JPWO2010016429A1 - 電気・電子部品用銅合金材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、CXXXXXとはCDA(Copper Development Association)で規定された銅合金の種類である。また、%IACSは材料の導電性を示す単位であって、「IACS」とは”international annealed copper standard”の略である。
特許文献1には、CoとSiと、Zn(亜鉛)、Mg(マグネシウム)、S(硫黄)を必須に含む合金が記載されている。特許文献1における目的は熱間加工性の改善である。
特許文献2には、CoとSiと、Mg、Zn、Sn(スズ)を含む合金が記載されている。また、特許文献3はCoとSiと、Sn、Znを必須に含む合金が記載されている。なお、特許文献2および特許文献3には、CoとSiの析出物(化合物)についてCo2Si化合物との記載がある。
特許文献4には、Cu−Co−Si系合金が記載されている。特許文献4の合金の用途はリードフレームであり、合金の種類が析出強化型合金であると記載されている。
特許文献5には、Cu−Co−Si合金中に析出する介在物の大きさが2μm以下であると記載されている。
特許文献6には、Cu−Co−Si合金中にCo2Si化合物を析出させることが記載されている。
特許文献1は熱間加工性の改善を目的としており、CoとSiの析出物(化合物)については記載がなく、さらに強度や導電性についての記載がない。
特許文献2には、再結晶処理を行うとの記載がなく、曲げ加工性は悪いと考えられる。
特許文献3には、その実施例に導電率は30%IACS以下と比較的低い値が示されている。
特許文献4には、析出強化型合金と記載されているが具体的な化合物やそのサイズが記載されていない。また、再結晶処理を行うとの記載がなく、曲げ加工性は悪いと考えられる。
特許文献5および特許文献6には、材料の内側曲げ半径をR、板厚をtとした際に、R/t=1の条件で曲げ加工性を評価した例があるが、この程度のレベルでは今後要求される曲げ加工性には必ずしも対応できない場合があると考えられる。
本発明によれば、以下の手段が提供される:
(1)添加元素としてCoおよびSiを含有する電気電子部品用銅合金材料であって、
CoとSiからなる平均粒子径が5nm以上50nm未満の化合物Aが分散し、さらに、CoとSiの一方もしくは両方を含有しない平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Bと、CoとSiの両方およびさらに他の元素を含有する平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Cと、CoとSiからなる平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Dとからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が分散し、母材の銅合金の結晶粒径が3〜35μmであり、かつ導電率が50%IACS以上であることを特徴とする電気電子部品用銅合金材料。
(2)添加元素としてCoおよびSiを含有する電気電子部品用銅合金材料であって、
CoとSiからなる平均粒子径が5nm以上50nm未満の化合物Aと、CoとSiの一方もしくは両方を含有しない平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Bと、CoとSiの両方およびさらに他の元素を含有する平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Cと、CoとSiからなる平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Dが分散し、
前記化合物A〜Dの分散密度の比が0.0001≦{(化合物Bの分散密度+化合物Cの分散密度+化合物Dの分散密度)/化合物Aの分散密度}≦0.1であり、
母材の銅合金の結晶粒径が3〜35μmであり、かつ導電率が50%以上であることを特徴とする電気電子部品用銅合金材料。
(3)さらに、Al、Ag、Sn、Zn、Mg、Mn、Inから選ばれた少なくとも1種を合計で0.05〜1.0mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、(1)または(2)に記載の電気電子部品用銅合金材料。
(4)さらに、Fe、Cr、Ni、Zr、Tiから選ばれた少なくとも1種を合計で0.05〜1.0mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料。
(5)添加元素としてCoおよびSiを含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、(1)または(2)に記載の電気電子部品用銅合金材料。
