JP5288032B2 - ワイヤボンディング装置の調節方法 - Google Patents
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Description
本発明はワイヤボンディング特性を向上させるワイヤボンディング装置の調節方法に関する。
ワイヤボンディング装置は、半導体チップと配線基板とを電気的に接続する装置として広く用いられている。
図12に、ワイヤボンディング装置を用いて、配線基板5と半導体チップ6とをワイヤボンディングする例を示す。ワイヤボンディング装置は、ボンディングヘッド10と、ボンディングヘッド10の駆動部20と、ボンディングワイヤ30の供給部とを備える。
図12に、ワイヤボンディング装置を用いて、配線基板5と半導体チップ6とをワイヤボンディングする例を示す。ワイヤボンディング装置は、ボンディングヘッド10と、ボンディングヘッド10の駆動部20と、ボンディングワイヤ30の供給部とを備える。
ボンディングヘッド10は、超音波振動を伝達するトランスデューサ12と、トランスデューサ12の基部に取り付けられた超音波発生源14と、トランスデューサ12の先端に取り付けられたキャピラリ16とを備える。
キャピラリ16は細い円筒状に形成され、ボンディングワイヤ30はキャピラリ16の上部から先端へキャピラリ16内を通過して供給される。トランスデューサ12の先端には、キャピラリ16を交換可能に取り付けるキャピラリ保持部13が設けられている。
キャピラリ16は細い円筒状に形成され、ボンディングワイヤ30はキャピラリ16の上部から先端へキャピラリ16内を通過して供給される。トランスデューサ12の先端には、キャピラリ16を交換可能に取り付けるキャピラリ保持部13が設けられている。
図示例のワイヤボンディング装置においては、ファーストボンディングにより半導体チップ6の電極にボンディングワイヤ30を接合し、セカンドボンディングにより配線基板5のパッドにボンディングワイヤ30を接合する。ボンディングワイヤ30を接合する操作は、キャピラリ16によりボンディングワイヤ30を電極等に押接しながら、キャピラリ16に超音波振動を作用させることによってなされる。
超音波振動を利用するワイヤボンディング装置においては、キャピラリ16が取り付けられるトランスデューサ12の先端が自由端であり、この先端が振動の腹となるように超音波発生源14の振動数及びトランスデューサ12の寸法等が設定されている。トランスデューサ12に取り付けられるキャピラリ16も、その材質や長さ等がトランスデューサ12と一致して共振するように設定されている。
キャピラリ16は消耗品であり、適宜交換して使用する。キャピラリ16の交換は、取り付け用の治具を用いて、キャピラリ保持部13からのキャピラリ16の突出長さが一定になるように行われる。キャピラリ16の突出長さとは、キャピラリ保持部13に取り付けられているキャピラリ16の根元位置からキャピラリ16の先端までの長さである。しかしながら、キャピラリ16は同一製品であっても、ヤング率、密度、ポアソン比といった材料特性や、外径、ボンディングワイヤを通す孔径といった形状がわずかながらばらついている。したがって、キャピラリ16を所定の突出長となるように取り付けたとしても、ワイヤボンディング装置のボンディング特性が良好な状態から外れ、所定のボンディング特性が得られなくなるという問題が生じ得る。
多ピンの半導体チップを配線基板にワイヤボンディングする場合のように、電極やパッドのサイズが縮小すると、ボンディング強度のばらつきといったボンディング特性の劣化は、電気的接続の不良といった製品不良に直結する。このため、より高精度のワイヤボンディングを行うには、より的確にワイヤボンディング装置を調節する必要がある。
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、的確なワイヤボンディングを可能にするワイヤボンディング装置の調節方法を提供することを目的とする。
本実施形態の一観点によれば、超音波振動を伝達するトランスデューサと、トランスデューサに交換可能に取り付けられるキャピラリとを備えるワイヤボンディング装置の調節方法であって、前記トランスデューサに取り付ける前記キャピラリの突出長さを変えた際における、前記トランスデューサの先端の縦振動方向と直交する方向の変位量を、測定器を用いて測定する工程と、前記測定による測定結果に基づき、前記キャピラリを、前記変位量が最小となる突出長さに設定して前記トランスデューサに取り付ける工程とを備えることを特徴とするワイヤボンディング装置の調節方法が提供される。
本発明によれば、超音波振動が印加された状態における、トランスデューサの先端における変位量を測定器を用いて測定し、その測定結果に基づいてキャピラリの取り付け位置を調節することにより、良好なワイヤボンディング特性が得られる状態に調節することができる。
