するマスクを介して、50~2000mJ/cmの露光量で露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗し、ラインアンドスペースパターンを形成した。
光学顕微鏡を用いてパターン部を観察することで、現像でパターンが剥離されることなくラインアンドスペースパターンが形成されている露光量の最低値を評価した。最低露光量が小さいほど感度が高いことを表す。「A」~「C」の評価であれば、実用上問題ないと判断した。
(評価基準)
「A」:最低密着露光量が100mJ/cm以下
「B」:最低密着露光量が100mJ/cm超250mJ/cm以下
「C」:最低密着露光量が250mJ/cm超500mJ/cm以下
「D」:最低密着露光量が500mJ/cmを超える値である
<密着性の評価(テープ剥離試験)>
上述の<最低密着露光量の評価>にて作製した最低密着露光量でのラインアンドスペースパターンをホットプレートを用いて220℃で5分間加熱した。得られたパターンについて、セロハンテープを剥離試験用圧着ローラー(2kg)を用いて圧着させ、テープの端を45°の角度に傾けながら秒速75mmの速さで引き剥がした。テープ剥離後のパターンの状態を光学顕微鏡を用いて観察し、以下の評価基準に基づいて密着性の評価を実施した。「A」及び「B」の評価であれば、実用上問題ないと判断した。
(評価基準)
「A」:剥がれ及び欠けが全く生じていない。
「B」:一部欠けが生じているが、実用上問題ないレベルである。
「C」:剥がれが生じている、又は、欠けが多く発生している。
〔アンダーカット形状の評価〕
上述の<最低密着露光量の評価>にて作製したラインアンドスペースパターンにおいて、集束イオンビーム(FIB)を用いて、各組成物の最低密着露光量でのパターンの断面サンプルを作製した。次いで、走査型電子顕微鏡(SEM)(S-4800H、(株)日立ハイテクノロジーズ製)を使用してパターンの断面を観察し、パターンの断面の上部の端からパターンが基板と接する部分の端までの水平方向の距離(アンダーカット幅)を測定した。得られた測定値に基づいて、以下の評価基準に基づいて評価を実施した。アンダーカット幅が小さいほど、パターン形状の精度が高いことを表す。「A」~「C」の評価であれば、実用上問題ないと判断した。
<評価基準>
「A」:アンダーカット幅が0μm以上、3μm未満
「B」:アンダーカット幅が3μm以上、6μm未満
「C」:アンダーカット幅が6μm以上、10μm未満
「D」:アンダーカット幅が10μm以上、25μm未満
「E」:アンダーカット幅が25μm以上
以下、表3を示す。
Figure 2023049863000034
Figure 2023049863000035
表3の結果から、実施例の組成物により形成されたパターンは、実用性に適した優れた遮光性を有し、且つ、アンダーカットが抑制されていることが明らかである。
また、実施例1~4の対比から、特定架橋剤として、アルコキシメチル基を有し、且つトリアジン構造を有する化合物を使用した場合、密着性がより優れることが確認された。
また、実施例1、5~11の対比から、2種以上の酸発生剤を併用した場合、形成されるパターンのアンダーカット抑制性がより優れることが確認された。なお、実施例10と実施例9と実施例11はいずれも「A」評価であるが、実施例9と実施例11は、実施例10よりもより効果が優れていた。つまり、酸発生剤として、スルホニウム塩化合物とハロメチル化トリアジンとを併用した場合、形成されるパターンのアンダーカット抑制性がより優れることが確認された。
また、実施例1、12~14、51の対比から、組成物が粒子Aを含む場合、形成されるパターンがより低反射性となり、且つ、アンダーカット抑制性がより優れることが確認された。特に、粒子Aがフェノール性樹脂粒子を含む場合、形成されるパターンの最低密着露光量がより低減できる(換言すると、組成物の感度がより優れる)ことが確認された。
また、実施例15~17の対比から、銅フタロシアニン類として、スルホン酸基を有する銅フタロシアニンとジメチルジオクタデシルアンモニウムとから構成される塩を含む場合、組成物の経時粘度安定性がより優れることが確認された。
また、実施例20、24~28の結果から、カーボンブラックのpHが6.0以下である場合、組成物の経時粘度安定性がより優れることが確認された。
また、実施例25、36~40の対比から、酸発生剤として、スルホニウム塩化合物とハロメチル化トリアジンとを併用した場合、形成されるパターンのアンダーカット抑制性がより優れることが確認された。また、酸発生剤の含有量に対する特定架橋剤の含有量の質量比(特定架橋剤の含有量/酸発生剤の含有量)が、1.5超6.0未満である場合、形成されるパターンの最低密着露光量がより低減できる(換言すると、組成物の感度がより優れる)ことが確認された。
また、実施例25、41、42の対比から、カーボンブラックの含有量が、組成物の全固形分に対して、27.0質量%以上である場合、形成されるパターンの遮光性がより優れることが確認された。一方で、カーボンブラックの含有量が、組成物の全固形分に対して、35.0質量%以下である場合、形成されるパターンのアンダーカットがより抑制されるとともに、密着性がより優れることが確認された。さらに、実施例25、43~46の対比から、実施例41の如くカーボンブラックの含有量を上げ過ぎず、代わりに組成物に粒子Bを導入して顔料濃度を上げた場合、形成されるパターンのアンダーカット及び密着性は悪化せずに優れた遮光性を創出できることが確認された。
また、実施例25及び47の対比から、組成物が密着剤を含む場合、形成されるパターンのアンダーカット抑制性がより優れ、且つ、最低密着露光量がより低減できる(換言すると、組成物の感度がより優れる)ことが確認された。
