JPWO2009038171A1 - 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents

有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

有機エレクトロルミネッセンスディスプレイは、基板と、基板上に形成された第1の電極層と、第1の電極層上に形成され第1の波長で発光する第1の発光層と、第1の発光層に少なくとも一部が重なって形成され第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層と、第1又は第2の発光層上に形成された第2の電極層とを備える。

Description

本発明は、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法に関する。
本願は、2007年9月21日に、日本に出願された特願2007−245804号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
一般的に、有機EL(Electro Luminescence:エレクトロルミネッセンス)素子は、二つの対向する電極基板の間に、有機発光材料からなる有機発光媒体層を形成し、有機発光媒体層に電流を流すことにより発光させるものであるが、効率良く発光させるには、有機発光媒体層の膜厚のコントロールが重要であり、例えば膜厚100nm程度に極めて薄膜にする必要がある。さらに、これをディスプレイ化するには、高精細にパターニングする必要がある。
基板等に形成する有機発光材料には、低分子材料と高分子材料があり、一般に低分子材料は、基板に抵抗加熱蒸着法(真空蒸着法)等により薄膜形成し、このときに微細パターンのマスクを用いてパターニングするが、この方法では基板が大型化すればするほど、パターニング精度が出難いという問題がある。
そこで、最近では基板等に形成する有機発光材料に高分子材料を用い、この有機発光材料を溶剤に溶かしてインキ化して塗工インキ液にした後、これをウェットコーティング法で薄膜形成する方法が試みられるようになってきている。薄膜形成するためのウェットコーティング法としては、スピンコート法、バーコート法、突出コート法、ディップコート法等があるが、高精細にパターニングしたり、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3色に塗り分けしたりするためには、これらのウェットコーティング法では難かしく、塗り分けパターニングを得意とする印刷法でのパターン印刷による薄膜形成が最も有効であると考えられる。
さらに、各種印刷法の中でも、有機EL素子やディスプレイでは、基板としてガラス基板を用いることが多いため、グラビア印刷法等のように金属製の印刷版等の硬い版を用いる方法は不向きである。そのために、弾性を有するゴム製の印刷版を用いた印刷法や、ゴム製の印刷用ブランケットを用いたオフセット印刷法や、弾性を有するゴムやその他の樹脂を主成分とした感光性樹脂版を用いる凸版印刷法等が適性な印刷法として採用することができる。実際に、これらの印刷法の試みとして、オフセット印刷によるパターン印刷方法(特許文献1)、凸版印刷によるパターン印刷方法(特許文献2、3)などが提唱されている。
また、円圧式の凸版オフセット印刷機としては図示しないが、シリンダー状の回転するブランケット胴と、定位置に固定配置された平坦な圧定盤とによる印刷機がある。これは平坦な印刷用凸版を水平に載置して位置決め固定する平坦な版固定定盤と、被印刷体(印刷基板)を水平に載置して位置決め固定する平坦な被印刷体固定定盤(圧定盤)と、前記版固定定盤上に載置固定した印刷用凸版の上面を周接移動(転動)して、頂部面にインキを付着させるインキ供給ローラーと、インキ供給ローラーが待機中に印刷用凸版の上面を周接移動(転動)して頂部面に付着しているインキを表面ゴム製のブランケット面に転移させ、さらに転動してブランケット面に転移した前記インキを被印刷体固定定盤上に載置固定した被印刷体(印刷基板)に転写して印刷するブランケット胴を備えている。
一方、凸版印刷法において塗工用の粘稠状(又はチクソトロピー状)のインキ又は液状のインキ(インキ液)には、最適な粘度、表面張力があることが知られており、特に液状のインキには、増粘剤といった粘度調整剤や、表面張力を調整するための界面活性剤等を添加するのが一般的である。
電子材料を印刷する場合、その溶解性に限りがあったり、不純物を嫌う場合があり、インキ物性としての制限が大きい場合がある。
特に、有機発光材料を印刷法により印刷して成膜する場合、有機発光材料は、水やアルコール、有機溶剤といった溶媒(必要に応じてバインダー樹脂)中に、分散もしくは溶解させることにより、印刷、塗工用のインキ液としてインキ化するものである。
有機発光材料をパターン成膜し、素子として駆動させる場合、その素子の耐久性は有機発光材料により成膜される膜の純度が高い方が良いとされているため、有機発光材料の膜中に残留する増粘剤などは純度を低下させる要因となるため添加することができず、この理由からも、印刷物のインキ転移性、パターン形状の安定性を得るための有機発光材料インキ液の調整可能な諸物性の範囲は限られてしまう。
上記のような理由と、特に発光材料の場合、その溶解性の低さから、一部の芳香族溶剤しか用いることができず、インキの選択幅はさほど大きくない。
特開2001−93668号公報 特開2001−155858号公報 特開2001−155861号公報
携帯電話、PDA(Personal Digital Assistant:携帯情報端末)、デジタルカメラ等のモバイル用途の表示パネルは100ppi以上の高精細なディスプレイを必要とするが、こういった高精細なディスプレイは、画素間の距離も40〜10μm程度と狭くなる為、印刷の位置精度が悪い場合隣接画素近くまで印刷パターンがずれ込んで固化してしまう場合がある。また、位置精度が悪く無い場合であっても、液体である印刷インキが、隣接する画素の印刷パターン近傍まで接近してしまう場合、固化していた印刷パターンが、接近してきた印刷インキに再び溶解し、印刷インキに溶け込み、混色を起こしてしまうという問題がたびたび起こる。
特に、発光波長の長い材料(大雑把には、長い(赤)>(緑)>(青)短い)が、波長の短い材料に混入した場合、有機ELにおいては、エネルギー移動という現象により優先的に波長の長い材料が発光してしまう。すなわち、波長の短い青に、波長の長い赤が混入した場合、その発光色は青から大きくずれ、白色に近い発光になってしまう。
本発明の課題は、インキの混色による色度のずれを最小限に止め、生産の収率を向上させることができる有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法を提供することである。
