JPWO2014142173A1 - 絶縁被覆層の製造方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、基材にポリイミド前駆体組成物を塗布、焼付けする工程を有するポリイミド絶縁被覆層の製造方法であって、ポリイミド前駆体組成物が、ポリアミック酸と、イミダゾール類、及びアミン化合物からなる群より選択される塩基性化合物とを含み、焼付け工程において、ポリイミド前駆体組成物を加熱する時間が10〜180秒間であり、100℃から280℃までの平均昇温速度が5℃/s以上であり、最高加熱温度が300〜500℃であることを特徴とする絶縁被覆層の製造方法に関する。

Description

本発明は、優れた耐熱性を有するポリイミド絶縁被覆層を短時間で、効率よく製造することができる、絶縁被覆層の製造方法に関する。
ポリイミド樹脂は、非常に耐熱性に優れた樹脂として知られており、様々な分野で広く利用されている。例えば、高い耐熱性に加えて、低誘電率で機械特性にも優れるため、要求特性の高い電線の絶縁層として用いられている。特許文献1には、芯線上に、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と4、4’−ジアミノジフェニルエーテルとの反応により得られるポリアミック酸をイミド化した絶縁層が設けられていることを特徴とする絶縁被覆電線が記載されており、このポリイミド絶縁被覆電線は、熱劣化に対する優れた抵抗性を有していることが記載されている。
特許文献2には、ポリイミド前駆体、具体的には、ポリアミック酸のアルキルエステルに対し、アミン化合物などの塩基性物質を0.1〜60重量%含むことを特徴とする絶縁用ポリイミド前駆体ワニスが記載されている。ここで、塩基性物質は、ポリイミド前駆体ワニスと銅との反応を抑制する効果があるので、銅上において熱イミド化したポリイミドの銅原子含有量が極めて少なくなること、そのため該ポリイミドの特性低下が少なく、これを絶縁層とする銅/ポリイミド薄膜多層配線や銅/ポリイミド配線を有するLSIなどの電子装置の長期信頼性を向上することができることが記載されている。
特許文献3には、テトラカルボン酸二無水物と25℃の水に対する溶解度が0.1g/L以上であるジアミンとが反応して得られるポリアミック酸、例えば、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とp−フェニレンジアミン又は4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとが反応して得られるポリアミック酸が、例えば、1,2−ジメチルイミダゾールなどの、置換基として2個以上のアルキル基を有するイミダゾール類と共に、水溶媒、または水の割合が50質量%以上である水と有機溶媒との混合物である水性溶媒に溶解していることを特徴とするポリイミド前駆体水溶液組成物が記載されている。
特開昭61−273806号公報 特開平8−27418号公報 国際公開第2012/008543号パンフレット
ポリイミドは、テトラカルボン酸成分とジアミン成分の組み合わせによって結晶性となることがあり、その結果、ポリイミド前駆体であるポリアミック酸をイミド化する際の条件に制限が生じることがある。例えば、テトラカルボン酸成分として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いると、結晶性のポリイミド樹脂が得られ易く、イミド化の条件によっては、特に、急速な昇温による短時間の熱処理によりイミド化を行おうとすると、部分的な結晶化を起こし易い。そのため、テトラカルボン酸成分として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いたポリアミック酸をイミド化してポリイミド層を形成する場合、昇温速度を上げて生産性を高めることができない場合があった。
本発明は、テトラカルボン酸成分として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いたポリアミック酸をイミド化してポリイミド絶縁被覆層を形成するポリイミド絶縁被覆層の製造方法において、急速な昇温を行っても欠陥なくポリイミド絶縁被覆層を形成できる方法を提供することを目的とする。すなわち、本発明は、耐熱性、機械的特性に優れたポリイミド樹脂の絶縁被覆層を、結晶化を起こすことなく、短時間で形成できる工業的に有利な方法を提供することを目的とする。
本発明は以下の項に関する。
1. 基材にポリイミド前駆体組成物を塗布、焼付けする工程を有するポリイミド絶縁被覆層の製造方法であって、
ポリイミド前駆体組成物が、下記化学式(1)で示される繰返し単位からなるポリアミック酸と、イミダゾール類、及びアミン化合物からなる群より選択される塩基性化合物とを含み、
焼付け工程において、
ポリイミド前駆体組成物を加熱する時間が10〜180秒間であり、
100℃から280℃までの平均昇温速度が5℃/s以上であり、
最高加熱温度が300〜500℃であることを特徴とする絶縁被覆層の製造方法。
Figure 2014142173
化学式(1)において、Aは4価の有機基であり、Aの50〜100モル%が下記化学式(2)で示される4価の基であり、Bは2価の有機基である。
Figure 2014142173
2. ポリイミド前駆体組成物が、塩基性化合物として、置換基として2個以上のアルキル基を有するイミダゾール類を含むことを特徴とする前記項1に記載の絶縁被覆層の製造方法。
3. イミダゾール類が、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、4−エチル−2−メチルイミダゾール、及び1−メチル−4−エチルイミダゾールからなる群から選択されるイミダゾール類であることを特徴とする前記項2に記載の絶縁被覆層の製造方法。
4. ポリイミド前駆体組成物が、塩基性化合物として、脂肪族アミン、又は環状アミンを含むことを特徴とする前記項1〜3のいずれかに記載の絶縁被覆層の製造方法。
5. アミン化合物が、トリメチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、N−プロピルエチルアミン、N−ブチルエチルアミン、N,N−ジメチルシクロヘキシルアミン、及び1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタンからなる群から選択される化合物であることを特徴とする前記項4に記載の絶縁被覆層の製造方法。
