JPWO2017199795A1 - 計測用治具及び計測装置並びに隙間計測方法 - Google Patents

計測用治具及び計測装置並びに隙間計測方法 Download PDF

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Abstract

計測用治具は、基部と、前記基部から突出するように設けられ、センサを保持するセンサ保持部と、前記センサが延在するセンサ設置面に対して直交する方向における前記センサ設置面の位置であるセンサ位置とは異なる第1位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第1突出部と、を備える。

Description

本開示は計測用治具及び計測装置並びに隙間計測方法に関する。
種々の機械において部材間の隙間の大きさを適切に維持するために、該隙間の大きさを計測することがある。
例えば、特許文献1には、ガスタービンにおいて動翼とケーシングとの間に変位センサを配置し、動翼とケーシングとの間の隙間(チップクリアランス)を計測することが記載されている。
米国特許出願公開第2010/0043576号明細書
部材間の隙間を精度良く計測するためには、計測用センサを計測対象の隙間に確実に配置するとともに、該隙間を形成する部材に対する計測用センサの姿勢を維持することが重要である。
この点、特許文献1には、センサを含む計測装置に設けた螺子を、計測対象の隙間を形成する部材に設けられたねじ穴に螺合させることで、計測装置を該部材に固定することが記載されている。
しかしながら、より簡素な構成で、隙間を形成する部材に対する計測用センサの姿勢を維持できることが望まれる。
上述の事情に鑑みて、本発明の少なくとも一実施形態は、簡素な構成で部材間の隙間の精度良好な計測を可能とする計測用治具及び計測装置並びに隙間計測方法を提供することを目的とする。
(1)本発明の少なくとも一実施形態に係る計測用治具は、
基部と、
前記基部から突出するように設けられ、センサを保持するセンサ保持部と、
前記センサが延在するセンサ設置面に対して直交する方向における前記センサ設置面の位置であるセンサ位置とは異なる第1位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第1突出部と、
を備える。
上記(1)の構成では、計測用治具は、基部における異なる位置において基部から同じ側に突出するセンサ保持部と第1突出部を有する。このため、計測対象である2部材間の隙間にセンサ保持部を挿入したときに、第1突出部を前記2部材のうちの一方に当接させることができるので、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢が維持されやすくなる。よって、上記(1)の構成によれば、センサ保持部と同じ側に基部から突出する第1突出部を設けた簡素な構成で、部材間の隙間の精度良好な計測が可能となる。
(2)幾つかの実施形態では、上記(1)の構成において、前記計測用治具は、
前記基部に対して変位可能に設けられた可動片と、
前記センサ設置面に対して直交する前記方向において、前記センサ位置を挟んで前記第1位置とは反対側に向けて前記可動片を付勢する少なくとも一つの付勢手段と、をさらに備える。
上記(2)の構成によれば、計測対象の隙間を形成する一方の部材に可動片を当接させたとき、当該部材によって可動片の位置が規制されるので、付勢手段による付勢力によって基部が前記部材から離れる方向(隙間を形成する他方の部材に向かう方向)に押圧される。その結果、基部から突出するように設けられたセンサ保持部は、隙間を形成する他方の部材に押し付けられることになる。こうして、計測用治具のセンサ保持部を前記他方の部材に向かって押し付けることで、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。
(3)幾つかの実施形態では、上記(2)の構成において、前記少なくとも一つの付勢手段は、前記センサ設置面に投影したときに、前記基部からの前記センサ保持部の突出方向に平行であり、前記センサの中心位置を通る直線を挟んで両側に位置する一対の付勢手段を含む。
上記(3)の構成によれば、センサの中心位置を通りセンサ保持部の突出方向に平行な直線を挟んで一対の付勢手段が配置されるので、センサ保持部の部材に対する片当たりを防止することができ、該部材に対してセンサを適切な姿勢で保持することができる。
(4)幾つかの実施形態では、上記(2)又は(3)の構成において、
前記少なくとも一つの付勢手段は、前記センサ設置面に平行であり、かつ、前記基部からの前記センサ保持部の突出方向に直交する直線周りに設けられたねじりバネを含み、
前記ねじりバネは、前記可動片としての先端部を有する第1アームを含む。
上記(4)の構成によれば、ねじりバネを用いて付勢手段及び可動片を構成することで、簡素な構成の計測用治具とすることができる。
(5)幾つかの実施形態では、上記(4)の構成において、
前記ねじりバネは、
前記第1アームとは反対側の第2アームと、
前記第1アームと前記第2アームとの間に位置する巻回部と、
をさらに含み、
前記第1アームは、
前記センサ位置を挟んで前記第1位置とは反対側に向かうように前記巻回部から延びる根本部と、
前記根本部に対して前記センサ位置側に向かって屈曲した前記先端部と、
を含む。
上記(5)の構成によれば、ねじりバネの自由端である第1アーム(可動片)は、センサ位置を挟んで第1位置とは反対側に向かうように巻回部から延びる根本部と、根本部に対してセンサ位置側に向かって屈曲した先端部とを含む。すなわち、第1アームは、先端部がセンサ位置に向かって逃げるような屈曲形状を有している。このため、計測対象の隙間にセンサ保持部を挿入するときに、隙間を形成する部材の面に第1アームが引っ掛かりにくくなり、スムーズにセンサ保持部を隙間に挿入することができる。
(6)幾つかの実施形態では、上記(4)又は(5)の構成において、
前記ねじりバネは、前記第1アームとは反対側の第2アームを含み、
前記基部は、前記第2アームと当接して前記ねじりバネの弾性力の反力を受けるように構成された反力受け面を含む。
上記(6)の構成によれば、第2アームと当接する反力受け面によりねじりバネの弾性力の反力を受けるようにしたので、計測対象の隙間を形成する一方の部材に第1アーム(可動片)を当接させたときに、第1アームに確実にねじりバネの弾性力(付勢力)を与えることができる。これにより、ねじりバネの弾性力(付勢力)によって、前記一方の部材から離れる方向(隙間を形成する他方の部材に向かう方向)に基部とともにセンサ保持部を確実に押圧することができる。よって、計測用治具のセンサ保持部を前記他方の部材に向かって確実に押し付けることで、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。
