JP5908147B1

JP5908147B1 - ターゲット保持冶具及び測定装置並びにターゲット保持方法

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Publication number: JP5908147B1
Application number: JP2015124659A
Authority: JP
Inventors: 浩輔小谷
Original assignee: Mitsubishi Hitachi Power Systems Ltd
Current assignee: Mitsubishi Power Ltd
Priority date: 2015-06-22
Filing date: 2015-06-22
Publication date: 2016-04-26
Anticipated expiration: 2035-06-22
Also published as: CN107430001B; WO2016208583A1; CN107430001A; JP2017009424A

Abstract

【課題】ターゲット保持冶具及び測定装置において、容易な操作により高い精度でターゲットを測定対象物に接触させる。【解決手段】光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、測定対象物と接触させた状態でターゲットを支持する支持部と、支持部の測定対象物と対向する側に配置され、測定対象物の端面の短辺方向においてターゲットが測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、ガイド部に固定され、測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象物と接触するターゲットを保持するターゲット保持冶具及び測定装置並びにターゲット保持方法に関する。

測定対象物までの距離を測定する測定装置には、測定光を用いて測定を行う装置がある。例えば、特許文献１には、放射光ビーム（測定光）を出力する光源と、測定光を反射する外部再帰反射器を備えるターゲットと、光源と一体で固定されターゲットから反射された光を受光する受光部と、受光部で受光した光を解析してターゲットまでの距離を算出する信号処理装置と、を有する絶対距離計が記載されている。絶対距離計は、ターゲットを測定対象物に接触させた状態で、光源からターゲットに測定光を照射し、ターゲットで反射された光を受光部で受光し、受光した光を解析し、ターゲットまでの距離を算出することで、ターゲットが接触している測定対象物までの距離を測定することができる。

特許文献２には、筒体や柱体等の棒状ワーク（パイプ）の曲がり角度を測定するのに用いられる球状のリフレクタ（ターゲット）を保持する冶具として、球状のリフレクタをスライド可能に保持する外向き溝が形成された一対の半円形冶具構成体を備え、当該一対の半円形冶具構成体を互いに合体してパイプの外周に嵌合装着される冶具が記載されている。特許文献２には、この冶具に沿ってターゲットを移動させることで、棒状ワークの曲がり角度を簡単に測定することができるのに加えて、棒状ワークの測定部位毎の曲がり角度を記録に残すことが可能になるとしている。

特許文献１に記載されているような装置を用いて、測定対象物までの距離を測定する場合、ターゲットが測定対象物に接触していないと、測定対象物との距離や測定部位の曲がり角度を正確に測定することができない。

ここで、蒸気タービンのシールフィン等の板状部材が測定対象物となる場合がある。シールフィン等の板状部材の端面を測定する場合では、筒体や柱体等の棒状ワークとは異なり、測定対象物が細くなる。ターゲットが球形であるため、ターゲットを測定対象物に接触させた時や、測定対象物に沿って移動させた時、ターゲットの接触位置が測定対象物の厚み方向（板厚方向）にずれ易くなる。このように、ターゲットの接触位置がずれてしまうと、板状の測定対象物が球状のターゲットの中心に向かう法線からずれた向きで接触することになり、測定誤差が生じる。

そこで、特許文献３に記載のターゲット保持冶具は、高い精度でターゲットを測定対象物に接触させるようにしている。このターゲット保持冶具は、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、ターゲットと測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、測定対象物と接触させた状態でターゲットを支持する支持部と、支持部の測定対象物と対向する側に配置され、測定対象物の端面の短辺方向においてターゲットが測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、ターゲットの測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、支持部に固定され、測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備える。

特開２０１１−３９０５２号公報特開２０１２−１３７３８２号公報特許第５６２７７１９号公報

特許文献３に記載されているターゲット保持冶具では、連結部は、測定対象物を挟持することで測定対象物に連結する、いわゆる洗濯ばさみと同様の機構である。この挟持タイプの連結部は、ターゲットを支持する支持部に対してターゲットおよびガイド部を間においた両側に設けられている。このような挟持タイプの連結部は、挟持する測定対象物の先端の片側がテーパ状に形成されている場合に挟持した状態が滑りやすくなるおそれがある。また、挟持タイプの連結部は、その挟持動作に遊びがあるため、測定対象物をガイド部で案内しながら挟み込んで手を離せるまでに時間を要する。また、挟持タイプの連結部は、両側に設けられているため、両手で操作が必要となる。このように、特許文献３に記載のターゲット保持冶具は、高い精度でターゲットを測定対象物に接触させることができるが、操作性を向上させる必要がある。なお、特許文献３には、連結部を磁石等、吸着により測定対象物に連結される機構としてもよいことが示されているが、単に挟持タイプの連結部を磁石に換えるだけでは、顕著に操作性を向上させることは難しい。

本発明は、上述した課題を解決するものであり、容易な操作により高い精度でターゲットを測定対象物に接触させることができるターゲット保持冶具及び測定装置並びにターゲット保持方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための本発明のターゲット保持冶具は、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、前記ガイド部に固定され、前記測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備えることを特徴とする。

従って、連結部の磁石が測定対象物と磁気吸着により連結し、かつガイド部でターゲットと測定対象物との相対位置を規制することで、高い精度でターゲットを測定対象物に接触させることができる。また、連結部が磁石により着脱可能な状態で、測定対象物に連結することで、１つのターゲット保持冶具及びターゲットを複数点の測定に用いることができる。特に、連結部が測定対象物に磁気吸着する構成であるため、測定対象物への連結を容易に行うことができる。しかも、連結部は、ターゲットが測定対象物に接触する位置を案内するガイド部に配置されているため、磁気吸着によってターゲットが測定対象物に接触する位置を案内することができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の側面に磁気吸着可能であることを特徴とする。

