JPWO2012102252A1 - 貫通電極付基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
貫通電極付基板の製造方法は、シリコン基板51およびガラス基板54のうちいずれか一方の基板に凹部21又は貫通孔21Bを形成する工程と、他方の基板に凸部52を形成する工程と、凸部52が凹部21又は貫通孔21Bに挿入された状態となるように、シリコン基板51とガラス基板54とを重ね合わせる工程と、シリコン基板51とガラス基板54とを接合する工程とを備えている。
Description
本発明は、貫通電極付基板およびその製造方法に関する。
従来、貫通電極付基板を製造する方法として、例えば、特許文献1に記載された技術が知られている。
この特許文献1には、ガラス材料からなるフラット基板(貫通電極付基板)の製造方法が記載されている。具体的には、ガラス材料からなるフラット基板は下記のようにして製造される。まず、平坦なシリコン基板の表面に窪みを形成し、平坦なガラス基板にシリコン基板の窪みが形成された面を重ね合わせる。そして、ガラス基板を加熱することによりガラス基板の一部をこの窪みの中に埋め込む。その後、ガラス基板を再固化させ、フラット基板の表裏面を研磨し、シリコンを除去する。
しかしながら、上記従来の技術では、ガラス基板を加熱することにより溶融させてガラス基板の一部をこの窪みの中に埋め込むようにしているため、熱応力が作用してデバイス特性に影響を与えてしまうおそれがあった。
そこで、本発明は、デバイス特性に与える影響を極力抑制することのできる貫通電極付基板およびその製造方法を得ることを目的とする。
本発明は、貫通電極付基板の製造方法であって、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか一方の基板に凹部又は貫通孔を形成する工程と、他方の基板に凸部を形成する工程と、前記凸部が前記凹部又は貫通孔に挿入された状態となるように、前記シリコン基板と前記ガラス基板とを重ね合わせる工程と、前記シリコン基板と前記ガラス基板とを接合する工程と、を備えることを特徴とする。
また、前記シリコン基板と前記ガラス基板とが接合された接合基板の少なくとも片面において前記ガラス基板および前記シリコン基板を露出させる工程をさらに備えてもよい。
また、前記シリコン基板と前記ガラス基板との接合を、前記凸部が形成された基板が前記凹部又は貫通孔の開口を空隙が形成されないように覆った状態で行うようにしてもよい。
また、前記凸部と前記凹部又は前記凸部と前記貫通孔との間に隙間が形成されるようにしてもよい。
また、本発明は、ガラス基板の内部に貫通電極が形成された貫通電極付基板であって、前記貫通電極と前記ガラス基板との間に隙間が形成されていることを特徴とする。
本発明によれば、熱応力による影響を抑制することのできる貫通電極付基板およびその製造方法を提供することが可能である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。以下では、静電容量式センサとしての加速度センサで用いられる貫通電極付基板を例示する。また、錘部の可動電極が形成される側をシリコン基板の表面側と定義する。そして、シリコン基板の短手方向をX方向、シリコン基板の長手方向をY方向、シリコン基板の厚さ方向をZ方向として説明する。
また、以下の複数の実施形態には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、それら同様の構成要素には共通の符号を付与するとともに、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
本実施形態にかかる半導体装置1は、図1(a)および図1(b)に示すように、MEMSデバイスの一例としての加速度センサチップ(加速度センサ:半導体素子)Aと、加速度センサチップAから出力された信号を処理する信号処理回路が形成された制御ICチップBと、を備えている。また、半導体装置1は、表面実装型のパッケージ101を備えており、このパッケージ101に、加速度センサチップAおよび制御ICチップBが収納されている。
本実施形態にかかる半導体装置1は、図1(a)および図1(b)に示すように、MEMSデバイスの一例としての加速度センサチップ(加速度センサ:半導体素子)Aと、加速度センサチップAから出力された信号を処理する信号処理回路が形成された制御ICチップBと、を備えている。また、半導体装置1は、表面実装型のパッケージ101を備えており、このパッケージ101に、加速度センサチップAおよび制御ICチップBが収納されている。
パッケージ101は、図1(b)における上面に位置する一面が開放された箱形の形状を有するプラスチックパッケージ本体102と、パッケージ101の開放された一面を閉塞するパッケージ蓋(リッド)103とを備えている。また、プラスチックパッケージ本体102は、加速度センサチップAおよび制御ICチップBに電気的に接続される複数のリード112を備えている。
各リード112は、プラスチックパッケージ本体102の外側面から導出されたアウタリード112bと、プラスチックパッケージ本体102の内側面から導出されたインナリード112aとを備えている。
そして、各インナリード112aは、ボンディングワイヤWを通じて制御ICチップBが備える各パッドに電気的に接続されている。
加速度センサチップAは、加速度センサチップAの外周形状に基づいて規定した仮想三角形の3つの頂点に対応する3箇所に配置された接着部104により、プラスチックパッケージ本体102の底部に位置する搭載面102aに固着されている。この接着部104は、プラスチックパッケージ本体102に連続して一体に突設されている円錐台形状の突起部と、当該突起部を被覆する接着剤とで構成されている。接着剤としては、例えば、弾性率が1MPa以下のシリコン樹脂などのシリコン系樹脂を用いることができる。
ここで、加速度センサチップAが備える総てのパッドは、プラスチックパッケージ本体102の開放された一面に対向する加速度センサチップAの主面において、この主面の1辺に沿って配置されている。この1辺の両端の2箇所と、当該1辺に平行な辺の1箇所(例えば、中央部)との3箇所に頂点を有する仮想三角形の各頂点に接着部104が位置している。これにより、各パッドにボンディングワイヤWを安定してボンディングすることができる。なお、接着部104の位置に関し、上記1辺に平行な辺の1箇所については、中央部に限らず、例えば、両端の一方でもよいが、中央部の方が加速度センサチップAをより安定して支持することができるとともに、各パッドにボンディングワイヤWを安定してボンディングすることができる。
制御ICチップBは、単結晶シリコン等から成る半導体基板上に形成された複数の半導体素子、これらを接続する配線、および半導体素子や配線を外部環境から保護するパッシベーション膜からなる半導体チップである。そして、制御ICチップBの裏面全体がシリコン系樹脂によりプラスチックパッケージ本体102の底面に固着されている。制御ICチップB上に形成される信号処理回路は、加速度センサチップAの機能に応じて適宜設計すればよく、加速度センサチップAと協働するものであればよい。例えば、制御ICチップBをASIC(Application Specific IC)として形成することができる。
