JPWO2015133505A1 - 酸化物超電導薄膜線材とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
金属基板と積層体とCu安定化層を有する酸化物超電導薄膜線材であって、
前記金属基板は、支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、
前記導電層は、内層のCu層と2軸配向している表層を含み、
前記積層体は、前記金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層、Ag安定化層が積層され、
前記Cu安定化層は、前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うように形成され、
前記Cu安定化層および前記Ag安定化層のうち少なくとも一方の安定化層が、前記金属基板の前記導電層の少なくとも一部分に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように形成されている酸化物超電導薄膜線材に関する。
支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層が内層のCu層と2軸配向している表層を含む幅広の金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層、Ag安定化層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、
前記金属基板および前記積層体を所定の幅に切断して細線化する細線化工程と、
細線化された前記金属基板および前記積層体から前記金属基板の前記導電層の一部を露出させる導電層露出工程と、
前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うようにCu安定化層を形成するCu安定化層形成工程と、を備え、
前記Cu安定化層形成工程において、前記Cu安定化層が前記金属基板の前記導電層の露出した部分に接触して、電気的に導通するように前記Cu安定化層を形成する酸化物超電導薄膜線材の製造方法に関する。
支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層が内層のCu層と2軸配向している表層を含む幅広の金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、
前記金属基板および前記積層体を所定の幅に切断して細線化する細線化工程と、
細線化された前記積層体の表面から前記金属基板の前記導電層に至る貫通孔を、少なくとも1箇所設ける導電層露出工程と、
前記積層体上にAg安定化層を形成するAg安定化層形成工程と、
前記Ag安定化層が形成された前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うようにCu安定化層を形成するCu安定化層形成工程と、を備え、
前記Ag安定化層形成工程において、前記貫通孔を貫通して前記金属基板の前記導電層に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように前記Ag安定化層を形成する酸化物超電導薄膜線材の製造方法に関する。
支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層が内層のCu層と2軸配向している表層を含む幅広の金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、
前記金属基板および前記積層体を所定の幅に切断して細線化する細線化工程と、
細線化された前記積層体および前記金属基板のサイド側端面から、前記金属基板の前記Cu層の少なくとも一部分を露出させる導電層露出工程と、
前記積層体および前記金属基板上にAg安定化層を形成するAg安定化層形成工程と、
前記Ag安定化層が形成された前記積層体および前記金属基板の周囲をさらに覆うようにCu安定化層を形成するCu安定化層形成工程と、を備え、
前記Ag安定化層形成工程において、前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うように前記Ag安定化層を形成して、露出した前記金属基板の前記Cu層と前記Ag安定化層とを導通させる酸化物超電導薄膜線材の製造方法に関する。
最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。
(1)本発明の実施形態に係る酸化物超電導薄膜線材は、金属基板と積層体とCu安定化層を有する酸化物超電導薄膜線材であって、前記金属基板は、支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層は、内層のCu層と2軸配向している表層を含み、前記積層体は、前記金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層、Ag安定化層が積層され、前記Cu安定化層は、前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うように形成され、前記Cu安定化層および前記Ag安定化層のうち少なくとも一方の安定化層が、前記金属基板の前記導電層の少なくとも一部分に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように形成されている。
