JP2568140B2 - ワイヤボンディング装置及びその方法 - Google Patents
ワイヤボンディング装置及びその方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイスの組立
工程において、第１ボンディング点、例えば半導体チッ
プ上の電極と第２ボンディング点、例えばリードフレー
ムに配設された外部リードとをワイヤを用いて接続する
ワイヤボンディング装置及びその方法に関する。
工程において、第１ボンディング点、例えば半導体チッ
プ上の電極と第２ボンディング点、例えばリードフレー
ムに配設された外部リードとをワイヤを用いて接続する
ワイヤボンディング装置及びその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金線又は銅、アルミニウムなどの
ワイヤを用いて第１ボンディング点となる半導体チップ
上の電極と第２ボンディング点となるリードとを接続す
る装置として、図２のような回路を有するワイヤボンデ
ィング装置が知られている。
ワイヤを用いて第１ボンディング点となる半導体チップ
上の電極と第２ボンディング点となるリードとを接続す
る装置として、図２のような回路を有するワイヤボンデ
ィング装置が知られている。
【０００３】図２に示す装置は、約−１２００Ｖの高電
圧を発生する直流電源回路１１と、この直流電源回路１
１と接続され定電流を発生する定電流回路１２と、スイ
ッチング回路１３と、このスイッチング回路１３を一定
時間オン／オフするタイマ１４と、このタイマ１４を駆
動制御しトリガ信号Ｔｒ1 を出力するマイクロコンピュ
ータ等よりなる制御回路１５と、前記スイッチング回路
１３と接続されたスパーク放電安定用の抵抗Ｒ1 よりな
る安定器１６と、放電電極１７と、前記スイッチング回
路１３と安定器１６との間及び直流電源回路１１とクラ
ンパ１８との間に接続された抵抗Ｒ2 及び抵抗Ｒ3 と、
該抵抗Ｒ2 と抵抗Ｒ3 の中点と接続された比較器２１
と、該比較器２１と接続された検出器２２と、キャピラ
リ１９と、このキャピラリ１９に挿通されたワイヤ２０
とで構成されている。前記定電流回路１２の電流値は可
変設定可能であり、またクランパ１８は接地されてい
る。
圧を発生する直流電源回路１１と、この直流電源回路１
１と接続され定電流を発生する定電流回路１２と、スイ
ッチング回路１３と、このスイッチング回路１３を一定
時間オン／オフするタイマ１４と、このタイマ１４を駆
動制御しトリガ信号Ｔｒ1 を出力するマイクロコンピュ
ータ等よりなる制御回路１５と、前記スイッチング回路
１３と接続されたスパーク放電安定用の抵抗Ｒ1 よりな
る安定器１６と、放電電極１７と、前記スイッチング回
路１３と安定器１６との間及び直流電源回路１１とクラ
ンパ１８との間に接続された抵抗Ｒ2 及び抵抗Ｒ3 と、
該抵抗Ｒ2 と抵抗Ｒ3 の中点と接続された比較器２１
と、該比較器２１と接続された検出器２２と、キャピラ
リ１９と、このキャピラリ１９に挿通されたワイヤ２０
とで構成されている。前記定電流回路１２の電流値は可
変設定可能であり、またクランパ１８は接地されてい
る。
【０００４】上記構成よりなる装置の動作を説明する
と、制御回路１５からの指令に基づいてトリガ信号Ｔｒ
1 によりタイマ１４が駆動制御され、このタイマ１４の
出力信号Ｓ1 によりスイッチング回路１３のスイッチが
オンされ、安定器１６を介して放電電極１７に高電圧が
印加されて放電が行われる。この放電時に、分割抵抗Ｒ
2 及びＲ3 により分圧された電圧を取り出して比較器２
１により比較出力し、この出力に基づいて検出器２２に
よりワイヤ切れ又は正常放電かを弁別して検出する。こ
の検出器２２からの出力により表示器（図示せず）等の
告知手段により告知すると共に装置の運転等を停止させ
る。
と、制御回路１５からの指令に基づいてトリガ信号Ｔｒ
1 によりタイマ１４が駆動制御され、このタイマ１４の
出力信号Ｓ1 によりスイッチング回路１３のスイッチが
オンされ、安定器１６を介して放電電極１７に高電圧が