(7)幾つかの実施形態では、上記(6)の構成において、
前記反力受け面を動かして、前記ねじりバネの自然状態における前記可動片としての前記第1アームの位置を調節するためのバネ力調節部をさらに備える。
上記(7)の構成によれば、バネ力調節部により、ねじりバネの自然状態における第1アームの位置を調節することができる。よって、バネ力調節部を用いて、計測対象の隙間の大きさに適した位置に第1アームの位置を調節することにより、計測対象の隙間にセンサ保持部を挿入したときに、第1アームと当接する部材から適切な押付け力を得ることができる。これにより、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。
(8)幾つかの実施形態では、上記(4)乃至(7)の何れかの構成において、前記計測用治具は、前記ねじりバネの中心を位置決めするためのバネ位置決め部をさらに備える。
上記(8)の構成によれば、バネ位置決め部によりねじりバネの中心位置を規制することができる。これにより、第1アームと当接する部材からより安定的に押付け力を得ることができ、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。
(9)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(8)の何れかの構成において、前記計測用治具は、前記センサ設置面に対して直交する前記方向における、前記センサ位置および前記第1位置とは異なる第2位置にて、前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第2突出部をさらに備える。
上記(9)の構成によれば、センサ位置及び第1位置とは異なる第2位置において基部からセンサ保持部と同じ側に突出する第2突出部を設けたので、隙間を形成する2部材のうち一方の部材に第1突出部及び第2突出部を当接させることで、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢がより維持されやすくなる。
(10)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(9)の何れかの構成において、前記第1突出部は、磁石を含む。
上記(10)の構成によれば、第1突出部は磁石を含むので、計測対象の隙間を形成する部材を該磁石に吸着させることができる。これにより、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。
(11)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(10)の構成において、前記計測用治具は、前記第1突出部の前記基部からの突出量を調節するための突出量調節部をさらに備える。
上記(11)の構成によれば、突出長調節部により、センサ保持部を配置する部材の形状に応じて第1突出部の基部からの突出量を調節することができる。これにより、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。また、これにより、様々な形状の部材により形成される隙間の大きさを適切に計測することができる。
(12)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(11)の何れかの構成において、前記第1位置は、前記センサ設置面に対して直交する前記方向において、前記計測用治具の重心を挟んで前記センサ位置とは反対側に存在する。
上記(12)の構成によれば、第1突出部は、計測用治具の重心を挟んでセンサ位置とは反対側に存在する第1位置から突出する。これにより、計測対象の隙間を形成する一方の部材とセンサ保持部との当接点からの第1突出部までの距離が比較的大きくなるので、当該当接点回りにおいて、計測用治具の自重に起因するモーメントを、第1突出部が前記一方の部材から押し返される力に起因するモーメントによって効果的にキャンセルすることができる。よって、計測用治具の姿勢をより安定化することができる。
(13)幾つかの実施形態では、上記(1)乃至(12)の何れかの構成において、
前記センサ保持部は、前記センサの計測対象である第1部材と第2部材との隙間に挿入された状態で、前記第1部材のうち前記第2部材に対向する部位に当接するように構成され、
前記第1突出部は、前記第1部材に当接して、前記第1部材の前記部位に対する前記センサ保持部の姿勢を調節するように構成される。
上記(13)の構成によれば、第1部材のうち第2部材に対向する部位がセンサ保持部に当接するとともに、第1突出部が第1部材に当接して、第1部材のうち第2部材に対向する部位に対するセンサ保持部の姿勢を調節する。これにより、第1部材と第2部材との間に形成される隙間の精度良好な計測が可能となる。
(14)本発明の少なくとも一実施形態に係る計測装置は、
前記(1)乃至(13)の何れかに記載の計測用治具と、
前記計測用治具の前記センサ保持部に保持されるセンサと、
を備える。
上記(14)の構成では、計測用治具は、基部における異なる位置において基部から同じ側に突出するセンサ保持部と第1突出部を有する。このため、計測対象である2部材間の隙間にセンサ保持部を挿入したときに、第1突出部を前記2部材のうちの一方に当接させることができるので、センサ保持部に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢が維持されやすくなる。よって、上記(14)の構成によれば、センサ保持部と同じ側に基部から突出する第1突出部を設けた簡素な構成で、部材間の隙間の精度良好な計測が可能となる。
(15)幾つかの実施形態では、上記(14)の構成において、
前記計測用治具は、前記センサ設置面に対して直交する方向における前記センサ位置とは異なる位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する1以上の突出部を含み、
前記センサ保持部は、前記センサの計測対象である第1部材と第2部材との隙間に挿入された状態で、前記第1部材のうち前記第2部材に対向する部位に当接するように構成され、
前記1以上の突出部のうち少なくとも1つの突出部と前記第1部材との接触を検知するための接触検知部をさらに備える。
上記(15)の構成では、接触検知部により、計測用治具の突出部と、計測対象の隙間を形成する第1部材との接触を検知可能であるので、計測用治具の突出部と第1部材とが当接していることを確認しながら、隙間を計測することができる。よって、上記(15)の構成によれば、隙間の精度良好な計測をより確実に行うことができる。