以下、本発明に係る酸化物超電導薄膜線材の一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。また、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
はじめに酸化物超電導薄膜線材の構造について説明する。本実施の形態の酸化物超電導薄膜線材の基本的な構造は、Cu安定化層およびAg安定化層のうち少なくとも一方の安定化層が、金属基板の導電層の少なくとも一部分に接触して、金属基板の導電層と電気的に導通していること以外は、図4に示した酸化物超電導薄膜線材と同じである。
また、Cu安定化層17は金属基板Bの導電層のCu層12と接触させてもよい。図2Bに示す酸化物超電導薄膜線材1においては、貫通孔18が金属基板BのCu層12にまで達しており、Cu安定化層17の一部分17aが直接Cu層12と接触している点で、図2Aの酸化物超電導薄膜線材1と異なる。Cu安定化層17が直接Cu層12と接触していることにより、Cu層12は、より充分に小さな電気抵抗でCu安定化層と導通する。これによって、従来過電流の通電経路として機能しにくかったCu層12を通電経路として充分に機能させることが可能となり、安定化層の厚みを増加させなくても、大きな過電流に耐えることができる。
図2Cに示す酸化物超電導薄膜線材1においては、Cu安定化層17が金属基板BのCu層12のサイド側端面19に接触している点で、図2Aおよび図2Bの酸化物超電導薄膜線材1と異なる。本実施態様の酸化物超電導薄膜線材1の場合、金属基板Bのサイド端部でCu層12が露出しており、Cu安定化層17がCu層12のサイド側端面19と接触している。これにより、金属基板BのCu層12が充分に小さな電気抵抗でCu安定化層17と導通する。このようにCu層12を充分に小さい電気抵抗でCu安定化層17と導通させることによって、従来過電流の通電経路として機能しにくかったCu層12を通電経路として充分に機能させることが可能となり、安定化層の厚みを増加させなくても、大きな過電流に耐えることができる。
図3Aに示す酸化物超電導薄膜線材1においては、Ag安定化層の一部分16aが貫通孔18を貫通して金属基板Bの導電層の表層(具体的にはNi層13)に接触している点で、図2Aの酸化物超電導薄膜線材1と異なる。貫通孔内には、Ag安定化層の一部分16aがNi層13と接触するように形成され、その上にCu安定化層17が形成されている。導電性の優れたAg安定化層16が、貫通孔内に露出した金属基板Bの表層(具体的にはNi層13)と接触することにより、Ni層13を介して金属基板BのCu層12とAg安定化層16とが充分に小さな電気抵抗で導通する。これにより、従来過電流の通電経路として機能しにくかったCu層12を通電経路として充分に機能させることが可能となり、安定化層の厚みを増加させなくても、大きな過電流に耐えることができる。
また、Ag安定化層は金属基板Bの導電層のCu層と直接接触させてもよい。図3Bに示す酸化物超電導薄膜線材1においては、貫通孔18が金属基板BのCu層12にまで達しており、Ag安定化層16の一部分16aが直接Cu層12と接触している点で、図3Aの酸化物超電導薄膜線材1と異なる。貫通孔内には、Ag安定化層の一部分16aがCu層12と接触するように形成され、その上にCu安定化層17が形成されている。導電性の優れたAg安定化層17が直接Cu層12と接触していることにより、Cu層12は、より充分に小さな電気抵抗でAg安定化層16と導通する。これにより、従来過電流の通電経路として機能しにくかったCu層12を通電経路として充分に機能させることが可能となり、安定化層の厚みを増加させなくても、大きな過電流に耐えることができる。
図3Cに示す酸化物超電導薄膜線材1においては、Ag安定化層16が金属基板BのCu層12のサイド側端面19で接触している点で、図3Aおよび図3Bの酸化物超電導薄膜線材1と異なる。本実施態様の酸化物超電導薄膜線材1の場合、金属基板Bのサイド端部でCu層12が露出しており、導電性に優れたAg安定化層16がCu層12のサイド側端面19と接触している。これにより、金属基板BのCu層12が充分に小さな電気抵抗でAg安定化層16と導通する。これにより、従来過電流の通電経路として機能しにくかったCu層12を通電経路として充分に機能させることが可能となり、安定化層の厚みを増加させなくても、大きな過電流に耐えることができる。
(1)金属基板
