JPWO2015072136A1 - SiC単結晶の製造方法 - Google Patents

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Abstract

溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、黒鉛坩堝を用いてもAlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる製造方法を提供する。本実施形態による製造方法は、Si−C溶液を黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。Si−C溶液は、Si、AlおよびCuを式(1)を満たす範囲で含有し、Si−C溶液の残部は、Cおよび不純物からなる。式(1)において、[Si]、[Al]、および[Cu]には、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%含有量を表す。0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)

Description

本発明は、SiC単結晶の製造方法に関し、さらに詳しくは、ドーパントとしてAlを含有するSiC単結晶を溶液成長法により製造する方法に関する。
SiC単結晶を製造する方法として、昇華法、及び、溶液成長法等がある。昇華法は、反応容器内で、原料を気相の状態にして、種結晶の上に供給し、単結晶を成長させる。
溶液成長法は、Si−C溶液に種結晶を接触させ、種結晶の上にSiC単結晶を成長させる。ここで、Si−C溶液とは、SiまたはSi合金の融液にC(炭素)が溶解した溶液のことをいう。溶液成長法では、通常、Si−C溶液を収容する容器として、黒鉛坩堝が使用される。黒鉛坩堝内でSiを含む原料を融解して融液を形成する場合、黒鉛坩堝からこの融液中にCが溶け出す。その結果、融液は、Si−C溶液となる。
C. Jacquier 外5名、Journal of Materials Science, 2002, vol. 37, p. 3299-3306 C. Jacquier 外5名、Journal of Crystal Growth, 254, 2003, p. 123-130
導電型がp型のSiC単結晶を製造する場合、ドーパントとして、通常、Al(アルミニウム)がドープされる。昇華法によるSiC単結晶の製造は、通常、減圧雰囲気下で行われ、また、反応容器として、黒鉛坩堝が用いられる。減圧雰囲気下では、Alは気化しやすい。黒鉛坩堝は、多孔質であるので、気化したAlは、黒鉛坩堝を透過する。このため、AlがドープされたSiC単結晶を、昇華法により製造しようとすると、ドーパントであるAlが反応容器(黒鉛坩堝)から漏れ出る。したがって、Alが高濃度にドープされた低抵抗のSiC単結晶を昇華法により製造することは困難である。一方、溶液成長法では、Si−C溶液にAlを含有させれば、Alが高濃度にドープされたSiC単結晶が製造できる。
しかしながら、溶液成長法において、Si−C溶液に含有されるAlは、黒鉛と激しく反応する(上記非特許文献1参照)。そのため、黒鉛坩堝内でAlを含有するSi−C溶液を生成し、保持すれば、Alとの反応により、黒鉛坩堝が短時間で破壊される場合がある(上記非特許文献2参照)。このため、溶液成長法では、AlがドープされたSiC単結晶であって、厚みが大きいものを製造するのが困難であった。
本発明の目的は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、黒鉛坩堝を用いても、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる製造方法を提供することである。
本実施の形態によるSiC単結晶の製造方法は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法である。この製造方法は、Si、AlおよびCuを下記式(1)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ただし、[Si]、[Al]および[Cu]は、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量を表わす。