(16)幾つかの実施形態では、上記(15)の構成において、
前記接触検知部は、前記少なくとも1つの突出部の先端部、及び、前記第1部材のうち前記少なくとも1つの突出部の前記先端部が対向する部分を撮像するように構成された撮像部を含む。
上記(16)の構成によれば、撮像部によって、突出部の先端部と第1部材とが接触する部分を撮像することにより、突出部と第1部材とが当接していることを確認しながら隙間を計測することができる。よって、隙間の精度良好な計測をより確実に行うことができる。
(17)幾つかの実施形態では、上記(15)又は(16)の構成において、
前記接触検知部は、前記少なくとも1つの突出部の先端部と、前記第1部材のうち前記少なくとも1つの突出部の前記先端部が対向する部分との接触を検出するように構成された接触センサを含む。
上記(17)の構成によれば、接触センサによって、突出部の先端部と第1部材との接触を検出することにより、突出部と第1部材とが当接していることを確認しながら隙間を計測することができる。よって、隙間の精度良好な計測をより確実に行うことができる。
(18)本発明の少なくとも一実施形態に係る隙間計測方法は、
第1部材と第2部材との間の隙間に計測用治具に搭載されたセンサを侵入させ、該センサによって前記隙間の大きさを計測するステップを備え、
前記計測用治具は、
基部と、
前記基部から突出するように設けられ、センサを保持するセンサ保持部と、
前記センサが延在するセンサ設置面に対して直交する方向における前記センサ設置面の位置であるセンサ位置とは異なる第1位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第1突出部と、
を含み、
前記隙間の大きさを計測するステップでは、前記センサ保持部を前記第1部材のうち前記第2部材に対向する部位に当接させ、且つ、前記第1突出部を前記第1部材に当接させた状態で前記センサによる計測を行う。
上記(18)の方法で用いられる計測用治具は、基部における異なる位置において基部から同じ側に突出するセンサ保持部と第1突出部を有する。このため、計測対象である第1部材と第2部材との間の隙間にセンサ保持部を挿入したときに、第1突出部を第1部材に当接させることができるので、センサ保持部に保持されるセンサの第1部材に対する姿勢が維持されやすくなる。よって、上記(18)の方法によれば、センサ保持部と同じ側に基部から突出する第1突出部を設けた簡素な構成で、第1部材と第2部材の隙間の精度良好な計測が可能となる。
本発明の少なくとも一実施形態によれば、簡素な構成で部材間の隙間の精度良好な計測を可能とする計測用治具及び計測装置並びに隙間計測方法が提供される。
一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。 一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。 一実施形態に係る計測用治具の構成を示す図である。 図3に示す計測用治具を平面視した構成図である。 図3に示す計測用治具の一部拡大図である。 一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。 一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。 一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。 一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。 一実施形態に係る計測装置の構成を示す図である。 図10に示す計測装置の平面図である。 一実施形態に係る計測装置の構成を示す図である。 一実施形態に係る計測装置の構成を示す図である。 図13に示す計測装置をA方向から視た図である。
以下、添付図面を参照して本発明の幾つかの実施形態について説明する。ただし、実施形態として記載されている又は図面に示されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
図1及び図2は、それぞれ、一実施形態に係る計測装置の適用例を示す概略図である。図1及び図2には、第1部材6としてのガスタービンの動翼6Aと、第2部材8としてのガスタービンのケーシング8Aとの間の隙間(チップクリアランス)Gの大きさDgの計測に適用される計測装置1が示されている。
なお、図1は、計測装置1を動翼6Aの翼面方向に沿って視た図であり、図2は、計測装置1を動翼6Aの先端側から基端側に向かって視た図である。
図1に示すように、計測装置1は、センサ3と、センサ3を保持するための計測用治具2と、を備えている。
センサ3は、図2に示すように、腕部4と、腕部4の先端部に取付けられたセンサ部5と、を有する。センサ部5は、該センサ部5に対向する対象物との距離を検出するように構成されている。センサ3は、例えば静電容量式センサ又は光学式センサであってもよい。
図1及び図2に示すように、計測用治具2は、基部10と、基部10から突出するように設けられたセンサ保持部12及び第1突出部14と、を備えており、センサ3は、センサ保持部12のセンサ設置面12aに配置されて、センサ保持部12に保持されている。
第1突出部14は、センサ設置面12aに対して(すなわちセンサ設置面延在方向に対して)直交する方向におけるセンサ設置面12aの位置(センサ位置(図3参照))とは異なる第1位置(図3参照)にて、センサ保持部12と同じ側に基部10から突出している。
図1及び図2に示す計測用治具2の第1突出部14は、基部10に設けられたねじ穴に螺合するボルト15の軸部の一部及び頭部を含む。
一実施形態では、基部10には、計測装置1を所定位置に設置するための設置手段42(例えばフレキシブルアーム)が取り付けられていてもよい。
上述の計測装置1を用いて、動翼6Aとケーシング8Aとの間の隙間を計測するには、まず、動翼6Aとケーシング8Bとの間の隙間Gに、計測用治具2のセンサ保持部12及びセンサ保持部12に保持されたセンサ3を挿入する。
次に、センサ3及びセンサ保持部12が隙間Gに挿入された状態で、センサ保持部12を動翼6Aのうちケーシング8Aに対向する部位(動翼6Aのチップ面)に当接させるとともに、第1突出部14を動翼6Aに当接させる。この際、第1突出部14を動翼6Aに当接させて、動翼6Aのケーシング8Aに対向する部位に対するセンサ保持部12の姿勢を調節するようにしてもよい。
そして、センサ保持部12及び第1突出部14をそれぞれ動翼6Aに当接させた状態で、センサ3による隙間Gの大きさDgの計測を行う。
