JP2021041509A

JP2021041509A - 位置測定装置及び位置測定方法

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Publication number: JP2021041509A
Application number: JP2019166653A
Authority: JP
Inventors: 徳夫君塚; Tokuo Kimizuka; 有祐和佐; Yusuke Kazusa; 菅野　隆行; Takayuki Sugano; 隆行菅野
Original assignee: Metrol Co Ltd
Current assignee: Metrol Co Ltd
Priority date: 2019-09-12
Filing date: 2019-09-12
Publication date: 2021-03-18
Anticipated expiration: 2039-09-12
Also published as: JP7488543B2

Abstract

【課題】回転砥石や回転するワークの位置を非接触で測定する位置測定装置を提供すること。【解決手段】位置測定装置１０は、回転砥石２０３に対して加圧流体を噴出可能なノズル２０４と加圧流体の圧力を検出するセンサ５２とを有する位置検出装置５を用いる回転砥石２０３の位置測定装置１０であって、回転砥石２０３とノズル２０４との隙間が設定された後に回転砥石２０３を所定の回転数で回転させると共にノズル２０４から加圧流体を噴出させた状態でセンサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する第１出力位置設定部１０１と、回転砥石２０３を回転させた状態でセンサ５２から測定信号を取得する測定信号取得部１０６と、当該測定信号に基づいて回転砥石２０３の現在位置を測定する位置測定部１０７と、当該出力位置と当該現在位置が一致した際に出力信号を出力する出力部１０９とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、位置測定装置及び位置測定方法に関する。とりわけ本発明は、回転砥石や回転するワークの位置測定装置及び位置測定方法に関する。

加工装置により被加工物を加工する際、被加工物の基準面又は基準位置が加工装置に対して適切な位置となるように、被加工物の位置を調整する方法が知られている。従来から、このような基準面や基準位置の検出のために接触式センサが用いられることが多いが、接触式センサでは、接触式センサの検出点や被加工物の接触点に汚れや汚物が付着することによって誤差が生じやすいという問題がある。そこで、最近では、接触式センサに代えて、加圧気体を用いて被加工物の表面の位置を検出する非接触式センサが用いられることが多くなっている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−８６８５号公報

しかし、例えば回転砥石のような回転する工具の位置や、回転するワークの位置を非接触で測定する方法は、従来存在しなかった。とりわけ、工具やワークの回転による摩擦等に伴って熱が発生するが、この熱により、工作機械に含まれるボールねじや、回転砥石を駆動するための主軸等に、最大数百ミクロン単位の熱膨張が発生することがある。この工具やワークの回転に由来する熱膨張の発生や、摩耗による回転砥石の径や厚みの減少、ワークの偏心等を前提とした上で、工具やワークの位置を正確に測定する方法は、従来存在しなかった。

本発明は、回転砥石や回転するワークの位置を非接触で測定する位置測定装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様によれば、回転砥石に対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転砥石の位置測定装置であって、前記回転砥石と前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記回転砥石を所定の回転数で回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記回転砥石の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する出力位置設定部と、前記回転砥石を回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得する測定信号取得部と、前記測定信号に基づいて、前記回転砥石の現在位置を測定する位置測定部と、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する出力部とを備える位置測定装置が提供される。

本発明の第２の態様によれば、回転砥石に対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転砥石の位置測定方法であって、前記回転砥石と前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記回転砥石を所定の回転数で回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記回転砥石の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定するステップと、前記回転砥石を回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得するステップと、前記測定信号に基づいて、前記回転砥石の現在位置を測定するステップと、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力するステップとを有する位置測定方法が提供される。

本発明の第３の態様によれば、回転するワークに対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転するワークの位置測定装置であって、前記ワークと前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記ワークを回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記ワークの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する出力位置設定部と、前記ワークを回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得する測定信号取得部と、前記測定信号に基づいて、前記ワークの現在位置を測定する位置測定部と、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する出力部とを備える位置測定装置が提供される。

本発明の第４の態様によれば、回転するワークに対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転するワークの位置測定方法であって、前記ワークと前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記ワークを回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記ワークの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定するステップと、前記ワークを回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得するステップと、前記測定信号に基づいて、前記ワークの現在位置を測定するステップと、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力するステップとを有する位置測定方法が提供される。

本発明によれば、回転砥石や回転するワークの位置を非接触で検出することが可能となる。

本発明の第１実施形態に係る位置測定システム１の全体構成図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出装置５の構成を示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出装置５の特性を示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第１実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第２実施形態に係る位置測定システム１Ａの全体構成図である。本発明の第２実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第２実施形態に係る位置検出方法の各ステップを示す図である。本発明の第２実施形態における測定信号の経時変化を示すグラフである。本発明の第２実施形態における出力信号の経時変化を示すグラフである。

〔１第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態について、図１〜図８を参照することにより説明する。

〔１．１実施形態の構成〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る位置測定システム１の全体構成図である。位置測定システム１は、工作機械２と、工作機械２が備える回転砥石２０３の位置を検出する位置検出装置５と、位置検出装置５を用いて回転砥石２０３の位置を測定する位置測定装置１０とを備える。

工作機械２は、回転部２０１と、流体制御部２０２と、回転砥石２０３と、ノズル２０４とを備える。

回転部２０１は、ユーザによって、回転砥石２０３とノズル２０４との隙間が設定された後に、回転砥石２０３を回転させる。

流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、ノズル２０４から加圧流体を噴出させる。なお、この加圧流体は、気体でも液体でもよい。また、加圧流体が気体である場合、空気でも窒素でもよい。以下の説明では、加圧流体として気体の例を用いる。