以下、本発明に係るワイヤボンディング装置の調節方法について説明する。
(トランスデューサとキャピラリの作用)
本実施形態において使用するワイヤボンディング装置における基本構成は、図12に示したワイヤボンディング装置と基本的に変わらない。図1(a)に、ワイヤボンディング装置の主要構成部分を示す。ワイヤボンディング装置は、トランスデューサ12、超音波発生源14及びキャピラリ16とを備えるボンディングヘッド10と、ボンディング操作の際にボンディングヘッド10をボンディング位置に移動させる駆動部20と、キャピラリ16にボンディングワイヤ30を供給するワイヤの供給部とを備える。
(トランスデューサとキャピラリの作用)
本実施形態において使用するワイヤボンディング装置における基本構成は、図12に示したワイヤボンディング装置と基本的に変わらない。図1(a)に、ワイヤボンディング装置の主要構成部分を示す。ワイヤボンディング装置は、トランスデューサ12、超音波発生源14及びキャピラリ16とを備えるボンディングヘッド10と、ボンディング操作の際にボンディングヘッド10をボンディング位置に移動させる駆動部20と、キャピラリ16にボンディングワイヤ30を供給するワイヤの供給部とを備える。
トランスデューサ12は超音波発生源14において発生した超音波振動をキャピラリ16に伝達する作用をなす。超音波発生源14において発生した超音波振動は、疎密波としてトランスデューサ12の長手方向に縦振動として伝達される。超音波発生源14にはたとえば圧電素子が使用でき、圧電素子に印加させる電圧の周波数によって超音波振動の周波数が決められる。
トランスデューサ12の先端のキャピラリ16が取り付けられるキャピラリ保持部13は自由端であり、超音波発生源14から伝達される振動は、トランスデューサ12の先端において振動の腹となるように設計されている。
図1(b)は、トランスデューサ12の基端部(位置0)が超音波発生源14による振動の腹の位置となり、トランスデューサ12の先端が振動の腹の位置となるように超音波振動が印加されることを説明的に示したものである。同図では、トランスデューサ12によって伝達される超音波振動(縦振動)が1波長に相当する場合を示す。実際にトランスデューサ12に印加される超音波振動による波長はトランスデューサ12の長さよりも短いが、トランスデューサ12の先端が振動の腹となる定在波が生じるように設計する原理は変わらない。
図1(b)は、トランスデューサ12の基端部(位置0)が超音波発生源14による振動の腹の位置となり、トランスデューサ12の先端が振動の腹の位置となるように超音波振動が印加されることを説明的に示したものである。同図では、トランスデューサ12によって伝達される超音波振動(縦振動)が1波長に相当する場合を示す。実際にトランスデューサ12に印加される超音波振動による波長はトランスデューサ12の長さよりも短いが、トランスデューサ12の先端が振動の腹となる定在波が生じるように設計する原理は変わらない。
図1(b)において、位置Nは節の位置、位置Aは腹の位置を示す。振動の腹の位置は変位量(振幅)が最も大きい位置であり、トランスデューサ12の先端を振動の腹の位置に設定することによって、超音波発生源14による超音波振動が最も効率的にキャピラリ16に伝達される。トランスデューサ12の先端は縦振動(長手方向に伸縮)し、これによって、キャピラリ保持部13に支持されたキャピラリ16が強制振動される。
キャピラリ保持部13に支持されたキャピラリ16はトランスデューサ12によって強制振動されボンディング作用をなす。キャピラリ16の基端部(トランスデューサ12の取り付け位置)を強制的に振動させた際のキャピラリ16の挙動は、キャピラリ16の長さ、材質、超音波振動の周波数によってさまざまである。
キャピラリ16においても、上述したトランスデューサ12において超音波振動が伝達される作用と同様に、的確なボンディング作用がなされるようにするには、強制振動されるキャピラリ16の基端部が振動の腹となり、キャピラリ16の先端も振動の腹となる定在波が生じるように設定する必要がある。
キャピラリ16においても、上述したトランスデューサ12において超音波振動が伝達される作用と同様に、的確なボンディング作用がなされるようにするには、強制振動されるキャピラリ16の基端部が振動の腹となり、キャピラリ16の先端も振動の腹となる定在波が生じるように設定する必要がある。
図2は、トランスデューサ12によってキャピラリ16を強制振動した際にキャピラリ16がどのように振動するかを解析した例を示す。この解析結果は、トランスデューサ12に取り付けられているキャピラリ16の基端部が振動の腹(最も振幅が大きい)となり、キャピラリ16の先端部も振動の腹となっていることを示している。なお、この解析図面は、キャピラリ16の動きを強調して示すために変位量を大きく表したものである。