図1の半導体装置を製造するには、まず、加速度センサチップAおよび制御ICチップBをプラスチックパッケージ本体102に固着するダイボンディング工程を行う。そして、加速度センサチップAと制御ICチップBとの間、制御ICチップBとインナリード112aとの間を、それぞれボンディングワイヤWを介して電気的に接続するワイヤボンディング工程を行う。その後、樹脂被覆部116を形成する樹脂被覆部形成工程を行い、続いて、パッケージ蓋(リッド)103の外周を、プラスチックパッケージ本体102に接合するシーリング工程を行う。これにより、プラスチックパッケージ本体102の内部は気密状体で封止される。なお、パッケージ蓋103の適宜部位には、レーザマーキング技術により、製品名称や製造日時等を示す表記113が形成されている。
なお、本実施形態では、制御ICチップBが1枚のシリコン基板を用いて形成されているのに対して、加速度センサチップAは、積層された複数の基板を用いて形成されており、加速度センサチップAの厚みが制御ICチップBの厚みに比べて厚くなっている。そのため、プラスチックパッケージ本体102の底部において加速度センサチップAを搭載する搭載面102aを制御ICチップBの搭載部位よりも凹ませている。したがって、プラスチックパッケージ本体102の底部は、加速度センサチップAを搭載する部位の厚みが他の部位に比べて薄くなっている。
さらに、本実施形態では、プラスチックパッケージ本体102の外形を10mm×7mm×3mmの直方体としている。しかしながら、この外形および数値は一例であり、プラスチックパッケージ本体102の外形は、加速度センサチップAや制御ICチップBの外形、リード112の本数やピッチなどに応じて適宜設定することが可能である。
また、プラスチックパッケージ本体102の材料としては、熱可塑性樹脂の一種であって、酸素および水蒸気の透過率が極めて低い液晶性ポリエステル(LCP)を採用している。しかしながら、LCPに限らず、例えば、ポリフェニレンサルファイト(PPS)、ポリビスアミドトリアゾール(PBT)等を採用してもよい。
また、各リード112の材料、つまり、各リード112の基礎となるリードフレームの材料としては、銅合金の中でもばね性の高いりん青銅を採用している。ここでは、リードフレームとして、材質がりん青銅で板厚が0.2mmにリードフレームを用い、厚みが2μm〜4μmのNi膜と、厚みが0.2μm〜0.3μmのAu膜との積層膜からなるめっき膜を電解めっき法により形成している。これにより、ワイヤボンディングの接合信頼性と半田付け信頼性とを両立させることができる。また、熱可塑性樹脂成形品のプラスチックパッケージ本体102は、リード112が同時一体に成形されている。しかしながら、熱可塑性樹脂であるLCPにより形成されるプラスチックパッケージ本体102とリード112のAu膜とは密着性が低い。そこで、本実施形態では、上述のリードフレームのうちプラスチックパッケージ本体102に埋設される部位にパンチ穴を設けることで各リード112が抜け落ちるのを防止できるようにしている。
また、図1の半導体装置には、インナリード112aの露出部位およびその周囲を覆う樹脂被覆部116が設けられている。樹脂被覆部116は、例えば、アミン系エポキシ樹脂などのエポキシ系樹脂などの非透湿性の樹脂からなる。本実施形態では、ワイヤボンディング工程の後に、ディスペンサを用いてこの非透湿性の樹脂を塗布し、これを硬化させることで、樹脂被覆部116を形成して機密性の向上を図っている。なお、この非透湿性の樹脂に代えてセラミックスを用いてもよく、セラミックスを用いる場合には、プラズマ溶射などの技術を用いてセラミックスを局所的に吹き付けるようにすればよい。
また、ボンディングワイヤとしては、Alワイヤに比べて耐腐食性の高いAuワイヤを用いている。また、本実施形態では、直径が25μmのAuワイヤを採用しているが、これに限らず、例えば、直径が20μm〜50μmのAuワイヤから適宜選択することも可能である。
次に、加速度センサチップAの概略構成を説明する。
加速度センサチップAは、静電容量型の加速度センサチップであって、SOI(Silicon On Insulator)基板10を用いて形成されたセンサ本体1と、ガラス基板20を用いて形成された第1の固定基板2と、ガラス基板30を用いて形成された第2の固定基板3とを備えている。第1の固定基板2は、センサ本体1の一表面1a側(図2や図3における上面側)に固着され、第2の固定基板3は、センサ本体1の他表面1b側(図2や図3における下面側)に固着されている。なお、第1および第2の固定基板2,3はセンサ本体1と同じ外形寸法に形成されている。
また、図2では、センサ本体1、第1の固定基板2および第2の固定基板3のそれぞれの構成を示すべく、センサ本体1、第1の固定基板2および第2の固定基板3が分離した状態を示している。このセンサ本体1は、SOI基板10に限らず、例えば、絶縁層を備えない通常のシリコン基板を用いて形成してもよい。また、第1および第2の固定基板2,3は、それぞれ、シリコン基板およびガラス基板のどちらで形成してもかまわない。
センサ本体1は、2つの平面視矩形状の開口窓12が上記一表面1aに沿って並設するフレーム部11と、フレーム部11の各開口窓12の内側に配置された2つの平面視矩形状の重り部13と、フレーム部11と重り部13との間を連結する各一対の支持ばね部14とを備えている。
2つの平面視矩形状の重り部13は、第1および第2の固定基板2,3からそれぞれ離間して配置されている。第1の固定基板2に対向する各重り部13の主面(図2や図3における上面)上に可動電極15A,15Bがそれぞれ配置されている。そして、重り部13の周囲を囲むフレーム部11の外周全体が第1および第2の固定基板2,3に接合されている。これにより、フレーム部11と第1および第2の固定基板2,3が、重り部13および後述する固定子16を収納するチップサイズパッケージを構成することとなる。
一対の支持ばね部14は、フレーム部11の各開口窓12の内側で重り部13の重心を通る直線に沿って重り部13を挟む形で配置されている。各支持ばね部14は、ねじれ変形が可能なトーションばね(トーションバー)であって、フレーム部11および重り部13に比べて肉薄に形成されている。そして、重り部13は、フレーム部11に対して一対の支持ばね部14の回りで変位可能となっている。
センサ本体1のフレーム部11には、各開口窓12のそれぞれに連通する平面視矩形状の窓孔17が2つの開口窓12と同じ方向に並設されている。各窓孔17の内側には、それぞれ2つの固定子16が一対の支持ばね部14の並設方向に沿って配置されている。
各固定子6と窓孔17の内周面との間、各固定子16と重り部13の外周面との間、および隣り合う固定子16同士の間には、隙間がそれぞれ形成されており、互いに分離独立して電気的に絶縁されている。そして、各固定子16は、第1および第2の固定基板2,3にそれぞれ接合されている。また、センサ本体1の一表面1a側において、各固定子16には、例えば、Al−Si膜などの金属薄膜からなる円形状の電極パッド18が形成されている。同様に、フレーム11において隣り合う窓孔17の間の部位にも、例えば、Al−Si膜などの金属薄膜からなる円形状の電極パッド18が形成されている。
