JPH04217447A

JPH04217447A - ワーク加工面の寸法精度を決定する方法およびその装置

Info

Publication number: JPH04217447A
Application number: JP3039300A
Authority: JP
Inventors: James R Brock; ジェイムズ　アール　ブロック; Ron Martin; ロン　マーチン; Wilfried Gerk; ビルフリート　ゲルク
Original assignee: Samson AG
Current assignee: Samson AG
Priority date: 1990-02-12
Filing date: 1991-02-08
Publication date: 1992-08-07
Also published as: DE4004237C2; DE4004237A1; US5152166A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワーク加工面の寸法精
度を決定する方法および装置に係り、詳しくは、方法の
発明にあっては、計測ノズルを備えた計測装置を加工面
に対応した操作位置へ配置させる方法であり、その操作
位置で、計測ノズルがワークに対して角度を変えながら
、計測データを計測装置へ出力させことができるように
したものに関する。一方、装置の発明においては、上述
の方法を実施する装置であり、加工面が有する軸芯に沿
いまたはその軸芯周りに移動する計測ノズルとワークと
の間に相対的な直線運動と回転運動とを可能にするため
に、計測ノズルおよびワークの保持手段を設けた装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ワークに形成される孔を高い精度で加工
する場合、パワーフルで比較的高価な既存の工具を用い
て製作される通常の円筒状加工面、例えばエンジン用コ
ンロッドなどにおけるピン孔面は、極めて長い耐用年を
有することが要求される。その加工処理品質が充分であ
れば、耐用期間が長くなるが、そのために、孔加工時に
計測信号を使用して、ワーク加工面を逐一スキャニング
する計測装置を加工処理機に組み込む試みが従来からな
されてきている。その目的のために、計測ユニットには
、工作機械側の保持手段と連結するための円錐状のチャ
ッキング部材が備えられているのが通常である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、手動操作に
よるか産業ロボットのようなマニプレータの作動によっ
て、加工済みワークを別の計測点へ移動させなければな
らない場合と、上記したように、計測装置を加工処理機
に組み込んだ場合とを、その計測品質の点から比較する
と、後者の方法は、処理済み加工面の空間での位置精度
を、相対的に単純な手段で、高い精度でもって同時にモ
ニターできる利点がある。しかし、ワークが回転すると
きには、スキャナーを迅速に離反させる必要がある。こ
れは容易なことではなく、したがって、ワークを静止さ
せて計測するようにしている。これでは、加工面を一箇
所ずつその都度計測しなければならないという欠点があ
る。また、多数のチップを製造する場合は、スキャナー
が接触する前に、加工面を頻繁に清掃しておかなければ
ならない。このような計測形態を採用すると、計測時間
が長くなること、ワーク上の一つの計測点と他の計測点
との間では、計測することができないことなどの問題が
ある。それゆえ、従来では、計測操作を連続する製造プ
ロセスへ組み込むことが不可能であった。

【０００４】本発明の主たる目的は、例えば正円筒形か
らほんの僅かずれているかいないかの本質的に回転対称
形した処理済み加工面の寸法精度を決定する方法や装置
を提供することであり、この方法や装置により、短時間
に高い精度でもって、中間的なステップを伴うことなく
、仕上げられたばかりの加工面を計測でき、その計測操
作を加工プロセスに容易に組み込むことができるように
することである。そして、非接触的に稼働する圧気式計
測ヘッドである少なくとも一つのセンサーによって、ワ
ークをスキャニングできるようにすることである。その
際、計測ヘッドがワークの表面をカバーリングしたパス
を着実に移動することができ、その計測ヘッドのパスが
、計測距離に対応して、予め定めた本質的に一定な距離
だけ、ワークから間隔を保たせることができるようにす
ることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この方法を実施するため
の本発明における装置には、加工面とワークの表面をカ
バーリングして移動する計測ノズルとの間で相対的な運
動をする間、計測信号を発生する少なくとも一つの圧気
式計測ヘッドが備えられている。さらに、この装置は、
計測ヘッドの計測範囲内で、加工面からの距離を維持し
て計測パスを移動するとき、その計測ヘッドを保持する
ためのガイド装置も含んでいる。評価ユニットは、連続
的に発生した計測信号を各計測点に反映させることがで
きるようにしている。以下に特許請求の範囲に則して述
べると、方法の発明は、ワーク加工面の寸法精度を決定
する方法であって、その加工面に対して少なくとも一つ
のセンサーを備える計測装置を配置し、前記センサーが
、ワークに対する角度位置を変えている間に計測装置へ
計測データを出力させる方法に適用される。その特徴と
するところは、図１を参照して、上記したセンサーが非
接触で稼働する圧気式の計測ヘッド１２であり、ワーク
２の加工表面をカバーリングするパスに沿って、計測ヘ
ッド１２を定常的に移動させ、そして、計測距離に対応
して予め決められた本質的に一定な距離だけ計測ヘッド
１２のパスを加工面４，６から隔てさせるようにしたこ
とである。上記の計測ヘッド１２がアウトプット信号を
出力し、そして、そのアウトプット信号は、同一の相対
的運動パターンでもって理論的に正確なワーク面を検出
することにより得られる所望信号と比較されるようにな
っている。前記した計測ヘッドのパスは、図８に示すよ
うに、回転対称面の軸芯からオフセットした円形セグメ
ントパス部Ｉ，ＩＩ，ＩＩＩ，ＩＶとその円形セグメン
トパス部を連結する連結パス部２０２とを多数含んだ構
成としておいてもよい。また、前記した計測ヘッドのパ
スは、図１０に示すように、多数の円形状パス部２１６
，２１８を含むものでもよい。図９に示すように、加工
された平坦面２０６を計測するために、計測ヘッドのパ
スを渦巻き状部分２０８とすることができる。もちろん
、図１に示すように、本質的に円筒状した加工面４，６
の計測のために、計測ヘッド１２のパスを螺旋状ライン
としておいてもよい。図６に示すように、加工面１５０
１　，１５０２　，１５０３　のタイプと品質に応じて
、螺旋状ラインの形状を変化させておくこともできる。図２に示すように、工作機械にチャッキングされている
ワーク５２の加工面５４をスキャニングすることもでき
る。装置の発明は、加工面６が軸芯３４を有し、少なくとも
一つのセンサーを備える計測装置と、加工面６の軸芯３
４に沿ったり軸芯３４の周りまわりに位置する前記セン
サーとワーク２との間の相対直進運動および相対回転運
動を効果的にするために、前記センサーとワーク２を保
持するための保持装置とを有して、加工面６の位置精度
を決定する装置に適用される。その特徴とするところは
、図１を参照して、上記したセンサーが圧気式の計測ヘ
ッド１２であり、その圧気式の計測装置は、定常的な相
対運動が加工面６に対して行われるとき計測信号を発生
する計測ノズル２０と、上記圧気式計測ヘッド１２が計
測範囲を超えることなく加工面６から基本的な距離ＡＭ
　（図８を参照）にある計測パスに沿って移動するよう
に、圧気式計測ヘッド１２を保持するガイド装置と、連
続的に発生された計測信号を各計測点に反映させる評価
ユニット３８とを含んでいる。図４に示すように、保持
装置には、工作機械のワーク８２あるいは工具をチャッ
キングするシステムに連結するためのアダプター１１９
が備えられる。計測ヘッドは、回転対称な内側加工面を
計測するためのものであり、図４に示すように、少なく
とも一つの圧気式計測ノズル８８を有する計測マンドレ
ル８０と、空気を圧気式計測ノズル８８へ伝達するため
のコントロールバルブ９４と圧力調整器９６を含む手段
と、コントロールバルブ９４と圧気式計測ノズル８８と
の間の圧気式計測信号を信号評価ユニット１０６へ送出
する手段とを含む構成としておいてもよい。図４に示す
ように、計測マンドレル８０の圧力信号ライン９２や、
マンドレル８０の軸芯に本質的に平行に延びるマンドレ
ル８０の中の圧気式ライン９０を含む圧力信号ラインを
設けておき、アダプター１１９中の放射状ライン９８と
連なっている圧気式ライン１０４や、保持装置１１０の
一部である信号圧力室９７に連通している放射状ライン
１１８が備えられる構成としておくことができる。図１
に示すように、圧気式計測信号をアナログ電気信号に変
換する手段としてのｐ／ｉ変換器３６と、アナログ電気
信号を記録するための記録装置としての信号評価ユニッ
ト３８とを備えておくとよい。圧気式計測信号を比較器
に供給する手段や、加工面の処理をするアウトプット信
号を発生する手段を含み、または、予め決められた限界
値１５６，１５８（図７参照）を超えると排除信号を発
する比較器を、図４に示す信号評価ユニット１０６に含
ませておくとよい。なお、ワークと計測ノズルとの間の
予め決められた相対的な回転と、ワークと計測ノズル間
における変位の予め決められた相対距離とを組み合わせ
る動きをさせる同調装置が設けられていると都合がよい
。ちなみに、計測ヘッドのためのガイド装置は、ギヤー
ユニットで構成しておくことができる。

