WO2015122410A1 - ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2015122410A1
WO2015122410A1 PCT/JP2015/053664 JP2015053664W WO2015122410A1 WO 2015122410 A1 WO2015122410 A1 WO 2015122410A1 JP 2015053664 W JP2015053664 W JP 2015053664W WO 2015122410 A1 WO2015122410 A1 WO 2015122410A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
wire
bonding
bonding tool
cut
tool
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/053664
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
直希 関根
Original Assignee
株式会社新川
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社新川 filed Critical 株式会社新川
Priority to SG11201606765WA priority Critical patent/SG11201606765WA/en
Priority to JP2015562828A priority patent/JP6118960B2/ja
Priority to CN201580019290.7A priority patent/CN106165076B/zh
Priority to KR1020167024983A priority patent/KR101921527B1/ko
Publication of WO2015122410A1 publication Critical patent/WO2015122410A1/ja
Priority to US15/235,121 priority patent/US9899348B2/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/002Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating specially adapted for particular articles or work
    • B23K20/004Wire welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/02Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape
    • B23K35/0222Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape for use in soldering, brazing
    • B23K35/0227Rods, wires
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/02Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape
    • B23K35/0255Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape for use in welding
    • B23K35/0261Rods, electrodes, wires
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/22Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
    • B23K35/24Selection of soldering or welding materials proper
    • B23K35/28Selection of soldering or welding materials proper with the principal constituent melting at less than 950 degrees C
    • B23K35/286Al as the principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • B23K2101/40Semiconductor devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45117Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
    • H01L2224/45124Aluminium (Al) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45139Silver (Ag) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45147Copper (Cu) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48455Details of wedge bonds
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • H01L2224/48472Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond the other connecting portion not on the bonding area also being a wedge bond, i.e. wedge-to-wedge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7855Mechanical means, e.g. for severing, pressing, stamping
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/786Means for supplying the connector to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/78611Feeding means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/789Means for monitoring the connection process
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/789Means for monitoring the connection process
    • H01L2224/78901Means for monitoring the connection process using a computer, e.g. fully- or semi-automatic bonding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/851Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector the connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85181Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852Applying energy for connecting
    • H01L2224/85201Compression bonding
    • H01L2224/85205Ultrasonic bonding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/859Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector involving monitoring, e.g. feedback loop
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L24/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00011Not relevant to the scope of the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details