より具体的には、回転砥石２０３の位置を検出するにあたり、第１のステップとして、ユーザは、回転砥石２０３とノズル２０４の中心位置を合わせる。第２のステップとして、ユーザは、回転砥石２０３とノズル２０４との間に隙間ゲージを使用することにより、測定信号を設定する回転砥石２０３とノズル２０４との隙間を設定する。第３のステップとして、後述の第１出力位置設定部１０１は、隙間ゲージを外し、回転砥石２０３を回転させ、ノズル２０４から加圧気体を噴出させて、回転砥石２０３とノズル２０４との隙間が当該設定した隙間である場合の、後述のセンサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。

回転砥石２０３は、例えばＣＮＣ研削盤等で用いられる回転砥石であり、被研削物の当接面に対して押し付けることにより、被研削物を研削する。

ノズル２０４は、回転砥石２０３の表面に向けて、加圧流体を噴出するために用いるノズルである。

位置検出装置５は、回転砥石２０３の位置を検出する装置であり、とりわけ本実施形態においては、加圧気体を用いて回転砥石２０３の位置を検出する、非接触式位置検出装置である。位置検出装置５は、ノズル２０４に接続される。

図１に示すように、位置検出装置５は、センサ５２を備える。

センサ５２は、位置検出装置５において、加圧流体の供給源から加圧流体が供給されるチャンバ内の圧力を測定する圧力センサである。なお、センサ５２は、圧力センサではなく、フローセンサであってもよい。

本実施形態における位置検出装置５は、加圧気体をオリフィス（不図示）に通過させたのちに、この加圧気体を回転砥石２０３の表面に向かって噴出するものである。このとき、回転砥石２０３と位置検出装置５との間の距離に応じて、オリフィスの前後の圧力差が変化するため、圧力センサを用いてこの圧力差を測定することによって、回転砥石２０３が位置検出装置５から所定の位置にあることを検出できる。

図２は、位置検出装置５の具体例として、出願人が、先般、特願２０１５−３０５０５号として出願した位置検出装置の構成を示す図である。

図２に示すように、位置検出装置５は、気体供給源８０からレギュレータ８３を介して加圧気体が供給される第１のチャンバ８１と、パイプ配管９１を経てノズル２０４に連通する第２のチャンバ８２と、第１のチャンバ８１と第２のチャンバ８２とを仕切る仕切壁９０と、第１のチャンバ８１内の圧力を測定する第１の圧力センサ５２Ａと、第２のチャンバ８２内の圧力を測定する第２の圧力センサ５２Ｂとを備えている。

仕切壁９０には、仕切壁９０を貫通するオリフィス９２が形成されており、このオリフィス９２によって第１のチャンバ８１と第２のチャンバ８２とが連通される。第１の圧力センサ５２Ａは、第１のチャンバ８１に連通する経路５３Ａを有しており、例えば、第１のチャンバ８１内の圧力を受けるダイアフラムの変形を検出することにより第１のチャンバ８１内の圧力を測定するものである。同様に、第２の圧力センサ５２Ｂは、第２のチャンバ８２に連通する経路５３Ｂを有しており、例えば、第２のチャンバ８２内の圧力を受けるダイアフラムの変形を検出することにより第２のチャンバ８２内の圧力を測定するものである。このような第１の圧力センサ５２Ａ、第２の圧力センサ５２Ｂとしては既知の種々の圧力センサを用いることができる。

気体供給源８０は、加圧された気体を外部に供給できるように構成されている。この気体供給源８０内の加圧気体がレギュレータ８３により所定の圧力（以下、供給圧力という）Ｐ_０に調整されて第１のチャンバ８１に供給される。第１のチャンバ８１に供給された加圧気体は、仕切壁９０のオリフィス９２を通過して第２のチャンバ８２にも流入し、ノズル２０４から被測定物の表面に向けて噴出される。

ここで、第２のチャンバ８２内の圧力をＰ_２、ノズル２０４から被測定物の表面までの距離をＤとすると、Ｐ_２とＤの関係は図３に示すようになる。すなわち、被測定物がノズル２０４からより遠くに位置すればするほど（Ｄが大きくなればなるほど）、加圧気体は抵抗を受けることなくノズル２０４から噴出されることとなるので、第２のチャンバ８２の圧力Ｐ_２は供給圧力Ｐ_１から下がり大気圧に近づいていく。一方、被測定物がノズル２０４のより近くに位置すればするほど（Ｄが小さくなればなるほど）、ノズル２０４から噴出される加圧気体が被測定物の表面で抵抗を受けるため、第２のチャンバ８２の圧力Ｐ_２は加圧気体の供給圧力Ｐ_１からあまり下がらずに維持される。したがって、第２の圧力センサ５２Ｂで測定される圧力Ｐ_２の変化を測定することにより被測定物の表面がノズル２０４に近づいたことを検出することができる。

この場合において、第２のチャンバ８２の圧力Ｐ_２は第１のチャンバ８１の圧力Ｐ_１に依存しているため、第２のチャンバ８２の圧力Ｐ_２のみを測定していたのでは安定的な測定結果とはならない。このため、本具体例では、第２のチャンバ８２の圧力Ｐ_２に加えて第１のチャンバ８１の圧力Ｐ_１も測定している。そして、第１のチャンバ８１の圧力Ｐ_１と第２のチャンバ８２の圧力Ｐ_２との差Ｐ_１―Ｐ_２を算出し、この圧力差Ｐ_１―Ｐ_２が小さくなったことを検出することによって被測定物の表面がノズル２０４から所定の距離未満に近づいたことを検出している。このような圧力差Ｐ_１―Ｐ_２を用いることにより、第１のチャンバ８１の圧力Ｐ_１の変動の影響がキャンセルされるので精度のよい測定が可能となる。

