JPWO2008114392A1 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
S. E. Thompson et al., "A 90-nm Logic Technology Featuring Strained-Silicon," IEEE Trans. Elec. Dev., Vol. 51, No. 11, pp.1790-1797, November 2004 C.-H. Ge et al., "Process-Strained-Si (PSS) CMOS Technology Featuring 3D Strain Engineering," IEDM Tech. Dig., 2003, pp. 73-76 C. S. Smith, "Piezoresistance Effect in Germanium and Silicon," Phys. Rev., vol. 94, No. 1, pp. 42-49, 1954.
12…素子分離膜
14…ゲート絶縁膜
16、16n、16p…ゲート電極
18a…サイドウォール絶縁膜(シリコン酸化膜)
18、18b、18c、18d、18e…シリコン酸化膜
20n、22n…N型不純物拡散領域
20p、22p…P型不純物拡散領域
24…ソース/ドレイン領域
24n…N型ソース/ドレイン領域
24p…P型ソース/ドレイン領域
26p…P型ポケット領域
26n…N型ポケット領域
28…金属シリサイド膜
30…MOSトランジスタ
30n…NMOSトランジスタ
30p…PMOSトランジスタ
32…引張応力膜
34、34a、34b、34c、34d…シリコン窒化膜
36、40、54、56、60、62、66…サイドウォール絶縁膜
38…圧縮応力膜
42…応力膜
50、58、64、68…フォトレジスト膜
52…シリコン窒化酸化膜
100…シリコン基板
102…素子分離膜
104…ゲート絶縁膜
106n、106p…ゲート電極
108…サイドウォール絶縁膜
110n…N型ソース/ドレイン領域
110p…P型ソース/ドレイン領域
112…金属シリサイド膜
114n…NMOSトランジスタ
114p…PMOSトランジスタ
116…引張応力膜
118…圧縮応力膜
本発明の第1実施形態による半導体装置及びその製造方法について図1乃至図10を用いて説明する。図1は本実施形態による半導体装置の構造を示す概略断面図、図2は非特許文献1に記載されたキャリア移動度の向上に必要な応力の種類を示す図、図3はサイドウォール絶縁膜のヤング率とチャネル領域の歪みとの関係についてシミュレーションを行ったMOSトランジスタの構造を示す概略断面図、図4はサイドウォール絶縁膜のヤング率とチャネル領域の歪みとの関係のシミュレーション結果を示すグラフ、図5乃至図10は本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
本発明の第2実施形態による半導体装置及びその製造方法について図11乃至図14を用いて説明する。図11は本実施形態による半導体装置の構造を示す概略断面図、図12乃至図14は本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。なお、第1実施形態による半導体装置及びその製造方法と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。
次いで、フォトレジスト膜58を除去する。
本発明の第3実施形態による半導体装置及びその製造方法について図15乃至図18を用いて説明する。図15は本実施形態による半導体装置の構造を示す概略断面図、図16乃至図18は本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。なお、第1及び第2実施形態による半導体装置及びその製造方法と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。
本発明の第4実施形態による半導体装置及びその製造方法について図19及び図20を用いて説明する。図19は本実施形態による半導体装置の構造を示す概略断面図、図20は本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。なお、第1乃至第3実施形態による半導体装置及びその製造方法と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。
本発明の第5実施形態による半導体装置及びその製造方法について図21乃至図23を用いて説明する。図21は本実施形態による半導体装置の構造を示す概略断面図、図22及び図23は本実施形態による半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。なお、第1乃至第4実施形態による半導体装置及びその製造方法と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
Claims (16)
- 第1の素子領域と第2の素子領域とを有するシリコン基板と、
前記第1の素子領域内に第1のチャネル領域を挟んで形成された第1のソース/ドレイン領域と、前記第1のチャネル領域上に第1のゲート絶縁膜を介して形成された第1のゲート電極とを有するN型トランジスタと、
前記第1のゲート電極の側壁部分に形成され、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1のサイドウォール絶縁膜と、
前記第2の素子領域内に第2のチャネル領域を挟んで形成された第2のソース/ドレイン領域と、前記第2のチャネル領域上に第2のゲート絶縁膜を介して形成された第2のゲート電極とを有するP型トランジスタと、
前記第2のゲート電極の側壁部分に形成され、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有し、前記第1のサイドウォール絶縁膜よりもヤング率が大きい第2のサイドウォール絶縁膜と、