Definitions

  • the present invention relates to a wire bonding apparatus and a method for manufacturing a semiconductor device.
  • wire bonding in which an electrode of a semiconductor chip and an electrode of a substrate are electrically connected by a wire is widely used.
  • a wedge bonding method is known in which a wire is connected to a bonding target without forming a ball at the wire tip.
  • the wire is cut by moving the bonding tool in the X and Y directions parallel to the bonding surface.
  • a wire tail is formed at the tip of the wire. Thereafter, the wire tail is bonded to the first bond point in order to perform the next wire bonding without performing the ball formation process (see Patent Document 1).
  • the movement process of the bonding tool for cutting the wire has been performed by the operator setting the parameter (movement distance) in advance. It is common to secure and set the movement distance. For this reason, the bonding tool may be moved excessively even though the wire is actually cut, and the operation time of the wire bonding apparatus may be consumed correspondingly.
  • the bonding tool may be moved excessively even though the wire is actually cut, and the operation time of the wire bonding apparatus may be consumed correspondingly.
  • an object of the present invention is to provide a wire bonding apparatus and a semiconductor device manufacturing method that can solve the above-described problems.
  • a wire bonding apparatus includes a bonding tool for inserting a wire, and bonding for cutting a wire after forming a wire loop between a first bond point and a second bond point of a bonding target. Whether a predetermined electric signal is supplied between the control unit that performs the movement process of the tool, the wire inserted by the bonding tool, and the object to be bonded, and whether the wire is cut based on the output of the supplied electric signal A monitoring unit that monitors the wire, and the control unit continues the moving process of the bonding tool during a period when it is determined that the wire is not cut based on the monitoring result from the monitoring unit, and the wire is cut. When it is determined that the bonding tool has been moved, the moving process of the bonding tool is stopped.
  • the predetermined electric signal may be an AC electric signal.
  • the output of the supplied electric signal is an output related to the capacity between the wire and the object to be bonded
  • the monitoring unit is configured to compare the output related to the capacity with a predetermined threshold value based on a comparison between the output and the predetermined threshold. It may be configured to determine whether has been disconnected.
  • the wire bonding apparatus may be configured to indicate that the cutting of the wire is abnormal when the monitoring unit determines that the wire has been cut before starting the moving process of the bonding tool for cutting the wire. .
  • the wire bonding performed on the bonding object may be a wedge bonding method.
  • the moving process for cutting the wire of the bonding tool may include moving the bonding tool in a direction parallel to the bonding surface.
  • control unit stops the movement process for cutting the wire of the bonding tool and moves the bonding tool in a direction perpendicular to the bonding surface when the monitoring unit determines that the wire is cut. You may be comprised so that it may make.
  • the wire may be an aluminum wire.
  • a method of manufacturing a semiconductor device includes a method of cutting a wire after forming a wire loop between a first bond point and a second bond point of a bonding target with a bonding tool.
  • a predetermined electric signal is supplied between a wire inserted by a bonding tool and a bonding target, and whether or not the wire is cut is monitored based on an output of the supplied electric signal.
  • the step of cutting the wire continues the moving process for cutting the wire of the bonding tool during a period when it is determined that the wire is not cut based on the monitoring result, and the wire is cut. Including stopping the movement process of the bonding tool when it is determined that the bonding tool is determined to have been met.
  • FIG. 1 is a view showing a wire bonding apparatus according to the present embodiment.
  • 2A and 2B are a top view and a bottom view in the plane of the bonding arm of the wire bonding apparatus according to the present embodiment.
  • FIG. 3 is a flowchart of the semiconductor device manufacturing method according to the present embodiment.
  • 4A and 4B are diagrams for explaining the method of manufacturing the semiconductor device according to the present embodiment, and are also diagrams illustrating an example of the configuration of the monitoring unit according to the present embodiment.
  • FIG. 5 is a timing chart regarding the method for manufacturing the semiconductor device according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a timing chart regarding the method for manufacturing the semiconductor device according to the present embodiment.
  • FIG. 1 is a view showing a wire bonding apparatus according to the present embodiment
  • FIG. 2 is a partially enlarged view of a bonding arm in the wire bonding apparatus
  • FIG. 2 (A) is a top view of the bonding arm
  • FIG. 2B is a bottom view of the bonding arm.
  • the wire bonding apparatus 1 includes an XY drive mechanism 10, a Z drive mechanism 12, a bonding arm 20, an ultrasonic horn 30, a bonding tool 40, a load sensor 50, an ultrasonic transducer 60, a monitoring unit 70, and A control unit 80 is provided.
  • the XY drive mechanism 10 is configured to be movable in the XY axis direction (direction parallel to the bonding surface).
  • the XY drive mechanism (linear motor) 10 has a bonding arm 20 in the Z axis direction (direction perpendicular to the bonding surface). ) Is provided with a movable Z drive mechanism (linear motor) 12.
  • the bonding arm 20 is supported by the support shaft 14 and is configured to be swingable with respect to the XY drive mechanism 10.
  • the bonding arm 20 is formed in a substantially rectangular parallelepiped so as to extend from the XY drive mechanism 10 to the bonding stage 16 on which the bonding object 100 is placed.
  • the bonding arm 20 includes an arm base end 22 attached to the XY drive mechanism 10, an arm front end 24 to which an ultrasonic horn 30 is attached located on the tip side of the arm base end 22, and an arm base end 22.
  • a connecting portion 23 having flexibility by connecting the arm tip 24 is provided.
  • the connecting portion 23 includes slits 25a and 25b having a predetermined width extending from the top surface 21a of the bonding arm 20 toward the bottom surface 21b, and a predetermined width extending from the bottom surface 21b of the bonding arm 20 toward the top surface 21a.
  • the slit 25c As described above, since the connecting portion 23 is locally configured as a thin portion by the slits 25 a, 25 b, and 25 c, the arm distal end portion 24 is configured to bend with respect to the arm base end portion 22.
  • a recess 26 for accommodating the ultrasonic horn 30 is formed on the bottom surface 21b side of the bonding arm 20.
  • the ultrasonic horn 30 is attached to the arm distal end portion 24 by a horn fixing screw 32 while being accommodated in the recess 26 of the bonding arm 20.
  • the ultrasonic horn 30 holds the bonding tool 40 at the tip protruding from the recess 26, and an ultrasonic transducer 60 that generates ultrasonic vibrations is provided in the recess 26.
  • Ultrasonic vibration is generated by the ultrasonic vibrator 60, and this is transmitted to the bonding tool 40 by the ultrasonic horn 30, and the ultrasonic vibration can be applied to the bonding target via the bonding tool 40.
  • An ultrasonic vibrator 60 for example, a piezo vibrator.
  • slits 25a and 25b are formed on the top surface 21a side of the bonding 20 in order from the top surface 21a to the bottom surface 21b.
  • the upper slit 25a is formed wider than the lower slit 25b.
  • a load sensor 50 is provided in the upper slit 25a formed to be wide.
  • the load sensor 50 is fixed to the arm distal end portion 24 by a preload screw 52.
  • the load sensor 50 is disposed so as to be sandwiched between the arm base end portion 22 and the arm tip end portion 24.
  • the load sensor 50 is offset from the central axis in the longitudinal direction of the ultrasonic horn 30 in the contact / separation direction with respect to the bonding target, and the mounting surface of the ultrasonic horn 30 at the rotation center of the bonding arm 20 and the arm tip 24 (that is, And the tip end surface of the arm tip 24 on the bonding tool 40 side). Since the ultrasonic horn 30 that holds the bonding tool 40 is attached to the arm tip 24 as described above, when a load is applied to the tip of the bonding tool 40 due to a reaction force from the bonding target, the arm base end The arm tip 24 is bent with respect to the portion 22, and the load can be detected by the load sensor 50.
  • the load sensor 50 is, for example, a piezo load sensor.
  • the bonding tool 40 is for inserting the wire 42, and is, for example, a capillary provided with an insertion hole 41 (see FIG. 4A).
  • the wire 42 used for bonding is inserted into the insertion hole 41 of the bonding tool 40, and a part of the wire 42 can be fed out from the tip.
  • a pressing portion 47 (see FIG. 4A) for pressing the wire 42 is provided at the tip of the bonding tool 40.
  • the pressing portion 47 has a rotationally symmetric shape around the axial direction of the insertion hole 41 of the bonding tool 40, and has a pressing surface 48 on the lower surface around the insertion hole 41.
  • the bonding tool 40 is attached to the ultrasonic horn 30 so as to be replaceable by a spring force or the like.
  • a wire clamper 44 is provided above the bonding tool 40, and the wire clamper 44 is configured to restrain or release the wire 42 at a predetermined timing.
  • a wire tensioner 46 is provided further above the wire clamper 44. The wire tensioner 46 is configured to insert the wire 42 and apply an appropriate tension to the wire 42 during bonding.
  • the material of the wire 42 is appropriately selected from the ease of processing and the low electrical resistance, and for example, gold (Au), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), or the like is used.
  • the wire 42 is bonded to the first bond point at a part 43 extending from the tip of the bonding tool 40.
  • the monitoring unit 70 monitors the state of the wire 42 inserted by the bonding tool 40 during a predetermined period of the wire bonding process. Specifically, the monitoring unit 70 supplies a predetermined electrical signal between the wire 42 and the bonding target object 100, and monitors whether the wire 42 is cut based on the output of the supplied electrical signal. To do.
  • the monitoring unit 70 includes a power supply unit 72, a measurement unit 74, and a determination unit 74, and one terminal is electrically connected to the bonding stage 16.
  • the other terminal is electrically connected to a wire clamper 44 (or a wire spool (not shown)).
  • the power supply unit 72 is configured to supply a predetermined electric signal between the wire 42 and the bonding target object 100
  • the measuring unit 74 is configured to measure the output of the supplied electric signal.
  • the determination unit 76 is configured to determine the state of the wire 42 (whether or not the wire is cut) based on the output.
  • the capacitance component between the wire 42 and the bonding stage 16 is measured by measuring the impedance value with an impedance measurement circuit (not shown) inside the measurement unit 74.
  • the determination unit 76 determines whether or not the wire 42 has been cut based on the output relating to the capacitance component.
  • the output may be the capacitance value itself.
  • the determination unit 76 compares the output capacitance value with a predetermined threshold value, for example, determines that the wire 42 is not cut when the capacitance value is equal to or greater than the predetermined threshold value, When the capacitance value is smaller than a predetermined threshold value, it may be determined that the wire 42 has been cut.
  • the output related to the capacitance component may be a value obtained by calculating the capacitance value.