一実施形態では、図1に示されるようにセンサ保持部12に保持されて隙間Gに挿入されたセンサ3のセンサ部5は、センサ部5と、該センサ部5が対向するケーシング8Aの内壁面との距離dを検出するようになっている。この場合、センサ3を保持するセンサ保持部12の厚さd1を予め取得しておけば、動翼6Aとケーシング8Aとの間の隙間Gの大きさDgは、Dg=d+dの式から求めることができる。
このように、計測用治具2は、基部10における異なる位置(センサ位置及び第1位置)において基部10から同じ側に突出するセンサ保持部12と第1突出部14とを有するので、計測対象である第1部材6と第2部材8(図1に示す例では動翼6Aとケーシング8A)の隙間Gにセンサ保持部12を挿入したときに、第1突出部14を動翼6Aに当接させることができるので、センサ保持部12に保持されるセンサ3のケーシング8Aに対する姿勢が維持されやすくなる。
よって、上述の計測用治具2を用いることで、センサ保持部12と同じ側に基部10から突出する第1突出部14を設けた簡素な構成で、動翼6Aとケーシング8Aとの間の隙間Gの精度良好な計測が可能となる。
以下、幾つかの実施形態に係る計測用治具2について、より詳細に説明する。
図3は、一実施形態に係る計測用治具2(図1に示す計測装置1を構成する計測用治具2)の構成を示す図であり、図4は、図3に示す計測用治具2を平面視した構成図である。なお、図3及び図4においては、設置手段42の図示を省略している。
また、図5は、図3に示す計測用治具2の一部拡大図である。
幾つかの実施形態では、計測用治具2は、基部10に対して変位可能な可動片と、該可動片を付勢するための付勢手段と、を有する。
図2及び図3に示す計測用治具2は、付勢手段としてねじりバネ18を備えている。ねじりバネ18は、センサ設置面12aに平行であり、かつ、基部10からのセンサ保持部12の突出方向に直交する直線L周りに設けられている。
図4及び図5に示すように、ねじりバネ18の内周側にはブシュ34が挿入されており、ブシュ34の内周側には、直線Lに沿ってボルト35が挿通されている。ボルト35は、基部10に形成されたねじ穴に部分的にねじ込まれている。すなわち、ねじりバネ18の中心の位置は、ブシュ34又はボルト35により規制されている。
また、ボルト35の頭部とねじりバネ18との間にはプレート33が設けられており、ねじりバネ18の直線Lに沿う方向における位置が規制されている。
ねじりバネ18は、該ねじりバネ18の自由端である第1アーム20と、第1アーム20とは反対側の第2アーム24と、第1アーム20と第2アーム24との間に位置する巻回部26と、を含む。
第1アーム20は、先端部21と、先端部21よりも巻回部26に近い側に位置する根本部22と、を有する。根本部22は、センサ位置(図3参照)を挟んで第1位置(図3参照)とは反対側に向かうように巻回部26から延びている。また、先端部21は、根本部22に対して、センサ位置側に向かって屈曲している。
先端部21は、基部10に対して変位可能に設けられた可動片であり、可動片としての先端部21は、センサ設置面12aに対して直交する方向において、センサ位置を挟んで第1位置とは反対側に向けて(図3中に矢印で示す付勢方向に向けて)ねじりバネ18の弾性力によって付勢されるようになっている。
上述のように、可動片としての第1アーム20の先端部21と、付勢手段としてのねじりバネ18とを計測用治具2が備えている場合、計測対象の隙間Gにセンサ保持部12を挿入したとき、計測対象の隙間Gを形成するケーシング8A(図1参照)に可動片である第1アーム20の先端部21が当接する。そして、第1アーム20がケーシング8Aに当接する当接点Pにおいて、先端部21(可動片)の位置がケーシング8Aにより規制されるので、ねじりバネ18による付勢力によって基部10がケーシング8Aから離れる方向(隙間Gを形成する動翼6A(図1参照)に向かう方向)に押圧される。その結果、基部10から突出するように設けられたセンサ保持部12は、隙間Gを形成する動翼6Aに押し付けられることになる。こうして、計測用治具2のセンサ保持部12を動翼6Aに向かって押し付けることで、センサ保持部12に保持されるセンサ3の動翼6Aに対する姿勢をより確実に維持することができる。
また、上述の実施形態では、ねじりバネ18の第1アーム20(可動片)は、センサ位置を挟んで第1位置とは反対側に向かうように巻回部26から延びる根本部22と、根本部22に対してセンサ位置側に向かって屈曲した先端部21とを含み、第1アーム20は、先端部21がセンサ位置に向かって逃げるような屈曲形状を有している。このため、計測対象の隙間Gにセンサ保持部12を挿入するときに、隙間Gを形成するケーシング8Aの内壁面に第1アーム20が引っ掛かりにくくなり、センサ保持部12をスムーズに隙間Gに挿入することができる。
図4に示すように、計測用治具2は、センサ設置面12aに投影したときに、基部10からのセンサ保持部12の突出方向に平行であり、センサ3の中心位置を通る直線Lを挟んで両側に位置する一対のねじりバネ(付勢手段)(18A,18B)を含む。
なお、図1や図3等、計測用治具2を側方から視た図については、一対のねじりバネ(18A,18B)のうち、該側方から視認可能な一方のみをねじりバネ18として示している。
この場合、センサ3の中心位置を通りセンサ保持部12の突出方向に平行な直線Lを挟んで一対のねじりバネ(18A,18B)が配置されるので、センサ保持部12の動翼6A(図1参照)に対する片当たりを防止することができ、動翼6Aに対してセンサ3を適切な姿勢で保持することができる。
一実施形態では、計測用治具2の基部10は、第2アーム24と当接してねじりバネ18の弾性力の反力を受けるように構成された反力受け面28を含む。図3に示す実施形態では、反力受け面28は、ボルト31の軸部の先端面により形成されている。
第2アーム24と当接する反力受け面28によりねじりバネ18の弾性力の反力を受けることにより、計測対象の隙間Gを形成する動翼6Aに第1アーム20(可動片)を当接させたときに、第1アーム20に確実にねじりバネ18の弾性力(付勢力)を与えることができる。これにより、ねじりバネ18の弾性力(付勢力)によって、動翼6Aから離れる方向(隙間Gを形成する動翼6Aに向かう方向)に基部10とともにセンサ保持部12を確実に押圧することができる。よって、計測用治具2のセンサ保持部12を動翼6Aに向かって確実に押し付けることで、センサ保持部12に保持されるセンサ3の動翼6Aに対する姿勢をより確実に維持することができる。
幾つかの実施形態では、計測用治具2は、反力受け面28を動かして、ねじりバネ18の自然状態における可動片としての第1アーム20の位置を調節するためのバネ力調節部30をさらに備える。
一実施形態では、図3に示すように、バネ力調節部30は、基部10に形成されたねじ穴に螺合するボルト31と、ボルト31に螺合するナット32と、を含む。