金属基板Bは、支持基材と支持基材上に位置する導電層を有する。金属基板BにはCu層12を備える2軸配向性の金属基板が用いられ、例えばSUS/Cu/Niクラッド材である。例えば、SUS層11、Cu層12およびNi層13の厚みがそれぞれ100μm程度、20〜50μm、2〜3μmの金属基板が好ましく用いられる。ここで、SUS層は支持基材であり、導電層は内層のCu層12および表層のNi層13である。導電層のCu層12およびNi層13はSUS層11より導電性に優れる。このような金属基板Bは、例えば圧延によりSUS層11にCuを貼り合わせた後、Cu層12の表面にNiめっきを施すことによって製造される。
中間層14は、金属基板B側から順に金属基板の配向を引き継いで中間層をエピタキシャル成長させるためのシード層(種層)、金属基板BのNiなどの元素が酸化物超電導層15側に拡散するのを防止するためのバリア層(拡散防止層)、酸化物超電導層15と格子整合性を有し、酸化物超電導層をエピタキシャル成長させるためのキャップ層(格子整合層)の多層構造で形成されており、例えば、Y2O3、YSZ、CeO2の3層構造で、それぞれの厚みが0.1〜0.2μm、0.2〜0.4μm、0.1μm程度の中間層が好ましく用いられる。
酸化物超電導層15は、エピタキシャル成長によって2軸配向させたレア・アース系の酸化物超電導材料で形成される。具体的には、例えばGdBCO(GdBa2Cu3O7−δ)が好ましく用いられる。厚みは特に限定されず、要求性能などに応じて適宜決定されるが、例えば1〜5μmである。なお、酸化物超電導層15は、GdBCOに限定されるものではなく、REBCO(REBa2Cu3O7−δ:REはレア・アース元素)で示される酸化物超電導材料を用いることができる。
安定化層は、Ag安定化層16とCu安定化層17からなる。
Ag安定化層16は、酸化物超電導層15上、あるいは、金属基板Bと積層体の外周面を覆うように、例えば5〜10μmの厚みで設けられている。Agは導電性に優れ、且つ酸化物超電導材料やCuと密着性がよい金属であるため、酸化物超電導層15、あるいは細線化された金属基板と積層体の外周面を被覆するとともに貫通孔18を貫通する安定化層の材料として好適である。
Cu安定化層17は、Ag安定化層16の外側に、酸化物超電導薄膜線材の外周面全体を被覆するように、例えば10〜50μmの厚みで設けられている。Cuは導電性に優れ、且つAgよりも安価であるため、このように細線化された金属基板と積層体の外周面を被覆するとともに貫通孔18を貫通する安定化層の材料として好適である。
次に、本実施の形態に係る酸化物超電導薄膜線材1の製造方法について、まず、図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1を例として、以下に工程順に説明する。
(1)中間層の形成
まず、金属基板B上に中間層14を形成する。具体的には、例えば10mmもしくはそれ以上の幅の金属基板Bを用い、Ni層13上にY2O3層、YSZ層、CeO2層を順に形成する。中間層14の形成には通常スパッタ法などのPVD法を用いる。
次に、中間層14上にエピタキシャル成長により酸化物超電導層15を形成する。酸化物超電導層15の成膜には前記のようにPVD法、MOD法などを用いることができ、PVD法としてはPLD(Pulse Laser Deposition)法、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法などを挙げることができるが、PLD法を用いた場合、ターゲットと同じ組成比の薄膜を容易に形成できるため好ましい。
次に、例えばDCスパッタ法などのスパッタ法を用いてAg安定化層16を酸化物超電導層15上に形成する。なお、Ag安定化層16の形成後、必要に応じて酸素雰囲気中で熱処理を行う。
次に、前記した機械スリット、レーザースリットなどを用いて、中間層14、酸化物超電導層15およびAg安定化層16を積層した積層体Sと金属基板Bとを所定の幅に切断することにより細線化する。
次に、細線化された金属基板Bおよび積層体Sから金属基板Bの導電層の一部を露出させる加工を行う。図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1においては、Ag安定化層16、酸化物超電導層15、中間層14からなる積層体Sを貫通して金属基板Bの表層(具体的には、Ni層13)に達する所定の大きさの貫通孔18を、所定の数、所定の位置にレーザー加工等により形成する。
次に、細線化され、貫通孔18が形成された酸化物超電導薄膜線材の外周面にめっきによりCu安定化層17を形成する。このとき、上記(5)の導電層の露出加工において、形成された貫通孔18の中にもCuがめっきされて、貫通孔18を貫通するCu安定化層17の一部分17aが形成される。
めっき液:硫酸銅五水和物(CuSO4;5H2O) 75g/L
硫酸(H2SO4) 190g/L
塩化カリウム(KCl) 75g/L
光沢剤 0.001g/L
電流密度:5A/dm2