トランスデューサ12によって強制振動された際に、トランスデューサ12に取り付けられた基端部と先端部が振動の腹となるようにキャピラリ16が振動する状態はボンディング性が良好な状態である。この振動状態からずれが生じるとボンディング特性は劣化する。キャピラリ16の基端部と先端部がともに振動の腹となるようにするには、キャピラリ16の長さを、キャピラリの材料特性及び形状から決定される波長λの半波長の整数倍((λ/2)×N:Nは自然数)となるように設定すればよい。
図3は、キャピラリ16の振動状態をレーザドップラ計を用いて、実際に測定した結果を示す。図3(a)は、キャピラリ16の基端部(キャピラリ16とキャピラリ保持部13の根元の位置)における変位量とキャピラリ16の先端部における変位量(振幅)が最大となっていることを示す。この振動状態は、キャピラリ16の基端部と先端部がともに振動の腹になっている状態であり、良好な振動状態である。
これに対して、図3(b)では、キャピラリ16の基端部よりも下側の位置において振幅が最大になっている。この振動状態は、キャピラリ16の基端部が振動の腹の位置からずれた振動状態にあることを示す。このようにキャピラリ16の振幅が最大になる位置が、キャピラリ16の基端部あるいは先端部以外に生じると、良好な振動状態にくらべてワイヤボンディング特性が劣化する。
このように、キャピラリ16の振動状態を観察することにより、正常な振動状態になっているか否かを判断することができる。
このように、キャピラリ16の振動状態を観察することにより、正常な振動状態になっているか否かを判断することができる。
図3(b)のような現象が生じるのは、トランスデューサ12に、たわみ振動が発生しているためと考えられる。トランスデューサ12に、このようなたわみ振動が生じる原因としては、トランスデューサ12自体に起因する場合と、キャピラリ16との組み合わせに起因する場合とが考えられる。
図4は、トランスデューサ12のキャピラリ保持部13を含めたキャピラリ16の振動状態を測定した例を示す。図4(a)は、キャピラリ保持部13の上端と下端の振幅が略同一で、上端と下端の振幅(変位量)に差がないことを示す。
一方、図4(b)は、キャピラリ保持部13の上端と下端の振幅に差があることを示している。トランスデューサ12が正常な縦振動をしている場合は、トランスデューサ12の先端の上端と下端に振幅差が生じることはない。このようにキャピラリ保持部13の上端と下端に振幅の差が生じる理由は、トランスデューサ12にたわみ振動が生じているためである。
一方、図4(b)は、キャピラリ保持部13の上端と下端の振幅に差があることを示している。トランスデューサ12が正常な縦振動をしている場合は、トランスデューサ12の先端の上端と下端に振幅差が生じることはない。このようにキャピラリ保持部13の上端と下端に振幅の差が生じる理由は、トランスデューサ12にたわみ振動が生じているためである。
トランスデューサ12にたわみ振動が生じると図4(b)に示すようにキャピラリ16においても振幅が最大となる位置がキャピラリ16の基端部あるいは先端部からずれてくる。したがって、トランスデューサ12の先端の上端と下端の変位量(振幅)を観察することによって、キャピラリ16の振動状態を間接的に類推することができる。すなわち、トランスデューサ12の先端の上端と下端における変位量の差(振幅の差)が小さい場合にはキャピラリ16は良好な振動状態にあり、トランスデューサ12の先端の上端と下端の変位量の差が大きくなるとキャピラリ16の振動状態が良好な状態からずれてくる。
こうして、トランスデューサ12の先端部分、すなわちキャピラリ保持部13の先端部分の変位状態を観察することによって、キャピラリ16の振動状態、すなわちボンディング特性を判断することができる。
こうして、トランスデューサ12の先端部分、すなわちキャピラリ保持部13の先端部分の変位状態を観察することによって、キャピラリ16の振動状態、すなわちボンディング特性を判断することができる。
図5は、トランスデューサ12の先端部にける上下方向(縦振動方向に直交する方向)の変位を説明的に示したものである。
図1(b)に示すように、トランスデューサ12の先端は振動の腹となるように設定されているから、理想状態においてはトランスデューサ12の先端は上下方向(鉛直方向)には変位しない。図5(a)は、理想状態においてはトランスデューサ12の先端において、上下方向の変位が0となることを示す。これに対して、図5(b)は、トランスデューサ12の先端が振動の節となっている場合で、上下方向の変位が最大になることを示している。