従って、測定対象物の側面に対して磁石の平坦面を磁気吸着することで、測定対象物に連結部を連結し易くすることができると共に、面間での磁気吸着により高い磁気吸着力を確保することができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である１つの側面にのみ沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の前記１つの側面にのみ磁気吸着可能であることを特徴とする。

従って、測定対象物への磁気吸着を容易にでき、また測定対象物から外し易くなる。これにより、測定対象物に対する着脱を容易に行うことができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、前記平坦面は、前記測定対象物の端面の短手方向において、前記測定対象物に接触する前記ターゲットの接触部の位置から前記測定対象物の寸法の分、離れていることを特徴とする。

従って、磁石の平坦面を測定対象物に磁気吸着させることで、ターゲットの接触部が測定対象物に対して配置されるため、ターゲットの接触部を測定対象物に対して容易に、かつ、高い精度で接触させることができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記ガイド部は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である２つの側面を挟み込む２つのガイド面を有し、各前記ガイド面の間に前記測定対象物の端面に接触する前記ターゲットの接触部が配置されていることを特徴とする。

従って、対向するガイド部の間に測定対象物の端面を挿入することで、測定対象物の端面に対するターゲットの接触部の接触を案内することができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記連結部は、前記ガイド部の各前記ガイド面の間であって一方の前記ガイド部のみに配置されていることを特徴とする。

従って、連結部のない他方のガイド部は、一方のガイド部の連結部を測定対象物に磁気吸着させる際に、磁気吸着が不十分で測定対象物に対して動揺することを規制する。これにより、測定対象物の端面に対するターゲットの接触部の接触を案内しつつ、測定対象物に対する磁気吸着状態を確保することができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記ガイド部は、各前記ガイド面の一方が他方に対して接近または離隔する移動を可能に設けられていることを特徴とする。

従って、測定対象物の寸法に合わせてガイド部の位置を調整することができ、ターゲットが測定対象物に接触する位置の案内の精度を向上したり、連結部が測定対象物に磁気吸着する位置の精度を向上したりすることができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記ガイド部は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿うガイド面を有し、前記連結部は、前記測定対象物の端面の長辺方向において、前記ターゲットの両側のそれぞれの位置の前記ガイド面に前記磁石が固定されていることを特徴とする。

従って、各連結部がターゲットの両側で測定対象物の側面に磁気吸着して連結することで、ターゲットを測定対象物に対して安定した連結状態で接触させることができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記磁石は、ネオジム系の永久磁石であることを特徴とする。

従って、強固な磁気吸着状態を安定して確保することができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えることを特徴とする。

従って、測定対象物にターゲットをより確実に接触させることができ、測定精度をより高くすることができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記検出部は、前記ターゲット及び前記連結部と接続された電源を有し、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部とが直列で接続され、前記ターゲット及び前記連結部が前記測定対象物と接触すると、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部と前記測定対象物とが閉じられた回路となることを特徴とする。

従って、測定対象物にターゲット保持冶具を連結させるために連結部を接触させつつ位置調整するのみで、ターゲットが測定対象物に接触した状態になったか否かを知ることができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記ガイド部は、前記支持部と前記連結部との間に配置され、前記支持部と前記連結部とを絶縁する絶縁部からなることを特徴とする。

従って、これにより、連結部とターゲットとが、回路以外の部分で電気的に繋がることを防止できる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記報知部は、発光する発光部であることを特徴とする。

従って、ターゲットと測定対象物とが接触したかを視覚でわかりやすく知ることができる。

本発明のターゲット保持冶具では、前記測定対象物は、蒸気タービンにおける円環状のシールフィンであることを特徴とする。

従って、測定対象物をシールフィンとした場合、多数の位置についての測定が必要となるが、着脱可能なターゲット保持冶具を用いて、ターゲットを測定対象物に設置し移動させながら計測を行うことで、少ないターゲットで計測を行うことができる。

本発明の測定装置は、上記のいずれかに記載のターゲット保持冶具と、前記ターゲット保持冶具に保持されたターゲットと、前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析する処理部とを備える測定装置本体と、を有することを特徴とする。

従って、ターゲットと測定対象物とを高い精度で接触できるため、つまり位置ずれを抑制できるため、高い精度で測定対象物までの距離を測定することができる。

本発明のターゲット保持方法は、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持方法であって、前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、前記ガイド部に固定され、前記測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備えることを特徴とするターゲット保持冶具を用い、前記ガイド部により前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内する案内工程と、前記ターゲットが前記測定対象物に接触した位置で前記磁石を前記測定対象物に磁気吸着させて連結させる連結工程と、を含むことを特徴とする。

本発明のターゲット保持方法では、前記ターゲット保持冶具の前記磁石が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有しており、前記連結工程では、前記磁石の前記平坦面を前記測定対象物の側面に磁気吸着させることを特徴とする。

従って、測定対象物に連結部を連結し易くすることができると共に、面間での磁気吸着により高い磁気吸着力を確保することができる。

本発明のターゲット保持方法では、前記ターゲット保持冶具の前記磁石が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である１つの側面にのみ沿っている平坦面を有しており、前記連結工程では、前記磁石の前記平坦面を前記測定対象物の１つの側面にのみ磁気吸着させることを特徴とする。

従って、測定対象物への磁気吸着を容易にでき、また測定対象物からの磁気吸着を外し易くなることから、測定対象物に対する着脱を容易に行うことができる。

本発明のターゲット保持方法では、前記ターゲット保持冶具の前記ガイド部が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である２つの側面を挟み込む２つのガイド面を有し、各前記ガイド面の間に前記測定対象物の端面に接触する前記ターゲットの接触部が配置され、一方が他方に対して接近または離隔する移動を可能に設けられており、前記案内工程では、前記測定対象物の寸法に応じて前記ガイド部を移動させてから案内することを特徴とする。