【０００６】

【作用及び発明の効果】本発明によれば、計測位置にお
いて、非常に短い時間で製造プロセスを直接モニターす
ることができる。特に、例えば移動ステップ，再チャッ
キングステップおよびクリーニングステップといったよ
うな付加的なマニプレーティングステップを必要とする
ことなく、非接触式に計測する圧気式計測ヘッドによっ
て、加工面が計測される。したがって、中間ステップが
あれば発生するような種々の擬似信号の発生を抑制する
ことができる。圧気式計測ヘッドと計測すべき加工面と
の間に接触がないことから、計測される加工面に回転プ
ロセスによる表面溝などを施すときも、計測ヘッドは、
比較的高速で、計測パスのいかなる方向へも擬似計測信
号に左右されることなく動くことができる。このような
方法によれば、たとえば、円筒状あるいは回転体の対称
的な加工面が、曲りくねったラインあるいは螺旋状ライ
ンに沿った連続的および定常的な動きによって、非常に
速いスピードでスキャニングされる。その結果、製造プ
ロセスは、計測を行う間の極めて短い時間だけ中断され
るにすぎない。この方法は外面を計測する場合のみなら
ず、内面を計測する場合にも、同様に適用することがで
きる。圧気式計測ヘッドの送り速度と角速度が適切に調
整されると、螺旋状計測パス上のスキャニングによって
、計測時間が極めて短くなり、しかも、予め定めた精度
での計測が実現される。計測ヘッドのためのガイド装置
は、計測ヘッドの計測範囲内で、計測ヘッドが定常的な
移動パスを計測面に近接させて追跡できるように機能す
る。計測ヘッドの移動パスは予め定められており、ガイ
ド装置として、ギヤーユニットもしくは他の適当なパス
制御装置などを採用することができる。連続的に送出さ
れる計測信号は、現実の面が所望面からずれていること
に関する情報を絶えず提供する。少し円錐状となってい
る加工面を計測する場合を例にとれば、数理的に正確な
円筒状面からのずれが計測ヘッドの計測範囲を超えない
限り、その面を包含するかもしくは外接する円筒状面上
で計測ヘッドを移動させることができる。スキャニング
は非接触で行われるので、空間における異なった方向の
面を手際よくかつ連続的にスキャニングでき、計測操作
が迅速化される。例えば、孔径を計測した後に計測を中
断することなく、この孔の端面に形成される平坦部のフ
ラットさを計測することができる。本発明による方法に
よると、マガジンのいかなる位置にも計測装置を配置す
ることができ、加工面を処理する工具と実質的に同じ要
領で、計測装置を移動させることもできる。計測装置が
工作機械に高い精度で設置され、円形，頂点から底辺ま
で高さ，真円度などの品質に関して、その加工面自体を
計測することができる。それのみならず、ワークの基準
点に対する相対的な位置精度に関して、加工面をモニタ
ーすることができる。工作機械に正確な位置づけを可能
にする連結部材を備える計測装置を装備することで、計
測装置の位置精度が得られる。この場合、本発明による
計測装置は、工作機械の保持手段としてのアダプターを
備えることになり、計測装置を工具の場合と同じ方法で
、元の位置へ戻したり移動させたりすることができる。圧気式計測ヘッドの数あるいは計測ノズルの数を変えれ
ば、計測手順のペースを落とさないで計測信号値を増す
ことができる。例えば二つの計測ノズルを使用する場合
は、１８０度異なる位置での計測信号を比較すれば、加
工面の基準軸からのずれを容易に推定できる。本発明に
よる方法は、加工面の光学的，電気的な特性とは関係な
く稼働させることができる利点がある。このような方法
と計測装置は、ワークの特性とはかかわりなく使用する
ことができる。この計測方法とそれを実施する計測装置
を実現するために、圧気式の計測信号が電気信号に変換
され、この信号がさらに処理されるようになっている。このようにして、簡単な手段で先の計測における計測信
号を蓄積したり、現実の計測信号を蓄積信号と比較する
ことができる。また、製造プロセスを絶えず修正し、限
界信号値を超えた場合には、ワークを排除するための拒
絶信号を送ることもできる。圧気式計測信号の電流信号
への変換は計測ペースを落とすことなく実行され、また
、計測結果を記録することができる。本発明による装置
は簡単に組み立てられ、ガイド装置のみが、操作上高い
精度を要求されるだけである。計測パスが螺旋状曲線で
形成される場合は、円筒面に対処させる際、送りと回転
とを発生させる駆動装置を、同調装置として機能させる
ことができる利点がある。さらには、工作機械の工具ロ
ーターの中などでマガジンを構成させれば、それによっ
て、加工面を評価するに要する時間がより一層短縮され
る。工具ローターを使用する場合は、計測装置を操作位
置へ移動させるだけでよいことになる。圧気式の計測ヘ
ッドは、計測ヘッドが連続して計測信号を送出している
間、加工面に対して、例えば曲がりくねったり螺旋状ラ
インのような計測パスに沿って移動される。評価ユニッ
トは各計測位置に計測値を反映させ、計測ヘッドが引き
込まれた後に計測が終了される。都合のよいことに、計
測装置のリターン行程も計測に使用される。その場合、
計測ヘッドと加工面との間で約１８０度の予め決められ
た転回がなされる。本発明による方法は、加工面の幾何
学的形状を限定するものではない。したがって、円筒面
，円錐面，平坦面などの異なった種類の面が互いに続い
て配置されている加工面をスキャニングすることができ
る。この場合は、計測ヘッドを計測曲線の所望値によっ
て決定されたパス上をガイドさせたり、計測ヘッドをワ
ークから計測距離だけ離しておいたりすることを、ガイ
ド装置の制御としてプログラムしておけばよい。本発明
による方法と装置は、外面の計測と内面の計測を、費用
的には同程度でもって使用することができる。圧気式計
測ヘッドと加工面との間の相対的な回転運動と直進運動
を、異なった方法で生じさせることもできる。圧気式計
測ヘッドとワークとの間の相対的な回転運動が、ワーク
の回転のみによって得られる場合には、信号用加圧ライ
ンを介した信号伝達のために回転式インターフェースを
必要としないことから、計測装置は技術的により一層シ
ンプルな構造となる。

