JPWO2018038135A1 - ワイヤクランプ装置のキャリブレーション方法及びワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、駆動電圧供給部90aによって駆動用ピエゾ素子80に図6に示す脈流を供給する。図6に示す例では、直流電圧(DC電圧):125V、振幅(AC成分):10V、周波数:固有振動数(例えば共振周波数fr=2.3kHz)の脈流である。このような脈流を供給することによって、一対のアーム部72a,72bの先端部73a,73bが互いに離れる方向に荷重を加えるとともに開閉方向に振動させる(S11)。
基準電圧VR2についても、上記基準電圧VR1と同様に、ステップS11〜S13を繰り返し行うことによって算出することができる。ただし、基準電圧VR2では、一対のアーム部72a,72bが衝突したと判断できなくなった測定点を取得する点で、基準電圧VR1の算出方法と異なっている。
Vまで減少させている。
アーム部の開き量αは、一対のアーム部72a,72bの先端部73a,73bの間にワイヤ42を挟んだ状態で、ステップS11及びS12を行い、一対のアーム部72a,72bの先端部73a,73bがワイヤ42に衝突したか否かを検出することによって算出することができる。ここで、アーム部の開き量αは単位電圧当たりの一対のアーム部72a,72bの先端部73a,73bの移動量である。
70…ワイヤクランプ装置
72a,72b…アーム部
73a,73b…先端部
74a,74b…基端部
76…駆動部
90…ワイヤボンディング制御部
90a…駆動電圧供給部
90b…衝突検出部
90c…電圧算出部
90d…電圧キャリブレーション部
Claims (12)
- ワイヤクランプ装置のキャリブレーション方法であって、
ワイヤをクランプするための先端部を有し当該先端部から基端部に向かって延在する一対のアーム部と、前記一対のアーム部の基端部に結合され、駆動電圧により前記一対のアーム部の先端部を開閉させる駆動用ピエゾ素子が設けられた駆動部とを備えるワイヤクランプ装置を用意する工程と、
前記一対のアーム部を開閉方向に振動させる所定の周波数を印加して前記駆動用ピエゾ素子を駆動させる工程と、
前記一対のアーム部が開閉方向に振動しているときの前記駆動用ピエゾ素子から出力される出力電流に基づいて、前記一対のアーム部の先端部が衝突したか否かを検出する工程と、
前記検出結果に基づいて、前記一対のアーム部における閉状態の基準電圧を算出する工程と、
前記基準電圧に基づいて、前記駆動用ピエゾ素子に印加する駆動電圧をキャリブレーションする工程と
を含む、キャリブレーション方法。 - 前記検出する工程は、前記出力電流をフーリエ変換することによって前記一対のアーム部における先端部が衝突したときの振動周波数の強度を検出することを含む、請求項1記載のキャリブレーション方法。
- 前記基準電圧を算出する工程は、前記一対のアーム部が閉じ終わるときの閉状態を示す第1基準電圧と、前記一対のアーム部が開き始めるときの閉状態を示す第2基準電圧との少なくとも1つを算出することを含む、請求項1記載のキャリブレーション方法。
- 前記検出する工程は、前記一対のアーム部の先端部の間にワイヤを挟んだ状態で前記一対のアーム部の先端部が前記ワイヤに衝突したか否かを検出することを含む、請求項1記載のキャリブレーション方法。
- 前記ワイヤを挟んだ状態の検出結果に基づいて、前記一対のアーム部における開き量を算出する工程をさらに含み、
前記キャリブレーションする工程において、前記一対のアーム部における開き量に基づいて、前記駆動用ピエゾ素子に印加する駆動電圧をキャリブレーションする、請求項4記載のキャリブレーション方法。 - 前記駆動させる工程は、前記一対のアーム部に対する共振周波数を印加することを含む、請求項1から5のいずれか一項に記載のキャリブレーション方法。
- ワイヤをクランプするための先端部を有し当該先端部から基端部に向かって延在する一対のアーム部と、前記一対のアーム部の基端部に結合され、駆動電圧により前記一対のアーム部の先端部を開閉させる駆動用ピエゾ素子が設けられた駆動部とを備えるワイヤクランプ装置と、
前記一対のアーム部を開閉方向に振動させる所定の周波数を印加して前記駆動用ピエゾ素子を駆動させる駆動電圧供給部と、
前記一対のアーム部が開閉方向に振動しているときの前記駆動用ピエゾ素子から出力される出力電流に基づいて、前記一対のアーム部の先端部が衝突したか否かを検出する衝突検出部と、
前記衝突検出部の検出結果に基づいて、前記一対のアーム部における閉状態の基準電圧を算出する電圧算出部と、
前記基準電圧に基づいて、前記駆動用ピエゾ素子に印加する駆動電圧をキャリブレーションする電圧キャリブレーション部と
を備えた、ワイヤボンディング装置。 - 前記衝突検出部は、前記出力電流をフーリエ変換することによって前記一対のアーム部における先端部が衝突したときの振動周波数の強度を検出する、請求項7記載のワイヤボンディング装置。
- 前記電圧算出部は、前記一対のアーム部が閉じ終わるときの閉状態を示す第1基準電圧と、前記一対のアーム部が開き始めるときの閉状態を示す第2基準電圧との少なくとも1つを算出する、請求項7記載のワイヤボンディング装置。
- 前記衝突検出部は、前記一対のアーム部の先端部の間にワイヤを挟んだ状態で前記一対のアーム部の先端部が前記ワイヤに衝突したか否かを検出する、請求項7記載のワイヤボンディング装置。
- 前記電圧算出部は、前記衝突検出部における前記ワイヤを挟んだ状態の検出結果に基づいて、前記一対のアーム部における開き量を算出し、
前記電圧キャリブレーション部は、前記一対のアーム部における開き量に基づいて、前記駆動用ピエゾ素子に印加する駆動電圧をキャリブレーションする、請求項10記載のワイヤボンディング装置。 - 前記駆動電圧供給部は、前記一対のアーム部に対する共振周波数を印加する、請求項7から11のいずれか一項に記載のワイヤボンディング装置。
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