バネ力調節部30により、ねじりバネ18の自然状態における第1アーム20の位置を調節することができる。よって、バネ力調節部30を用いて、計測対象の隙間Gの大きさに適した位置に第1アーム20の位置を調節することにより、計測対象の隙間Gにセンサ保持部12を挿入したときに、第1アーム20と当接する部材(例えば図1におけるケーシング8A)から適切な押付け力を得ることができる。これにより、センサ保持部12に保持されるセンサ3の部材(例えば図1における動翼6A)に対する姿勢をより確実に維持することができる。
ここで、図5を参照してバネ力調節部30による第1アーム20の位置の調節を説明する。
ねじりバネ18の自然状態における第1アーム20の位置を調節するためには、ボルト31の基部10に対するねじ込み量を調節して、ねじりバネ18の第2アーム24と当接する反力受け面28(ボルト31の軸部の先端面)を動かす。
例えば、図5に実線及び二点鎖線で図示するように、ボルト31をΔxだけねじ込むと、反力受け面28もΔxだけボルト31の軸方向に移動する。また、反力受け面28に当接するねじりバネ18の第2アーム24は、反力受け面28の移動に伴って、ねじりバネ18の中心回りに回転移動する。そして、第2アーム24の回転移動に連動して、ねじりバネ18の第1アーム20も、第2アーム24と同様にねじりバネ18の中心周りに回転移動し、可動片である第1アーム20の高さ位置がΔyだけ変化する。
よって、ボルト31のねじ込み量Δxを調節することにより、可動片としての第1アーム20の高さ方向位置を調節することができる。
このように、反力受け面28を動かすことによって、第1アーム20の位置を計測対象の隙間の大きさに適したものとすることができる。例えば、比較的大きな隙間を計測対象とする場合には、第1アーム20の高さ方向位置を比較的高くすればよい。あるいは、比較的小さな隙間を計測対象とする場合には、第1アーム20の高さ方向位置を比較的低くすればよい。これにより、計測対象の隙間の計測に適したねじりバネ18の付勢力を得ることができ、センサ保持部12を、計測対象の隙間を形成する部材に適切に押し付けることができる。
幾つかの実施形態では、計測用治具2は、ねじりバネ18の中心を位置決めするためのバネ位置決め部をさらに備える。
図4及び図5に示す計測用治具2において、バネ位置決め部は、ねじりバネ18の内周側に設けられるブシュ34又はボルト35である。
一実施形態では、バネ位置決め部は、例えば、ねじりバネ18の外周側を取り囲むように設けられたブシュであってもよく、あるいは、ねじりバネ18の外周側を取り囲むように基部10に設けられたガイド穴であってもよい。
バネ位置決め部によりねじりバネ18の中心位置を規制することができるので、第1アーム20と当接する部材(例えば図1に示すケーシング8A)からより安定的に押付け力を得ることができ、センサ保持部12に保持されるセンサの前記部材(例えば図1に示す動翼6A)に対する姿勢をより確実に維持することができる。
図1及び図3に示す計測用治具2は、センサ設置面12aに対して直交する方向における、センサ位置および第1位置とは異なる第2位置(図3参照)にて、センサ保持部12と同じ側に基部10から突出する第2突出部36をさらに備えている。
図1及び図3に示す第2突出部36は、基部10に形成されたねじ穴に軸部がねじ込まれたボルト37の頭部を含む。
このように、センサ位置及び第1位置とは異なる第2位置において基部10からセンサ保持部12と同じ側に突出する第2突出部36が設けられる場合、隙間Gを形成する2部材のうち一方の部材(図1では動翼6A)に第1突出部14及び第2突出部36を当接させることができる。これにより、センサ保持部12に保持されるセンサ3の前記部材(図1における動翼6A)に対する姿勢がより維持されやすくなる。
幾つかの実施形態では、第1突出部14又は第2突出部36の少なくとも一方は、磁石を含んでいてもよい。
例えば、図3に示すように、第1突出部14は、ボルト15の頭部に形成された凹部46に設置された磁石38を含んでもよい。また、第2突出部36は、ボルト37の頭部に形成された凹部48に設置された磁石39を含んでいてもよい。
このように、第1突出部14又は第2突出部36は磁石38又は磁石39を含むので、計測対象の隙間Gを形成する部材を磁石38又は磁石39に吸着させることができる。これにより、センサ保持部12に保持されるセンサ3の前記部材(例えば図1における動翼6A)に対する姿勢をより確実に維持することができる。
幾つかの実施形態では、計測用治具2は、第1突出部14の基部10からの突出量を調節するための突出量調節部40をさらに備える。
例えば、図3に示す例では、突出量調節部40は、基部10に形成されたねじ穴に螺合するボルト15及びボルト15に螺合するナット16を含む。この突出量調節部40では、ボルト15のねじ穴に対するねじ込み量を調節することによって、第1突出部14の突出量を調節することができる。
突出量調節部40を設けることで、センサ保持部12を配置する部材(例えば図1における動翼6A)の形状に応じて第1突出部14の基部10からの突出量を調節することができる。これにより、センサ保持部12に保持されるセンサの前記部材に対する姿勢をより確実に維持することができる。また、これにより、様々な形状の部材により形成される隙間の大きさを適切に計測することができる。
第1突出部14の突出量は、第1突出部14における磁石38のボルト15の頭部からの突出量を調節することによって調節することもできる。
また、計測用治具2は、第2突出部36の基部10からの突出量を調節するための突出量調節部をさらに備えていてもよい。
幾つかの実施形態において、第1突出部14と第2突出部36とは、センサ設置面12aの延在方向において異なる位置に位置する。
例えば図1に示す動翼6Aのように、典型的なガスタービンの動翼は、動翼の高さ方向(図1において、センサ設置面12aに直交する方向に沿った方向)において、翼厚さが徐々に変化しており、典型的には先端に近づくほど薄くなっている。
この点、第1突出部14と第2突出部36とがセンサ設置面12aの延在方向において異なる位置に位置することにより、センサ設置面12aに直交する方向において異なる厚さを有する動翼等の部材に対して、センサ保持部12に保持されるセンサ3の姿勢をより確実に維持することができる。
なお、突出量調節部40により第1突出部14の突出量を調節することにより、第1突出部14と第2突出部36とのセンサ設置面12aの延在方向における位置を異ならせるようにしてもよい。
図6〜図9は、それぞれ、一実施形態に係る計測用治具を用いた計測装置の適用例を示す概略図である。
このうち、図6及び図7は、それぞれ、図1に示す例とは異なる形状のガスタービンの動翼6B又は6Cと、ガスタービンのケーシング8B又は8Cとの間の隙間の計測に適用される計測装置1が図示されている。