(6)Coの含有量が0.4〜2.0mass%、Siの含有量が0.1〜0.5mass%である、(1)〜(5)のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料。
(7)鋳塊製造時における固相温度から500℃までの平均冷却速度が5〜100℃/秒であることを特徴とする(1)〜(6)のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料。
ここで、「析出物(化合物)の平均粒子径(サイズ)」とは、後述する方法で求めた析出物の平均粒子径である。また、「結晶粒径」とは、後述するJIS−H0501(切断法)に基づいて測定した値である。
なお、銅合金材料の好ましい具体例として板材、条材について説明するが、銅合金材料の形状は板材や条材に限られるものではない。
ここで、R/tとは、日本伸銅協会技術標準「銅および銅合金薄板条の曲げ加工性評価方法(JBMA T307)」に準拠した曲げ角度90°のW曲げ試験を行った結果を意味し、圧延垂直方向に切り出した板材を所定の曲げ半径(R)で曲げ試験を行って、その頂点にクラック(割れ)が生じない限界のRを求め、その時の板厚(t)で規格化した値である。一般にR/tが小さいほど、曲げ加工性が良好であるとされる。
本発明の電気電子部品用銅合金材料では、導電率が50%IACS以上である。導電率は、より好ましくは55%IACS以上、さらに好ましくは60%IACS以上であり、高い程好ましいが、その上限は通常75%IACS程度である。また、本発明の電気電子部品用銅合金材料では、引張強度と曲げ加工性(R/t)が、前記の関係を有するものが好ましい。また、曲げ加工性(R/t)の下限は0である。
析出型銅合金の機能を発揮させる熱処理方法として、次の2回の熱処理を必ず行うことが一般的に行われている。1回目の熱処理は、溶体化(もしくは再結晶)処理または均質化処理と呼ばれ、比較的高温で、かつ、短時間の熱処理が行われる。2回目の熱処理は、時効熱処理または析出処理と呼ばれ、前記の溶体化処理温度より低温で、かつ、長時間の熱処理を行う。
一方、2回目の熱処理は強度に寄与する析出物(化合物)を銅合金中に均一かつ微細に分散させたいため、銅合金の薄板をコイル状に巻いた状態で温度制御を行った熱処理炉の中で比較的長時間(具体的には数分〜数十時間)の熱処理を行い十分に固相拡散処理で最適な析出物(化合物)を分散させる。
次工程の時効熱処理で微細な析出物(化合物)を析出させることになるが、この温度では前熱処理で高温にさらされていた粗大な化合物のサイズと密度は変化しない。なお、溶体化熱処理と時効熱処理を続けて行う場合とこれらの間に冷間圧延工程を挟む場合とがあるが、いずれの場合のこれらの熱処理工程でも粗大な化合物のサイズと密度には変化は無い。
化合物Bの平均粒子径は、50nm以上500nm以下の場合に高温での粒界移動を抑制(ピンニング)する効果を発揮する。化合物Bは、50nm以上の平均粒子径を有するため非整合な化合物であり、母材の銅合金の粒界移動を抑制するためには、化合物Bの平均粒子径は50nm以上500nm以下が好ましい。なお、化合物Bの平均粒子径はより好ましくは100nm以上300nm以下である。溶体化処理後の組織観察で、化合物Bが分散している場合が最も粒成長を抑制していることが確認された。
よって、化合物Dの平均粒子径も、化合物Dが化合物Bや化合物Cと同じ効果を求めているために、50nm以上500nm以下が好ましい。なお、化合物Dの平均粒子径は、より好ましくは100nm以上300nm以下である。
前記化合物B、化合物C、化合物Dは、透過電子顕微鏡付属のEDS(エネルギー分散型検出器)にてその成分分析を行うことにより、どの化合物(析出物)であるかを判別して、それぞれについてそのサイズを測定することができる。
更に、本発明では材料の導電率を50%IACS以上としている。この特性は、好ましくは例えば、Coの含有量を0.4〜2.0mass%、Siの含有量を0.1〜0.5mass%とし、Co2Siの金属間化合物を析出させることなどによって得られる特性である。
化合物Bと化合物Cと化合物Dの数(特に、これらの合計数)が少なすぎると、結晶粒粗大化などにより得られる銅合金材料の曲げ性の劣化などが起こる場合がある。
本発明の銅合金材料においては、化合物Aがその析出数が多い程、つまり銅合金材料中での化合物Aの分散密度が高い程、強度が向上する。また、化合物Bと化合物Cと化合物Dの析出数(特に、これらの合計数)が多い程、つまり銅合金材料中での(化合物Bの分散密度+化合物Cの分散密度+化合物Dの分散密度)が高い程、強度向上に対して良好な曲げ性を有する銅合金材料が得られる。これらの化合物数(その分散密度)については、溶体化処理や時効処理での条件を適正に調整すれば、通常は、添加合金元素成分が多い程、得られる化合物も増えると考えられる。