図1(b)に示すように、トランスデューサ12の先端は振動の腹となるように設定されているから、理想状態においてはトランスデューサ12の先端は上下方向(鉛直方向)には変位しない。図5(a)は、理想状態においてはトランスデューサ12の先端において、上下方向の変位が0となることを示す。これに対して、図5(b)は、トランスデューサ12の先端が振動の節となっている場合で、上下方向の変位が最大になることを示している。
トランスデューサ12の先端における上下方向の変位を観察することは、トランスデューサ12における振動状態が正規の縦振動となっているか否か、トランスデューサ12にたわみ振動が生じているか否かを判断することになる。上述したように、キャピラリ16が良好な振動状態になるにはトランスデューサ12にたわみ振動が生じないようにする必要がある。すなわち、トランスデューサ12の先端における上下方向の変位がなるべく小さくなるように設定することによって、ボンディング特性を向上させることができる。
(調節方法:第1の実施の形態)
ワイヤボンディング装置は、ボンディングヘッド10を構成するトランスデューサ12やキャピラリ16が、所定のボンディング特性が得られるように設計されている。しかしながら、超音波振動を利用するボンディング装置においては、トランスデューサ12やキャピラリ16の材料特性や形状のばらつき、取り付け精度等によって、理想とする振動状態から外れた状態になることが生じ得る。
とくに、キャピラリ16は使用に応じて随時交換して使用するから、従来のようにキャピラリ16の突出長さを単に一定長さに調節するといった方法では良好な振動状態になるとは限らない。
ワイヤボンディング装置は、ボンディングヘッド10を構成するトランスデューサ12やキャピラリ16が、所定のボンディング特性が得られるように設計されている。しかしながら、超音波振動を利用するボンディング装置においては、トランスデューサ12やキャピラリ16の材料特性や形状のばらつき、取り付け精度等によって、理想とする振動状態から外れた状態になることが生じ得る。
とくに、キャピラリ16は使用に応じて随時交換して使用するから、従来のようにキャピラリ16の突出長さを単に一定長さに調節するといった方法では良好な振動状態になるとは限らない。
第1の実施の形態におけるワイヤボンディング装置の調節方法は、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態においてキャピラリ16の振動状態を観察し、キャピラリ16が所望の振動状態になるようにキャピラリ16の取り付け位置を調節する方法である。
図6(a)は、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態におけるキャピラリ16の振動状態をレーザドップラ計40を用いて測定している状態を示す。レーザドップラ計40は被測定体にレーザ光を照射して被測定体の移動速度を検出する。キャピラリ16の振動状態は、キャピラリ16の基端からキャピラリ16の先端まで全長にわたってスキャンすることによって測定することができる。
図6(a)は、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態におけるキャピラリ16の振動状態をレーザドップラ計40を用いて測定している状態を示す。レーザドップラ計40は被測定体にレーザ光を照射して被測定体の移動速度を検出する。キャピラリ16の振動状態は、キャピラリ16の基端からキャピラリ16の先端まで全長にわたってスキャンすることによって測定することができる。
図7は、レーザドップラ計40によって測定したキャピラリ16の振動状態の例を示す。キャピラリ16の振動状態は強制振動の周波数によって振動の節(node)が一つの場合に限るものではないが、キャピラリ16の基端部とキャピラリ16の先端部が振動の腹の位置になっている状態が良好な状態である。図7の測定例は、キャピラリ16の基端部からやや下側の位置に振幅が極大となる位置(振動の腹の位置)がある。したがって、この振幅の極大となる位置がキャピラリ16の基端部に近づくようにキャピラリ16の取り付けを調節する。
図6(b)は、トランスデューサ12のキャピラリ保持部13におけるキャピラリ16の取り付け位置を、キャピラリ16の突出長さが図6(a)に示す状態よりも短くした状態を示す。
キャピラリ16の突出長さを調節する操作は、具体的にはキャピラリ16の長さを少しずつ変えては、そのつどキャピラリ16の振動状態を測定し、良好な取り付け位置を見出す操作となる。
キャピラリ16の長さは15mm程度であり、キャピラリ16の突出長さの調節量は1mm以下である。したがって、手動によって調節する場合は、突出長さ調節用の治具を使用し、突出長さを段階的に変えながら調節するとよい。
キャピラリ16の突出長さを調節する操作は、具体的にはキャピラリ16の長さを少しずつ変えては、そのつどキャピラリ16の振動状態を測定し、良好な取り付け位置を見出す操作となる。
