JPWO2015072136A1 - SiC単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、黒鉛坩堝を用いてもAlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる製造方法を提供する。本実施形態による製造方法は、Si−C溶液を黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。Si−C溶液は、Si、AlおよびCuを式(1)を満たす範囲で含有し、Si−C溶液の残部は、Cおよび不純物からなる。式(1)において、[Si]、[Al]、および[Cu]には、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%含有量を表す。0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
Description
本発明は、SiC単結晶の製造方法に関し、さらに詳しくは、ドーパントとしてAlを含有するSiC単結晶を溶液成長法により製造する方法に関する。
SiC単結晶を製造する方法として、昇華法、及び、溶液成長法等がある。昇華法は、反応容器内で、原料を気相の状態にして、種結晶の上に供給し、単結晶を成長させる。
溶液成長法は、Si−C溶液に種結晶を接触させ、種結晶の上にSiC単結晶を成長させる。ここで、Si−C溶液とは、SiまたはSi合金の融液にC(炭素)が溶解した溶液のことをいう。溶液成長法では、通常、Si−C溶液を収容する容器として、黒鉛坩堝が使用される。黒鉛坩堝内でSiを含む原料を融解して融液を形成する場合、黒鉛坩堝からこの融液中にCが溶け出す。その結果、融液は、Si−C溶液となる。
C. Jacquier 外5名、Journal of Materials Science, 2002, vol. 37, p. 3299-3306
C. Jacquier 外5名、Journal of Crystal Growth, 254, 2003, p. 123-130
導電型がp型のSiC単結晶を製造する場合、ドーパントとして、通常、Al(アルミニウム)がドープされる。昇華法によるSiC単結晶の製造は、通常、減圧雰囲気下で行われ、また、反応容器として、黒鉛坩堝が用いられる。減圧雰囲気下では、Alは気化しやすい。黒鉛坩堝は、多孔質であるので、気化したAlは、黒鉛坩堝を透過する。このため、AlがドープされたSiC単結晶を、昇華法により製造しようとすると、ドーパントであるAlが反応容器(黒鉛坩堝)から漏れ出る。したがって、Alが高濃度にドープされた低抵抗のSiC単結晶を昇華法により製造することは困難である。一方、溶液成長法では、Si−C溶液にAlを含有させれば、Alが高濃度にドープされたSiC単結晶が製造できる。
しかしながら、溶液成長法において、Si−C溶液に含有されるAlは、黒鉛と激しく反応する(上記非特許文献1参照)。そのため、黒鉛坩堝内でAlを含有するSi−C溶液を生成し、保持すれば、Alとの反応により、黒鉛坩堝が短時間で破壊される場合がある(上記非特許文献2参照)。このため、溶液成長法では、AlがドープされたSiC単結晶であって、厚みが大きいものを製造するのが困難であった。
本発明の目的は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、黒鉛坩堝を用いても、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる製造方法を提供することである。
本実施の形態によるSiC単結晶の製造方法は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法である。この製造方法は、Si、AlおよびCuを下記式(1)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ただし、[Si]、[Al]および[Cu]は、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量を表わす。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ただし、[Si]、[Al]および[Cu]は、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量を表わす。
本実施の他の形態によるSiC単結晶の製造方法は、溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法である。この製造方法は、Si、Al、CuおよびM(Mは、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素)を、下記式(2)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