  • the determination unit 76 may determine whether or not the wire 42 has been cut based on a differential value associated with a temporal change in the capacitance value, for example.
  • the capacitance component between the wire 42 and the bonding stage 16 is the capacitance value of the element of the wire bonding apparatus 1 (wire bonding apparatus capacity). Value).
  • the capacitive component between the wire 42 and the bonding stage 16 is used. Is a total value of the capacitance value of the wire bonding apparatus and the capacitance value (semiconductor apparatus capacitance value) of the bonding object 100.
  • the monitoring unit 70 determines the first bond point and the second bond point of the bonding object 100 based on the output relating to the capacitance component between the wire 42 inserted by the bonding tool 40 and the bonding stage 16. It is possible to determine or monitor whether or not the wire 42 has been cut after forming the wire loop.
  • control unit 80 is connected to the XY drive mechanism 10, the Z drive mechanism 12, the ultrasonic horn 30 (ultrasonic transducer 60), the load sensor 50, and the monitoring unit 70. By controlling the operation of this configuration, the necessary processing for wire bonding can be performed.
  • the control unit 80 includes, for example, components such as the XY drive mechanism 10, the Z drive mechanism 12, the load sensor 50, the ultrasonic horn 30 (ultrasonic transducer 60), the wire clamper 44, the load sensor 50, and the monitoring unit 70. And an interface (not shown) for transmitting and receiving signals.
  • control unit 80 controls the movement distance of the bonding tool 40 in the XYZ axis direction and the load in the Z direction, the opening / closing operation of the wire clamper 44, the timing and time of ultrasonic vibration applied to the bonding tool 40, and Control related to the operation of the bonding tool, such as control of scrubbing.
  • control unit 80 is a computer device including a CPU and a memory, and the memory stores in advance a bonding program for performing processing necessary for wire bonding.
  • the control unit 80 is configured to perform each process for controlling the operation of the bonding tool 40 described in the semiconductor device manufacturing method to be described later (for example, a program for causing a computer to execute each process). .
  • the semiconductor device manufacturing method includes a wire bonding method performed using the wire bonding apparatus 1. Moreover, the wire bonding according to the present embodiment is a wedge bonding method.
  • FIG. 3 is a flowchart of a method for manufacturing a semiconductor device
  • FIGS. 4A and 4B show a wire bonding process
  • 5 and 6 are timing charts relating to a method for manufacturing a semiconductor device. Note that the orientations of the XYZ axes shown in FIG. 4 (A) are the same in FIGS. 4 (B), 5 and 6.
  • a bonding object 100 is prepared on the bonding stage 16.
  • the bonding target object 100 has a first bond point and a second bond point that are electrically connected by the method of manufacturing a semiconductor device of the present embodiment.
  • the first bond point refers to the first bonding point between the two points connected by the wire
  • the second bond point refers to the bonding point after the two points.
  • the bonding target object 100 is a semiconductor device including at least one semiconductor chip.
  • the semiconductor chip 110 having a plurality of electrodes 112 as first bond points and a second bond point as shown in FIG. And a substrate 120 having a plurality of electrodes 122.
  • Passivation (not shown) as a protective film is formed on the surface of the semiconductor chip 110 where the electrode 112 is formed (the surface on the side where the semiconductor element is formed), and each of the plurality of electrodes 112 extends from the opening of the passivation 114. Exposed.
  • the semiconductor chip 110 is mounted on the substrate 120.
  • bonding in the order of the electrode 112 of the semiconductor chip 110 to the electrode 122 of the substrate 120 is usually referred to as positive bonding, and in the following example, an example of positive bonding will be described.
  • Wire bonding can also be applied to so-called reverse bonding in which the electrodes 122 of the substrate 120 are bonded to the electrodes 112 of the semiconductor chip 110 in this order.
  • the electrode 112 of the semiconductor chip 110 that is the first bond point and the electrode 122 of the substrate 120 that is the second bond point are connected by a wire (S10). That is, as shown in FIG. 5, the first bonding process (time t0 to t2), the looping process (time t2 to t4), and the second bonding process (time t4 to t5) are performed.
  • the bonding tool 40 is lowered from the height Z0 to Z1 by operating the Z drive mechanism 12 from time t0 to t1, and the bonding tool 40 is moved from time t1 to t2. Pressurize. At this time, a part of the wire 42 is pressed by the pressing portion 47 (pressing surface 48) (see FIG. 4A) of the bonding tool 40, and the heat, ultrasonic wave, and scrubbing operation are activated to The electrode 112 is joined.
  • the XY drive mechanism 10 and the Z drive mechanism 12 are appropriately operated to move the bonding tool 40 along a predetermined locus while feeding the wire 42, thereby looping the wire 42.
  • the bonding tool 40 is disposed above the second bond point at time t3, the bonding tool is lowered to the height Z2 by operating the Z drive mechanism 12 from time t3 to time t4.
  • the wire clamper 44 is opened from time t1 to time t3.
  • the bonding tool 40 is pressurized from time t3 to t4.
  • a part of the wire 42 is pressed by the pressing portion 47 (pressing surface 48) (see FIG. 4A) of the bonding tool 40, and heat, ultrasonic waves and scrubbing are applied.
  • the wire 42 and the electrode 112 are joined.
  • FIG. 4A is a diagram corresponding to time t5.
  • the movement process of the bonding tool 40 for cutting the wire 42 is continued (S13).
  • the bonding tool 40 is moved away from the wire loop 90 by further operating the XY drive mechanism 10.
  • tensile stress is applied to the wire 42 during the period from time t5 to time t6 (operation period of the XY drive mechanism 10).
  • a large tensile stress can be applied to the wire 42 by closing the wire clamper 44 at any timing from time t5 to time t6.
  • whether or not the wire is cut is monitored by the monitoring unit 70 during the wire cutting process (S14). Specifically, the monitoring unit 70 supplies a predetermined electrical signal between the wire 42 and the bonding target object 100 after the time t5, and whether or not the wire 42 is cut based on the output of the supplied electrical signal. Judgment or monitoring. The electrical signal is supplied continuously in time and monitoring is performed based on the output for that continuous response.
  • a capacitance component between the wire 42 and the bonding stage 16 can be measured as a monitoring output.
  • the capacitance component between the wire 42 and the bonding stage 16 includes the wire bonding apparatus capacity value and the capacitance value of the bonding target 100 (semiconductor device).
  • the monitoring output is at a high level from time t4 to time t7.
  • the capacitance component falls to the wire bonding apparatus capacitance value, so that the monitoring output becomes low level after time t7.
  • the monitoring unit 70 determines that the wire 42 is not cut while the monitoring output is maintained at the high level, and on the other hand, the wire 42 is cut when the wire 42 transitions to the low level. It is determined that Such a determination can be made by comparing with a predetermined threshold value (for example, an intermediate value between a high level and a low level).
  • a predetermined threshold value for example, an intermediate value between a high level and a low level.
  • the control unit 80 receives a signal based on such a monitoring result from the monitoring unit 70, and controls an operation related to the movement process of the bonding tool based on the monitoring result.
  • the control unit 80 continues the movement process of the bonding tool 40 for cutting the wire 42 (S14 shown in FIG. 3). No and S13). That is, as shown in FIGS. 5 and 6, the movement process of the bonding tool 40 by the XY drive mechanism 12 is continued. Note that the series of processing of S13 and S14 shown in FIG. 3 is repeated until it is determined that the wire 42 has been cut.
  • the control unit 80 stops the movement process of the bonding tool 40 for cutting the wire 42 (S14 Yes and S15 shown in FIG. 3). That is, as shown in FIGS. 5 and 6, the movement process of the bonding tool 40 by the XY drive mechanism 12 is stopped at time t7. Thereafter, as shown in FIG. 3, as a process to be performed thereafter, for example, the Z drive mechanism 10 is operated to raise the bonding tool 40 to a height Z3 in a direction perpendicular to the bonding surface (S16). FIG. 4B corresponds to time t7.
  • the monitoring unit 70 determines that the wire 42 has been cut before starting the moving process of the bonding tool 40 for cutting the wire 42
  • the monitoring unit 70 or the control unit 80 has an abnormal cutting of the wire 42. May be configured to indicate that. For example, if the wire 42 is cut while the bonding tool 40 is raised while the wire 42 is being fed from time t5 to t6, the wire 42 having a predetermined length cannot be fed to the tip of the bonding tool. Therefore, it can be considered that such cutting of the wire 42 is abnormal.
  • the control unit 80 may display the fact on the screen of the display unit 84, for example.
  • the wire 42 is cut by moving the bonding tool 40 in a direction parallel to the bonding surface, the wire tail 43 is bent in a direction intersecting the Z direction according to the moving direction of the bonding tool 40.
  • the wire tool 43 may be extended so as to be bent in the Y direction by moving the bonding tool 40 on a straight line in the Y direction connecting the first bond point and the second bond point.
  • a wire loop 130 extended in a predetermined shape can be formed in order to connect the first bond point and the second bond point.
  • the wire loop 130 has a first joint 132 on the electrode 112 that is a first bond point and a joint 134 on the electrode 122 that is a second bond point.
  • the wire is determined based on the monitoring result.
  • the moving process of the bonding tool for cutting the wire is stopped. Therefore, for example, the movement process of the bonding tool 40 can be completed at the same time as the wire 42 is cut, and the next movement process can be quickly performed, so that the operation time of the wire bonding can be shortened.
  • the cutting process of the wire 42 can be automated, the parameter setting associated with the wire bonding can be simplified. Therefore, the processing efficiency of wire bonding can be improved.
  • the period during which the monitoring unit 70 monitors the state of the wire is set at time t5 to t7.
  • the period is not limited to this, and is, for example, from time t6 to t7 when the operation of the XY drive mechanism 12 is started. Alternatively, it may be the entire period of the wire bonding process. Further, the movement process of the bonding tool 40 for cutting the wire may operate both the XY drive mechanism 10 and the Z drive mechanism 12. Note that the timing chart of FIG. 5 or 6 is an example, and the present invention is not limited to this example.
  • the movement of the bonding tool 40 in the XYZ directions is not limited to the configuration shown in the example according to the above embodiment, and may include, for example, a process of drawing not only a linear trajectory but also a curved trajectory. Further, the shape of the bonding tool 40 is not limited to that illustrated.
  • the present invention is not limited to this, and a DC pulse electric signal may be supplied.
  • the power supply unit 72 may supply DC pulse power
  • the measurement unit 74 may measure the voltage value between the wire 42 and the bonding stage 16. That is, it may be determined or monitored whether or not the wire 42 has been cut by reading a change in voltage value depending on whether or not the wire 42 is electrically connected to the bonding object 100.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