本実施の他の形態によるSiC単結晶の製造方法は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法である。この製造方法は、Si、Al、CuおよびM(Mは、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素)を、下記式(2)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
ただし、[M]は、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素のモル%で表した含有量の合計を表わす。
本実施の形態のSiC単結晶の製造方法は、黒鉛坩堝を用いても、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる。
図1は、本実施の形態のSiC単結晶の製造方法を実施するために使用可能な製造装置の概略構成図である。 図2は、Si−C溶液のAl濃度と、当該Si−C溶液から得られたSiC単結晶のAl濃度との関係を示す図である。
本実施形態のSiC単結晶の製造方法は、溶液成長法により、SiC単結晶を成長させる。上記製造方法は、Si(シリコン)、Al(アルミニウム)およびCu(銅)を下記式(1)を満たす範囲で含有し、残部がC(炭素)および不純物からなるSi−C溶液を黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ここで、[Si]、[Al]、および[Cu]には、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量が代入される。
本実施形態による製造方法では、Si−C溶液は、式(1)を満たすCuを含有する。このSi−C溶液は、Alを含有しCuを実質的に含有しないSi−C溶液と比較して、Alと黒鉛との反応を抑制する。このため、このSi−C溶液を黒鉛坩堝内に収容した場合、Si−C溶液中のAlと黒鉛坩堝との過剰な反応が抑制される。そのため、Alとの反応による黒鉛坩堝の破壊は生じ難い。したがって、本実施形態の製造方法では、結晶成長中の黒鉛坩堝の損傷が抑制されるため、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる。
Si−C溶液のCu含有量(モル%)が低すぎれば、Si−C溶液中のAlと黒鉛との反応を抑制する効果が十分に得られない。F1=[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])と定義する。ここで、[Cu]、[Si]および[Al]はそれぞれ、Si−C溶液中の各元素の含有量(モル%)である。F1が0.03以下である場合、Si−C溶液中のCu含有量が低すぎる。そのため、結晶成長中に、黒鉛坩堝がAlと激しく反応して、黒鉛坩堝が破壊される場合がある。F1が0.03よりも高ければ、Si−C溶液中のCu濃度が十分に高い。そのため、SiC単結晶の育成中に黒鉛坩堝が破壊され難く、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる。F1の好ましい下限は、0.05であり、さらに好ましくは0.1である。
一方、Si−C溶液のCu含有量が高すぎる場合、具体的には、F1が0.5を超える場合、Si−C溶液中の炭素溶解量が不十分となる。その結果、SiC単結晶の成長速度が著しく低下する。また、Cuは蒸気圧の高い元素である。F1が0.5を超える場合、Si−C溶液からのCuの蒸発が顕著となり、Si−C溶液の液面が顕著に低下する。液面が低下すると結晶成長界面の温度が低下するため、Si−C溶液の過飽和度が大きくなる。そのため、安定した結晶成長の維持が困難になる。F1が0.5以下であれば、SiC単結晶の成長速度の低下は抑制され、さらに、安定した結晶成長が維持できる。F1の好ましい上限は、0.4であり、さらに好ましくは0.3である。
Si−C溶液に含有されるAlは、SiC種結晶上に成長するSiC単結晶に取り込まれる。これにより、AlがドープされたSiC単結晶(導電型がp型のSiC単結晶)が得られる。一方、SIMS分析を行った結果、Si−C溶液に含有されるCuは、SiC単結晶には、ほとんど取り込まれないことが見出された。したがって、Cu含有量によりSiC単結晶の特性が変動することは、実質的にない。
本実施形態のSi−C溶液はさらに、任意元素として、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素を含有してもよい。Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScは、いずれも、Si−C溶液の炭素溶解量を増大させる。炭素溶解量が多いSi−C溶液を用いることにより、SiC単結晶の成長速度を大きくすることができる。
