JPWO2007119433A1 - Iii−v族窒化物層およびその製造方法 - Google Patents
Iii−v族窒化物層およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2007119433A1 JPWO2007119433A1 JP2008510817A JP2008510817A JPWO2007119433A1 JP WO2007119433 A1 JPWO2007119433 A1 JP WO2007119433A1 JP 2008510817 A JP2008510817 A JP 2008510817A JP 2008510817 A JP2008510817 A JP 2008510817A JP WO2007119433 A1 JPWO2007119433 A1 JP WO2007119433A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- growth
- plane
- substrate
- layer
- nitride layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0026—Activation or excitation of reactive gases outside the coating chamber
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0617—AIII BV compounds, where A is Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
- C30B23/025—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
- C30B29/403—AIII-nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/024—Group 12/16 materials
- H01L21/02403—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02428—Structure
- H01L21/0243—Surface structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02433—Crystal orientation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02458—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02658—Pretreatments
Abstract
発光素子等の半導体装置の特性向上が可能な高品質な結晶性を有する六方晶系のIII−V族窒化物層が開示される。この窒化物層は、格子定数が異なる基板上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層であって、成長面方位が{1−100}面であり、成長面方位に対して垂直となる{1−210}面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b1が、0.01°≦b1≦0.5°、あるいは、{0001}面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する、角度依存性の半値全幅b2が、0.01°≦b2≦0.5°等を満たす。
Description
本発明は、III−V族窒化物層に関し、詳しくは発光デバイス等に使用できる結晶性のよいIII−V族窒化物層に関する。
近年、InxAlyGa(1−x−y)N(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)で表されるIII−V族窒化物半導体の研究開発が進み、これを用いた発光ダイオードやレーザダイオードなどの発光デバイスの発光効率が飛躍的に改善されてきている。
GaNをはじめとしてInxAlyGa(1−x−y)Nは六方晶系に属し、主にサファイア等の基板のc面上に、エピタキシャル成長して形成されてきた。GaN層上に活性層としてInxGa(1−x)N(0<x≦1)混晶からなる量子井戸層を積層した構造では、青色・緑色LEDまたは次世代DVDレーザ用の層構成として使用または有望視されているが、GaN層との格子定数の差により量子井戸層には圧縮歪がかかっている。
六方晶系のIII−V族窒化物半導体はc軸が分極軸である分極物質であるため自発分極を有する。さらにこれに重畳して、c面上の歪んだ量子井戸には圧電分極による強い内部電場が誘起されるため、電子と正孔が1つの量子井戸層内で空間的に分離される。すなわち、c面上に成長されたGaN層上のInGaN層などには、本質的に電子と正孔が発光再結合をする確率が低下する問題があった。また、発光波長が圧電分極によって長波長側に遷移し、発光波長の短波長化が困難である問題もあった。さらに素子を駆動する際には、注入電流に依存して発光波長が変化し、低注入注入時には短波長化し、高注入電流時には長波長化する現象が観察され、波長制御が困難である問題もあった。これらの現象は量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)として知られており、六方晶系III−V族窒化物半導体においてサファイア基板等のc面上に成長したGaNのc面上にInGaN等の歪量子井戸層をコヒーレント成長する限り、その影響を避けるのが難しく、応用上大きな問題となっている。
一方、GaNのa面およびm面は、無極性であるため、その上に形成したInGaN層には圧縮歪によって分極電界が生じない。従って、発光効率の低下や注入電流増加による波長シフトを招く量子閉じ込めシュタルク効果を避けることができると考えられている。
しかし、六方晶系III−V族窒化物結晶のa面やm面上のエピタキシャル成長は困難であり、貫通転位密度や積層欠陥密度が高く、高品質な六方晶系III−V族窒化物半導体積層構造を得ることはできなかった。例えば、非特許文献1(第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集(2005年秋)11p−N−4)では、「無極性であるm面上に関しては、その成長が困難である」と記載した上で、c面を主面とするGaN基板をストライプ状に加工し、その側面のm面に結晶を成長させる等の特殊な方法を採用している。
さらに、非特許文献2{Appl.
Phys. Lett., Vol.82, No.11(17 March 2003), 1793-1795頁}には、ZnOのm面(0−100)基板に、プラズマアシストMBE(molecular-beam
epitaxy)によりGaN層を成長させたことが記載されているが、形成された基板は、「スレート状」と記載されているとおり、表面の凹凸が激しく、単結晶の層は得られていない。
Phys. Lett., Vol.82, No.11(17 March 2003), 1793-1795頁}には、ZnOのm面(0−100)基板に、プラズマアシストMBE(molecular-beam
epitaxy)によりGaN層を成長させたことが記載されているが、形成された基板は、「スレート状」と記載されているとおり、表面の凹凸が激しく、単結晶の層は得られていない。
また、特許文献1(特開2005−75651号公報)および非特許文献3(Journal
of Crystal Growth 275 (2005) e1143- e1148頁)に、a面ZnO基板上へのGaN成長の試みが記載されている。特許文献1では、a面(11−20)面を有するZnO基板を1150℃で熱処理し、ストライプ状のテクスチャーを形成させた上で、MBE法により650℃でGaNを形成し、X線回折により(11−20)面を有するGaN膜の形成を確認したことが記載されている。しかしながら、結晶性の品質に関わる記載はない。特許文献1と同等の実験を行った非特許文献5では、a面およびm面ZnO基板上へのGaNエピタキシャル層の直接の堆積は不可能で、直接成長した膜は結晶が劣ることが明らかであると記載している。
of Crystal Growth 275 (2005) e1143- e1148頁)に、a面ZnO基板上へのGaN成長の試みが記載されている。特許文献1では、a面(11−20)面を有するZnO基板を1150℃で熱処理し、ストライプ状のテクスチャーを形成させた上で、MBE法により650℃でGaNを形成し、X線回折により(11−20)面を有するGaN膜の形成を確認したことが記載されている。しかしながら、結晶性の品質に関わる記載はない。特許文献1と同等の実験を行った非特許文献5では、a面およびm面ZnO基板上へのGaNエピタキシャル層の直接の堆積は不可能で、直接成長した膜は結晶が劣ることが明らかであると記載している。
非特許文献4(Journal
of Crystal Growth 193 (1998) 127- 132頁)には、γ−LiAlO2上にGaN(1−100)を成長させ、比較的良い結晶性が得られることが報告されている。しかし、Liは、半導体層中に容易に拡散して電気的特性に影響を与えるため、現実の発光デバイスを製造するためには、LiAlO2を成長用の基板とすることはできない。
of Crystal Growth 193 (1998) 127- 132頁)には、γ−LiAlO2上にGaN(1−100)を成長させ、比較的良い結晶性が得られることが報告されている。しかし、Liは、半導体層中に容易に拡散して電気的特性に影響を与えるため、現実の発光デバイスを製造するためには、LiAlO2を成長用の基板とすることはできない。
一方、例えば非特許文献5(Japanese Journal of Applied Physics, Vol.43, No.1A/B, 2004, pp
L53-L55)には、平坦化したZnOのc面(000−1)に、パルスレーザ堆積(PLD:pulsed laser deposition)により、室温でGaNを成長させることが開示されているが、m面等の無極性面上の成長についての記載はない。
L53-L55)には、平坦化したZnOのc面(000−1)に、パルスレーザ堆積(PLD:pulsed laser deposition)により、室温でGaNを成長させることが開示されているが、m面等の無極性面上の成長についての記載はない。
さらに、非特許文献6(Applied
Physics Letters, vol,83, No. 25, 2003, pp.5208-5210)には、4H−SiC基板上に非常にX線半値幅の狭いAlN層がプラズマアシストMBE法で形成可能である事が報告されている。しかし、CはひとたびIII−V族半導体層に入ると、両性不純物となる可能性があり、層の導電性制御に悪影響を与える可能性があり、また、一般にC濃度の高い層は発光デバイスの信頼性を損なうおそれがあり、現実の発光デバイスを製造するためにはSiCを成長用の基板とすることは望ましくない。
特開2005−75651号公報
第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集(2005年秋)11p−N−4
Appl.Phys. Lett., Vol.82, No.11(17 March 2003), 1793-1795頁
Journalof Crystal Growth 275 (2005) e1143- e1148頁
Journalof Crystal Growth 193 (1998) 127- 132頁
JapaneseJournal of Applied Physics, Vol.43, No.1A/B, 2004, ppL53-L55
AppliedPhysics Letters, vol,83, No. 25, 2003, pp.5208-5210
Physics Letters, vol,83, No. 25, 2003, pp.5208-5210)には、4H−SiC基板上に非常にX線半値幅の狭いAlN層がプラズマアシストMBE法で形成可能である事が報告されている。しかし、CはひとたびIII−V族半導体層に入ると、両性不純物となる可能性があり、層の導電性制御に悪影響を与える可能性があり、また、一般にC濃度の高い層は発光デバイスの信頼性を損なうおそれがあり、現実の発光デバイスを製造するためにはSiCを成長用の基板とすることは望ましくない。
以上のように、六方晶系のIII−V族窒化物のm面、a面等の無極性面成長に関して、使用可能な性能を有する結晶は未だ得られておらず、またその結晶成長のために適した方法も知られていなかった。
本発明は、発光素子等の半導体装置の特性向上が可能な高品質な結晶性を有する六方晶系のIII−V族窒化物層を提供することを目的とする。
特に、発光デバイス用に好適な、QCSEを避けることができる無極性面が利用可能な高品質の六方晶系のIII−V族窒化物層を提供することを目的とする。
さらに本発明の異なる態様は、高品質の結晶性を有する六方晶系のIII−V族窒化物層の製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、格子定数が異なる基板(但し、LiおよびCのいずれかを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層であって、次の(i)〜(iv)の条件の中の少なくとも1つを満足することを特徴とするIII−V族窒化物層に関する。
(i) 成長面方位が{0001}に対して垂直な面(以下、無極性面という。)であり、成長面方位に対して垂直、かつ、c軸[0001]に平行となる面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b1が、
0.01°≦b1≦0.5°
を満たす。
0.01°≦b1≦0.5°
を満たす。
(ii) 成長面方位が無極性面であり、{0001}面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b2が、