印加されて放電が行われる。この放電時に、分割抵抗Ｒ
2 及びＲ3 により分圧された電圧を取り出して比較器２
１により比較出力し、この出力に基づいて検出器２２に
よりワイヤ切れ又は正常放電かを弁別して検出する。こ
の検出器２２からの出力により表示器（図示せず）等の
告知手段により告知すると共に装置の運転等を停止させ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、定電流回路１２により放電電極１７とワイヤ
２０間には一定の電流が流れるように定電流制御がなさ
れているが、ワイヤ２０の先端に形成するボール径やワ
イヤ径などを変える場合などには、定電流回路１２の電
流設定値を変える必要がある。
装置では、定電流回路１２により放電電極１７とワイヤ
２０間には一定の電流が流れるように定電流制御がなさ
れているが、ワイヤ２０の先端に形成するボール径やワ
イヤ径などを変える場合などには、定電流回路１２の電
流設定値を変える必要がある。
【０００６】この電流設定値を大きくすると安定器１６
の抵抗Ｒ1 の電圧降下が大きくなり抵抗Ｒ2 とＲ3 に加
わる電圧が大きくなる。逆に設定電流を小さくすると安
定器１６の抵抗Ｒ1 の電圧降下が小さくなり抵抗Ｒ2 と
Ｒ3 に加わる電圧が小さくなる。そして、ワイヤ切れを
検出する場合には直流電源回路１１の電圧が抵抗Ｒ2と
Ｒ3 にほぼそのまま出力されるが、正常放電時の場合に
設定電流を大きくすると抵抗Ｒ1 の電圧降下が大きくな
り、ワイヤ切れ検出時の検出電圧に近い値となる。した
がって、この検出電圧の設定値がそのままではワイヤ切
れか正常放電かを確実に弁別して検出することが難しい
のでこの検出電圧を電流設定値に応じた値にレベルを変
えなければならず、それに要する時間も多くかかる欠点
がある。
の抵抗Ｒ1 の電圧降下が大きくなり抵抗Ｒ2 とＲ3 に加
わる電圧が大きくなる。逆に設定電流を小さくすると安
定器１６の抵抗Ｒ1 の電圧降下が小さくなり抵抗Ｒ2 と
Ｒ3 に加わる電圧が小さくなる。そして、ワイヤ切れを
検出する場合には直流電源回路１１の電圧が抵抗Ｒ2と
Ｒ3 にほぼそのまま出力されるが、正常放電時の場合に
設定電流を大きくすると抵抗Ｒ1 の電圧降下が大きくな
り、ワイヤ切れ検出時の検出電圧に近い値となる。した
がって、この検出電圧の設定値がそのままではワイヤ切
れか正常放電かを確実に弁別して検出することが難しい
のでこの検出電圧を電流設定値に応じた値にレベルを変
えなければならず、それに要する時間も多くかかる欠点
がある。
【０００７】また、従来の装置では、放電電極が酸化し
たり浸蝕されているような場合には放電が不安定となり
異常放電が行われる場合があるが、このような異常放電
を検出することができず、装置の連続運転の間に不完全
なボールが形成され、装置の信頼性が損なわれるという
欠点がある。
たり浸蝕されているような場合には放電が不安定となり
異常放電が行われる場合があるが、このような異常放電
を検出することができず、装置の連続運転の間に不完全
なボールが形成され、装置の信頼性が損なわれるという
欠点がある。
【０００８】そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑
みてなされたもので、放電電極に高周波電圧又はパルス
を印加させ、放電電極の放電電圧に応じた高周波電圧又
はパルス電圧を検出してワイヤ切れ、異常放電、正常放
電等を弁別して確実に検出することのできるワイヤボン
ディング装置及びその方法を提供することを目的とす
る。
みてなされたもので、放電電極に高周波電圧又はパルス
を印加させ、放電電極の放電電圧に応じた高周波電圧又
はパルス電圧を検出してワイヤ切れ、異常放電、正常放
電等を弁別して確実に検出することのできるワイヤボン
ディング装置及びその方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、キャピラリ先
端から突出したワイヤの先端と放電電極との間に高電圧
を印加することによって放電を起こさせ、その放電エネ
