JPWO2015129418A1 - 防水型電子機器及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 53
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 35
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 30
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 30
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 22
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 86
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 8
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 4
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- FDDDEECHVMSUSB-UHFFFAOYSA-N sulfanilamide Chemical compound NC1=CC=C(S(N)(=O)=O)C=C1 FDDDEECHVMSUSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940124530 sulfonamide Drugs 0.000 description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 2
- -1 thermal spraying Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明の第2の態様によると、防水型電子機器の製造方法は、半導体素子を含む電子部品をリードフレーム上に搭載して、半導体素子の電極と、リードフレームのリードとをボンディングし、リードフレームに熱伝導可能に放熱部材を設け、電子部品と放熱部材とを、リードフレームのリードの一部が外部に延出されるように絶縁材で覆って電子部品構造体を形成し、電子部品構造体の放熱部材の外表面および絶縁材における少なくとも放熱部材の周囲部分に防水膜を形成する。
以下、図を参照して、本発明に係る防水型電子機器およびその製造方法の一実施の形態を説明する。
[防水型電子機器100の構造]
図1は、本発明の一実施の形態としての防水型電子機器の断面図であり、図2は、図1に図示された防水型電子機器を上方からみた内部断面図である。
防水型電子機器100は、例えば、ハイブリッド自動車や電気自動車に搭載され、モータ等を駆動する電力変換装置として用いられる。
防水型電子機器100は、電子部品構造体110(詳細は後述する)と、電子部品構造体110の周側面および底面に形成された防水膜109とを備えている。電子部品構造体110は、リードフレーム102上に搭載される電子部品101と、電子部品101とリードフレーム102の周囲を覆う有機樹脂により形成された絶縁材104、一面に露出する放熱部材108等の部材を含む。
電子部品101は、例えば、絶縁ゲート型トランジスタ(IGBT)のような大電力を扱う半導体素子により形成されている。電力変換装置等の電子機器は、自動車のインバータに使用されるため、大電力を扱う必要があり、電子部品101は、動作時の発熱量が大きいパワー用のIGBTが使用される。
電子部品101は、その裏面がはんだ等の接合材105により、リードフレーム102に接合されている。リードフレーム102は、銅、アルミニウムまたはそれらを主成分とする合金により形成されており、電子部品101が搭載されるダイ102aと、複数のリード102bを有する。電子部品101の主面には電極(図示せず)が形成され、各電極は、各リード102bに、アルミニウムや金等により形成されたワイヤ103によりボンディングされている。
防水膜109は、例えば、アルミニウム、ニッケル、錫、クロム等の金属、または、テフロン(登録商標)のような高耐水性の樹脂により形成されている。防水膜109は、放熱部材108の外表面を含め、放熱部材108から露出する絶縁材104の周側面および底面の全面に形成 されている。防水膜109の形成方法は、後述する。
次に、図3(a)〜(d)を参照して、防水型電子機器100の製造方法の一実施の形態を説明する。
図3(a)に図示されるように、放熱部材108に中間伝熱部材107を接合する。接合方法は、溶接、はんだ付け、ろう付、摩擦攪拌接合等を用いることができる。放熱部材108をセラミクスとしてもよいが、本体108aを金属材料として、冷却フィン108bのみをセラミクスとしてもよい。
絶縁部材106を樹脂により形成する場合は、高伝熱性を有する樹脂であることが望ましい。完全硬化する前の粘着性を有する樹脂を中間伝熱部材107上に搭載して硬化する。
絶縁部材106をセラミクスにより形成する場合は、溶接、はんだ付け、摩擦攪拌接合等により接合するか、または、中間伝熱部材107との間に高熱伝導性樹脂を介在して接合する。
接合方法は、中間伝熱部材107と絶縁部材106とを接合する場合と、同様な方法によることができる。