0.01°≦b2≦0.5°
を満たす。
0.01°≦b2≦0.5°
を満たす。
(iii) 成長面方位が無極性面であり、成長面方位と成す角度が60°以上、かつ90°未満となる{1−100}面または{11−20}面を回折面としたとき、当該回折面と垂直かつ、c軸[0001]に平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅b3が、
0.01°≦b3≦0.5°
を満たす。
0.01°≦b3≦0.5°
を満たす。
(iv) 成長面方位が無極性面であり、前記成長面方位を{ijk0}と表記した場合、成長面から[0001]および[000−1]方向にのみ傾いた{ijk2}面を回折面としたとき、成長面から当該回折面までの傾きと等しい角度、かつ同じ方向に{0001}面を傾けた面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅b4が
0.01°≦b4≦0.5°
を満たす。
0.01°≦b4≦0.5°
を満たす。
本発明の異なる態様は、格子定数が異なる基板(但し、LiおよびCのいずれかを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層であって、
成長面方位が無極性面であり、成長面と垂直かつ、c軸[0001]と平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅a1が、
0.01°≦a1≦0.25°
を満足することを特徴とするIII−V族窒化物層に関する。
成長面方位が無極性面であり、成長面と垂直かつ、c軸[0001]と平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅a1が、
0.01°≦a1≦0.25°
を満足することを特徴とするIII−V族窒化物層に関する。
さらに本発明の異なる態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長面において単結晶構造を保ちながら第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程とを有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長面において単結晶構造を保ちながら第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程とを有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
さらに本発明の異なる態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
さらに本発明の異なる態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
さらに本発明の異なる態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法に関する。
本発明によれば、発光素子等の半導体装置の特性向上が可能な高品質な結晶性を有する六方晶系のIII−V族窒化物層を提供することができる。特に、本発明の1態様によれば、発光デバイス用に好適な、QCSEを避けることができる無極性面が利用可能な高品質の六方晶系のIII−V族窒化物層を提供することができる。さらに本発明の異なる態様によれば、高品質の結晶性を有する六方晶系のIII−V族窒化物層の製造方法を提供することができる。
10 積層
11 ZnO基板
12 III−V族窒化物層(GaN層)
13 GaN低温成膜層
14 GaN高温成膜層
30 PLD装置
31 チャンバ
31a 窓
32 ターゲット
33 KrFエキシマレーザ
34 レンズ
35 ガス供給部
36 窒素ラジカル源
36a 調整弁
37 圧力弁
38 ローターリーポンプ
39 回転軸
11 ZnO基板
12 III−V族窒化物層(GaN層)
13 GaN低温成膜層
14 GaN高温成膜層
30 PLD装置
31 チャンバ
31a 窓
32 ターゲット
33 KrFエキシマレーザ
34 レンズ
35 ガス供給部
36 窒素ラジカル源
36a 調整弁
37 圧力弁
38 ローターリーポンプ
39 回転軸
(面方位等の記号の説明)
まず、本明細書で使用する結晶の面方位および軸方向の表現方法について説明する。結晶の面方位や軸方向はミラー指数により記述される。六方晶系では、3つの指数を用いる表記法もあるが、ここでは一般的に用いられている4つの指数を用いる表記法を採用する。図1を用いて六方晶系のミラー指数について説明する。正六角形の平面内に3つ(a1,a2,a3方向)、c軸とよばれる平面に垂直な方向に1つ(c方向)の指数で表される。a1軸、a2軸、a3軸は互いに120°をなし長さが等しい。これらに直交するc軸はa軸群とは長さが等しくない。a1軸、a2軸、a3軸のうち2つの軸だけで完全に正六角形の平面内の方位は指定できるが、対称性を保つためにもうひとつの軸を導入している。そのためこれらは互いに独立ではない。ひとつの平行面群は(ijkl(エル))と表記され、これは原点から数えて1枚目の面がa1軸、a2軸、a3軸、c軸を切る点の原点からの距離がそれぞれa1/i、a2/j、a3/k、c/l(エル)であることを表す。a1、a2、a3軸は正六角形平面内に含まれる冗長な座標系であるから、i、j、kは互いに独立ではなく常にi+j+k=0が成り立つ。4つの指数のうちi、j、kについては回転対称性があるが、l(エル)は独立である。
まず、本明細書で使用する結晶の面方位および軸方向の表現方法について説明する。結晶の面方位や軸方向はミラー指数により記述される。六方晶系では、3つの指数を用いる表記法もあるが、ここでは一般的に用いられている4つの指数を用いる表記法を採用する。図1を用いて六方晶系のミラー指数について説明する。正六角形の平面内に3つ(a1,a2,a3方向)、c軸とよばれる平面に垂直な方向に1つ(c方向)の指数で表される。a1軸、a2軸、a3軸は互いに120°をなし長さが等しい。これらに直交するc軸はa軸群とは長さが等しくない。a1軸、a2軸、a3軸のうち2つの軸だけで完全に正六角形の平面内の方位は指定できるが、対称性を保つためにもうひとつの軸を導入している。そのためこれらは互いに独立ではない。ひとつの平行面群は(ijkl(エル))と表記され、これは原点から数えて1枚目の面がa1軸、a2軸、a3軸、c軸を切る点の原点からの距離がそれぞれa1/i、a2/j、a3/k、c/l(エル)であることを表す。a1、a2、a3軸は正六角形平面内に含まれる冗長な座標系であるから、i、j、kは互いに独立ではなく常にi+j+k=0が成り立つ。4つの指数のうちi、j、kについては回転対称性があるが、l(エル)は独立である。
本明細書において、面方位および結晶方位は、結晶学における一般的な表記方法に従って次のように表記する。
個別の面方位は丸い括弧( )で表現し、等価な面方位の集合を表すには波括弧{ }を用いる。等価な面方位というのは、その結晶系が許すすべての対称操作によって到達しうる面方位をいう。たとえば{1−100}は、(1−100)と等価なすべての面を集合的に表す表現であり、(1−100)をc軸を回転軸とした回転操作により到達する(10−10)、(01−10)、(−1100)、(−1010)、(0−110)を含む計6つの面を表現する。
結晶方位(結晶軸)は、それに垂直な面の指数と同じ指数の組により表現される。個別の結晶方位は角括弧[ ]で表され、等価な方位の集合は鍵括弧< >を用いる。
また、一般に使用されるように、{1−100}をm面と称することもあり、<1−100>をm軸と称することもある。六方晶系の代表的な面方位は、c面(0001)、a面(11−20)、m面(1−100)、r面(10−12)のように表される。
六方晶系のIII−V族窒化物層は、c軸<0001>方向に、Ga層とN層が交互に積層した結晶構造を有するため、c面{0001}面に対して垂直である面は、すべて無極性面である。具体的には成長面方位を{ijkl(エル)}と表記した場合に、l=0を満たす面方位({0000}は除く)である。代表的な面としては、m面{1−100}面、a面{11−20}面、{12−30}面、{13−40}面等が挙げられる。
(X線回折の説明)
格子不整合のあるヘテロエピタキシャル成長により成長した窒化物結晶はモザイク性をもち、互いにわずかに結晶方位の異なるカラム状結晶粒が集合して膜を形成している。このモザイク性は原子レベルで観察される転位や点欠陥などの結晶欠陥の反映である。内部に転位の少ないカラム状結晶粒が、結晶粒界を介して結合しており、粒界には転位が存在する。一方モザイク性を巨視的に評価する手法としてX線回折法が広く使用されている。モザイク性をもつ結晶は、結晶中に少しずつ面方位の異なる領域が存在する。このような結晶は逆格子空間では、逆格子点が原点を中心とした球面方向に広がりをもつことになる。したがってX線回折によりこの球面方向の広がりを測定すれば、面方位の揺らぎの程度を評価することができる。
格子不整合のあるヘテロエピタキシャル成長により成長した窒化物結晶はモザイク性をもち、互いにわずかに結晶方位の異なるカラム状結晶粒が集合して膜を形成している。このモザイク性は原子レベルで観察される転位や点欠陥などの結晶欠陥の反映である。内部に転位の少ないカラム状結晶粒が、結晶粒界を介して結合しており、粒界には転位が存在する。一方モザイク性を巨視的に評価する手法としてX線回折法が広く使用されている。モザイク性をもつ結晶は、結晶中に少しずつ面方位の異なる領域が存在する。このような結晶は逆格子空間では、逆格子点が原点を中心とした球面方向に広がりをもつことになる。したがってX線回折によりこの球面方向の広がりを測定すれば、面方位の揺らぎの程度を評価することができる。
そのためには、入射X線と検出器の角度(2θ)を回折ピーク位置に固定して、試料結晶と入射X線の角度(ω)を回折条件付近でスキャンする。こうすることで、図2に示すように、逆格子空間で原点を中心とした球面状の逆格子点の広がりを、回折強度の分布として評価することができる。このような測定は、X線ロッキングカーブ(XRC)あるいは、ωモード(スキャン)測定とよばれ、測定された回折ピークの幅が面方位の揺らぎの程度を反映し、定量的な指標として半値全幅(半値幅)を用いる。こうして測定された半値全幅は、その値が小さい程試料結晶が高品質で結晶学的に優れた結晶であることを示す。
薄膜結晶のモザイク性は、成長方向との関わりで、チルトとよばれる結晶軸の成長方向の揺らぎと、ツイストとよばれる結晶成長方向を軸とした結晶の回転に分けられる。回折面と結晶の回転軸を適切に選ぶことにより、X線ロッキングカーブ測定でチルトとツイストを分離することが可能である。結晶構造または格子定数の異なる基板に窒化物層を形成するとき、必ずしもチルトとツイストの大きさは同程度の大きさとはならない。基板の種類や窒化物層の成長方法や成長条件によっては、チルトの大きさは極めて小さいが、ツイストの大きさは極めて大きい場合もある。このような窒化物層の発光特性や電気的特性は著しく悪く、このような窒化物層を利用して実用的な発光デバイスを作製することは困難である。窒化物層を発光デバイスに利用する場合、チルトとツイストのそれぞれが小さいことが望ましい。
X線ロッキングカーブ測定を用いたチルトとツイストの表現は、回折面とX線の入射方向を選ぶことにより複数の方法が可能である。
(本明細書で定義するb1〜b4、a1およびa2の説明)
b1は、成長面方位が無極性面であり、成長面方位に対して垂直、かつ、c軸 [0001]に平行となる面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅を表す。具体的には、成長面方位がm面{1−100}である場合には、成長面方位に対して垂直となるa面{11−20}におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅を表す。即ち、m面に垂直なa面に対して、m面と平行なX線を入射し、成長方向の結晶軸であるm軸<1−100>を回転軸として結晶を回転させて、X線回折強度の入射X線の角度(ω)依存性を測定し、その半値全幅b1を求める。得られる角度依存性の半値全幅b1は、結晶のモザイク性のうち、結晶成長方向(m軸)を回転軸とするツイストを定量的に表現している。また、成長面方位がa面{11−20}である場合には、成長面と垂直となる{1−100}面を回折面としたとき、成長面と平行な方向から入射するX線に対する、回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。
b1は、成長面方位が無極性面であり、成長面方位に対して垂直、かつ、c軸 [0001]に平行となる面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅を表す。具体的には、成長面方位がm面{1−100}である場合には、成長面方位に対して垂直となるa面{11−20}におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅を表す。即ち、m面に垂直なa面に対して、m面と平行なX線を入射し、成長方向の結晶軸であるm軸<1−100>を回転軸として結晶を回転させて、X線回折強度の入射X線の角度(ω)依存性を測定し、その半値全幅b1を求める。得られる角度依存性の半値全幅b1は、結晶のモザイク性のうち、結晶成長方向(m軸)を回転軸とするツイストを定量的に表現している。また、成長面方位がa面{11−20}である場合には、成長面と垂直となる{1−100}面を回折面としたとき、成長面と平行な方向から入射するX線に対する、回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。