(1) 本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、本発明の一態様による有機エレクトロルミネッセンスディスプレイは、基板と、前記基板上に形成された第1の電極層と、前記第1の電極層上に形成され第1の波長で発光する第1の発光層と、前記第1の発光層に少なくとも一部が重なって形成され前記第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層と、前記第1又は第2の発光層上に形成された第2の電極層とを備える。
本発明では、第1の波長で発光する第1の発光層の上に、第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層が重なるようにしたため、第1の発光層に含まれる色素が、第2の発光層に流入した場合であっても、第1の発光層の色素よりもエネルギーの低い第2の発光層の色素が優先的に発光させることができ、混色が起こることを防ぐことができる。
(2) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイは、隣接する有機エレクトロルミネッセンス素子との間の前記基板上に形成された隔壁を備え、第2の発光層は、前記隔壁上で前記第1の発光層と重なる。
本発明では、第1の発光層又は第2の発光層を形成する際に、第1の発光層の色素又は第2の発光層の色素が隔壁内に納まらず、隔壁上に乗り上げてしまった場合であっても、混色が起こることを防ぐことができる。
(3) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの前記第1の発光層は、前記第1の電極及び前記隔壁上の全面に形成されている。
本発明では、第1の電極層と第2の電極層との間を、第1の発光層で絶縁することができるため、第1の電極層と第2の電極層との間で漏れ電流が生じることを防ぐことができる。
(4) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイは、前記第1の電極層と、前記第2の電極層との間に正孔輸送層を備え、前記正孔輸送層は、前記第1の電極及び前記隔壁上の全面に形成されている。
本発明では、正孔輸送層を第1の電極及び隔壁の全面に形成するようにしたので、隔壁内の表面の濡れ性を均一にすることができ、直上に形成される第1の発光層の膜厚を均一にすることができる。
(5) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法は、基板上に第1の電極層を形成する第1の工程と、前記第1の電極層上に第1の波長で発光する第1の発光層を形成する第2の工程と、前記第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層を前記第1の発光層に少なくとも一部が重なるように形成する第3の工程と、前記第1又は第2の発光層上に第2の電極層を形成する第4の工程とを有する。
本発明では、第1の波長で発光する第1の発光層を形成した後に、第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層が第1の発光層に重なるように形成するようにしたため、第1の発光層に含まれる色素が、第2の発光層に流入した場合であっても、第1の発光層の色素よりもエネルギーの低い第2の発光層の色素を優先的に発光させることができ、混色が起こることを防ぐことができる。
(6) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法は、前記第2の工程では、前記第1の波長で発光する第1の色素を含むインキをパターニングすることにより前記第1の発光層を形成し、前記第3の工程では、前記第2の波長で発光する第2の色素を含むインキを前記第1の発光層が固化した後にパターニングすることにより前記第2の発光層を形成する。
本発明では、第1の発光層をパターニングして、その第1の発光層が固化して乾燥した後に、第2の発光層をパターニングするようにしたので、第1の色素が第2の発光層に流入する量を少なくすることができ、混色が起きにくくすることができる。
(7) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法は、凸版印刷法により前記第1又は第2の発光層を形成する。
(8) 本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法は、隣接する有機エレクトロルミネッセンス素子を互いに隔絶するための隔壁を前記基板上に形成する工程をさらに有し、前記第2の工程では、前記第1の電極層及び前記隔壁上に前記第1の発光層を形成する。
本発明では、第1の発光層又は第2の発光層を形成する際に、第1の発光層の色素又は第2の発光層の色素が隔壁内に納まらず、隔壁上に乗り上げてしまった場合であっても、混色が起こることを防ぐことができるため、第1の発光層や第2の発光層を形成する際に厳密な位置あわせをする必要がなくなり、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイを容易に製造することができる。
本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法は、インキの混色による色度のずれを最小限に止め、生産の収率を向上させることができる。
本発明の一実施の形態における有機ELディスプレイ作製のための印刷用凸版の側断面図である。 本発明の実施形態による有機ELディスプレイの製造装置の概略構成図である。 本発明の実施形態による有機ELディスプレイ100aの構造を示す断面図である。 本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100bの構造を示す断面図である。 本発明の実施形態の他の変形例による有機ELディスプレイ100cの構造を示す断面図である。 本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100b(図4)の製造方法を示す図である。 本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100b(図4)の製造方法を示す図である。 本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100b(図4)の製造方法の他の一例を示す図である。 本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100b(図4)の製造方法の他の一例を示す図である。 本発明の実施形態による有機ELディスプレイ100a(図3)の構造を示す平面図である。 本発明の実施形態による有機ELディスプレイ100a(図3)の構造の他の一例を示す平面図である。 本発明の実施例1及び2により製造した有機ELディスプレイの発光写真である。 比較例1により製造した有機ELディスプレイの発光写真である。 比較例1により製造した有機ELディスプレイにおいて、混色が起こる原因を示す図である。 比較例1により製造した有機ELディスプレイにおいて、混色が起こる原因を示す図である。