Al、Ag、Sn、Zn、Mg、Mn、Inは銅母相に固溶して強化する特徴がある。その添加量が合計で0.05mass%以上であれば効果を奏し、1.0mass%以下であれば導電性を阻害することもない。好ましい添加量はこれらの元素の少なくとも1種を合計で0.2〜0.4mass%である。
なお、Al、Ag、Sn、Zn、Mg、Mn、Inからなる群の各元素と、Fe、Cr、Ni、Zr、Tiからなる群の各元素とをそれぞれ複合添加しても、前述の範囲内であれば、個々の特性を阻害することはない。
本発明の電気電子部品用銅合金材料における不可避不純物としては、H、C、O、S等が挙げられる。
本発明の銅合金材料は、例えば、例えば次の工程により製造することができる。本発明の銅合金材料の主な製造工程の概略は、溶解→鋳造→均質化処理→熱間圧延→面削→冷間圧延→溶体化熱処理→時効熱処理→最終冷間圧延→低温焼鈍である。時効熱処理と最終冷間圧延は逆の順序でも良い。また、最終の低温焼鈍(歪取り焼鈍)は省略してもよい。各工程の条件としては、ここで特に述べた工程以外については常法により行うことができる。
本発明において、銅合金鋳塊の製造時における、固相温度から500℃までの平均冷却速度が5〜100℃/秒であることも、化合物B、化合物C、化合物Dの適正なサイズ、量の析出に寄与する。この平均冷却速度が5℃/秒以上100℃/秒以下であれば化合物B、化合物C、化合物Dが適切に形成され、結果として母材の銅合金の結晶粒径を適切な範囲とすることができる。ここで固相温度とは凝固が開始される温度であり、500℃より低温では化合物Aが析出する温度帯となるため、温度範囲の下限を500℃とした。
なお、前記鋳造後の冷却速度が遅すぎると、粗大析出物の増加により強度が低下する場合がある。
前記時効熱処理後の冷却速度は、熱処理炉で温度管理することで調整できる。なお、急速に冷却したい場合は、熱処理炉の加熱帯から試料を取りだし、強制空冷や水焼入で対応することができる。
表1、表2に示した成分を含有し、残部がCuと不可避不純物から成る合金(本発明例No.1〜35、比較例No.101〜128)を高周波溶解炉により溶解し、これを5〜100℃/秒の冷却速度で鋳造して厚さ30mm、幅100mm、長さ150mmの鋳塊を得た。このとき、鋳型の鋳壁近傍に熱電対をセットし、随時、測定しながら鋳造、溶製を行い鋳塊を作成した。
得られた鋳塊を930〜1050℃の温度で0.5〜1.0時間の保持後、熱間圧延を行い板厚t=12mmの熱延板を作製し、その両面を各1mm面削して板厚t=10mmとし、次いで冷間圧延により板厚t=0.3mmに仕上げ、700〜950℃の温度で溶体化熱処理を行った。この準備した材料を次の2工程のいずれかの処理を施して最終製品の供試材を作成した。
工程A:(前記溶体化熱処理)−時効熱処理(500〜600℃の温度で2〜4時間)−冷間加工(加工率5〜25%)
※この後、必要に応じて、300〜400℃の温度で1〜2時間のひずみ取り焼鈍を実施した。
工程B:(前記溶体化熱処理)−冷間圧延(加工率5〜25%)−時効熱処理(450〜550℃の温度で2〜4時間)
a.引張強度:
供試材(試験片)の圧延平行方向から切り出したJIS Z2201−13B号の試験片をJIS Z2241に準じて3本測定しその平均値を示した。
b.導電率測定:
四端子法を用いて、20℃(±1℃)に管理された恒温槽中で、各試験片の2本について導電率を測定し、その平均値(%IACS)を表1〜2に示した。このとき端子間距離は100mmとした。
c.曲げ加工性:
供試材から圧延方向に垂直に幅10mm、長さ35mmに試験片を切出し、これに曲げの軸が圧延方向に平行に曲げ半径R=0〜0.5(mm)の間で0.1mm刻みの6水準で90°のW曲げ(Bad−way曲げ)し、曲げ部における割れの有無を観察し割れの有無を調査した。曲げ部における割れの有無の観察は、50倍の光学顕微鏡での目視観察と、走査型電子顕微鏡(SEM)での曲げ加工部位の観察により行った。表1中のR/tのRは曲げ半径でtは板厚を示し、この値が小さいほど良好な曲げ加工性を示す。
d.結晶粒径:
供試材(試験片)の圧延方向に垂直な断面を湿式研磨、バフ研磨により鏡面に仕上げた後、クロム酸:水=1:1の液で数秒研磨面を腐食した後、光学顕微鏡で200〜400倍の倍率か、走査型電子顕微鏡(SEM)の二次電子像を用いて500〜2000倍の倍率で写真をとり、前記断面の結晶粒径をJIS H0501の切断法に準じて測定した。なお、写真の倍率については、観測される結晶粒の大きさにより変化させた。なお、表中の「混粒」とは、再結晶領域と未再結晶領域(圧延加工組織が残留した状態)の両方が混在した組織で、混粒の場合には粒径は測定しなかった。未再結晶が存在すると曲げ加工性が劣化すると言われている。そのため、混粒は望ましくない組織である。
e.時効熱処理後の冷却速度