図2Bに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例1)の製造方法については、上記した図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法における(5)の導電層の露出加工において、積層体Sに加えてNi層13をも貫通してCu層12にまで到達する貫通孔18を形成する点で、図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法と異なる。その他の工程は同じであるため説明を省略する。上記した通り、金属基板Bの導電層のCu層12およびNi層13の厚みは、それぞれ、例えば20〜50μm、および2〜3μmである。このように、Ni層13の厚みに比べてCu層12は十分に厚いため、Cu層12に到達するように貫通孔を形成することはより容易である。
図2Cに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例2)の製造方法については、上記した図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法における(5)の導電層の露出加工において、貫通孔を設けずに、金属基板BのCu層12のサイド側端面19が露出される点で、図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法と異なる。金属基板Bのサイド側端面のCu層12の露出加工は、金属基板Bのサイド側端面を被覆するドロスなどの被覆物を除去して、金属基板Bのサイド側端面にCu層12を露出させる。
次に、図3Aに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例3)の製造方法について工程順に以下、説明する。
図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法の場合と同様にして、金属基板B上に中間層14および酸化物超電導層15を形成して積層体を形成する。なお、酸化物超電導層15を形成後、その上に、Ag安定化層16を続いて形成して積層体としてもよいが、しなくてもよい。
次に、上記した機械スリット、レーザースリットなどを用いて、上記積層体と金属基板Bを所定の幅に切断することにより細線化する。
次に、細線化された積層体および金属基板Bから金属基板Bの導電層の一部を露出させる加工を行う。図3Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法においては、上記積層体を貫通して金属基板Bの表層に達する所定の大きさの貫通孔18を、所定の数、所定の位置にレーザー加工等により形成する。
次に、例えばDCスパッタ法などのスパッタ法を用いて、上記積層体上にAg安定化層16を形成する。これにより、酸化物超電導層15上にAg安定化層が形成されると共に、上記の(4)導電層の露出加工において形成された貫通孔18の中にもAg層が形成されて、貫通孔18を貫通するAg安定化層16の一部分16aが形成される。
次に、酸化物超電導薄膜線材1の外周面にめっきによりCu安定化層17を形成する。これにより、積層体Sおよび金属基板Bの周囲を覆うようにCu安定化層17が形成される。このとき、貫通孔内に形成されたAg安定化層の一部分16a上にもCu安定化層17が形成される。この製造方法では、貫通孔内に露出した酸化物超電導層15の端面はAg安定化層16で覆われているので、Cu安定化層形成において、めっき液による酸化物超電導層15の劣化が防止できる。なお、めっきの条件は、図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法に記載した通りである。
図3Bに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例4)の製造方法については、上記した変形例3の製造方法の(5)導電層の露出加工において、積層体に加えてNi層13をも貫通してCu層12にまで到達する貫通孔18を形成する点で、図3Aに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例3)の製造方法と異なる。その他の工程は同じであるため説明を省略する。上記した通り、金属基板Bの導電層のCu層12およびNi層13は、それぞれ、例えば20〜50μm、および2〜3μmの厚みである。このように、Ni層13の厚みに比べてCu層12は十分に厚いため、Cu層12に到達するように貫通孔を形成することはより容易である。
次に、図3Cに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例5)の製造方法について工程順に以下、説明する。
図3Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法の場合と同様にして、金属基板B上に中間層14および酸化物超電導層15を形成して積層体を形成する。なお、酸化物超電導層15を形成後、その上に、Ag安定化層16を続いて形成して積層体としてもよいが、しなくてもよい。
次に、上記した機械スリット、レーザースリットなどを用いて、上記積層体と金属基板Bを所定の幅に切断することにより細線化する。