【０００７】

【実施例】

図１において、２はワークであり、そのワーク２には、
予め決められた座標Ｘ１，Ｙ１、座標Ｘ２，Ｙ２の位置
に、二つの孔４，６が加工される。その加工品質の基準
対象は、例えば孔の直径寸法，底部から頂部までの相対
高さ寸法Ｒｔ，ワーク２の入口側８と出口側１０の面に
おける軸芯の正確度や、孔の真円度などである。ところ
で、ワーク加工面の寸法精度を決定するために、その加
工面に対して少なくとも一つのセンサーを備えて、その
センサーがワークに対する角度位置を変えている間に計
測装置へ計測データを出力させる必要があるが、そのた
めに、センサーとして、本発明においては、非接触で稼
働する圧気式の計測ヘッド１２が採用される。その圧気
式の計測ヘッド１２は可能な限り簡素かつ安価な装置で
あり、加工面４，６の寸法的な精度基準を迅速にモニタ
ーするために採用される。上記の加工面４，６は、孔加
工作業と連続的して、あるいは、ワークが仕上がった後
にモニターされる。上記の圧気式計測ヘッド１２は、図
示のように、円柱状のホルダー１４に支持され、そのホ
ルダー１４は、図１では詳しく示されていないが、工作
機械または工具マガジンのいずれかに配置されている適
当な切削機構と交互に動作する連結部材１６に取り付け
られている。

【０００８】圧気式計測ヘッド１２は、その半径方向外
方の計測面１８に計測ノズル２０を有している。その計
測ノズル２０へは、矢印Ａで示すように、供給通路２６
，中心軸通路２４，半径通路２２を通して、圧縮空気が
供給される。その供給通路２６には、圧力ｐが３バール
以下に調節され、好ましくはオイル分のない圧縮空気を
供給するコントロールバルブ２８が介在されている。そして、計測信号を信号評価ユニット３８へ伝達するた
めの計測圧力ライン３０が、コントロールバルブ２８の
下流の中心軸通路２４から分岐して設けられている。

【０００９】圧気式ゲージとしてこのように構成された
計測装置は、反射板が加工面によって形成されていると
みなすノズル反射板システムの原理にしたがって作動す
る。この原理は少なくとも一つの計測ノズル２０を必要
とするが、計測ノズルにおける空気の流通量は、ワーク
および一定断面を備えるコントロールバルブ２８によっ
て規定される。コントロールバルブ２８へは一定の送気
圧力が供給されるが、計測ノズル２０とコントロールバ
ルブ２８との表面積比に関連して、ワーク２の加工面と
それに近接して配置された計測ノズルとの間にギャップ
が生じることによって、その送気圧力が増大する。すな
わち、計測ノズル２０は、円筒面や円錐面をした計測面
１８から外方へ延ばされており、計測すべき加工面４，
６に対して微細な計測ギャップの残る部分へ設置される
。その圧気式計測ヘッド１２は、それ自体が回転される
とき、半径方向への位置調整ができるように、ホルダー
１４に装着されている。したがって、異なった直径のワ
ーク内面の計測も可能となる。この調整は、図示しない
機構によって矢印Ｅで示す左右方向へ変位させることに
より可能となる。

【００１０】計測ノズル２０と加工面４，６間の計測ギ
ャップは、計測ノズル２０を通過する空気流量を決定す
るが、これによって、計測圧力ライン３０における計測
信号圧力ＰＭＳが影響を受けて変化することになる。例
えば、ホルダー１４の軸芯３２を計測すべき加工面６，
４の有する所望軸芯３４に一致させるように置くと、計
測ノズル２０とコントロールバルブ２８間に生じる動圧
によって、孔６，４の直径Ｄを計測することができる。なお、圧気式計測ヘッドの位置は、例えば研摩または切
削された調整リングを使用して予めキャリブレートされ
るが、孔のワークに対する位置精度については、その位
置ずれ量の絶対値が上記した計測信号圧力に反映される
ことになる。