図6に示される動翼6Bは、翼厚さ方向の断面が、計測用治具2の基部10に向かって凸の湾曲形状を有している。一方、図7に示される動翼6Cは、翼厚さ方向の断面が、計測用治具2の基部10と反対側に向かって凸の湾曲形状を有している。
このように、計測対象の第1部材6が湾曲した形状を有している場合、第1部材6の形状に合うように、第1突出部14及び/又は第2突出部36の突出量を調節することにより、第1部材6に対するセンサ保持部12及びセンサ3の姿勢をより確実に維持することができる。
また、図8及び図9は、それぞれ、蒸気タービンの動翼6D又は6Eの先端に設けられたシールフィン44D又は44Eと、蒸気タービンのケーシング8D又は8Eとの間の隙間の計測に適用される計測装置1が図示されている。
このように、幾つかの実施形態に係る計測用治具2及び計測装置1は、ガスタービンの動翼及びケーシング以外の部材間の隙間を計測することができる。
なお、図9において、シールフィン44Eの先端部は、翼厚さ方向に傾斜を持って設けられている(すなわちシールフィン44はスラントシールフィンである)。この場合、図9に示すように、シールフィン44Eの先端に対向するセンサ保持部12の形状を、シールフィン44Eの傾斜に合わせた形状としてもよい。このように、計測対象の隙間を形成する第1部材6(ここではシールフィン44Eを含む動翼6E)のうち、センサ保持部12に対向する部位の形状に合わせたセンサ保持部を用いることで、第1部材6に対するセンサ保持部12及びセンサ3の姿勢をより確実に維持することができる。
幾つかの実施形態では、図3に示すように、計測用治具2において、第1突出部14が基部10から突出する第1位置は、センサ設置面12aに対して直交する方向において、計測用治具2の重心Cを挟んでセンサ位置とは反対側に存在する。
このように、第1突出部14が、計測用治具2の重心Cを挟んでセンサ位置とは反対側に存在する第1位置から突出することにより、計測対象の隙間Gを形成する第1部材(図1では動翼6A)とセンサ保持部12との当接点からの第1突出部14までの距離が比較的大きくなるので、当該当接点回りにおいて、計測用治具2の自重に起因するモーメントを、第1突出部14が第1部材から押し返される力に起因するモーメントによって効果的にキャンセルすることができる。よって、計測用治具2の姿勢をより安定化することができる。
図10〜図14は、それぞれ、一実施形態に係る計測装置の構成を示す図である。図11は、図10に示す計測装置の平面図である。また、図14は、図13に示す計測装置をA方向(図13中の矢印参照)から視た図である。
幾つかの実施形態では、図10〜図14に示すように、計測装置1は、接触検知部50をさらに備えている。接触検知部50は、計測用治具2の1以上の突出部(図示する例における第1突出部14や第2突出部36)のうち少なくとも1つの突出部と、計測対象の隙間Gを形成する第1部材6と第2部材8のうち、センサ保持部12が当接する部材(図示する例では、第1部材6である動翼6A)との接触を検出するように構成されている。
図10〜図12に示す例示的な実施形態では、接触検知部50は、第2突出部36の先端部、及び、動翼6A(第1部材6)のうち第2突出部36の先端部36aが対向する部分を撮像するように構成されたカメラ52(撮像部)を含む。また、図13及び図14に示す実施形態では、接触検知部50は、第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aと、動翼6A(第1部材6)のうち第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aが対向する部分との接触を検出するように構成された接触センサ62a,62bを含む。
接触検知部50によって、計測用治具2の突出部(第1突出部14又は第2突出部36)と第1部材6(動翼6A)とが当接していることを確認しながら、計測装置1によって隙間Gの計測を行うことができる。よって、隙間Gの制度良好な計測をより確実に行うことができる。
例えば、計測用治具2が複数の突出部(例えば図示する実施形態における第1突出部14及び第2突出部36等)を有する場合、センサ保持部12を動翼6Aの先端部(ケーシング8Aに対向する部位)に当接させた状態において、複数の突出部のうち1つの突出部(例えば第1突出部14)と動翼6Aとが接触しているか否かは、計測装置1の操作者が感覚的に認識しやすい。しかし、ある突出部(例えば第1突出部14)と動翼6Aとを接触させた状態で、該突出部以外の突出部(例えば第2突出部36)と動翼6Aとが接触しているか否かは、計測装置1の操作者にとって、感覚的に認識しにくい。
このような場合であっても、上述の接触検知部50によって、計測用治具2の突出部(第1突出部14又は第2突出部36)と動翼6Aとが当接していることを確認しながら、計測装置1によって隙間Gの計測を行うことができる。よって、隙間Gの制度良好な計測をより確実に行うことができる。
図10〜図12に示す例示的な実施形態では、接触検知部50は、第2突出部36の先端部36a、及び、動翼6A(第1部材6)のうち第2突出部36の先端部36aが対向する部分を撮像するように構成されたカメラ52(撮像部)を含む。カメラ52で撮像された画像は、図示しない受像・表示機器に出力されるようになっており、該受像・表示機器に表示される画像を視認することによって、計測用治具2の第2突出部36の先端部36aと動翼6Aとの接触状態を確認することができる。
図10及び図11に示すカメラ52は、アーム54を介して計測用治具2の基部10に取付けられており、アーム54を動かしてカメラ52の位置や向きを調節可能になっている。このカメラ52により、第2突出部36の先端部36aと、動翼6Aのうち該先端部36aに対向する部分とを撮像することにより、第2突出部36の先端部36aと動翼6Aとが接触しているか否かを検知することができる。
図12に示す実施形態では、複数の動翼6Aがロータ周方向に配列されて翼列60を形成しているとともに、複数の静翼72がロータ周方向に配列されて翼列70を形成している。翼列60と翼列70とは、ロータ軸方向において隣り合うように配置されている。
図12に示すカメラ52は、計測対象の隙間Gを形成す動翼6A(第1部材6)、すなわち、計測用治具2が配置される動翼6Aとは異なる翼に取付けられている。より具体的には、図12に示すカメラ52は、計測用治具2が配置される動翼6Aが形成する翼列60に隣り合う翼列70を構成する静翼72に、クリップ56によって取り付けられている。
この実施形態では、計測用治具2及びカメラ52は、それぞれ、フレキシブルアーム(設置手段42,58)を介してハンドル43,59に接続されている。操作者は、ハンドル43,59を直接手に持って、またはロボット等により、フレキシブルアーム(設置手段42,58)を操作して計測用治具2及びカメラ52の位置及び向きを操作可能である。
