JP5908147B1 - ターゲット保持冶具及び測定装置並びにターゲット保持方法 - Google Patents
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Abstract
Description
8a 頂部(接触部)
10 ターゲット保持冶具
14 支持部
14A 第一支持部
14Aa 開口部
14Ab 切欠き
14B 第二支持部
14Ba 開口部
15 連結部
16,18 磁石
16a,18a 平坦面
14C スペーサ
14D ネジ
20 ガイド部
20A 第一ガイド部
20Aa ガイド面
20Ab 開口穴
20Ac 固定片
20Ad ネジ
20B 第二ガイド部
20Ba ガイド面
20Bb 開口穴
20Bc 固定片
20Bd ネジ
21 溝
22 電池フォルダ
24 発光部
26,28 配線
50 シールフィン(測定対象物)
50a 端面
50b 側面
80 測定装置
82 測定装置本体
82a 光源
82b 受光部
82c 処理部
84 ヘッド
86 光学系
100 シール取付環
102 シールリング
C 中心
Claims (16)
- 光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具であって、
前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、
前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、
前記ガイド部に固定され、前記測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備え、
前記ガイド部は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である2つの側面を挟み込む2つのガイド面を有し、各前記ガイド面の間に前記測定対象物の端面に接触する前記ターゲットの接触部が配置され、一方の前記ガイド面が前記支持部に固定された他方の前記ガイド面に対して接近または離隔する移動を可能に設けられ、
前記連結部は、前記ガイド部の各前記ガイド面の間であって前記支持部に固定された他方の前記ガイド面にのみに配置され、
前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の側面に磁気吸着可能であり、
前記ガイド部は、前記磁石が前記測定対象物の側面に磁気吸着した状態で前記磁石の前記平坦面から前記側面の反対側の側面側に前記測定対象物の厚さ以上の空間を有する、
ターゲット保持冶具をなしており、
前記磁石が前記測定対象物の側面に磁気吸着した状態で前記測定対象物の側面に沿って移動可能である、
ことを特徴とするターゲット保持冶具。 - 前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である1つの側面にのみ沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の前記1つの側面にのみ磁気吸着可能であることを特徴とする請求項1に記載のターゲット保持冶具。
- 前記磁石は、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、
前記平坦面は、前記測定対象物の端面の短手方向において、前記測定対象物に接触する前記ターゲットの接触部の位置から前記測定対象物の寸法の分、離れていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のターゲット保持冶具。 - 前記ガイド部は、他方の前記ガイド面が、前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿って設けられ、
前記連結部は、前記測定対象物の端面の長辺方向において、前記ターゲットの両側のそれぞれの位置の他方の前記ガイド面に前記磁石が固定されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。 - 前記磁石は、ネオジム系の永久磁石であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
- 前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、
前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。 - 前記検出部は、前記ターゲット及び前記連結部と接続された電源を有し、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部とが直列で接続され、
前記ターゲット及び前記連結部が前記測定対象物と接触すると、前記ターゲットと前記連結部と前記電源と前記報知部と前記測定対象物とが閉じられた回路となることを特徴とする請求項6に記載のターゲット保持冶具。 - 前記ガイド部は、前記支持部と前記連結部との間に配置され、前記支持部と前記連結部とを絶縁する絶縁部からなることを特徴とする請求項7に記載のターゲット保持冶具。
- 前記報知部は、発光する発光部であることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
- 前記測定対象物は、蒸気タービンにおける円環状のシールフィンであることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具。
- 請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のターゲット保持冶具と、
前記ターゲット保持冶具に保持されたターゲットと、
前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析する処理部とを備える測定装置本体と、を有することを特徴とする測定装置。 - 光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと磁石が磁気吸着可能な材料で形成された測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持方法であって、
前記測定対象物と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、
前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内するガイド部と、
前記ガイド部に固定され、前記測定対象物に磁気吸着可能な磁石を有する連結部と、を備え、
前記磁石が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である側面に沿っている平坦面を有し、前記測定対象物の側面に磁気吸着可能であり、
前記ガイド部は、前記磁石が前記測定対象物の側面に磁気吸着した状態で前記磁石の前記平坦面から前記側面の反対側の側面側に前記測定対象物の厚さ以上の空間を有する、
ことを特徴とするターゲット保持冶具を用い、
前記ガイド部により前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を案内する案内工程と、
前記ターゲットが前記測定対象物に接触した位置で前記磁石の前記平坦面を前記測定対象物の側面に磁気吸着させて連結させる連結工程と、
前記ターゲット保持冶具を前記測定対象物上において移動させ前記測定対象物上の複数の位置の測定を行う工程と、
を含むことを特徴とするターゲット保持方法。 - 前記ターゲット保持冶具の前記磁石が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である1つの側面にのみ沿っている平坦面を有しており、
前記連結工程では、前記磁石の前記平坦面を前記測定対象物の1つの側面にのみ磁気吸着させることを特徴とする請求項12に記載のターゲット保持方法。 - 前記ターゲット保持冶具の前記ガイド部が前記測定対象物の端面の延在方向及び端面に直交する方向に延在する面である2つの側面を挟み込む2つのガイド面を有し、各前記ガイド面の間に前記測定対象物の端面に接触する前記ターゲットの接触部が配置され、一方が他方に対して接近または離隔する移動を可能に設けられており、
前記案内工程では、前記測定対象物の寸法に応じて前記ガイド部を移動させてから案内することを特徴とする請求項12または請求項13に記載のターゲット保持方法。 - 前記ターゲット保持冶具は、前記ターゲットと前記測定対象物とが接触していることを検出する検出部と、前記検出部が前記ターゲットと前記測定対象物との接触を検出したことを報知する報知部と、をさらに備えており、
前記連結工程では、前記報知部による報知があった場合に連結完了とすることを特徴とする請求項12から請求項14のいずれか一項に記載のターゲット保持方法。 - 前記測定対象物は、蒸気タービンにおける円環状のシールフィンであることを特徴とする請求項12から請求項15のいずれか一項に記載のターゲット保持方法。
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