次に、細線化された積層体および金属基板Bから金属基板Bの導電層の一部を露出させる加工を行う。図3Cに示す酸化物超電導薄膜線材1(変形例5)の製造方法においては、金属基板Bのサイド端部を被覆するドロスなどの被覆物を除去して、金属基板Bのサイド端部にCu層12を露出させる。露出の方法としては、積層体のサイド端部を基板を歪ませることなく切断可能な刃を有する特殊な切断装置を用いて積層体のサイド端部を切除する方法も考えられるが、研磨によって被覆物だけを除去する方法が線材の品質を低下させることなく確実に被覆物を除去してCu層を露出させることができるため好ましい。そして、具体的な研磨方法としては、前記したように、例えば、砥粒による研削や、メカノケミカル研磨、サンドペーパーや研磨用ベルトによる研磨などの方法を採用することができる。
次に、例えばDCスパッタ法などのスパッタ法を用いて、上記積層体および金属基板Bの周囲を覆うようにAg安定化層16を形成する。これにより、酸化物超電導層15上にAg安定化層が形成されると共に、上記(4)の導電層の露出加工において金属基板Bのサイド端部に露出したCu層12のサイド側端面19上にもAg安定化層16が形成される。
次に、Ag安定化層が形成された酸化物超電導薄膜線材1の外周面にめっきによりCu安定化層17を形成する。このとき、金属基板Bのサイド側端面19に露出した酸化物超電導層15の端面はAg安定化層16で覆われているので、Cu安定化層形成において、めっき液による酸化物超電導層15の劣化が防止できる。なお、めっきの条件は、図2Aに示す酸化物超電導薄膜線材1の製造方法に記載した通りである。
次に、実験例に基づき、本発明をより具体的に説明する。
最初に、金属基板として、厚み150μm、幅30mm、長さ1mのSUS/Cu/Niクラッド材(SUS層:100μm、Cu層:48μm、Ni層:2μm)を用意した。次に、金属基板上に、スパッタ法を用いて、厚み0.5μmの3層構造の中間層(Y2O3:0.1μm、YSZ:0.3μm、CeO2:0.1μm)を形成した。
次に、各実験例の酸化物超電導薄膜線材に13msecの矩形波で電流を印加し、酸化物超電導薄膜線材が破損(焼損)したときの電流値を測定した。その結果、実験例3では350Aで焼損が発生したのに対し、実験例1および2では、同一サイズ、同一構成の酸化物超電導薄膜線材でありながら、500Aまで焼損が発生せず、1.4倍以上の過電流に耐えられることが確認された。
Claims (12)
- 金属基板と積層体とCu安定化層を有する酸化物超電導薄膜線材であって、
前記金属基板は、支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、
前記導電層は、内層のCu層と2軸配向している表層を含み、
前記積層体は、前記金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層、Ag安定化層が積層され、
前記Cu安定化層は、前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うように形成され、
前記Cu安定化層および前記Ag安定化層のうち少なくとも一方の安定化層が、前記金属基板の前記導電層の少なくとも一部分に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように形成されている酸化物超電導薄膜線材。 - 前記積層体の表面から前記金属基板の前記導電層に至る貫通孔が、少なくとも1箇所設けられており、前記Cu安定化層が、前記貫通孔を貫通して前記金属基板の前記導電層に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように形成されている請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材。
- 前記Cu安定化層が、前記金属基板の前記Cu層のサイド側端面の少なくとも一部分と接触して、前記金属基板の前記Cu層と電気的に導通している請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材。
- 前記積層体の表面から前記金属基板の前記導電層に至る貫通孔が、少なくとも1箇所設けられており、前記Ag安定化層が、前記貫通孔を貫通して前記金属基板の前記導電層に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように形成されている請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材。
- 前記Ag安定化層が、前記金属基板の前記Cu層のサイド側端面の少なくとも一部分と接触して、前記金属基板の前記Cu層と電気的に導通している請求項1に記載の酸化物超電導薄膜線材。