 ワイヤボンディング装置は、ワイヤ42を挿通するボンディングツール40と、ボンディング対象物100の第1ボンド点と第2ボンド点との間にワイヤループ90を形成した後にワイヤ42を切断するためのボンディングツール40の移動処理を行う制御部80と、ボンディングツール40によって挿通されるワイヤ42とボンディング対象物100との間に所定の電気信号を供給し、供給された電気信号の出力に基づいてワイヤ42が切断されたか否かを監視する監視部70と、を備え、制御部80は、監視部70からの監視結果に基づいて、ワイヤ42が切断されていないと判定されている期間中ボンディングツール40の移動処理を続行するとともに、ワイヤ42が切断されたと判定されたときボンディングツール40の移動処理を停止するよう構成されたものである。これにより、ワイヤボンディングの動作時間の短縮及び処理効率の向上を図ることができる。

Description

ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法
 本発明は、ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法に関する。
 半導体装置を製造する場合において、例えば半導体チップの電極と基板の電極とをワイヤによって電気的に接続するワイヤボンディングが広く用いられている。ワイヤボンディング方法の一態様としては、ワイヤ先端にボールを形成せずにボンディング対象にワイヤを接続するウェッジボンディング方式が知られている。ウェッジボンディング方式によれば、第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続した後、ボンディングツールをボンディング面に平行なXY方向へ移動させることによってワイヤを切断し、これによりボンディングツールの先端にワイヤテールを形成する。その後、ワイヤテールは、ボール形成処理を行うことなく次のワイヤボンディングを行うために第1ボンド点にボンディング
される(特許文献1参照)。
 従来、ワイヤを切断するためのボンディングツールの移動処理は、作業者が事前にパラメータ(移動距離)を設定することによって行われていたところ、ワイヤの切断不良の発生を防止するために、余分に移動距離を確保して設定することが一般的であった。そのため、実際にはワイヤが切断されているにもかかわらず、ボンディングツールを余分に移動させてしまっている場合もあり、その分、ワイヤボンディング装置の動作時間が費やされることがあった。また、ワイヤボンディングにおいては、この他にも各種多数のパラメータを設定する必要があり、事前に設定すべきパラメータは少ないほうが好ましい。
特開2003-318216号公報
 そこで、本発明は、上記課題を解決することができるワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
 本発明の一態様にかかるワイヤボンディング装置は、ワイヤを挿通するボンディングツールと、ボンディング対象物の第1ボンド点と第2ボンド点との間にワイヤループを形成した後にワイヤを切断するためのボンディングツールの移動処理を行う制御部と、ボンディングツールによって挿通されるワイヤとボンディング対象物との間に所定の電気信号を供給し、供給された電気信号の出力に基づいてワイヤが切断されたか否かを監視する監視部と、を備え、制御部は、監視部からの監視結果に基づいて、ワイヤが切断されていないと判定されている期間中ボンディングツールの移動処理を続行するとともに、ワイヤが切断されたと判定されたときボンディングツールの移動処理を停止するよう構成されたものである。
 上記構成によれば、ワイヤとボンディング対象物との間に供給した電気信号の出力に基づいてワイヤが切断されたか否かを監視し、その監視結果に基づいて、ワイヤが切断されたと判定されたときワイヤを切断するためのボンディングツールの移動処理を停止する。したがって、例えば、ワイヤが切断されたと同時にボンディングツールの移動処理を終えるとともに、次の移動処理に迅速に移行させることができ、ワイヤボンディングの動作時間の短縮を図ることができる。また、ワイヤの切断処理を自動化することができるので、ワイヤボンディングに伴うパラメータの設定を簡素化することができる。よって、ワイヤボンディングの処理効率を向上させることができる。
 上記ワイヤボンディング装置において、所定の電気信号は、交流電気信号であってもよい。
 上記ワイヤボンディング装置において、供給された電気信号の出力は、ワイヤとボンディング対象物との間の容量に関する出力であり、監視部は、容量に関する出力と所定のしきい値との比較に基づいてワイヤが切断されたか否かを判定するよう構成されてもよい。
 上記ワイヤボンディング装置において、監視部がワイヤを切断するためのボンディングツールの移動処理を開始する前にワイヤが切断されたと判定したとき、ワイヤの切断が異常であることを示すよう構成されてもよい。
 上記ワイヤボンディング装置において、ボンディング対象物に行われるワイヤボンディングは、ウェッジボンディング方式であってもよい。
 上記ワイヤボンディング装置において、ボンディングツールのワイヤを切断するための移動処理は、ボンディング面に平行方向に移動させることを含んでもよい。
 上記ワイヤボンディング装置において、制御部は、監視部によって、ワイヤが切断されたと判定されたときに、ボンディングツールのワイヤを切断するための移動処理を停止するとともにボンディングツールをボンディング面に垂直方向に移動させるよう構成されてもよい。
 上記ワイヤボンディング装置において、ワイヤは、アルミニウムワイヤであってもよい。
 本発明の一態様にかかる半導体装置の製造方法は、ボンディングツールによってボンディング対象物の第1ボンド点と第2ボンド点との間にワイヤループを形成した後にワイヤを切断することを含む半導体装置の製造方法であって、ボンディングツールによって挿通されるワイヤと、ボンディング対象物との間に所定の電気信号を供給し、供給された電気信号の出力に基づいてワイヤが切断されたか否かを監視することを含み、ワイヤを切断する工程は、監視結果に基づいて、ワイヤが切断されていないと判定されている期間中ボンディングツールのワイヤを切断するための移動処理を続行するとともに、ワイヤが切断されたと判定されたときボンディングツールの移動処理を停止することを含む。
 上記構成によれば、ワイヤとボンディング対象物との間に供給した電気信号の出力に基づいてワイヤが切断されたか否かを監視し、その監視結果に基づいて、ワイヤが切断されたと判定されたときワイヤを切断するためのボンディングツールの移動処理を停止する。したがって、例えば、ワイヤが切断されたと同時にボンディングツールの移動処理を終えるとともに、次の移動処理に迅速に移行させることができ、ワイヤボンディングの動作時間の短縮を図ることができる。また、ワイヤの切断処理を自動化することができるので、ワイヤボンディングに伴うパラメータの設定を簡素化することができる。よって、ワイヤボンディングの処理効率を向上させることができる。
 本発明によれば、ワイヤボンディングの動作時間の短縮及び処理効率の向上を図ることができる。
図1は、本実施形態に係るワイヤボンディング装置を示した図である。 図2(A)及び(B)は、本実施形態に係るワイヤボンディング装置のボンディングアームの平面における頂面図及び底面図である。 図3は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法のフローチャートである。 図4(A)及び(B)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための図であり、また、本実施形態に係る監視部の構成の一例を示す図でもある。 図5は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法に関するタイミングチャートである。 図6は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法に関するタイミングチャートである。
 以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施の形態に限定して解するべきではない。
 図1は、本実施形態に係るワイヤボンディング装置を示した図であり、図2は、ワイヤボンディング装置におけるボンディングアームの一部拡大図であり、図2(A)は、ボンディングアームの頂面図、図2(B)は、ボンディングアームの底面図である。
 図1に示すように、ワイヤボンディング装置1は、XY駆動機構10、Z駆動機構12、ボンディングアーム20、超音波ホーン30、ボンディングツール40、荷重センサ50、超音波振動子60、監視部70及び制御部80を備える。
 XY駆動機構10はXY軸方向(ボンディング面に平行な方向)に移動可能に構成されており、XY駆動機構(リニアモータ)10には、ボンディングアーム20をZ軸方向(ボンディング面に垂直な方向)に移動可能なZ駆動機構(リニアモータ)12が設けられている。
 ボンディングアーム20は、支軸14に支持され、XY駆動機構10に対して揺動自在に構成されている。ボンディングアーム20は、XY駆動機構10から、ボンディング対象物100が置かれたボンディングステージ16に延出するように略直方体に形成されている。ボンディングアーム20は、XY駆動機構10に取り付けられるアーム基端部22と、アーム基端部22の先端側に位置して超音波ホーン30が取り付けられるアーム先端部24と、アーム基端部22とアーム先端部24とを連結して可撓性を有する連結部23とを備える。この連結部23は、ボンディングアーム20の頂面21aから底面21bの方向へ延出した所定幅のスリット25a、25b、及び、ボンディングアーム20の底面21bから頂面21aの方向へ延出した所定幅のスリット25cによって構成されている。このように、連結部23が各スリット25a、25b、25cによって局部的に薄肉部として構成されているため、アーム先端部24はアーム基端部22に対して撓むように構成されている。