防水膜109の形成方法は、スパッタ、蒸着、無電解めっき、コールドスプレー、溶射、エアロゾルデポジション法、または上記いずれかの方法による給電用薄膜形成と電気めっきとを組み合わせた方法、を用いることができる。中でも、コールドスプレーまたは給電用薄膜形成と電気めっきとを組み合わせた方法は、厚膜を効率的に形成することができる点で好ましい。
図4(a)〜(e)を参照して、防水型電子機器100の他の製造方法の一例について説明する。以下に説明する製造方法は、特に、格別の接合工程を経ることなく、絶縁部材106と、中間伝熱部材107と、放熱部材108とを一体化して形成することが可能であり、大変、効率的であるという特徴を有している。
放熱部材108の厚さと中間伝熱部材107の厚さとの合計よりも深いキャビティ201が形成された型200を準備する。型200は、次の工程で説明する中間伝熱部材107の溶融温度以上の高融点温度を有し、かつ、凝固した中間伝熱部材107からの分離が可能な材料とする必要がある。例えば、アルミナなどのセラミクス材を挙げることができる。
型200のキャビティ201に、後に放熱部材108となる高熱伝導性材料208を、放熱部材108の厚さ(冷却フィン108bの厚さを含む)よりも少し薄く収容する。高熱伝導性材料208は粉末状のもので、例えば、酸化マグネシウム、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、炭素粉末等、通常のバルク状態の金属よりも高熱伝導性の粉末を用いる。中でも、炭素粉末は、コスト面及び加工容易性において優れており好ましい。加工容易性が必要とされる理由は、後述する。そして、高熱伝導性材料208の上面208aから離間して絶縁部材106を配置する。高熱伝導性材料208の上面208aと絶縁部材106との間隔は、中間伝熱部材107の厚さ分である。
高熱伝導性材料208と絶縁部材106との間に、後に中間伝熱部材107となる溶融した低融点金属材料207を注入する。低融点金属材料207は、高熱伝導性材料208よりも低融点の金属材料とする。低融点金属材料207の注入は、低融点金属材料207が絶縁部材106の下面に達した時点で終了する。
溶融した低融点金属材料207を注入することにより、高熱伝導性材料208は、低融点金属材料207が混合された、高熱伝導性/低融点金属混合材料209(図4(c)参照)となる。また、絶縁部材106近傍の表面側の低融点金属材料207は、高熱伝導性/低融点金属混合材料209と絶縁部材106とを接合する中間伝熱部材107(図4(c)参照)となり、高熱伝導性/低融点金属混合材料209、中間伝熱部材107および絶縁部材106が一体化された加工前放熱体構成体240が構成される。
高熱伝導性/低融点金属混合材料209、中間伝熱部材107および絶縁部材106が一体化された加工前放熱体構成体240を、型200から取り出す。
実施形態1の場合と同様、加工前放熱体構成体240の絶縁部材106にリードフレーム102を接合し、電子部品101の裏面を、接合材105によりダイボンディングする。また、ワイヤボンディングにより、電子部品101の電極(図示せず)とリードフレーム102のリード102bとをワイヤ103により接続し、中間構造体220Aを形成する。
そして、中間構造体220Aを、高熱伝導性/低融点金属混合材料209が露出されるように絶縁材104により封止する。この場合においても、絶縁材104としてエポキシ系樹脂等を用い、モールド成形により行うことが好ましい。
高熱伝導性/低融点金属混合材料209を機械加工して複数の冷却フィン108bを形成する。これにより、高熱伝導性/低融点金属混合材料209は、複数の冷却フィン108bを有する放熱部材108となる。このとき、高熱伝導性材料208が、加工性が容易な材料により形成されていると、複数の冷却フィン108bを形成する際の加工の効率性を高めることができる。これにより、実施形態1と同様な電子部品構造体110が形成される。
この方法によれば、酸化マグネシウム、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、炭素粉末等の高熱伝導性材料を用いることができ、放熱部材108の放熱性を大きくすることができる。
また、上記においては、放熱部材108の冷却フィン108bを、中間構造体220Aを形成後に、機械加工により形成する方法として例示した。しかし、型200のキャビティ201に、複数の冷却フィン108bに対応する突起を形成しておき、高熱伝導性材料208を入れるようにしてもよい。低融点金属材料207を注入することにより、型200のキャビティ201内で、複数の冷却フィン108bを有する放熱部材108が形成されるので、後から高熱伝導性/低融点金属混合材料209を加工して冷却フィン108bを形成する方法よりも効率的となる。
実施形態1では、電子部品構造体110の上面110a全面に防水膜109を施さない構造として例示した。しかし、電子部品構造体110の上面110aにおいて、リード102bの周縁付近まで、防水膜109を形成して防水領域を広げ、より耐水性を向上する構造とすることもできる。
図5および図6(a)、図6(b)を参照して、その方法を説明する。
