JP2008122723A - 可変形状ミラー及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極基板1と可変薄膜部6aの周囲との間の複数箇所に配設され且つ接着剤12で薄膜構造体5と電極基板1に接着固定されたミラー支持用の第1スペーサ11が設けられ、導電性接着剤15の部分に第2スペーサ14を介装して、第2スペーサ14を導電性接着剤15で電極基板1と薄膜構造体5とに接着固定している。
【選択図】図1
Description
3・・・第2電極(電極)
5・・・薄膜構造体
6・・・シリコン層
6a・・・可変薄膜部
9・・・薄膜ミラー層
11・・・第1スペーサ
12・・・接着剤
14・・・第2スペーサ
15・・・導電性接着剤
Claims (2)
- 上面に電圧印加用の電極が設けられた電極基板と、変形可能な可変薄膜部が設けられ且つ前記電極基板上に配設された薄膜構造体と、前記可変薄膜部上に形成された薄膜ミラー層と、前記電極基板と前記可変薄膜部の周囲との間の複数箇所に配設され且つ接着剤で前記薄膜構造体と前記電極基板に接着固定されたミラー支持用の第1スペーサと、前記薄膜ミラー層の外側に位置させて前記電極基板と薄膜構造体との間に介装されて硬化させられた導電性接着剤とを備え、
前記電極と前記薄膜ミラー層との間に電圧を印加することにより、前記薄膜ミラー層に静電力を作用させて、前記可変薄膜部及び薄膜ミラー層を前記静電力により一体に変形させるようにした可変形状ミラーであって、
前記導電性接着剤の部分に第2スペーサを介装して、前記第2スペーサを前記導電性接着剤で前記電極基板と薄膜構造体とに接着固定したことを特徴とする可変形状ミラー。 - 上面に電圧印加用の電極が設けられた電極基板と、変形可能な可変薄膜部が設けられ且つ前記可変薄膜部上に薄膜ミラー層が形成された薄膜構造体とを用意して、前記薄膜構造体を電極基板上に配設すると共に、前記可変薄膜部の周囲の複数箇所と前記電極基板の間に接着剤と球状の第1スペーサの混合材料を介装した後、前記薄膜構造体を介して前記第1スペーサを前記電極基板上に押し付けた状態で前記接着剤を硬化させることにより、前記第1スペーサを前記薄膜構造体と前記電極基板とに密着させた状態で前記電極基板と薄膜構造体とに接着固定する一方、前記薄膜ミラー層の外側に位置させて前記電極基板と薄膜構造体との間に導電性接着剤を介装して硬化させるようにした可変形状ミラーの製造方法であって、
球状の第2スペーサを前記導電性接着剤で前記電極基板と薄膜構造体とに接着固定することにより、前記導電性接着剤が硬化して収縮する際、前記薄膜構造体が変形するのを防止することを特徴とする可変形状ミラーの製造方法。
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CN106842556A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-06-13 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种变形镜及其加工方法 |
Citations (1)
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JP2004282839A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Olympus Corp | 静電駆動装置及びその製造方法 |
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2006
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CN106842556B (zh) * | 2017-04-01 | 2023-02-03 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种变形镜及其加工方法 |
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