位置検出装置５は、第１の圧力センサ５２Ａ及び第２の圧力センサ５２Ｂの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータ５４と、Ａ／Ｄ変換後の第１の圧力センサ５２Ａ及び第２の圧力センサ５２Ｂの出力を処理する処理部６０と、処理部６０における処理結果を出力する出力部７０とを有している。例えば、出力部７０はＬＥＤやディスプレイ、接点等の電気的出力信号を出力する出力機器から構成される。

図１に戻ると、位置測定装置１０は、第１出力位置設定部１０１と、第２出力位置設定部１０２と、第３出力位置設定部１０３と、測定信号取得部１０６と、位置測定部１０７と、異常検出部１０８と、出力部１０９とを備える。

第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。

より具体的には、上記の第３のステップにおける出力位置の設定の一例として、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。自動位置決めを行う場合には、この位置を減速開始点とする。それにより、回転砥石２０３とノズル２０４との間のアプローチ時間の短縮となる。

第２出力位置設定部１０２は、回転砥石２０３の位置の出力位置を設定する。第２出力位置設定部１０２は、上記と同様に、回転砥石２０３とノズル２０４の中心位置を合わせた後、回転砥石２０３とノズル２０４との間に隙間ゲージを使用して機械的位置を決定し、隙間ゲージを外し、回転砥石２０３を回転させ、ノズル２０４から加圧気体を噴出させて、回転砥石２０３とノズル２０４との隙間が当該設定した隙間である場合のセンサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。

第３出力位置設定部１０３は、オーバートラベル信号として第３出力位置を設定する。この「オーバートラベル信号」とは、何らかの原因で、後述の出力部１０９から出力される第１出力信号、第２出力信号が、制御側に伝送できなかった場合に、回転砥石２０３とノズル２０４との機械的接触を防ぐための位置信号として用いる。

第４出力位置設定部１０４は、後述するブレード形回転砥石２０３において、第１出力位置設定部１０１と同様、センサ５２から出力される回転砥石２０３の径方向の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３を、ノズル２０４に向かって早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。

第５出力位置設定部１０５は、後述するブレード形回転砥石２０３において、第２出力位置設定部１０２と同様、センサ５２から出力される回転砥石２０３の径方向の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。これらの出力位置は、位置検出装置５の分解能が高く、繰り返し精度が高い位置で設定すると好適である。

測定信号取得部１０６は、測定信号を、センサ５２から取得する。

位置測定部１０７は、測定信号取得部１０６によって取得された測定信号に基づいて、回転砥石２０３の現在位置を測定する。

異常検出部１０８は、測定条件が各出力設定時と比べ、流体供給圧の変化等により測定位置の信頼性がなくなった時に、異常を検出する。

出力部１０９は、第１出力位置設定部１０１によって設定された第１出力位置、第２出力位置設定部１０２によって設定された第２出力位置、及び、第３出力位置設定部１０３によって設定された第３出力位置と、位置測定部１０７によって測定された現在位置とを比較し、各々の出力位置と現在位置とが一致した際に、第１出力信号、第２出力信号、及び第３出力信号を出力する。

なお、図１に示す構成は単なる一例であって、これには限定されない。例えば、ノズル２０４は、工作機械２ではなく、位置検出装置５の構成要素としてもよい。また、回転部２０１及び流体制御部２０２は、位置測定装置１０の構成要素としてもよい。

〔１．２実施形態の動作〕
図４〜図７Ｂは、回転砥石２０３の種類ごとに、当該回転砥石２０３の位置を検出する方法を示す図である。

図４は、回転砥石２０３が通常の砥石である場合の位置検出方法を示す図である。

まず、図４の（ａ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、ノズル２０４から加圧気体を噴射させない状態で、回転砥石２０３とノズル２０４の中心位置を合わせる。

図４の（ｂ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、ノズル２０４から加圧気体を噴射させない状態で、例えば、隙間ゲージ３００を使用して、回転砥石２０３とノズル２０４との間の隙間を設定する。なお、この隙間ゲージ３００は、例えば減速信号の位置決め用には３００μｍ、測定信号の位置決め用には１５０μｍ、オーバートラベル信号の位置決め用には１００μｍの隙間ゲージを用いることが可能である。あるいは、測定信号の位置決め用の１５０μｍの隙間ゲージを用いて隙間を設定し、減速信号の位置決め用と、オーバートラベル信号の位置決め用には、工作機械２側の座標系で回転砥石２０３を所定距離移動させて設定してもよい。

図４の（ｃ）において、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。

図４の（ｄ）において、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３をノズル２０４に向かって早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。更に、回転砥石２０３の径方向の端部を、ノズル２０４に近接する方向に移動させた状態で、第２出力位置設定部１０２は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を決定する測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。更に、回転砥石２０３の径方向の端部を、ノズル２０４に近接する方向に移動させた状態で、第３出力位置設定部１０３は、測定信号が出力されなかった際、ノズル２０４と回転砥石２０３との衝突を防止するための、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を第３出力位置として設定する。これらの出力位置は、位置検出装置５の分解能が高く、繰り返し精度が高い位置で設定すると好適である。

