JPWO2012090452A1 - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は実施の形態1における角速度センサの検出素子1の上面図である。図1において互いに直角のX軸とY軸とZ軸とを定義する。角速度センサは、Z軸の周りの角速度を検出する検出素子1を備える。検出素子1はXYZ空間で定義される形状を有する。検出素子1は、X軸方向に延伸した支持体8と、支持体8の側面に接続された端3Aを有するアーム3と、端3Aの反対側のアーム3の端3Dに接続された錘4とを備える。アーム3は角部3B、3Cを有するJ字形状を実質的に有する。アーム3のX軸の方向の長さW1は錘4のX軸の方向の長さW2よりも大きい。
図4は実施の形態2における角速度センサの検出素子10の上面図である。図4において図1から図3に示す検出素子1と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図6は実施の形態3における角速度センサの検出素子110の上面図である。図6において、図1に示す実施の形態1における検出素子1と同じ部分には同じ参照番号を付す。
図8は実施の形態4における角速度センサの検出素子310の上面図である。図8において、図4に示す実施の形態2における検出素子10と同じ部分には同じ参照番号を付す。
3 アーム(第1のアーム)
3A 端(第1の端)
3B 角部(第1の角部)
3C 角部(第2の角部)
3D 端(第2の端)
3E アーム部(第1のアーム部)
3F アーム部(第2のアーム部)
3G アーム部(第3のアーム部)
4 錘(第1の錘)
5 駆動部(第1の駆動部)
6 検出部(第1の検出部)
7 縦梁(第1の縦梁、第2の縦梁)
8 支持体
9A 振動部(第2の振動部)
9B 振動部(第1の振動部)
9C 振動部(第4の振動部)
9D 振動部(第3の振動部)
53 アーム(第2のアーム)
53A 端(第3の端)
53B 角部(第3の角部)
53C 角部(第4の角部)
53D 端(第4の端)
53E アーム部(第4のアーム部)
53F アーム部(第5のアーム部)
53G アーム部(第6のアーム部)
54 錘(第2の錘)
55 駆動部(第2の駆動部)
56 検出部(第2の検出部)
63 アーム(第4のアーム)
63A 端(第7の端)
63B 角部(第7の角部)
63C 角部(第8の角部)
63D 端(第8の端)
63E アーム部(第10のアーム部)
63F アーム部(第11のアーム部)
63G アーム部(第12のアーム部)
64 錘(第4の錘)
65 駆動部(第4の駆動部)
66 検出部(第4の検出部)
73 アーム(第3のアーム)
73A 端(第5の端)
73B 角部(第5の角部)
73C 角部(第6の角部)
73D 端(第6の端)
73E アーム部(第7のアーム部)
73F アーム部(第8のアーム部)
73G アーム部(第9のアーム部)
74 錘(第3の錘)
75 駆動部(第3の駆動部)
76 検出部(第3の検出部)
AX 中心軸(第2の中心軸)
AY 中心軸(第1の中心軸)
Claims (14)
- 互いに直角のX軸とY軸とZ軸とを有するXYZ空間で定義される形状を有してかつ前記Z軸の周りの角速度を検出できる検出素子を備え、
前記検出素子は、
前記X軸の方向に延びる支持体と、
前記支持体に接続された第1の端と、前記第1の端の反対側の第2の端とを有する第1のアームと、
前記第1のアームの前記第2の端に接続された第1の錘と、
を有し、
前記第1のアームは、
前記第1の端から前記Y軸の方向に第1の角部まで延びる第1のアーム部と、
前記第1の角部から前記X軸の方向に第2の角部まで延びる第2のアーム部と、
前記第2の角部から前記Y軸の方向に前記第2の端まで延びる第3のアーム部と、
からなるJ字形状を実質的に有し、
前記第1のアームの前記X軸の方向の長さは前記第1の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きい、角速度センサ。 - 前記第2のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第1のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さい、請求項1に記載の角速度センサ。
- 前記第3のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第2のアーム部の前記Y軸の方向の幅よりも小さい、請求項1に記載の角速度センサ。
- 前記第1の角部の曲率半径は前記第2の角部の曲率半径よりも大きい、請求項1に記載の角速度センサ。
- 前記第1のアーム部に設けられて前記第1の錘を振動させる駆動部と、
前記第2のアーム部に設けられて前記第1の錘の振動を検出する検出部と、
をさらに備えた、請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記検出素子は、
前記支持体に接続された第3の端と、前記第3の端の反対側の第4の端とを有する第2のアームと、
前記第2のアームの前記第4の端に接続された第2の錘と、
前記支持体に接続された第5の端と、前記第5の端の反対側の第6の端とを有する第3のアームと、
前記第3のアームの前記第6の端に接続された第3の錘と、
前記支持体に接続された第7の端と、前記第7の端の反対側の第8の端とを有する第4のアームと、
前記第4のアームの前記第8の端に接続された第4の錘と、
をさらに有し、
前記第2のアームは、
前記第3の端から前記Y軸の方向に第3の角部まで延びる第4のアーム部と、
前記第3の角部から前記X軸の方向に第4の角部まで延びる第5のアーム部と、
前記第4の角部から前記Y軸の方向に前記第4の端まで延びる第6のアーム部と、
からなるJ字形状を実質的に有し、
前記第3のアームは、
前記第5の端から前記Y軸の方向に第5の角部まで延びる第7のアーム部と、
前記第5の角部から前記X軸の方向に第6の角部まで延びる第8のアーム部と、
前記第6の角部から前記Y軸の方向に前記第6の端まで延びる第9のアーム部と、
からなるJ字形状を実質的に有し、
前記第4のアームは、
前記第7の端から前記Y軸の方向に第7の角部まで延びる第10のアーム部と、
前記第7の角部から前記X軸の方向に第8の角部まで延びる第11のアーム部と、