従って、対向する各ガイド部の間隔が測定対象物の寸法に応じて調整されるため、ターゲットが測定対象物に接触する位置の案内の精度を向上したり、連結部が測定対象物に磁気吸着する位置の精度を向上したりすることができる。

本発明のターゲット保持方法では、前記ターゲット保持冶具は、前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えており、前記連結工程では、前記報知部による報知があった場合に連結完了とすることを特徴とする。

従って、ユーザにターゲットと測定対象物とが接触したことを認識させ、作業性を向上することができる。

本発明のターゲット保持方法では、前記測定対象物は、蒸気タービンにおける円環状のシールフィンであることを特徴とする。

本発明のターゲット保持冶具及び測定装置によれば、蒸気タービンのシールフィン等の板状部材等の測定対象物と連結部が磁気吸着により連結し、かつガイド部でターゲットと測定対象物との相対位置を規制することで、容易な操作により高い精度でターゲットを蒸気タービンのシールフィン等の板状部材である測定対象物に接触させることができる。

図１は、本発明の一実施例に係るターゲット保持冶具の概略構成を示す正面図である。図２は、図１に示すターゲット保持冶具の上面図である。図３は、図１に示すターゲット保持冶具の底面図である。図４は、図１のＡ−Ａ線から見た概略構成を示す断面図である。図５は、図１のＢ−Ｂ線から見た概略構成を示す断面図である。図６は、検出部の回路構成を示す模式図である。図７は、ターゲット保持冶具を備える測定装置の概略構成を示す模式図である。図８は、測定対象物の概略構成を示す斜視図である。図９は、測定対象物とターゲット保持冶具との測定時の位置関係を示す模式図である。

以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。例えば、以下に説明する実施例では、本発明のターゲット保持冶具及び測定装置を蒸気タービンのリング形状のシールフィンの内周側の端面を測定する場合を例に挙げて説明するが、測定対象物は、磁石が磁気吸着可能な材料（磁性体を含む）からなる物であれば、これに限定されない。本発明のターゲット保持冶具及び測定装置は、シールフィンを測定対象物とした場合に、より顕著な効果を得ることができるが、シールフィンと同様に薄板状の測定対象物の端面の位置を測定する場合も好適に用いることができる。

図１は、本発明の一実施例に係るターゲット保持冶具の概略構成を示す正面図である。図２は、図１に示すターゲット保持冶具の上面図である。図３は、図１に示すターゲット保持冶具の底面図である。図４は、図１のＡ−Ａ線から見た概略構成を示す断面図である。図５は、図１のＢ−Ｂ線から見た概略構成を示す断面図である。図６は、検出部の回路構成を示す模式図である。

ターゲット保持冶具１０は、ターゲット８を保持し、測定対象物５０に着脱可能に連結される。ここで、ターゲット８は、後述する測定装置の一部であり、測定光を反射する反射機構を備えている。具体的には、ターゲット８は、一部に切欠きが形成された略球状の部材であり、切欠きに測定光を反射するリフレクタが設置されている。本実施形態の測定対象物５０は、蒸気タービンのリング形状のシールフィンである（以下、測定対象物５０をシールフィン５０ともいう。）。

ターゲット保持冶具１０は、支持部１４と、連結部１５と、ガイド部２０と、電池フォルダ２２と、発光部２４と、配線２６と、配線２８と、を有する。

支持部１４は、ターゲット保持冶具１０の土台となる部材である。支持部１４は、図１から図５に示すように、第一支持部１４Ａ及び第二支持部１４Ｂを備えている。第一支持部１４Ａ及び第二支持部１４Ｂは、それぞれ板状の部材であり、面積が最も大きい内面が互いに向き合わされた相互間に所定の間隔を空けるスペーサ１４Ｃを介在してネジ１４Ｄにより連結されている。第一支持部１４Ａは、面積が最も大きい内外面に貫通する開口部１４Ａａが形成されている。また、第二支持部１４Ｂは、面積が最も大きい内外面に貫通する開口部１４Ｂａが形成されている。各開口部１４Ａａ，１４Ｂａは、対向して設けられ、ターゲット８の直径よりも若干小さい内径として形成されている。そして、各開口部１４Ａａ，１４Ｂａにターゲット８を内挿することで、ターゲット８はその中心Ｃを第一支持部１４Ａと第二支持部１４Ｂとの間に置き、第一支持部１４Ａ及び第二支持部１４Ｂに挟み込まれて各開口部１４Ａａ，１４Ｂａ内の所定位置に保持されることで、ターゲット保持冶具１０に保持される。なお、図２及び図３において、各開口部１４Ａａ，１４Ｂａは矩形状として示されているが、例えば円形状等でもよく、ターゲット８の直径よりも小さい内径を有すれば形状に限定はない。また、第一支持部１４Ａは、開口部１４Ａａと繋がり、かつ、第一支持部１４Ａの側面まで延在する切欠き１４Ａｂが形成されている。この切欠き１４Ａｂを設けることで、ターゲット８に測定光が入反射する領域を確保することができる。ユーザにとっても、切欠き１４Ａｂが形成されていることで、この切欠き１４Ａｂを介して、ターゲット８と測定対象物５０との相対位置を容易に確認することができる。なお、第二支持部１４Ｂにおいて、面積が最も大きい外面は、図１に示すように測定対象物（シールフィン）５０と対向している場合、測定対象物５０の端面５０ａと対面する面である。

第一支持部１４Ａは、図１に示すように測定対象物５０に連結されている場合に測定対象物５０に対して背く外面に、電池フォルダ２２と、発光部２４とが配置されている。そして、これら電池フォルダ２２及び発光部２４に関連して配線２６と、配線２８とが配置されている。また、第二支持部１４Ｂは、ガイド部２０が配置されている。