その後、位置測定部１０７は、測定信号取得部１０６によって取得された測定信号に基づいて、回転砥石２０３の現在位置を測定する。
更に、出力部１０９は、第１出力位置設定部１０１によって設定された第１出力位置、第２出力位置設定部１０２によって設定された第２出力位置、及び、第３出力位置設定部１０３によって設定された第３出力位置と、位置測定部１０７によって測定された現在位置とを比較し、各々の出力位置と現在位置とが一致した際に、第１出力信号、第２出力信号、及び第３出力信号を出力する。

図５Ａ及び図５Ｂは、回転砥石２０３がＲ形砥石である場合の位置検出方法を示す図である。

まず、図５Ａの（ａ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴射させない状態で、回転砥石２０３と第１のノズル２０４Ａの中心位置を合わせると共に、回転砥石２０３と第２のノズル２０４Ｂの高さを合わせる。

図５Ａの（ｂ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴射させない状態で、例えば、隙間ゲージ３００を使用して、回転砥石２０３の径方向の端部と第１のノズル２０４Ａとの間の隙間を設定する。なお、この隙間としては、図３に示す、位置検出装置５のＰ_２とＤの関係を示す曲線において、勾配が急になる範囲Ｓに含まれる間隔とすると好適である。

図５Ａの（ｃ）において、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、第１のノズル２０４Ａから加圧気体を噴出させる。

図５Ａの（ｄ）において、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３を、ノズル２０４Ａに向かって径方向に早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。更に、回転砥石２０３の径方向の端部を、ノズル２０４Ａに近接する方向に移動させた状態で、第２出力位置設定部１０２は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。更に、回転砥石２０３の径方向の端部を、ノズル２０４Ａに近接する方向に移動させた状態で、第３出力位置設定部１０３は、測定信号が出力されなかった際、ノズル２０４Ａと回転砥石２０３との衝突を防止するための、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を第３出力位置として設定する。その後、位置測定部１０７は、測定信号取得部１０６によって取得された測定信号に基づいて、回転砥石２０３の位置を測定する。これらの出力位置は、位置検出装置５の分解能が高く、繰り返し精度が高い位置で設定すると好適である。

図５Ｂの（ｅ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴射させない状態で、例えば、隙間ゲージ３００を使用して、回転砥石２０３の軸方向の端部と第２のノズル２０４Ｂとの間の隙間を設定する。

図５Ｂの（ｆ）において、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴出させる。

図５Ｂの（ｇ）において、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３を、ノズル２０４Ｂに向かって軸方向に早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。更に、回転砥石２０３の軸方向の端部を、ノズル２０４Ｂに近接する方向に移動させた状態で、第２出力位置設定部１０２は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。更に、回転砥石２０３の軸方向の端部を、ノズル２０４Ｂに近接する方向に移動させた状態で、第３出力位置設定部１０３は、測定信号が出力されなかった際、ノズル２０４Ｂと回転砥石２０３との衝突を防止するための、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を第３出力位置として設定する。これらの出力位置は、位置検出装置５の分解能が高く、繰り返し精度が高い位置で設定すると好適である。

その後、位置測定部１０７は、測定信号取得部１０６によって取得された測定信号に基づいて、回転砥石２０３の位置を測定する。
更に、出力部１０９は、第１出力位置設定部１０１によって設定された第１出力位置、第２出力位置設定部１０２によって設定された第２出力位置、及び、第３出力位置設定部１０３によって設定された第３出力位置と、位置測定部１０７によって測定された現在位置とを比較し、各々の出力位置と現在位置とが一致した際に、第１出力信号、第２出力信号、及び第３出力信号を出力する。

図６Ａ及び図６Ｂは、回転砥石２０３がブレード形砥石である場合の位置検出方法を示す図である。

まず、図６Ａの（ａ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、ノズル２０４から加圧気体を噴射させない状態で、回転砥石２０３とノズル２０４との間の回転砥石２０３の軸方向の離間距離を合わせる。

図６Ａの（ｂ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、ノズル２０４から加圧気体を噴射させない状態で、例えば、隙間ゲージ３００を使用して、回転砥石２０３とノズル２０４との間の隙間を設定する。

図６Ａの（ｃ）において、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。

図６Ａの（ｄ）において、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の軸方向の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３を、ノズル２０４Ｂに向かって軸方向に早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。次に、回転砥石２０３をノズル２０４Ｂに向かって軸方向に更に近接させた状態で、第２出力位置設定部１０２は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の軸方向の位置を検出するための測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。次に、回転砥石２０３をノズル２０４Ｂに向かって軸方向に更に近接させた状態で、第３出力位置設定部１０３は、測定信号が出力されなかった際、ノズル２０４Ｂと回転砥石２０３との衝突を防止するための、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を第３出力位置として設定する。これらの出力位置は、位置検出装置５の分解能が高く、繰り返し精度が高い位置で設定すると好適である。

図６Ｂの（ｅ）において、回転砥石２０３の径方向の端部とノズル２０４の中心軸との間の距離を当該径方向に十分に離間した状態で、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。