【００１１】加工面６，４の計測は、次のようにして行
われる。まず、圧気式計測マンドレルの軸芯３２が、計
測すべき加工面６の軸芯３４に一致して配置される。そ
のときの計測ノズル２０の計測面１８からの突出量は、
最適な計測ギャップが生じるように、加工面６の所望径
Ｄに調整される。加工面６の寸法精度を、短時間でしか
も十分な精度でもって計測するために、圧気式計測ヘッ
ド１２は、ワーク２に対して予め決められた角速度ωで
回転され、同時に速度Ｖの送りがかけられる。その結果
、計測ノズル２０は、ワーク２の内面６に対して一点鎖
線で示す螺旋状のラインを描いて移動する。すなわち、
ワークの表面積をカバーリングするパスに沿って計測ヘ
ッドが定常的に移動され、そして、計測距離に対応して
予め決められた本質的に一定な距離だけ計測ヘッドのパ
スを加工面から隔てさせている。上記のようにして、本
計測位置においては、非常に短い時間で製造プロセスを
直接モニターすることができる。特に、例えば移動ステ
ップ，再チャッキングステップおよびクリーニングステ
ップといったような付加的なマニプレーティングステッ
プが不要となり、非接触式で計測する圧気式計測ヘッド
によって、加工面が計測される。したがって、中間ステ
ップがあれば発生するような種々の擬似信号の発生が防
止される。圧気式計測ヘッドの送り速度と角速度が適切
に調整されると、螺旋状計測パス上のスキャニングによ
って、計測時間が極めて短くなり、しかも、予め定めた
精度での計測が実現されることになる。螺旋を描いて移
動する間に、計測信号が計測圧力ライン３０を通って連
続的に検出され、その計測信号圧力は、圧力信号を電気
的アナログ信号へ変換するｐ／ｉ変換器３６へ送出され
る。この電気信号は、例えばオシログラフやリミットコ
ンタクトを用いた信号処理手段である信号評価ユニット
３８へ入力される。このデータは、その後のワークの仕
上処理や加工処理に反映される。この信号評価ユニット
３８ではその電気信号が記録され、以後の計測記録のた
めの準備をするようにもなっている。このような評価ユ
ニット３８によれば、連続的に発生された計測信号を、
各計測点に反映させることができる。すなわち、計測ヘ
ッドがアウトプット信号を出力するので、このアウトプ
ット信号が、同一の相対的運動パターンでもって理論的
に正確なワーク面を検出することにより得られる所望信
号と比較され、ワークの仕上げ処理や加工処理に反映さ
れる。

【００１２】計測の品質精度を加工面の所望する寸法に
適合したものとするために、相対角速度ωと相対直進速
度Ｖを変えることにより、螺旋状ラインの形を適当に調
整することができる。そのうえ、圧気式計測ヘッド１２
の採用数もしくは計測ノズル２０の数を変えれば、計測
品質をさらに変更することもできる。ちなみに、圧気式
計測ヘッド１２を戻す行程の間に、計測を繰り返して行
うことができる。すなわち、計測ヘッド１２が螺旋状ラ
インの端部４０に到達したとき、直進運動させることな
くその位置で１８０度転回させれば、引き続き反対方向
へ予め調整された角速度ωや直進速度Ｖで、計測するこ
とができる。

【００１３】上記した形式の装置を用いると、円筒状加
工面を＋２μｍから−２μｍの精度で再現性ある計測が
実現されることを、本発明者らは確認している。これは
、同時に、位置ずれ量を、許容範囲におさめた品質にす
ることができるということをも意味している。特筆すべ
き点としては、計測点でセルフクリーニング効力がある
ということや、非接触式計測であるがために、外的振動
の影響が少ないということを挙げることができる。した
がって、本発明に基づく計測方法を、一般的には容易で
ない加工作業中に適用することもできる。このように、
圧気式計測ヘッドと計測すべき加工面との間に接触がな
いことから、計測される加工面に回転プロセスによる表
面溝などを施すときも、計測ヘッドは、比較的高速で、
計測パスのいかなる方向へも擬似計測信号に左右される
ことなく動くことができる。このような方法によれば、
例えば、円筒状あるいは回転体の対称的な加工面が、曲
りくねったラインあるいは螺旋状ラインに沿った連続的
および定常的な動きによって、非常に速いスピードでス
キャニングされる。その結果、製造プロセスは、計測を
行う間の極めて短い時間だけ中断されるにすぎなくなる
。この方法は外面を計測する場合のみならず、内面を計
測する場合にも、同様に適用することができる。

【００１４】もちろん、この計測方法を実施するために
、圧気式計測ヘッドのみを、加工面と圧気式計測ヘッド
間の螺旋状ラインに沿って、相対的に移動させなければ
ならないというものではない。図２は、回転運動が少な
くともワーク側で与えられる場合の実施例である。この
例では、５０が、ワーク５２の孔５４を計測するために
用いられるノズルマンドレルである。そのノズルマンド
レル５０は、圧気ライン６０ａ，６０ｂとを通して供給
される二つの圧気式計測ノズル５６，５８を有している
。図３から分かるように、ライン６０ａ，６０ｂは、両
孔間に設けられたウエブ６１で仕切られた孔によって形
成されている。圧気ライン６０ａ，６０ｂに供給される
送気圧力は、圧力調整器６２ａ，６２ｂによって、それ
ぞれ発生されることになる。コントロールバルブ６４ａ
，６４ｂは、それぞれのライン６０ａ，６０ｂ内に配置
されているが、それらのコントロールバルブ６４ａ，６
４ｂは、例えば通路のあるブロックのようなもので形成
されており、一定の通路断面を備えている。なお、この
ような孔つきブロックは、例えば、時計製造工業で使用
されており、既に公知のものである。

【００１５】放射状の計測圧力ライン６６，６７はコン
トロールバルブ６４ａ，６４ｂの下流のライン６０ａ，
６０ｂから分岐して設けられている。ライン６６，６７
は、連結部材７０の中に画成された環状室６８ａ，６８
ｂにそれぞれ連通し、その両室間に環状ロープシール７
１を備えたウエブ部材６９が設けられている。環状室６
８ａ，６８ｂ内の圧力は、信号圧力ライン７２，７３を
通って信号評価ユニット７４へ伝達されるようになって
いる。信号評価ユニット７４における機能は、図１の例
の場合と同様である。なお、前後二つのシーリング部材
７６，７６は、環状室６８ａ，６８ｂを大気から遮断し
た状態とするために設けられている。