各固定子16に形成された各電極パッド18は、後述する各固定電極25に電気的にそれぞれ接続されており、フレーム部11に形成された電極パッド18は、可動電極15Aおよび可動電極15Bに電気的に接続されている。以上説明した複数の電極パッド18は、加速度センサチップAの矩形状の外周形状の1辺に沿って配置されている。
第1の固定基板2は、第1の固定基板2の第1の主面2aとこれに対向する第2の主面(センサ本体1に重なり合う面)2bとの間を貫通している複数の配線(貫通電極)28と、第2の主面2b上に形成された複数の固定電極25とを備えている。
固定電極25Aaおよび固定電極25Abは、対をなして可動電極15Aに対向して配置されている。同様に、固定電極25Baおよび固定電極25Bbは、対をなして可動電極15Bに対向して配置されている。各固定電極25は、例えば、Al−Si膜などの金属薄膜で形成されている。
各配線28は、第1の固定基板2の第2の主面において、センサ本体1の電極パッド18にそれぞれ電気的に接続されている。これにより、電極パッド18を介して各固定電極25の電位および可動電極15の電位をそれぞれ加速度センサチップAの外部へ取り出すことができる。
本実施形態では、この第1の固定基板2が、ガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成された貫通電極付基板50に相当するものである。
したがって、本実施形態の第1の固定基板2として用いられる貫通電極付基板50は、ガラス基板20に形成された貫通孔53と、当該貫通孔53に、第1の主面2aおよび第2の主面2bで露出するように埋め込まれた配線(貫通電極)28とを備えることとなる。なお、配線(貫通電極)28は、配線(貫通電極)28の側面28aとガラス基板20の貫通孔53に対応する部位に形成される内面53aとの間に空隙が形成されないように貫通孔53に埋め込まれている(充填されている)。すなわち、ガラス基板20に形成された貫通孔53が配線(貫通電極)28によって封止されている。
一方、第2の固定基板3の一表面3a(センサ本体1に重なり合う面)であって、重り部13と対応する位置には、例えば、Al−Si膜などの金属薄膜からなる付着防止膜35が配置されている。この付着防止膜35は、変位する重り部13の第2の固定基板3への付着を防止するものである。
次に、加速度センサチップAの構成を説明する。
センサ本体1はSOI基板10を用いて形成されている。SOI基板10は、単結晶シリコンからなる支持基板10aと、支持基板10aの上に配置されたシリコン酸化膜からなる絶縁層10bと、絶縁層10bの上に配置されたn型のシリコン層(活性層)10cとを有する。
センサ本体1のうちフレーム部11および固定子16は、第1の固定基板2および第2の固定基板3に接合されている。これに対して、重り部13は、第1および第2の固定基板2,3からそれぞれ離間して配置されており、一対の支持ばね部14によりフレーム部11に支持されている。
また、重り部13の過度の変位を規制する微小な突起部13cが、重り部13における第1および第2の固定基板2,3のそれぞれとの対向面から突設されている。そして、重り部13には、矩形状に開口された凹部13a,13bがそれぞれ形成されている。凹部13a,13bは、互いに大きさが異なるため、一対の支持ばね部14を通る直線を境にして、重り部13の左右の質量が異なっている。
第1の固定基板2の配線28は、電極パッド18に電気的に接続されている。電極パッド18は、固定子16、連絡用導体部16d、金属配線26を通じて、固定電極25に接続されている。
上述の加速度センサチップAは、センサ本体1に設けられた可動電極15と第1の固定基板2に設けられた固定電極25との対を4対有し、可動電極15と固定電極25との対ごとに可変容量コンデンサが構成されている。そして、加速度センサチップA、すなわち、重り部13に加速度が加わると、支持ばね部14がねじれて、重り部13が変位する。これにより、対をなす固定電極25と可動電極15との対向面積および間隔が変化し、可変容量コンデンサの静電容量が変化する。加速度センサチップAは、この静電容量の変化から加速度を検出することができるようになっている。
次に、第1の固定基板2として用いられる貫通電極付基板50の一例としてのガラス埋込シリコン基板の製造方法について説明する。
最初に、ガラス基板54に凹部21を形成する方法について説明する。まず、図4(a)に示すように、ガラス基板54を用意し、ガラス基板54にレジスト70を形成する。その後、図4(b)に示すように、RIE処理等によりガラス基板54の表面の所定領域を選択的に除去して凹部21を形成する。この凹部21が形成されると、図4(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凹部21が形成されたガラス基板54が形成される(図4(c)参照)。
次に、シリコン基板51に凸部52を形成する方法について説明する。
本実施形態では、まず、図5(a)に示すように、電気抵抗が十分に小さいシリコン基板51を用意する。このシリコン基板51の全体にはp型あるいはn型の不純物が添加されている。そして、シリコン基板51の表面にレジスト70を形成する。その後、図5(b)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51の表面の所定領域を選択的に除去して複数の凸部52を形成する。この凸部52が形成されると、図5(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凸部52が形成されたシリコン基板51が形成される(図5(c)参照)。なお、ここでは、シリコン基板51の全体に不純物が添加されているものを例示したが、これに限定されるものではなく、少なくとも、配線(貫通電極)28として残す部分の深さまで不純物が添加されていればよい。
このように、本実施形態では、ガラス基板54が、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか一方の基板に相当し、シリコン基板51が、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか他方の基板に相当している。
なお、シリコン基板51への凸部52の形成は、ガラス基板54への凹部21の形成よりも先に行うことも後に行うことも可能であるし、ガラス基板54への凹部21の形成と並行して行うことも可能である。
次に、凸部52が凹部21に挿入された状態となるように、シリコン基板51とガラス基板54とを重ね合わせる。具体的には、まず、図6(a)に示すように、凹部21が形成されたガラス基板54と、凸部52が形成されたシリコン基板51とを用意する。そして、図6(b)に示すように、ガラス基板54の凹部21にシリコン基板51の凸部52を挿入し、凸部52が凹部21に挿入された状態となるようにシリコン基板51とガラス基板54とを重ね合わせる。本実施形態では、凸部52の形状をそれぞれが挿入される凹部21の形状とほぼ同じとなるようにしている。そして、シリコン基板51とガラス基板54とを重ね合わせた状態で、ガラス基板54の凹部21とシリコン基板51の凸部52とが噛み合うようにしている。