前記N型トランジスタを覆うように形成され、前記第1のチャネル領域に、チャネル面に垂直な方向の圧縮応力とチャネル長方向の引張応力とを印加する引張応力膜と、
前記P型トランジスタを覆うように形成され、前記第2のチャネル領域に、チャネル面に垂直な方向の引張応力とチャネル長方向の圧縮応力とを印加する圧縮応力膜と
を有することを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項記載の半導体装置において、
前記第1のチャネル領域において、前記チャネル面に垂直な方向の圧縮応力が、前記チャネル長方向の引張応力と同等以上であり、
前記第2のチャネル領域において、前記チャネル長方向の圧縮応力が、前記チャネル面に垂直な方向の引張応力よりも大きい
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体装置において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜は、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1の絶縁膜よりなり、
前記第2のサイドウォール絶縁膜は、前記第1の絶縁膜よりなる前記第1のサイドウォール絶縁膜よりも薄い前記第1の絶縁膜と、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第2の絶縁膜とからなる積層構造を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項又は第2項に記載の半導体装置において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜は、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1の絶縁膜と、シリコンのヤング率と同等以下のヤング率を有する第3の絶縁膜とからなる積層構造を有し、
前記第2のサイドウォール絶縁膜は、前記第1のサイドウォール絶縁膜に含まれる前記第1の絶縁膜と膜厚が等しい前記第1の絶縁膜と、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第2の絶縁膜とからなる積層構造を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体装置において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜は、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1の絶縁膜と、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第2の絶縁膜とからなる積層構造を有し、
前記第2のサイドウォール絶縁膜は、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜とからなる積層構造を有し、前記第2の絶縁膜の占める割合が前記第1のサイドウォール絶縁膜よりも大きい
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体装置において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜は、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1の絶縁膜よりなり、
前記第2のサイドウォール絶縁膜は、前記第1の絶縁膜よりなる前記第1のサイドウォール絶縁膜と膜厚が等しい前記第1の絶縁膜と、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第2の絶縁膜とからなる積層構造を有する
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第1項乃至第6項のいずれか1項に記載の半導体装置において、
前記第1の絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、
前記第2の絶縁膜は、シリコン窒化膜である
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求の範囲第4項記載の半導体装置において、
前記第3の絶縁膜は、シリコン窒化酸化膜である
ことを特徴とする半導体装置。 - シリコン基板の第1の素子領域に形成されたN型トランジスタと、前記シリコン基板の第2の領域に形成されたP型トランジスタとを有する半導体装置の製造方法であって、
前記第1の素子領域上に第1のゲート絶縁膜を介して前記N型トランジスタの第1のゲート電極を形成し、前記第2の領域上に第2のゲート絶縁膜を介して前記P型トランジスタの第2のゲート電極を形成する工程と、
前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極が形成された前記シリコン基板上に、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の領域の前記第1の絶縁膜を選択的にエッチングすることにより、前記第2の領域の前記第1の絶縁膜を、前記第1の素子領域の前記第1の絶縁膜よりも薄くする工程と、
前記第1の絶縁膜上に、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜及び前記第1の絶縁膜を異方性エッチングすることにより、前記第1のゲート電極の側壁部分に、前記第1の絶縁膜を含み、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1のサイドウォール絶縁膜を形成し、前記第2のゲート電極の側壁部分に、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜とからなる積層構造を有し、シリコンのヤング率よりも大きなヤング率を有し、前記第1のサイドウォール絶縁膜よりもヤング率が大きい第2のサイドウォール絶縁膜を形成する工程と、