【００１６】図２の実施例のノズルマンドレル５０は、
図１の例とは反対に、回転しない構成となっている。こ
の場合、ワーク５２と計測ノズル５６，５８間の相対的
回転運動は、ワーク５２を矢印ωＷＳ方向へ駆動するこ
とによって行われる。相対的な直進運動ＶＷＳは、ノズ
ルマンドレル５０の真直ぐな駆動あるいはワーク５２の
真直ぐな駆動のどちらかによって発生される。このよう
に、圧気式計測ヘッドとワークとの間の相対的な回転運
動が、ワークの回転のみによって得られる場合には、計
測装置は技術的によりシンプルなものとなる。というの
は、信号用加圧ラインを介した信号伝達に、回転式イン
ターフェースを必要としなくなるからである。

【００１７】図２に示す例では、二つの計測点５６，５
８を用いて、互いに独立して同時に計測することができ
、計測速度がますます大きくなる。この実施例のノズル
マンドレル５０は、工作機械である旋盤の軸芯に沿って
直進させられるようになっており、旋盤にチャッキング
された状態で、旋盤に取り付けられた加工物を計測する
ことができ、極めて都合がよい。例えばノズルマンドレ
ル５０は工作機械の工具ローターに装着されることにな
り、その中で、連結部材７０は、フレキシブルな圧力ラ
イン７２，７３を介して、信号評価ユニット７４と連結
される。計測システムもまた、フレキシブルな空気ライ
ン７８ａ，７８ｂを介して、圧縮空気が供給されるよう
になっている。

【００１８】図４は計測装置の別の実施例であり、計測
ヘッドとワークとの相対運動が、圧気式計測ヘッドの移
動によって達成されるものである。この例では、ワーク
８２の孔８４を計測するために、一つの圧気式計測ノズ
ル８８を備えたノズルマンドレル８０が採用されている
。９０は、本質的に軸芯と平行で中央に位置する圧気ラ
インであり、９２は、圧力調整器９６から中央の圧気ラ
イン９０へ空気を送るために、中央に位置する圧気ライ
ン９０から分岐したタップラインである。ノズル断面積
と計測圧力との間にほぼリニアーな関係が維持される範
囲で計測圧力を調節するため、固定値式のコントロール
バルブ９４が上記の圧気ライン９０に介在されている。計測圧力ライン９８は連結部材１００の中の環状室１０
２に連なっており、信号圧力通路１０４は環状室１０２
からさらに半径方向外方へ延ばされて圧力ホース（図示
せず）と連結され、計測圧力ＰＭＳが信号評価ユニット
１０６へ送出されるようになっている。その連結部材１
００は回転することがなく、ノズルマンドレル８０と共
に直進運動するだけである。なお、シーリング部材１０
８により、環状室１０２は大気と遮断されている。

【００１９】上記に類似した構造は、空気が供給される
領域に設けられる。タップライン９２は、例えば鋭角テ
ーパ面を有する工具保持手段１１０に画成された環状凹
所９７に連通されている。ライン部１１２は、その環状
凹所９７から半径方向外方へ延ばされ、連結部材１００
中の他の環状室１１４に連なっている。その環状室１１
４もまたシーリング部材１１６により大気から遮断され
た構造となっている。なお、供給通路１１８は、圧力調
整器９６から計測ヘッドへ空気を供給するためのもので
ある。すなわち、計測マンドレル８０の圧力信号ライン
９２や、マンドレル８０の軸芯に本質的に平行に延びる
マンドレル８０の中の圧気式ライン９０を含む圧力信号
ラインが設けられ、次に述べるアダプター１１９中の放
射状ライン９８と連なっている圧気式ライン１０４や、
保持装置１１０の一部である信号圧力室９７に連通して
いる放射状ライン１１８が備えられているのである。

【００２０】図４に示した例では、ノズルマンドレル８
０が、計測ノズル８８とは反対に位置する箇所で、ワー
クチャッキングシステムまたは工具チャッキングシステ
ムと連結するためのアダプター１１９を備えるという特
殊な形態となっている。切削システムは図４に詳しく示
されていないが、アダプター１１９を設置することによ
って、ノズルマンドレル８０を自動的に交換することが
できる。このために、差込み溝１２０が設けられており
、マガジンに対して進退するマニプレーティング装置が
ノズルマンドレル８０を移動させるとき掴むことができ
るようになっている。工具保持手段１１０は、例えば、
加工処理センターの星形ローターの被動軸の凹所に取り
付けられ、進行するローターの運動によって仕上げ加工
された孔８４に計測ヘッドを配置することにより、計測
が行われ、極めて短い時間で終了される。なお、ロータ
ーのキャリアーは矢印ＶＭＶで示すように真直ぐ移動さ
れ、その間に、駆動軸や工具保持手段１１０は角速度ω
ＭＶで駆動される。上記から分かるように、計測装置を
マガジンのいかなる位置に配置することもでき、また、
加工面を処理する工具と実質的に同じ要領で、計測装置
を移動させることができる。

【００２１】図５は、コンロッドの形態をしたワーク１
３２のためのチャッキング装置１３０の上面図であって
、本発明の計測原理を示している。コンロッド１３２に
形成される二つの孔１３４，１３６は、両者の相対的な
位置関係と符号１３８で示された基準端面からの位置が
、予め定められた寸法となるように加工される。上記し
た計測装置は孔１３４，１３６の寸法精度を決定するの
に、特に好適なものである。というのは、孔が例えば精
密ドリルやリーマーで仕上げられた後、チャッキング装
置１３０を支持するテーブル１４０を、そのまま作業位
置に残しておくことができるからである。すなわち、ア
ダプターを介して、加工工具の代わりに圧気式の計測ヘ
ッド１４２を工具キャリアーに連結すれば、所望の計測
を行うことができる。結果的には、軸芯１４４が孔１３
４の所望軸芯と一致されることになり、圧気式の計測ヘ
ッド１４２を図５の紙面に対して垂直に延びる方向へ移
動させ、同時に角速度ωで回転させれば、孔１３４の真
円度や直径精度が評価される。それのみならず、孔用セ
ンサーとしての計測ノズルの位置精度をも検査すること
ができる。他の孔１３６を計測するとき、圧気式計測ヘ
ッド１４２が、孔１３４から外へ移動される。その後に
、計測ノズルを他の孔１３６の中心１４６に接近させる
べく、テーブル１４０が、座標Ｘ，Ｙ方向への適切なプ
ログラムコントロールにより移動される。その孔の計測
においては、それに相応しい小さい圧気式計測ヘッドが
使用され、孔１３６の計測がなされる。