ガイド部２０は、図１に示すように、第二支持部１４Ｂにおいて測定対象物５０の端面５０ａと対面している外面に配置されている。ガイド部２０は、第一ガイド部２０Ａ及び第二ガイド部２０Ｂを備えている。第一ガイド部２０Ａ及び第二ガイド部２０Ｂは、図３から図５に示すように、第二支持部１４Ｂの外面において、開口部１４Ｂａから最も突出しているターゲット８の頂部８ａを間に置いて対向して設けられている。ターゲット８の頂部８ａは、測定対象物５０の端面５０ａに接触する接触部である。そして、第一ガイド部２０Ａ及び第二ガイド部２０Ｂは、ターゲット８の頂部８ａを間に置いて対向する平坦なガイド面２０Ａａ，２０Ｂａが設けられている。各ガイド面２０Ａａ，２０Ｂａは、図３に示すように、測定対象物５０が延在する長手方向に沿って設けられる。そして、各ガイド面２０Ａａ，２０Ｂａの間に、ターゲット８の頂部８ａを置いた溝２１が形成されている。また、第一ガイド部２０Ａ及び第二ガイド部２０Ｂは、図１及び図４に示すように、第二支持部１４Ｂの開口部１４Ｂａから突出するターゲット８の一部を内挿する開口穴２０Ａｂ，２０Ｂｂが形成されている。開口穴２０Ａｂ，２０Ｂｂは、第一ガイド部２０Ａ及び第二ガイド部２０Ｂのターゲット８との干渉を防ぐ。

第一ガイド部２０Ａは、ガイド面２０Ａａがターゲット８を略中央部に置いてターゲット８の両側に至り延在して設けられている。また、第一ガイド部２０Ａは、ガイド面２０Ａａに直交して屈曲する固定片２０Ａｃを有し、この固定片２０Ａｃが第二支持部１４Ｂに対してネジ２０Ａｄにより固定されている。第二支持部１４Ｂに固定された第一ガイド部２０Ａにおいて、ガイド面２０Ａａは測定対象物５０の一方の側面５０ｂに沿うことになる。また、第一ガイド部２０Ａは、図１、図４及び図５に示すように、第二支持部１４Ｂから突出するターゲット８の頂部８ａの突出高さよりも第二支持部１４Ｂから突出した位置にガイド面２０Ａａが配置されている。なお、測定対象物５０の側面５０ｂは、測定対象物５０の端面５０ａの延在方向及び端面５０ａに直交する方向に延在する面である。

第二ガイド部２０Ｂは、ガイド面２０Ｂａが第一ガイド部２０Ａのガイド面２０Ａａよりも小さく形成されている。また、第二ガイド部２０Ｂは、ガイド面２０Ｂａに直交して屈曲する固定片２０Ｂｃを有し、この固定片２０Ｂｃが第二支持部１４Ｂに対してネジ２０Ｂｄにより固定されている。第二支持部１４Ｂに固定された第二ガイド部２０Ｂにおいて、ガイド面２０Ｂａは測定対象物５０の他方の側面５０ｂに沿うことになる。また、第二ガイド部２０Ｂは、ネジ２０Ｂｄが挿通される穴が、第一ガイド部２０Ａに向く方向に長手状に形成された長穴２０Ｂｅとして形成されている。このため、第二ガイド部２０Ｂは、ネジ２０Ｂｄを緩めることで、ガイド面２０Ｂａが第一ガイド部２０Ａのガイド面２０Ａａに対して接近または離隔する移動を可能に設けられている。即ち、ガイド部２０は、ターゲット８の頂部８ａを間に置いて対向する平坦なガイド面２０Ａａ，２０Ｂａの間の溝２１の間隔を狭めたり広げたりすることが可能に設けられている。また、第二ガイド部２０Ｂは、図１、図４及び図５に示すように、第二支持部１４Ｂから突出するターゲット８の頂部８ａの突出高さよりも第二支持部１４Ｂから突出した位置にガイド面２０Ｂａが配置されている。

連結部１５は、磁石１６および磁石１８からなる。磁石１６と磁石１８は、磁石が磁気吸着可能な材料（磁性体を含む）からなる測定対象物５０に対して磁気吸着可能に連結する。図１に示すように、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０における第一ガイド部２０Ａのガイド面２０Ａａに磁石１６及び磁石１８が配置されている。具体的に、磁石１６と磁石１８は、測定対象物５０の側面５０ｂに沿ってターゲット８の両側に至り延在して設けられたガイド面２０Ａａにおいて、測定対象物５０の端面５０ａの長辺方向におけるターゲット８の片側に磁石１６が配置され、ターゲット８のもう片側に磁石１８が配置されている。即ち、連結部１５となる磁石１６及び磁石１８は、ガイド部２０における第一ガイド部２０Ａのガイド面２０Ａａに対し、測定対象物５０の端面５０ａの長辺方向におけるターゲット８の両側となる部位に配置されている。

上述したように、ガイド部２０の第一ガイド部２０Ａに設けられた磁石１６及び磁石１８は、磁石が磁気吸着可能な材料（磁性体を含む）からなる測定対象物５０に対して磁気吸着可能に連結する。具体的に、磁石１６及び磁石１８は、板状の磁石であって、特にネオジム系の永久磁石である。板状の磁石である磁石１６及び磁石１８は、測定対象物５０の側面５０ｂに向く平坦面１６ａ，１８ａを有している。即ち、磁石１６及び磁石１８は、平坦面１６ａ，１８ａが測定対象物５０の側面５０ｂに磁気吸着して連結する。また、磁石１６及び磁石１８は、図１、図４及び図５に示すように、第二支持部１４Ｂから突出するターゲット８の頂部８ａの突出高さよりも突出した位置に平坦面１６ａ，１８ａが配置されている。