図６Ｂの（ｆ）において、回転砥石２０３とノズル２０４との間の軸方向の離間距離を維持したまま、回転砥石２０３を、ノズル２０４の中心軸に近接する方向に径方向に移動させた状態で、第４出力位置設定部１０４は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の径方向の位置を検出するための測定信号の出力位置を第４出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３を、径方向にノズル２０４に向かって早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。更に、回転砥石２０３を、ノズル２０４の中心軸に近接する方向に更に径方向に移動させた状態で、第５出力位置設定部１０５は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の径方向の位置を検出するための測定信号の出力位置を第５出力位置として設定する。これらの出力位置は、位置検出装置５の分解能が高く、繰り返し精度が高い位置で設定すると好適である。
なお、図６Ｂ（ｅ）及び（ｆ）における回転砥石２０３の径方向の位置設定においては、回転砥石２０３はノズル２０４と衝突することはないため、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を設定する必要はない。

図７Ａ及び図７Ｂは、回転砥石２０３がテーパー形砥石である場合の位置検出方法を示す図である。なお、回転砥石２０３がテーパー形砥石である場合には、中心軸が回転砥石２０３のテーパー部の表面に直交する２つのノズルである、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂを用いる。

まず、図７Ａの（ａ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴射させない状態で、回転砥石２０３と第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂの高さを合わせる。

図７Ａの（ｂ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴射させない状態で、例えば、回転砥石２０３と第１のノズル２０４Ａとの間に、隙間ゲージ３００を使用して、回転砥石２０３の一方のテーパー面と第１のノズル２０４Ａとの間の隙間を設定する。なお、この隙間としては、図３に示す、位置検出装置５のＰ_２とＤの関係を示す曲線において、勾配が急になる範囲Ｓに含まれる間隔とすると好適である。

図７Ａの（ｃ）において、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、第１のノズル２０４Ａから加圧気体を噴出させる。

図７Ａの（ｄ）において、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の当該一方のテーパー面の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３を、ノズル２０４Ａに向かって早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。更に、回転砥石２０３の当該一方のテーパー面を、ノズル２０４Ａに近接する方向に移動させた状態で、第２出力位置設定部１０２は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の当該一方のテーパー面の位置を検出するための測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。更に、回転砥石２０３の一方のテーパー面を、ノズル２０４Ａに近接する方向に移動させた状態で、第３出力位置設定部１０３は、測定信号が出力されなかった際、第１のノズル２０４Ａと回転砥石２０３の当該一方のテーパー面との衝突を防止するための、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を第３出力位置として設定する。

その後、位置測定部１０７は、測定信号取得部１０６によって取得された測定信号に基づいて、回転砥石２０３の当該一方のテーパー面の位置を測定する。

図７Ｂの（ｅ）において、ユーザは、回転砥石２０３の回転を停止させると共に、第１のノズル２０４Ａ及び第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴射させない状態で、例えば、回転砥石２０３の他方のテーパー面と第２のノズル２０４Ｂとの間に、隙間ゲージ３００を使用して、回転砥石２０３の当該他方のテーパー面と第２のノズル２０４Ｂとの間の隙間を設定する。

図７Ｂの（ｆ）において、流体制御部２０２は、回転部２０１によって回転砥石２０３を回転させた状態で、第２のノズル２０４Ｂから加圧気体を噴出させる。更に、第１出力位置設定部１０１は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の当該他方のテーパー面の位置を検出するための測定信号の出力位置を第１出力位置として設定する。更に、この位置を自動位置決めする時の減速点とする。この減速点までは、回転砥石２０３の当該他方のテーパー面を、ノズル２０４Ｂに向かって早送りでアプローチさせ、測定時間の短縮化を図る。

図７Ｂの（ｇ）において、更に、回転砥石２０３の当該他方のテーパー面を、ノズル２０４Ｂに近接する方向に移動させた状態で、第２出力位置設定部１０２は、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を第２出力位置として設定する。更に、回転砥石２０３の当該他方のテーパー面を、ノズル２０４Ｂに近接する方向に移動させた状態で、第３出力位置設定部１０３は、測定信号が出力されなかった際、第２のノズル２０４Ｂと回転砥石２０３の当該他方のテーパー面との衝突を防止するための、回転砥石２０３の停止位置として使用するオーバートラベル信号の出力位置を第３出力位置として設定する。

図７Ｂの（ｈ）において、位置測定部１０７は、測定信号取得部１０６によって取得された測定信号に基づいて、回転砥石２０３の当該他方のテーパー面の位置を測定する。
更に、出力部１０９は、第１出力位置設定部１０１によって設定された第１出力位置、第２出力位置設定部１０２によって設定された第２出力位置、及び、第３出力位置設定部１０３によって設定された第３出力位置と、位置測定部１０７によって測定された現在位置とを比較し、各々の出力位置と現在位置とが一致した際に、第１出力信号、第２出力信号、及び第３出力信号を出力する。
このようにしてテーパー面を２面有する回転砥石２０３のそれぞれの面の位置を測定することができる。これにより、回転砥石２０３のテーパー面の合わせ目（中心）を測定することができる。

〔１．３実施形態の効果〕
本実施形態に係る位置測定装置１０は、回転砥石２０３に対して加圧流体を噴出可能なノズル２０４と加圧流体の圧力を検出するセンサ５２とを有する位置検出装置５を用いる、回転砥石２０３の位置測定装置１０であって、回転砥石２０３とノズル２０４との隙間が設定された後に、回転砥石２０３を所定の回転数で回転させると共に、ノズル２０４から加圧流体を噴出させた状態で、センサ５２から出力される回転砥石２０３の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する第３出力位置設定部１０３と、センサ５２から測定信号を取得する測定信号取得部１０６と、測定信号に基づいて、回転砥石２０３の現在位置を測定する位置測定部１０７と、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する出力部１０９とを備える。