b2は、成長面方位が無極性面であり、{0001}面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅を表す。具体的には、成長面方位がm面{1−100}である場合には、c面{0001}におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する、角度依存性の半値全幅を表す。ここでは、m面に垂直なc面に対して、m面と平行なX線を入射し、成長方向の結晶軸であるm軸<1−100>を回転軸として結晶を回転させて、X線回折強度の入射X線の角度(ω)依存性を測定し、その半値全幅b2を求める。得られる角度依存性の半値全幅b2は、結晶のモザイク性のうち、結晶成長方向(m軸)を回転軸とするツイストを定量的に表現している。また、成長面方位がa面{11−20}である場合にも同様に、c面{0001}におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する、角度依存性の半値全幅を表す。
b3は、成長面方位が無極性面であり、成長面方位と成す角度が60°以上、かつ90°未満となる{1−100}面、もしくは{11−20}面を回折面としたとき、当該回折面と垂直かつ、c軸 [0001]に平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。具体的には、成長面方位がm面{1−100}である場合には、成長面方位、およびそれに平行な面以外のm面{1−100}におけるX線回折強度の、当該回折面と垂直となるa面{1−210}と平行な方向から入射するX線に対する、角度依存性の半値全幅を表す。ここでは成長面方位以外のm面{1−100}に対して、X線をこの回折面と垂直となるa面{1−210}と平行な方向から入射し、かつこのa面{1−210}に垂直な結晶軸<1−210>を軸として結晶を回転させ試料結晶と入射X線の角度(ω)依存性を測定し、その半値全幅b3を求める。得られる角度依存性の半値全幅b3はツイストとチルトの両方の情報を含んで、結晶のモザイク性を表現している。また、成長面方位がa面{11−20}である場合には、成長面およびそれに平行な面以外の{11−20}を回折面としたとき、当該回折面と垂直となるm面{10−10}面と平行な方向から入射するX線に対する、回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。
b4は、成長面方位が無極性面であり、前記成長面方位を{ijk0}と表記した場合、成長面から[0001]および[000−1]方向にのみ傾いた{ijk2}面を回折面としたとき、成長面から当該回折面までの傾きと等しい角度、かつ同じ方向に{0001}面を傾けた面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。具体的には、成長面方位がm面{1−100}であり、成長面からc軸[0001]およびc軸[000−1]方向にのみ傾いたr面{10−12}を測定面としたとき、成長面から測定面までの傾きと等しい角度、かつ同じ方向にc面{0001}を傾けた面と平行な方向から入射するX線に対する、当該測定面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。測定面のr面{10−12}は、成長面のm面に対して47.2°傾斜した面であり、測定で得られる角度依存性の半値全幅b4は、ツイストとチルトの両方の情報を含んで、結晶のモザイク性を表現している。また、成長面方位がa面{11−20}である場合には、測定面が{11−22}面になる。
a1は、成長面方位が無極性面であり、成長面と垂直かつ、c軸 [0001]と平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。これは、成長面の、c軸[0001]と平行方向へのチルトを定量的に表現している。成長面がm面{1−100}である場合には、当該m面{1−100}と垂直となるa面{1−210}と平行な方向から入射するX線に対するm面{1−100}のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。また、a面{11−20}である場合にも同様に、当該a面{11−20}と垂直となるm面{1−100}と平行な方向から入射するX線に対する当該成長面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。
a2は、成長面方位が無極性面であり、c軸[0001]と垂直な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX回折強度の角度依存性の半値全幅を表す。成長面がm面{1−100}である場合、あるいはa面{11−20}である場合にも、それぞれの成長面の、c軸[0001]と垂直方向へのチルトを定量的に表現している。
(本発明の実施形態の説明)
本発明は、格子定数が異なる基板上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層である。本発明の第1の態様では、成長面方位が無極性面であり、その結晶性が次のいずれかを満たす。
本発明は、格子定数が異なる基板上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層である。本発明の第1の態様では、成長面方位が無極性面であり、その結晶性が次のいずれかを満たす。
(式1) 0.01°≦b1≦0.5°
(式2) 0.01°≦b2≦0.5°
(式3) 0.01°≦b3≦0.5°
(式4) 0.01°≦b4≦0.5°
上述のとおり、b1およびb2は、結晶のモザイク性のツイスト成分を表し、b3およびb4は、結晶のモザイク性のツイスト成分とチルト成分を複合して表している。従って、b1〜b4は、結晶のモザイク性のツイスト情報を、異なる表現方法により表したものである。III−V族窒化物層の形態によっては、b1〜b4の全てを測定することが困難である場合があるが、式1〜式4の少なくとも一つを満たす結晶は、ツイストの小さい優れた結晶性を有する。
(式2) 0.01°≦b2≦0.5°
(式3) 0.01°≦b3≦0.5°
(式4) 0.01°≦b4≦0.5°
上述のとおり、b1およびb2は、結晶のモザイク性のツイスト成分を表し、b3およびb4は、結晶のモザイク性のツイスト成分とチルト成分を複合して表している。従って、b1〜b4は、結晶のモザイク性のツイスト情報を、異なる表現方法により表したものである。III−V族窒化物層の形態によっては、b1〜b4の全てを測定することが困難である場合があるが、式1〜式4の少なくとも一つを満たす結晶は、ツイストの小さい優れた結晶性を有する。
式1〜式4は、結晶のモザイク性が非常に小さいことを示しており、極めて高品質のIII−V族窒化物層であることを表している。特に、結晶のモザイク性のツイスト成分は、発光デバイスを製造する際にデバイス特性に影響を与える特に重要な指標である。
このIII−V族窒化物層上に、活性層を備えた発光デバイス構造をエピタキシャル成長させることにより、転位密度が低く高品質の結晶性を備え、高い発光効率を有する発光ダイオードや半導体レーザが実現できる。さらに活性層が歪をもつ量子井戸である場合、m面等の無極性面に量子井戸を形成することにより量子閉じ込めシュタルク効果による発光確率の低下がないことに加え、優れた結晶品質により、従来のc面に形成された歪量子井戸では得られなかった優れた発光効率が得られ、注入電流増加による波長シフトの問題も低減される。
III−V族窒化物層は、さらに好ましくは、次の条件の少なくとも1つを満たす。
(式1−2) 0.01°≦b1≦0.2°
(式2−2) 0.01°≦b2≦0.2°
(式3−2) 0.01°≦b3≦0.2°
(式4−2) 0.01°≦b4≦0.2°
III−V族窒化物層は、最も好ましくは、次の条件の少なくとも1つを満たす。
(式2−2) 0.01°≦b2≦0.2°
(式3−2) 0.01°≦b3≦0.2°
(式4−2) 0.01°≦b4≦0.2°
III−V族窒化物層は、最も好ましくは、次の条件の少なくとも1つを満たす。
(式1−3) 0.01°≦b1≦0.15°
(式2−3) 0.01°≦b2≦0.15°
(式3−3) 0.01°≦b3≦0.15°
(式4−3) 0.01°≦b4≦0.15°
本発明の第2の態様では、III−V族窒化物層の結晶性が、
(式5) 0.01°≦a1≦0.25°
を満たす。
(式2−3) 0.01°≦b2≦0.15°
(式3−3) 0.01°≦b3≦0.15°
(式4−3) 0.01°≦b4≦0.15°
本発明の第2の態様では、III−V族窒化物層の結晶性が、
(式5) 0.01°≦a1≦0.25°
を満たす。
上述のとおり、a1は、無極性の成長面における結晶のモザイク性のチルト成分を表しており、式5は、結晶のモザイク性が極めて小さく、高品質な結晶であることを示している。さらに好ましくは、III−V族窒化物層が、
(式5−2) 0.01°≦a1≦0.15°
を満たす。
(式5−2) 0.01°≦a1≦0.15°
を満たす。
本発明の第1の態様および第2の態様において、次の条件を満たすことが好ましい。
(式6) 0.05°≦a2≦0.5°
上述のとおり、a2も、無極性の成長面における結晶のモザイク性のチルト成分を表しており、式6は、結晶のモザイク性が極めて小さく、高品質な結晶であることを示している。
上述のとおり、a2も、無極性の成長面における結晶のモザイク性のチルト成分を表しており、式6は、結晶のモザイク性が極めて小さく、高品質な結晶であることを示している。
成長面がm面等の無極性面であるIII−V族窒化物層上に、活性層を備えた発光デバイス構造をエピタキシャル成長させることにより、転位密度が低く高品質の結晶性を備え、高い発光効率を有する発光ダイオードや半導体レーザが実現できる。さらに活性層が歪をもつ量子井戸である場合、m面等の無極性面に量子井戸を形成することにより量子閉じ込めシュタルク効果による発光確率の低下がないことに加え、優れた結晶品質により、従来のc面に形成された歪量子井戸では得られなかった優れた発光効率が得られ、注入電流増加による波長シフトの問題も低減される。
このように、本発明で規定される所定の結晶性を有するIII−V族窒化物層は、従来は存在しなかったものであり、より具体的には、後述する方法により初めて製造された新規な層である。
本発明のIII−V族窒化物層の成長面は、無極性面であれば特に限定されないが、好ましくは{ijk0(ゼロ)}面(ここで、i、jおよびkは互いに独立して、絶対値5以下の整数を表す。但し、i、jおよびkが同時に0になることはない。)であり、さらに好ましくは、i、jおよびkが互いに独立して絶対値が3以下の整数を表す{ijk0}面である。例えば、m面{1−100}面、a面{11−20}面、{12−30}面、{13−40}等が挙げられる。好ましくは、m面{1−100}面およびa面{11−20}面であり、最も好ましくはm面である。
本発明のIII−V族窒化物層は、六方晶系を構成するようにIII−V族元素を含むが、好ましくはGaおよびNを構成元素として含み、さらに好ましくはInxAlyGa1−x―yN(但し、x、yは、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1を満たす数である。)で表されるIII−V族窒化物である。本発明の好ましい1形態では、GaN層が含まれる。GaN層の上は、格子整合する、または格子定数の近いGaN、InGaN、AlGaN、AlInGaN等の結晶を容易に成長することができる。即ち、本発明の好ましい形態では、III−V族窒化物層は、少なくとも2つの層を有しており、例えば第一層として、GaN層を形成し、その上に第二層として、GaN、InN、AlN、InGaN、AlGaN、AlInN、AlInGaNから選ばれるIII−V族窒化物層を成長することができる。しかしながら、前記第一層としてInN、AlN、InGaN、AlGaN、AlInN、AlInGaNから選ばれるIII−V族窒化物層を成長し、第一層上に第二層としてGaN、InN、AlN、InGaN、AlGaN、AlInN、AlInGaNから選ばれるIII−V族窒化物層を成長することも可能である。
III−V族窒化物層の厚さは、好ましくは5nm以上10000nm以下、より好ましくは5nm以上500nm以下、さらに好ましくは10nm以上300nm以下である。一般に異種基板上の窒化物結晶は、成長膜厚を増加させるほど貫通転位密度が減少し、X線ロッキングカーブの半値全幅が狭い良質な結晶が得られる。この現象のメカニズムは必ずしも明らかではないが、貫通転位の方向が膜厚とともに変化し、転位間の相互作用による消滅や転位ループの形成、転位の一部が結晶の端に到達することによるものと考えられている。しかしながら転位密度を減少させるために成長膜厚を増加させることは、材料コストがかかり製造のスループットも制約を受けるという問題がある。
本発明のIII−V族窒化物層は、300nm以下の極めて薄い結晶膜であっても、X線ロッキングカーブの半値全幅の狭い高品質な窒化物結晶となっている。これは成長開始面(基板との界面)から極めて高い結晶性を有していることを意味する。従来の異種基板上に成長した窒化物層では、厚膜の場合では仮に良好な結晶性を示したとしても、成長開始面から例えば50nm(100nmでもよい)までの範囲の結晶性を見たとき、結晶性の良好なものはなかった。これに対して、本発明では、成長開始面から例えば50nm(この基準距離は、30nmまたは100nm等でもよく、基準距離より薄いときはその膜厚まで)の範囲の結晶性をみても、本発明で規定される所定のb1〜b4、またはa1の条件を満たす。このような層は、後述する製造方法でも説明するが、格子定数の異なる基板面からただちに単結晶の成長が開始するという驚くべき成長方法によって、もたらされていると考えられる。
本発明の好ましい形態において、III−V族窒化物層は、少なくとも2つの層を有しており、第一層は、500℃未満の成長温度で形成され、基板上に直接成長が開始されたのもである。第二層は、400℃以上であってかつ第一層の成長温度より高温の成長温度で、第一層上に形成された層である。さらに好ましくは、第一層が450℃以下の成長温度で形成され、前記第二層が400〜1300℃の成長温度で形成される。第一層の成長温度は、例えば77K等の0℃未満であっても原理的には可能であるが、一般には0℃以上、例えば10℃以上、実用的には室温(20〜30℃)以上が好ましい。本発明の1形態では、室温〜450℃の範囲から選ばれ、また異なる態様では100℃〜450℃の範囲から選ばれることもある。また、250℃〜400℃の範囲から選ばれることもある。また、好ましくは、第一層の厚みが、500nm未満となるように形成される。さらに好ましくは、第一層の厚みが、300nm未満となるように形成される。最も好ましくは、第一層の厚みが200nm未満となるように形成される。