Si−C溶液が上述の任意元素を含有する場合、Si−C溶液は、式(1)に代えて、次の式(2)を満たす。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
式(2)中の[M]には、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素の含有量(モル%)が代入される。Si−C溶液に複数の上記任意元素が含有される場合、含有された任意元素の合計含有量(モル%)が[M]に代入される。
F2=[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])と定義する。F2が0.03よりも高ければ、Si−C溶液中のCu濃度が十分に高い。そのため、SiC単結晶の育成中に黒鉛坩堝が破壊され難い。F2の好ましい下限は、0.05であり、さらに好ましくは0.1である。
一方、F2が0.5未満であれば、SiC単結晶の成長速度の低下は抑制され、Cuの蒸発も抑制される。F2の好ましい上限は、0.4であり、さらに好ましくは0.3である。
Cuを実質的に含有しないSi−C溶液を用いた場合、Si−C溶液中のAlと黒鉛坩堝との反応を抑制してSiC単結晶を成長させるためには、たとえば、結晶成長温度を1200℃未満にする必要がある(上記非特許文献2参照)。この場合、SiC単結晶の成長速度は遅い。
一方、本実施形態の製造方法では、Si−C溶液が式(1)、または式(2)を満たすことにより、Si−C溶液の温度を低くする必要はない。具体的には、本実施形態の製造方法において、好ましい結晶成長温度は、1500℃より高い。ここで、「結晶成長温度」は、「結晶成長時のSi−C溶液と種結晶(結晶成長面)との界面の温度」と定義される。本実施形態の製造方法では、結晶成長温度を、次の方法で測定する。SiC単結晶の製造において、底部を有する筒状のシードシャフトを使用する。シードシャフトの底部の下端面にSiC種結晶を貼り付けて、結晶成長を行う。このとき、シードシャフトの内部に光学温度計を配置し、シードシャフトの底部の温度を測定する。光学温度計で測定された値を、結晶成長温度(℃)とする。
Si−C溶液において、黒鉛坩堝に接触する部分の最高温度は、通常、結晶成長温度より、5〜50℃程度高い。本実施形態の製造方法では、結晶成長温度が1500℃より高くても、黒鉛坩堝は破壊され難い。さらに、結晶成長温度を1500℃より高くすることにより、SiC単結晶の成長速度を大きくすることができる。結晶成長温度のさらに好ましい下限は、1600℃であり、さらに好ましくは1700℃であり、さらに好ましくは、1770℃である。
結晶成長温度が2100℃を超えると、Si−C溶液が顕著に蒸発する。したがって、結晶成長温度の好ましい上限は2100℃である。結晶成長温度のさらに好ましい上限は、2050℃であり、さらに好ましくは2000℃であり、さらに好ましくは1950℃である。
本実施形態のSiC単結晶の製造方法において、Si−C溶液はさらに、式(3)を満たすことが好ましい。
0.14≦[Al]/[Si]≦2 (3)
ここで、[Al]及び[Si]は、Si−C溶液中のAl含有量(モル%)、Si含有量(モル%)である。
F3=[Al]/[Si]と定義する。F3が0.14以上であれば、SiC単結晶のAlドープ量を、3×1019atoms/cm3以上とすることができる。この場合、SiC単結晶の比抵抗が十分に低くなる。F3のさらに好ましい下限は、0.2であり、さらに好ましくは0.3である。
一方、F3が2よりも高ければ、当該Si−C溶液から、SiCが晶出しない場合がある。F3が2以下であれば、SiCが安定して晶出しやすい。したがって、F3の好ましい上限は、2である。F3のさらに好ましい上限は、1.5であり、さらに好ましくは1である。
次に、図面を参照して、本実施形態に係るSiC単結晶の製造方法について具体的に説明する。図1は、本実施形態のSiC単結晶の製造方法に使用されるSiC単結晶の製造装置の概略構成図である。
図1を参照して、製造装置10は、チャンバ12と、黒鉛坩堝14と、断熱部材16と、加熱装置18と、回転装置20と、昇降装置22とを備える。
黒鉛坩堝14は、チャンバ12内に収容される。黒鉛坩堝14は、内部にSi−C溶液の原料を収納する。黒鉛坩堝14は、黒鉛を含有する。好ましくは、黒鉛坩堝14は、黒鉛からなる。断熱部材16は、断熱材からなる。断熱部材16は、黒鉛坩堝14を取り囲んでいる。