前記第8の角部から前記Y軸の方向に前記第8の端まで延びる第12のアーム部と、
からなるJ字形状を実質的に有し、
前記第2のアームの前記X軸の方向の長さは前記第2の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きく、
前記第3のアームの前記X軸の方向の長さは前記第3の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きく、
前記第4のアームの前記X軸の方向の長さは前記第4の錘の前記X軸の方向の長さよりも大きい、請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記Y軸の方向に延びる第1と第2の縦梁をさらに備え、
前記支持体は前記X軸の方向に延びて、かつ前記第1と第2の縦梁の略中央部にそれぞれ接続された両端部を有する、請求項6に記載の角速度センサ。 - 前記第1のアームと前記第1の錘とは第1の振動部を構成し、
前記第2のアームと前記第2の錘とは第2の振動部を構成し、
前記第1の振動部と前記第2の振動部は、前記支持体を通りかつ前記Y軸に平行な第1の中心軸に関して対称に設けられている、請求項6に記載の角速度センサ。 - 前記第3のアームと前記第3の錘とは第3の振動部を構成し、
前記第1の振動部と前記第3の振動部は、前記支持体を通りかつ前記X軸に平行な第2の中心軸に関して対称に設けられている、
請求項8に記載の角速度センサ。 - 前記第1のアームと前記第1の錘とは第1の振動部を構成し、
前記第2のアームと前記第2の錘とは第2の振動部を構成し、
前記第3のアームと前記第3の錘とは第3の振動部を構成し、
前記第1の振動部と前記第3の振動部は、前記支持体を通りかつ前記X軸に平行な第2の中心軸に関して対称に設けられている、
請求項6に記載の角速度センサ。 - 前記第1のアームの前記第2のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第1のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さく、
前記第2のアームの前記第5のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第4のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さく、
前記第3のアームの前記第8のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第7のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さく、
前記第4のアームの前記第11のアーム部の前記Y軸の方向の幅は前記第10のアーム部の前記X軸の方向の幅よりも小さい、
請求項6に記載の角速度センサ。 - 前記第1のアームの前記第3のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第2のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さく、
前記第2のアームの前記第6のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第5のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さく、
前記第3のアームの前記第9のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第8のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さく、
前記第4のアームの前記第12のアーム部の前記X軸の方向の幅は前記第11のアーム部の前記Y軸の幅よりも小さい、
請求項6に記載の角速度センサ。 - 前記第1のアームの前記第1の角部の曲率半径は前記第2の角部の曲率半径よりも大きく、
前記第2のアームの前記第3の角部の曲率半径は前記第4の角部の曲率半径よりも大きく、
前記第3のアームの前記第5の角部の曲率半径は前記第6の角部の曲率半径よりも大きく、
前記第4のアームの前記第7の角部の曲率半径は前記第8の角部の曲率半径よりも大きい、
請求項6に記載の角速度センサ。 - 前記第1のアームの前記第1のアーム部に設けられて前記第1の錘を振動させる第1の駆動部と、
前記第1のアームの前記第2のアーム部に設けられて前記第1の錘の振動を検出する第1の検出部と、
前記第2のアームの前記第4のアーム部に設けられて前記第2の錘を振動させる第2の駆動部と、
前記第2のアームの前記第5のアーム部に設けられて前記第2の錘の振動を検出する第2の検出部と、
前記第3のアームの前記第7のアーム部に設けられて前記第3の錘を振動させる第3の駆動部と、
前記第3のアームの前記第8のアーム部に設けられて前記第3の錘の振動を検出する第3の検出部と、
前記第4のアームの前記第10のアーム部に設けられて前記第4の錘を振動させる第4の駆動部と、
前記第4のアームの前記第11のアーム部に設けられて前記第4の錘の振動を検出する第4の検出部と、
をさらに備えた、請求項6に記載の角速度センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010291931 | 2010-12-28 | ||
JP2010291931 | 2010-12-28 | ||
PCT/JP2011/007190 WO2012090452A1 (ja) | 2010-12-28 | 2011-12-22 | 角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012090452A1 true JPWO2012090452A1 (ja) | 2014-06-05 |
JP6078901B2 JP6078901B2 (ja) | 2017-02-15 |
Family