ただし、[M]は、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素のモル%で表した含有量の合計を表わす。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
ただし、[M]は、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素のモル%で表した含有量の合計を表わす。
本実施の形態のSiC単結晶の製造方法は、黒鉛坩堝を用いても、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる。
本実施形態のSiC単結晶の製造方法は、溶液成長法により、SiC単結晶を成長させる。上記製造方法は、Si(シリコン)、Al(アルミニウム)およびCu(銅)を下記式(1)を満たす範囲で含有し、残部がC(炭素)および不純物からなるSi−C溶液を黒鉛坩堝内で生成する工程と、Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ここで、[Si]、[Al]、および[Cu]には、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量が代入される。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ここで、[Si]、[Al]、および[Cu]には、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量が代入される。
本実施形態による製造方法では、Si−C溶液は、式(1)を満たすCuを含有する。このSi−C溶液は、Alを含有しCuを実質的に含有しないSi−C溶液と比較して、Alと黒鉛との反応を抑制する。このため、このSi−C溶液を黒鉛坩堝内に収容した場合、Si−C溶液中のAlと黒鉛坩堝との過剰な反応が抑制される。そのため、Alとの反応による黒鉛坩堝の破壊は生じ難い。したがって、本実施形態の製造方法では、結晶成長中の黒鉛坩堝の損傷が抑制されるため、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる。
Si−C溶液のCu含有量(モル%)が低すぎれば、Si−C溶液中のAlと黒鉛との反応を抑制する効果が十分に得られない。F1=[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])と定義する。ここで、[Cu]、[Si]および[Al]はそれぞれ、Si−C溶液中の各元素の含有量(モル%)である。F1が0.03以下である場合、Si−C溶液中のCu含有量が低すぎる。そのため、結晶成長中に、黒鉛坩堝がAlと激しく反応して、黒鉛坩堝が破壊される場合がある。F1が0.03よりも高ければ、Si−C溶液中のCu濃度が十分に高い。そのため、SiC単結晶の育成中に黒鉛坩堝が破壊され難く、AlがドープされたSiC単結晶を成長させることができる。F1の好ましい下限は、0.05であり、さらに好ましくは0.1である。
一方、Si−C溶液のCu含有量が高すぎる場合、具体的には、F1が0.5を超える場合、Si−C溶液中の炭素溶解量が不十分となる。その結果、SiC単結晶の成長速度が著しく低下する。また、Cuは蒸気圧の高い元素である。F1が0.5を超える場合、Si−C溶液からのCuの蒸発が顕著となり、Si−C溶液の液面が顕著に低下する。液面が低下すると結晶成長界面の温度が低下するため、Si−C溶液の過飽和度が大きくなる。そのため、安定した結晶成長の維持が困難になる。F1が0.5以下であれば、SiC単結晶の成長速度の低下は抑制され、さらに、安定した結晶成長が維持できる。F1の好ましい上限は、0.4であり、さらに好ましくは0.3である。
Si−C溶液に含有されるAlは、SiC種結晶上に成長するSiC単結晶に取り込まれる。これにより、AlがドープされたSiC単結晶(導電型がp型のSiC単結晶)が得られる。一方、SIMS分析を行った結果、Si−C溶液に含有されるCuは、SiC単結晶には、ほとんど取り込まれないことが見出された。したがって、Cu含有量によりSiC単結晶の特性が変動することは、実質的にない。
本実施形態のSi−C溶液はさらに、任意元素として、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素を含有してもよい。Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScは、いずれも、Si−C溶液の炭素溶解量を増大させる。炭素溶解量が多いSi−C溶液を用いることにより、SiC単結晶の成長速度を大きくすることができる。
Si−C溶液が上述の任意元素を含有する場合、Si−C溶液は、式(1)に代えて、次の式(2)を満たす。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