符号の説明
1a・・・凸版のベース基材層、1b・・・凸状部形成材層、2・・・インキタンク、3・・・インキ吐出部、4a・・・インキ、5・・・アニロックスロール、6・・・版胴、7・・・被印刷体、8・・・被印刷体固定定盤、9・・・ドクター、10・・・基板、11a、11b、11c、11d・・・隔壁、12a、12b、12c・・・陽極、13a、13b、13c、13d、13e・・・正孔輸送層、14R、14G、14B・・・発光層、15・・・陰極、16・・・封止樹脂、17・・・封止基板、100a、100b、100c・・・有機ELディスプレイ、S・・・印刷用凸版
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明はこれに限るものではない。
図1は、本発明の一実施の形態における有機ELディスプレイ作製のための印刷用凸版の側断面図である。図1において、1aは凸版のベース基材層であり、1bはベース基材層1a上の凸状部形成材層(凸状部とも称する)である。ベース基材層1aと凸状部形成材層1bとにより凸版Sが形成されている。
凸状部形成材層1bとしては、ニトリルゴム、シリコーンゴム、イソプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリロニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム、ウレタンゴムなどのゴムの他に、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリブタジエン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリビニルアルコールなどの合成樹脂やそれらの共重合体、セルロースなどの天然高分子を用いることができる。
なかでも、水溶性ポリマーを主成分として含む材料は、塗工インキの成分である有機発光材料の溶液や分散液を構成している有機溶剤への耐性も高いため、これを用いることも望ましい。
ここで、例えば、電子材料の一つである有機発光材料の塗工インキとしては、沸点が低いほど、乾燥工程が容易になるという利点があるものの、印刷プロセスの時間を考慮すると、あまりに沸点の低い溶剤を用いると、版上部でインキが乾燥してしまう。そのため、インキには沸点130℃以上の溶剤を適度に混合し、インキの乾燥を防ぐことが好ましい。
沸点130℃以上の溶剤としては、例えば、2,3−ジメチルアニソール、2,5−ジメチルアニソール、2,6−ジメチルアニソール、トリメチルアニソール、テトラリン、安息香酸メチル、安息香酸エチル、シクロヘキシルベンゼン、n−アミルベンゼン、tert−アミルベンゼン、ジフェニルエーテル、ジメチルスルホキシドなどの中から1種、又は複数種を選択したものである。
有機発光材料としては、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾールなどの高分子中に低分子の蛍光発光色素を溶解させたものや、ポリフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリアルキルフルオレン誘導体(PAF)等の高分子発光体が用いられる。これらの高分子有機発光材料(高分子EL素子用発光材料)は、溶剤に溶解又は安定して分散でき、インキ化することによって塗布法や印刷法により製膜することができるため、低分子発光材料を用いた有機EL素子の製造と比較して、大気圧下での製膜が可能であり、設備コストが安いという利点がある。
凸版Sとしては、先に記述した、材質を用いることが出来るが、市販のフレキソ版や樹脂凸版を用いることが出来る。
本実施形態の印刷用凸版は、凸版印刷法(印刷用凸版を用いて印刷する印刷機)による印刷機に装着して印刷することができ、例えば、円圧式の凸版印刷機、又は円圧式の凸版オフセット印刷機などに装着して印刷することができる。
図2は、本発明の実施形態による有機ELディスプレイの製造装置の概略構成図である。図2に示す有機ELディスプレイの製造装置は、凸版印刷法を用いる円圧式の凸版印刷機であり、図示するように、インキタンク2とインキ供給部であるインキ吐出部3(チャンバー)と矢印方向D1(紙面に垂直な軸を回転軸として反時計回りに回転する方向)に回転するアニロックスロール5(金属製又は樹脂製の硬質ロール、又は適度な弾力性のある硬質ロール)と、印刷用凸版S(図1参照)を周面に装着可能な矢印方向D2(紙面に垂直な軸を回転軸として時計回りに回転する方向)に回転する版胴6を備えている。印刷用凸版は、ベース基材層1aと凸状部形成材層1bからなる。版胴6の下方には、水平方向D3(矢印方向)に反復移動する被印刷体固定定盤8を備え、該定盤8上には被印刷体7が装着固定されている。
インキタンク2には、赤色の発光色素を含むインキ、緑色の発光色素を含むインキ、青色の発光色素を含むインキが収容されており、インキ吐出部3にはインキタンク2より各色の発光色素を含むインキが混ざることなく個別に送り込まれるようになっている。アニロックスロール5は、インキ吐出部4に近接し、版胴6の印刷用凸版に接して回転するようになっている。
アニロックスロール5の回転に伴い、インキ吐出部3からアニロックスロール5の周面に吐出したインキ4aは、ドクター9などにより均一な膜厚に掻き取られ、アニロックスロール5の周面に均一な膜厚のインキ4aの膜として転移する。その後、版胴6に取り付けられた印刷用凸版Sの凸状部1bの頂部面に、前記アニロックスロール5周面のインキ4aが均一な膜厚にて転移する。
さらに、被印刷体固定定盤8上の被印刷体7(印刷基板)は、印刷用凸版の凸状部1bによる凸部パターンと被印刷体7との位相位置を調整する位置調整機構により位相位置を調整しながら図2に示すように印刷開始位置まで図面左方向に水平移動する。
その後に、被印刷体固定定盤8は、被印刷体7面に版胴6の印刷用凸版Sの凸状部1bを所定印圧にて接触させながら、版胴6の回転速度に整合して図面左方向に水平移動し、印刷用凸版の凸状部Sの頂部面のインキによる凸部パターンを被印刷体7面に印刷する。
印刷後の前記被印刷体7は、被印刷体固定定盤8上から取り除かれた後、次の被印刷体7が被印刷体固定定盤8上に装着固定される。この動作を繰り返すことにより印刷が実施される。