次に、図6(c)に示すように、凸部52が凹部21に挿入された状態となるように重ね合わせたシリコン基板51とガラス基板54とを、陽極接合等の方法で接合する。この工程は、大気圧雰囲気で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよい。また、接合方法は陽極接合に限定されるものではなく、様々な方法を採用することができる。
このように、シリコン基板51とガラス基板54とを接合することで、接合基板55が形成される(図6(c)参照)。
なお、シリコン基板51とガラス基板54との接合は、凸部52が形成されたシリコン基板51が凹部21の開口21bを空隙が形成されないように覆った状態で行われる。本実施形態では、凸部52の形状をそれぞれが挿入される凹部21の形状とほぼ同じとなるようにし、凸部52を凹部21に挿入した状態で、凸部52の側面52aとガラス基板54の凹部21に対応する部位に形成される内面21aとの間に空隙が形成されないようにしている。すなわち、凸部52を凹部21に埋め込むことで、シリコン基板51が凹部21の開口21bを空隙が形成されないように覆うようにし、かかる状態で、シリコン基板51とガラス基板54との接合を行っている。
その後、シリコン基板51とガラス基板54とが接合された接合基板55の少なくとも片面においてガラス基板54およびシリコン基板51が露出するようにする。
本実施形態では、シリコン基板51とガラス基板54とが接合された接合基板55の両面においてガラス基板54およびシリコン基板51を露出させている。
具体的には、図6(d)に示すように、ガラス基板54のうちシリコン基板51に埋め込まれた部分を残し、他の部分を除去する。また、図6(e)に示すように、シリコン基板51のうちガラス基板54に埋め込んだ部分を残し、他の部分を除去する。
この除去行程では、ダイヤモンド砥石を用いた研削、化学機械研磨(CMP)等による研磨、あるいはRIEなどのドライエッチングやHFによるウェットエッチングなどの方法を用いてガラス基板54の上面とシリコン基板51の裏面を削り、不要なガラスとシリコンを除去している。なお、ガラスとシリコンの除去はどちらを先に行ってもよいし、平行して行ってもよい。
こうして、ガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成されたガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50が形成される。
以上の工程により製造されたガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50が、図2および図3に示した第1の固定基板2として用いられている。
以上説明したように、本実施形態にかかるガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50は、下記の1〜5の行程により製造される。
1.シリコン基板51およびガラス基板54のうちいずれか一方の基板であるガラス基板54に凹部(凹部又は貫通孔)21を形成する工程。
2.シリコン基板51およびガラス基板54のうちいずれか他方の基板であるシリコン基板51に凸部52を形成する工程。
3.凸部52が凹部21に挿入された状態となるように、シリコン基板51とガラス基板54とを重ね合わせる工程。
4.シリコン基板51とガラス基板54とを接合する工程。
5.シリコン基板51とガラス基板54とが接合された接合基板55の両面(少なくとも片面)においてガラス基板54およびシリコン基板51を露出させる工程。
かかる行程にてガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50を形成することで、ガラス基板を溶融させる熱処理が不要となるため、デバイス特性に与える影響を極力抑制することができる。
また、本実施形態では、シリコン基板51とガラス基板54との接合を、凸部52が形成されたシリコン基板51が凹部21の開口21bを空隙が形成されないように覆った状態で行っている。その結果、シリコン基板10とガラス基板20との間に空隙が形成されないようにすることができ、内部の気密性が高いデバイスを作製することができるようになる。
なお、上記第1実施形態では、ガラス基板54に凹部21を形成し、シリコン基板51に凸部51を形成したものを例示したが、ガラス基板とシリコン基板とで凹凸の関係を逆にしてもよい。
具体的には、以下のようにしてガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成されたガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50Aを形成してもよい。
まず、図7(a)に示すように、ガラス基板54Aを用意し、ガラス基板54Aにレジスト70を形成する。その後、図7(b)に示すように、RIE処理等によりガラス基板54Aの表面の所定領域を選択的に除去して凸部22を形成する。この凸部22が形成されると、図7(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凸部22が形成されたガラス基板54Aが形成される(図7(c)参照)。
次に、シリコン基板51Aに凹部56を形成する方法について説明する。
本実施形態では、まず、図8(a)に示すように、電気抵抗が十分に小さいシリコン基板51Aを用意する。このシリコン基板51Aの全体にはp型あるいはn型の不純物が添加されている。そして、シリコン基板51Aの表面にレジスト70を形成する。その後、図8(b)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51Aの表面の所定領域を選択的に除去して複数の凹部56を形成する。この凹部56が形成されると、図8(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凹部56が形成されたシリコン基板51Aが形成される(図8(c)参照)。なお、ここでは、シリコン基板51Aの全体に不純物が添加されているものを例示したが、これに限定されるものではなく、少なくとも、配線(貫通電極)28として残す部分の深さまで不純物が添加されていればよい。
このように、本実施形態では、シリコン基板51Aが、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか一方の基板に相当し、ガラス基板54Aが、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか他方の基板に相当している。
なお、シリコン基板51Aへの凹部56の形成は、ガラス基板54Aへの凸部22の形成よりも先に行うことも後に行うことも可能であるし、ガラス基板54Aへの凸部22の形成と並行して行うことも可能である。