図5に図示されるように、電子部品構造体110の各リード102bの絶縁材104から突出している部分をレジスト111により被覆する。この状態で、電子部品構造体110の絶縁材104の表面全面に防水膜109を形成する。防水膜109の形成方法は、上述した通りである。
防水膜109は、電子部品構造体110の上面110aにも形成されているが、各リード102bの周縁部には形成されておらず、各リード102bには接触していない。防水型電子機器100は、図1に図示されるように、電子部品構造体110の上面110aが冷媒121に浸漬されない状態で使用される。しかし、各リード102bの周縁部に汚れが付着することによる絶縁不良が生じることがある。したがって、上記構造を採用する場合は、汚れ付着による各リード102bの短絡を防止するように上面110aにおいて防水膜109が形成されない周縁部を設定する必要がある。
なお、各リード102bと絶縁材104の境界部分の強度を高めるため、各リード102bの周囲を樹脂等で補強するようにしてもよい。これにより、上述した汚れ付着による絶縁不良も防止することができる。
図7(a)〜(c)は、放熱体構成体の拡大断面図である。
図7(a)は、図3に図示された放熱体構成体230の拡大断面図である。
放熱体構成体230は、放熱部材108、中間伝熱部材107および絶縁部材106が一体的に接合されて形成されている。絶縁部材106は、放熱部材108および中間伝熱部材107の面積より小さい面積とされている。
図7(a)に図示された放熱体構成体230では、平面視において放熱部材108と中間伝熱部材107とが同一形状、同一サイズとされており、領域Aにおいて、放熱部材108、中間伝熱部材107、絶縁材104および防水膜109の4つの部材が交わっている。材質が異なる多くの部材が交わる箇所においては、応力集中が生じる可能性がある。
(1)実施の形態の電子部品構造体110は、半導体素子である電子部品101の一面側を覆う絶縁材104と、電子部品101の他面側に放熱部材108とを備える。放熱部材108と絶縁材104の表面には、冷媒121に浸漬される領域に防水膜109を設けて、防水性を持たせた。このため、電子部品構造体110全体を収容する金属製ケースが必要でなく、材料コストを低減し、生産性を向上することができる。
(3)電子部品構造体110は、中間構造体220を絶縁材104により封止するだけの一次封止体であり、二次封止を行う必要がないので、これによっても、生産性が向上する。
(6)図7(c)に図示されるように、放熱部材108と中間伝熱部材107とが同じ材料で形成されている構造の放熱体構成体230Bとすることにより、放熱部材108、中間伝熱部材107、絶縁材104および防水膜109の4つの部材が交わる構造においても、異種材料で形成する場合よりも応力集中を緩和することができる。
図8は、本発明の実施形態2による防水型電子機器100Aの断面図である。
実施形態2の防水型電子機器100Aは、その上下の端部が、冷媒121が流れる冷却流路の外側に突き出す状態で、換言すれば、防水型電子機器100Aの中央領域のみを冷媒121に浸漬した状態で使用される。
電子部品構造体110Aの上面110aおよび下面110bは、冷媒121が流れる冷却流路の外側に配置されており、この上下両面110a、110bには、防水膜109は形成されておらず、絶縁材104Aが露出している。つまり、防水型電子機器100Aでは、防水膜109は、上面110aおよび下面110bを除く、周側面の全面に形成されている。リードフレーム102Aは、中央部のダイ102aから上下両方向に延出されたリード102bを有している。上下両方向に延出されたリード102bのそれぞれは、電子部品101の電極にワイヤ103によりボンディングされ、先端側が絶縁材104Aの外側に引き出されている。
なお、実施形態2においても、図6に図示されているように、電子部品構造体110Aの上面110aおよび/または下面110bに、各リード102bに接触しないように、防水膜109を形成してもよい。
また、図4(a)〜(c)に図示される、加工前放熱体構成体240を形成する構造および製造方法を適用することもできる。さらに、図7(b)に図示される放熱体構成体230Aまたは図7(c)に図示される放熱体構成体230Bの構造を採用することもできる。
よって、実施形態2においても、実施形態1と同様な効果を奏する。
図9は、本発明の実施形態3による防水型電子機器100Bの断面図である。
実施形態3の防水型電子機器100Bは、電子部品構造体110Bの絶縁材104Bが、放熱部材108の冷却フィン108bの上面(図9では左側の面)と面一となる厚さに形成されている点で、実施形態1の防水型電子機器100と相違する。
すなわち、図9に図示されるように、防水型電子機器100Bでは、電子部品101の主面側、すなわち防水型電子機器100Bの右側面と電子部品101の主面との距離は実施形態1の防水型電子機器100と同一である。しかし、その反対側の側面、すなわち防水型電子機器100Bの左側面と電子部品101の主面との距離は実施形態1の防水型電子機器100よりも長い。すなわち、防水型電子機器100Bの左側面は、放熱部材108の冷却フィン108bの上面と面一となる位置に形成されている。従って、防水型電子機器100Bは、冷却フィン108bの高さ分だけ、防水型電子機器100よりも厚くなっている。