図3は、本発明の実施形態による有機ELディスプレイ100aの構造を示す断面図である。基板10上には、所定の間隔離れて断面が台形状の隔壁11a、11b、11c、11dが形成されている。なお、基板10がTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)を含むようにしてもよい。
基板10上であって、隔壁11aと隔壁11bとの間、隔壁11bと隔壁11cとの間、隔壁11cと隔壁11dとの間には、画素電極である陽極12a、12b、12cがそれぞれ層状に形成されている。
陽極12a、12b、12c上には、それぞれ正孔輸送層13a、13b、13cが層状に形成されている。
隔壁11a、11b、正孔輸送層13a上には、青色に発光する色素を含有する有機発光材料を含むインキを塗布することにより発光層14Bが形成されている。隔壁11c、11d、正孔輸送層13c上には、緑色に発光する色素を含有する有機発光材料を含むインキを塗布することにより発光層14Gが形成されている。隔壁11b、11c、正孔輸送層13b上には、赤色に発光する色素を含有する有機発光材料を含むインキを塗布することにより発光層14Rが形成されている。
なお、隔壁11a、11b、正孔輸送層13a上へのインキの塗布は、青色、緑色、赤色の順に行っている。そのため、発光層14Rは、隔壁11b上で発光層14Bに重っている。また、発光層14Rは、隔壁11c上で発光層14Gに重っている。また、発光層14Gは、隔壁11d上で発光層14Bに重っている。
発光層14B、14G、14R上には、対向電極である陰極15が層状に形成されている。陰極15上には、封止樹脂16の層が形成されている。
封止樹脂16上には、封止基板17が設けられている。
図3に示す有機ELディスプレイ100aでは、隔壁11aと隔壁11bに挟まれた領域、隔壁11bと隔壁11cに挟まれた領域、隔壁11cと隔壁11dに挟まれた領域が、有機EL素子である。
次に、本実施形態による有機ELディスプレイ100aの製造方法について説明する。
始めに、基板10を用意し、隣接する有機EL素子との間の基板10上に所定間隔を開けて、台形状の隔壁11a、11b、11c、11dを形成する。
そして、隔壁11a、11b、11c、11dの間の領域に陽極12a、12b、12cの層(第1の電極層とも称する)を形成し、その陽極12a、12b、12c上に、正孔輸送層13a、13b、13cを形成する。
そして、隔壁11a及び隔壁11b上の領域と、隔壁11aと隔壁11bとの間の領域に、青色で発光する色素を含むインキ4aを塗布することによりパターニングして、発光層14Bを形成する。
青色で発光する色素を含むインキ4aが固化して乾燥した後、隔壁11c及び隔壁11d上の領域と、隔壁11cと隔壁11dとの間の領域に、青色よりも発光波長が長い緑色で発光する色素を含むインキ4aを、少なくとも一部が発光層14Bと重なるように塗布することによりパターニングして、発光層14Gを形成する。
緑色で発光する色素を含むインキ4aが固化して乾燥した後、隔壁11b及び隔壁11c上の領域と、隔壁11bと隔壁11cとの間の領域に、緑色よりも発光波長が長い赤色で発光する色素を含むインキ4aを、少なくとも一部が発光層14B又は発光層14Gと重なるように塗布することによりパターニングして、発光層14Rを形成する。
赤色で発光する色素を含むインキ4aが固化して乾燥した後、発光層14R、14G、14B上に、陰極15の層(第2の電極層とも称する)を形成する。
そして、陰極15上に、封止樹脂16の層を形成する。そして、封止樹脂16の層の上に、封止基板17を設置する。
なお、図3では、インキ4aを隔壁11a、11b、11c、11d上の一部の領域に塗布しているが、インキ4aを隔壁11a、11b、11c、11d上の全面に塗布するようにしてもよい。このような構成とすることにより、以下の(A1)、(A2)、(A3)のような利点が得られる。
(A1) 発光層14R、14G、14Bには絶縁性があるので、陽極12a、12b、12c、陰極15、または正孔輸送層13a、13b、13cからの漏れ電流を遮断することができる。特に、正孔輸送層が隔壁11a、11b、11c、11dの全面に隔壁上にも形成されている場合(後述する図4参照)、隔壁なしのパッシブマトリクス型の場合(後述する図5参照)に有効である。
(A2) 陽極12a、12b、12cを樹脂性とした場合に、隔壁12a、12b、12cからガスが発生し、有機EL素子に悪影響を及ぼす可能性があるが、発光層14R、14G、14Bで隔壁11a、11b、11c、11d上の全面を覆うことにより、これを抑制することができる。
(A3) 有機EL素子の表面の濡れ性が均一になり、均一な膜形成が可能となり、断線を抑制できる。隔壁11a、11b、11c、11dのエッジが発光層でカバーされ、その上に形成される陰極15の断線を抑制することができる。
有機ELディスプレイ100aを構成する有機EL素子は、導電性の有機発光層(図3における発光層14R、14G、14B)と、この有機発光層の厚さ方向の両側に配置された透明電極層(図3における陽極12a、12b、12c)及び対向電極層(図3における陰極15)とを備えており、透光性の基板10上に透明電極層、有機発光層、対向電極層の順に積層して形成することで製造している。そして、有機発光層に電圧を印加して電子及び正孔を注入して再結合させ、この結合の際に有機発光層を発光させる。
ここでは、有機発光層による発光効率を増大させるなどのために、透明電極層(陽極11a、11b、11c)と有機発光層(発光層14R、14G、14B)との間に正孔輸送層13a、13b、13cを設けているが、対向電極層(陰極15)と有機発光層(発光層14R、14G、14B)との間に電子輸送層を設けるようにしてもよい。
次に、有機発光媒体層を形成する。有機発光媒体層は、有機発光層単独から構成してもよいし、有機発光層と正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層といった発光を補助するための層との積層構造としてもよい。なお、正孔輸送層、正孔注入層、電子輸送層、電子注入層は適宜選択される。
有機EL素子における有機発光層に用いる発光体としては、クマリン系、ペリレン系、ピレン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系、白金錯体系、ユーロピウム錯体系等の低分子発光性色素を、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に溶解若しくは高分子に共重合させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系等の高分子発光体を用いることができる。