また、本発明のIII−V族窒化物層は、その成長の際に、層の成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素がラジカルを含む形態で供給されて形成されることが好ましい。III族元素は化合物の形態としても、金属の形態としても(例えば、金属ターゲットを使用する)供給でき、成長方法として、パルスレーザ堆積法(PLD法)によって形成されることが好ましい。
V族元素(窒素元素)がラジカルを含む形態としては、UV励起、DC励起、ECR励起、RF励起等の方式によりプラズマ状に励起された窒素が挙げられ、装置としてはMBE法でも使用される公知のプラズマ発生装置を使用することができる。プラズマ励起により、励起種としては、分子状ラジカル、原子状ラジカルおよびイオン種が発生するが、本発明では、成長面に供給される窒素元素(励起種)が、分子状窒素ラジカルを含むことが好ましい。原子状ラジカルおよびイオン種は、III−V族窒化物層から、窒素の引き抜きを起こしやすい。無極性基板の場合は、成長面にIII族元素とV族元素が同数存在しているために、窒素引き抜きにより成長面で実効的にIII族が過剰になりやすく、Ga等のIII族元素のドロップレットが生成し易いことから結晶性が低下すると考えられる。従来のc面III−V族窒化物層の場合には、MOCVD法によるC+面サファイア基板上の成長、あるいは本参考実験のPLD法によるC−面ZnO基板上成長等において、一般的に成長層の表面モフォロジー、あるいは結晶性が良好であるGa極性面が成長面となるように成長を行うことが多く、この場合、成長面はGa等のIII族元素のみが表れ、成長面からの窒素の引き抜きの影響はほとんどない。このため、励起種が原子状ラジカルでも分子状ラジカルでも、結晶品質に対する影響はほとんどなく、本発明者の実験では、原子状ラジカルが主として含まれる場合の方がむしろ結晶性が優れていた。これに対して、無極性面の場合は、分子状ラジカルを主とすることで、結晶性の優れた薄膜が得られた。
成長面に供給される窒素元素(励起種)に、分子状ラジカルが60%以上(N原子ベース)含まれることが好ましく、より好ましくは70%以上、特に好ましくは80%以上であり、多いほど好ましく、可能であれば100%が最も好ましい。実施例では、90%程度である。この条件は、前記の第一層成長および第二層成長のどちらにも効果がある。
イオン種は、好ましくはラジカル種の5%以下、より好ましくは1%以下、特に好ましくは0.1%以下である。イオン種を減少させるには、例えばRFプラズマ発生装置にイオントラップを設けることで減少させることができる。以下、上記のようにイオン種の構成割合が低く、ラジカル種が主となる窒素源をラジカル源と称する。
分子状窒素ラジカルの割合は、例えばJ.Vac.Sci.Technol.,B17(4),1999,pp.1654に従って、イオン種および原子状窒素ラジカルの流束の割合を見積もり、結晶に取り込まれるNの流束から差し引いて、その残りを分子状窒素ラジカルの割合として得ることができる。
分子状窒素ラジカルの割合は、RFプラズマ発生装置の構造および運転条件を変更することで変化し、例えば、プラズマを発生させる電圧(低電圧が好ましい)、電力(放電電圧は低く、電力が大きいことが好ましい)、電極構成、プラズマ発生装置中のガス圧力および流量、電子発生源、プラズマの閉じこめ様式(磁場、プラズマセルの形状)、ガス種、イオン除去機構、セル出口の口径(小径が好ましい)などの条件を、最適に変更することが好ましい。
また、前述の第一層成長において、成長面に対して供給されるV族元素とIII族元素の比(V/III比)を大きくすることも、高品質の結晶を得る点で効果がある。成長面においてIII族が過剰になると、Ga等のIII族元素のドロップレットが生成し易く結晶性が低下する。V/III比は、1より大きい条件で形成されることが好ましく、より好ましくはV/III比が2以上であり、5以上であることも非常に好ましい。V/III比は、実際の成長条件と同様のV族供給条件において、ストイキオメトリーを保ったまま成長出来る最大の成長速度をV族供給量、実際の成長条件での成長速度をIII族供給量とし、その比により求めることができる。
以上の説明で、製造方法に関係する事項については、後述する製造方法においても詳述する。
本発明のIII−V族窒化物層は半導体的電気特性を有することが好ましい。それにより本積層構造を発光デバイス等に応用する場合、当該積層構造の一部をデバイス構造構成上の要素として使用することができる。一般的に半導体的な電気伝導性とは、金属と絶縁体の中間の電気抵抗(電気伝導率として常温で103から10−10Ω−1・cm−1)を持ち、温度の上昇とともにその電気抵抗が下がることを意味する。これは良く知られているように、その材料が禁制帯に隔てられた伝導帯と価電子帯からなるバンド構造を有することを意味しており、意図的にドーパントとなる元素を混入させると、電子による電気伝導が支配的なn型材料、また正孔による電気伝導が支配的なp型材料等を形成できることも意味する。このため、III−V族窒化物層は、半導体的電気伝導性を有することが好ましく、また、この層の一部を各種半導体デバイス構造の要素として使用することも好ましい。
さらに、本発明のIII−V族窒化物層のバンド構造が直接遷移型のバンド構造である場合には、発光デバイスの活性層等の発光再結合を引き起こす部分にも使用することも可能である。
本発明のIII−V族窒化物層は、その製造過程において、このIII−V族窒化物とは格子定数が異なる基板上に成長して形成されたものである。ここで、基板と格子定数が異なるとは、無極性面を成長する場合には成長面がc軸に平行であるので、六方晶系窒化物層のc軸方向の格子定数とそれと直交する方向(m面のときa軸のひとつ、a面のときm軸のひとつ)の格子定数が、それぞれ基板のc軸方向の格子定数とそれと直交する方向の格子定数に完全には一致しない場合をいう。
基板としては、成長させるIII−V族窒化物層と同一の六方晶系の結晶面(m面、a面等)、またはIII−V族窒化物層と同一の六方晶系の結晶面(m面、a面等)と格子構造が一致する面を主面として有する基板が挙げられる。例えば六方晶系のm面{1−100}面と格子構造が一致する面を主面として有する基板として、立方晶系の結晶構造を有する基板が挙げられる。通常は、六方晶系に属する結晶構造を有し、主面の名目上の面方位が、成長させるIII−V族窒化物層と同一である基板を用いることが好ましい。面方位が同一である基板を使用することにより、その上に窒化物層を成長させると、この基板の結晶情報を引き継ぎ、目的の無極性面を成長面とする窒化物層が容易に形成される。
ここで、「主面の名目上の面方位」とは、基板の主面が結晶方位軸に対して完全な垂直からずれていることも許容されることを意味する。通常、主面に対して垂直な軸は結晶方位から15°までの範囲、好ましくは5°までの範囲でずれていてもよい。六方晶系の結晶構造をとる、たとえばGaN、サファイア、ZnO等においては、{0001}に対して垂直な面はその構成元素のアニオンとカチオンが同数存在する面であるため、極性を有さない無極性面となっている。
基板として具体的には、特に制限はないが、サファイア、Si、スピネル(MgAl2O4),NdGaO3、ZnO、MgO、SiO2、GaAs、GaP、InP、ZnSe、ZnTe、CdTeなどの単結晶基板をあげることができる。特に亜鉛および酸素を構成元素として含む基板が好ましく、特にZnO基板が好ましい。ZnOはその結晶構造が六方晶系に属し、GaNとの格子不整合がc軸で0.4%、a軸で1.9%と小さく、GaNを含んだ六方晶系窒化物層の成長に適している。
基板表面は、平坦であることが極めて好ましい。一般に、表面粗さRaは、3nm以下が好ましく、より好ましくは2nm以下、さらに好ましくは1.7nm以下である。Raは算術平均粗さのことを示し、算術平均値に対する偏差の絶対値の平均値である。平坦な基板表面を得る方法は基板材料および面方位により異なるため、それぞれの場合に適切な方法を採用し、上記の表面粗さを満足するようにすることが好ましい。一般的には、まず機械研磨により十分に平坦化することが好ましい。
m面ZnO基板の場合、さらに800℃以上でアニールされた基板を使用することが好ましい。実施例で示すように、適切に研磨された基板をアニールすることで、原子層のステップが観察できる程、平坦な基板が得られる。
a面ZnO基板の場合は、上記の平滑な表面粗さを得るには、むしろ高温でアニールしないことが重要である。高温でアニールすると、表面にストライプ状のテクスチャーが現れ、表面の平坦性がむしろ劣化する。このa面ZnO基板を使用した場合は、実施例で示すように、結晶性の優れたIII−V族窒化物層は得られなかった。従来c面の成長において常識的に実施されてきた手法をそのまま適用しても、結晶性の良好なIII−V族窒化物層が得られない。
一般に、m面以外の無極性面ZnOにおいては、アニールを行わないか、または上記の平坦性を損なわない範囲でアニールを行う。アニールは、表面の傷などを回復することができるので、必要により行うことができる。アニールする場合は、通常は700℃以上で処理され、好ましくは800℃以上である。上記の表面粗さの条件が満たされる場合には、アニールしなくてもよい。a面の場合は、1150℃未満の温度でアニールされたものであるか、またはアニールされていないものが好ましい。アニールする場合には、より好ましくは1100℃未満であり、特に好ましくは950℃以下である。その他の極性面(m面、a面以外)の場合にも、アニールする場合には、1150℃未満の温度が好ましい。尚、m面においても前述の表面粗さ条件が満たされる場合には、アニールしなくてもよいし、800℃未満の温度(通常は700℃以上)でアニールしてもよいが、前述のとおりアニールする方が好ましい。
本発明は、基板として、Liを主要構成元素として含有する基板およびCを主要構成元素として含有する基板は使用されない。Liは、窒化物半導体中を非常に広範囲に拡散し、その電気的特性に大きな影響を与えるために、半導体の導電性制御が困難になる。基板にLiが含まれる場合、その上に形成される窒化物層にもLiは容易に拡散しうる。従って、LiAlO2等のLiを主要構成元素として含有する基板は、本発明では使用されない。尚、基板材料がLiを主要構成元素として含有しない場合であっても、不純物としてのLi含有量も小さいことが好ましく、1021(cm−3)以下であることが好ましい。また、Cに関しても、III−V族半導体層に入ると、両性不純物となる可能性があり、層の導電性制御に悪影響を与える可能性がある。また、一般にC濃度の高い層は発光デバイスの信頼性を損なうおそれがあり、現実の発光デバイスを製造するためにはSiCを成長用の基板とすることは望ましくない。
以上説明した本発明のIII−V族窒化物層は、種々の応用が可能であり、その上にデバイス構造を形成するために提供される基板としての形態、その上にデバイス構造が形成されたデバイスの一部としての形態、その層の一部にデバイス構造の少なくとも1部が形成されたデバイスの一部としての形態、およびその他の形態をとることができる。また、III−V族窒化物層の成長の際に使用されたZnO等の基板は、そのまま存在してもよいし、層成長後の適当な段階で除去されていてもよい。即ち、本発明のIII−V族窒化物層を備えた最終製品または中間製品が、成長の際に使用した基板を有していても、有していなくてもどちらでもよい。
次に、本発明の積層構造は、以上のIII−V族窒化物層の上に、この層とは異なるその他の層を有するものである。その他の層は、どのようなものであってもよく、材質としては、絶縁物を有しても、半導体部分を有しても、金属部分を有してもよい。形成方法は、ハイドライド気相成長(HVPE)法、有機金属気相成長(MOCVD)法、プラズマ化学気相堆積(CVD)法および熱CVD法等のCVD法、分子線エピタキシー(MBE)法、スパッタ法、蒸着法等の広く知られている成膜方法、そしてPLD法のいずれでもよい。形成される構造は、単層でも多層構造でもよく、また、いわゆる電子デバイスや発光デバイス等のデバイス構造となっていてもかまわない。
しかし、本発明の高品質III−V族窒化物層の機能を十分に発揮させるためには、直接に積層される層としては、本発明の層を下地として使用することで高品質化が可能な層が好ましい。特に、本発明の層に直接接している層の少なくとも一部は、格子整合する層であることが好ましい。例えば、異なる組成の、または異なる成長方法で形成されるIII−V族窒化物層が好ましい。その際、成長方法としては、VPE法、CVD法、MBE法、スパッタ法、蒸着法およびこれらの2つ以上の方法の組み合わせからなる群より選ばれる成膜方法で形成されていることが好ましい。
尚、発明のIII−V族窒化物層と、その上に積層されているその他の層は、主要組成または目的とする組成が同一であっても、製法が異なる場合には通常は膜質が異なる。即ち、2つの層の間で、含有される不純物量が異なっていたり、または2つの層の界面の不純物プロファイルから界面が確認できたりするので、通常は2つの異なる層として区別して認識できる。例えば本発明の好ましい実施形態では、発明のIII−V族窒化物層はPLD法により成長され、その他の層の成膜は、通常のMOVPE法等で成長される。GaN層の成膜を例にとると、MOVPE法では一般にNH3とTMG(トリメチルガリウムGa(CH3)3)等の有機金属を原料として、また水素ガスや窒素ガスをキャリアガスとして使用するため、その不純物としては、水素、炭素が必ず混入し、また、酸素も一般的に混入しがちである。これに対して、PLD法で成長する際には、窒素ガスを窒素源として窒素ラジカルを生成し、また、金属Ga等を原料とすれば、水素や炭素は原理的に低減が可能であって、その混入する不純物はMOVPE法で形成した膜と異なる不純物レベルとなる。従って、通常は、本発明のIII−V族窒化物層と「その他の層」は区別が可能なものである。