キャピラリ16の長さは15mm程度であり、キャピラリ16の突出長さの調節量は1mm以下である。したがって、手動によって調節する場合は、突出長さ調節用の治具を使用し、突出長さを段階的に変えながら調節するとよい。
キャピラリ16の突出長さを自動的に調節する取付位置調節機構としては、例として、トランスデューサ12の駆動部20にトランスデューサ12の高さ制御手段を設け、キャピラリ保持部13にキャピラリ16のクランプを制御するクランプ手段22を設ける構成とすればよい。クランプ手段22を開いた状態で、基準ステージ24にキャピラリ16の先端を当接させ、トランスデューサ12を鉛直方向に移動させることによってキャピラリ16の突出長さを調節することができる。
本実施形態の調節方法は、キャピラリ16自体の振動状態を測定し、キャピラリ16の基端部と先端部がともに振動の腹となるようにキャピラリ16の取り付け位置を調節する方法であるから、ばらつきなく、確実に良好なワイヤボンディング特性が得られる状態に調節することができる。
(調節方法:第2の実施の形態)
第2の実施の形態におけるワイヤボンディング装置の調節方法は、トランスデューサ12の先端(キャピラリ保持部13の先端)の上端と下端における変位量を測定して、キャピラリ16を最適な取り付け位置に取り付ける方法である。
前述したように、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態において、トランスデューサ12の先端部の上端と下端における変位量(振幅)の差はできるだけ0に近い方がトランスデューサ12は良好な振動状態にあり、したがってキャピラリ16も良好な振動状態となる。
図8は、トランスデューサ12の先端部の上端と下端における変位量をレーザドップラ計40によって測定する状態を示す。レーザドップラ計40の計測位置を、トランスデューサ12の先端の上端位置と下端位置にそれぞれ設定し、上端と下端の変位量(振幅)を測定する。
第2の実施の形態におけるワイヤボンディング装置の調節方法は、トランスデューサ12の先端(キャピラリ保持部13の先端)の上端と下端における変位量を測定して、キャピラリ16を最適な取り付け位置に取り付ける方法である。
前述したように、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態において、トランスデューサ12の先端部の上端と下端における変位量(振幅)の差はできるだけ0に近い方がトランスデューサ12は良好な振動状態にあり、したがってキャピラリ16も良好な振動状態となる。
図8は、トランスデューサ12の先端部の上端と下端における変位量をレーザドップラ計40によって測定する状態を示す。レーザドップラ計40の計測位置を、トランスデューサ12の先端の上端位置と下端位置にそれぞれ設定し、上端と下端の変位量(振幅)を測定する。
図9は、キャピラリ保持部13にキャピラリ16を取り付ける場合のキャピラリ16の突出長によってトランスデューサ12の先端の上端と下端の変位量の差が変化する状態を示す。
図のように、キャピラリがある特定の長さとなるときにトランスデューサ12の先端部の上端と下端の変位量の差が最小になる。したがって、キャピラリ16の取り付け位置としては、この変位量の差が最小となる突出長となるように設定すればよい。
本実施形態においても、キャピラリ16の突出長さを段階的に変えながら測定を行うから、突出長さ調節用の治具を使用したり、キャピラリ16の突出長さを自動調節しながら測定を行う。
図のように、キャピラリがある特定の長さとなるときにトランスデューサ12の先端部の上端と下端の変位量の差が最小になる。したがって、キャピラリ16の取り付け位置としては、この変位量の差が最小となる突出長となるように設定すればよい。
本実施形態においても、キャピラリ16の突出長さを段階的に変えながら測定を行うから、突出長さ調節用の治具を使用したり、キャピラリ16の突出長さを自動調節しながら測定を行う。
本実施形態の調節方法は、トランスデューサ12の先端部の上端と下端についてその変位量を測定し、間接的にキャピラリ16の取り付け状態を良好な状態に調節する方法である。本方法による場合は、トランスデューサ12の先端の上端と下端の2ポイントについて測定を行えばよいから、第1の実施の形態のようにキャピラリ16の全長にわたって測定する必要がないという利点がある。キャピラリ16を調節する操作においては、キャピラリ16の突出長さを変えながら、そのつど測定を行うから、測定操作を簡単化することは作業効率上、有効である。
(調節方法:第3の実施の形態)
第3の実施の形態におけるワイヤボンディング装置の調節方法は、トランスデューサ12の先端の上下方向(トランスデューサ12の縦振動方向に対して直交する方向)における変位量を測定して、キャピラリ16を最適な取り付け位置に取り付ける方法である。