なお、図には明示しないが、磁石１６，１８は、そのうちの一方のみがガイド部２０における第一ガイド部２０Ａのガイド面２０Ａａに配置されていてもよい。また、磁石１６，１８は、ネオジム系以外の永久磁石であってもよい。また、磁石１６，１８は、永久磁石に限らず電磁石であってもよい。また、磁石１６，１８は、ガイド部２０における第二ガイド部２０Ｂのガイド面２０Ｂａにも配置されていても、第二ガイド部２０Ｂのガイド面２０Ｂａのみに配置されていてもよい。

磁石１６，１８が配置されたガイド部２０は、絶縁部として構成されている。即ち、磁石１６，１８は、絶縁部であるガイド部２０を介して支持部１４に固定されている。磁石１６，１８と支持部１４との固定部分に絶縁部が配置されることで電気が流れない状態となる。なお、図には明示しないが、ガイド部２０を絶縁部として構成せず、ガイド部２０と磁石１６，１８との間に絶縁部を配置したり、ガイド部２０と支持部１４（第二支持部１４Ｂ）との間に絶縁部を配置したりしてもよい。

磁石１６，１８は、図４及び図５に示すように、測定対象物５０の側面５０ｂに磁気吸着して連結した場合、ターゲット８の頂部（接触部）８ａまたはその近傍で、ターゲット８を測定対象物５０の端面５０ａに接触させることができる。従って、磁石１６，１８は、ターゲット８の頂点（接触部）８ａまたはその近傍を測定対象物５０の端面５０ａに接触させるため、測定対象物５０の寸法（厚さ）を考慮してターゲット８の頂点（接触部）８ａから測定対象物５０の寸法の分、離れた位置に平坦面１６ａ，１８ａを配置して第一ガイド部２０Ａに設けられている。このため、ターゲット８は、磁石１６，１８が測定対象物５０の側面５０ｂに磁気吸着し、測定対象物５０と接触する状態で、測定光が入反射できる向きに保持される。

電池フォルダ２２は、支持部１４の第一支持部１４Ａに設置され、図示しない電池が取り付けられている。電池フォルダ２２は、電気的に一方の極が支持部１４に接続され、他方の極が配線２６に接続されている。発光部２４は、支持部１４の第一支持部１４Ａに設置されている。発光部２４は、発光ダイオード等であり、電流が流れることで発光する素子である。配線２６は、電池フォルダ２２の他方の極と発光部２４とを接続している。配線２８は、発光部２４と連結部１５（磁石１６または磁石１８でもよい）とを接続している。

また、支持部１４（第一支持部１４Ａ、第二支持部１４Ｂ、スペーサ１４Ｃ）は、金属等の導電性の材料で作製されている。支持部１４は、電池フォルダ２２の一方の極と電気的に繋がっており、かつ、ターゲット８と電気的に繋がっている。さらに、発光部２４は、配線２６を介して電池フォルダ２２の他方の極と電気的に繋がっており、かつ、配線２８を介して連結部１５（磁石１６）と電気的に繋がっている。また、連結部１５（磁石１６）は、絶縁部であるガイド部２０を介して支持部１４やターゲット８と電気的に絶縁されている。

ここで、ターゲット保持冶具１０は、ターゲット８と、支持部１４と、連結部１５（磁石１６）と、電池フォルダ２２と、配線２６と、配線２８とで、検出部３０となる。この検出部３０は、発光部２４と、測定対象物５０と、を含めて１つの直列な回路を形成する。具体的には、図６に示すように、検出部３０は、ターゲット８と、支持部１４と、連結部１５（磁石１６）と、電池フォルダ２２と、配線２６と、配線２８とが、ターゲット８、支持部１４、電池フォルダ２２、配線２６、発光部２４、配線２８、連結部１５（磁石１６）の順で直列に繋がった回路となる。これにより、検出部３０は、連結部１５（磁石１６）と測定対象物５０とを接触させ、かつ、ターゲット８と測定対象物５０とが接触されると、連結部１５（磁石１６）と測定対象物５０とターゲット８が直列でつながり、１つの閉じられた回路となる。これにより、電池が取り付けられた電池フォルダ２２から電流が流れる状態となり、発光部２４に電流が流れることで、発光部２４から光が出力される。また、検出部３０は、連結部１５（磁石１６）とターゲット８のいずれかが測定対象物５０と非接触となると電気が流れないため、発光部２４が発光しない。