式(2)中の[M]には、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素の含有量(モル%)が代入される。Si−C溶液に複数の上記任意元素が含有される場合、含有された任意元素の合計含有量(モル%)が[M]に代入される。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
式(2)中の[M]には、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素の含有量(モル%)が代入される。Si−C溶液に複数の上記任意元素が含有される場合、含有された任意元素の合計含有量(モル%)が[M]に代入される。
F2=[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])と定義する。F2が0.03よりも高ければ、Si−C溶液中のCu濃度が十分に高い。そのため、SiC単結晶の育成中に黒鉛坩堝が破壊され難い。F2の好ましい下限は、0.05であり、さらに好ましくは0.1である。
一方、F2が0.5未満であれば、SiC単結晶の成長速度の低下は抑制され、Cuの蒸発も抑制される。F2の好ましい上限は、0.4であり、さらに好ましくは0.3である。
Cuを実質的に含有しないSi−C溶液を用いた場合、Si−C溶液中のAlと黒鉛坩堝との反応を抑制してSiC単結晶を成長させるためには、たとえば、結晶成長温度を1200℃未満にする必要がある(上記非特許文献2参照)。この場合、SiC単結晶の成長速度は遅い。
一方、本実施形態の製造方法では、Si−C溶液が式(1)、または式(2)を満たすことにより、Si−C溶液の温度を低くする必要はない。具体的には、本実施形態の製造方法において、好ましい結晶成長温度は、1500℃より高い。ここで、「結晶成長温度」は、「結晶成長時のSi−C溶液と種結晶(結晶成長面)との界面の温度」と定義される。本実施形態の製造方法では、結晶成長温度を、次の方法で測定する。SiC単結晶の製造において、底部を有する筒状のシードシャフトを使用する。シードシャフトの底部の下端面にSiC種結晶を貼り付けて、結晶成長を行う。このとき、シードシャフトの内部に光学温度計を配置し、シードシャフトの底部の温度を測定する。光学温度計で測定された値を、結晶成長温度(℃)とする。
Si−C溶液において、黒鉛坩堝に接触する部分の最高温度は、通常、結晶成長温度より、5〜50℃程度高い。本実施形態の製造方法では、結晶成長温度が1500℃より高くても、黒鉛坩堝は破壊され難い。さらに、結晶成長温度を1500℃より高くすることにより、SiC単結晶の成長速度を大きくすることができる。結晶成長温度のさらに好ましい下限は、1600℃であり、さらに好ましくは1700℃であり、さらに好ましくは、1770℃である。
結晶成長温度が2100℃を超えると、Si−C溶液が顕著に蒸発する。したがって、結晶成長温度の好ましい上限は2100℃である。結晶成長温度のさらに好ましい上限は、2050℃であり、さらに好ましくは2000℃であり、さらに好ましくは1950℃である。
本実施形態のSiC単結晶の製造方法において、Si−C溶液はさらに、式(3)を満たすことが好ましい。
0.14≦[Al]/[Si]≦2 (3)
ここで、[Al]及び[Si]は、Si−C溶液中のAl含有量(モル%)、Si含有量(モル%)である。
0.14≦[Al]/[Si]≦2 (3)
ここで、[Al]及び[Si]は、Si−C溶液中のAl含有量(モル%)、Si含有量(モル%)である。
F3=[Al]/[Si]と定義する。F3が0.14以上であれば、SiC単結晶のAlドープ量を、3×1019atoms/cm3以上とすることができる。この場合、SiC単結晶の比抵抗が十分に低くなる。F3のさらに好ましい下限は、0.2であり、さらに好ましくは0.3である。
一方、F3が2よりも高ければ、当該Si−C溶液から、SiCが晶出しない場合がある。F3が2以下であれば、SiCが安定して晶出しやすい。したがって、F3の好ましい上限は、2である。F3のさらに好ましい上限は、1.5であり、さらに好ましくは1である。
次に、図面を参照して、本実施形態に係るSiC単結晶の製造方法について具体的に説明する。図1は、本実施形態のSiC単結晶の製造方法に使用されるSiC単結晶の製造装置の概略構成図である。
図1を参照して、製造装置10は、チャンバ12と、黒鉛坩堝14と、断熱部材16と、加熱装置18と、回転装置20と、昇降装置22とを備える。
黒鉛坩堝14は、チャンバ12内に収容される。黒鉛坩堝14は、内部にSi−C溶液の原料を収納する。黒鉛坩堝14は、黒鉛を含有する。好ましくは、黒鉛坩堝14は、黒鉛からなる。断熱部材16は、断熱材からなる。断熱部材16は、黒鉛坩堝14を取り囲んでいる。