本発明により、耐熱性、機械的特性に優れたポリイミド樹脂の絶縁被覆層を、結晶化を起こすことなく、短時間で形成できる工業的に有利な方法を提供することができる。本発明のポリイミド絶縁被覆層の製造方法は、特に、絶縁電線の製造に好適に適用でき、優れた耐熱性を有するとともに、絶縁被覆層に欠陥がない、信頼性の高い絶縁電線を効率よく製造することができる。
本発明は、基材にポリイミド前駆体組成物を塗布し、短時間で昇温して高温で焼付けをするポリイミド絶縁被覆層の製造方法であって、ポリイミド前駆体組成物が、前記化学式(1)で示される繰返し単位からなる特定のポリアミック酸と、特定の塩基性化合物とを含むことを特徴とする。ここで、短時間で昇温して高温で焼付けをするとは、例えば、ポリイミド前駆体組成物を加熱する時間が10〜180秒間であり、且つ、100℃から280℃までの平均昇温速度が5℃/s以上となる条件で昇温し、最高加熱温度が300〜500℃である工程である。
本発明で用いるポリアミック酸は、前記化学式(1)で示される繰返し単位からなり、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを溶媒中で、例えば、水又は有機溶媒中で、又は水と有機溶媒の混合溶媒中で反応させることにより得られる。
前記化学式(1)において、Aは、4価の有機基であり、このAは、テトラカルボン酸二無水物由来の4価の基(テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた4価のユニット)である。そして、Aの50〜100モル%が、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた4価のユニットである、前記化学式(2)で示される4価の基である。前記化学式(1)において、Bは、2価の有機基であり、このBは、ジアミン化合物由来の2価の基(ジアミン化合物からアミノ基を除いた2価のユニット)である。
本発明で用いるテトラカルボン酸二無水物は、主成分が、すなわち50〜100モル%、より好ましくは70〜100モル%が3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物である。本発明においては、耐熱性や機械的特性の観点から、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を主成分として用いるのが好ましい。前述のとおり、テトラカルボン酸成分として、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いる場合、急速な昇温による短時間の熱処理によりイミド化を行おうとすると、部分的な結晶化を起こし易いが、本発明によれば、急速な昇温を行っても、結晶化を起こすことなく、ポリイミド層を形成できる。
本発明では、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物以外のテトラカルボン酸成分(テトラカルボン酸二無水物)を50モル%未満の範囲で用いてもよい。本発明で3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と組み合わせて用いることができるテトラカルボン酸二無水物は、特に限定するものではないが、得られるポリイミドの特性から芳香族テトラカルボン酸二無水物、脂環式テトラカルボン酸二無水物が好ましい。例えば、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、p−ターフェニルテトラカルボン酸二無水物、m−ターフェニルテトラカルボン酸二無水物、シクロブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物などを好適に挙げることができる。3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物以外のテトラカルボン酸成分を用いる場合、なかでも、得られるポリイミドの特性から、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、またはピロメリット酸二無水物のいずれか一種以上を用いることが特に好ましい。前述のテトラカルボン酸二無水物は一種である必要はなく、複数種の混合物であっても構わない。
本発明で用いることができるジアミンとしては、特に限定するものではないが、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、1,5−ジアミノナフタレン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、3,3’−ジメチル−4,4’−ビフェニルジアミン、ベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、2,4−ジアミノトルエン、ビス(4−アミノ−3−カルボキシフェニル)メタン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、2,4−ビス(β−アミノ−第三ブチル)トルエン、ビス(p−β−アミノ−第三ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−メチル−6−アミノフェニル)ベンゼン、ビス−p−(1,1−ジメチル−5−アミノ−ペンチル)ベンゼン、1−イソプロピル−2,4−m−フェニレンジアミン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパンなどの芳香族ジアミン、ジ(p−アミノシクロヘキシル)メタン、1,4−ジアミノシクロヘキサンなどの脂環式構造を含むジアミン、へキサメチレンジアミン、へプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、ジアミノプロピルテトラメチレン、3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4−ジメチルヘプタメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカン、1,2−ビス−3−アミノプロポキシエタン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、3−メトキシヘキサメチレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、3−メチルへプタメチレンジアミン、5−メチルノナメチレンジアミン、2,17−ジアミノエイコサデカン、1,10−ジアミノ−1,10−ジメチルデカン、1,12−ジアミノオクタデカンなどの脂肪族ジアミン等を好適に挙げることができる。前述のジアミンは一種である必要はなく、複数種の混合物であっても構わない。