冷却速度は熱処理を行う材料の重さを変えることで調整したか、または、用いた熱処理炉で温度管理することで調整した。例えば、同じ熱処理炉(バッチ式)を用いたことで、より早い冷却速度を得るためには、同時に熱処理を行う量を少なくし、一方、より遅い冷却速度を得るためには、ダミーとする試験片を入れて同時に熱処理を行う量を多くして、それぞれ熱処理した。なお、急速に冷却したい場合は、熱処理炉の加熱帯から試料を取りだし、強制空冷や水焼入で対応した。なお、冷却速度の調整は、熱処理炉で温度管理をすることによっても行なった。サンプルの数量が特に少ない場合や冷却速度が非常に遅い場合などは熱処理炉で温度管理することで冷却速度を調整した。
f.化合物のサイズ、数と分散密度
析出物(化合物)のサイズ(平均粒子径)は透過電子顕微鏡を用いて測定した。最終製品では加工歪みの影響を受けて観察しにくくなるため時効熱処理後の材料の組織観察を実施した。熱処理材の任意の場所からTEM用試験片を切り出し、硝酸(20%)のメタノール溶液で、温度−20〜−25℃で電解研磨(ツインジェット式電解研磨装置による)を行って観察用の試験片を完成させた。
その後、加速電圧:300kVで観察を行って、電子線の入射方位を(001)近傍に合わせて、倍率100000倍の写真を任意に3枚撮影した。その写真を用いて化合物A(約100個)の規定のサイズにあたる個数を求めた。
また、化合物B、化合物C、化合物Dは透過電子顕微鏡付属のEDS(エネルギー分散型検出器)にてその成分分析を行った後、1000〜5000倍の倍率で任意に3枚の写真を撮影して、その写真を用いて所望の規定のサイズにあたる個数を求めた。なお、その個数は10〜100個である。
これらの値から、各化合物A、B、C及びDの分散密度(個/mm2)を求めた。以下の表中では、分散密度を単に密度と略記する。また、「化合物B、C、D密度(個/mm2)」とは、各化合物、B、C及びDの分散密度(個/mm2)の合計を示すが、もしある化合物が存在しなければ、残りの化合物単独の分散密度又は残り2種の化合物の分散密度の合計であることは言うまでもない。さらにまた、「(B+C+D)/A」とは、「{(化合物Bの分散密度+化合物Cの分散密度+化合物Dの分散密度)/化合物Aの分散密度}」を略記したものである。
本願は、2008年8月5日に日本国で特許出願された特願2008-202467に基づく優先権を主張するものであり、これはここに参照してその内容を本明細書の記載の一部として取り込む。
本発明によれば、以下の手段が提供される:
(1)Coを0.4〜2.0mass%、Siを0.1〜0.5mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなり、
CoとSiからなる平均粒子径が5nm以上50nm未満の化合物Aが分散し、
さらに、CoとSiの一方もしくは両方を含有しない平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Bと、CoとSiの両方およびさらに他の元素を含有する平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Cと、CoとSiからなる平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Dとからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が分散し、
母材の銅合金の結晶粒径が3〜35μmであり、かつ導電率が50%IACS以上である電気電子部品用銅合金材料の製造方法であって、
前記のCoを0.4〜2.0mass%、Siを0.1〜0.5mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる組成の銅合金組成物を溶体化熱処理後に時効熱処理を行い、該時効熱処理後300℃までの冷却速度を20〜100℃/時間とすることを特徴とする電気電子部品用銅合金材料の製造方法。
(2)鋳塊製造時における固相温度から500℃までの平均冷却速度が5〜100℃/秒であることを特徴とする(1)に記載の電気電子部品用銅合金材料の製造方法。
(3)前記化合物A〜Dの分散密度の比が0.0001≦{(化合物Bの分散密度+化合物Cの分散密度+化合物Dの分散密度)/化合物Aの分散密度}≦0.1であり、
母材の銅合金の結晶粒径が3〜35μmであり、かつ導電率が50%IACS以上であることを特徴とする電気電子部品用銅合金材料の製造方法。
(4)前記残部にかえて、Al、Ag、Sn、Zn、Mg、Mn、Inから選ばれた少なくとも1種を合計で0.05〜1.0mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料の製造方法。
(5)前記残部にかえて、Fe、Cr、Ni、Zr、Tiから選ばれた少なくとも1種を合計で0.05〜1.0mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、(1)〜(3)のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料の製造方法。