〔製造方法〕
次に、本発明のIII−V族窒化物層の製造方法を説明する。
次に、本発明のIII−V族窒化物層の製造方法を説明する。
本発明の製造方法は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長面において単結晶構造を保ちながら第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程と、
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程と
を含む成長工程とを有する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長面において単結晶構造を保ちながら第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程と、
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程と
を含む成長工程とを有する。
ここで、無極性面とは、前に定義したとおり、面方位を{ijkl(エル)}と表記した場合に、l=0を満たす面方位({0000}は除く)である。代表的な面としては、m面{1−100}面、a面{11−20}面、{12−30}、{13−40}面等が挙げられ、好ましくは、m面およびa面であり、特にm面が好ましい。
図3および図4には、基板としてm面ZnO基板、III−V族窒化物層としてGaN層を形成する例を示した。使用できる基板については、すでに説明したとおりであるが、基板として十分に平坦化された基板を用意するか、製造工程の一部として基板を平坦化することが好ましい。その結果、ZnO基板として、表面粗さRaが3nm以下、好ましくは2nm以下、さらに好ましくは1.7nm以下のものが用意されればよい。基板を用意する工程に関しては、m面ZnO基板と、m面以外の無極性面ZnO基板に分けて説明する。
(m面ZnO基板の場合) m面ZnO基板を使用する実施形態では、図4のフローチャートに示すように、まず基板の平坦化工程(S11)として、800℃以上の高温でアニールすることが好ましい。尚、通常は、1600℃以下の温度である。具体的には、機械研磨された{1−100}面を主面とするZnO基板11を800℃以上の温度に制御された高温度オーブン内において、ZnOの焼結体で周囲を箱状に囲んで加熱処理する。この場合において、ZnO基板11はZnO焼結体により包囲されていればよく、また包囲する焼結体によって、ZnO基板11を全て包み込むことは必須ではない。また、例えばZnO焼結体からなる坩堝を作成してそのなかにZnO基板11を設置するようにしてもよい。ZnOを包囲する目的は、比較的蒸気圧の高いZnの逃散を抑制することであるため、ZnO焼結体以外に、Znを含む材料で包囲するようにしてもよい。Znを含む材料の例として、例えばZnO単結晶を用いてもよいし、Znの板を用いてもよい。
上述の条件に基づいてZnO基板11を加熱処理することにより、原子ステップが形成された原子層レベルで平坦ZnO基板11を結晶成長用基板として適用することが可能となり、良好なGaN薄膜を形成させることが可能となる。
(m面以外の無極性面ZnO基板の場合) a面等のm面以外の無極性面ZnO基板の場合は、ZnO基板として、表面粗さRaが3nm以下、好ましくは2nm以下、さらに好ましくは1.7nm以下であるものを用意する。ZnO基板表面は、最初に機械研磨(化学機械研磨を含む)されるが、このときにこの表面粗さの範囲内になるように、十分平坦化することが好ましい。十分に平坦化されていれば、その後にアニールする必要はなない。しかし、平坦性を上げるため、細かいキズ等を低減するためにアニールしてもよく、通常は上記の平滑性が得られる範囲でアニールすることも好ましい。
アニールする場合には、1150未満の温度が好ましく、より好ましくは1100℃未満であり、特に好ましくは950℃以下である。また、アニールする場合は、通常は700℃以上で処理され、好ましくは800℃以上である。アニールの方法は、前述のm面ZnO基板の場合と同様である。
このようにして所定の面方位の基板を用意した後、基板上にIII−V族窒化物層の第一層を形成する。第一層を形成する(b−1)第1サブ成長工程では、500℃未満の成長温度で、成長面において好ましくは単結晶構造を保ちながら成長を行う(図4のS12に対応する)。
500℃未満の温度で、基板上に成長することで、基板がZnOであっても、InxAlyGa(1−x−y)N等のIII−V族窒化物層との界面反応が生じずに、界面反応層が形成されない。成長温度を500℃以上とした場合は、良質な結晶が得られない場合が多い。
本発明における第1サブ成長工程(低温成長工程S12)において、第一層は、成長面において単結晶構造を保ちながら成長することが好ましい。これは、実施例で示すように、成長面のRHEED像を観察することによりモニターが可能である。
成長温度は、さらに好ましくは450℃以下の温度である。第一層の成長温度は、例えば77K等の0℃未満であっても原理的には可能であるが、一般には0℃以上、例えば10℃以上、実用的には室温(20〜30℃)以上が好ましい。本発明の1形態では、室温〜450℃の範囲から選ばれ、また異なる態様では100℃〜450℃の範囲から選ばれることもある。また、250℃〜400℃の範囲から選ばれることもある。
第1サブ成長工程における第一層の成長方法は、500℃未満の温度で、成長面において単結晶構造を保ちながら成長を行うことが可能な方法であれば、特に限定はない。本発明の1形態では、成長面に対して、III族元素を間欠的に供給し、V族元素(N)をラジカルを含む形態で供給しており、それにより単結晶構造を保ちながら成長が生じていると推定される。原料が間欠的に基板へ供給されことにより、成長表面上に到達した原子のマイグレーションが促進され良質の結晶が成長すると推定される。また、V族元素に関しては、成長に関与できる励起種として、イオン状態のものまたはラジカル状態のものがあるが、特にラジカル状態の励起種の濃度が高くなるようにして、供給することが好ましい。本発明者は、ラジカル状態の励起種は、良質の結晶成長に効果があると推定している。
成長面に供給される窒素元素(励起種)に、特に分子状窒素ラジカルが多く含まれるように条件が設定されることが好ましい。成長面に供給する窒素元素には、分子状ラジカルが60%以上(N原子ベース)含まれることが好ましく、より好ましくは70%以上、特に好ましくは80%以上であり、多いほど好ましく、可能であれば100%が最も好ましい。実施例では、90%程度である。
供給される窒素元素(励起種)のうち、イオン種は、好ましくはラジカル種の5%以下、より好ましくは1%以下、特に好ましくは0.1%以下である。
分子状窒素ラジカルの割合は、RFプラズマ発生装置の構造および運転条件を変更することで変化し、例えば、プラズマを発生させる電圧(低電圧が好ましい)、電力(放電電圧は低く、電力が大きいことが好ましい)、電極構成、プラズマ発生装置中のガス圧力および流量、電子発生源、プラズマの閉じこめ様式(磁場、プラズマセルの形状)、ガス種、イオン除去機構、セル出口の口径(小径が好ましい)などの条件を、最適に変更することが好ましい。
また、成長面に対して供給されるV族元素とIII族元素の比(V/III比)は、1より大きい条件で形成されることが好ましく、より好ましくはV/III比が2以上であり、5以上であることも非常に好ましい。
第一層の成長速度が速すぎる場合には、基板表面に到達した原子が十分にマイグレーションできない。特に低温成長の場合は、基板温度の熱エネルギーによってマイグレーションのための運動エネルギーを補うことができないため結晶品質が低下する。従って、第一層の成長速度としては、例えば300nm/時間未満が好ましい。さらに好ましくは、200nm/時間以下であり、最も好ましくは160nm/時間以下である。また、成長速度が遅すぎる場合には、不純物取り込みが多くなり、特に低温成長の場合は高温成長に比べて成長室中の不純物が吸着しやすいため、結晶品質が低下する。従って、第一層の成長速度は、例えば10nm/時間より大きいことが好ましく、さらに好ましくは30nm/時間以上である。
III族元素を間欠的に供給する際の周期に関する条件としては、供給と供給の間の休止期間が短すぎる場合には、基板表面到達した原子が十分にマイグレーションできないため結晶品質が低下する。また休止期間が長すぎる場合には、成長速度が低下するともに、長時間の成長中断が発生するため、成長膜中の不純物取り込みが多くなり結晶品質が低下する。従って、供給を休止している期間が0.001秒から10秒の範囲が好ましく、さらに0.005秒から1秒の範囲が好ましく、特に0.01秒〜0.5秒の範囲が好ましく、0.02秒〜0.1秒の範囲が最も好ましい。また、供給期間としては、上記の成長速度の範囲内となるように、例えば1×10−13秒〜10秒の範囲から適宜選ばれる。
原料を間欠的に供給する成長方法の代表的な方法として、PLD法が挙げられる。PLD法は、間欠的なパルスレーザ照射によって材料原子をプラズマ状に励起し基板へ供給するため、基板が低温であっても、基板表面でマイグレーションするために必要な運動力学的エネルギーを原子が有しており、低温成長に好適である。
間欠的な照射源としては、材料原子の励起を可能とするパルス状の粒子束であればレーザーに置き換えることが可能であり、電子、クラスターイオン、陽子、中性子を用いることが可能である。
原料を間欠的に供給する他の成長方法として、III族原料とV族原料を交互にそれぞれ間欠的に供給するマイグレーションエンハンストエピタキシー(MEE)法やフローレートモジュレーション法を用いることも可能である。
PLD成長においては、III族元素は、化合物の形態としても金属の形態としても(例えば、金属ターゲットを使用する)供給することが出来る
低温での成長では、基板に到達した粒子のマイグレーションが十分ではなく、膜厚を増加させるに従い結晶性が悪化する傾向にある。従って良好な結晶構造とするためには、第一層の厚みは特に好ましくは500nm未満(好ましくは300nm未満、特に好ましくは200nm未満)である。
以下にPLD法について詳しく説明する。ここでは、例えば図5に示すようなPLD装置30を用いて、基板としてZnO基板11上に、InxAlyGa(1−x−y)N層を形成する場合を例にとって説明する。
PLD装置30は、内部に充満されたガスの圧力、および温度を一定に保つために、密閉空間を形成するチャンバ31を備えている。チャンバ31内には、ZnO基板11とターゲット32が対向して配置されている。ここで、ターゲット32となるのはガリウム金属、インジウム金属、アルミ金属、AlGa合金、InGa合金、AlInGa合金、GaN単結晶、InN単結晶、AlN単結晶、GaInN単結晶、AlGaN単結晶、AlInGaN単結晶、GaN焼結体、InN焼結体、InGaN焼結体、AlGaN焼結体、AlInGaN焼結体であり、成長条件に応じて、ターゲット種の選択、およびシングル、あるいはマルチターゲット成膜の選択が適宜可能である。
またPLD装置30は、波長が248nmの高出力パルスレーザを出射するKrFエキシマレーザ33を備えている。KrFエキシマレーザ33から出射されたパルスレーザ光は、レンズ34により焦点位置がターゲット32近傍となるように調整され、チャンバ31の側面に設けられて窓31aを介してチャンバ31内に配置されたターゲット32表面に対して約30°の角度で入射する。
また、PLD装置30は、チャンバ31内へ窒素ガスを注入するためのガス供給部35と、その窒素ガスをラジカル化するラジカル源36とを備えている。窒素ラジカル源36は、ガス供給部35から排出された窒素ガスを、高周波を用いて一旦励起することにより窒素ラジカルとし、その窒素ラジカルをチャンバ31内に供給する。なおチャンバ31とガス供給部35との間には、窒素ラジカルガス分子とパルスレーザ光の波長との関係においてZnO基板11への吸着状態を制御するべく、ガスの濃度を制御するための調整弁36aが設けられている。
また、PLD装置30はチャンバ31内の圧力を制御するための圧力弁37とローターリーポンプ38とを備えている。チャンバ31内の圧力は、減圧下で成膜するPLD法のプロセスを考慮しつつ、ローターリーポンプ38により、例えば窒素雰囲気中において所定の圧力となるよう制御される。
また、PLD装置30は、パルスレーザ光が照射されている点を移動するために、ターゲット32を回転させる回転軸39を備えている。
以上のPLD装置30では、チャンバ31内に窒素ガスを充満させた状態で、ターゲット32を回転軸30を介して回転駆動させつつ、パルスレーザ光を断続的に照射する。このことにより、ターゲット32表面の温度を急激に上昇させ、Ga原子、In原子およびAl原子(いずれの原子もターゲットに含有される場合)が含まれたアブレーションプラズマを発生させることができる。このアブレーションプラズマ中に含まれるGa原子、In原子およびAl原子は、窒素ガスとの衝突反応等を繰り返しながら状態を徐々に変化させてZnO基板11へ移動する。そして、ZnO基板11へ到達したGa原子、In原子およびAl原子を含む粒子は、そのままZnO基板11上の無極性面に拡散し、格子整合性の最も安定な状態で薄膜化されることになる。
ところで、この第一層は、一見すると、従来のMOVPE法などで形成される低温バッファ層と類似しているが、層構造は大きく異なっている。通常サファイアなどの基板上にMOVPE法を用いてIII−V族窒化物層を成長する際、MOVPE法で行うGaNのエピタキシャル成長のための基板温度は900から1100℃程度であり、低温バッファー層は500〜600℃程度で形成される。500〜600℃程度の基板温度で20〜100nm程度堆積されるGaNまたはAlNのバッファー層は微小な多結晶構造からなる。この層の上に例えばGaNを成長させるために、1000℃程度に基板温度を上げると、固相成長により多結晶構造の一部が単結晶化し、結晶方位の配向が進む。このように構造が変化したバッファー層の上に、900から1100℃程度の高温で単結晶の窒化物層がエピタキシャル成長するのである。