上記のうち、芳香族ジアミンとして、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、2,4−ジアミノトルエン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパンがより好ましく、脂肪族ジアミンとして、へキサメチレンジアミン、へプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、ジアミノプロピルテトラメチレン、3−メチルヘプタメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカン、1,12−ジアミノオクタデカンがより好ましい。なかでも、得られるポリイミドの特性から、p−フェニレンジアミン、または4,4’−ジアミノジフェニルエーテルのいずれか一種以上を用いることが特に好ましい。
本発明で用いるポリアミック酸は、下記化学式(1’)で示される繰返し単位からなるポリアミック酸であることが特に好ましい。
Figure 2014142173
化学式(1’)において、Aは4価の有機基であり、Aの50〜100モル%、好ましくは70〜100モル%が下記化学式(2)で示される4価の基(ユニット)であり、Bは下記化学式(3)で示される2価の基(ユニット)および/または下記化学式(4)で示される2価の基(ユニット)である。
Figure 2014142173
Figure 2014142173
本発明で用いる塩基性化合物は、ポリアミック酸のカルボキシル基と塩を形成して、ポリアミック酸の溶媒に対する溶解性を高めるものであり、具体的には、イミダゾール類(化合物)、及びアミン化合物からなる群より選択される塩基性化合物である。用いる塩基性化合物(イミダゾール類、アミン化合物)は一種であっても、複数種の混合物であってもよい。
イミダゾール類としては、特に限定するものではないが、下記化学式(5)の化合物を好適に挙げることができる。
Figure 2014142173
化学式(5)において、X〜Xは、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数が1〜5のアルキル基である。
本発明で用いるイミダゾール類は、25℃における水に対する溶解度が0.1g/L以上、特に1g/L以上であることが好ましい。
前記化学式(5)のイミダゾール類においては、X〜Xが、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数が1〜5のアルキル基であって、X〜Xのうち少なくとも2個が、炭素数が1〜5のアルキル基であるイミダゾール類、すなわち置換基として2個以上のアルキル基を有するイミダゾール類がより好ましい。
置換基として2個以上のアルキル基を有するイミダゾール類としては、1,2−ジメチルイミダゾール(25℃における水に対する溶解度は239g/L、以下同様)、2−エチル−4−メチルイミダゾール(1000g/L)、4−エチル−2−メチルイミダゾール(1000g/L)、及び1−メチル−4−エチルイミダゾール(54g/L)などが好適である。置換基として2個以上のアルキル基を有するイミダゾール類は水に対する溶解性が高いので、これらを用いると、水、または水と有機溶媒の混合溶媒を溶媒としたポリイミド前駆体組成物を容易に製造することができる。溶媒が有機溶媒であるポリイミド前駆体組成物の場合も、通常、上記のようなイミダゾール類が好適に用いることができる。
なお、25℃における水に対する溶解度は、当該物質が、25℃の水1L(リットル)に溶解する限界量(g)を意味する。この値は、ケミカル・アブストラクトなどのデータベースに基づいた検索サービスとして知られるSciFinder(登録商標)によって容易に検索することができる。ここでは、種々の条件下での溶解度のうち、Advanced Chemistry Development(ACD/Labs)Software V11.02(Copyright 1994−2011 ACD/Labs)によって算出されたpHが7における値を採用した。
イミダゾール類の特徴は、ポリアミック酸のカルボキシル基と塩を形成して溶媒に対する溶解性を高めるだけでなく、さらにポリアミック酸をイミド化(脱水閉環)してポリイミドにする際に、極めて高い触媒的な作用を有することにある。
アミン化合物としては、分子内に少なくとも1つの1〜3級アミノ基を有する化合物(以下、1〜3級アミンという)を好適に挙げることができる。本出願において、1〜3級アミノ基は中心チッ素原子に対する3つの結合がすべて単結合である構造を意味する。ただし、中心チッ素原子に対する3つの結合がすべて単結合であれば、ピペラジン、ピペリジン、ピロリジン、ジアザビシクロオクタン等の、チッ素原子を環内に含む環状アミンであってもよい。このような1〜3級アミノ基を1つ有していれば、分子内にその他のチッ素原子を有していてもよく、その他のチッ素原子は1〜3級アミノ基であっても、2重結合を有するイミノ基を構成してもよい。分子内にその他のチッ素原子を有する場合、アミノ基のチッ素原子と隣接しないことが好ましい。
1〜3級アミンとしては、脂肪族アミンが好ましく、脂肪族アミンの炭化水素基は鎖状(分岐、直鎖)(すなわち、分岐又は直鎖の炭化水素基がチッ素原子に結合している1〜3級アミン)であっても、環状(すなわち、環状の炭化水素基、又は脂肪族環を含む炭化水素基がチッ素原子に結合している1〜3級アミン)であってもよい。また、チッ素原子を環内に含む環状アミンであってもよい。環状アミンの場合、飽和環であることが好ましい。環状アミンでない場合、アミノ基と共にイミノ基等の不飽和基を有していてもよい。また、脂肪族アミン(チッ素原子を環内に含む環状アミンも含む)の炭化水素基部分は、−OH、アミノ基、−COOH等で置換されていてもよい。また、脂肪族基の中の−CH2−が、−O−で置き換えられていてもよく、このとき酸素原子(O)がアミノ基のチッ素原子と隣接しない方が好ましい。