また、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポリフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光対等、Ir錯体等の燐光性発光体などの低分子系発光材料を、高分子中に分散させたものが使用できる。高分子としてはポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等が使用できる。また、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系、ポリフルオレン、ポリフェニレンビニレン、ポリパラフェニレンビニレン、ポリチオフェン、ポリスピロなどの高分子発光材料であってもよい。また、これら高分子材料に前記低分子材料の分散又は共重合した材料や、その他既存の発光材料を用いることもできる。
正孔輸送層13cに用いる材料としては、一般に正孔輸送材料として用いられているものであれば良く、銅フタロシアニンやその誘導体、1,1―ビス(4―ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン、N,N’―ジフェニル―N,N’−ビス(3−メチルフェニル)―1,1’―ビフェニル−4,4’―ジアミン、N,N’―ジ(1―ナフチル)―N,N’―ジフェニル−1,1’―ビフェニル−4,4’―ジアミン等の芳香族アミン系などの低分子も用いることができるが、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)とポリスチレンスルホン酸との混合物等の高分子材料が成膜性の点から好ましい。また、ポリパラフェニレン(PPP)等のポリアリーレン系、ポリフェニレンビニレン(PPV)等のポリアリーレンビニレン系等の導電性高分子若しくはポリスチレン(PS)等の高分子に、アリールアミン類、カルバゾール誘導体、アリールスルフィド類、チオフェン誘導体、フタロシアニン誘導等の低分子の電荷輸送性を示す材料を混合した物を用いても良い。
さらに正孔輸送層13cに用いる材料としては、無機材料を用いることができ、Li、Na、K、Rb、Ce、およびFrなどのアルカリ金属元素や、Mg、Ca、SrおよびBaなどのアルカリ土類金属元素、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Db、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luなどのランタノイド系元素、Thなどのアクチノイド系元素、Sc、Ti、V、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Y、Ar、Nb、Mo、Ru、Pd、Ag、Cd、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Al、Ga、In、Sn、Tl、Pb、およびBiなどの金属元素、B、Si、Ge、As、Sb、Teなどの半金属元素、更にはこれらの合金、酸化物、炭化物、窒化物、硼化物、硫化物、ハロゲン化物などの無機化合物を用いても良い。
このうち特に酸化モリブデンは、成膜が容易であり、正孔注入電極からの正孔注入機能が高く、正孔を安定に輸送する機能に優れており、安定性の点など正孔輸送材料や電子注入材料の一部として有用な材料であることが知られている。
また、有機EL素子における有機発光層と正孔輸送層13cの間に、インターレイヤーと呼ばれる、加熱により電荷輸送層との密着性を増す材料を挟んでも良い。このインターレイヤーにより、有機発光層の発光効率が増し、駆動寿命も長く成る事が知られている。この様な材料としては、ポリ(2,7−(9,9−ジ−オクチルフルオロレン))−alt−(1,4−フェニレン−((4−sec−ブチルフェニル)イミノ)−1,4−フェニレン))(TFB)が挙げられる。
正孔輸送材料として無機材料を用いる場合、無機材料としては、CuO,Cr,Mn,FeO(x〜0.1),NiO,CoO,Pr,AgO,MoO,Bi、ZnO,TiO,SnO,ThO,V,Nb,Ta,MoO,WO,MnO等の金属酸化物を蒸着法やスパッタリング法、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長)法を用いて形成される。ただし材料はこれらに限定されるものではない。これら金属の炭化物、窒化物、硼化物などを用いることもできる。真空蒸着、スパッタリング法、CVD法などにより成膜することができる。
また、電子輸送層の材料としては、2−(4−ビフィニルイル)−5−(4−t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5−ビス(1−ナフチル)−1,3,4−オキサジアゾール、オキサジアゾール誘導体やビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリノラート)ベリリウム錯体、トリアゾール化合物等を用いることができる。
これらの材料は無機材料であればスパッタ法、CVD法等を用いて形成することができる。低分子の場合は蒸着法を用いて成膜しても良いが、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルアニソール、ジメチルアニソール、安息香酸エチル、安息香酸メチル、メシチレン、テトラリン、アミルベンゼン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水等の単独または混合溶媒に溶解または分散させて塗布液として用い、スピンコート法、カーテンコート法、バーコート法、ワイヤーコート法、スリットコート法といったコーティング法や、凸版印刷法(フレキソ印刷法)、凹版オフセット印刷法、凸版反転オフセット印刷法、インクジェット印刷法、凹版印刷法といった印刷法により成膜することが可能である。
なお、本実施形態では、有機ELディスプレイが図3に示した構造を有する場合について説明したが、このような構造に限定されるものではない。例えば、有機ELディスプレイの構造を、以下で説明する図4や図5のようにしてもよい。
図4は、本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100bの構造を示す断面図である。図4において、図3と同様の構造をとる部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。