ルギーによりワイヤの先端部を溶融してボールを形成す
るワイヤボンディング装置において、高周波電圧又はパ
ルスを発生する高周波電圧又はパルス発生手段と、該高
周波電圧又はパルス発生手段から発生される高周波電圧
又はパルスを放電電極に印加させ、該放電電極の放電電
圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出する電圧検
出手段と、該電圧検出手段からの出力と基準電圧とを比
較する比較手段と、該比較手段の出力に基づいて前記放
電電極とワイヤ間のワイヤ切れ、異常放電、正常放電等
を弁別して検出する検出手段とを備えたものである。ま
た、本発明は、前記ワイヤボンディング装置において、
高周波電圧又はパルス発生手段から発生する高周波電圧
又はパルスを放電電極に印加させ、該放電電極の放電電
圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出して前記放
電電極とワイヤ間のワイヤ切れ、異常放電、正常放電等
を弁別して検出できるようにしたものである。
端から突出したワイヤの先端と放電電極との間に高電圧
を印加することによって放電を起こさせ、その放電エネ
ルギーによりワイヤの先端部を溶融してボールを形成す
るワイヤボンディング装置において、高周波電圧又はパ
ルスを発生する高周波電圧又はパルス発生手段と、該高
周波電圧又はパルス発生手段から発生される高周波電圧
又はパルスを放電電極に印加させ、該放電電極の放電電
圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出する電圧検
出手段と、該電圧検出手段からの出力と基準電圧とを比
較する比較手段と、該比較手段の出力に基づいて前記放
電電極とワイヤ間のワイヤ切れ、異常放電、正常放電等
を弁別して検出する検出手段とを備えたものである。ま
た、本発明は、前記ワイヤボンディング装置において、
高周波電圧又はパルス発生手段から発生する高周波電圧
又はパルスを放電電極に印加させ、該放電電極の放電電
圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出して前記放
電電極とワイヤ間のワイヤ切れ、異常放電、正常放電等
を弁別して検出できるようにしたものである。
【００１０】
【実施例】次に、本発明に係るワイヤボンディング装置
の一実施例について説明する。図１は、本発明に係るワ
イヤボンディング装置のワイヤ切れ、異常放電、正常放
電を弁別して検出できる回路の具体的構成を示したもの
である。なお、図２に示す従来の装置と同一或は対応す
る部分については同じ参照符号を用いて説明する。
の一実施例について説明する。図１は、本発明に係るワ
イヤボンディング装置のワイヤ切れ、異常放電、正常放
電を弁別して検出できる回路の具体的構成を示したもの
である。なお、図２に示す従来の装置と同一或は対応す
る部分については同じ参照符号を用いて説明する。
【００１１】図１に示すように、直流電源回路１１は、
約−１２００Ｖ程度の高電圧を発生する。この直流電源
回路１１と接続され、定電流制御を行う定電流回路１２
は、電流値の可変設定ができる構成となっており、後段
のスイッチング回路１３と接続されている。スイッチン
グ回路１３は、時間制御器１の出力信号Ｓ1 により駆動
されて一定時間オン／オフ制御される。なお、この時間
制御器１の時間は可変設定できる構成となっている。ま
た、この時間制御器１は、マイクロコンピュータ等より
なる制御回路１５から出力されるトリガ信号Ｔｒ1 によ
り駆動される。
約−１２００Ｖ程度の高電圧を発生する。この直流電源
回路１１と接続され、定電流制御を行う定電流回路１２
は、電流値の可変設定ができる構成となっており、後段
のスイッチング回路１３と接続されている。スイッチン
グ回路１３は、時間制御器１の出力信号Ｓ1 により駆動
されて一定時間オン／オフ制御される。なお、この時間
制御器１の時間は可変設定できる構成となっている。ま
た、この時間制御器１は、マイクロコンピュータ等より