加熱装置18は、断熱部材16の側壁を取り囲んでいる。加熱装置18は、たとえば、高周波コイルであり、黒鉛坩堝14を誘導加熱する。黒鉛坩堝14内で、原料が融解されて、Si−C溶液15が生成される。Si−C溶液15は、SiC単結晶の原料となる。
Si−C溶液15は、上述のとおり、C、Al、およびCuを含有し、残部は、Si、および不純物からなり、上記式(1)を満たす。
Si−C溶液15は、任意元素として、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素をさらに含有してもよい。当該任意元素を含有する場合、Si−C溶液15は、上記式(2)を満たす。
Si−C溶液15の原料は、たとえば、Siと他の金属元素(Al、およびCu(ならびに、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素))との混合物である。原料を加熱して融液にし、この融液に炭素(C)が溶解することにより、Si−C溶液15が生成される。黒鉛坩堝14は、Si−C溶液15への炭素供給源になる。黒鉛坩堝14を加熱することにより、Si−C溶液15を、結晶成長温度に維持することができる。
回転装置20は、回転軸24と、駆動源26とを備える。回転軸24の上端は、断熱部材16内に位置している。回転軸24の上端には、黒鉛坩堝14が配置される。回転軸24の下端は、チャンバ12の外側に位置している。駆動源26は、チャンバ12の下方に配置されている。駆動源26は、回転軸24に連結されている。駆動源26は、回転軸24を、その中心軸線周りに回転させる。これにより、黒鉛坩堝14(Si−C溶液15)が回転する。
昇降装置22は、棒状のシードシャフト28と、駆動源30とを備える。シードシャフト28は、たとえば、主として黒鉛からなる。シードシャフト28の上端は、チャンバ12の外側に位置している。シードシャフト28の下端面28Sには、SiC種結晶32が取り付けられている。
SiC種結晶32は、SiC単結晶からなる。好ましくは、SiC種結晶32の結晶構造は、製造しようとするSiC単結晶の結晶構造と同じである。たとえば、4H多形のSiC単結晶を製造する場合、4H多形のSiC種結晶32を用いることが好ましい。SiC種結晶32は板状であり、下端面28Sに取り付けられる。
駆動源30は、チャンバ12の上方に配置されている。駆動源30は、シードシャフト28に連結されている。駆動源30は、シードシャフト28を昇降する。これにより、シードシャフト28の下端面28Sに取り付けられたSiC種結晶32を、黒鉛坩堝14に収容されたSi−C溶液15の液面に接触させることができる。駆動源30は、シードシャフト28を、その中心軸線周りに回転させる。駆動源30はさらに、シードシャフト28を、その中心軸線周りに回転させる。この場合、下端面28Sに取り付けられたSiC種結晶32が回転する。シードシャフト28の回転方向は、黒鉛坩堝14の回転方向と同じ方向であってもよいし、反対の方向であってもよい。
上述の製造装置10を用いたSiC単結晶の製造方法について説明する。初めに、上述のSi−C溶液15を、黒鉛坩堝14内で生成する。まず、黒鉛坩堝14内に、Si−C溶液15の原料を収納する。原料が収納された黒鉛坩堝14を、チャンバ12内に収納する。具体的には、黒鉛坩堝14を回転軸24上に配置する。
黒鉛坩堝14をチャンバ12内に収納した後、チャンバ12内の雰囲気を不活性ガス、たとえばAr(アルゴン)ガスで置換する。その後、加熱装置18により黒鉛坩堝14を加熱する。加熱により、黒鉛坩堝14内の原料が融解し、融液が生成される。加熱によりさらに、黒鉛坩堝14から炭素が融液に溶け込む。その結果、黒鉛坩堝14内でSi−C溶液15が生成される。黒鉛坩堝14の炭素は、Si−C溶液15中に溶出し続け、Si−C溶液15の炭素濃度は飽和濃度に近づく。
生成されたSi−C溶液15は、C、Al、およびCuを含有し、残部はSiおよび不純物からなる。Si−C溶液はさらに、式(1)を満たす。Si−C溶液15が任意元素として、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素をさらに含有する場合、Si−C溶液15は、式(1)に代えて、式(2)を満たす。
Si−C溶液15において、[Si]、[Al]、および[Cu]の比、および[Si]、[Al]、[Cu]、および[M]の比は、融解する前の原料におけるものと同じとみなすことができる。Si−C溶液15の組成がいずれの場合であっても、Si−C溶液15は、式(3)を満たすことが好ましい。