これにより、本実施形態に係る位置測定装置１０は、回転砥石の位置を非接触で測定することが可能となる。とりわけ、回転砥石は、回転時に遠心力で径が広がるため、回転した状態で測定することにメリットがある。

更に、本実施形態に係る位置測定装置１０を、研削装置を含む工作機械や研削システムに適用した場合、切削工程の自動化、回転砥石等の切削工具のカリブレーション及びメンテナンスの自動化、ワークのメンテナンスの自動化にとって、好適である。

〔２第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態について、図８〜図１１Ｂを参照することにより説明する。

〔２．１実施形態の構成〕
図８は、本発明の第２実施形態に係る位置測定システム１Ａの全体構成図である。なお、以下では説明の簡略化のため、主として、位置測定システム１Ａの構成要素のうち、位置測定システム１の構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を用いて示し、その説明は省略する。

位置測定システム１Ａは、ワーク２０３Ａと、ワーク２０３Ａの位置を検出する位置検出装置５と、位置検出装置５を用いてワーク２０３Ａの位置を測定する位置測定装置１０Ａとを備える。

ワーク２０３Ａは、直線を中心軸として、その周りに一回転してできた回転体であり、例えば切削ツールである。

工作機械２Ａは、回転部２０１Ａと、流体制御部２０２Ａとワーク２０３Ａと、ノズル２０４とを備える。

回転部２０１Ａは、ユーザによって、隙間ゲージを使用して、ワーク２０３Ａとノズル２０４との隙間が設定された後に、ワーク２０３Ａを回転させる。

流体制御部２０２Ａは、回転部２０１Ａによってワーク２０３Ａを回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。

より具体的には、ワーク２０３Ａの偏心を検出するにあたり、第１のステップとして、ユーザはワーク２０３Ａを準備する。第２のステップとして、ユーザは、ワーク２０３Ａとノズル２０４との間に隙間ゲージを使用することにより、測定信号を設定するワーク２０３Ａとノズル２０４との隙間を設定する。第３のステップとして、流体制御部２０２Ａは、回転部２０１Ａによってワーク２０３Ａを低速で回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。

位置測定装置１０Ａは、第１出力位置設定部１０１Ａと、測定信号取得部１０６Ａと、位置測定部１０７Ａと、出力部１０９Ａとを備える。

第１出力位置設定部１０１Ａは、センサ５２から出力される、ワーク２０３Ａの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。

より具体的には、上記の第３のステップに続く第４のステップとして、第１出力位置設定部１０１Ａは、センサ５２から出力されるワーク２０３Ａの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。

測定信号取得部１０６Ａは、偏心を検出する対象のワーク２０３Ａを低速で回転させたまま、ワーク２０３Ａの中心軸とノズル２０４との距離が所定値になる位置にワーク２０３Ａを移動し、測定信号を取得する。

位置測定部１０７Ａは、測定信号取得部１０６Ａによって取得された測定信号に基づいて、ワーク２０３Ａの位置を測定する。より具体的には、位置測定部１０７Ａは、当該測定信号に基づいて、ワーク２０３Ａの現在位置を測定し、出力部１０９Ａは、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する。これにより、前記出力位置を偏心の許容値に対応するように設定すると、偏心がある場合にはワーク２０３Ａを回転させると出力部１０９Ａが出力信号の出力を断続的に繰り返すことになるので、偏心を検出することが可能となる。また、同様に、出力部１０９Ａが出力信号の出力を継続する場合には、ワーク２０３Ａの径が許容値を超えていることを検出することが可能となる。

より具体的には、位置測定部１０７Ａは、測定信号取得部１０６Ａによって取得された測定信号に基づく出力部１０９Ａによる出力信号が常時ＯＦＦの場合には、ワーク２０３Ａに所定値未満の振れしかないことを検出し、振れがないとみなす。当該出力信号が、ＯＮとＯＦＦを繰り返す場合には、位置測定部１０７Ａは、ワーク２０３Ａに所定値以上の振れがあることを検出する。当該出力信号が常時ＯＮの場合には、ワーク２０３Ａの径が当初の想定以上であることを検出する。

〔２．２実施形態の動作〕
図９及び図１０は、ワーク２０３Ａの種類ごとに、当該ワーク２０３Ａの位置を検出する方法を示す図である。

図９は、ワーク２０３Ａの例として、直径がφ５．０２ｍｍのマスターを用いた場合の、ワーク２０３Ａの位置検出方法を示す図である。

まず、図９の（ａ）において、ユーザは、ワーク２０３Ａとして、φ５．０２ｍｍのマスターを準備する。この段階では、ワーク２０３Ａの回転は停止していると共に、ノズル２０４から加圧気体は噴射させない。なお、「φ５．０２ｍｍ」というのは一例であって、これには限定されない。

図９の（ｂ）において、ユーザは、ワーク２０３Ａの回転を停止させると共に、ノズル２０４から加圧気体を噴射させない状態で、隙間ゲージ３００を使用して、ワーク２０３Ａの中心軸とノズル２０４との間の距離Ｌを設定する。

図９の（ｃ）において、流体制御部２０２Ａは、回転部２０１Ａによってワーク２０３Ａを低速で回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。更に、第１出力位置設定部１０１Ａは、センサ５２から出力されるワーク２０３Ａの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。