【００２２】本発明による方法によれば、孔の直径が孔
の全長にわたって変化するような場合でも、単一の計測
行程で孔を計測することができる。このタイプの適用例
を、図６を参照して以下に説明する。なお、この例では
、次に述べる加工面１５０１　，１５０２　，１５０３
　のタイプと品質に応じて、螺旋状ラインの形状を変化
させている。

【００２３】孔１５０には、三つの孔部１５０１　，１
５０２　，１５０３　がある。その孔部はそれぞれ異な
った公称半径を有していたり、それぞれ異なる許容誤差
とされているものでも差し支えない。図６の上部に実線
で図示されている所望の信号１５２が、孔１５０に適用
される。上記したことから、所望信号１５２の値は、孔
部間の変移点で段違い的となっている。下方の図の一点
鎖線は、圧気式計測ヘッドと孔１５０の内面との間の相
対的な運動曲線を示している。孔部１５０１　では、相
対角速度はω１　であり、相対的送り速度はＶ１　であ
る。二番目と三番目の孔部では、異なった相対速度ω２
　，ω３　と送り速度Ｖ２　，Ｖ３　とすることもでき
る。したがって、孔部によっては、その孔の品質に応じ
て、それぞれの速度を遅くするようにしてもよい。

【００２４】距離ｓを超えない範囲で孔部を移動する間
に得られた計測信号が、破線で示されている。孔部１５
０１　での角速度ω１　と直進速度Ｖ１　との間には、
ある種の相互関係が存在するので、計測信号ｉ／ｐは相
対的な回転角φに対応して、すなわち、φ０　からφＳ
　について記録されている。信号評価ユニットにはコン
ピューターが内蔵されており、所望する信号１５２から
の誤差が、孔軸芯の所望値からの位置的ずれに原因する
か、孔が真円でないことだけによるのかを、計測信号の
パターンから結論づけることができる。すなわち、孔の
いかなる半径部分に対しても、図７に示すような記録を
得ることができる。ちなみに、図７では、孔の内面１５
４を拡大し、それを誇張して示している。破線で描かれ
た同心円１５６，１５８は、先に与えられているデータ
から信号評価ユニット自体が決定した許容限界円である
。したがって、実際の曲線１５４が許容限界円１５６ま
たは１５８と交差するときには、その孔寸法が適当でな
いとして信号評価ユニットが信号を発し、そのワークを
自動的に排除させることができる。すなわち、圧気式計
測信号を上記したコンピューターに組み込まれた比較器
に供給する手段と、加工面の処理をするアウトプット信
号を発生する手段とが設けられており、比較器において
、予め決められた限界値１５６，１５８を超えているこ
とが判定されると、上記した排除信号が発せられるので
ある。

【００２５】上記した信号評価ユニットが製造プロセス
に組み込まれるので、現実の曲線のずれをもとにして工
作機械側へ調整信号を出力し、孔加工を修正させること
もできる。

【００２６】数個の圧気式計測ヘッドあるいは同時にま
たは連続的に計測すべき加工面上を移動する数個の計測
ノズルを採用すれば、計測機能をより一層あげることが
できる。なお、計測装置自体やや複雑となることは否め
ないが、信号評価ユニットをプログラミングするのに要
する手間が軽減される。ちなみに、上記したごとく、圧
気式計測ヘッドの数あるいは計測ノズルの数を変えれば
、計測手順のペースを落とさないで計測信号値を増すこ
とができるが、例えば二つの計測ノズルを使用する場合
は、１８０度異なる位置での計測信号を比較して、加工
面の基準軸からのずれを容易に推定することができる。また、本方法は、加工面の光学的，電気的な特性とは関
係なく稼働させることができる利点があり、したがって
、このような方法と計測装置は、ワークの特性とはかか
わりなく使用することができる。

【００２７】本発明による方法を、計測ヘッドの移動す
るパスが螺旋状となる例を参考にして述べてきた。図８
から図１０は、計測操作を製造シーケンスに組み込むこ
とができる他の計測パスの例を示している。

【００２８】図８では、計測ヘッドが軸芯からオフセッ
トした円形パスＩ，ＩＩ，ＩＩＩ，ＩＶを連続的に移動
し、その間の計測距離ＡＭ　を変化させることなく、軸
芯方向を連結するパス２０２に沿いながら、円錐状加工
面が計測されるようになっている。すなわち、計測ヘッ
ドのパスは、回転対称面の軸芯からオフセットした円形
セグメントパス部Ｉ，ＩＩ，ＩＩＩ，ＩＶとその円形セ
グメントパス部を連結する連結パス部２０２とを多数含
んだ構成とされている。

【００２９】その場合、その計測ヘッドが移動する間に
生じる加工面と計測ヘッドとの間の距離あるいは加工面
と計測ノズルとの間の距離の変化が、計測ヘッドの計測
範囲を超えないように、上記した計測距離ＡＭ　すなわ
ち、計測ヘッドが移動するパス面が、計測すべき面に対
して決定される。連続的に送出される計測信号は、現実
の面が所望面からずれていることに関する情報を絶えず
提供しているが、図８に示したように、少し円錐状とな
っている加工面を計測する場合を例にとれば、数理的に
正確な円筒状面からのずれが計測ヘッドの計測範囲を超
えない限り、その面を包含するかもしくは外接する円筒
状面上で計測ヘッドを移動させることができる。