なる制御回路１５から出力されるトリガ信号Ｔｒ1 によ
り駆動される。
【００１２】前記スイッチング回路１３は、安定器２を
介して放電電極１７と接続されている。この安定器２
は、コイルＬで構成され、放電電流の減少分に相当する
電圧を誘起させて放電を安定させる。
介して放電電極１７と接続されている。この安定器２
は、コイルＬで構成され、放電電流の減少分に相当する
電圧を誘起させて放電を安定させる。
【００１３】また、放電電極１７には、高周波電圧又は
パルス発生手段としての高周波電圧発生器（又は方形波
パルス発生器）３が直流阻止用コンデンサＣ1 を介して
接続されている。高周波電圧発生器（又は方形波パルス
発生器）３は、一次コイルＬ1 で発振される高周波（又
は方形波パルス）が二次コイルＬ2 側に出力される。こ
の高周波電圧発生器（又は方形波パルス発生器）３は、
一端が接地されると共に時間制御器１からの指令信号Ｓ
2 により駆動される。本実施例では、この指令信号Ｓ2
はスイッチング回路１３を駆動する信号Ｓ1 と同期して
出力されるように制御されている。また高周波電圧発生
器（又は方形波パルス発生器）３から出力される高周波
は、約１０ＫＨｚ〜１ＭＨｚの範囲内で適宜最適な周波
数が選定される。また、高周波に代えてパルスが使用さ
れる場合には、約１Ｋパルス／ｓｅｃ〜５００Ｋパルス
／ｓｅｃの範囲内で適宜最適な周波数が選定される。こ
こでいうパルスは、正弦波でない全ての波をいうと定義
することができるが、本実施例では方形波パルスが用い
られている。
パルス発生手段としての高周波電圧発生器（又は方形波
パルス発生器）３が直流阻止用コンデンサＣ1 を介して
接続されている。高周波電圧発生器（又は方形波パルス
発生器）３は、一次コイルＬ1 で発振される高周波（又
は方形波パルス）が二次コイルＬ2 側に出力される。こ
の高周波電圧発生器（又は方形波パルス発生器）３は、
一端が接地されると共に時間制御器１からの指令信号Ｓ
2 により駆動される。本実施例では、この指令信号Ｓ2
はスイッチング回路１３を駆動する信号Ｓ1 と同期して
出力されるように制御されている。また高周波電圧発生
器（又は方形波パルス発生器）３から出力される高周波
は、約１０ＫＨｚ〜１ＭＨｚの範囲内で適宜最適な周波
数が選定される。また、高周波に代えてパルスが使用さ
れる場合には、約１Ｋパルス／ｓｅｃ〜５００Ｋパルス
／ｓｅｃの範囲内で適宜最適な周波数が選定される。こ
こでいうパルスは、正弦波でない全ての波をいうと定義
することができるが、本実施例では方形波パルスが用い
られている。
【００１４】高周波電圧発生器（又は方形波パルス発生
器）３の二次コイルＬ2 に発生する高周波電圧（又は方
形波パルス電圧）は、放電電極１７の放電電圧に応じた
高周波電圧又はパルス電圧が得られ、これを電圧検出手
段としての電圧検出器４で検出する。この電圧検出器４
はコイルＬ3 で構成され、一端が接地されている。
器）３の二次コイルＬ2 に発生する高周波電圧（又は方
形波パルス電圧）は、放電電極１７の放電電圧に応じた
高周波電圧又はパルス電圧が得られ、これを電圧検出手
段としての電圧検出器４で検出する。この電圧検出器４
はコイルＬ3 で構成され、一端が接地されている。
【００１５】この電圧検出器４と前記高周波電圧発生器
（又は方形波パルス発生器）３の二次コイルＬ2 間には
電圧変換手段としての直流電圧変換器５のコンデンサＣ
2 が接続されており、この直流電圧変換器５の出力は、
比較手段としての比較器６に入力されている。
（又は方形波パルス発生器）３の二次コイルＬ2 間には
電圧変換手段としての直流電圧変換器５のコンデンサＣ
2 が接続されており、この直流電圧変換器５の出力は、
比較手段としての比較器６に入力されている。
【００１６】直流電圧変換器５は、コンデンサＣ2 ，Ｃ
3 と、ダイオードＤ1 ，Ｄ2 と抵抗Ｒ2 で構成されてお
り、前記コンデンサＣ2 は、ダイオードＤ1 のアノード
及びダイオードＤ2 のカソードと接続されている。ま
た、ダイオードＤ1 のカソードは、抵抗Ｒ2 及びこれと
並列接続されたコンデンサＣ3 と接続されている。ま