また、実施例25、48、49の対比から、組成物中の粒子Aの含有量が、組成物の全固形分に対して10質量%以上である場合、形成されるパターンがより低反射性となることが確認された。
また、実施例25及び50の対比から、組成物が粒子Aを含む場合、組成物中の樹脂の含有量が、組成物の全固形分に対して12質量%以下である場合、形成されるパターンのアンダーカットがより抑制されることが確認された。
さらに、上記で使用した硫酸バリウムを、他の硫酸バリウムの市販品(BF-10、BF-21、BF-1、BF-40(いずれも、堺化学工業社製)、TS-3、SC-201、HC-A(いずれも竹原化学)、及び、TS-2(東新化成))に変更しても同様の効果が得られる。
100・・・固体撮像装置
101・・・固体撮像素子
102・・・撮像部
103・・・カバーガラス
104・・・スペーサー
105・・・積層基板
106・・・チップ基板
107・・・回路基板
108・・・電極パッド
109・・・外部接続端子
110・・・貫通電極
111・・・レンズ層
112・・・レンズ材
113・・・支持体
114、115・・・硬化膜
201・・・受光素子
202・・・カラーフィルタ
201・・・受光素子
202・・・カラーフィルタ
203・・・マイクロレンズ
204・・・基板
205b・・・青色画素
205r・・・赤色画素
205g・・・緑色画素
205bm・・・ブラックマトリクス
206・・・pウェル層
207・・・読み出しゲート部
208・・・垂直転送路
209・・・素子分離領域
210・・・ゲート絶縁膜
211・・・垂直転送電極
212・・・硬化膜
213、214・・・絶縁膜
215・・・平坦化膜
300・・・赤外線センサ
310・・・固体撮像素子
311・・・赤外線吸収フィルタ
312・・・カラーフィルタ
313・・・赤外線透過フィルタ
314・・・樹脂膜
315・・・マイクロレンズ
316・・・平坦化膜

Claims (21)

  1. カーボンブラックと、
    硫酸バリウムと、
    銅フタロシアニン及び銅フタロシアニン誘導体からなる群から選ばれる1種以上と、
    酸発生剤と、
    酸によって架橋する架橋性基を有する架橋剤と、を含む、組成物。
  2. 更に、樹脂を含む、請求項1に記載の組成物。
  3. 前記架橋剤が、トリアジン構造を含む、請求項1又は2に記載の組成物。
  4. 前記架橋性基が、アルコキシメチル基を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の組成物。
  5. 更に、前記カーボンブラックとは異なる有機粒子及び金属酸化物粒子からなる群から選ばれる1種以上の粒子Aを含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の組成物。
  6. 前記粒子Aの平均粒子径が、0.1~10μmの範囲にある、請求項5に記載の組成物。
  7. 前記有機粒子が、フェノール樹脂粒子及びアクリル樹脂粒子の1種以上を含む、請求項5又は6に記載の組成物。
  8. 前記金属酸化物粒子が、シリカ粒子を含む、請求項5~7のいずれか1項に記載の組成物。
  9. 前記銅フタロシアニン誘導体を含み、且つ、
    前記銅フタロシアニン誘導体が、スルホン酸基を有する銅フタロシアニンとジメチルジオクタデシルアンモニウムとから構成される塩である、請求項1~8のいずれか1項に記載の組成物。
  10. 前記カーボンブラックの含有量が、組成物中の全固形分に対して、15~55質量%である、請求項1~9のいずれか1項に記載の組成物。
  11. 更に、金属窒化物粒子及び金属酸窒化物粒子からなる群から選ばれる1種以上の粒子Bを含む、請求項1~10のいずれか1項に記載の組成物。
  12. 前記粒子Bが、チタン、ジルコニウム、バナジウム、及びニオブからなる群から選ばれる1種以上の金属の窒化物又は酸窒化物である、請求項11に記載の組成物。
  13. 更に、フッ素系界面活性剤を含む、請求項1~12のいずれか1項に記載の組成物。
  14. 固形分の含有量が、10~45質量%である、請求項1~13のいずれか1項に記載の組成物。
  15. 前記酸発生剤を2種以上含む、請求項1~14のいずれか1項に記載の組成物。
  16. 前記酸発生剤が、スルホニウム塩化合物及びハロメチル化トリアジン化合物を含む、請求項1~15のいずれか1項に記載の組成物。
  17. 前記組成物から形成される組成物層に対して下記膜形成方法を実施して膜を形成したとき、前記膜の波長400~1100nmの範囲における最大反射率が5%未満である、請求項1~16のいずれか1項に記載の組成物。
    ≪膜形成方法≫
    基板上に、前記組成物を、露光後の厚さが2.0μmになるように塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を100℃で120秒間の条件で加熱して組成物層を形成する。次いで、高圧水銀灯を用いて、前記組成物層を露光量が1000mJ/cmとなる条件にて露光した後、露光後の前記組成物層を220℃で300秒間の条件で加熱する。
  18. 請求項1~17のいずれか1項に記載の組成物から形成された硬化膜を含む、遮光膜。
  19. 請求項1~17のいずれか1項に記載の組成物から形成された硬化膜を含む、固体撮像素子。
  20. 請求項1~17のいずれか1項に記載の組成物から形成された硬化膜を含む、画像表示装置。
  21. 支持体上に、請求項1~17のいずれか1項に記載の組成物からなる組成物層を形成する組成物層形成工程と、
    活性光線又は放射線を照射して前記組成物層をパターン状に露光する露光工程と、
    前記露光後の組成物層に対して現像処理を実施する現像工程と、を有する、硬化膜の製造方法。
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