加熱装置18は、断熱部材16の側壁を取り囲んでいる。加熱装置18は、たとえば、高周波コイルであり、黒鉛坩堝14を誘導加熱する。黒鉛坩堝14内で、原料が融解されて、Si−C溶液15が生成される。Si−C溶液15は、SiC単結晶の原料となる。
Si−C溶液15は、上述のとおり、C、Al、およびCuを含有し、残部は、Si、および不純物からなり、上記式(1)を満たす。
Si−C溶液15は、任意元素として、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素をさらに含有してもよい。当該任意元素を含有する場合、Si−C溶液15は、上記式(2)を満たす。
Si−C溶液15の原料は、たとえば、Siと他の金属元素(Al、およびCu(ならびに、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素))との混合物である。原料を加熱して融液にし、この融液に炭素(C)が溶解することにより、Si−C溶液15が生成される。黒鉛坩堝14は、Si−C溶液15への炭素供給源になる。黒鉛坩堝14を加熱することにより、Si−C溶液15を、結晶成長温度に維持することができる。
回転装置20は、回転軸24と、駆動源26とを備える。回転軸24の上端は、断熱部材16内に位置している。回転軸24の上端には、黒鉛坩堝14が配置される。回転軸24の下端は、チャンバ12の外側に位置している。駆動源26は、チャンバ12の下方に配置されている。駆動源26は、回転軸24に連結されている。駆動源26は、回転軸24を、その中心軸線周りに回転させる。これにより、黒鉛坩堝14(Si−C溶液15)が回転する。
昇降装置22は、棒状のシードシャフト28と、駆動源30とを備える。シードシャフト28は、たとえば、主として黒鉛からなる。シードシャフト28の上端は、チャンバ12の外側に位置している。シードシャフト28の下端面28Sには、SiC種結晶32が取り付けられている。
SiC種結晶32は、SiC単結晶からなる。好ましくは、SiC種結晶32の結晶構造は、製造しようとするSiC単結晶の結晶構造と同じである。たとえば、4H多形のSiC単結晶を製造する場合、4H多形のSiC種結晶32を用いることが好ましい。SiC種結晶32は板状であり、下端面28Sに取り付けられる。
駆動源30は、チャンバ12の上方に配置されている。駆動源30は、シードシャフト28に連結されている。駆動源30は、シードシャフト28を昇降する。これにより、シードシャフト28の下端面28Sに取り付けられたSiC種結晶32を、黒鉛坩堝14に収容されたSi−C溶液15の液面に接触させることができる。駆動源30は、シードシャフト28を、その中心軸線周りに回転させる。駆動源30はさらに、シードシャフト28を、その中心軸線周りに回転させる。この場合、下端面28Sに取り付けられたSiC種結晶32が回転する。シードシャフト28の回転方向は、黒鉛坩堝14の回転方向と同じ方向であってもよいし、反対の方向であってもよい。
上述の製造装置10を用いたSiC単結晶の製造方法について説明する。初めに、上述のSi−C溶液15を、黒鉛坩堝14内で生成する。まず、黒鉛坩堝14内に、Si−C溶液15の原料を収納する。原料が収納された黒鉛坩堝14を、チャンバ12内に収納する。具体的には、黒鉛坩堝14を回転軸24上に配置する。
黒鉛坩堝14をチャンバ12内に収納した後、チャンバ12内の雰囲気を不活性ガス、たとえばAr(アルゴン)ガスで置換する。その後、加熱装置18により黒鉛坩堝14を加熱する。加熱により、黒鉛坩堝14内の原料が融解し、融液が生成される。加熱によりさらに、黒鉛坩堝14から炭素が融液に溶け込む。その結果、黒鉛坩堝14内でSi−C溶液15が生成される。黒鉛坩堝14の炭素は、Si−C溶液15中に溶出し続け、Si−C溶液15の炭素濃度は飽和濃度に近づく。
生成されたSi−C溶液15は、C、Al、およびCuを含有し、残部はSiおよび不純物からなる。Si−C溶液はさらに、式(1)を満たす。Si−C溶液15が任意元素として、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素をさらに含有する場合、Si−C溶液15は、式(1)に代えて、式(2)を満たす。
Si−C溶液15において、[Si]、[Al]、および[Cu]の比、および[Si]、[Al]、[Cu]、および[M]の比は、融解する前の原料におけるものと同じとみなすことができる。Si−C溶液15の組成がいずれの場合であっても、Si−C溶液15は、式(3)を満たすことが好ましい。
続いて、Si−C溶液15にSiC種結晶32を接触させて、SiC種結晶32上にSiC単結晶を成長させる。具体的には、Si−C溶液15を生成した後、駆動源30によりシードシャフト28を下降させる。そして、シードシャフト28の下端面28Sに取り付けられたSiC種結晶32を黒鉛坩堝14内のSi−C溶液15に接触させる。