た、前記ダイオードＤ2 のアノード、抵抗Ｒ2 及びコン
デンサＣ3 の他端は接地されている。
3 と、ダイオードＤ1 ，Ｄ2 と抵抗Ｒ2 で構成されてお
り、前記コンデンサＣ2 は、ダイオードＤ1 のアノード
及びダイオードＤ2 のカソードと接続されている。ま
た、ダイオードＤ1 のカソードは、抵抗Ｒ2 及びこれと
並列接続されたコンデンサＣ3 と接続されている。ま
た、前記ダイオードＤ2 のアノード、抵抗Ｒ2 及びコン
デンサＣ3 の他端は接地されている。
【００１７】前記コンデンサＣ2 に放電電極１７の放電
電圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧が入力される
と、ほぼ二倍の電圧がダイオードＤ1 ，Ｄ2 ，コンデン
サＣ2，Ｃ3 の作用により直流電圧に変換されて比較器
６ａ及び６ｂに入力される。比較器６ａ及び６ｂの他入
力には基準電圧設定回路７が接続されており、これら比
較器６ａ及び６ｂには、ウインドコンパレータが用いら
れている。したがって、例えば０Ｖ〜３Ｖまで、３Ｖを
越えて６Ｖまで、６Ｖを越えて１０Ｖまでというような
設定を行って各電圧に応じた所定の出力を得ることがで
きる。この設定は基準電圧設定回路７で行う。すなわ
ち、基準電圧設定回路７は、基準電源７ａ及びこれと接
続された可変抵抗ＶＲ1 と、基準電源７ｂ及びこれと接
続された可変抵抗ＶＲ2 とで構成されており、これら可
変抵抗ＶＲ1 及びＶＲ2 により基準電圧の設定が行われ
る。
電圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧が入力される
と、ほぼ二倍の電圧がダイオードＤ1 ，Ｄ2 ，コンデン
サＣ2，Ｃ3 の作用により直流電圧に変換されて比較器
６ａ及び６ｂに入力される。比較器６ａ及び６ｂの他入
力には基準電圧設定回路７が接続されており、これら比
較器６ａ及び６ｂには、ウインドコンパレータが用いら
れている。したがって、例えば０Ｖ〜３Ｖまで、３Ｖを
越えて６Ｖまで、６Ｖを越えて１０Ｖまでというような
設定を行って各電圧に応じた所定の出力を得ることがで
きる。この設定は基準電圧設定回路７で行う。すなわ
ち、基準電圧設定回路７は、基準電源７ａ及びこれと接
続された可変抵抗ＶＲ1 と、基準電源７ｂ及びこれと接
続された可変抵抗ＶＲ2 とで構成されており、これら可
変抵抗ＶＲ1 及びＶＲ2 により基準電圧の設定が行われ
る。
【００１８】前記各比較器６の出力は、検出手段として
の検出器８に入力される。この検出器８は、一端が高周
波電圧発生器（又は方形波パルス発生器）３と接続され
た抵抗Ｒ3 と、該抵抗Ｒ3 の他端と接続されたホトカプ
ラ８ａ，８ｂ，８ｃで構成されている。ホトカプラ８ａ
は比較器６ａと，ホトカプラ８ｂは比較器６ｂと接続さ
れ、ホトカプラ８ｃはツェナダイオードＺＤを介して接
地されている。
の検出器８に入力される。この検出器８は、一端が高周
波電圧発生器（又は方形波パルス発生器）３と接続され
た抵抗Ｒ3 と、該抵抗Ｒ3 の他端と接続されたホトカプ
ラ８ａ，８ｂ，８ｃで構成されている。ホトカプラ８ａ
は比較器６ａと，ホトカプラ８ｂは比較器６ｂと接続さ
れ、ホトカプラ８ｃはツェナダイオードＺＤを介して接
地されている。
【００１９】本実施例では、ホトカプラ８ａは、例えば
０Ｖ〜３Ｖ間で設定された電圧である場合に比較器６ａ
からの出力によってワイヤ切れであることを光学的に検
出し、ホトカプラ８ｂは、例えば６Ｖを越えて１０Ｖ間
の設定電圧の時に比較器６ｂからの出力により正常放電
であることを光学的に検出し、ホトカプラ８ｃは、例え
ば３Ｖを越えて６Ｖまでの設定電圧の時には比較器６ａ
及び６ｂのいずれも出力されないので異常放電であるこ
とを光学的に検出できるように構成されている。
０Ｖ〜３Ｖ間で設定された電圧である場合に比較器６ａ
からの出力によってワイヤ切れであることを光学的に検
出し、ホトカプラ８ｂは、例えば６Ｖを越えて１０Ｖ間
の設定電圧の時に比較器６ｂからの出力により正常放電