 図1及び図2(B)に示すように、ボンディングアーム20の底面21b側には、超音波ホーン30が収容される凹部26が形成されている。超音波ホーン30は、ボンディングアーム20の凹部26に収容された状態で、アーム先端部24にホーン固定ネジ32によって取り付けられている。この超音波ホーン30は、凹部26から突出した先端部においてボンディングツール40を保持しており、凹部26には超音波振動を発生する超音波振動子60が設けられている。超音波振動子60によって超音波振動が発生し、これが超音波ホーン30によってボンディングツール40に伝達され、ボンディングツール40を介してボンディング対象に超音波振動を付与することができる。超音波振動子60、例えば、ピエゾ振動子である。
 また、図1及び図2(A)に示すように、ボンディング20の頂面21a側には、頂面21aから底面21bに向かって順番にスリット25a及び25bが形成されている。上部のスリット25aは、下部のスリット25bよりも幅広に形成されている。そして、この幅広に形成された上部のスリット25aに、荷重センサ50が設けられている。荷重センサ50は、予圧用ネジ52によってアーム先端部24に固定されている。荷重センサ50は、アーム基端部22とアーム先端部24との間に挟みこまれるように配置されている。すなわち、荷重センサ50は、超音波ホーン30の長手方向の中心軸からボンディング対象に対する接離方向にオフセットして、ボンディングアーム20の回転中心とアーム先端部24における超音波ホーン30の取付面(すなわち、アーム先端部24におけるボンディングツール40側の先端面)との間に取り付けられている。そして、上記のように、ボンディングツール40を保持する超音波ホーン30がアーム先端部24に取り付けられているため、ボンディング対象からの反力によりボンディングツール40の先端に荷重が加わると、アーム基端部22に対してアーム先端部24が撓み、荷重センサ50において荷重を検出することが可能となっている。荷重センサ50は、例えば、ピエゾ荷重センサである。
 ボンディングツール40は、ワイヤ42を挿通するためのものであり、例えば挿通穴41が設けられたキャピラリである(図4(A)参照)。この場合、ボンディングツール40の挿通穴41にボンディングに使用するワイヤ42が挿通され、その先端からワイヤ42の一部を繰り出し可能に構成されている。また、ボンディングツール40の先端には、ワイヤ42を押圧するための押圧部47(図4(A)参照)が設けられている。押圧部47は、ボンディングツール40の挿通穴41の軸方向の周りに回転対称の形状を有しており、挿通穴41の周囲の下面に押圧面48を有している。
 ボンディングツール40は、バネ力等によって交換可能に超音波ホーン30に取り付けられている。また、ボンディングツール40の上方には、ワイヤクランパ44が設けられ、ワイヤクランパ44は所定のタイミングでワイヤ42を拘束又は解放するよう構成されている。ワイヤクランパ44のさらに上方には、ワイヤテンショナ46が設けられ、ワイヤテンショナ46はワイヤ42を挿通し、ボンディング中のワイヤ42に適度なテンションを付与するよう構成されている。
 ワイヤ42の材料は、加工の容易さと電気抵抗の低さなどから適宜選択され、例えば、金(Au)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)又は銀(Ag)等が用いられる。なお、ワイヤ42は、ボンディングツール40の先端から延出した一部43が第1ボンド点にボンディングされる。
 監視部70は、ワイヤボンディング工程の所定の期間において、ボンディングツール40によって挿通されるワイヤ42の状態を監視するものである。具体的には、監視部70は、ワイヤ42とボンディング対象物100との間に所定の電気信号を供給し、その供給された電気信号の出力に基づいてワイヤ42が切断されたか否かを監視する。
 ここで、図4(A)及び(B)に示すように、監視部70は、電源供給部72と、測定部74と、判定部74とを備えており、一方端子がボンディングステージ16に電気的に接続され、他方端子がワイヤクランパ44(又はワイヤスプール(図示しない))に電気的に接続されている。電源供給部72は、ワイヤ42とボンディング対象物100との間に所定の電気信号を供給するように構成され、測定部74は、供給した電気信号の出力を測定するように構成される。そして、判定部76は、当該出力に基づいてワイヤ42の状態(ワイヤが切断されたか否か)を判定するように構成されている。例えば、電源供給部72の電源が交流電圧電源である場合、測定部74の内部のインピーダンス測定回路(図示しない)によってインピーダンス値を測定することにより、ワイヤ42とボンディングステージ16との間の容量成分を検出し、この容量成分に関する出力に基づいて判定部76が、ワイヤ42が切断されたか否かを判定する。なお、当該出力は、容量値そのものであってもよい。この場合、判定部76は、出力である容量値と所定のしきい値とを比較し、例えば、容量値が所定のしきい値以上であるときにワイヤ42が切断されていないと判定し、容量値が所定のしきい値よりも小さいときにワイヤ42が切断されたと判定してもよい。あるいは、容量成分に関する出力は、容量値を演算して得られた値であってもよい。例えば、判定部76は、例えば、容量値の時間的変化に伴う微分値に基づいてワイヤ42が切断されたか否かを判定してもよい。
 ワイヤ42がボンディング対象物100に電気的に接続されていない状態となっているとき、ワイヤ42とボンディングステージ16との間の容量成分は、ワイヤボンディング装置1の要素の容量値(ワイヤボンディング装置容量値)に等しくなる。これに対して、ワイヤ42がボンディング対象物100(例えば半導体チップ110及び基板120の両方)に電気的に接続されている状態となっているとき、ワイヤ42とボンディングステージ16との間の容量成分は、上記ワイヤボンディング装置容量値と、ボンディング対象物100の容量値(半導体装置容量値)との合計値となる。このようにして、監視部70は、ボンディングツール40によって挿通されるワイヤ42とボンディングステージ16との間の容量成分に関する出力に基づいて、ボンディング対象物100の第1ボンド点と第2ボンド点との間にワイヤループを形成した後においてワイヤ42が切断されたか否かを判定ないし監視することができる。
 図1に戻り、制御部80は、XY駆動機構10、Z駆動機構12、超音波ホーン30(超音波振動子60)、荷重センサ50及び監視部70に接続されており、制御部80によってこれらの構成の動作を制御することにより、ワイヤボンディングのための必要な処理を行うことができるようになっている。制御部80は、例えばXY駆動機構10、Z駆動機構12、荷重センサ50、超音波ホーン30(超音波振動子60)、ワイヤクランパ44、荷重センサ50及び監視部70などの各構成との間で信号の送受信を行うインタフェース(図示しない)を備えている。具体的には、制御部80は、ボンディングツール40のXYZ軸方向の移動距離やZ方向の荷重の制御、ワイヤクランパ44の開閉動作、ボンディングツール40に付与される超音波振動のタイミングや時間及びスクラブ動作の制御など、ボンディングツールの動作に関わる制御を行う。
 また制御部80には、制御情報を入力するための操作部82と、制御情報を出力するための表示部84が接続されており、これにより作業者が表示部84によって画面を認識しながら操作部82によって必要な制御情報を入力することができるようになっている。なお、制御部80は、CPU及びメモリなどを備えるコンピュータ装置であり、メモリには予めワイヤボンディングに必要な処理を行うためのボンディングプログラムなどが格納される。制御部80は、後述する半導体装置の製造方法において説明するボンディングツール40の動作を制御するための各工程を行うように構成されている(例えば各工程をコンピュータに実行させるためのプログラムを備える)。
 次に、図3~図6を参照して、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する。この半導体装置の製造方法は、上記ワイヤボンディング装置1を用いて行われるワイヤボンディング方法を含む。また、本実施形態に係るワイヤボンディングは、ウェッジボンディング方式である。
 ここで、図3は、半導体装置の製造方法のフローチャートであり、図4(A)及び(B)はワイヤボンディングの処理を示したものである。また、図5及び図6は、半導体装置の製造方法に関するタイミングチャートである。なお、図4(A)で示されたXYZ軸の向きは、図4(B)並びに図5及び図6においても同様に当てはまるものである。
 最初に、ボンディングステージ16にボンディング対象物100を用意する。
 図1に示すように、ボンディング対象物100は、本実施形態の半導体装置の製造方法によって電気的に接続される第1ボンド点と第2ボンド点とを有する。ここで、第1ボンド点とは、ワイヤで接続する2点間のうちの最初にボンディングする箇所を指し、第2ボンド点とは、当該2点間のうちの後にボンディングする箇所を指す。
 ボンディング対象物100は、少なくとも1つの半導体チップを含む半導体装置であり、例えば、図1に示すように、第1ボンド点としての複数の電極112を有する半導体チップ110と、第2ボンド点としての複数の電極122を有する基板120とを備える。半導体チップ110における電極112の形成面(半導体素子が形成された側の表面)には、保護膜としてのパッシベーション(図示しない)が形成されており、複数の電極112はそれぞれパッシベーション114の開口部から露出している。半導体チップ110は、基板120上に搭載されている。このような態様において、半導体チップ110の電極112から基板120の電極122の順番にボンディングすることを、通常、正ボンディングと呼び、以下の例では正ボンディングの例を説明するが、本実施形態のワイヤボンディングは基板120の電極122から半導体チップ110の電極112の順番にボンディングするいわゆる逆ボンディングに適用することもできる。
 <時刻t0~t5の処理>
 図3に示すように、第1ボンド点である半導体チップ110の電極112と、第2ボンド点である基板120の電極122とをワイヤで接続する(S10)。すなわち、図5に示すように、第1ボンディング処理(時刻t0~t2)、ルーピング処理(時刻t2~t4)及び第2ボンディング処理(時刻t4~t5)の各処理を行う。