本発明で用いることができるアミン化合物としては、例えば、ピペラジン類、グアニジンおよびグアニジン塩類、アルキルアミン類、アミノ基含有アルコール類(OH置換アルキルアミン類)、カルボキシル置換アルキルアミン類、ピペリジン類、ピロリジン類、ジアザビシクロオクタン類を挙げることができる。
ピペラジン類としては、無置換、またはアルキル基(好ましくは炭素数1〜6、より好ましくは炭素数1〜3のアルキル基)で置換されたピペラジンが好ましく、ここでアルキル基は、さらにアミノ基を有していてもよい。アルキル基の置換位置は、ピペラジン環中の任意の位置でよく、チッ素原子上であっても、炭素原子上であってもよい。
具体的には、ピペラジン、1−メチルピペラジン、1−エチルピペラジン、1−プロピルピペラジン、1,4−ジメチルピペラジン、1,4−ジエチルピペラジン、1,4−ジプロピルピペラジン、2−メチルピペラジン、2−エチルピペラジン、3−プロピルピペラジン、2,6−ジメチルピペラジン、2,6−ジエチルピペラジン、2,6−ジプロピルピペラジン、2,5−ジメチルピペラジン、2,5−ジエチルピペラジン、2,5−ジプロピルピペラジン等を挙げることができる。また、1−アミノエチルピペラジンのような、アミノアルキル基で置換されたピペラジンも好ましい。
グアニジンおよびグアニジン塩類としては、グアニジンの他、グアニジンと弱酸との塩が挙げられ、炭酸グアニジン、シュウ酸グアニジン、酢酸グアニジン等が挙げられる。
アルキルアミンとしては、存在するアルキル基が互いに独立して、炭素数1〜6、特に炭素数1〜4の分岐または直鎖アルキル基、または炭素数3〜6、特に炭素数6の脂環式アルキル基を有する1〜3級アミンが好ましく、より好ましくは分子中の炭素数の合計が9以下となるようにアルキル基を有する(すなわち、分子中の1〜3つのアルキル基の炭素数の合計が9以下である)1〜3級アミンが好ましい。具体的には、トリメチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、N−プロピルエチルアミン、N−ブチルエチルアミン、N,N−ジメチルシクロヘキシルアミン等を挙げることができる。
また、アルキル基はアミノ基で置換されていてもよく、その場合2つ以上の1〜3級アミノ基を含有することになる。このようなアルキルアミンとしては、例えばエチレンジアミン、ジエチレンジアミントリアミン等のジまたはトリアミンを挙げることができる。
アミノ基含有アルコール類(OH置換アルキルアミン類)としては、上記のようなアルキルアミンのアルキル基が水酸基(−OH)で置換されているものが挙げられる。具体的には、N,N−ジメチルエタノールアミン、N,N−ジエチルエタノールアミン、N,N−ジブチルエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン等を挙げることができる。
カルボキシル置換アルキルアミン類としては、上記のようなアルキルアミンのアルキル基がカルボキシル基(−COOH)で置換されているものが挙げられる。具体的には、各種のアミノ酸を挙げることができる。
ピペリジン類としては、無置換、またはアルキル基(好ましくは炭素数1〜6、より好ましくは炭素数1〜3のアルキル基)で置換されたピペリジンが好ましく、ここでアルキル基は、さらにアミノ基を有していてもよい。アルキル基の置換位置は、ピペリジン環中の任意の位置でよく、チッ素原子上であっても、炭素原子上であってもよい。
ピロリジン類としては、無置換、またはアルキル基(好ましくは炭素数1〜6、より好ましくは炭素数1〜3のアルキル基)で置換されたピロリジンが好ましく、ここでアルキル基は、さらにアミノ基を有していてもよい。アルキル基の置換位置は、ピロリジン環中の任意の位置でよく、チッ素原子上であっても、炭素原子上であってもよい。
ジアザビシクロオクタン類としては、無置換、またはアルキル基(好ましくは炭素数1〜6、より好ましくは炭素数1〜3のアルキル基)で置換されたジアザビシクロオクタンが好ましく、ここでアルキル基は、さらにアミノ基を有していてもよい。アルキル基の置換位置は、ジアザビシクロオクタン環中の任意の位置でよく、チッ素原子上であっても、炭素原子上であってもよい。具体的には、1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン等を挙げることができる。
本発明で用いるポリアミック酸は、略等モルのテトラカルボン酸二無水物とジアミンとを、溶媒中で、イミド化反応を抑制するために100℃以下、好ましくは80℃以下の比較的低温で反応させることにより、ポリアミック酸溶液として得ることができる。
限定するものではないが、通常、反応温度は25℃〜100℃、好ましくは40℃〜80℃、より好ましくは50℃〜80℃であり、反応時間は0.1〜24時間程度、好ましくは2〜12時間程度である。反応温度及び反応時間を前記範囲内とすることによって、生産効率よく高分子量のポリアミック酸溶液を容易に得ることができる。
なお、反応は、空気雰囲気下でも行うことができるが、通常は不活性ガス、好ましくは窒素ガス雰囲気下で好適に行われる。
略等モルのテトラカルボン酸二無水物とジアミンとは、具体的には、これらのモル比[テトラカルボン酸二無水物/ジアミン]で0.90〜1.10程度、好ましくは0.95〜1.05程度である。
本発明で用いる溶媒としては、ポリアミック酸を重合可能であればいずれの溶媒でもよく、水溶媒であっても、有機溶媒であってもよい。溶媒は2種以上の混合物であってもよく、2種以上の有機溶媒の混合溶媒、又は水と1種以上の有機溶媒の混合溶媒も好適に用いることができる。