続いて、Si−C溶液15にSiC種結晶32を接触させて、SiC種結晶32上にSiC単結晶を成長させる。具体的には、Si−C溶液15を生成した後、駆動源30によりシードシャフト28を下降させる。そして、シードシャフト28の下端面28Sに取り付けられたSiC種結晶32を黒鉛坩堝14内のSi−C溶液15に接触させる。
SiC種結晶32をSi−C溶液15と接触させた後、SiC種結晶32上にSiC単結晶を成長させる。具体的には、Si−C溶液15におけるSiC種結晶32の近傍領域を過冷却して、当該近傍領域のSiCを過飽和状態にする。これにより、SiC種結晶32の上にSiC単結晶を成長させる。Si−C溶液15における種結晶32の近傍領域を過冷却する方法は特に限定されない。たとえば、加熱装置18を制御して、Si−C溶液15における種結晶32の近傍領域の温度を他の領域の温度より低くしてもよい。
結晶成長温度は、たとえば、1500℃より高い。黒鉛坩堝14に収容されるSi−C溶液15において、黒鉛坩堝14に接触する部分の最高温度は、通常、結晶成長温度より、5〜50℃程度高い。黒鉛坩堝14に、このような高い温度のSi−C溶液15が接触していても、Si−C溶液15が、式(1)、または式(2)を満たすことにより、Si−C溶液15と黒鉛坩堝14との反応は抑制される。したがって、黒鉛坩堝14は、破壊され難い。
Si−C溶液15における種結晶32の近傍領域を、SiCについて過飽和状態にしたまま、SiC種結晶32とSi−C溶液15(黒鉛坩堝14)とを回転する。シードシャフト28を回転することにより、種結晶32が回転する。回転軸24を回転することにより、黒鉛坩堝14が回転する。種結晶32の回転方向は、黒鉛坩堝14の回転方向と逆方向であってもよく、同じ方向であってもよい。また、回転速度は一定であってもよく、変動させてもよい。シードシャフト28を、駆動源30により、回転させながら、徐々に上昇させてもよい。シードシャフト28を、上昇させずに回転させてもよく、また、上昇、および回転のいずれもさせなくてもよい。
結晶成長終了後、Si−C溶液15からSiC単結晶を切り離し、黒鉛坩堝14の温度を室温まで下げる。
Si−C溶液15は式(1)、または式(2)を満たすため、黒鉛との反応が抑制されている。そのため、以上の製造方法において、シードシャフト28が黒鉛からなる場合、Si−C溶液15がシードシャフト28に接触したとしても、シードシャフト28は破損し難い。
Si−C溶液15と黒鉛坩堝14との反応が抑制されることにより、結晶成長のための時間のみならず、融液にCを溶解させてSi−C溶液15を生成するための時間、および黒鉛坩堝14の温度を下げ始めてからSi−C溶液15が固化するための時間を長くすることができる。これにより、たとえば、ブロック、棒、顆粒、粉体等の形態の炭素源を融液に溶解してSi−C溶液15を生成する場合、溶解時間を長くとって、これらの炭素源を完全に溶解させることができる。また、結晶成長終了後、製造した単結晶を徐冷することができる。そのため、当該単結晶が熱衝撃により破損することを回避することができる。
黒鉛坩堝を用いた溶液成長法により、種々の組成を有するSi−C溶液を生成し、SiC単結晶を育成した。
[試験方法]
表1に示す試験番号1〜18のSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で製造した。各試験番号では、同じ形状の黒鉛坩堝を使用した。
Figure 2015072136
各試験番号のSi−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させた。結晶成長温度は表1に示すとおりであった。結晶成長の時間を含め、Si−C溶液と黒鉛坩堝とが接触していた時間は、約7〜9時間であった。
黒鉛坩堝の加熱は、高周波コイルにより行った。黒鉛坩堝を加熱している間、高周波コイルに流れる電流の大きさをモニタした。この電流の大きさが大幅に変化したとき、黒鉛坩堝の破壊(たとえば、割れ)が生じたと判断した。黒鉛坩堝が破壊され、Si−C溶液が黒鉛坩堝から漏れ出ると、高周波誘導加熱の対象物の容積が減少する。そのため、高周波コイルに流れる電流の大きさが大幅に変化する。したがって、高周波コイルの電流変化をモニタすれば、黒鉛坩堝の破壊の有無を確認できる。
結晶成長を終了した後、SiC単結晶をSi−C溶液から切り離し、黒鉛坩堝の加熱を終了した。ただし、黒鉛坩堝の破壊が生じたと判断した場合は、その後すぐに、黒鉛坩堝の加熱を終了した。
[試験結果]