図4の有機ELディスプレイ100bでは、陽極12a、12b、12c上だけではなく、隔壁11a、11b、11c、11d上にも正孔輸送層13cが形成されている点において、図3の有機ELディスプレイ100aと異なる。
正孔輸送層13cを隔壁11a、11b、11c、11d上及び陽極12a、12b、12c上、つまり素子の全面に形成することにより、隔壁11a、11b、11c、11d及び画素内の表面の濡れ性を均一にすることができるため、直上に形成される発光層14R、14G、14Bなどの発光媒体層の膜厚を均一にすることができる。
図5は、本発明の実施形態の他の変形例による有機ELディスプレイ100cの構造を示す断面図である。図5において、図3と同様の構造をとる部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。
図5の有機ELディスプレイ100cでは、基板10上に隔壁11a、11b、11c、11dが形成されていない点と、陽極11a、11b、11cが形成されていない基板10上の領域にも正孔輸送層13eが形成されている点において、図3の有機ELディスプレイ100aと異なる。
図6及び図7は、本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100b(図4)の製造方法を示す図である。具体的には、図6及び図7は、隔壁11bと隔壁11cとの間の正孔輸送層13d上に、発光層14Rを形成する工程を示している。なお、発光層14Rだけでなく、発光層14G、14Bも図6及び図7で説明する方法と同じ方法で形成することができる。
また、有機ELディスプレイ100a(図3)や有機ELディスプレイ100c(図5)の発光層14R、14B、14Bも図6及び図7で説明する方法と同じ方法で形成することができる。
図6は、図2の部分的な拡大図を示しており、図2の被印刷体7は、図6の基板10、隔壁11a、11b、11c、11d、陽極12a、12b、12c、正孔輸送層13dに対応している。
円筒状の版胴6に取り付けられている凸版部形成材層1bの表面には、アニロックスロール5により、インキ4aが付着されている。なお、本実施形態では、凸版部形成材層1bの幅W2は、隔壁間の距離W1よりも小さい。
凸版部形成材層1bが、隔壁11bと隔壁11cとの間の位置まで版胴6が回転した場合に、被印刷体固定定盤8(図6及び図7では図示省略)は、基板10等をインキ4aに接触させることにより、隔壁11b、11c及び陽極12b上の正孔輸送層13d上に、インキ4aを接触させることによりパターニングする(図7参照)。
なお、図6及び図7で示した装置ではなく、図8及び図9で示す装置を用いて、インキ4aを塗布してもよい。
図8及び図9は、本発明の実施形態の変形例による有機ELディスプレイ100b(図4)の製造方法の他の一例を示す図である。図8及び図9も、図6及び図7と同様に、隔壁11bと隔壁11cとの間の正孔輸送層13d上に、発光層14Rを形成する工程を示している。
図8及び図9において、図6及び図7と同様の部分については、同一の符号を付して、その説明を省略する。図8及び図9では、凸版部形成材層1bの幅W3が、隔壁間の距離W1よりも大きい点において、図6及び図7と異なる。
凸版部形成材層1bの幅W3が大きくなるに従って、隔壁間にインキ4aを塗布することが難しくなる。しかし、本実施形態による製造方法を用いれば、隔壁11b、11c間にインキ4aが収まらず隔壁11b、11c上にインキ4aが乗り上げてしまった場合であっても、あるいは、隣接する有機EL素子(ここでは、隔壁11a、11bの間の領域、あるいは、隔壁11c、11dの間の領域)にインキ4aが流入してしまったとしても、発光波長の長いインキを発光波長が短いインキの上に塗布するようにしたので、凸版部形成材層1bと基板10との位置合わせが多少ずれたとしても、隣接する画素との間で混色が起こることを防ぐことができる。
図10は、本発明の実施形態による有機ELディスプレイ100a(図3)の構造を示す平面図である。図10は、基板10上に隔壁11a、11b、11c、11d、・・・、陽極12a、12b、12c、・・・、正孔輸送層13a、13b、13c、・・・、発光層14R、14G、14Bを形成した段階であって、陰極15、封止樹脂16、封止基板17を形成していない段階を示している。
図10では、有機ELディスプレイ100aの基板10上に、合計21個(=3行×7列)の有機EL素子が形成されている場合を示している。
1列目、4列目、7列目の有機EL素子には、発光層14Rが塗布されており、2列目、5列目の有機EL素子には、発光層14Bが塗布されており、3列目、6列目の有機EL素子には、発光層14Gが塗布されている。
なお、図10において、各列の境界領域では、2つの発光層が重なっている。具体的には、2列目と3列目の境界領域では、発光層14B上に発光層14Gが重なっている。また、3列目と4列目の境界領域では、発光層14G上に発光層14Rが重なっている。また、1列目と2列目の境界領域では、発光層14B上に発光層14Rが重なっている。
なお、図10では、列ごとに、それぞれの発光層を形成するインキを塗布する場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図11のような方法でそれぞれの発光層を形成するインキを塗布してもよい。
図11は、本発明の実施形態による有機ELディスプレイ100a(図3)の構造の他の一例を示す平面図である。図11では、図10のように有機EL素子の列ごとにそれぞれの発光層を形成するのではなく、有機EL素子の各素子ごとにそれぞれの発光層を形成している。
なお、図11において、各有機EL素子の境界領域では、2つの発光層が重なっている。具体的には、2列目と3列目の有機EL素子の境界領域では、発光層14B上に発光層14Gが重なっている。また、3列目と4列目の有機EL素子の境界領域では、発光層14G上に発光層14Rが重なっている。また、1列目と2列目の有機EL素子の境界領域では、発光層14B上に発光層14Rが重なっている。
発光する波長が長い順番(発光層14R、14G、14Bの順番)に発光層を形成すると、例えば、発光層14Bのインキを塗布したときに、先に塗布した発光層14Rや発光層14Gのインキが発光層14Bのインキ中に溶け出してしまう。この場合に、陽極12a、12b、12cと陰極15との間に電圧を印加すると、発光層14Bが形成されている領域であるにもかかわらず、発光層14Bに流入した発光層14Rや発光層14Gの色素が発光してしまい、混色が生じるという問題があった。
しかし、本実施形態では、発光層14B、14G、14Rの順番に発光層を形成するようにしたので、例えば、先に塗布した発光層14Bや発光層14Gのインキが発光層14Rのインキ中に溶け出したとしても、流入した発光層14Bや発光層14Gの色素は発光エネルギーが高いので発光せず、発光エネルギーの低い発光層14Rの色素が優先的に発光するので、発光色の混色が起こることを防ぐことができ、有機ELディスプレイを生産する際の収率を向上させることが出来る。