次に、凸部22が凹部56に挿入された状態となるように、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとを重ね合わせる。具体的には、まず、図9(a)に示すように、凸部22が形成されたガラス基板54Aと、凹部56が形成されたシリコン基板51Aとを用意する。そして、図9(b)に示すように、シリコン基板51Aの凹部56にガラス基板54Aの凸部22を挿入し、凸部22が凹部56に挿入された状態となるようにシリコン基板51Aとガラス基板54Aとを重ね合わせる。本実施形態では、凸部22の形状をそれぞれが挿入される凹部56の形状とほぼ同じとなるようにしている。そして、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとを重ね合わせた状態で、ガラス基板54Aの凸部22とシリコン基板51Aの凹部56とが噛み合うようにしている。
次に、図9(c)に示すように、凸部22が凹部56に挿入された状態となるように重ね合わせたシリコン基板51Aとガラス基板54Aとを、陽極接合等の方法で接合する。この工程は、大気圧雰囲気で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよい。また、接合方法は陽極接合に限定されるものではなく、様々な方法を採用することができる。
このように、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとを接合することで、接合基板55Aが形成される(図9(c)参照)。
なお、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとの接合は、凸部22が形成されたガラス基板54Aが凹部56の開口56bを空隙が形成されないように覆った状態で行われる。本実施形態では、凸部22の形状をそれぞれが挿入される凹部56の形状とほぼ同じとなるようにし、凸部22を凹部56に挿入した状態で、凸部22の側面22aとシリコン基板51Aの凹部56に対応する部位に形成される内面56aとの間に空隙が形成されないようにしている。すなわち、凸部22を凹部56に埋め込むことで、ガラス基板54Aが凹部56の開口56bを空隙が形成されないように覆うようにし、かかる状態で、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとの接合を行っている。
その後、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとが接合された接合基板55Aの少なくとも片面においてガラス基板54Aおよびシリコン基板51Aが露出するようにする。
本実施形態では、シリコン基板51Aとガラス基板54Aとが接合された接合基板55Aの両面においてガラス基板54Aおよびシリコン基板51Aを露出させている。
具体的には、図9(d)に示すように、ガラス基板54Aのうちシリコン基板51Aに挿入した部分を残し、他の部分を除去する。また、図9(e)に示すように、シリコン基板51Aのうちガラス基板54Aが埋め込まれた部分を残し、他の部分を除去する。
この除去行程では、ダイヤモンド砥石を用いた研削、化学機械研磨(CMP)等による研磨、あるいはRIEなどのドライエッチングやHFによるウェットエッチングなどの方法を用いてガラス基板54Aの上面とシリコン基板51Aの裏面を削り、不要なガラスとシリコンを除去している。なお、ガラスとシリコンの除去はどちらを先に行ってもよいし、平行して行ってもよい。
こうして、ガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成されたガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50Aが形成される。
かかる方法にてガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50Aを形成しても、上記第1実施形態と同様の作用、効果を得ることができる。
(第2実施形態)
図10は、本発明の第2実施形態にかかる加速度センサチップAの概略構成を示す断面図である。本実施形態にかかる加速度センサチップAは、基本的に上記第1実施形態で示す加速度センサチップAとほぼ同様の構成をしている。
図10は、本発明の第2実施形態にかかる加速度センサチップAの概略構成を示す断面図である。本実施形態にかかる加速度センサチップAは、基本的に上記第1実施形態で示す加速度センサチップAとほぼ同様の構成をしている。
すなわち、本実施形態にかかる加速度センサチップAは、静電容量型の加速度センサチップであって、シリコン基板(SOI基板)10を用いて形成されたセンサ本体1Bと、ガラス基板20を用いて形成された第1の固定基板2と、ガラス基板30を用いて形成された第2の固定基板3とを備えている。
また、加速度センサチップAに貫通電極付基板を用いる点は上記第1実施形態と同じである。しかしながら、本実施形態では、ガラス基板20に形成された貫通孔21Bにシリコン基板10の凸部11を挿入する構造となっている。以下、本実施形態にかかる貫通電極付基板50Bの製造方法を説明する。
最初に、ガラス基板54Bに貫通孔21Bを形成する。具体的には、まず、図11(a)に示すように、ガラス基板54Bを用意し、ガラス基板54Bにレジスト70を形成する。その後、図11(b)に示すように、RIE処理等によりガラス基板54Bの表面の所定領域を選択的に除去して貫通孔21Bを形成する。この貫通孔21Bが形成されると、図11(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、貫通孔21Bが形成されたガラス基板54Bが形成される(図11(c)参照)。
次に、シリコン基板51Bに凸部11を形成する方法について説明する。
本実施形態では、まず、図12(a)に示すように、電気抵抗が十分に小さいシリコン基板51Bを用意する。このシリコン基板51Bの全体にはp型あるいはn型の不純物が添加されている。そして、シリコン基板51Bの表面にレジスト70を形成する。その後、図12(b)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51Bの表面の所定領域を選択的に除去して複数の凸部11を形成する。この凸部11が形成されると、図12(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凸部11が形成されたシリコン基板51Bが形成される(図12(c)参照)。なお、ここでは、シリコン基板51Bの全体に不純物が添加されているものを例示したが、これに限定されるものではなく、少なくとも、配線(貫通電極)28として残す部分の深さまで不純物が添加されていればよい。
このように、本実施形態では、ガラス基板54Bが、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか一方の基板に相当し、シリコン基板51Bが、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか他方の基板に相当している。
なお、シリコン基板51Bへの凸部11の形成は、ガラス基板54Bへの貫通孔21Bの形成よりも先に行うことも後に行うことも可能であるし、ガラス基板54Bへの貫通孔21Bの形成と並行して行うことも可能である。