本発明で用いることができる有機溶媒としては、特に限定されないが、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N−メチルカプロラクタム、ヘキサメチルホスホロトリアミド、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン、テトラヒドロフラン、ビス[2−(2−メトキシエトキシ)エチル]エーテル、1,4−ジオキサン、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、ジフェニルエーテル、スルホラン、ジフェニルスルホン、テトラメチル尿素、アニソール、m−クレゾール、フェノール、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
なお、この反応に用いた溶媒が、本発明のポリイミド前駆体組成物に含まれる溶媒であることができる。
本発明で用いるポリアミック酸は、限定されないが、温度30℃、濃度0.5g/100mLで測定した対数粘度が0.2以上、好ましくは0.4以上、特に好ましくは0.6以上であることが好適である。対数粘度が前記範囲よりも低い場合には、ポリアミック酸の分子量が低いことから、高い特性のポリイミドを得ることが難しくなることがある。
本発明で用いるポリイミド前駆体組成物は、ポリアミック酸と塩基性化合物(イミダゾール類、アミン化合物)を溶媒中で均一に混合したものである。本発明のポリイミド前駆体組成物は、溶媒中でテトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させて得られたポリアミック酸溶液に塩基性化合物を添加して均一に混合することによって調製することができる。また、溶媒中、塩基性化合物の存在下でテトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させて、塩基性化合物とポリアミック酸を含む本発明のポリイミド前駆体組成物を調製してもよい。塩基性化合物の添加は、ポリアミック酸の調製時から系中に添加しておいても、調製後に添加しても、絶縁被覆層作製前であればいつでも構わない。
有機溶媒を用いる場合の塩基性化合物の使用量は、ポリアミック酸のカルボキシル基のモル数に対して0.1倍等量以上、好ましくは0.2倍等量以上、特に0.25倍等量以上であることが好ましい。すなわち、塩基性化合物をテトラカルボン酸二無水物に対して0.2倍等量以上、好ましくは0.4倍等量以上、特に0.5倍等量以上用いるのが、ポリアミック酸の溶解性の点から好ましい。
また、水溶媒、又は水と有機溶媒の混合溶媒を用いる場合の塩基性化合物の使用量は、ポリアミック酸のカルボキシル基のモル数に対して0.8倍等量以上、好ましくは1.0倍等量以上、特に1.2倍等量以上であることが好ましい。すなわち、塩基性化合物をテトラカルボン酸二無水物に対して1.6倍等量以上、好ましくは2.0倍等量以上、特に2.4倍等量以上用いるのが、ポリアミック酸の溶解性の点から好ましい。
塩基性化合物の使用量の上限は、特に限定されないが、有機溶媒を用いる場合も、水溶媒、又は水と有機溶媒の混合溶媒を用いる場合も、通常は50重量部未満、好ましくは30重量部未満、より好ましくは20重量部未満が好ましい。塩基性化合物の使用量が多過ぎると、非経済的になるし、ポリイミド前駆体組成物の保存安定性が悪くなることがある。
本発明で用いるポリイミド前駆体組成物は、ポリアミック酸に起因する固形分濃度が、限定されないが、ポリアミック酸と溶媒との合計量に対して、好ましくは5質量%〜45質量%、より好ましくは5質量%〜40質量%、さらに好ましくは5質量%超〜30質量%であることが好適である。固形分濃度が5質量%より低いと使用時の取り扱いが悪くなることがあり、45質量%より高いと溶液の流動性がなくなることがある。
また、本発明で用いるポリイミド前駆体組成物の30℃における溶液粘度は、限定されないが、好ましくは1000Pa・sec以下、より好ましくは0.5〜500Pa・sec、さらに好ましくは1〜300Pa・sec、特に好ましくは2〜200Pa・secであることが取り扱い上好適である。
本発明で用いるポリイミド前駆体組成物は、必要に応じて、ポリアミック酸と塩基性化合物(イミダゾール類、アミン化合物)と溶媒に加えて、他の添加成分を含有していてもよい。
ポリイミド前駆体組成物は、加熱処理によって溶媒を除去するとともにイミド化(脱水閉環)することによってポリイミドとなるが、上記のような本発明のポリイミド前駆体組成物を用いることにより、ポリイミド絶縁被覆層の形成のために、短時間で昇温し高温で焼付ける工程を採用することが可能となる。
ここで、イミド化過程における結晶化について説明する。イミド化過程においては、溶媒の蒸発とイミド化反応が平行して起こる。昇温速度が大きいと、イミド化反応の進行に対して溶媒の蒸発量が少なくなり、残存溶媒量が比較的多くなる。ポリアミック酸のイミド化が進行してイミド結合が生成すると、分子鎖の溶媒に対する溶解性が小さくなる。そのため、残存溶媒量が比較的多い状態では、分子鎖が結晶化して析出しやすくなる。一方、昇温速度が小さい場合、イミド化反応の進行に対して溶媒の蒸発量が多くなり、残存溶媒が少ないため、結晶化が起こりにくい。本発明のポリイミド前駆体組成物は、塩基性化合物を含み、これにより分子鎖の溶媒に対する溶解性の低下を防止するため、昇温速度が大きい条件における結晶化の問題が起こりにくくなる。
本発明では、公知の方法により基材に上記のようなポリイミド前駆体組成物を塗布し、加熱(焼付け)することによりポリイミド絶縁被覆層を形成する。この焼付け工程においては、ポリイミド前駆体組成物を加熱する時間(加熱炉で加熱する場合、加熱炉内にある時間)を10〜180秒間とし、100℃から280℃までの平均昇温速度を5℃/s以上とし、最高加熱温度を300〜500℃とすることができる。100℃から280℃までの平均昇温速度の上限は、特に限定されないが、例えば、50℃/s以下が好ましい。
本発明においては、さらに、100℃から300℃までの平均昇温速度を5℃/s以上(すなわち、100℃〜300℃まで40秒以内)としてもよく、100℃から最高加熱温度(300〜500℃)までの平均昇温速度を5℃/s以上としてもよい。100℃までの平均昇温速度も、特に限定されないが、5℃/s以上としてもよい。
本発明においては、100℃から280℃までの平均昇温速度が5℃/s以上(すなわち、100℃〜280℃まで36秒以内)であれば、室温から最高加熱温度までの昇温条件に制限はなく、一定の昇温速度で昇温してもよく、また加熱処理中に昇温速度を変更してもよく、段階的に昇温してもよい。
このイミド化のための加熱処理は、例えば、空気雰囲気下、あるいは不活性ガス雰囲気下で行うことができる。