ターゲット保持冶具１０は、以上のような構成であり、ターゲット８を支持部１４で支持し、測定対象物５０にガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）に配置した磁石１６，１８を磁気吸着することで測定対象物５０と連結することができる。これにより、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）で測定対象物５０の位置を規制できる。具体的には、磁石１６，１８が測定対象物５０に磁気吸着することで、ガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）によりターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を規制し、かつ、ターゲット８の測定対象物５０の端面５０ａの短辺方向への移動を規制する。このため、測定対象物５０とターゲット８との接触位置を所定の範囲とすることができ、測定対象物５０とターゲット８との接触位置の位置ずれを低減することができる。したがって、ユーザは、本実施例のターゲット保持冶具１０を使用することにより、ターゲット８を用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。特に、ターゲット保持冶具１０は、磁石１６，１８が測定対象物５０に磁気吸着する構成であるため、特許文献３の発明に記載された挟持タイプの磁石と比較して測定対象物５０への連結を容易に行うことができる。しかも、磁石１６，１８は、ターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を案内するガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）に配置されているため、磁気吸着によってターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を案内することができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、磁石１６，１８が測定対象物５０の側面５０ｂに沿っている平坦面１６ａ，１８ａを有している。このため、測定対象物５０の側面５０ｂに対して平坦面１６ａ，１８ａを磁気吸着することで、測定対象物５０に磁石１６，１８を連結し易くすることができると共に、面間での磁気吸着により高い磁気吸着力を確保することができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、図４及び図５に示すように、磁石１６，１８が測定対象物５０の１つの側面５０ｂにのみ沿って平坦面１６ａ，１８ａを有している。このため、測定対象物５０への磁気吸着を容易にでき、また測定対象物５０からの磁気吸着を外し易くなる。これにより、測定対象物５０に対する着脱を容易に行うことができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、図３から図５に示すように、磁石１６，１８が測定対象物５０の側面５０ｂに沿っている平坦面１６ａ，１８ａを有し、測定対象物５０に接触するターゲット８の頂部（接触部）８ａの位置から測定対象物５０の寸法の分、離れて平坦面１６ａ，１８ａが配置されている。このため、磁石１６，１８の平坦面１６ａ，１８ａを測定対象物５０に磁気吸着させることで、ターゲット８の頂部（接触部）８ａが測定対象物５０に対して配置されるため、ターゲット８の頂部（接触部）８ａを測定対象物５０に対して容易に、かつ、高い精度で接触させることができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０が、測定対象物５０の２つの側面５０ｂを挟み込む第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとを有し、相互の間に測定対象物５０の端面５０ａに接触するターゲット８の頂部（接触部）８ａが配置されている。このため、第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとの間に測定対象物５０の端面５０ａを挿入することで、測定対象物５０の端面５０ａに対するターゲット８の頂部８ａの接触を案内することができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、磁石１６，１８が測定対象物５０の２つの側面５０ｂを挟み込む第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとの間であって第一ガイド部２０Ａのみに設けられている。これにより、第二ガイド部２０Ｂは、第一ガイド部２０Ａの磁石１６，１８を測定対象物５０に磁気吸着させる際に、磁気吸着が不十分で測定対象物５０に対して動揺することを規制する。これにより、測定対象物５０の端面５０ａに対するターゲット８の頂部８ａの接触を案内しつつ、測定対象物５０に対する磁気吸着状態を確保することができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、測定対象物５０の２つの側面５０ｂを挟み込む第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂの一方（本実施形態では第二ガイド部２０Ｂ）が他方（本実施形態では第一ガイド部２０Ａ）に対して接近または離隔する移動を可能に設けられている。このため、第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとの間隔を調整することができる。これにより、測定対象物５０の寸法に合わせて第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとを配置することで、ターゲット８が測定対象物５０に接触する位置の案内の精度を向上したり、磁石１６，１８が測定対象物５０に磁気吸着する位置の精度を向上したりすることができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）が測定対象物５０の側面５０ｂに沿うガイド面２０Ａａを有し、磁石１６，１８は、測定対象物５０の端面５０ａの長辺方向において、ターゲット８を間に置く両側のそれぞれの位置でガイド面２０Ａａに固定されている。このため、各磁石１６，１８がターゲット８の両側で測定対象物５０の側面５０ｂに磁気吸着して連結することで、ターゲット８を測定対象物５０に対して安定した連結状態で接触させることができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、磁石１６，１８がネオジム系の永久磁石である。このため、強固な磁気吸着状態を安定して確保することができる。

また、ターゲット保持冶具１０は、検出部３０によって、測定対象物５０にターゲット８が確実に接触したかを判定することができる。これにより、測定対象物５０とターゲット８とが接触していない状態で測定を行うことを抑制でき、ターゲット８を用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。また、ターゲット保持冶具１０は、検出部３０を、ターゲット８及び連結部１５（磁石１６）が測定対象物５０に接触したら電流が流れる回路とすることで、ユーザが測定対象物５０にターゲット保持冶具１０を装着する動作をしているときだけ、ターゲット８と測定対象物５０とが接触しているかを検出することができる。

また、報知部としての発光部２４を設け、検出部３０でターゲット８と測定対象物５０との接触を検出すると電流が流れ、発光部２４が発光するので、ユーザに視覚的にターゲット８と測定対象物５０とが接触したことを認識させることができる。

本実施形態のターゲット保持冶具１０は、発光部２４を発光させることで、ターゲット８と測定対象物５０とが接触したことをユーザに報知する方法は、発光に限定されない。ターゲット保持冶具１０は、報知する方法として、ユーザの五感に伝達する各種機構を用いることができ、例えば発光部２４に換えて音を出す音声出力部を設けてもよい。

また、ターゲット保持方法は、測定対象物５０と接触させた状態でターゲット８を支持する支持部１４と、支持部１４の測定対象物５０と対向する側に配置され、測定対象物５０の端面５０ａの短辺方向においてターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を案内するガイド部２０と、ガイド部２０に固定され、測定対象物５０に磁気吸着可能に連結する磁石１６，１８と、を備えるターゲット保持冶具１０を用い、ガイド部２０によりターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を案内する案内工程と、ターゲット８が測定対象物５０に接触した位置で磁石１６，１８を測定対象物５０に磁気吸着させて連結させる連結工程と、を含む。これにより、ガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）で測定対象物５０の位置を規制できる。具体的には、磁石１６，１８が測定対象物５０に磁気吸着することで、ガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）によりターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を規制し、かつ、ターゲット８の測定対象物５０の端面５０ａの短辺方向への移動を規制する。このため、測定対象物５０とターゲット８との接触位置を所定の範囲とすることができ、測定対象物５０とターゲット８との接触位置の位置ずれを低減することができる。したがって、ユーザは、本実施例のターゲット保持冶具１０を使用することにより、ターゲット８を用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。特に、ターゲット保持冶具１０は、磁石１６，１８が測定対象物５０に磁気吸着する構成であるため、特許文献３の発明に記載された挟持タイプの連結部と比較して測定対象物５０への連結を容易に行うことができる。しかも、磁石１６，１８は、ターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を案内するガイド部２０（第一ガイド部２０Ａ）に配置されているため、磁気吸着によってターゲット８が測定対象物５０に接触する位置を案内することができる。

