JPWO2012133583A1 - 超臨界乾燥装置及び超臨界乾燥方法 - Google Patents
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Abstract
超臨界乾燥の前処理としてリンス液(20)により加工物の洗浄を行うリンス部(110)と、前記リンス液(20)で洗浄された加工物に対して超臨界乾燥を行う超臨界乾燥部(120)と、前記リンス部(110)と前記超臨界乾燥部(120)との間で加工物の搬送を行う搬送部(130)と、を備え、前記超臨界乾燥部(120)は、前記リンス液(20)と同一の成分を含む乾燥防止液(30)を供給する乾燥防止液供給部(140)と、前記乾燥防止液供給部(140)から前記超臨界乾燥部(120)に供給した乾燥防止液(30)を回収し、前記超臨界乾燥部(120)から回収された乾燥防止液(30)を前記リンス部(110)へ送液する乾燥防止液送液部(170)と、を有し、前記超臨界乾燥部(120)から回収された乾燥防止液(30)を少なくとも前記リンス液(20)の一部として再利用することを特徴とする超臨界乾燥装置。
Description
超臨界乾燥でリンス後超臨界乾燥前の乾燥防止液として用いられたVOCを、再度超臨界乾燥室内に戻して乾燥防止液として再利用として用いると、リンス洗浄で清浄化されたウェハに再利用の乾燥防止液に含まれるパーティクルが付着する虞があるとの知見に至った。本発明者は鋭意検討した結果、乾燥防止液を超臨界乾燥室前のリンス洗浄液として、または超臨界乾燥室内でのリンス洗浄液として再利用することで、ウェハを清浄に保ちつつ洗浄及び乾燥を通じて使用されるVOCの量を減らすことができるとの知見を得た。
図1は、本発明の一実施形態に係る超臨界乾燥装置の全体構成を示すブロック図である。
以下で、図6を参照して本発明の他の実施形態に係る超臨界乾燥装置の構成について説明する。なお、上述した実施形態に係る超臨界乾燥装置と同様の構成については、詳細な説明を省略する。
図9を参照して、本発明の実施形態3に係る超臨界乾燥装置について説明する。
以下で、本発明の他の実施形態に係る超臨界乾燥方法について、図10を参照しつつ説明する。なお、上述した実施形態1ないし実施形態3において説明した内容と重複する内容については説明を省略する。
次に、図11及び図12を参照して、本発明の実施形態5に係る超臨界乾燥装置について説明する。その前に実施形態5に係る超臨界装置に関する理解を容易にするため、発明に至る経緯を簡単に述べる。
本実施形態では、超臨界乾燥装置のリンス部及び乾燥処理部、及び各構成を接続する配管に不動態化処理を施すことが特徴である。特に、上述の各実施形態(実施形態1〜4)に係る超臨界乾燥装置に当該不動態化処理を施すことが好ましい。以下では各実施形態に係る超臨界装置における処理部ないしリンス部及び乾燥処理部、及び各構成を接続する配管の不動態化処理について説明する。
Claims (15)
- 超臨界乾燥の前処理としてリンス液により加工物の洗浄を行うリンス部と、
前記リンス液で洗浄された前記加工物に対して超臨界乾燥を行う超臨界乾燥部と、
前記リンス部と前記超臨界乾燥部との間で前記加工物の搬送を行う搬送部と、を備え、
前記超臨界乾燥部は、
前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を供給する乾燥防止液供給部と、
前記乾燥防止液供給部から前記超臨界乾燥部に供給した前記乾燥防止液を回収し、前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を前記リンス部へ送液する乾燥防止液送液部と、
を有し、
前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を少なくとも前記リンス液の一部として用いることを特徴とする超臨界乾燥装置。 - 前記リンス部は、1次リンスを行う1次リンス部と、前記1次リンス部で洗浄された前記加工物を前記超臨界乾燥部へ搬送する前に洗浄するための2次リンスを行う2次リンス部と、を含み、
前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を前記1次リンス部で用いることを特徴とする請求項1に記載の超臨界乾燥装置。 - 超臨界乾燥の前処理として加工物をリンス液により洗浄し、かつ前記加工物を搬送するリンス及び搬送部と、
前記リンス液で洗浄された前記加工物に対して超臨界乾燥を行う超臨界乾燥部と、
前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を前記超臨界乾燥部に供給する乾燥防止液供給部と、
前記乾燥防止液供給部から前記超臨界乾燥部に供給した前記乾燥防止液を回収し、前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を前記リンス部へ送液する乾燥防止液送液部と、
を有し、
前記超臨界乾燥部から回収された前記乾燥防止液を少なくとも前記リンス液の一部として用いることを特徴とする超臨界乾燥装置。 - 前記リンス液による洗浄の前処理として前記加工物の水洗洗浄を行う水洗部をさらに有し、
前記水洗部では、前記加工物の洗浄面が垂直状態で置かれ、前記リンス及び搬送部は前記加工物を洗浄面が垂直ないし下向きとなるように前記水洗部より取出し、その後前記加工物を姿勢変形して前記加工物の洗浄面を水平ないし上向きに変換して前記加工物を搬送することを特徴とする請求項3に記載の超臨界乾燥装置。 - 加工物に対して超臨界乾燥を行う超臨界乾燥部を備え、
前記超臨界乾燥部は、超臨界乾燥の前処理としてリンス液により前記加工物の洗浄を行い、前記リンス液を排出した後に前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を供給されて超臨界乾燥を行うリンス及び乾燥処理部と、
前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を前記リンス及び乾燥処理部に供給する乾燥防止液供給部と、