であることを光学的に検出し、ホトカプラ８ｃは、例え
ば３Ｖを越えて６Ｖまでの設定電圧の時には比較器６ａ
及び６ｂのいずれも出力されないので異常放電であるこ
とを光学的に検出できるように構成されている。
【００２０】上記構成により正常放電、ワイヤ切れ、異
常放電かを弁別して検出することができるので、検出器
８によりワイヤ切れ、異常放電であることが検出された
場合には図示せぬ告知手段により警報若しくは外部の表
示器などを介して告知すると共にその装置の運転を手動
又は自動的に停止する構成となっている。なお、この告
知手段の構成並びに装置の運転を手動又は自動により停
止させるかどうかは適宜採択して構成することができ
る。
常放電かを弁別して検出することができるので、検出器
８によりワイヤ切れ、異常放電であることが検出された
場合には図示せぬ告知手段により警報若しくは外部の表
示器などを介して告知すると共にその装置の運転を手動
又は自動的に停止する構成となっている。なお、この告
知手段の構成並びに装置の運転を手動又は自動により停
止させるかどうかは適宜採択して構成することができ
る。
【００２１】上記構成よりなる装置を用いて正常放電、
ワイヤ切れ、異常放電の検出を行う場合について説明す
る。
ワイヤ切れ、異常放電の検出を行う場合について説明す
る。
【００２２】まず、制御回路１５からのトリガ信号Ｔ
ｒ1 により時間制御器１が駆動されてスイッチング回路
１３を駆動する信号Ｓ1 を出力する。これにより直流電
源回路１１からの高電圧が定電流回路１２により定電流
制御されて放電電極１７とキャピラリ１９の先端から突
出したワイヤ２０の先端との間に印加されて放電を起こ
させ、その放電エネルギーによりワイヤの先端部を溶融
してボールが形成される。
ｒ1 により時間制御器１が駆動されてスイッチング回路
１３を駆動する信号Ｓ1 を出力する。これにより直流電
源回路１１からの高電圧が定電流回路１２により定電流
制御されて放電電極１７とキャピラリ１９の先端から突
出したワイヤ２０の先端との間に印加されて放電を起こ
させ、その放電エネルギーによりワイヤの先端部を溶融
してボールが形成される。
【００２３】一方、時間制御器１は、信号Ｓ1 と同期
した指令信号Ｓ2 を高周波電圧発生器（又は方形波パル
ス発生器）３に出力する。この高周波電圧発生器（又は
方形波パルス発生器）３は、高周波電圧又は方形波パル
スを発生させて放電電極１７に印加させる。この放電電
極１７に印加された高周波電圧又は方形波パルスは、放
電電圧に応じた電圧となり、この電圧を電圧検出器４で
検出する。電圧検出器４で検出された高周波電圧又はパ
ルス電圧は、直流電圧変換器５の作用により直流電圧に
変換されて比較器６に出力される。比較器６は、入力電
圧と基準電圧設定回路７の基準電圧とを比較して検出器
８に出力する。比較器６ａから出力された場合にはホト
カプラ８ａが光学的にワイヤ切れであることを検出し、
比較器６ｂから出力された場合には正常放電であること
をホトカプラ８ｂが光学的に検出する。比較器６ａ及び
６ｂのいずれも出力されない場合にはホトカプラ８ｃに
より異常放電であることが検出される。
した指令信号Ｓ2 を高周波電圧発生器（又は方形波パル
ス発生器）３に出力する。この高周波電圧発生器（又は
方形波パルス発生器）３は、高周波電圧又は方形波パル
スを発生させて放電電極１７に印加させる。この放電電
極１７に印加された高周波電圧又は方形波パルスは、放
電電圧に応じた電圧となり、この電圧を電圧検出器４で
検出する。電圧検出器４で検出された高周波電圧又はパ
ルス電圧は、直流電圧変換器５の作用により直流電圧に
変換されて比較器６に出力される。比較器６は、入力電
圧と基準電圧設定回路７の基準電圧とを比較して検出器
８に出力する。比較器６ａから出力された場合にはホト
カプラ８ａが光学的にワイヤ切れであることを検出し、
比較器６ｂから出力された場合には正常放電であること
をホトカプラ８ｂが光学的に検出する。比較器６ａ及び
６ｂのいずれも出力されない場合にはホトカプラ８ｃに
より異常放電であることが検出される。