また、本実施形態を用いれば、隔壁に挟まれた領域だけでなく、隔壁上にも発光層14R、14G、14Bを塗布するようにしたので、発光層のインキ4aを塗布する位置が多少ずれたとしても、隔壁に挟まれた領域の全面にインキ4aが塗布されることになり、版胴6(図2)と被印刷体7(図2)である基板10との位置合わせの精度に余裕をもたせることができる。
また、隔壁に挟まれた領域から発光層のインキ4aが溢れて、隣接する素子の発光層のインキ4aに流入したとしても、前述のように発光色への影響は小さく、隔壁に挟まれた領域に塗布する発光層のインキの膜厚が均一となるように調整することができる。
なお、上述した実施形態では、隔壁11a、11b、11c、11dの断面が台形状である順テーパー形状である場合について説明した。隔壁11a、11b、11c、11dをこのような形状とすることにより、隔壁11a、11b、11c、11d上に発光層14R、14G、14Bを形成する際に、各発光層を途切れずに連続的に形成することができる。
なお、上述した実施形態の隔壁11a、11b、11c、11dの断面を逆テーパー形状としてもよい。このような形状とすることにより、隔壁11a、11b、11c、11d上に発光層14R、14G、14Bを形成する際に、隔壁11a、11b、11c、11d上の端部でインキが途切れやすくなるため、インキの流入を抑制し、混色を防ぐことができる。
なお、上述した実施形態の隔壁11a、11b、11c、11dの高さは、0・1μm〜5μm、より好ましくは0.5μm〜2μmとするとよい。これは、隔壁11a、11b、11c、11dが低すぎると隣接する画素にインキが侵入して混色が起こるおそれがあるためであり、隔壁11a、11b、11c、11dが高すぎると陰極15を形成する際に断線が起こるおそれがあるからである。
なお、上述した実施形態の発光層14R、14G、14Bは、凸版印刷法(フレキソ印刷法)、凹版オフセット印刷法、凸版反転オフセット印刷法、インクジェット印刷法、凹版印刷法などを用いて形成することができる。このような方法を用いれば、同じ発光材料を用いて有機EL素子上の全面に各発光層14R、14G、14Bを塗布することができるため、発光層14R、14G、14Bを形成する工程を簡略化することが可能となり、生産性を向上させることができる。また、発光層14R、14G、14Bを形成する前に、基板10をUV(ultraviolet:紫外線)処理や、プラズマ処理などの表面処理を行ってもよい。隔壁11a、11b、11c、11d上及び画素内で表面の濡れ性を均一にすることができるため、発光層14R、14G、14Bの膜厚を均一にすることができる。
なお、上述した実施形態では、パッシブマトリクス方式の有機ELディスプレイについて説明したが、これに限定されるものではなく、アクティブマトリクス方式の有機ELディスプレイに適用してもよい。
また、上述した実施形態では、発光層が赤色、緑色、青色の3色からなる場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、発光層を、赤色、緑色、青色、黄色の4色で構成するようにしてもよい。この場合、基板10上への発光層の印刷の順序は、青色、緑色、黄色、赤色の順序で行う。
以下に、本発明を実施例および比較例によりさらに説明するが、本発明は下記例に制限されない。
<実施例1>
(有機発光媒体層形成用塗工インキの調製)
高分子蛍光体(又は高分子蛍光体と結着用の高分子樹脂)を溶剤に塗工インキ液濃度が2.0重量%となるように溶解させ、有機発光媒体層形成用塗工インキを調製した。
ここで高分子蛍光体には、ポリフルオレン誘導体からなるRGB三色を発光材料として用いた。インキ溶剤組成は、キシレン(沸点139℃)を88重量%、テトラリン(沸点202℃)を10重量%とした。
(被印刷基板の作製)
150mm角、厚さ0.4mmのガラス基板上に、表面抵抗率15ΩのITO膜を回路パターン状に成膜した透明電極作製用基材(ジオマテック(株)製)を用意した。
隔壁は、日本ゼオン社製ポジレジストZWD6216−6をスピンコーターにてITOパターンが形成された基板面に厚み2μmで形成した後、フォトリソグラフィーによって順テーパー形状の隔壁を形成し、基板上のITO膜パターンを区画した。なお隔壁は、後述のパターン形成時の印刷方向における隔壁幅約15μmとし、隔壁間の距離W1が32μmとなるように形成した。
次に正孔輸送層として、ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)をスピンコーターにて100nm膜厚で成膜した。さらに、この成膜されたPEDOT/PSS薄膜を、減圧下180℃にて、1時間乾燥することにより、被印刷体7(印刷基板)を作製した。
(印刷用凸版の作製)
ベース基材1aとして、厚さ0.3mmのポリエチレンテレフタレート(PET)基材上に、凸状部1bとして感光性水溶性ポリマー(水溶性樹脂)を150℃で加熱溶融したものを、スピンコート法により0.1μmの厚さで形成して、凸状部1bの形成層を積層形成した。
(印刷用凸版のパターン形成)
フォトリソ法により、凸状部と凹部を、L/S=30/111μm(180ppi相当)のストライプパターンで形成した。このパターンを用いて、赤色、緑色、青色を印刷位置をずらしながら一回ずつ印刷することでRGB三色のフルカラーパネルを作製する事ができる。
(印刷用凸版Sによる有機発光媒体層形成用塗工インキの印刷)
まず、図1に示すような本実施形態の印刷用凸版Sを、凸版印刷法による円圧式凸版印刷機(図2参照)の版胴6の周面に装着固定し、被印刷体7(印刷基板)を、被印刷体固定定盤8上に載置固定した。
そして、線数500線/インチのアニロックスロール5及び版胴6を回転させて、有機発光媒体層形成用塗工インキ4aを、アニロックスロール5(インキ供給ローラー)の周面に均一膜にて供給し、該アニロックスロール5を介して、印刷用凸版の凸状部の頂部面にインキ4aを供給した。その後、被印刷体7(印刷基板)のITO膜パターン形成面側に該ITO膜パターンに整合させて、前記頂部面によるパターン状の塗工インキ4aの印刷を行った。なお、第一回目の印刷は、青色発光色素を含む塗工インキを用いたパターニングである。
続いて、同様にして、緑色発光色素を含む塗工インキ、赤色発光色素を含む塗工インキの順に印刷を行った。なお、各発光色素のバンドギャップは、赤色発光色素が2.01eV、緑色発光色素が2.38eV、青色発光色素が2.72eVである。このように、バンドギャップが大きいほど、発光波長は短い。