図９の（ｄ）において、測定信号取得部１０６Ａは、偏心を測定する対象の直径がφ５．００ｍｍのワーク２０３Ａを低速で回転させたまま、ワーク２０３Ａの中心軸とノズル２０４の距離がＬになる位置にワーク２０３Ａを移動し、測定信号を取得する。

更に、位置測定部１０７Ａは、測定信号取得部１０６Ａによって取得された測定信号に基づいて、ワーク２０３Ａの偏心を検出する。より具体的には、位置測定部１０７Ａは、前記測定信号に基づいてワーク２０３Ａの現在位置を測定し、出力部１０９Ａは、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する。出力部１０９Ａによる出力信号が常時ＯＦＦの場合には、ワーク２０３Ａに１０μｍ未満の振れしかないことを検出し、振れがないとみなす。出力信号がＯＮとＯＦＦを繰り返す場合には、ワーク２０３Ａに１０μｍ以上の振れがあることを検出する。出力信号が常時ＯＮの場合には、ワーク２０３Ａの径がφ５．０２ｍｍ以上であることを検出する。なお、本実施形態では、偏心を測定する対象の直径がφ５．００ｍｍのワーク２０３Ａに対して、ワーク２０３Ａのマスターとしてφ５．０２ｍｍのものを用いて、検出する偏心の閾値を１０μｍと設定し、ワーク２０３Ａの径の検出閾値をφ５．０２ｍｍとしたが、これは一例であって、これには限定されない。

図１０は、ワーク２０３Ａの例として、理想ワーク（良品）である、直径がφ５．００ｍｍのマスターを用いた場合の、ワーク２０３Ａの位置検出方法を示す図である。なお、図１０に示す位置検出方法は、芯振れの許容範囲と同等のマスターを準備できない場合や、理想ワーク（良品）しか準備できない場合を想定している。なお、「φ５．００ｍｍ」というのは一例であって、これには限定されない。

まず、図１０の（ａ）において、ユーザは、ワーク２０３Ａとして、理想ワークである、φ５．００ｍｍのマスターを準備する。この段階では、ワーク２０３Ａの回転は停止していると共に、ノズル２０４から加圧気体は噴射させない。なお、「φ５．００ｍｍ」というのは一例であって、これには限定されない。

図１０の（ｂ）において、ユーザは、ワーク２０３Ａの回転を停止させると共に、ノズル２０４から加圧気体を噴射させない状態で、隙間ゲージ３００を使用して、ワーク２０３Ａの中心軸とノズル２０４との間の距離Ｌを設定する。

図１０の（ｃ）において、流体制御部２０２Ａは、ワーク２０３Ａをノズル２０４に０．０１ｍｍ近づけ、回転部２０１Ａによってワーク２０３Ａを低速で回転させた状態で、ノズル２０４から加圧気体を噴出させる。更に、第１出力位置設定部１０１Ａは、センサ５２から出力されるワーク２０３Ａの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する。なお、「０．０１ｍｍ」というのは一例であって、これには限定されない。

図１０の（ｄ）において、測定信号取得部１０６Ａは、ワーク２０３Ａを低速で回転させたまま、ワーク２０３Ａの中心とノズル２０４の距離がＬになる位置にワーク２０３Ａを移動し、測定信号を取得する。

更に、位置測定部１０７Ａは、測定信号取得部１０６Ａによって取得された測定信号に基づいて、ワーク２０３Ａの偏心を検出する。より具体的には、位置測定部１０７Ａは、前記測定信号に基づいてワーク２０３Ａの現在位置を測定し、出力部１０９Ａは、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する。出力部１０９Ａによる出力信号が常時ＯＦＦの場合、すなわちノズル２０４から見て現在位置が出力位置よりも離間している場合には、ワーク２０３Ａに１０μｍ未満の振れしかないことを検出し、振れがないとみなす。出力信号がＯＮとＯＦＦを繰り返す、すなわちノズル２０４から見て現在位置が出力位置に一致するか又は出力位置より近接することがある場合には、ワーク２０３Ａに１０μｍ以上の振れがあることを検出する。測定信号が常時ＯＮの場合には、ワーク２０３Ａの径がφ５．０２ｍｍ以上であることを検出する。なお、本実施形態では、偏心を測定する対象の直径がφ５．００ｍｍのワーク２０３Ａに対して、ワーク２０３Ａのマスターとしてφ５．０0ｍｍのものを用いて、検出する偏心の閾値を１０μｍと設定し、ワーク２０３Ａの径の検出閾値をφ５．０２ｍｍとしたが、これは一例であって、これには限定されない。

図１１Ａは、測定信号取得部１０６Ａによって取得される測定信号の例を示す。ワーク２０３Ａを回転させた際の振れ幅が大きいほど、測定信号の振幅も大きくなる。図１１Ａに示す例においては、振れ幅が大きい場合には、測定信号の最大振幅が閾値の３００μｍを超え、振れ幅が小さい場合には、測定信号の最大振幅が閾値の３００μｍを下回る。

図１１Ｂは、図１１Ａに示す測定信号に対応する、出力部１０９Ａの出力信号である。ワーク２０３Ａの振幅が３００μｍを超えている間のみ、出力部１０９Ａは一定値Ｈを示す出力信号を出力する。