そして、カメラ52により、第2突出部36の先端部36aと、動翼6Aのうち該先端部36aに対向する部分とを撮像することにより、第2突出部36の先端部36aと動翼6Aとが接触しているか否かを検知することができる。
図13及び図14に示す例示的な実施形態では、接触検知部50は、第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aに設けられた接触センサ62〜62cを含む。接触センサ62a〜62cは、それぞれ、第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aを形成する磁石38,39(図3参照)の表面に設けられていてもよい。
接触センサ62a〜62cは、動翼6A(第1部材6)から受ける圧力によって動翼6Aと第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aとの接触を感知するボタン型接触センサであってもよい。
この場合、各々の接触センサ62a〜62cが別々のランプに接続されており、各接触センサ62a〜62cにおいて動翼6Aと第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aとの接触が感知されると対応するランプが点灯するようになっていてもよい。
あるいは、各々の接触センサ62a〜62cが1つのランプに接続されており、接触センサ62a〜62cの全てにおいて動翼6Aと第1突出部14及び第2突出部36の先端部14a,36aとの接触が感知されるとランプが点灯するようになっていてもよい。
このようにして、ランプの点灯又は消灯により、接触しているか否かを確認することができる。
計測用治具2の第1突出部14、第2突出部36及び、基部10が導電性材料(例えば合金)で形成されている場合、接触センサ62a〜62cはそれぞれ電極を含んでいてもよく、接触検知部50は、これらの電極のうち2つの電極間の通電を検知するように構成されていてもよい。例えば、接触検知部50は、接触センサ62aと接触センサ62bとの間、又は、接触センサ62aと接触センサ62cとの間の通電を検知するようになっていてもよい。
すなわち、例えば、接触センサ62aの電極と接触センサ62bの電極との間に電圧を付与した時に、これらの電極間において通電が検知されれば、接触センサ62aが設けられた第1突出部14と動翼6A(第1部材6)とが接触しており、かつ、接触センサ62bが設けられた第2突出部36と動翼6Aとが接触していることが確認できる。
また、例えば、接触センサ62aの電極と接触センサ62cの電極との間に電圧を付与した時に、これらの電極間において通電が検知されれば、接触センサ62aが設けられた第1突出部14と動翼6A(第1部材6)とが接触しており、かつ、接触センサ62cが設けられた第2突出部36と動翼6Aとが接触していることが確認できる。
このように、接触検知部50によって、計測用治具2の突出部(第1突出部14又は第2突出部36)と第1部材6(動翼6A)とが当接していることを確認しながら、計測装置1によって隙間Gの計測を行うことができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、上述した実施形態に変形を加えた形態や、これらの形態を適宜組み合わせた形態も含む。
例えば、上述した実施形態では、計測用治具2及び計測装置1をガスタービンや蒸気タービンの動翼のチップクリアランスの計測に適用する例について説明したが、本発明に係る計測用治具2及び計測装置1の計測対象はこれに限られず、本発明に係る計測用治具2及び計測装置1は、種々の機械における部材間の隙間計測に用いることができる。
また、上述した実施形態では、計測用治具2は、基部10に対して変位可能な可動片としてねじりバネ18の先端部21を有し、センサ設置面12aに対して直交する方向において、センサ位置を挟んで第1位置とは反対側に向けて可動片(先端部21)を付勢するための付勢手段としてねじりバネ18を有する例について説明したが、本発明に係る計測用治具2は、これらの実施形態に限定されない。
図示を省略するが、例えば、他の実施形態では、計測用治具2は、基部10に対して変位可能な可動片として、センサ設置面12aに対して直交する方向において変位可能に構成されたプランジャを有するとともに、センサ位置を挟んで第1位置とは反対側に向けて該プランジャを付勢可能な付勢手段と、を有していてもよい。
この場合、計測用治具2は、プランジャを付勢するための付勢手段として、センサ設置面12a(図1参照)に対して直交する方向の弾性力を生じさせることが可能なコイルばねを有していてもよい。また、計測用治具2は、該コイルばねの自然状態におけるプランジャの位置を調節するためのバネ力調節部(例えばバネ力調節ねじ)を有してもよい。バネ力調節部を用いて、計測対象の隙間Gの大きさに適した位置にプランジャの位置を調節することにより、計測対象の隙間Gにセンサ保持部12を挿入したときに、プランジャと当接する部材から適切な押付け力を得ることができる。
あるいは、上述のプランジャを可動片として有する計測用治具2は、プランジャを付勢するための付勢手段として、プランジャを流体圧によって付勢するための流体圧生成機構を有していてもよい。この場合、例えば、水、油又は空気等を作動流体とする流体圧生成機構により、水圧、油圧、又は空気圧等によって、プランジャを付勢するようになっていてもよい。
本明細書において、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
また、本明細書において、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
また、本明細書において、一の構成要素を「備える」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
1 計測装置
2 計測用治具
3 センサ
4 腕部
5 センサ部
6 第1部材
6A〜6E 動翼
8 第2部材
8A〜8E ケーシング
10 基部
12 センサ保持部
12a センサ設置面
14 第1突出部
14a 先端部
15 ボルト
16 ナット
18 ねじりバネ
20 第1アーム
21 先端部
22 根本部
24 第2アーム
26 巻回部
28 反力受け面
30 バネ力調節部
31 ボルト
32 ナット
33 プレート
34 ブシュ
35 ボルト
36 第2突出部
36a 先端部
37 ボルト
38 磁石
39 磁石
40 突出量調節部
42 設置手段
43 ハンドル
44D,44E シールフィン
46 凹部
48 凹部