 具体的には、まず、図5に示すように、時刻t0からt1にかけてZ駆動機構12を作動させることによってボンディングツール40を高さZ0からZ1まで下降させ、時刻t1からt2にかけてボンディングツール40を加圧する。このとき、ボンディングツール40の押圧部47(押圧面48)(図4(A)参照)によってワイヤ42の一部を加圧するとともに、熱、超音波及びスクラブ動作を作動させることによって、ワイヤ42と電極112とを接合する。
 次に、時刻t2からt3にかけて、XY駆動機構10及びZ駆動機構12を適宜作動させることによってワイヤ42を繰り出しながらボンディングツール40を所定の軌跡に沿って移動させ、ワイヤ42をルーピングさせる。時刻t3においてボンディングツール40を第2ボンド点の上方に配置したら、その後、時刻t3からt4にかけてZ駆動機構12を作動させることによってボンディングツールを高さZ2まで下降させる。なお、ワイヤクランパ44は時刻t1からt3まで開いた状態にする。
 その後、時刻t3からt4にかけてボンディングツール40を加圧する。このとき、第1ボンド点におけるボンディングと同様に、ボンディングツール40の押圧部47(押圧面48)(図4(A)参照)によってワイヤ42の一部を加圧するとともに、熱、超音波及びスクラブ動作を作動させることによって、ワイヤ42と電極112とを接合する。
 こうして、図4(A)に示すように、第1ボンド点である電極112と第2ボンド点である電極122との間に両者を接続するワイヤループ90を形成する。なお、図4(A)は時刻t5に対応する図である。
 <時刻t5~t8の処理(ワイヤ切断処理)>
 第2ボンド点でのボンディングを終えた後、ワイヤ42を繰り出しながらボンディングツール40を上昇させ(S11)、その後、ワイヤを切断するためのツールの移動処理を開始する(S12)。例えば、図5に示すように、時刻t5にZ駆動機構12を作動させてボンディングツール40を上昇させ、次にXY駆動機構10を作動させてボンディングツール40をワイヤループ90から離れる方向(Y方向)へ移動させる。この間、図5に示すように、ワイヤクランパ44は開いた状態にする。こうして、ボンディングツール40の移動量に伴いボンディングツール40の先端からワイヤ42を所定量だけ繰り出し、ボンディングツール40の先端と第2ボンド点との間に所定の長さのワイヤ42を延出させる。
 その後、ワイヤ42を切断するためのボンディングツール40の移動処理を続行する(S13)。例えば、図5に示すように、XY駆動機構10をさらに作動させることによってボンディングツール40をワイヤループ90から離れる方向へ移動させる。こうして、時刻t5からt6の期間(XY駆動機構10の作動期間)において、ワイヤ42に引っ張り応力を加える。このとき、図5に示すように、時刻t5からt6まで間のいずれかのタイミングでワイヤクランパ44を閉じた状態にすることにより、ワイヤ42により大きな引っ張り応力を加えることができる。
 本実施形態においては、このワイヤ切断処理の期間において、監視部70によってワイヤが切断されたか否かを監視する(S14)。具体的には、監視部70は、時刻t5以降、ワイヤ42とボンディング対象物100との間に所定の電気信号を供給し、供給した電気信号の出力に基づいて、ワイヤ42が切断されたか否かを判定ないし監視する。電気信号は時間的に連続的に供給され、その連続的応答に対する出力に基づいて監視が行われる。
 供給する電気信号が交流電気信号である場合、例えば、ワイヤ42とボンディングステージ16との間の容量成分を監視出力として測定することができる。ワイヤ42がボンディング対象物100と電気的に接続されている状態においては、ワイヤ42とボンディングステージ16との間の容量成分は、ワイヤボンディング装置容量値と、ボンディング対象物100の容量値(半導体装置容量値)との合計値となるため、図6に示すように時刻t4から時刻t7までは監視出力はハイレベルとなっている。そして、時刻t7において、ワイヤ42に加えられる引張り応力によってワイヤ42が切断されると、容量成分がワイヤボンディング装置容量値に下がるため、時刻t7以降は監視出力がロウレベルとなる。こうして、監視部70(判定部76)は、監視出力がハイレベルを維持している間、ワイヤ42が切断されていないと判定し、他方、ワイヤ42がロウレベルに遷移したとき、ワイヤ42が切断されたと判定する。なお、このような判定は、所定のしきい値(例えばハイレベルとロウレベルの中間値)と比較することによって行うことができる。
 制御部80は、このような監視結果に基づく信号を監視部70から受信し、当該監視結果に基づいてボンディングツールの移動処理に関する動作を制御する。
 具体的には、制御部80は、監視部70によってワイヤ42が切断されていないと判定された場合、ワイヤ42を切断するためのボンディングツール40の移動処理を続行する(図3に示されるS14 No及びS13)。すなわち、図5及び図6に示すように、XY駆動機構12によるボンディングツール40の移動処理を続行する。なお、図3に示されるS13及びS14の一連の処理は、ワイヤ42が切断されたと判定されるまで繰り返し行われる。
 他方、制御部80は、監視部70によってワイヤ42が切断されたと判定された場合、ワイヤ42を切断するためのボンディングツール40の移動処理を停止する(図3に示されるS14 Yes及びS15)。すなわち、図5及び図6に示すように、時刻t7において、XY駆動機構12によるボンディングツール40の移動処理を停止する。その後、図3に示すように、その後に行うべき処理として、例えば、Z駆動機構10を作動させて、ボンディングツール40をボンディング面に垂直な方向に高さZ3まで上昇させる(S16)。なお、図4(B)は、時刻t7に対応する図である。
 なお、監視部70がワイヤ42を切断するためのボンディングツール40の移動処理を開始する前にワイヤ42が切断されたと判定したとき、監視部70又は制御部80がワイヤ42の切断が異常であることを示すよう構成されてもよい。例えば、時刻t5からt6にかけてワイヤ42を繰り出しながらボンディングツール40を上昇させている期間にワイヤ42が切断されてしまうと、ボンディングツールの先端に所定の長さのワイヤ42を繰り出すことができていないことから、このようなワイヤ42の切断は異常であるとみなすことができる。この場合、監視部70がこのようなタイミングでワイヤ42が切断されたと判定したとき、制御部80は、例えば表示部84の画面にその旨を表示してもよい。
 このようにして、ワイヤ42の一部を切断して、図4(B)に示すように、ボンディングツール40の先端にワイヤテール43を形成する。ボンディングツール40をボンディング面に平行な方向に移動させることによってワイヤ42を切断するので、ワイヤテール43はボンディングツール40の移動方向に従ってZ方向に交差する方向に曲がった形状となる。例えば、ボンディングツール40を第1ボンド点と第2ボンド点とを結ぶY方向の直線上に移動させてワイヤテール43をY方向に曲がった形状となるように延出させてもよい。
 このようにして、図4(B)に示すように、第1ボンド点と第2ボンド点との間を接続するために所定形状に延出されたワイヤループ130を形成することができる。ワイヤループ130は、第1ボンド点である電極112上の第1接合部132と、第2ボンド点である電極122上の接合部134とを有している。
 <時刻t8以降の処理>
 ボンディングツール40をZ3まで上昇させた後、図3に示すように、ボンディング対象物100に対して次のワイヤボンディングを行う必要があるか否かを判定し(S17)、必要がある場合(S17 Yes)は、ボンディングツール40を次のワイヤボンディングのための第1ボンド点へ移動させてワイヤテール43を第1ボンド点にボンディングし、S10~S16の一連の工程を繰り返し行う。他方、次のワイヤボンディングを行う必要がなく、ボンディング対象物100に対するワイヤボンディングを全て終えた場合(S17 No)は、当該ボンディング対象物100に対してのワイヤボンディング工程を終了する。
 以上のとおり、本実施形態によれば、ワイヤ42とボンディング対象物100との間に供給した電気信号の出力に基づいてワイヤが切断されたか否かを監視し、その監視結果に基づいて、ワイヤが切断されたと判定されたときワイヤを切断するためのボンディングツールの移動処理を停止する。したがって、例えば、ワイヤ42が切断されたと同時にボンディングツール40の移動処理を終えるとともに、次の移動処理に迅速に移行させることができ、ワイヤボンディングの動作時間の短縮を図ることができる。また、ワイヤ42の切断処理を自動化することができるので、ワイヤボンディングに伴うパラメータの設定を簡素化することができる。よって、ワイヤボンディングの処理効率を向上させることができる。
 本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。
 上記実施形態においては、監視部70によるワイヤの状態を監視する期間は、時刻t5~t7としたが、これに限るものではなく、例えばXY駆動機構12の作動を開始する時刻t6~t7であってもよいし、あるいは、ワイヤボンディング工程の全期間としてもよい。また、ワイヤを切断するためのボンディングツール40の移動処理は、XY駆動機構10及びZ駆動機構12の両方を作動させてもよい。なお、図5又は図6のタイミングチャートは一例であり、本発明はこの例に限るものではない。
 また、ボンディングツール40のXYZ方向への移動は、上記実施形態にかかる例で示した構成に限定されるものではなく、例えば直線軌道のみならず曲線軌道を描く処理を含んでいてもよい。またボンディングツール40の形状も図示するものに限定されるものではない。
 また、上記実施形態においては、監視部70が交流電気信号を供給する例を説明したが、これに限るものではなく、直流パルス電気信号を供給してもよい。この場合、電源供給部72は、直流パルス電源を供給し、測定部74がワイヤ42とボンディングステージ16との間の電圧値を測定してもよい。すなわち、ワイヤ42がボンディング対象物100に電気的に接続されているか否かによる電圧値の変化を読み取ることにより、ワイヤ42が切断されたか否かを判定ないし監視してもよい。
 上記発明の実施形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
1…ワイヤボンディング装置、40…ボンディングツール(キャピラリ)、42…ワイヤ、70…監視部、80・・・制御部