なお、基材は、特に限定されず、用途に応じて適宜選択される。また、形成するポリイミド絶縁被覆層の厚みも、特に限定されず、用途に応じて適宜選択される。
本発明により得られるポリイミド絶縁被覆層は、高度の耐電圧性、耐熱性、及び耐湿熱性を有する絶縁部材(被覆層)である。したがって、電気・電子部品関連、自動車分野、航空宇宙分野等に特に好適に使用でき、HV車モーター用コイルや超小型モーターの分野にも使用可能である。
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されるものではない。
以下の例で用いた特性の測定方法を以下に示す。
<固形分濃度>
試料溶液(その質量をw1とする)を、熱風乾燥機中120℃で10分間、250℃で10分間、次いで350℃で30分間加熱処理して、加熱処理後の質量(その質量をw2とする)を測定する。固形分濃度[質量%]は、次式によって算出した。
固形分濃度[質量%]=(w2/w1)×100
<対数粘度>
試料溶液を、固形分濃度に基づいて濃度が0.5g/dl(溶媒は水もしくはN−メチル−2−ピロリドン)になるように希釈した。この希釈液を、30℃にて、キャノンフェンスケNo.100を用いて流下時間(T1)を測定した。対数粘度は、ブランクの水の流下時間(T0)を用いて、次式から算出した。
対数粘度={ln(T1/T0)}/0.5
<溶液粘度(回転粘度)>
トキメック社製E型粘度計を用いて30℃で測定した。
<絶縁被覆層の状態観察(被覆膜評価)>
得られた被覆層について目視により状態観察を行った。濁りが全くないものを良好、濁りがある領域が10%を越えているものを濁りありとした。「濁りがある」ということは、ポリイミド樹脂が少なくとも一部結晶化していることを示している。
<昇温速度の測定>
被覆層形成工程において、キーエンス株式会社製の計測ユニットNR−TH08と解析ソフトWAVE LOGGERを用いて、サンプル温度が100℃から280℃に変化するまでの所要時間を測定した。
以下の例で使用した化合物の略号について説明する。
s−BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ODPA:4,4’−オキシジフタル酸二無水物
a-BPDA:2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
PPD:p−フェニレンジアミン
1,2−DMZ:1,2−ジメチルイミダゾ−ル
DABCO:1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン
IQ:イソキノリン
NMP:N−メチル−2−ピロリドン
〔実施例1〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒としてNMPの396gを加え、これにODAの40.05g(0.20モル)を加え50℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの58.84g(0.20モル)を加え、50℃で3時間撹拌して、固形分濃度18.5質量%、溶液粘度5.0Pa・s、対数粘度0.68のポリイミド前駆体を得た。このポリイミド前駆体に1,2−DMZの14.83g(0.15モル、テトラカルボン酸成分の0.75倍等量)を添加しポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を、18μmの銅箔(三井金属鉱業製、3EC−VLP)上に塗工した。得られたサンプルを事前に350℃に熱したSUS板の上に置いて1分間保持し、絶縁被覆層を作成した。その際のサンプル温度が100℃から280℃へ昇温する時間は25秒であった(昇温速度7.2℃/s)。また、380℃に熱したSUS板を用いて同様に絶縁被覆層を作成した。その際のサンプル温度が100℃から280℃へ昇温する時間は12秒であった(昇温速度15℃/s)。得られたポリイミド前駆体組成物及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表1に示した。
〔実施例2〕
ポリイミド前駆体組成物を、膜厚50μmのポリイミドフィルム上に塗工したこと以外は実施例1と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層の製造を行った。結果を表1に示した。
〔実施例3〕
1,2−DMZの代わりに、DABCOの14.83g(0.13モル、テトラカルボン酸成分の0.66倍等量)を用いた以外は実施例1と同様にしてポリイミド前駆体組成物を調製し、これを用いて実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層の製造を行った。結果を表1に示した。
〔実施例4〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒としてNMPの359gを加え、これにODAの20.02g(0.10モル)、PPDの10.81g(0.10モル)を加え50℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの58.84g(0.20モル)を加え、50℃で3時間撹拌して、固形分濃度18.4質量%、溶液粘度9.5Pa・s、対数粘度0.69のポリイミド前駆体を得た。このポリイミド前駆体に1,2−DMZの13.45g(0.14モル、テトラカルボン酸成分の0.70倍等量)を添加しポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表1に示した。
〔実施例5〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒としてNMPの377gを加え、これにODAの28.03g(0.14モル)、PPDの6.49g(0.06モル)を加え50℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの41.19g(0.14モル)、ODPAの18.61g(0.06モル)を加え、50℃で3時間撹拌して、固形分濃度18.5質量%、溶液粘度5.1Pa・s、対数粘度0.68のポリイミド前駆体を得た。このポリイミド前駆体に1,2−DMZの14.15g(0.15モル、テトラカルボン酸成分の0.74倍等量)を添加しポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表1に示した。