次に、凸部11が貫通孔21Bに挿入された状態となるように、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとを重ね合わせる。具体的には、まず、貫通孔21Bが形成されたガラス基板54Bと、凸部11が形成されたシリコン基板51Bとを用意する。そして、図13(a)に示すように、ガラス基板54Bの貫通孔21Bにシリコン基板51Bの凸部11を挿入し、凸部11が貫通孔21Bに挿入された状態となるようにシリコン基板51Bとガラス基板54Bとを重ね合わせる。本実施形態では、貫通孔21Bは上方に向けて拡径するテーパ状に形成されており、貫通孔21Bの上側はシリコン基板51Bの凸部11に比べて若干大きな径となっている。そのため、ガラスとシリコンとの間(凸部11を貫通孔21Bに挿入した状態における凸部11の側面11aとガラス基板54Bの貫通孔21Bに対応する部位に形成される内面21aBとの間)には、若干の隙間60が形成されている。そして、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとを重ね合わせた状態では、貫通孔21Bの下側がシリコン基板51Bの凸部11とちょうど噛み合う寸法となっている(図13(a)参照)。
次に、凸部11が貫通孔21Bに挿入された状態となるように重ね合わせたシリコン基板51Bとガラス基板54Bとを、陽極接合等の方法で接合する。この工程は、大気圧雰囲気で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよい。また、接合方法は陽極接合に限定されるものではなく、様々な方法を採用することができる。
このように、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとを接合することで、接合基板55Bが形成される(図13(a)参照)。
なお、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとの接合は、凸部11が形成されたシリコン基板51Bが貫通孔21Bの一端側(下側)開口21bBを空隙が形成されないように覆った状態で行われる。本実施形態では、貫通孔21Bの下側がシリコン基板51Bの凸部11とちょうど噛み合う寸法となるように貫通孔21Bを形成している。そして、凸部11を貫通孔21Bに挿入してシリコン基板51Bとガラス基板54Bとを重ね合わせた状態で、凸部11の側面11aの下端とガラス基板54Bの貫通孔21Bに対応する部位に形成される内面21aBの下端とが当接するようにしている。こうして、凸部11が形成されたシリコン基板51Bが貫通孔21Bの一端側(下側)開口21bBを空隙が形成されないように覆うようにし、かかる状態で、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとの接合を行っている。
さらに、図13(b)に示すように、シリコン基板51Bの裏面にレジスト70を形成した後、図13(c)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51Bの裏面の所定領域を選択的に除去する。
こうして、ガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成された貫通電極付基板50Bが形成される。本実施形態では、貫通電極付基板50Bは、配線(貫通電極)28が形成されたセンサ本体1Bと、配線(貫通電極)28が挿入される貫通孔21Bが形成された第1の固定基板2とで構成されている。
以上の本実施形態によっても上記第1実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
また、本実施形態では、ガラス基板54Bに貫通孔21Bを形成するようにしているので、接合基板55Bの少なくとも片面においてガラス基板54Bおよびシリコン基板51Bを露出させる工程が不要となるという効果がある。
また、本実施形態では、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとの接合を、凸部11が形成されたシリコン基板51Bが貫通孔21Bの一端側(下側)開口21bBを空隙が形成されないように覆った状態で行っている。その結果、シリコン基板10とガラス基板20との間に空隙が形成されないようにすることができ、内部の気密性が高いデバイスを作製することができるようになる。
また、本実施形態では、凸部11と貫通孔(凹部又は貫通孔)21Bとの間に隙間60が形成されるようにしている。すなわち、凸部11を貫通孔21Bに挿入した状態における凸部11の側面11aとガラス基板54Bの貫通孔21Bに対応する部位に形成される内面21aBとの間に隙間60が形成されるようにしている。そのため、シリコン基板51Bとガラス基板54Bとを重ね合わせやすくなり、製造が容易になるという効果がある。
また、本実施形態によれば、配線(貫通電極)28とガラス基板20との間に隙間60が形成された貫通電極付基板50Bを得ることができる。このような貫通電極付基板50Bは膨張した場合でも歪みが発生しにくいという効果がある。
なお、上記第2実施形態では、ガラス基板54Bに貫通孔21Bを形成したものを例示したが、ガラス基板に凹部を形成するようにしてもよい。
具体的には、以下のようにしてガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成されたガラス埋込シリコン基板(貫通電極付基板)50Cを形成してもよい。
まず、図14(a)に示すように、ガラス基板54Cを用意し、ガラス基板54Cにレジスト70を形成する。その後、図14(b)に示すように、RIE処理等によりガラス基板54Cの表面の所定領域を選択的に除去して凹部21Cを形成する。この凹部21Cが形成されると、図11(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凹部21Cが形成されたガラス基板54Cが形成される(図14(c)参照)。この凹部21Cは、上述した貫通孔21Bと同様に、上方に向けて拡径するテーパ状に形成されている。
次に、図15(a)〜図15(c)に示すように、シリコン基板51Cに凸部11を形成する。このシリコン基板51Cへの凸部11の形成方法は、上述したシリコン基板51Bへの凸部11の形成方法と同様である。なお、シリコン基板51Cへの凸部11の形成は、ガラス基板54Cへの凹部21Cの形成よりも先に行うことも後に行うことも可能であるし、ガラス基板54Cへの凹部21Cの形成と並行して行うことも可能である。
次に、凸部11が凹部21Cに挿入された状態となるように、シリコン基板51Cとガラス基板54Cとを重ね合わせる。具体的には、まず、凹部21Cが形成されたガラス基板54Cと、凸部11が形成されたシリコン基板51Cとを用意する。そして、図16(a)に示すように、ガラス基板54Cの凹部21Cにシリコン基板51Cの凸部11を挿入し、凸部11が凹部21Cに挿入された状態となるようにシリコン基板51Cとガラス基板54Cとを重ね合わせる。上述したように、凹部21Cは上方に向けて拡径するテーパ状に形成されているため、凹部21Cの上側はシリコン基板51Cの凸部11に比べて若干大きな径となっている。そのため、ガラスとシリコンとの間(凸部11を凹部21Cに挿入した状態における凸部11の側面11aとガラス基板54Cの凹部21Cに対応する部位に形成される内面21aCとの間)には、若干の隙間60が形成されている。そして、シリコン基板51Cとガラス基板54Cとを重ね合わせた状態では、凹部21Cの下側がシリコン基板51Cの凸部11とちょうど噛み合う寸法となっている(図16(a)参照)。