また、ターゲット保持方法は、ターゲット保持冶具１０の磁石１６，１８が測定対象物５０の側面５０ｂに沿っている平坦面１６ａ，１８ａを有しており、連結工程では、磁石１６，１８の平坦面１６ａ，１８ａを測定対象物５０の側面５０ｂに磁気吸着させる。これにより、測定対象物５０に磁石１６，１８を連結し易くすることができると共に、面間での磁気吸着により高い磁気吸着力を確保することができる。

また、ターゲット保持方法は、ターゲット保持冶具１０の磁石１６，１８が測定対象物５０の１つの側面５０ｂにのみ沿っている平坦面１６ａ，１８ａを有しており、連結工程では、磁石１６，１８の平坦面１６ａ，１８ａを測定対象物５０の１つの側面５０ｂに磁気吸着させる。これにより、測定対象物５０への磁気吸着を容易にでき、また測定対象物５０からの磁気吸着を外し易くなることから、測定対象物５０に対する着脱を容易に行うことができる。

また、ターゲット保持方法は、ターゲット保持冶具１０のガイド部２０が測定対象物５０の２つの側面５０ｂを挟み込む第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとを有し、相互の間に測定対象物５０の端面５０ａに接触するターゲット８の頂部（接触部）８ａが配置され、一方が他方に対して接近または離隔する移動を可能に設けられており、案内工程では、測定対象物５０の寸法に応じてガイド部２０を移動させてから案内する。これにより、第一ガイド部２０Ａと第二ガイド部２０Ｂとの間隔が測定対象物５０の寸法に応じて調整されるため、ターゲット８が測定対象物５０に接触する位置の案内の精度を向上したり、磁石１６，１８が測定対象物５０に磁気吸着する位置の精度を向上したりすることができる。

また、ターゲット保持方法は、ターゲット保持冶具１０が検出部３０と発光部（報知部）２４とをさらに備えており、連結工程では、発光部２４による報知があった場合に連結完了とする。これにより、ユーザにターゲット８と測定対象物５０とが接触したことを認識させ、作業性を向上することができる。

次に、図７から図９を用いて、本実施例のターゲット保持冶具を備える測定装置について説明する。図７は、ターゲット保持冶具を備える測定装置の概略構成を示す模式図である。図８は、測定対象物の概略構成を示す斜視図である。図９は、測定対象物とターゲット保持冶具との測定時の位置関係を示す模式図である。

図７に示すように、ターゲット保持冶具１０を備える測定装置８０は、ターゲット８と、ターゲット保持冶具１０と、測定装置本体８２と、を有する。上述したようにターゲット８は、ターゲット保持冶具１０に保持され、測定時はターゲット保持冶具１０によって測定対象物（シールフィン）５０に接触している。

測定装置本体８２は、光源８２ａと、受光部８２ｂと、処理部８２ｃと、を有する。また、測定装置本体８２には、測定光をターゲット８に向けて照射し、ターゲット８で反射した光を測定装置本体８２に案内するヘッド８４及び光学系８６が設けられている。図７では、測定光及び反射した光を符号Ｌで示す。

光源８２ａは、測定光を出力する。なお、光源８２ａは、測定光として、例えば、所定の波長のレーザ光を出力する。受光部８２ｂは、到達した光を検出する受光素子である。受光部８２ｂは、ターゲット８で反射した測定光の波長の光を検出する。処理部８２ｃは、測定装置８０の各部の動作を制御する。また、処理部８２ｃは、受光部８２ｂの検出結果、さらには光源８２ａから出力した測定光の情報を解析することで、ターゲット８までの距離を測定し、ターゲット８の形状で生じる差分を演算処理で除去することで、測定対象物５０までの距離を測定する。

ヘッド８４は、光源８２ａから出力された測定光が通過する経路に配置されており、測定光が照射される方向を調整する。光学系８６は、光源８２ａとヘッド８４との間及び受光部８２ｂとヘッド８４との間に配置されており、光源８２ａから出力された光をヘッド８４に向けて出力し、ヘッド８４に入射した光を受光部８２ｂに案内する。

測定装置８０は、ターゲット８に対して測定光を照射しターゲット８で反射した測定光を受光できる状態でターゲット保持冶具１０が測定対象物５０の測定位置に設置される。ここで、本実施形態の測定対象物（シールフィン）５０は、図８に示すように、シール取付環１００の内側に配置されたシールリング１０２に設置されている。シールフィン５０は、シールリング１０２の径方向内側に突出している。また、シールフィン５０は、シールリング１０２に複数設けられている。また、蒸気タービンは、シールリング１０２を複数備えているので、シールリング１０２の数に対応した数のシールフィン５０が配置されている。測定装置８０は、図９に示すようにリング状に配置されたシールフィン５０の円周方向にターゲット８を保持したターゲット保持冶具１０が設置されると共に、シールフィン５０のリング状の中心部にヘッド８４が設置され、当該ヘッド８４に測定装置本体８２が接続される。

測定装置８０は、測定装置本体８２からヘッド８４を介してターゲット８に向けて測定光を出力し、ヘッド８４を介してターゲット８で反射された光を測定装置本体８２で受光し、受光した結果を解析することで、測定対象物５０までの距離を測定することができる。また、ターゲット保持冶具１０をシールフィン５０上において移動させ、シールフィン５０上の複数の位置の測定を行うことで、シールフィン５０の径及び真円度を測定することができる。