〔実施例6〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の421gを加え、これにODAの20.02g(0.10モル)と、1,2−DMZの24.03g(0.25モル、テトラカルボン酸成分の2.5倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの29.42g(0.10モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度9.3質量%、溶液粘度32Pa・s、対数粘度0.42のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表1に示した。
〔実施例7〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の406gを加え、これにPPDの12.97g(0.12モル)と、1,2−DMZの28.84g(0.30モル、テトラカルボン酸成分の2.5倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの35.31g(0.12モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度9.1質量%、溶液粘度63Pa・s、対数粘度1.86のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表1に示した。
〔実施例8〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の400gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの24.03g(0.25モル、テトラカルボン酸成分の2.5倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、ODPAの9.31g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度9.2質量%、溶液粘度52Pa・s、対数粘度0.46のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表1に示した。
〔実施例9〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の103gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、ODPAの9.31g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.1質量%、溶液粘度3.5Pa・s、対数粘度0.25のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を、膜厚50μmのポリイミドフィルム上に塗工した。得られたサンプルを事前に350℃に熱したSUS板の上に置いて1分間保持し、絶縁被覆層を作成した。その際のサンプル温度が100℃から280℃へ昇温する時間は25秒であった(昇温速度7.2℃/s)。また、380℃に熱したSUS板を用いて同様に絶縁被覆層を作成した。その際のサンプル温度が100℃から280℃へ昇温する時間は12秒であった(昇温速度15℃/s)。得られたポリイミド前駆体組成物及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例10〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の98gとNMPの5.0gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、ODPAの9.31g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.2質量%、溶液粘度3.1Pa・s、対数粘度0.27のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例11〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の98gを加え、これにODAの10.01g(0.05モル)、PPDの5.41g(0.05モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、ODPAの9.31g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.1質量%、溶液粘度2.1Pa・s、対数粘度0.26のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例12〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の93gとNMPの5gを加え、これにODAの10.01g(0.05モル)、PPDの5.41g(0.05モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、ODPAの9.31g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.1質量%、溶液粘度2.0Pa・s、対数粘度0.25のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例13〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の102gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、a−BPDAの8.83g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.0質量%、溶液粘度4.3Pa・s、対数粘度0.22のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