このため、実施形態3の防水型電子機器100Bは、実施形態1の防水型電子機器100および実施形態2の防水型電子機器100Aよりも、強度を大きくすることができ、薄型化が必要とされる場合に適している。
図4(a)〜(c)に示した方法により、加工前放熱体構成体240を形成し、加工前放熱体構成体240にリードフレーム102を接合し、電子部品101を接合材105によりボンディングする。また、ワイヤボンディングにより、電子部品101の電極(図示せず)とリードフレーム102のリード102bとをワイヤ103により接続し、中間構造体220Aを形成する。上記において、加工前放熱体構成体240を形成する方法として、実施形態1の方法に準じた方法を用いてもよい。すなわち、冷却フィン108bが形成されていない板状冷却部材に、溶接、はんだ付け、ろう付、摩擦攪拌接合等により中間伝熱部材107を接合し、中間伝熱部材107上に未硬化の絶縁部材106を搭載して硬化する。
この後は、実施形態1に記載した方法に準じて、電子部品構造体110Bの外表面に防水膜109を形成する。
防水型電子機器100Bの他の構成は、実施形態1と同様であり、対応する部材に同一の符号を付して説明を省略する。
また、図7(b)に図示される放熱体構成体230Aまたは図7(c)に図示される放熱体構成体230Bの構造を採用することもできる。
よって、実施形態3においても、実施形態1と同様な効果を奏する。
加えて、絶縁材104Bにより強度の向上を図ることができる。
図11は、本発明の実施形態4による防水型電子機器100Cの断面図である。
実施形態4の防水型電子機器100Cは、中間構造体220の反対側の側面にも放熱体構成体(対向放熱体構成体)230を備えている点で実施形態1と相違する。以下、この相違点を主体として防水型電子機器100Cについて説明する。
実施形態1において説明した通り、電子部品101は、裏面がリードフレーム102のダイ102aに接合材105によりダイボンディングされ、主面側の不図示の電極が、ワイヤ103により各リード102bにボンディングされている。リードフレーム102は、放熱部材108、中間伝熱部材107および絶縁部材106が一体的に接合されて構成された放熱体構成体230に接合されている。
相対向する側面に配置された一対の放熱体構成体230は、基本的には同様な構造を有し、放熱部材108、中間伝熱部材107および絶縁部材106は、同一の構成である。但し、電子部品101の主面側における絶縁が確保されている構造であれば、電子部品101の主面側に設ける放熱体構成体230は、絶縁部材106を有していない構造としてもよい。また、一対の放熱体構成体230を構成する各部材の面積および/または形状を、適宜、異なるようにしてもよい。
防水型電子機器100Cの他の構成は、実施形態1と同様であり、対応する部材に同一の符号を付して説明を省略する。
また、図4(a)〜(c)に図示される、加工前放熱体構成体240を形成する構造および製造方法を適用することもできる。さらに、図7(a)に図示される放熱体構成体230Aまたは図7(b)に図示される放熱体構成体230Bの構造を採用することもできる。
よって、実施形態4においても、実施形態1と同様な効果を奏する。
図12は、本発明の実施形態5による防水型電子機器100Dの断面図である。
実施形態5の防水型電子機器100Dは、放熱部材108を備えていない構造とされている点で、実施形態1〜4の防水型電子機器100、100A〜100Cと相違する。
すなわち、防水型電子機器100Dにおいては、電子部品構造体110Dは、中間伝熱部材107に接合された絶縁部材106上にリードフレーム102が接合され、リードフレーム102上に電子部品101がダイボンディングされた構造を有する。電子部品構造体110Dは、電子部品101の周囲を覆う絶縁材104により、ほぼ直方体形状とされ、電子部品構造体110Dの上面110aを除く表面全面に防水膜109が形成されている。防水膜109を、各リード102bに接触しないように電子部品構造体110Dの上面110aに形成してもよい。
防水型電子機器100Dの他の構成は、実施形態1と同様であり、対応する部材に同一の符号を付して説明を省略する。
特に、実施形態5の防水型電子機器100Dは、放熱部材108を備えておらず、より簡素化された構造とされているので、一層、材料コストを低減し、生産性を向上することができる。
防水膜109の形成方法については、上述したが、図13(a)を参照して、再度、説明する。
絶縁材104の一面に、スパッタ、蒸着、無電解めっき、コールドスプレー、溶射、エアロゾルデポジション法、または導電性ポリマ成膜の上記いずれかの方法により給電用薄膜109aを形成する。給電用薄膜109a上に、例えば、銅、ニッケル、錫、亜鉛またはそれらの1種以上を含む合金を用いて、電気めっきにより厚膜109bを形成する。
このように、防水膜109は、給電用薄膜形成と厚膜形成とを組み合わせて形成することができる。
しかし、防水膜109を上記の方法で形成した場合、厚膜109bの表面にピンホール等のめっき欠陥が発生する可能性がある。ピンホール等のめっき欠陥は、耐食性を低下させる。