印刷した後の被印刷基板7(印刷基板)は、150℃にて5時間の環境下にて塗工インキ4aを乾燥した後、該塗工インキ4aによる有機発光媒体層上から、バリウム7nm、アルミニウム150nmを積層形成し、有機ELディスプレイを製造した。
<実施例2>
正孔輸送層として、PEDOT/PSSの代わりに酸化モリブデンを真空蒸着法によりシャドーマスク法で50nmの厚さでパターン成膜した。パターン領域は表示領域全面に成膜されるように120mm×100mmの開口のあるメタルマスクを用いて成膜を行った。それ以外は実施例1と同様の工程で有機ELディスプレイを製造した。
<比較例1>
実施例1において、第一回目の印刷を、赤色発光色素を含む塗工インキを用いたパターニングとし、続いて、同様にして、緑色発光色素を含む塗工インキ、青色発光色素を含む塗工インキの順に印刷を行った。それ以外は実施例1と同様の工程で有機ELディスプレイを製造した。
<実施例3>
印刷方向における隔壁幅を約22μmとし、隔壁間の距離W1が25μmとなるように形成した。塗工インキを用いた有機発光媒体層のパターニングでは、位置を整合させて、凸状部で画素の開口部を覆うようにして凸状部の頂部面によるパターン状の塗工インキの印刷を行った。それ以外は実施例1と同様の工程で有機ELディスプレイを製造した。
<実施例4>
実施例3と同様、印刷方向における隔壁幅を約22μmとし、隔壁間の距離W1が25μmとなるように形成した。また印刷用凸版は、フォトリソ法により、凸状部と凹部を、L/S=20/121μmのストライプパターンで形成した。それ以外は実施例1と同様の工程で有機ELディスプレイを製造した。
<比較結果>
図12は、本発明の実施例1及び2により製造した有機ELディスプレイの発光写真である。つまり、図12は、発光層14B、発光層14G、発光層14Rの順番で各発光層を形成した場合を示している。
図13は、比較例1により製造した有機ELディスプレイの発光写真である。つまり、図13は、発光層14R、発光層14G、発光層14Bの順番で各発光層を形成した場合を示している。
上記実施例1又は2により製造した有機ELディスプレイは、ITO膜を介して電圧をかけ、発光状態の確認を行ったところ、有機発光媒体層の膜厚が均一であり、図12に示すように、発光ムラは見られなかったが、比較例1により作製した有機ELディスプレイは、ITO膜を介して電圧をかけ、発光状態の確認を行ったところ、図13に示すように、発光色が発光パネル内でところどころ異なったため全体としてマダラ状のムラとなり、混色が生じた。
図14及び図15は、比較例1により製造した有機ELディスプレイにおいて、混色が起こる原因を示す図である。比較例1により製造した有機ELディスプレイにおいて、混色が起こる原因は、図14に示すように、新たに塗工された塗工インキ(ここでは、発光層14B)が、それより前に塗工され、固化していたインキ(ここでは、発光層14R、14G)を溶解し、画素内に引き込み、隣接する画素の発光色素の混入が生じた部分50(図15参照)について、発光色が変化し発光ムラとなってしまったためである。
実施例3及び4においても発光色の混色は見られなかった。実施例3では画素に挟まれた全ての隔壁上で重なり合っており、発光層は素子全面を覆っていた。一方、実施例4では隔壁上で重なり合う部分と重なっていない部分が生じており、実施例3は実施例4と比較して膜厚のバラツキが小さく、均一な発光状態であった。
本発明の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法は、インキの混色による色度のずれを最小限に止め、生産の収率を向上させることのできるので、高精細のディスプレイの製造に有用である。

Claims (8)

  1. 基板と、
    前記基板上に形成された第1の電極層と、
    前記第1の電極層上に形成され第1の波長で発光する第1の発光層と、
    前記第1の発光層に少なくとも一部が重なって形成され前記第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層と、
    前記第1又は第2の発光層上に形成された第2の電極層と、
    を備えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。
  2. 隣接する有機エレクトロルミネッセンス素子との間の前記基板上に形成された隔壁を備え、
    第2の発光層は、前記隔壁上で前記第1の発光層と重なることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。
  3. 前記第1の発光層は、前記第1の電極及び前記隔壁上の全面に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。
  4. 前記第1の電極層と、前記第2の電極層との間に正孔輸送層を備え、
    前記正孔輸送層は、前記第1の電極及び前記隔壁上の全面に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ。
  5. 基板上に第1の電極層を形成する第1の工程と、
    前記第1の電極層上に第1の波長で発光する第1の発光層を形成する第2の工程と、
    前記第1の波長よりも長い第2の波長で発光する第2の発光層を前記第1の発光層に少なくとも一部が重なるように形成する第3の工程と、
    前記第1又は第2の発光層上に第2の電極層を形成する第4の工程と、
    を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
  6. 前記第2の工程では、前記第1の波長で発光する第1の色素を含むインキをパターニングすることにより前記第1の発光層を形成し、
    前記第3の工程では、前記第2の波長で発光する第2の色素を含むインキを前記第1の発光層が固化した後にパターニングすることにより前記第2の発光層を形成することを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
  7. 凸版印刷法により前記第1又は第2の発光層を形成することを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
  8. 隣接する有機エレクトロルミネッセンス素子を互いに隔絶するための隔壁を前記基板上に形成する工程をさらに有し、
    前記第2の工程では、前記第1の電極層及び前記隔壁上に前記第1の発光層を形成することを特徴とする請求項5に記載の有機エレクトロルミネッセンスディスプレイの製造方法。
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