ID=46382593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012550717A Expired - Fee Related JP6078901B2 (ja) | 2010-12-28 | 2011-12-22 | 検出素子及びこの検出素子を用いた角速度センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9303993B2 (ja) |
JP (1) | JP6078901B2 (ja) |
KR (1) | KR20140001223A (ja) |
CN (1) | CN103250028A (ja) |
WO (1) | WO2012090452A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5906394B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2016-04-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 慣性力検出素子とそれを用いた慣性力センサ |
WO2012090452A1 (ja) | 2010-12-28 | 2012-07-05 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JP2014240789A (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-25 | ソニー株式会社 | 圧電デバイス及び電子機器 |
JP5529328B1 (ja) * | 2013-09-04 | 2014-06-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP5503796B1 (ja) * | 2013-10-04 | 2014-05-28 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 角速度検出装置 |
WO2015075908A1 (ja) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度センサ素子およびそれを用いた角速度センサ |
JPWO2015075899A1 (ja) * | 2013-11-22 | 2017-03-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 角速度センサ素子および角速度センサ |
JP5674973B1 (ja) * | 2014-04-16 | 2015-02-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP5694597B2 (ja) * | 2014-09-18 | 2015-04-01 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP5833790B2 (ja) * | 2015-07-03 | 2015-12-16 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP6088107B2 (ja) * | 2016-09-16 | 2017-03-01 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP6186525B2 (ja) * | 2017-02-02 | 2017-08-23 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
JP6251836B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2017-12-20 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 発電素子 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3998049B2 (ja) * | 1999-09-13 | 2007-10-24 | 芳明 加藤 | 運動センサ振動体および振動ジャイロスコープ |
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-
2011
- 2011-12-22 WO PCT/JP2011/007190 patent/WO2012090452A1/ja active Application Filing
- 2011-12-22 KR KR1020137013867A patent/KR20140001223A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-12-22 US US13/989,644 patent/US9303993B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-22 CN CN2011800573741A patent/CN103250028A/zh active Pending
- 2011-12-22 JP JP2012550717A patent/JP6078901B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-03-02 US US15/058,374 patent/US10119821B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103250028A (zh) | 2013-08-14 |
KR20140001223A (ko) | 2014-01-06 |
US9303993B2 (en) | 2016-04-05 |
US10119821B2 (en) | 2018-11-06 |
US20130239681A1 (en) | 2013-09-19 |
JP6078901B2 (ja) | 2017-02-15 |
US20160195395A1 (en) | 2016-07-07 |
WO2012090452A1 (ja) | 2012-07-05 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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