SiC種結晶32をSi−C溶液15と接触させた後、SiC種結晶32上にSiC単結晶を成長させる。具体的には、Si−C溶液15におけるSiC種結晶32の近傍領域を過冷却して、当該近傍領域のSiCを過飽和状態にする。これにより、SiC種結晶32の上にSiC単結晶を成長させる。Si−C溶液15における種結晶32の近傍領域を過冷却する方法は特に限定されない。たとえば、加熱装置18を制御して、Si−C溶液15における種結晶32の近傍領域の温度を他の領域の温度より低くしてもよい。
結晶成長温度は、たとえば、1500℃より高い。黒鉛坩堝14に収容されるSi−C溶液15において、黒鉛坩堝14に接触する部分の最高温度は、通常、結晶成長温度より、5〜50℃程度高い。黒鉛坩堝14に、このような高い温度のSi−C溶液15が接触していても、Si−C溶液15が、式(1)、または式(2)を満たすことにより、Si−C溶液15と黒鉛坩堝14との反応は抑制される。したがって、黒鉛坩堝14は、破壊され難い。
Si−C溶液15における種結晶32の近傍領域を、SiCについて過飽和状態にしたまま、SiC種結晶32とSi−C溶液15(黒鉛坩堝14)とを回転する。シードシャフト28を回転することにより、種結晶32が回転する。回転軸24を回転することにより、黒鉛坩堝14が回転する。種結晶32の回転方向は、黒鉛坩堝14の回転方向と逆方向であってもよく、同じ方向であってもよい。また、回転速度は一定であってもよく、変動させてもよい。シードシャフト28を、駆動源30により、回転させながら、徐々に上昇させてもよい。シードシャフト28を、上昇させずに回転させてもよく、また、上昇、および回転のいずれもさせなくてもよい。
結晶成長終了後、Si−C溶液15からSiC単結晶を切り離し、黒鉛坩堝14の温度を室温まで下げる。
Si−C溶液15は式(1)、または式(2)を満たすため、黒鉛との反応が抑制されている。そのため、以上の製造方法において、シードシャフト28が黒鉛からなる場合、Si−C溶液15がシードシャフト28に接触したとしても、シードシャフト28は破損し難い。
Si−C溶液15と黒鉛坩堝14との反応が抑制されることにより、結晶成長のための時間のみならず、融液にCを溶解させてSi−C溶液15を生成するための時間、および黒鉛坩堝14の温度を下げ始めてからSi−C溶液15が固化するための時間を長くすることができる。これにより、たとえば、ブロック、棒、顆粒、粉体等の形態の炭素源を融液に溶解してSi−C溶液15を生成する場合、溶解時間を長くとって、これらの炭素源を完全に溶解させることができる。また、結晶成長終了後、製造した単結晶を徐冷することができる。そのため、当該単結晶が熱衝撃により破損することを回避することができる。
黒鉛坩堝を用いた溶液成長法により、種々の組成を有するSi−C溶液を生成し、SiC単結晶を育成した。
[試験方法]
表1に示す試験番号1〜18のSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で製造した。各試験番号では、同じ形状の黒鉛坩堝を使用した。
[試験方法]
表1に示す試験番号1〜18のSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で製造した。各試験番号では、同じ形状の黒鉛坩堝を使用した。
各試験番号のSi−C溶液にSiC種結晶を接触させて、SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させた。結晶成長温度は表1に示すとおりであった。結晶成長の時間を含め、Si−C溶液と黒鉛坩堝とが接触していた時間は、約7〜9時間であった。
黒鉛坩堝の加熱は、高周波コイルにより行った。黒鉛坩堝を加熱している間、高周波コイルに流れる電流の大きさをモニタした。この電流の大きさが大幅に変化したとき、黒鉛坩堝の破壊(たとえば、割れ)が生じたと判断した。黒鉛坩堝が破壊され、Si−C溶液が黒鉛坩堝から漏れ出ると、高周波誘導加熱の対象物の容積が減少する。そのため、高周波コイルに流れる電流の大きさが大幅に変化する。したがって、高周波コイルの電流変化をモニタすれば、黒鉛坩堝の破壊の有無を確認できる。
結晶成長を終了した後、SiC単結晶をSi−C溶液から切り離し、黒鉛坩堝の加熱を終了した。ただし、黒鉛坩堝の破壊が生じたと判断した場合は、その後すぐに、黒鉛坩堝の加熱を終了した。
[試験結果]
試験番号1〜14で用いたSi−C溶液は、いずれも、Cuを含有し、上記式(1)、または式(2)を満たした。具体的には、試験番号2〜5、9〜14のSi−C溶液は式(1)を満たした。試験番号6〜8のSi−C溶液は任意元素であるTiを含有し、式(2)を満たした。そのため、試験番号1〜14では、結晶成長温度が1500℃より高くても、黒鉛坩堝の破壊は確認されなかった。特に、試験番号5では、Si−C溶液のAl含有率が40%で、Si−C溶液の結晶成長温度が1950℃という極めて厳しい条件で、Si−C溶液が黒鉛坩堝に接触していたが、黒鉛坩堝の破壊は抑制された。