- 支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層が内層のCu層と2軸配向している表層を含む幅広の金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層、Ag安定化層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、
前記金属基板および前記積層体を所定の幅に切断して細線化する細線化工程と、
細線化された前記金属基板および前記積層体から前記金属基板の前記導電層の一部を露出させる導電層露出工程と、
前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うようにCu安定化層を形成するCu安定化層形成工程と、を備え、
前記Cu安定化層形成工程において、前記Cu安定化層が前記金属基板の前記導電層の露出した部分に接触して、電気的に導通するように前記Cu安定化層を形成する酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 前記導電層露出工程は、細線化された前記積層体の表面から前記金属基板の前記導電層に至る貫通孔を、少なくとも1箇所設ける導電層露出工程であり、
前記Cu安定化層形成工程において、前記貫通孔を貫通して前記金属基板の前記導電層に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように前記Cu安定化層を形成する請求項6に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 前記導電層露出工程は、細線化された前記積層体および前記金属基板のサイド側端面から、前記金属基板の前記Cu層の少なくとも一部分を露出させる導電層露出工程であり、
前記Cu安定化層形成工程は、前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うように前記Cu安定化層を形成して、露出した前記金属基板の前記Cu層と前記Cu安定化層とを導通させるCu安定化層形成工程である請求項6に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 前記導電層露出工程において、細線化された前記積層体および前記金属基板のサイド側端面を研磨して、前記金属基板の前記Cu層の少なくとも一部分を露出させる請求項8に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。
- 支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層が内層のCu層と2軸配向している表層を含む幅広の金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、
前記金属基板および前記積層体を所定の幅に切断して細線化する細線化工程と、
細線化された前記積層体の表面から前記金属基板の前記導電層に至る貫通孔を、少なくとも1箇所設ける導電層露出工程と、
前記積層体上にAg安定化層を形成するAg安定化層形成工程と、
前記Ag安定化層が形成された前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うようにCu安定化層を形成するCu安定化層形成工程と、を備え、
前記Ag安定化層形成工程において、前記貫通孔を貫通して前記金属基板の前記導電層に接触して、前記金属基板の前記導電層と電気的に導通するように前記Ag安定化層を形成する酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 支持基材と前記支持基材上に位置する導電層を備え、前記導電層が内層のCu層と2軸配向している表層を含む幅広の金属基板上に、前記金属基板側から順に中間層、酸化物超電導層を形成して積層体を形成する積層体形成工程と、
前記金属基板および前記積層体を所定の幅に切断して細線化する細線化工程と、
細線化された前記積層体および前記金属基板のサイド側端面から、前記金属基板の前記Cu層の少なくとも一部分を露出させる導電層露出工程と、
前記積層体および前記金属基板上にAg安定化層を形成するAg安定化層形成工程と、
前記Ag安定化層が形成された前記積層体および前記金属基板の周囲をさらに覆うようにCu安定化層を形成するCu安定化層形成工程と、を備え、
前記Ag安定化層形成工程において、前記積層体および前記金属基板の周囲を覆うように前記Ag安定化層を形成して、露出した前記金属基板の前記Cu層と前記Ag安定化層とを導通させる酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 - 前記導電層露出工程において、細線化された前記積層体および前記金属基板のサイド側端面を研磨して、前記金属基板の前記Cu層の少なくとも一部分を露出させる請求項11に記載の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。
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