これに対して本発明による第1サブ成長工程で成長する第一層は多結晶構造ではなく、成長初期から結晶方位がそろった単結晶である点で、上記バッファー層とは全く異なっている。本発明の第1サブ成長工程では、基板と成長層の界面反応を抑制しつつ、成長初期から単結晶を成長させている。
図6に、後述する実施例6と同様の成長条件で成長したGaN層の[11−20]方向からの断面TEM像を示した。ZnO基板とGaN成長層との界面反応層が形成されることなく、ZnO基板界面から高品質のGaN単結晶層が成長されていることを示している。
また、上述のGaN層と同一試料の、[0001]方向からの断面TEM観察も行ったところ、GaN結晶とZnO結晶ではa軸方向に1.9%もの格子不整合率を有するにも関わらず、ZnO基板界面の格子像と連続した格子像を有する高品質のGaN単結晶層が成長されていることが観察された。本TEM像を詳細に解析し、(A)ZnO基板界面からGaN層中に18nm離れた点のGaN結晶、(B)ZnO基板界面近傍のGaN結晶、(C)ZnO基板界面近傍のZnO結晶、(D)ZnO基板界面からZnO基板中に約50nm離れた点のZnO結晶、のそれぞれのa軸方向の格子間隔を比較したところ、(B点の格子間隔)<(C点の格子間隔)<(A点の格子間隔)<(D点の格子間隔)の関係が得られた。通常、格子定数が異なる基板上の結晶成長では、基板上に成長される成長層の結晶が、基板の格子定数に整合するべく歪を受けるのが一般的であるが、上記の関係は、基板となるZnO結晶が、その成長界面付近において、成長されるGaN結晶の格子定数に合わせて縮んでいることを示している。さらに、ZnO基板界面近傍のGaN結晶とZnO結晶は、GaN結晶の格子定数よりもさらに小さくなっていることを示しており、極めて特異な界面結晶構造を有していることが明らかとなった。格子定数が異なる基板上のエピタキシャル成長機構としては、良く知られるようにFMモード(フランク−ファン・デル・メルウェ モード:基板上に成長される結晶が、1原子層ずつ広がって厚みを増す機構。基板上に成長される結晶の格子定数が、基板となる結晶の格子定数に近い場合に期待される機構)、VWモード(ボルマー−ウェーバー モード:基板上に成長される結晶が、三次元核形成をし、そのまま三次元成長する機構。基板上に成長される結晶の格子定数と、基板となる結晶の格子定数との差が大きい場合、もしくは両者の結晶層間の結合が弱い場合に期待される機構)、SKモード(ストランスキー−クラスタノフ モード:FMモードとVMモードの中間的な機構で、基板上に成長される結晶がFMモードで成長を開始後、成長層に蓄積される歪により規定されるある臨界膜厚を超えたところで三次元核形成をし、三次元成長に移行する機構)、の3つの成長モードが挙げられる。これらはいずれも、基板上に成長される結晶層側に歪が内在することで、基板との格子不整合性が調整されると理解されてきており、基板側の格子定数が変化することは全く知られていなかった。
これに対して本現象は、基板上に成長される結晶層側に対し、基材となるべき基板の格子定数が変化することで、基板と成長層の格子不整合性が調整されているものであって、従来知られていたエピタキシャル成長機構とはまったく異なる物理現象と捕らえることが可能である。
このような単結晶成長機構が発現する理由ははっきりしていないが、基板上に成長される結晶層に比較して、基材となるべき基板の弾性的性質が、十分に「やわらかい」ことに起因している可能があると考えられる。また、格子定数差が異なるものの、それが極端ではなく、比較的近接していることも作用している可能性がある。
また一方、図6の断面TEM像によれば、c軸方向の格子定数は、基板上に成長されているGaN結晶の側が、基板となるZnO結晶の格子定数に合わせて固定されていることがわかっており、結晶軸方向により格子定数が整合する対象層が異なって混在し得ることも、従来知られている成長機構とは異なった特徴の一つである。本解析結果は、本発明形態により、格子定数が異なる基板上であっても、優れた結晶性を有する成長層を成長できる重要な要因の一つと考えられ、本発明の優れた有効性を示すものである。
次に、第2サブ成長工程は、(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる工程である。図3、4に示す例では、第2サブ成長工程(高温成長工程S13)において、第1サブ成長工程(低温成膜工程S12)で成長した第一層(図3のGaN低温成長膜13)上に、第二層(図3のGaN高温成長膜14)を成長する。
第2サブ成長工程では、III−V族窒化物が成長する際に、成長面で励起種または粒子が十分なマイグレーションするようにして、エピタキシャル成長時の欠陥の発生を抑制する温度が必要である。
第2サブ成長工程の成長温度は、好ましくは400〜1300℃、より好ましくは550〜1200℃、特に好ましくは600〜850℃である。尚、400℃以上500℃未満の範囲は、第1サブ成長工程より高温の場合に許容される。
第二層の成長速度は、例えば30〜5000nm/時間の範囲であり、好ましくは50〜3000nm/時間、さらに好ましくは70〜1000nm/時間である。通常は、第一層の成長速度より速くすることが好ましい。尚、結晶のモザイク性のうちで、デバイス性能により影響を与えるツイスト(b1〜b4)を大きく減少させるためには、第二層の成長速度は、好ましくは120〜5000nm/時間、より好ましくは150〜3000nm/時間、特に好ましくは200〜1000nm/時間である。第二層の成長速度により結晶性の揺らぎのうちツイスト成分を低減できることは、極めて注目すべき事実である。
第2サブ成長工程の成長方法として、良好な結晶構造を有するように成長を行うことが可能な方法であれば、特に限定はないが、第1サブ成長工程と同様に、成長面に対して、III族元素を間欠的に供給し、V族元素をラジカルを含む形態で供給する方法が好ましい。特に、V族元素に関しては、ラジカル状態の励起種の濃度が高くなるようにして、供給することが極めて好ましい。第2サブ成長工程においても、V族元素はラジカル状態の励起種が、良質の結晶成長に効果があると推定される。特に分子状窒素ラジカル種の割合が多くなるように条件が設定されることが好ましい。成長面に供給する窒素元素に、分子状ラジカルが60%以上(N原子ベース)含まれることが好ましく、より好ましくは70%以上、特に好ましくは80%以上であり、多いほど好ましく、可能であれば100%が最も好ましい。実施例では、90%程度である。供給される窒素元素(励起種)のうち、イオン種は、好ましくはラジカル種の5%以下、より好ましくは1%以下、特に好ましくは0.1%以下である。
第2サブ成長工程の成長方法として、例えばMBE法、およびMOVPE法等を使用してもよいが、原料を間欠的に供給する成長方法の代表的な方法であるPLD法が好ましい。本発明の好ましい実施形態では、第一層がPLD法で成長されるので、第二層もPLD法で成長することで、層の連続性がよく、また同一チャンバで形成できるので汚染等の原因もなく、製造上も簡便で好ましい。PLD法の詳細は、第1サブ成長工程で説明したとおりである。
図3の例では、このようにして、ZnO基板11上に、GaN低温成膜層13およびGaN高温成膜層14を有するIII−V族窒化物層12を有する積層10が形成される。
次に、本発明の製造方法の第2〜第4の態様は次のとおりである。上述の態様(本発明の製造方法の第1の態様)では、第1サブ成長工程において、成長面において単結晶構造を保ちながら成長しているが、これらの第2〜第4の態様は、次の事項によってのみ規定される。しかしながら、各条件等は本発明の第1の態様と実質的に共通しており、製造方法の第2〜第4の態様における各材料、工程、および条件等の詳細は、矛盾が無い限りすで説明したとおりの材料、工程および条件等を採用することができる。また、好ましい形態、条件等についても、矛盾の無い限りすでに説明したとおりである。
即ち、本発明の製造方法の第2の態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有する。
さらに本発明の製造方法の第3の態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有する。
さらに本発明の製造方法の第4の態様は、六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有する。
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有する。
次に、本発明の積層構造、即ち、III−V族窒化物層とこの層の上に形成された「その他の層」を有する積層構造を製造するには、「その他の層」の材質に合わせて公知の方法により、III−V族窒化物層上に適宜形成すればよい。本発明のIII−V族窒化物層がPLD法で形成される場合においても、「その他の層」をPLD法で形成する必要はなく、例えば絶縁物、半導体、金属等の層の材質に合わせて、ハイドライドVPE法、MOVPE法、プラズマCVD法、熱CVD法、MBE法、スパッタ法、蒸着法等の広く知られている成膜方法を用いることができる。本発明の1実施形態では、VPE法、CVD法、MBE法、スパッタ法、蒸着法およびこれらの2つ以上の方法の組み合わせからなる群より選ばれる成膜方法が採用される。形成される構造は、単層でも多層構造でもよく、また、いわゆる電子デバイスや発光デバイス等のデバイス構造となっていてもかまわない。「その他の層」がデバイス構造またはデバイス構造の一部である場合にも、公知の方法によりデバイス構造を形成すればよい。
以下に実施例を示して本発明をさらに詳細に説明する。また、説明中で図4のフローチャートを適宜参照する。まず最初にm面成長の実施例を示す。
(実施例A−1)
(1−100)面を主面とするZnO基板11を平坦化工程S11にて、1250℃で3時間半のアニール処理を行った。平坦化後の原子間力顕微鏡像を図7Aに、また比較のために平坦化前の原子間力顕微鏡像を図7Bに示す。平坦化後では、原子層ステップが観察されている。
(1−100)面を主面とするZnO基板11を平坦化工程S11にて、1250℃で3時間半のアニール処理を行った。平坦化後の原子間力顕微鏡像を図7Aに、また比較のために平坦化前の原子間力顕微鏡像を図7Bに示す。平坦化後では、原子層ステップが観察されている。
ついで、平坦化処理した前述のZnO基板をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12(第1サブ成長工程)において第一層のGaN層13を成膜した。低温成膜工程S12では、ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11における(1−100)面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を300Wで用い、成長圧力は3×10−6Torrとした。
KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を30Hz、1パルス当りの照射時間を20ns、ターゲット照射時点のレーザパワーは0.36Wとした。またZnO基板11の基板温度を300℃とし、12nmの厚さまで成長させた。成長速度は、47nm/時間であった。
この成長過程での、ZnO基板、成長2分後(1.6nm)、成長10分後(8nm)のRHEED像を、図8A、図8Bおよび図8Cにそれぞれ示す。図8Bおよび図8CにおいてRHEED像が明瞭な2次元回折ストリークパターンを示していることから、GaN層が成長初期から極めて平坦な成長面を有する単結晶を保って成長していることが示される。
つぎに、高温成膜工程S13(第2サブ成長工程)において第二層のGaN層14を成膜した。高温成長工程S13ではターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11における(1−100)面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は4.5×10−6Torrとした。KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を50Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.86Wとした。また高温成膜工程S13ではZnO基板11の基板温度を700℃とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。
得られたGaN層を試料として、X線ロッキングカーブ測定によって、結晶のモザイク性を評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。また、低温成膜工程S12において見積もったV/III比を表2の右欄に合わせて示した。
(実施例A−2)
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を320℃、成長速度を53nm/時間、成長膜厚を13nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.93W,基板温度を690度とした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を320℃、成長速度を53nm/時間、成長膜厚を13nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.93W,基板温度を690度とした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(実施例A−3)