【００２４】次に、検出器８によりワイヤ切れ、異常
放電などのエラーが検出された場合には告知手段により
警報若しくは表示器に表示させて告知を行うと共に装置
の運転を手動若しくは自動的に停止させる。
放電などのエラーが検出された場合には告知手段により
警報若しくは表示器に表示させて告知を行うと共に装置
の運転を手動若しくは自動的に停止させる。
【００２５】なお、本実施例では、正常放電、ワイヤ切
れ、異常放電の各場合を弁別して検出できる構成とした
が、比較器６等を更に別に設けて放電電極１７とワイヤ
２０が接触、すなわちショート検出ができるように構成
してもよい。また、ショート検出であることが検出され
た場合には、時間制御器１からの出力信号Ｓ1 によりス
イッチング回路１３のスイッチを一定時間経過後オフと
なるように制御して定電流が放電電極１７に流れないよ
うに構成するようにしてもよい。その他本発明の趣旨の
範囲内で適宜可変して適用することができる。
れ、異常放電の各場合を弁別して検出できる構成とした
が、比較器６等を更に別に設けて放電電極１７とワイヤ
２０が接触、すなわちショート検出ができるように構成
してもよい。また、ショート検出であることが検出され
た場合には、時間制御器１からの出力信号Ｓ1 によりス
イッチング回路１３のスイッチを一定時間経過後オフと
なるように制御して定電流が放電電極１７に流れないよ
うに構成するようにしてもよい。その他本発明の趣旨の
範囲内で適宜可変して適用することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、放
電電極に高周波電圧又はパルスを印加させ、放電電極の
放電電圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出して
ワイヤ切れ、異常放電、正常放電等を弁別して確実に検
出できるという効果がある。また、本発明によれば定電
流回路の電流値の設定を変えた場合であってもワイヤ切
れ、異常放電、正常放電等を何らの調整を行うことなく
検出することができるので、作業効率並びに装置の信頼
性が向上するという効果がある。
電電極に高周波電圧又はパルスを印加させ、放電電極の
放電電圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出して
ワイヤ切れ、異常放電、正常放電等を弁別して確実に検
出できるという効果がある。また、本発明によれば定電
流回路の電流値の設定を変えた場合であってもワイヤ切
れ、異常放電、正常放電等を何らの調整を行うことなく
検出することができるので、作業効率並びに装置の信頼
性が向上するという効果がある。
【図１】図１は、本発明に係るワイヤボンディング装置
の回路の具体的構成を示す図である。
の回路の具体的構成を示す図である。
【図２】図２は、従来のワイヤボンディング装置の回路
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
１ 時間制御器 ２ 安定器 ３ 高周波電圧発生器（又は方形波パルス発生
器） ４ 電圧検出器 ５ 直流電圧変換器 ６ 比較器 ８ 検出器 １１ 直流電源回路 １２ 定電流回路
器） ４ 電圧検出器 ５ 直流電圧変換器 ６ 比較器 ８ 検出器 １１ 直流電源回路 １２ 定電流回路
Claims (3)
- 【請求項１】 キャピラリ先端から突出したワイヤの先
端と放電電極との間に高電圧を印加することによって放
電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの先端
部を溶融してボールを形成するワイヤボンディング装置
において、 高周波電圧又はパルスを発生する高周波電圧又はパルス
発生手段と、該高周波電圧又はパルス発生手段から発生
される高周波電圧又はパルスを放電電極に印加させ、該
放電電極の放電電圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧
を検出する電圧検出手段と、該電圧検出手段からの出力
と基準電圧とを比較する比較手段と、該比較手段の出力