前記乾燥防止液供給部から前記リンス及び乾燥処理部に供給した前記乾燥防止液を回収し、前記リンス及び乾燥処理部から回収された前記乾燥防止液を前記リンス及び乾燥処理部へ送液する乾燥防止液送液部と、
を有し、
前記リンス及び乾燥処理部から回収された前記乾燥防止液を少なくとも前記リンス液の一
部として用いることを特徴とする超臨界乾燥装置。 - 加工物をリンス液で洗浄し、
洗浄された前記加工物を超臨界乾燥部に搬送し、
前記超臨界乾燥部に前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を供給して、前記加工物を前記乾燥防止液に曝し、
前記超臨界乾燥部を超臨界状態の流体で満たし、前記乾燥防止液を超臨界状態の流体で置換し、その後超臨界状態の流体を気化して前記加工物を乾燥し、
前記超臨界乾燥部に供給した前記乾燥防止液を回収し、少なくとも別の加工物を洗浄する際の前記リンス液の一部として用いることを特徴とする超臨界乾燥方法。 - 前記超臨界乾燥部は、その内部で前記加工物の超臨界乾燥を行う処理部と、
前記処理部へと高圧流体を供給する高圧流体供給部とを有し、
前記処理部と前記高圧流体供給部との間は第1の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液供給部との間は第2の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液送液部との間は第3の配管により接続され、
前記処理部、前記第1の配管、前記第2の配管及び前記第3の配管の内部は、それぞれ酸化被膜の表面を有することを特徴とする請求項1に記載の超臨界乾燥装置。 - 前記超臨界乾燥部は、その内部で前記加工物の超臨界乾燥を行う処理部と、
前記処理部へと高圧流体を供給する高圧流体供給部とを有し、
前記処理部と前記高圧流体供給部との間は第1の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液供給部との間は第2の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液送液部との間は第3の配管により接続され、
前記処理部、前記第1の配管、前記第2の配管及び前記第3の配管の内部は、それぞれ酸化被膜の表面を有することを特徴とする請求項2に記載の超臨界乾燥装置。 - 前記超臨界乾燥部は、その内部で前記加工物の超臨界乾燥を行う処理部と、
前記処理部へと高圧流体を供給する高圧流体供給部とを有し、
前記処理部と前記高圧流体供給部との間は第1の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液供給部との間は第2の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液送液部との間は第3の配管により接続され、
前記処理部、前記第1の配管、前記第2の配管及び前記第3の配管の内部は、それぞれ酸化被膜の表面を有することを特徴とする請求項3に記載の超臨界乾燥装置。 - 前記超臨界乾燥部は、その内部で前記加工物の超臨界乾燥を行う処理部と、
前記処理部へと高圧流体を供給する高圧流体供給部とを有し、
前記処理部と前記高圧流体供給部との間は第1の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液供給部との間は第2の配管により接続され、
前記処理部と前記乾燥防止液送液部との間は第3の配管により接続され、
前記処理部、前記第1の配管、前記第2の配管及び前記第3の配管の内部は、それぞれ酸化被膜の表面を有することを特徴とする請求項4に記載の超臨界乾燥装置。 - 前記超臨界乾燥部は、前記リンス及び乾燥処理部へと高圧流体を供給する高圧流体供給部と、
前記リンス及び乾燥処理部へと前記リンス液を供給するリンス液供給部とを有し、
前記リンス及び乾燥処理部と前記高圧流体供給部との間は第1の配管により接続され、
前記リンス及び乾燥処理部と前記乾燥防止液供給部との間は第2の配管により接続され、前記リンス及び乾燥処理部と前記乾燥防止液送液部との間は第3の配管により接続され、前記リンス及び乾燥処理部と前記リンス液供給部との間は第4の配管により接続され、
前記リンス及び乾燥処理部、前記第1の配管、前記第2の配管、前記第3の配管及び前記第4の配管の内部は、それぞれ酸化被膜の表面を有することを特徴とする請求項5に記載の超臨界乾燥装置。 - 前記リンス液の洗浄は、
1次洗浄及び2次洗浄を含み、
前記乾燥防止液は、別の加工物を洗浄する際の前記1次洗浄の際の前記リンス液の一部として用いることを特徴とする請求項6に記載の超臨界乾燥方法。 - 加工物をリンス液で洗浄しつつ超臨界乾燥部に搬送し、
前記超臨界乾燥部に前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を供給して、前記加工物を前記乾燥防止液に曝し、
前記超臨界乾燥部を超臨界状態の流体で満たし、前記乾燥防止液を超臨界状態の流体で置換し、その後超臨界状態の流体を気化して前記加工物を乾燥し、
前記超臨界乾燥部に供給した前記乾燥防止液を回収し、少なくとも別の加工物を洗浄する際の前記リンス液の一部として用いることを特徴とする超臨界乾燥方法。 - 前記リンス液による洗浄の前処理として前記加工物の水洗洗浄を行い、
前記水洗の際には、前記加工物の洗浄面が垂直状態であり、
その後前記加工物を姿勢変形して前記加工物の洗浄面を水平ないし上向きに変換して
前記加工物を搬送することを特徴とする請求項13に記載の超臨界乾燥方法。 - 加工物を超臨界乾燥部においてリンス液で洗浄し、
前記超臨界乾燥部より前記リンス液を排出し、
前記超臨界乾燥部へと前記リンス液と同一の成分を含む乾燥防止液を供給して、前記加工物を前記乾燥防止液に曝し、
前記超臨界乾燥部を超臨界状態の流体で満たし、前記乾燥防止液を超臨界状態の流体で置換し、その後超臨界状態の流体を気化して前記加工物を乾燥し、
前記超臨界乾燥部に供給した前記乾燥防止液を回収し、
少なくとも別の加工物を洗浄する際の前記リンス液の一部として用いることを特徴とする超臨界乾燥方法。
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