絶縁材104の一面に、上述した方法により給電用薄膜109aを形成する。給電用薄膜109a上に、スルファミン浴を用いた電気ニッケルめっきにより厚膜109bを形成する(第1電気めっき工程)。スルファミン浴を用いた電気ニッケルめっきでは、析出被膜の内部応力が小さくなることが知られている。しかし、この電気めっきでは、図13(b)に図示するように、ピンホール124等のめっき欠陥が発生する可能性がある。
これにより、図13(c)に図示されるように、厚膜109b上に、表面が平坦な上部被膜109cが形成された、耐食性が高い防水膜109が形成される。
また、電気ニッケルめっき膜を形成する際、耐食性を向上する金属微粉末、例えば、Cr,Mo、W、Ti等が共析されるようにしてもよい。
このように、各実施形態における防水型電子機器100、100A〜100Dは、電子部品構造体110、110A〜110Dを収容するための金属製ケースを備えておらず、また、電子部品構造体110、110A〜110Dの構造も簡素である。
このため、材料コストを低減し、生産性を向上するという効果を奏する。
日本国特許出願2014年第33952号(2014年2月25日出願)
101 電子部品
102、102A リードフレーム
102a ダイ
102b リード
103 ワイヤ
104、104A、104B、104C 絶縁材
105 接合材
106 絶縁部材
107、107A 中間伝熱部材
108 放熱部材
108b 冷却フィン
109 防水膜
109a 給電用薄膜
109b 厚膜
109c 上部被膜
110、110A〜110D 電子部品構造体
110a 上面
110b 下面
116 中間伝熱体
121 冷媒
207 低融点金属材料
208 高熱伝導性材料
209 高熱伝導性/低融点金属混合材料
220、220A 中間構造体
230、230A,230B 放熱体構成体
240 加工前放熱体構成体
Claims (15)
- 半導体素子を含む電子部品と、前記電子部品に熱伝導可能に設けられた放熱部材と、前記放熱部材の一面を露出して前記電子部品の周囲を覆う絶縁材とを備えた電子部品構造体と、
前記電子部品構造体の少なくとも冷媒への浸漬領域の全面に形成された防水膜とを備える、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記放熱部材は、複数の冷却フィンを有し、前記防水膜は、前記各冷却フィンの表面を覆って形成されている、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記防水膜は、金属材料により形成されている、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記防水膜は、水素よりイオン化傾向が小さい金属材料または表面に酸化膜が形成された金属材料により形成されている、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記電子部品構造体は、前記半導体素子の電極に接続され、前記絶縁材の一側面および前記一側面と対向する他側面から外部に延出された複数のリードを有している、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記電子部品構造体は、さらに、前記電子部品が搭載されたリードフレームを有し、前記リードフレームは、前記半導体素子の電極に接続され、前記絶縁材の一側面から外部に延出された複数のリードを有し、
前記防水膜は、前記絶縁材の少なくとも前記一側面以外の側面に形成されている、防水型電子機器。 - 請求項6に記載の防水型電子機器において、
前記リードフレームと前記放熱部材との間に絶縁部材が設けられ、前記絶縁部材と前記放熱部材との間に中間伝熱部材が設けられている、防水型電子機器。 - 請求項7に記載の防水型電子機器において、
前記中間伝熱部材は、前記放熱部材よりも大きい面積を有する、防水型電子機器。 - 請求項7に記載の防水型電子機器において、
前記絶縁部材は、前記中間伝熱部材および前記放熱部材よりも小さい面積を有する、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記放熱部材は、複数の冷却フィンを有し、
前記絶縁材は、前記各冷却フィンの上面と、ほぼ面一に形成されている、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記電子部品構造体は、さらに、前記一面側に対向する他面側に、前記電子部品と熱伝導可能に設けられた対向放熱部材を備える、防水型電子機器。 - 請求項1に記載の防水型電子機器において、
前記絶縁材は、エポキシ樹脂、またはエポキシ樹脂に、熱伝導度がシリカよりも大きい材料からなるフィラーが混合された材料により形成されている、防水型電子機器。 - 半導体素子を含む電子部品をリードフレーム上に搭載して、前記半導体素子の電極と、前記リードフレームのリードとをボンディングし、
前記リードフレームに熱伝導可能に放熱部材を設け、
前記電子部品と前記放熱部材とを、前記リードフレームの前記リードの一部が外部に延出されるように絶縁材で覆って電子部品構造体を形成し、
前記電子部品構造体の前記放熱部材の外表面および前記絶縁材における少なくとも前記放熱部材の周囲部分に防水膜を形成する、防水型電子機器の製造方法。 - 請求項13に記載の防水型電子機器の製造方法において、