 

Claims (9)

  1.  ワイヤを挿通するボンディングツールと、
     ボンディング対象物の第1ボンド点と第2ボンド点との間にワイヤループを形成した後にワイヤを切断するための前記ボンディングツールの移動処理を行う制御部と、
     前記ボンディングツールによって挿通されるワイヤと前記ボンディング対象物との間に所定の電気信号を供給し、前記供給された電気信号の出力に基づいて前記ワイヤが切断されたか否かを監視する監視部と、
    を備え、
     前記制御部は、前記監視部からの監視結果に基づいて、前記ワイヤが切断されていないと判定されている期間中前記ボンディングツールの前記移動処理を続行するとともに、前記ワイヤが切断されたと判定されたとき前記ボンディングツールの前記移動処理を停止するよう構成された、ワイヤボンディング装置。
  2.  前記所定の電気信号は、交流電気信号又は直流パルス信号である、請求項1に記載のワイヤボンディング装置。
  3.  前記供給された電気信号の出力は、前記ワイヤと前記ボンディング対象物との間の容量に関する出力であり、
     前記監視部は、前記容量に関する出力と所定のしきい値との比較に基づいて前記ワイヤが切断されたか否かを判定するよう構成された、請求項2に記載のワイヤボンディング装置。
  4.  前記監視部が前記ワイヤを切断するための前記ボンディングツールの移動処理を開始する前に前記ワイヤが切断されたと判定したとき、前記ワイヤの切断が異常であることを示すよう構成された、請求項1に記載のワイヤボンディング装置。
  5.  前記ボンディング対象物に行われるワイヤボンディングは、ウェッジボンディング方式である、請求項1に記載のワイヤボンディング装置。
  6.  前記ボンディングツールのワイヤを切断するための移動処理は、ボンディング面に平行方向に移動させることを含む、請求項1に記載のワイヤボンディング装置。
  7.  前記制御部は、前記監視部によって、前記ワイヤが切断されたと判定されたときに、前記ボンディングツールのワイヤを切断するための移動処理を停止するとともに前記ボンディングツールをボンディング面に垂直方向に移動させるよう構成された、請求項1に記載のワイヤボンディング装置。
  8.  前記ワイヤは、アルミニウムワイヤである、請求項1記載のワイヤボンディング装置。
  9.  ボンディングツールによってボンディング対象物の第1ボンド点と第2ボンド点との間にワイヤループを形成した後にワイヤを切断することを含む半導体装置の製造方法であって、
     前記ボンディングツールによって挿通されるワイヤと、前記ボンディング対象物との間に所定の電気信号を供給し、前記供給された電気信号の出力に基づいて前記ワイヤが切断されたか否かを監視することを含み、
     前記ワイヤを切断する工程は、前記監視結果に基づいて、前記ワイヤが切断されていないと判定されている期間中前記ボンディングツールの前記ワイヤを切断するための移動処理を続行するとともに、前記ワイヤが切断されたと判定されたとき前記ボンディングツールの前記移動処理を停止することを含む、半導体装置の製造方法。

     
PCT/JP2015/053664 2014-02-14 2015-02-10 ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法 WO2015122410A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SG11201606765WA SG11201606765WA (en) 2014-02-14 2015-02-10 Wire bonding apparatus and semiconductor device manufacturing method
JP2015562828A JP6118960B2 (ja) 2014-02-14 2015-02-10 ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法
CN201580019290.7A CN106165076B (zh) 2014-02-14 2015-02-10 打线装置以及半导体装置的制造方法
KR1020167024983A KR101921527B1 (ko) 2014-02-14 2015-02-10 와이어 본딩 장치 및 반도체 장치의 제조 방법
US15/235,121 US9899348B2 (en) 2014-02-14 2016-08-12 Wire bonding apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-026673 2014-02-14
JP2014026673 2014-02-14

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US15/235,121 Continuation US9899348B2 (en) 2014-02-14 2016-08-12 Wire bonding apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015122410A1 true WO2015122410A1 (ja) 2015-08-20

Family

ID=53800153

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/053664 WO2015122410A1 (ja) 2014-02-14 2015-02-10 ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9899348B2 (ja)
JP (1) JP6118960B2 (ja)
KR (1) KR101921527B1 (ja)
CN (1) CN106165076B (ja)
SG (1) SG11201606765WA (ja)
TW (1) TWI517277B (ja)
WO (1) WO2015122410A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018038135A1 (ja) * 2016-08-23 2018-03-01 株式会社新川 ワイヤクランプ装置のキャリブレーション方法及びワイヤボンディング装置
JP2022512991A (ja) * 2018-12-12 2022-02-07 ヘレウス マテリアルズ シンガポール ピーティーイー. リミテッド 電子部品の接触面を電気的に接続するプロセス
WO2022130617A1 (ja) * 2020-12-18 2022-06-23 株式会社新川 ワイヤボンディング装置、ワイヤ切断方法及びプログラム