50 接触検知部
52 カメラ
54 アーム
56 クリップ
58 設置手段
59 ハンドル
60 翼列
62a〜62c 接触センサ
70 翼列
72 静翼
重心
G 隙間
当接点

Claims (18)

  1. 基部と、
    前記基部から突出するように設けられ、センサを保持するセンサ保持部と、
    前記センサが延在するセンサ設置面に対して直交する方向における前記センサ設置面の位置であるセンサ位置とは異なる第1位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第1突出部と、
    を備えることを特徴とする計測用治具。
  2. 前記基部に対して変位可能に設けられた可動片と、
    前記センサ設置面に対して直交する前記方向において、前記センサ位置を挟んで前記第1位置とは反対側に向けて前記可動片を付勢する少なくとも一つの付勢手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の計測用治具。
  3. 前記少なくとも一つの付勢手段は、前記センサ設置面に投影したときに、前記基部からの前記センサ保持部の突出方向に平行であり、前記センサの中心位置を通る直線を挟んで両側に位置する一対の付勢手段を含むことを特徴とする請求項2に記載の計測用治具。
  4. 前記少なくとも一つの付勢手段は、前記センサ設置面に平行であり、かつ、前記基部からの前記センサ保持部の突出方向に直交する直線周りに設けられたねじりバネを含み、
    前記ねじりバネは、前記可動片としての先端部を有する第1アームを含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の計測用治具。
  5. 前記ねじりバネは、
    前記第1アームとは反対側の第2アームと、
    前記第1アームと前記第2アームとの間に位置する巻回部と、
    をさらに含み、
    前記第1アームは、
    前記センサ位置を挟んで前記第1位置とは反対側に向かうように前記巻回部から延びる根本部と、
    前記根本部に対して前記センサ位置側に向かって屈曲した前記先端部と、
    を含むことを特徴とする請求項4に記載の計測用治具。
  6. 前記ねじりバネは、前記第1アームとは反対側の第2アームを含み、
    前記基部は、前記第2アームと当接して前記ねじりバネの弾性力の反力を受けるように構成された反力受け面を含むことを特徴とする請求項4又は5に記載の計測用治具。
  7. 前記反力受け面を動かして、前記ねじりバネの自然状態における前記可動片としての前記第1アームの位置を調節するためのバネ力調節部をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の計測用治具。
  8. 前記ねじりバネの中心を位置決めするためのバネ位置決め部をさらに備えることを特徴とする請求項4乃至7の何れか一項に記載の計測用治具。
  9. 前記センサ設置面に対して直交する前記方向における、前記センサ位置および前記第1位置とは異なる第2位置にて、前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第2突出部をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至8の何れか一項に記載の計測用治具。
  10. 前記第1突出部は、磁石を含むことを特徴とする請求項1乃至9の何れか一項に記載の計測用治具。
  11. 前記第1突出部の前記基部からの突出量を調節するための突出量調節部をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至10の何れか一項に記載の計測用治具。
  12. 前記第1位置は、前記センサ設置面に対して直交する前記方向において、前記計測用治具の重心を挟んで前記センサ位置とは反対側に存在することを特徴とする請求項1乃至11の何れか一項に記載の計測用治具。
  13. 前記センサ保持部は、前記センサの計測対象である第1部材と第2部材との隙間に挿入された状態で、前記第1部材のうち前記第2部材に対向する部位に当接するように構成され、
    前記第1突出部は、前記第1部材に当接して、前記第1部材の前記部位に対する前記センサ保持部の姿勢を調節するように構成されたことを特徴とする請求項1乃至12の何れか一項に記載の計測用治具。
  14. 請求項1乃至13の何れか一項に記載の計測用治具と、
    前記計測用治具の前記センサ保持部に保持されるセンサと、
    を備えることを特徴とする計測装置。
  15. 前記計測用治具は、前記センサ設置面に対して直交する方向における前記センサ位置とは異なる位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する1以上の突出部を含み、
    前記センサ保持部は、前記センサの計測対象である第1部材と第2部材との隙間に挿入された状態で、前記第1部材のうち前記第2部材に対向する部位に当接するように構成され、
    前記1以上の突出部のうち少なくとも1つの突出部と前記第1部材との接触を検知するための接触検知部をさらに備える
    ことを特徴とする請求項14に記載の計測装置。
  16. 前記接触検知部は、前記少なくとも1つの突出部の先端部、及び、前記第1部材のうち前記少なくとも1つの突出部の前記先端部が対向する部分を撮像するように構成された撮像部を含む
    ことを特徴とする請求項15に記載の計測装置。
  17. 前記接触検知部は、前記少なくとも1つの突出部の先端部と、前記第1部材のうち前記少なくとも1つの突出部の前記先端部が対向する部分との接触を検出するように構成された接触センサを含む
    ことを特徴とする請求項15又は16に記載の計測装置。
  18. 第1部材と第2部材との間の隙間に計測用治具に搭載されたセンサを侵入させ、該センサによって前記隙間の大きさを計測するステップを備え、
    前記計測用治具は、
    基部と、
    前記基部から突出するように設けられ、前記センサを保持するセンサ保持部と、
    前記センサが延在するセンサ設置面に対して直交する方向における前記センサ設置面の位置であるセンサ位置とは異なる第1位置にて前記センサ保持部と同じ側に前記基部から突出する第1突出部と、
    を含み、
    前記隙間の大きさを計測するステップでは、前記センサ保持部を前記第1部材のうち前記第2部材に対向する部位に当接させ、且つ、前記第1突出部を前記第1部材に当接させた状態で前記センサによる計測を行うことを特徴とする隙間計測方法。
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