ここで、「析出物(化合物)の平均粒子径(サイズ)」とは、後述する方法で求めた析出物の平均粒子径である。また、「結晶粒径」とは、後述するJIS−H0501(切断法)に基づいて測定した値である。
なお、銅合金材料の好ましい具体例として板材、条材について説明するが、銅合金材料の形状は板材や条材に限られるものではない。
Al、Ag、Sn、Zn、Mg、Mn、Inは銅母相に固溶して強化する特徴がある。その添加量が合計で0.05mass%以上であれば効果を奏し、1.0mass%以下であれば導電性を阻害することもない。好ましい添加量はこれらの元素の少なくとも1種を合計で0.2〜0.4mass%である。
本発明において、銅合金鋳塊の製造時における、固相温度から500℃までの平均冷却速度が5〜100℃/秒であることも、化合物B、化合物C、化合物Dの適正なサイズ、量の析出に寄与する。この平均冷却速度が5℃/秒以上100℃/秒以下であれば化合物B、化合物C、化合物Dが適切に形成され、結果として母材の銅合金の結晶粒径を適切な範囲とすることができる。ここで固相温度とは凝固が開始される温度であり、500℃より低温では化合物Aが析出する温度帯となるため、温度範囲の下限を500℃とした。
なお、前記鋳造後の冷却速度が遅すぎると、粗大析出物の増加により強度が低下する場合がある。
前記時効熱処理後の冷却速度は、熱処理炉で温度管理することで調整できる。なお、急速に冷却したい場合は、熱処理炉の加熱帯から試料を取りだし、強制空冷や水焼入で対応することができる。
Claims (7)
- 添加元素としてCoおよびSiを含有する電気電子部品用銅合金材料であって、
CoとSiからなる平均粒子径が5nm以上50nm未満の化合物Aが分散し、
さらに、CoとSiの一方もしくは両方を含有しない平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Bと、CoとSiの両方およびさらに他の元素を含有する平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Cと、CoとSiからなる平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Dとからなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物が分散し、
母材の銅合金の結晶粒径が3〜35μmであり、かつ導電率が50%IACS以上であることを特徴とする電気電子部品用銅合金材料。 - 添加元素としてCoおよびSiを含有する電気電子部品用銅合金材料であって、
CoとSiからなる平均粒子径が5nm以上50nm未満の化合物Aと、CoとSiの一方もしくは両方を含有しない平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Bと、CoとSiの両方およびさらに他の元素を含有する平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Cと、CoとSiからなる平均粒子径が50nm以上500nm以下の化合物Dが分散し、
前記化合物A〜Dの分散密度の比が0.0001≦{(化合物Bの分散密度+化合物Cの分散密度+化合物Dの分散密度)/化合物Aの分散密度}≦0.1であり、
母材の銅合金の結晶粒径が3〜35μmであり、かつ導電率が50%IACS以上であることを特徴とする電気電子部品用銅合金材料。 - さらに、Al、Ag、Sn、Zn、Mg、Mn、Inから選ばれた少なくとも1種を合計で0.05〜1.0mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、請求項1または請求項2に記載の電気電子部品用銅合金材料。
- さらに、Fe、Cr、Ni、Zr、Tiから選ばれた少なくとも1種を合計で0.05〜1.0mass%含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料。
- 添加元素としてCoおよびSiを含有し、残部がCuと不可避不純物からなる、請求項1または請求項2に記載の電気電子部品用銅合金材料。
- Coの含有量が0.4〜2.0mass%、Siの含有量が0.1〜0.5mass%である、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料。
- 鋳塊製造時における固相温度から500℃までの平均冷却速度が5〜100℃/秒であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の電気電子部品用銅合金材料。
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