【００３０】図９には、円筒状内面２０４を計測した後
に端面２０６を計測する例が示されている。その計測を
するために、計測ノズルや計測ヘッドは、孔２１０から
離反した後に渦巻き状パス２０８上を外方に向けて移動
される。この場合のガイド装置も図示されていないが、
そのガイド装置は、加工面と計測ヘッド間の距離を予め
決められた一定の基本的な距離に維持するように作動す
る。そして、計測ヘッドは、計測すべき面に対して垂直
となるように配置される。これとは異なり、ある角度に
広がったり接近したりするのを交互に行う二つの計測ノ
ズルまたは二つの計測ヘッドを使用して、計測させるこ
とも考えられる。上記したように、加工された平坦面２
０６を計測するために、計測ヘッドのパスが渦巻き状部
分２０８となっていれば、差し当たっては、その目的を
達成させることができる。計測ヘッドのための上記した
ガイド装置は、計測ヘッドの計測範囲内で、計測ヘッド
が定常的な移動パスを計測面に近接させて追跡するよう
に作動させていることが理解できるであろう。なお、ス
キャニングは非接触で行われるので、空間における異な
った方向の面をも手際よくかつ連続的にスキャニングす
ることができ、計測操作が迅速化される。例えば、孔径
を計測した後に計測を中断することなく、この孔の端面
のフラットさを計測できるのである。ちなみに、計測ヘ
ッドのための前述したガイド装置は、公知のギヤーユニ
ットもしくは他の適当なパス制御装置などで構成してお
けばよい。

【００３１】図１０は、円筒状外面を計測するために、
本発明の方法を適用した例を示している。外面２１２を
とり囲んで計測ヘッドが定常的に移動する計測パス面２
１４は、一点鎖線で示されている。加工面２１２には、
連続的に計測される異なる面質の二つの部分２１２１　
，２１２２　があると仮定する。

【００３２】計測ヘッドが移動するパスを示した一辺が
πＤの展開図にあるように、可能なかぎり長い計測ライ
ンを得ることができるようにするため、加工面上を曲が
りくねるようにして計測ヘッドが移動される。なお、円
形セグメントパス部２１６と円形セグメントパス部２１
８とは、軸方向のパス部２２０を介して接続されている
。面質を考慮している結果、部分２１２１　でのパスは
、部分２１２２　におけるよりも長くされている。すな
わち、この例では、計測ヘッドのパスが、多数の円形状
パス部２１６，２１８を含む恰好となっている。

【００３３】上記した部分２１２１　の計測パスは途切
れることなく連続していて、部分２１２２　における計
測パスに比べて、単位表面積あたりのパスが長くなるよ
うに配慮されている。

【００３４】これまでに論じたり図示したりした実施例
に加えて、計測ヘッドはいかなる回転対称面をも計測す
ることができる。この場合、工具が先にコントロールさ
れたのと同じ要領で、計測ヘッドが制御されることにな
る。

【００３５】もちろん、上記の方法は、ワークのいかな
る外面の寸法精度を評価するためにも使用することがで
きる。その際、計測ヘッドのガイド装置が、加工面と計
測ノズルとの間の予め決められた基本的な距離を維持す
る機能を備えている必要がある。

【００３６】例えば内燃機関用ピストンのクロスヘッド
ボアーの場合のように、円の半径方向に僅かなずれのあ
る円筒状加工面を計測する場合に、本発明による方法が
適しているということが確認されている。また、予め決
められている数理的関係をもとに、加工面の寸法精度が
正確な円筒形から理論的にずれているのか、数理的にず
れているのかを評価することができる。

【００３７】以上の説明から分かるように、本発明は、
計測ノズルが、計測ノズルとワーク間の予め決められた
相対運動パターンにしたがってワーク面を検出する例え
ば本質的に円筒状した加工面の位置や形状の精度を決定
する方法や装置を提供することができる。この計測法の
ステップを生産プロセスに簡単に組み込むために、計測
センサーとしては、ワークの表面をカバーリングする連
続したパスに沿って加工面上を移動する圧気式計測ヘッ
ドが採用される。その計測ヘッドは加工面から一定の基
本的または計測上必要な距離を保つ一方、計測ヘッドが
加工面上を移動するとき、計測ヘッドの計測範囲を超え
ないように配慮される。計測ノズルは連続的に計測信号
を出力することができるので、計測操作を製造シーケン
スに直接組み込むこともできる。そして、ワークと計測
ノズルとの間の予め決められた相対的な回転と、ワーク
と計測ノズル間における変位の予め決められた相対距離
とを組み合わせるための同調装置が実質的に含まれてい
る。というのは、計測パスが螺旋状曲線で形成される場
合には、円筒面に対処するときの送りと回転とを発生す
る駆動装置が、同調装置として機能しているからである
。

【００３８】いくつかの実施例に、本発明の思想を適用
して詳細に述べてきたが、そのような思想から逸脱しな
い範囲で、本発明を他にも具体化できることが理解され
るであろう。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明による装置の第一実施例で、計測装
置と計測すべきワークの加工面との間の位置的関係を示
す略式透視図。