例14〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の97gとNMPの5gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの20.60g(0.07モル)、a−BPDAの8.83g(0.03モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.1質量%、溶液粘度3.1Pa・s、対数粘度0.24のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例15〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の102gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの29.42g(0.10モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度22.9質量%、溶液粘度21Pa・s、対数粘度0.37のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔実施例16〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒として水の97gとNMPの5gを加え、これにODAの14.02g(0.07モル)、PPDの3.24g(0.03モル)と、1,2−DMZの38.45g(0.40モル、テトラカルボン酸成分の4.0倍等量)とを加え、25℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの29.42g(0.10モル)を加え、70℃で4時間撹拌して、固形分濃度23.1質量%、溶液粘度15Pa・s、対数粘度0.36のポリイミド前駆体組成物を得た。
このポリイミド前駆体組成物を用いて、実施例9と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表2に示した。
〔比較例1〕
1,2−DMZを用いないこと以外は実施例1と同様にしてポリイミド前駆体組成物を調製し、これを用いて実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。結果を表3に示した。
〔比較例2〕
1,2−DMZを用いないこと以外は実施例5と同様にしてポリイミド前駆体組成物を調製し、これを用いて実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。結果を表3に示した。
〔比較例3〕
1,2−DMZの代わりにIQの14.83g(0.11モル、テトラカルボン酸成分の0.57倍等量)を用いたこと以外は実施例1と同様にしてポリイミド前駆体組成物を調製し、これを用いて実施例2と同様にして、ポリイミドフィルム上に絶縁被覆層を製造した。結果を表3に示した。
〔参考例1〕
攪拌機、窒素ガス導入・排出管を備えた内容積500mLのガラス製の反応容器に、溶媒としてNMPの396gを加え、これにODAの40.05g(0.20モル)を加え50℃で1時間攪拌し、溶解させた。この溶液にs−BPDAの58.84g(0.20モル)を加え、50℃で3時間撹拌して、固形分濃度18.5質量%、溶液粘度5.0Pa・s、対数粘度0.68のポリイミド前駆体を得た。
このポリイミド前駆体組成物を、ガラス板上に固定した膜厚50μmのポリイミドフィルムに塗工した。得られたサンプルを事前に400℃に熱した焼成炉の中に置いた後1分間保持し、被覆膜を作成した。その際のサンプル温度が100℃から280℃へ昇温する時間が37秒であった(昇温速度4.9℃/s)。得られたポリイミド前駆体及び絶縁被覆層について、状態観察及び特性の評価結果を表3に示した。
Figure 2014142173
Figure 2014142173
Figure 2014142173

Claims (5)

  1. 基材にポリイミド前駆体組成物を塗布、焼付けする工程を有するポリイミド絶縁被覆層の製造方法であって、
    ポリイミド前駆体組成物が、下記化学式(1)で示される繰返し単位からなるポリアミック酸と、イミダゾール類、及びアミン化合物からなる群より選択される塩基性化合物とを含み、
    焼付け工程において、
    ポリイミド前駆体組成物を加熱する時間が10〜180秒間であり、
    100℃から280℃までの平均昇温速度が5℃/s以上であり、
    最高加熱温度が300〜500℃であることを特徴とする絶縁被覆層の製造方法。
    Figure 2014142173
    化学式(1)において、Aは4価の有機基であり、Aの50〜100モル%が下記化学式(2)で示される4価の基であり、Bは2価の有機基である。
    Figure 2014142173
  2. ポリイミド前駆体組成物が、塩基性化合物として、置換基として2個以上のアルキル基を有するイミダゾール類を含むことを特徴とする請求項1に記載の絶縁被覆層の製造方法。
  3. イミダゾール類が、1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、4−エチル−2−メチルイミダゾール、及び1−メチル−4−エチルイミダゾールからなる群から選択されるイミダゾール類であることを特徴とする請求項2に記載の絶縁被覆層の製造方法。
  4. ポリイミド前駆体組成物が、塩基性化合物として、脂肪族アミン、又は環状アミンを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の絶縁被覆層の製造方法。
  5. アミン化合物が、トリメチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、N−プロピルエチルアミン、N−ブチルエチルアミン、N,N−ジメチルシクロヘキシルアミン、及び1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタンからなる群から選択される化合物であることを特徴とする請求項4に記載の絶縁被覆層の製造方法。
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