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.42W、成長速度を107nm/時間、成長膜厚を18nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.93W、基板温度を760度とした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.42W、成長速度を107nm/時間、成長膜厚を18nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.93W、基板温度を760度とした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(実施例A−4)
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.41W、成長速度を157nm/時間、成長膜厚を26nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.97Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.41W、成長速度を157nm/時間、成長膜厚を26nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.97Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(実施例A−5)
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.41W、成長速度を102nm/時間、成長膜厚を17nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.93Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。また、得られたGaN層のフォトルミネッセンス測定の結果を図10に示す。約300nmの薄い結晶層からの発光であるにも関わらず、基板のZnOからの発光よりも大きな発光強度を示しており、光学的にも優れた結晶性を有していることがわかる。
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.41W、成長速度を102nm/時間、成長膜厚を17nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.93Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。また、得られたGaN層のフォトルミネッセンス測定の結果を図10に示す。約300nmの薄い結晶層からの発光であるにも関わらず、基板のZnOからの発光よりも大きな発光強度を示しており、光学的にも優れた結晶性を有していることがわかる。
(実施例A−6)
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.46W、成長速度を195nm/時間、成長膜厚を100nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.83Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.46W、成長速度を195nm/時間、成長膜厚を100nmとし、高温成長工程S13のターゲット照射時点のレーザパワーを0.83Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(実施例A−7)
平坦化工程S11の平坦化処理温度を1050℃とした以外は実施例A−1の平坦化工程S11と同様の処理を行った。
ついで、低温成膜工程S12でRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は6.0×10−6Torr、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.30W、成長速度を150nm/時間、成長膜厚を40nmとした以外は実施例A−1の低温成膜工程S12と同様の成膜条件で成膜した。
平坦化工程S11の平坦化処理温度を1050℃とした以外は実施例A−1の平坦化工程S11と同様の処理を行った。
ついで、低温成膜工程S12でRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は6.0×10−6Torr、基板温度を室温、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.30W、成長速度を150nm/時間、成長膜厚を40nmとした以外は実施例A−1の低温成膜工程S12と同様の成膜条件で成膜した。
つぎに、高温成膜工程S13(第2サブ成長工程)において、ターゲット32をAl金属、RFラジカル源を320Wで用い、成長圧力は4.5×10−6Torr、パルスレーザ光のパルス周波数を30Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.64W、基板温度を750℃とした以外は実施例A−1の高温成膜工程S13と同様の条件でAlN層を成膜した。そして、約50nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約100nm/時間であった。
得られたAlN層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(実施例A−8)
実施例A−1と同様の平坦化処理を行ったZnO基板を導入し、ついで低温成膜工程S12でRFラジカル源を320Wで用い、成膜圧力を2.0×10−5Torr、基板温度を室温、パルスレーザ光のパルス周波数を15Hz、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.08W、成長速度を60nm/時間、成長膜厚を10nmとした以外は実施例A−1の低温成膜工程S12と同様の成膜条件で成膜した。
実施例A−1と同様の平坦化処理を行ったZnO基板を導入し、ついで低温成膜工程S12でRFラジカル源を320Wで用い、成膜圧力を2.0×10−5Torr、基板温度を室温、パルスレーザ光のパルス周波数を15Hz、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.08W、成長速度を60nm/時間、成長膜厚を10nmとした以外は実施例A−1の低温成膜工程S12と同様の成膜条件で成膜した。
つぎに、高温成膜工程S13(第2サブ成長工程)において、ターゲット32をIn金属、RFラジカル源を320Wで用い、成長圧力は2.0×10−5Torr、パルスレーザ光のパルス周波数を10Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.15W、基板温度を500℃とした以外は実施例A−1の高温成膜工程S13と同様の条件でInN層を成膜した。そして、約150nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約150nm/時間であった。
得られたInN層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(実施例A−9)
実施例A−1と同様の平坦化処理を行ったZnO基板を導入し、ついで、低温成膜工程S12(第1サブ成長工程)において、ターゲット32をIn金属、RFラジカル源を320Wで用い、成長圧力は2.0×10−5Torr、パルスレーザ光のパルス周波数を10Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.15W、基板温度を300℃とした以外は実施例A−1の低温成膜工程S12と同様の条件でInN層を成膜した。
実施例A−1と同様の平坦化処理を行ったZnO基板を導入し、ついで、低温成膜工程S12(第1サブ成長工程)において、ターゲット32をIn金属、RFラジカル源を320Wで用い、成長圧力は2.0×10−5Torr、パルスレーザ光のパルス周波数を10Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.15W、基板温度を300℃とした以外は実施例A−1の低温成膜工程S12と同様の条件でInN層を成膜した。
つぎに、高温成膜工程S13(第2サブ成長工程)において、ターゲット32をIn金属、RFラジカル源を320Wで用い、成長圧力は2.0×10−5Torr、パルスレーザ光のパルス周波数を10Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.15W、基板温度を500℃とした以外は実施例A−1の高温成膜工程S13と同様の条件でInN層を成膜した。そして、約150nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約150nm/時間であった。
得られたInN層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(比較例A−1:低温成長層の成膜温度が高い例)
実施例A−3と同様のZnO基板11をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12において第一のGaN層13を成膜した。低温成膜工程S12では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光の、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.40Wとした。またZnO基板11の基板温度を500℃とし、成長膜厚を10nmとした。他の条件は実施例A−3の低温成膜工程S12と同様とした。つぎに、高温成膜工程S13において第二のGaN層14を成膜した。高低温成膜工程S13では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光の、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.48Wとし、ZnO基板11の基板温度を680℃とした。他の条件は実施例A−3の高低温成膜工程S13と同様とした。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
実施例A−3と同様のZnO基板11をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12において第一のGaN層13を成膜した。低温成膜工程S12では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光の、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.40Wとした。またZnO基板11の基板温度を500℃とし、成長膜厚を10nmとした。他の条件は実施例A−3の低温成膜工程S12と同様とした。つぎに、高温成膜工程S13において第二のGaN層14を成膜した。高低温成膜工程S13では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光の、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.48Wとし、ZnO基板11の基板温度を680℃とした。他の条件は実施例A−3の高低温成膜工程S13と同様とした。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
また、第一層を10nmの膜厚まで形成したときのRHEED像を図9Aに示す。図9AのRHEED像は、GaN層が多結晶であることを示し、結晶性が著しく劣っていることがわかる。
(比較例A−2:低温成長層がない例)
実施例A−3と同様のZnO基板11をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12における第一のGaN層13を成膜することなく、高温成膜工程S13において第二のGaN層14を成膜した。高低温成膜工程S13では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光の、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.30から0.41Wの間で制御し、ZnO基板11の基板温度を700℃とした。他の条件は実施例A−3の高低温成膜工程S13と同様とした。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
実施例A−3と同様のZnO基板11をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12における第一のGaN層13を成膜することなく、高温成膜工程S13において第二のGaN層14を成膜した。高低温成膜工程S13では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光の、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.30から0.41Wの間で制御し、ZnO基板11の基板温度を700℃とした。他の条件は実施例A−3の高低温成膜工程S13と同様とした。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(比較例A−3:低温成長層の成長速度が速い例)
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.59W、成長速度を300nm/時間、成長膜厚を20nmとし、高温成長工程S13の基板温度を705度、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.84Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