〔２．３実施形態の効果〕
本実施形態に係る位置測定装置１０Ａは、回転するワーク２０３Ａに対して加圧流体を噴出可能なノズル２０４と加圧流体の圧力を検出するセンサ５２とを有する位置検出装置５を用いる、工作機械２Ａにおいて回転するワーク２０３Ａの位置測定装置１０Ａであって、工作機械２Ａにおいて、ワーク２０３Ａとノズル２０４との隙間が設定された後に、ワーク２０３Ａを回転させると共に、ノズル２０４から加圧流体を噴出させた状態で、センサ５２から出力されるワーク２０３Ａの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する第１出力位置設定部１０１Ａと、ワーク２０３Ａを回転させた状態で、センサ５２から測定信号を取得する測定信号取得部１０６Ａと、測定信号に基づいて、ワーク２０３Ａの現在位置を測定する位置測定部１０７Ａと、前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する出力部１０９Ａとを備える。

これにより、本実施形態に係る位置測定装置１０Ａは、ワーク２０３Ａの偏心や径の大きさを非接触で測定することが可能となる。

１，１Ａ位置測定システム
５位置検出装置
１０，１０Ａ位置測定装置
５２センサ
１０１，１０１Ａ第１出力位置設定部
１０２第２出力位置設定部
１０３第３出力位置設定部
１０４第４出力位置設定部
１０５第５出力位置設定部
１０６，１０６Ａ測定信号取得部
１０７，１０７Ａ位置測定部
１０８，１０８Ａ異常検出部
１０９，１０９Ａ出力部
２０１，２０１Ａ回転部
２０２，２０２Ａ流体制御部
２０３回転砥石
２０３Ａワーク
２０４，２０４Ａ，２０４Ｂノズル

Claims

回転砥石に対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転砥石の位置測定装置であって、
前記回転砥石と前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記回転砥石を所定の回転数で回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記回転砥石の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する出力位置設定部と、
前記回転砥石を回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得する測定信号取得部と、
前記測定信号に基づいて、前記回転砥石の現在位置を測定する位置測定部と、
前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する出力部とを備える位置測定装置。
前記ノズルと前記回転砥石との離間距離を近接させていく際に、前記測定信号の測定の直前の位置までのアプローチ速度を速める場合に使用する減速信号の出力位置を設定する第２出力位置設定部を更に備え、
前記出力部は、前記減速信号の出力位置と前記現在位置とが一致した際に、更に出力信号を出力する請求項１に記載の位置測定装置。
前記測定信号及び前記減速信号共に伝送されなかった場合に、前記回転砥石と前記ノズルとの衝突を防止するためのオーバートラベル信号の出力位置を設定する第３出力位置設定部を更に備え、
前記出力部は、前記オーバートラベル信号の出力位置と前記現在位置とが一致した際に、更に出力信号を出力する請求項２に記載の位置測定装置。
前記ノズルと前記回転砥石との離間距離を近接させていく際に、前記回転砥石の径方向に略平行に近接させ、前記ノズルの中心軸は前記径方向に略平行である、請求項１から３のいずれかに記載の位置測定装置。
前記回転砥石は、Ｒ形砥石であり、
前記ノズルと前記回転砥石との離間距離を近接させていく際に、前記回転砥石の径方向に略平行に近接させ、前記ノズルの中心軸が前記回転砥石の径方向に略平行である第１のノズルと、前記回転砥石の軸方向に略平行に近接させ、前記ノズルの中心軸が前記回転砥石の軸方向に略平行である第２のノズルとを用いる、請求項１から３のいずれかに記載の位置測定装置。
前記回転砥石は、ブレード形砥石であり、
前記ノズルと前記回転砥石とは、前記回転砥石の軸方向に略平行、及び径方向に略平行に相対的に移動し、前記ノズルの中心軸は前記回転砥石の軸方向に略平行である、請求項１から３のいずれかに記載の位置測定装置。
前記回転砥石は、テーパー形砥石であり、
前記ノズルの中心軸が前記回転砥石のテーパー部の表面に直交する２つのノズルを用いる、請求項１から３のいずれかに記載の位置測定装置。
請求項１から７のいずれかに記載の位置測定装置と、前記回転砥石と、前記ノズルと、前記位置検出装置とを含む位置測定システム。
回転砥石に対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転砥石の位置測定方法であって、
前記回転砥石と前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記回転砥石を所定の回転数で回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記回転砥石の位置を検出するための測定信号の出力位置を設定するステップと、
前記回転砥石を前記所定の回転数で回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得するステップと、
前記測定信号に基づいて、前記回転砥石の現在位置を測定するステップと、
前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力するステップとを有する位置測定方法。
回転するワークに対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転するワークの位置測定装置であって、
前記ワークと前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記ワークを回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記ワークの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定する出力位置設定部と、
前記ワークを回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得する測定信号取得部と、
前記測定信号に基づいて、前記ワークの現在位置を測定する位置測定部と、
前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力する出力部とを備える位置測定装置。
請求項１０に記載の位置測定装置と、前記回転するワークと、前記ノズルと、前記位置検出装置とを含む位置測定システム。
回転するワークに対して加圧流体を噴出可能なノズルと前記加圧流体の圧力を検出するセンサとを有する位置検出装置を用いる、回転するワークの位置測定方法であって、
前記ワークと前記ノズルとの隙間が設定された後に、前記ワークを回転させると共に、前記ノズルから前記加圧流体を噴出させた状態で、前記センサから出力される前記ワークの位置を検出するための測定信号の出力位置を設定するステップと、
前記ワークを回転させた状態で、前記センサから前記測定信号を取得するステップと、
前記測定信号に基づいて、前記ワークの現在位置を測定するステップと、
前記出力位置と前記現在位置が一致した際に、出力信号を出力するステップとを有する位置測定方法。