【図２】　　計測装置の他の実施例の略式断面図。

【図３】　　図２のＩＩＡ部分における拡大図。

【図４】　　計測装置の第三実施例の略式断面図。

【図５】　　図１に示した圧気式計測ヘッドと計測すべ
き加工面との間の位置的な関係を図解したワークチャッ
キング装置の上面図。

【図６】　　計測信号と加工面の相互関係を示す図表。

【図７】　　本発明による計測装置で得られる計測記録
図。

【図８】　　円錐状加工面をスキャニングする計測ヘッ
ドの移動パスを示す透視図。

【図９】　　端面をスキャニングする計測ヘッドの移動
パスを示す透視図。

【図１０】　　円筒状の外面をスキャニングする計測ヘ
ッドの移動パスを示す透視図。

【符号の説明】

２…ワーク、４，６…孔（加工面）、１２…圧気式の計
測ヘッド、２０…計測ノズル、２８…コントロールバル
ブ、３０…計測圧力ライン、３４…軸芯、３６…ｐ／ｉ
変換器、３８…信号評価ユニット（評価ユニット）、５
０…ノズルマンドレル、５２…ワーク、５４…孔、５６
，５８…圧気式計測ノズル、６０ａ，６０ｂ…圧気ライ
ン、６２ａ，６２ｂ…圧力調整器、６４ａ，６４ｂ…コ
ントロールバルブ、６６，６７…計測圧力ライン、７２
，７３…信号圧力ライン、７４…信号評価ユニット、８
０…ノズルマンドレル（計測マンドレル）、８２…ワー
ク、８４…孔、８８…圧気式計測ノズル、９０…圧気ラ
イン、９２…タップライン（圧力信号ライン）、９４…
コントロールバルブ、９６…圧力調整器、９７…環状凹
所（信号圧力室）、９８…計測圧力ライン（放射状ライ
ン）、１０４…信号圧力通路、１０６…信号評価ユニッ
ト、１１０…工具保持手段（保持装置）、１１８…供給
通路（放射状ライン）、１１９…アダプター、１３０…
チャッキング装置、１３４，１３６…孔、１４２…圧気
式計測ヘッド、１５０，１５０１　，１５０２　，１５
０３　…孔（孔部，加工面）、１５４…孔の内面、１５
６，１５８…同心円（限界値）、２０２…パス（連結パ
ス部）、２０４…円筒状内面、２０６…端面（平坦面）
、２０８…渦巻き状パス（渦巻き状部分）、２１０…計
測ヘッド、２１２，２１２１　，２１２２…外面（加工
面）、２１４…計測パス面、２１６，２１８…円形セグ
メントパス部（円形状パス部）、２２０…パス部分、Ｐ
ＭＳ…計測信号圧力、ω，ω１　，ω２　，ω３　，ω
ＭＶ，ωＷＳ…角速度、Ｖ，ＶＭＶ，ＶＷＳ，Ｖ１　，
Ｖ２　，Ｖ３　…相対的直進速度、ｉ／ｐ…計測信号、
φ…相対的回転角、Ｉ，ＩＩ，ＩＩＩ，ＩＶ…円形ルー
ト（円形セグメントパス部）、ＡＭ　…計測距離（基本
的な距離）。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　ワーク加工面の寸法精度を決定する方
法であって、その加工面に対して少なくとも一つのセン
サーを備える計測装置を配置し、前記センサーが、ワー
クに対する角度位置を変えている間に計測装置へ計測デ
ータを出力させる方法において上記センサーは非接触で
稼働する圧気式の計測ヘッドであり、ワークの加工表面
をカバーリングするパスに沿って、計測ヘッドを定常的
に移動させ、そして、計測距離に対応して予め決められ
た本質的に一定な距離だけ計測ヘッドのパスを加工面か
ら隔てさせるようにしたことを特徴とするワーク加工面
の寸法精度を決定する方法。
【請求項２】　　前記計測ヘッドがアウトプット信号を
出力し、そのアウトプット信号が、同一の相対的運動パ
ターンでもって理論的に正確なワーク面を検出すること
により得られる所望信号と比較されることを特徴とする
請求項１に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する方
法。
【請求項３】　　前記した計測ヘッドのパスは、回転対
称面の軸芯からオフセットした円形セグメントパス部と
その円形セグメントパス部を連結する連結パス部とを多
数含むことを特徴とする請求項１に記載のワーク加工面
の寸法精度を決定する方法。
【請求項４】　　前記した計測ヘッドのパスは、多数の
円形状パス部を含むことを特徴とする請求項１に記載の
ワーク加工面の寸法精度を決定する方法。
【請求項５】　　加工された平坦面を計測するために、
計測ヘッドのパスが渦巻き状部分を有することを特徴と
する請求項１に記載のワーク加工面の寸法精度を決定す
る方法。
【請求項６】　　本質的に円筒状した加工面の計測のた
めに、計測ヘッドのパスが螺旋状ラインとなっているこ
とを特徴とする請求項１に記載のワーク加工面の寸法精
度を決定する方法。
【請求項７】　　加工面のタイプと品質に応じて、螺旋
状ラインの形状を変化させておくことを特徴とする請求
項６に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する方法。
【請求項８】　　工作機械にチャッキングされているワ
ークの加工面をスキャニングすることを特徴とする請求
項１に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する方法。
【請求項９】　　加工面は軸芯を有し、少なくとも一つ
のセンサーを備える計測装置と、加工面の軸芯に沿った
り軸芯周りまわりに位置する前記センサーとワークとの
間の相対直進運動および相対回転運動を効果的にするた
めに、前記センサーとワークを保持するための保持装置
と、を有して加工面の位置精度を決定する装置において
、上記センサーは、圧気式の計測ヘッドであり、圧気式
の計測装置は、定常的な相対運動が加工面に対して行わ
れるとき計測信号を発生する計測ノズルと、上記圧気式
計測ヘッドが計測範囲を超えることなく加工面から基本
的な距離にある計測パスに沿って移動するように、圧気
式計測ヘッドを保持するガイド装置と、連続的に発生さ
れた計測信号を各計測点に反映させる評価ユニットと、
を含むことを特徴とするワーク加工面の寸法精度を決定
する装置。
【請求項１０】　　前記保持装置を工作機械のワークあ
るいは工具をチャッキングするシステムに連結するため
のアダプターが備えられていることを特徴とする請求項
９に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する装置。
【請求項１１】　　回転対称な内側加工面を計測するた
めに、前記計測ヘッドは、少なくとも一つの圧気式計測
ノズルを有する計測マンドレルと、空気を圧気式計測ノ
ズルへ伝達するためのコントロールバルブと圧力調整器
を含む手段と、コントロールバルブと圧気式計測ノズル
との間の圧気式計測信号を信号評価ユニットへ送出する
手段と、を含むことを特徴とする請求項９に記載のワー
ク加工面の寸法精度を決定する装置。
【請求項１２】　　計測マンドレルの圧力信号ライン、
マンドレルの軸芯に本質的に平行に延びるマンドレルの
中の圧気式ラインを含む圧力信号ライン、アダプター中
の放射状ラインと連なっている圧気式ライン、保持装置
の一部である信号圧力室に連通している放射状ラインか
らなることを特徴とする請求項１１に記載のワーク加工
面の寸法精度を決定する装置。
【請求項１３】　　圧気式計測信号をアナログ電気信号
に変換する手段と、アナログ電気信号を記録するための
記録装置とを含むことを特徴とする請求項９に記載のワ
ーク加工面の寸法精度を決定する装置。
【請求項１４】　　圧気式計測信号を比較器に供給する
手段、加工面の処理をするアウトプット信号を発生する
手段を含み、または、予め決められた限界値を超えると
排除信号を発する比較器を含むことを特徴とする請求項
９に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する装置。
【請求項１５】　　ワークと計測ノズルとの間の予め決
められた相対的な回転と、ワークと計測ノズル間におけ
る変位の予め決められた相対距離とを組み合わせた動き
をさせる同調装置を含んでいることを特徴とする請求項
９に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する装置。
【請求項１６】　　計測ヘッドのためのガイド装置がギ
ヤーユニットで構成されていることを特徴とする請求項
９に記載のワーク加工面の寸法精度を決定する装置。