試験番号1〜14で用いたSi−C溶液は、いずれも、Cuを含有し、上記式(1)、または式(2)を満たした。具体的には、試験番号2〜5、9〜14のSi−C溶液は式(1)を満たした。試験番号6〜8のSi−C溶液は任意元素であるTiを含有し、式(2)を満たした。そのため、試験番号1〜14では、結晶成長温度が1500℃より高くても、黒鉛坩堝の破壊は確認されなかった。特に、試験番号5では、Si−C溶液のAl含有率が40%で、Si−C溶液の結晶成長温度が1950℃という極めて厳しい条件で、Si−C溶液が黒鉛坩堝に接触していたが、黒鉛坩堝の破壊は抑制された。
一方、試験番号15では、F1が0.03であり、式(1)が満たされなかった。そのため、黒鉛坩堝の破壊が確認された。試験番号16〜18のSi−C溶液はCuを含有しなかった。そのため、黒鉛坩堝の破壊が確認された。
[Si−C溶液のAl濃度とSiC単結晶のAl濃度との関係]
試験番号1、5、10について、Si−C溶液のAl濃度と、当該Si−C溶液を用いて製造したSiC単結晶のAl濃度との関係を調査した。試験番号1、5、10のSi−C溶液のAl濃度は、それぞれ、5.77×1021atoms/cm3、2.23×1022atoms/cm3、1.72×1022atoms/cm3であった。得られたSiC単結晶について、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)により、Al濃度を測定した。
図2に、Si−C溶液のAl濃度と、当該Si−C溶液から得られたSiC単結晶のAl濃度との関係を示す。図2に示すように、Si−C溶液のAl濃度が高いほど、SiC単結晶のAl濃度が高くなっていた。このため、Si−C溶液のAl濃度によって、SiC単結晶のAl濃度を制御でき、SiC単結晶の比抵抗を制御できた。
試験番号1のSi−C溶液のF3は、0.14(10/70)であった。したがって、F3が0.14以上であれば、SiC単結晶のAlドープ量を、3×1019atoms/cm3以上とすることができた。
14:黒鉛坩堝、15:Si−C溶液、32:SiC種結晶

Claims (4)

  1. 溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、
    Si、AlおよびCuを下記式(1)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、
    前記Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、前記SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む、SiC単結晶の製造方法。
    0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
    ただし、[Si]、[Al]および[Cu]は、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量を表わす。
  2. 溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、
    Si、Al、CuおよびM(Mは、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素)を、下記式(2)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、
    前記Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、前記SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む、SiC単結晶の製造方法。
    0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
    ただし、[M]は、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素のモル%で表した含有量の合計を表わす。
  3. 請求項1または請求項2に記載のSiC単結晶の製造方法であって、
    前記Si−C溶液において、結晶成長温度が、1500℃より高い、SiC単結晶の製造方法。
  4. 請求項1〜請求項3のいずれかに記載のSiC単結晶の製造方法であって、
    前記Si−C溶液中のAlおよびSiの含有量が、下記式(3)を満たす、SiC単結晶の製造方法。
    0.14≦[Al]/[Si]≦2 (3)
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