に基づいて前記放電電極とワイヤ間のワイヤ切れ、異常
放電、正常放電等を弁別して検出する検出手段とを備え
たことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項２】 前記高周波電圧又はパルス発生手段から
発生される高周波電圧又はパルスは、放電時に放電電極
に印加するようにしたことを特徴とする請求項１記載の
ワイヤボンディング装置。 - 【請求項３】 キャピラリ先端から突出したワイヤの先
端と放電電極との間に高電圧を印加することによって放
電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの先端
部を溶融してボールを形成するワイヤボンディング装置
において、 高周波電圧又はパルス発生手段から発生する高周波電圧
又はパルスを放電電極に印加させ、該放電電極の放電電
圧に応じた高周波電圧又はパルス電圧を検出して前記放
電電極とワイヤ間のワイヤ切れ、異常放電、正常放電等
を弁別して検出できるようにしたことを特徴とするワイ
ヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3236876A JP2568140B2 (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ワイヤボンディング装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3236876A JP2568140B2 (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ワイヤボンディング装置及びその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555309A JPH0555309A (ja) | 1993-03-05 |
| JP2568140B2 true JP2568140B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=17007105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3236876A Expired - Fee Related JP2568140B2 (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | ワイヤボンディング装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2568140B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160351537A1 (en) * | 2014-02-14 | 2016-12-01 | Shinkawa Ltd. | Wire bonding apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
-
1991
- 1991-08-26 JP JP3236876A patent/JP2568140B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160351537A1 (en) * | 2014-02-14 | 2016-12-01 | Shinkawa Ltd. | Wire bonding apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
| US9899348B2 (en) * | 2014-02-14 | 2018-02-20 | Shinkawa Ltd. | Wire bonding apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555309A (ja) | 1993-03-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |