JP4777681B2 - 陽極接合装置、陽極接合方法及び加速度センサの製造方法 - Google Patents
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Description
以下、図1及び図2を用いて本発明の実施例1に関する陽極接合装置について説明する。
〔陽極接合方法〕
111、211 … 第1の上面
112、212 … 第1の下面
111a、211a … 第1の中央領域
111b、211b … 第1の基板配置領域
111c、211c … 第1の周辺領域
123、223 … 湾曲部
120,220 … 第2の電極板
121、221 … 第2の上面
122,222 … 第2の下面
122a、222a … 第2の中央領域
122b、222b … 第2の基板配置領域
122c、222c … 第2の周辺領域
130、230 … 固定部
140、240 … 積層基板
140a、240a … 第3の中央領域
140b、240b … 第3の周辺領域
141,241 … 下部半導体基板
142,242 … 接合用半導体基板
143,243 … 接合用ガラス基板
144,244 … 上部ガラス基板
145,245 … 上部半導体基板
250 … 接触領域
Claims (20)
- 第1の電極板の第1の面と第2の電極板の第2の面とが対向するように配置された一対の電極を有する陽極接合装置であって、
前記第1の電極板の前記第1の面は、積層基板が搭載されかつ第1の中央領域を内包する第1の基板配置領域と該第1の基板配置領域を囲む第1の周辺領域とを含み、
前記第2の電極板の前記第2の面は、前記第1の電極板の前記第1の中央領域に対応する第2の中央領域と、前記第1の基板配置領域に対応し該第2の中央領域を囲む第2の基板配置領域と、前記第1の周辺領域に対応し該第2の基板配置領域を囲む第2の周辺領域と、を含み、
前記第2の電極板は、前記第1の中央領域と前記第2の中央領域との距離が前記第1の周辺領域と前記第2の周辺領域の距離よりも小さくなるように前記第1の電極板方向へ湾曲した湾曲部を有することを特徴とする陽極接合装置。 - 請求項1に記載の陽極接合装置において、
前記第2の電極板の前記第2の周辺領域に形成され、前記第1の電極板の前記第1の中央領域と前記第1の基板搭載領域とに亘って配置される前記積層基板に向かう応力を与えることによって該積層基板を加圧固定するための固定部を有することを特徴とする陽極接合装置。 - 請求項2に記載の陽極接合装置において、
前記固定部は、前記第2の電極板の前記第2の周辺領域であって前記第2の基板配置領域近傍に沿って複数設けられていることを特徴とする陽極接合装置。 - 請求項2に記載の陽極接合装置において、
前記第2の電極板は方形状を有し、
前記固定部は、前記第2の電極板の前記第2の周辺領域の角部に複数設けられていることを特徴とする陽極接合装置。 - 請求項2乃至請求項4のいずれか1つに記載の陽極接合装置において、
前記固定部は、前記第1の電極板の前記第1の周辺領域と前記第2の電極板の前記第2の周辺領域とに亘って形成されていることを特徴とする陽極接合装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1つに記載の陽極接合装置において、
前記第2の電極板は炭素を主成分とする材料により形成されることを特徴とする陽極接合装置。 - 積層基板が搭載されかつ第1の中央領域を内包する第1の基板配置領域と該第1の基板配置領域を囲む第1の周辺領域とを含む第1の面を有する第1の電極板と、前記第1の電極板の前記第1の中央領域に対応する第2の中央領域と前記第1の基板配置領域に対応し該第2の中央領域を囲む第2の基板配置領域と前記第1の周辺領域に対応し該第2の基板配置領域を囲む第2の周辺領域とを含む前記第2の面を有する第2の電極板であって、該第1の中央領域と該第2の中央領域との距離が該第1の周辺領域と該第2の周辺領域との距離よりも小さくなるように該第1の電極板方向へ湾曲した湾曲部を有する該第2の基板とを有し、該第1の電極板の該第1の面と該第2の電極板の該第2の面とが対向するように配置された一対の電極を有する陽極接合装置を準備する工程と、
前記第1の電極板の前記第1の中央領域と前記第1の基板配置領域とに亘って前記積層基板を配置する工程と、
前記第2の電極板の前記第2の中央領域と前記積層基板とを接触させ、接触領域を形成する第1の接触工程と、
前記第2の電極板の前記第2の基板配置領域と前記積層基板とを接触させることにより、該積層基板全体に前記接触領域を拡大させる第2の接触工程と、
前記第1の電極板と前記第2の電極板とに亘って電圧を印加することによって、前記積層基板を接合する接合工程と、
を有することを特徴とする陽極接合方法。 - 請求項7に記載の陽極接合方法において、
前記第2の電極板の前記第2の周辺領域に形成され、該第2の電極板から前記第1の電極板に向かう応力を与えることによって前記積層基板を加圧固定する固定部を有し、前記第2の接触工程は、該固定部が該積層基板に応力を与えることによって前記接触領域を拡大させることを特徴とする陽極接合方法。 - 請求項8に記載の陽極接合方法において、
前記固定部は、前記第2の電極板の前記第2の周辺領域であって前記第2の基板配置領域近傍に沿って複数設けられ、前記第2の接触工程は、該複数の固定部が均等に前記積層基板に応力を与えることによって前記接触領域を拡大させることを特徴とする陽極接合方法。 - 請求項8に記載の陽極接合方法において、
固定部は、方形状の前記第2の電極板の前記第2の周辺領域の角部に複数設けられ、前記第2の接触工程は、該複数の固定部が前記均等に応力を与えることによって前記接触領域を拡大させることを特徴とする陽極接合方法。 - 請求項8に記載の陽極接合方法において、
固定部は、方形状の前記第2の電極板の前記第2の周辺領域の第1の角部、該第1の角部に隣接する第2の角部、該第2の角部に隣接する第3の角部、及び該1の角部と該第3の角部とに挟まれる第4の角部それぞれに設けられ、前記第2の接触工程は、該第1の角部と第3の角部とに応力を与える工程と該第2の角部と該第4の角部とに応力を与える工程とからなることを特徴とする陽極接合方法。 - 請求項8乃至請求項11のいずれか1つに記載の陽極接合方法において、
前記固定部は、前記第1の電極板の前記第1の周辺領域と前記第2の電極板の前記第2の周辺領域とに亘って形成され、前記第2の接触工程は、該固定部の該第1の電極板の第1の面から前記第2の電極の第2の面までの距離を短くすることによって応力を与えることを特徴とする陽極接合方法。 - 請求項8乃至請求項12のいずれか1つに記載の陽極接合方法において、
前記積層基板は、接合用半導体基板と接合用ガラス基板とが直接接するように積層され、該接合用半導体基板と該接合用ガラス基板とは複数の保護層の間に配置された構造を有することを特徴とする陽極接合方法。 - 積層基板が搭載されかつ第1の中央領域を内包する第1の基板配置領域と該第1の基板配置領域を囲む第1の周辺領域とを含む第1の面を有する第1の電極板と、前記第1の電極板の前記第1の中央領域に対応する第2の中央領域と前記第1の基板配置領域に対応し該第2の中央領域を囲む第2の基板配置領域と前記第1の周辺領域に対応し該第2の基板配置領域を囲む第2の周辺領域とを含む前記第2の面を有する第2の電極板であって、該第1の中央領域と該第2の中央領域との距離が該第1の周辺領域と該第2の周辺領域との距離よりも小さくなるように該第1の電極板方向へ湾曲した湾曲部を有する該第2の基板とを有し、該第1の電極板の該第1の面と該第2の電極板の該第2の面とが対向するように配置された一対の電極を有する陽極接合装置を準備する工程と、
前記積層基板は、加速度センサが形成された加速度センサ基板と該加速度センサ基板に接するガラス基板とを有し、前記第1の電極板の前記第1の基板配置領域に該積層基板を配置する工程と、
前記第2の電極板の前記第2の中央領域と前記積層基板とを接触させ、接触領域を形成する第1の接触工程と、
前記第2の電極板の前記第2の基板配置領域と前記積層基板とを接触させることにより、該積層基板全体に前記接触領域を拡大させる第2の接触工程と、
前記第1の電極板と前記第2の電極板とに亘って電圧を印加することによって、前記加速度センサ基板と前記ガラス基板を接合する接合工程と、
を有することを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項14に記載の加速度センサの製造方法において、
前記第2の電極板の前記第2の周辺領域に形成され、該第2の電極板から前記第1の電極板に向かう応力を与えることによって前記加速度センサ基板と前記ガラス基板とを加圧固定する固定部を有し、前記第2の接触工程は、該固定部が該積層基板に応力を与えることによって前記接触領域を拡大させることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項15に記載の加速度センサの製造方法において、
前記固定部は、前記第2の電極板の前記第2の周辺領域であって前記第2の基板配置領域近傍に沿って複数設けられ、前記第2の接触工程は、該複数の固定部が前記均等に応力を与えることによって前記接触領域を拡大させることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項15に記載の加速度センサの製造方法において、
固定部は、方形状の前記第2の電極板の前記第2の周辺領域の角部に複数設けられ、前記第2の接触工程は、該複数の固定部が均等に応力を与えることによって前記接触領域を拡大させることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項15に記載の加速度センサの製造方法において、
固定部は、方形状の前記第2の電極板の前記第2の周辺領域の第1の角部、該第1の角部に隣接する第2の角部、該第2の角部に隣接する第3の角部、及び該1の角部と該第3の角部とに挟まれる第4の角部それぞれに設けられ、前記第2の接触工程は、該第1の角部と第3の角部とに応力を与える工程と該第2の角部と該第4の角部とに応力を与える工程とからなることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項15乃至請求項18のいずれか1つに記載の加速度センサの製造方法において、
前記固定部は、前記第1の電極板の前記第1の周辺領域と前記第2の電極板の前記第2の周辺領域とに亘って形成され、前記第2の接触工程は、該固定部の該第1の電極板の第1の面から前記第2の電極の第2の面までの距離を狭くすることによって応力を与えることを特徴とする加速度センサの製造方法。 - 請求項8乃至請求項12のいずれか1つに記載の陽極接合方法において、
前記積層基板は、加速度センサ基板と該加速度センサ基板と接合する接合用ガラス基板とが直接接するように積層され、該加速度センサ基板と該接合用ガラス基板とは複数の保護層の間に配置された構造を有することを特徴とする陽極接合方法。
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