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI543284B (zh) * 2014-02-10 2016-07-21 新川股份有限公司 半導體裝置的製造方法以及打線裝置
TWI557821B (zh) * 2014-02-21 2016-11-11 新川股份有限公司 半導體裝置的製造方法以及打線裝置
DE102019109262A1 (de) * 2019-04-09 2020-10-15 Lisa Dräxlmaier GmbH VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINES ZUSTANDS EINES ULTRASCHALLSCHWEIßPROZESSES
KR20210140957A (ko) 2020-05-14 2021-11-23 삼성전자주식회사 반도체 패키지의 와이어 본딩 방법
CN112992706B (zh) * 2021-01-25 2022-12-09 芯峰光电技术(深圳)有限公司 一种芯片引脚打线针装置
CN116313940B (zh) * 2023-05-18 2023-08-11 上海聚跃检测技术有限公司 一种引线键合结构的切割方法及切割辅助装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07335687A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Kaijo Corp ワイヤフィード量検出方法およびこれを用いたワイヤボンディング装置
JPH09270440A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体実装方法とその半導体実装装置
JP2010123854A (ja) * 2008-11-21 2010-06-03 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法およびワイヤ・ボンディング装置
JP2013157594A (ja) * 2012-11-16 2013-08-15 Shinkawa Ltd ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5824011B2 (ja) * 1979-02-21 1983-05-18 株式会社東芝 半導体ワイヤボンデイング装置におけるワイヤ切れ検出方法
JPS6184844A (ja) * 1984-10-02 1986-04-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd ワイヤ切れ検出方法
JPS6377131A (ja) * 1986-09-19 1988-04-07 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置の検査方法
JPH01201933A (ja) * 1988-02-08 1989-08-14 Mitsubishi Electric Corp ワイヤボンディング方法及びその装置
JP2507698B2 (ja) * 1990-10-24 1996-06-12 山形日本電気株式会社 超音波ウェッジボンディングのワイヤ―切れ検出方法
JP2568140B2 (ja) * 1991-08-26 1996-12-25 株式会社カイジョー ワイヤボンディング装置及びその方法
JP3041812B2 (ja) * 1993-09-21 2000-05-15 株式会社新川 ワイヤボンデイング装置
JPH07335681A (ja) 1994-06-07 1995-12-22 Fujitsu Ltd 半導体装置
JPH0945721A (ja) * 1995-08-03 1997-02-14 Kaijo Corp ワイヤ案内装置及びワイヤ案内方法並びに該装置を具備したワイヤボンディング装置
US5591920A (en) * 1995-11-17 1997-01-07 Kulicke And Soffa Investments, Inc. Diagnostic wire bond pull tester
JPH11243119A (ja) * 1998-02-26 1999-09-07 Power:Kk ワイヤボンディング方法および装置
US6667625B1 (en) * 2001-12-31 2003-12-23 Charles F. Miller Method and apparatus for detecting wire in an ultrasonic bonding tool
JP3767512B2 (ja) 2002-04-25 2006-04-19 株式会社デンソー ワイヤボンディング方法
JP4106008B2 (ja) * 2003-09-22 2008-06-25 株式会社新川 ワイヤボンディング方法及び装置
US7481351B2 (en) * 2003-12-23 2009-01-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Wire bonding apparatus and method for clamping a wire
JP4530984B2 (ja) * 2005-12-28 2010-08-25 株式会社新川 ワイヤボンディング装置、ボンディング制御プログラム及びボンディング方法
JP4679427B2 (ja) * 2006-04-24 2011-04-27 株式会社新川 ボンディング装置のテールワイヤ切断方法及びプログラム
JP4786500B2 (ja) * 2006-10-26 2011-10-05 株式会社東芝 ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法
KR101409460B1 (ko) * 2008-02-12 2014-06-19 삼성전자주식회사 와이어 클램프 및 이를 구비한 와이어 본딩 장치
US7960983B2 (en) * 2008-08-25 2011-06-14 Freescale Semiconductor, Inc. Circuit for detecting bonding defect in multi-bonding wire
US8091767B2 (en) * 2009-02-10 2012-01-10 Hioki Denki Kabushiki Kaisha Substrate manufacturing apparatus, substrate manufacturing method, ball-mounted substrate, and electronic component-mounted substrate
JP5734236B2 (ja) * 2011-05-17 2015-06-17 株式会社新川 ワイヤボンディング装置及びボンディング方法
JP5568586B2 (ja) * 2012-03-27 2014-08-06 株式会社東芝 電子装置、故障判定方法、寿命推定方法
SG11201503764YA (en) 2012-11-16 2015-06-29 Shinkawa Kk Wire-bonding apparatus and method of wire bonding
KR102172786B1 (ko) * 2013-11-01 2020-11-02 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 패키지 및 그의 제조방법
US9165842B2 (en) * 2014-01-15 2015-10-20 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Short tail recovery techniques in wire bonding operations
TWI528481B (zh) * 2014-02-13 2016-04-01 新川股份有限公司 球形成裝置、打線裝置以及球形成方法
KR20160141279A (ko) * 2015-05-29 2016-12-08 에스케이하이닉스 주식회사 블라인드 비아를 구비하는 인쇄회로기판, 이의 검사 방법, 및 반도체 패키지의 제조 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07335687A (ja) * 1994-06-07 1995-12-22 Kaijo Corp ワイヤフィード量検出方法およびこれを用いたワイヤボンディング装置
JPH09270440A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体実装方法とその半導体実装装置
JP2010123854A (ja) * 2008-11-21 2010-06-03 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法およびワイヤ・ボンディング装置
JP2013157594A (ja) * 2012-11-16 2013-08-15 Shinkawa Ltd ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018038135A1 (ja) * 2016-08-23 2018-03-01 株式会社新川 ワイヤクランプ装置のキャリブレーション方法及びワイヤボンディング装置
JPWO2018038135A1 (ja) * 2016-08-23 2019-06-24 株式会社新川 ワイヤクランプ装置のキャリブレーション方法及びワイヤボンディング装置
US11004822B2 (en) 2016-08-23 2021-05-11 Shinkawa Ltd. Wire clamp apparatus calibration method and wire bonding apparatus
JP2022512991A (ja) * 2018-12-12 2022-02-07 ヘレウス マテリアルズ シンガポール ピーティーイー. リミテッド 電子部品の接触面を電気的に接続するプロセス
JP7168780B2 (ja) 2018-12-12 2022-11-09 ヘレウス マテリアルズ シンガポール ピーティーイー. リミテッド 電子部品の接触面を電気的に接続するプロセス
WO2022130617A1 (ja) * 2020-12-18 2022-06-23 株式会社新川 ワイヤボンディング装置、ワイヤ切断方法及びプログラム
JPWO2022130617A1 (ja) * 2020-12-18 2022-06-23
JP7416491B2 (ja) 2020-12-18 2024-01-17 株式会社新川 ワイヤボンディング装置、ワイヤ切断方法及びプログラム

Also Published As

Publication number Publication date
CN106165076B (zh) 2019-01-01
CN106165076A (zh) 2016-11-23
TWI517277B (zh) 2016-01-11
TW201532159A (zh) 2015-08-16
KR101921527B1 (ko) 2018-11-26
US20160351537A1 (en) 2016-12-01
KR20160118364A (ko) 2016-10-11
JPWO2015122410A1 (ja) 2017-03-30
JP6118960B2 (ja) 2017-04-26
US9899348B2 (en) 2018-02-20
SG11201606765WA (en) 2016-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6118960B2 (ja) ワイヤボンディング装置及び半導体装置の製造方法
JP6715402B2 (ja) ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置
JP6590389B2 (ja) ワイヤクランプ装置のキャリブレーション方法及びワイヤボンディング装置
JP2015153907A (ja) 半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置
JP6209800B2 (ja) 半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置
US9887174B2 (en) Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, and wire bonding apparatus
US20160358879A1 (en) Discharge examination device, wire-bonding apparatus, and discharge examination method
JP6255583B2 (ja) 半導体装置の製造方法及びワイヤボンディング装置
US20230163097A1 (en) Wire bonding device, wire cutting method and non-transitory computer-readable recording medium recording program

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15748865

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2015562828

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20167024983

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15748865

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1