前記防水膜の形成は、1層目の金属膜を形成する第1電気めっき工程と、前記1層目の金属膜の表面の凹凸を平滑化する2層目の金属膜を形成する第2電気めっき工程とを含む、防水型電子機器の製造方法。 - 請求項13または14に記載の防水型電子機器の製造方法において、
前記電子部品構造体は、前記リードフレームと前記放熱部材との間に配置された絶縁部材と中間伝熱部材とをを含み、
前記電子部品構造体の形成は、金属粉末を型に収容し、前記絶縁部材と前記型との隙間に、前記金属粉末より低融点で、熱伝導性が小さい溶融した金属材料を注入して前記中間伝熱部材と前記放熱部材とを形成する工程を含む、防水型電子機器の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014033952 | 2014-02-25 | ||
JP2014033952 | 2014-02-25 | ||
PCT/JP2015/053124 WO2015129418A1 (ja) | 2014-02-25 | 2015-02-04 | 防水型電子機器及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015129418A1 true JPWO2015129418A1 (ja) | 2017-03-30 |
JP6235695B2 JP6235695B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=54008744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016505128A Active JP6235695B2 (ja) | 2014-02-25 | 2015-02-04 | 防水型電子機器の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9852962B2 (ja) |
JP (1) | JP6235695B2 (ja) |
CN (1) | CN105849899B (ja) |
DE (1) | DE112015000446B4 (ja) |
WO (1) | WO2015129418A1 (ja) |
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DE112015004424B4 (de) * | 2014-10-29 | 2021-05-20 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Vorrichtung |
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JP6696380B2 (ja) * | 2016-09-20 | 2020-05-20 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
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CN107039363A (zh) * | 2017-03-09 | 2017-08-11 | 广东美的制冷设备有限公司 | 功率模块及其制造方法 |
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- 2015-02-04 CN CN201580003225.5A patent/CN105849899B/zh active Active
- 2015-02-04 US US15/114,431 patent/US9852962B2/en active Active
- 2015-02-04 DE DE112015000446.7T patent/DE112015000446B4/de active Active
- 2015-02-04 WO PCT/JP2015/053124 patent/WO2015129418A1/ja active Application Filing
- 2015-02-04 JP JP2016505128A patent/JP6235695B2/ja active Active
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---|---|
DE112015000446T5 (de) | 2016-12-01 |
US20160343636A1 (en) | 2016-11-24 |
CN105849899A (zh) | 2016-08-10 |
CN105849899B (zh) | 2019-03-12 |
DE112015000446B4 (de) | 2023-05-04 |
WO2015129418A1 (ja) | 2015-09-03 |
US9852962B2 (en) | 2017-12-26 |
JP6235695B2 (ja) | 2017-11-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20170126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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