試験番号1〜14で用いたSi−C溶液は、いずれも、Cuを含有し、上記式(1)、または式(2)を満たした。具体的には、試験番号2〜5、9〜14のSi−C溶液は式(1)を満たした。試験番号6〜8のSi−C溶液は任意元素であるTiを含有し、式(2)を満たした。そのため、試験番号1〜14では、結晶成長温度が1500℃より高くても、黒鉛坩堝の破壊は確認されなかった。特に、試験番号5では、Si−C溶液のAl含有率が40%で、Si−C溶液の結晶成長温度が1950℃という極めて厳しい条件で、Si−C溶液が黒鉛坩堝に接触していたが、黒鉛坩堝の破壊は抑制された。
一方、試験番号15では、F1が0.03であり、式(1)が満たされなかった。そのため、黒鉛坩堝の破壊が確認された。試験番号16〜18のSi−C溶液はCuを含有しなかった。そのため、黒鉛坩堝の破壊が確認された。
[Si−C溶液のAl濃度とSiC単結晶のAl濃度との関係]
試験番号1、5、10について、Si−C溶液のAl濃度と、当該Si−C溶液を用いて製造したSiC単結晶のAl濃度との関係を調査した。試験番号1、5、10のSi−C溶液のAl濃度は、それぞれ、5.77×1021atoms/cm3、2.23×1022atoms/cm3、1.72×1022atoms/cm3であった。得られたSiC単結晶について、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)により、Al濃度を測定した。
試験番号1、5、10について、Si−C溶液のAl濃度と、当該Si−C溶液を用いて製造したSiC単結晶のAl濃度との関係を調査した。試験番号1、5、10のSi−C溶液のAl濃度は、それぞれ、5.77×1021atoms/cm3、2.23×1022atoms/cm3、1.72×1022atoms/cm3であった。得られたSiC単結晶について、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)により、Al濃度を測定した。
図2に、Si−C溶液のAl濃度と、当該Si−C溶液から得られたSiC単結晶のAl濃度との関係を示す。図2に示すように、Si−C溶液のAl濃度が高いほど、SiC単結晶のAl濃度が高くなっていた。このため、Si−C溶液のAl濃度によって、SiC単結晶のAl濃度を制御でき、SiC単結晶の比抵抗を制御できた。
試験番号1のSi−C溶液のF3は、0.14(10/70)であった。したがって、F3が0.14以上であれば、SiC単結晶のAlドープ量を、3×1019atoms/cm3以上とすることができた。
14:黒鉛坩堝、15:Si−C溶液、32:SiC種結晶
Claims (4)
- 溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、
Si、AlおよびCuを下記式(1)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、
前記Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、前記SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む、SiC単結晶の製造方法。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu])≦0.5 (1)
ただし、[Si]、[Al]および[Cu]は、それぞれ、Si、AlおよびCuのモル%で表した含有量を表わす。 - 溶液成長法によるSiC単結晶の製造方法であって、
Si、Al、CuおよびM(Mは、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素)を、下記式(2)を満たす範囲で含有し、残部がCおよび不純物からなるSi−C溶液を、黒鉛坩堝内で生成する工程と、
前記Si−C溶液にSiC種結晶を接触させて、前記SiC種結晶上にSiC単結晶を成長させる工程とを含む、SiC単結晶の製造方法。
0.03<[Cu]/([Si]+[Al]+[Cu]+[M])<0.5 (2)
ただし、[M]は、Ti、Mn、Cr、Co、Ni、V、Fe、Dy、Nd、Tb、Ce、PrおよびScからなる群から選択される1種以上の元素のモル%で表した含有量の合計を表わす。 - 請求項1または請求項2に記載のSiC単結晶の製造方法であって、
前記Si−C溶液において、結晶成長温度が、1500℃より高い、SiC単結晶の製造方法。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載のSiC単結晶の製造方法であって、
前記Si−C溶液中のAlおよびSiの含有量が、下記式(3)を満たす、SiC単結晶の製造方法。
0.14≦[Al]/[Si]≦2 (3)
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