また、本実施形態のように測定対象物５０をシールフィンとした場合、多数の位置についての測定が必要となるが、着脱可能なターゲット保持冶具１０を用いて、ターゲット８を測定対象物５０に設置し移動させながら計測を行うことで、少ないターゲット８で計測を行うことができる。また、ターゲット保持冶具１０は、ガイド部２０を設けていることで、装着時に高い精度でターゲット８を測定対象物５０に接触させることができる。さらに、ターゲット保持冶具１０は、検出部３０及び発光部２４によって、ターゲット８が測定対象物５０に接触したことを報知できるため、ユーザによるターゲット８の設置作業を簡単にすることができる。

８ターゲット
８ａ頂部（接触部）
１０ターゲット保持冶具
１４支持部
１４Ａ第一支持部
１４Ａａ開口部
１４Ａｂ切欠き
１４Ｂ第二支持部
１４Ｂａ開口部
１５連結部
１６，１８磁石
１６ａ，１８ａ平坦面
１４Ｃスペーサ
１４Ｄネジ
２０ガイド部
２０Ａ第一ガイド部
２０Ａａガイド面
２０Ａｂ開口穴
２０Ａｃ固定片
２０Ａｄネジ
２０Ｂ第二ガイド部
２０Ｂａガイド面
２０Ｂｂ開口穴
２０Ｂｃ固定片
２０Ｂｄネジ
２１溝
２２電池フォルダ
２４発光部
２６，２８配線
５０シールフィン（測定対象物）
５０ａ端面
５０ｂ側面
８０測定装置
８２測定装置本体
８２ａ光源
８２ｂ受光部
８２ｃ処理部
８４ヘッド
８６光学系
１００シール取付環
１０２シールリング
Ｃ中心

Claims

光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、
前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、
前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、
前記ガイド部に固定され、前記測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備え、
前記ガイド部は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である２つの側面を挟み込む２つのガイド面を有し、各前記ガイド面の間に前記測定対象物の端面に接触する前記ターゲットの接触部が配置され、一方の前記ガイド面が前記支持部に固定された他方の前記ガイド面に対して接近または離隔する移動を可能に設けられ、
前記連結部は、前記ガイド部の各前記ガイド面の間であって前記支持部に固定された他方の前記ガイド面にのみに配置され、
前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の側面に磁気吸着可能であり、
前記ガイド部は、前記磁石が前記測定対象物の側面に磁気吸着した状態で前記磁石の前記平坦面から前記側面の反対側の側面側に前記測定対象物の厚さ以上の空間を有する、
ターゲット保持冶具をなしており、
前記磁石が前記測定対象物の側面に磁気吸着した状態で前記測定対象物の側面に沿って移動可能である、
ことを特徴とするターゲット保持冶具。
前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である１つの側面にのみ沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の前記１つの側面にのみ磁気吸着可能であることを特徴とする請求項１に記載のターゲット保持冶具。
前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、
前記平坦面は、前記測定対象物の端面の短手方向において、前記測定対象物に接触する前記ターゲットの接触部の位置から前記測定対象物の寸法の分、離れていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のターゲット保持冶具。
前記ガイド部は、他方の前記ガイド面が、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿って設けられ、
前記連結部は、前記測定対象物の端面の長辺方向において、前記ターゲットの両側のそれぞれの位置の他方の前記ガイド面に前記磁石が固定されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
前記磁石は、ネオジム系の永久磁石であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、
前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
前記検出部は、前記ターゲット及び前記連結部と接続された電源を有し、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部とが直列で接続され、
前記ターゲット及び前記連結部が前記測定対象物と接触すると、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部と前記測定対象物とが閉じられた回路となることを特徴とする請求項６に記載のターゲット保持冶具。
前記ガイド部は、前記支持部と前記連結部との間に配置され、前記支持部と前記連結部とを絶縁する絶縁部からなることを特徴とする請求項７に記載のターゲット保持冶具。
前記報知部は、発光する発光部であることを特徴とする請求項６から請求項８のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
前記測定対象物は、蒸気タービンにおける円環状のシールフィンであることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具と、
前記ターゲット保持冶具に保持されたターゲットと、
前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析する処理部とを備える測定装置本体と、を有することを特徴とする測定装置。
光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持方法であって、
前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、
前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、
前記ガイド部に固定され、前記測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備え、
前記磁石が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の側面に磁気吸着可能であり、
前記ガイド部は、前記磁石が前記測定対象物の側面に磁気吸着した状態で前記磁石の前記平坦面から前記側面の反対側の側面側に前記測定対象物の厚さ以上の空間を有する、
ことを特徴とするターゲット保持冶具を用い、
前記ガイド部により前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内する案内工程と、
前記ターゲットが前記測定対象物に接触した位置で前記磁石の前記平坦面を前記測定対象物の側面に磁気吸着させて連結させる連結工程と、
前記ターゲット保持冶具を前記測定対象物上において移動させ前記測定対象物上の複数の位置の測定を行う工程と、
を含むことを特徴とするターゲット保持方法。
前記ターゲット保持冶具の前記磁石が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である１つの側面にのみ沿っている平坦面を有しており、
前記連結工程では、前記磁石の前記平坦面を前記測定対象物の１つの側面にのみ磁気吸着させることを特徴とする請求項１２に記載のターゲット保持方法。
前記ターゲット保持冶具の前記ガイド部が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である２つの側面を挟み込む２つのガイド面を有し、各前記ガイド面の間に前記測定対象物の端面に接触する前記ターゲットの接触部が配置され、一方が他方に対して接近または離隔する移動を可能に設けられており、
前記案内工程では、前記測定対象物の寸法に応じて前記ガイド部を移動させてから案内することを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載のターゲット保持方法。
前記ターゲット保持冶具は、前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えており、
前記連結工程では、前記報知部による報知があった場合に連結完了とすることを特徴とする請求項１２から請求項１４のいずれか一項に記載のターゲット保持方法。
前記測定対象物は、蒸気タービンにおける円環状のシールフィンであることを特徴とする請求項１２から請求項１５のいずれか一項に記載のターゲット保持方法。