次に、凸部11が凹部21Cに挿入された状態となるように重ね合わせたシリコン基板51Cとガラス基板54Cとを、陽極接合等の方法で接合する。この工程は、大気圧雰囲気で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよい。また、接合方法は陽極接合に限定されるものではなく、様々な方法を採用することができる。
このように、シリコン基板51Cとガラス基板54Cとを接合することで、接合基板55Cが形成される(図13(a)参照)。
なお、シリコン基板51Cとガラス基板54Cとの接合は、凸部11が形成されたシリコン基板51Cが凹部21Cの一端側(下側)開口21bCを空隙が形成されないように覆った状態で行われる。本実施形態では、凹部21Cの下側がシリコン基板51Cの凸部11とちょうど噛み合う寸法となるように凹部21Cを形成している。そして、凸部11を凹部21Cに挿入してシリコン基板51Cとガラス基板54Cとを重ね合わせた状態で、凸部11の側面11aの下端とガラス基板54Cの凹部21Cに対応する部位に形成される内面21aCの下端とが当接するようにしている。こうして、凸部11が形成されたシリコン基板51Cが凹部21Cの一端側(下側)開口21bCを空隙が形成されないように覆うようにし、かかる状態で、シリコン基板51Cとガラス基板54Cとの接合を行っている。
その後、シリコン基板51Cとガラス基板54Cとが接合された接合基板55Cの上面(少なくとも片面)においてガラス基板54Cおよびシリコン基板51Cが露出するようにする。
具体的には、図16(b)に示すように、ガラス基板54Cのうちシリコン基板51Cに埋め込まれた部分を残し、他の部分を除去する。
この除去行程では、ダイヤモンド砥石を用いた研削、化学機械研磨(CMP)等による研磨、あるいはRIEなどのドライエッチングやHFによるウェットエッチングなどの方法を用いてガラス基板54Cの上面を削り、不要なガラスを除去している。
さらに、図16(c)に示すように、シリコン基板51Cの裏面にレジスト70を形成した後、図16(d)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51Cの裏面の所定領域を選択的に除去する。
こうして、ガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成された貫通電極付基板50Cが形成される。
かかる方法にて貫通電極付基板50Cを形成しても、上記第2実施形態とほぼ同様の作用、効果を得ることができる。
なお、本実施形態においても、上記第1実施形態のように、配線(貫通電極)28とガラス基板20との間に隙間が形成されないようにすることも可能である。
また、ガラス基板とシリコン基板とで凹凸の関係を逆にしてもよい。すなわち、ガラス基板に凸部を形成し、シリコン基板に貫通孔又は凹部を形成しても、同様の効果を得ることができる。
(第3実施形態)
図17は、本発明の第3実施形態にかかる加速度センサチップAの概略構成を示す断面図である。本実施形態にかかる加速度センサチップAは、基本的に上記第2実施形態で示す加速度センサチップAとほぼ同様の構成をしている。
図17は、本発明の第3実施形態にかかる加速度センサチップAの概略構成を示す断面図である。本実施形態にかかる加速度センサチップAは、基本的に上記第2実施形態で示す加速度センサチップAとほぼ同様の構成をしている。
すなわち、本実施形態にかかる加速度センサチップAは、静電容量型の加速度センサチップであって、SOI(Silicon On Insulator)基板10を用いて形成されたセンサ本体1Dと、ガラス基板20を用いて形成された第1の固定基板2と、ガラス基板30を用いて形成された第2の固定基板3とを備えている。
また、加速度センサチップAに貫通電極付基板を用いる点は上記第2実施形態と同じであり、ガラス基板20に形成された貫通孔21Dにシリコン基板10の凸部11を挿入する構造となっている。以下、本実施形態にかかる貫通電極付基板50Dの製造方法を説明する。
最初に、図18(a)〜図18(c)に示すように、ガラス基板54Dに貫通孔21Dを形成する。このガラス基板54Dへの貫通孔21Dの形成方法は、上述したガラス基板54Bへの貫通孔21Bの形成方法と同様である。
次に、シリコン基板51Dに凸部11Dを形成する方法について説明する。
本実施形態では、まず、図19(a)に示すように、電気抵抗が十分に小さいシリコン基板51Dを用意する。このシリコン基板51Dの全体にはp型あるいはn型の不純物が添加されている。そして、シリコン基板51Dの表面にレジスト70を形成する。その後、図19(b)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51Dの表面の所定領域を選択的に除去して複数の凸部11Dを形成する。この凸部11Dが形成されると、図19(c)に示すように、レジスト70が除去される。こうして、凸部11Dが形成されたシリコン基板51Dが形成される(図19(c)参照)。本実施形態では、凸部11Dの径が上記第2実施形態の凸部11の径よりも若干小さくなるように、凸部11Dを形成している。
なお、ここでは、シリコン基板51Dの全体に不純物が添加されているものを例示したが、これに限定されるものではなく、少なくとも、配線(貫通電極)28として残す部分の深さまで不純物が添加されていればよい。
このように、本実施形態では、ガラス基板54Dが、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか一方の基板に相当し、シリコン基板51Dが、シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか他方の基板に相当している。
なお、シリコン基板51Dへの凸部11Dの形成は、ガラス基板54Dへの貫通孔21Dの形成よりも先に行うことも後に行うことも可能であるし、ガラス基板54Dへの貫通孔21Dの形成と並行して行うことも可能である。
次に、凸部11Dが貫通孔21Dに挿入された状態となるように、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとを重ね合わせる。具体的には、まず、図20(a)に示すように、貫通孔21Dが形成されたガラス基板54Dと、凸部11Dが形成されたシリコン基板51Dとを用意する。そして、図20(b)に示すように、ガラス基板54Dの貫通孔21Dにシリコン基板51Dの凸部11Dを挿入し、凸部11Dが貫通孔21Dに挿入された状態となるようにシリコン基板51Dとガラス基板54Dとを重ね合わせる。
本実施形態では、貫通孔21Dは上方に向けて拡径するテーパ状に形成されており、貫通孔21Dのは、上側から下側にかけてのいずれの位置においてもシリコン基板51Dの凸部11Dよりも若干大きな径となっている。そのため、ガラスとシリコンとの間(凸部11Dを貫通孔21Dに挿入した状態における凸部11Dの側面11aDとガラス基板54Dの貫通孔21Dに対応する部位に形成される内面21aDとの間)には、上側から下側にかけて隙間60Dが形成されることとなる(図20(a)参照)。すなわち、凸部11Dを貫通孔21Dに挿入した状態において、凸部11Dの側面11aDとガラス基板54Dの貫通孔21Dに対応する部位に形成される内面21aDとが当接しないようになっている。そのため、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとの接合前に、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとを重ね合わせた状態で、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとが、互いの当接面(シリコン基板51Dの上面51aDおよびガラス基板54Dの下面54aD)の任意の方向に相対移動できるようになっている。
次に、凸部11Dが貫通孔21Dに挿入された状態となるように重ね合わせたシリコン基板51Dとガラス基板54Dとを、陽極接合等の方法で接合する。この工程は、大気圧雰囲気で行ってもよいし、減圧雰囲気で行ってもよい。また、接合方法は陽極接合に限定されるものではなく、様々な方法を採用することができる。
このように、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとを接合することで、接合基板55Dが形成される(図20(b)参照)。
なお、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとの接合は、凸部11Dが形成されたシリコン基板51Dが貫通孔21Dの一端側(下側)開口21bDを空隙が形成されないように覆った状態で行われる。本実施形態では、シリコン基板51Dの上面51aDの凸部11Dの周縁部によって貫通孔21Dの一端側(下側)開口21bDを覆うようにしている。そして、かかる状態で、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとの接合を行っている。
さらに、図20(b)に示すように、シリコン基板51Cの裏面にレジスト70を形成した後、図20(c)に示すように、RIE処理等によりシリコン基板51Cの裏面の所定領域を選択的に除去する。
こうして、ガラス基板20の内部に配線(貫通電極)28が形成された貫通電極付基板50Dが形成される。
かかる方法にて貫通電極付基板50Dを形成しても、上記第2実施形態と同様の作用、効果を得ることができる。
また、本実施形態では、ガラスとシリコンとの間(凸部11Dを貫通孔21Dに挿入した状態における凸部11Dの側面11aDとガラス基板54Dの貫通孔21Dに対応する部位に形成される内面21aDとの間)には、上側から下側にかけて隙間60Dが形成されている。すなわち、凸部11Dを貫通孔21Dに挿入した状態において、凸部11Dの側面11aDとガラス基板54Dの貫通孔21Dに対応する部位に形成される内面21aDとが当接しないようにしている。そのため、シリコン基板51Dとガラス基板54Dとをより重ね合わせやすくなり、製造がより一層容易になるという効果がある。
また、本実施形態によれば、配線(貫通電極)28とガラス基板20との間に隙間60Dが形成された貫通電極付基板50Dを得ることができる。このような貫通電極付基板50Dは膨張した場合でも歪みが発生しにくいという効果がある。
なお、本実施形態においても、上記第2実施形態の変形例のように凹部が形成されたガラス基板を用いることが可能である。
また、ガラス基板とシリコン基板とで凹凸の関係を逆にしてもよい。すなわち、ガラス基板に凸部を形成し、シリコン基板に貫通孔又は凹部を形成しても、同様の効果を得ることができる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変形が可能である。
例えば、上記第1実施形態においても、上記第2実施形態や第3実施形態と同様、凹部や凸部の径を調整して、シリコン基板とガラス基板との間に隙間を形成するようにしてもよい。
また、上記第1実施形態では、シリコン基板およびガラス基板のいずれかに凹部を形成したものを例示したが、凹部に替えて貫通孔を形成するようにしてもよい。例えば、図11(c)のような貫通孔21Bが形成されたガラス基板54Bを上記第1実施形態に適用することが可能である。
また、上記第2実施形態および第3実施形態では、凸部を形成しただけのシリコン基板をガラス基板に接合させ、接合後にシリコン基板の裏面の所定領域を選択的に除去するようにしたものを例示した。しかしながら、これに限らず、凸部を形成した上、裏面の所定領域を選択的に除去したシリコン基板をガラス基板に接合させるようにしてもよい。すなわち、予め、シリコン基板を図13(c)や図16(d)や図20(c)のような形状とし、かかる形状のシリコン基板を、ガラス基板に接合させるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、X方向とZ方向の2方向の加速度を検出する加速度センサを例示したが、錘部の1つをXY平面内で90度回転させて配置し、Y方向を加えた3方向の加速度を検出する加速度センサとしてもよい。
また、上記実施形態では、静電容量式デバイスとして加速度センサを例示したが、これに限ることなく、その他の静電容量式デバイスであっても本発明を適用することができる。
また、錘部や固定電極その他細部のスペック(形状、大きさ、レイアウト等)も適宜に変更可能である。
本発明によれば、デバイス特性に与える影響を極力抑制することのできる貫通電極付基板およびその製造方法を得ることができる。
Claims (5)
- シリコン基板およびガラス基板のうちいずれか一方の基板に凹部又は貫通孔を形成する工程と、
他方の基板に凸部を形成する工程と、
前記凸部が前記凹部又は貫通孔に挿入された状態となるように、前記シリコン基板と前記ガラス基板とを重ね合わせる工程と、
前記シリコン基板と前記ガラス基板とを接合する工程と、
を備えることを特徴とする貫通電極付基板の製造方法。 - 前記シリコン基板と前記ガラス基板とが接合された接合基板の少なくとも片面において前記ガラス基板および前記シリコン基板を露出させる工程をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の貫通電極付基板の製造方法。
- 前記シリコン基板と前記ガラス基板との接合は、前記凸部が形成された基板が前記凹部又は貫通孔の開口を空隙が形成されないように覆った状態で行われることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の貫通電極付基板の製造方法。
- 前記凸部と前記凹部又は前記凸部と前記貫通孔との間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の貫通電極付基板の製造方法。
- ガラス基板の内部に貫通電極が形成された貫通電極付基板であって、前記貫通電極と前記ガラス基板との間に隙間が形成されていることを特徴とする貫通電極付基板。
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