前述したように、トランスデューサ12が理想的な振動状態にある場合は、トランスデューサ12の先端部における上下方向の変位量は0となる。
したがって、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態において、トランスデューサ12の先端部の上下方向の変位量を測定することにより、キャピラリ16を良好な取り付け状態となるように設定することができる。
第3の実施の形態におけるワイヤボンディング装置の調節方法は、トランスデューサ12の先端の上下方向(トランスデューサ12の縦振動方向に対して直交する方向)における変位量を測定して、キャピラリ16を最適な取り付け位置に取り付ける方法である。
前述したように、トランスデューサ12が理想的な振動状態にある場合は、トランスデューサ12の先端部における上下方向の変位量は0となる。
したがって、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態において、トランスデューサ12の先端部の上下方向の変位量を測定することにより、キャピラリ16を良好な取り付け状態となるように設定することができる。
図10は、トランスデューサ12の先端における上下方向の変位量を測定するために、トランスデューサ12の先端位置の上方にレーザドップラ計40を配置した状態を示す。このようにレーザドップラ計40を配置して、トランスデューサ12の先端における変位量を測定することができる。
図11は、トランスデューサ12にキャピラリ16を取り付けた状態において、トランスデューサ12の先端の上下方向における変位量を測定した結果を示す。図11に示すように、キャピラリ16の突出長さによってトランスデューサ12の先端の変位量が変化する。キャピラリ16はこのトランスデューサ12の先端の上下方向の変位量が最小となる突出長に設定して取り付ければよい。
本実施形態の調節方法の場合は、トランスデューサ12の先端の1ポイントのみを測定してキャピラリ16の取り付け位置を調節するから、第2の実施の形態と比較してもさらに測定が容易となり、ワイヤボンディング装置の調節がさらに容易となる。
本実施形態の調節方法によれば、トランスデューサ12の先端における上下方向の変位量を最小とすることにより、トランスデューサ12にたわみ振動等の不要な振動が生じることを回避することができ、キャピラリ16が良好な振動状態となるように調節することが可能となる。
本実施形態の調節方法によれば、トランスデューサ12の先端における上下方向の変位量を最小とすることにより、トランスデューサ12にたわみ振動等の不要な振動が生じることを回避することができ、キャピラリ16が良好な振動状態となるように調節することが可能となる。
上述した各実施形態において説明したように、本発明に係るワイヤボンディング装置の調節方法によれば、キャピラリ16を交換してセットするような場合に、キャピラリ16の材料特性等がばらついていても、キャピラリ16が良好な振動状態になるように確実に調節することができる。これによって、より高精度のワイヤボンディング特性を得ることができ、多ピンの半導体チップについてワイヤボンディングするような高精度のワイヤボンディングを可能とするワイヤボンディング装置として提供することができる。
5 配線基板
6 半導体チップ
10 ボンディングヘッド
12 トランスデューサ
13 キャピラリ保持部
14 超音波発生源
16 キャピラリ
20 駆動部
22 クランプ手段
24 基準ステージ
30 ボンディングワイヤ
40 レーザドップラ計
6 半導体チップ
10 ボンディングヘッド
12 トランスデューサ
13 キャピラリ保持部
14 超音波発生源
16 キャピラリ
20 駆動部
22 クランプ手段
24 基準ステージ
30 ボンディングワイヤ
40 レーザドップラ計
Claims (1)
- 超音波振動を伝達するトランスデューサと、トランスデューサに交換可能に取り付けられるキャピラリとを備えるワイヤボンディング装置の調節方法であって、
前記トランスデューサに取り付ける前記キャピラリの突出長さを変えた際における、前記トランスデューサの先端の縦振動方向と直交する方向の変位量を、測定器を用いて測定する工程と、
前記測定による測定結果に基づき、前記キャピラリを、前記変位量が最小となる突出長さに設定して前記トランスデューサに取り付ける工程とを備えることを特徴とするワイヤボンディング装置の調節方法。
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---|---|---|---|
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-
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