前記N型トランジスタを覆うように、前記N型トランジスタのチャネル領域にチャネル面に垂直な方向の圧縮応力とチャネル長方向の引張応力とを印加する引張応力膜を形成し、前記P型トランジスタを覆うように、前記P型トランジスタのチャネル領域にチャネル面に垂直な方向の引張応力とチャネル長方向の圧縮応力とを印加する圧縮応力膜を形成する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求の範囲第9項記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜及び前記第2のサイドウォール絶縁膜を形成する工程では、前記第1の素子領域における前記第2の絶縁膜を除去し、前記第1の絶縁膜よりなる前記第1のサイドウォール絶縁膜を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求の範囲第9項記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜及び前記第2のサイドウォール絶縁膜を形成する工程では、前記第1のゲート電極の前記側壁部分に、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜とからなる積層構造を有する前記第1のサイドウォール絶縁膜を形成し、前記第2のゲート電極の前記側壁部分に、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜とからなる積層構造を有し、前記第2の絶縁膜の占める割合が前記第1のサイドウォール絶縁膜よりも大きい前記第2のサイドウォール絶縁膜を形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求の範囲第9項乃至第11項のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、
前記第2の絶縁膜は、シリコン窒化膜である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - シリコン基板の第1の素子領域に形成されたN型トランジスタと、前記シリコン基板の第2の領域に形成されたP型トランジスタとを有する半導体装置の製造方法であって、
前記第1の素子領域上に第1のゲート絶縁膜を介して前記N型トランジスタの第1のゲート電極を形成し、前記第2の領域上に第2のゲート絶縁膜を介して前記P型トランジスタの第2のゲート電極を形成する工程と、
前記第1のゲート電極及び前記第2のゲート電極が形成された前記シリコン基板上に、シリコンのヤング率よりも小さいヤング率を有する第1の絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上に、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第2の絶縁膜を形成する工程と、
前記第2の絶縁膜及び前記第1の絶縁膜を異方性エッチングすることにより、前記第1のゲート電極の側壁部分及び前記第2のゲート電極の側壁部分に、前記第1の絶縁膜と前記第2の絶縁膜とからなる積層構造を有し、シリコンのヤング率よりも大きいヤング率を有する第1のサイドウォール絶縁膜及び第2のサイドウォール絶縁膜をそれぞれ形成する工程と、
前記第1のサイドウォール絶縁膜の前記第2の絶縁膜を選択的に除去する工程と、
前記N型トランジスタを覆うように、前記N型トランジスタのチャネル領域にチャネル面に垂直な方向の圧縮応力とチャネル長方向の引張応力とを印加する引張応力膜を形成し、前記P型トランジスタを覆うように、前記P型トランジスタのチャネル領域にチャネル面に垂直な方向の引張応力とチャネル長方向の圧縮応力とを印加する圧縮応力膜を形成する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求の範囲第13項記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1のサイドウォール絶縁膜の前記第2の絶縁膜を選択的に除去する工程の後、前記引張応力膜及び前記圧縮応力膜を形成する工程の前に、前記第1の素子領域上及び前記第2の素子領域上に、シリコンのヤング率と同等以下のヤング率を有する第3の絶縁膜を形成する工程と、
前記第3の絶縁膜を異方性エッチングすることにより、前記第1のゲート電極の前記側壁部分に、前記第1の絶縁膜と前記第3の絶縁膜とからなる積層構造を有する第3のサイドウォール絶縁膜を形成するとともに、前記第2の素子領域における前記第3の絶縁膜を除去し、前記第2のサイドウォール絶縁膜を露出する工程とを更に有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求の範囲第13項又は第14項のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1の絶縁膜は、シリコン酸化膜であり、
前記第2の絶縁膜は、シリコン窒化膜である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求の範囲第14項記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3の絶縁膜は、シリコン窒化酸化膜である
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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