低温成膜工程S12で窒素源のRFラジカル源を400Wで用い、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.59W、成長速度を300nm/時間、成長膜厚を20nmとし、高温成長工程S13の基板温度を705度、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.84Wとした以外は、実施例A−1と同様の成膜条件とした。そして、約300nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。得られた層を実施例A−1と同様に評価した。成長条件を表1に、得られた膜の評価結果を表2に示す。
(比較例A−4:低温成長層のみの例)
実施例A−3と同様のZnO基板11をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12において第一のGaN層13のみを成膜し、高温成膜工程S13による第二のGaN層14の成膜を行わなかった。低温成膜工程S12では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を10Hz、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.1Wとした。またZnO基板11の基板温度を330℃とし、成長膜厚を40nmとした。得られた膜のRHEED像を図9Bに示す。図8Cと比べて、平坦性が低下していることが分かる
実施例A−3と同様のZnO基板11をPLD装置内に導入し、低温成膜工程S12において第一のGaN層13のみを成膜し、高温成膜工程S13による第二のGaN層14の成膜を行わなかった。低温成膜工程S12では、KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を10Hz、ターゲット照射時点のレーザパワーを0.1Wとした。またZnO基板11の基板温度を330℃とし、成長膜厚を40nmとした。得られた膜のRHEED像を図9Bに示す。図8Cと比べて、平坦性が低下していることが分かる
(参考実験)
実施例A−5の条件にて、c面ZnO基板上にGaNを成長した。また、原子状窒素ラジカルが多い条件にて、m面ZnOおよびc面ZnO上にGaNを成長した。得られた膜の評価結果を表3に示す。
実施例A−5の条件にて、c面ZnO基板上にGaNを成長した。また、原子状窒素ラジカルが多い条件にて、m面ZnOおよびc面ZnO上にGaNを成長した。得られた膜の評価結果を表3に示す。
この結果から、極性面であるc面と無極性面であるm面とでは、高品質の薄膜結晶成長に寄与する励起種がまったく異なることが明らかになった。また、m面で極めて結晶性のよい薄膜が得られることがわかった。
次に、a面成長の実施例を示す。
(参考例B−1)
a面を主面とするZnO基板の表面をCMP(化学機械研磨)処理した。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図11に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
a面を主面とするZnO基板の表面をCMP(化学機械研磨)処理した。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図11に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
Ra=0.177nm
RMS=0.226nm。
RMS=0.226nm。
(参考例B−2)
参考例B−1と同様に処理した基板を700℃で10時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図12に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
参考例B−1と同様に処理した基板を700℃で10時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図12に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
Ra=0.275nm
RMS=0.346nm。
RMS=0.346nm。
(参考例B−3)
参考例B−1と同様に処理した基板を850℃で10時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図13に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
参考例B−1と同様に処理した基板を850℃で10時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図13に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
Ra=0.891nm
RMS=1.28nm。
RMS=1.28nm。
(参考例B−4)
参考例B−1と同様に処理した基板を950℃で10時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図14に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
参考例B−1と同様に処理した基板を950℃で10時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図14に示す。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
Ra=1.65nm
RMS=2.10nm。
RMS=2.10nm。
(参考例B−5)
参考例B−1と同様に処理した基板を1150℃で6時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図15に示す。基板表面には、ストライプ状のテクスチャーが明瞭に観察される。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
参考例B−1と同様に処理した基板を1150℃で6時間アニールした。この基板の原子間力顕微鏡像(AFM像)を図15に示す。基板表面には、ストライプ状のテクスチャーが明瞭に観察される。このときの全視野中の表面粗さは、次のとおりである。
Ra=3.07nm
RMS=3.73nm。
RMS=3.73nm。
(実施例B−1)
参考例B−1と同様のa面を主面として有するZnO基板11をPLD装置内に導入し、第1サブ成長工程として、第一層のGaN層を成膜した。ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11のa面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は4.5×10−6Torrとした。
参考例B−1と同様のa面を主面として有するZnO基板11をPLD装置内に導入し、第1サブ成長工程として、第一層のGaN層を成膜した。ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11のa面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は4.5×10−6Torrとした。
KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を20Hz、1パルス当りの照射時間を20ns、ターゲット照射時点のレーザパワーは0.28Wとした。またZnO基板11の基板温度を室温とし、4nmの厚さまで成長させた。成長速度は、30nm/時間であった。
この成長過程では、図16に示すように、RHEED像が明瞭な2次元回折ストリークパターンを示し、GaN層が成長初期から極めて平坦な成長面を有する単結晶を保って成長していることが確認できた。
つぎに、第2サブ成長工程として第二層のGaN層14を成膜した。ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11におけるa面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は4.5×10−6Torrとした。KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を50Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.73Wとした。またZnO基板11の基板温度を675℃とした。そして、約230nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約300nm/時間であった。
得られたGaN層を試料として、X線ロッキングカーブ測定によって、結晶のモザイク性を評価した。成長条件を表4に、得られた膜の評価結果を表5に示す。
(実施例B−2〜B−4)
表4に示す成長条件を採用した他は、実施例B−1を繰り返した。得られた膜の評価結果を表5に示す。
表4に示す成長条件を採用した他は、実施例B−1を繰り返した。得られた膜の評価結果を表5に示す。
(比較例B−1)
ZnO基板として、参考例B−5と同様に処理したa面を主面として有するZnO基板を使用し、表4に示す成長条件を採用した他は、実施例B−1を繰り返した。得られた膜の評価結果を表5に示す。
ZnO基板として、参考例B−5と同様に処理したa面を主面として有するZnO基板を使用し、表4に示す成長条件を採用した他は、実施例B−1を繰り返した。得られた膜の評価結果を表5に示す。
次に、(12−30)面成長の実施例を示す。
(実施例C−1)
(12−30)面を主面として有するZnO基板11をPLD装置内に導入し、第1サブ成長工程として、第一層のGaN層を成膜した。ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11の(12−30)面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は6.0×10−6Torrとした。
(実施例C−1)
(12−30)面を主面として有するZnO基板11をPLD装置内に導入し、第1サブ成長工程として、第一層のGaN層を成膜した。ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11の(12−30)面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は6.0×10−6Torrとした。
KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を30Hz、1パルス当りの照射時間を20ns、ターゲット照射時点のレーザパワーは0.29Wとした。またZnO基板11の基板温度を室温とし、10nmの厚さまで成長させた。成長速度は、60nm/時間であった。
つぎに、第2サブ成長工程として第二層のGaN層14を成膜した。ターゲット32は、Ga金属(純度99.99%)で構成した。ターゲット32は、ZnO基板11におけるa面に対して平行になるよう配置した。窒素源としてRFラジカル源を400Wで用い、成長圧力は6.0×10−6Torrとした。KrFエキシマレーザ33から出射するパルスレーザ光のパルス周波数を50Hz、ターゲット照射時のレーザパワーを0.92Wとした。またZnO基板11の基板温度を670℃とした。そして、約400nmの膜厚まで成長させた。成長速度は約400nm/時間であった。
得られたGaN層を試料として、X線ロッキングカーブ測定によって、結晶のモザイク性を評価した。成長条件を表6に、得られた膜の評価結果を表7に示す。
Claims (45)
- 格子定数が異なる基板(但し、LiおよびCのいずれかを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層であって、次の(i)〜(iv)の条件の中の少なくとも1つを満足することを特徴とするIII−V族窒化物層。
(i) 成長面方位が{0001}に対して垂直な面(以下、無極性面という。)であり、成長面方位に対して垂直、かつ、c軸[0001]に平行となる面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b1が、
0.01°≦b1≦0.5°
を満たす。
(ii) 成長面方位が無極性面であり、{0001}面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b2が、
0.01°≦b2≦0.5°
を満たす。
(iii) 成長面方位が無極性面であり、成長面方位と成す角度が60°以上、かつ90°未満となる{1−100}面、または{11−20}面を回折面としたとき、当該回折面と垂直かつ、c軸[0001]に平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅b3が、
0.01°≦b3≦0.5°
を満たす。
(iv) 成長面方位が無極性面であり、前記成長面方位を{ijk0}と表記した場合、成長面から[0001]および[000−1]方向にのみ傾いた{ijk2}面を回折面としたとき、成長面から当該回折面までの傾きと等しい角度、かつ同じ方向に{0001}面を傾けた面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅b4が
0.01°≦b4≦0.5°
を満たす。 - 格子定数が異なる基板(但し、LiおよびCのいずれかを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層であって、
成長面方位が無極性面であり、成長面と垂直かつ、c軸[0001]と平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅a1が、
0.01°≦a1≦0.25°
を満足することを特徴とするIII−V族窒化物層。 - さらに、半値全幅a1が、
0.01°≦a1≦0.15°
を満足することを特徴とする請求項2記載のIII−V族窒化物層。 - 厚みT(nm)が、
5nm≦T≦10000nm
を満足することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。 - 厚みT(nm)が、さらに、
5nm≦T≦500nm
を満足することを特徴とする請求項4記載のIII−V族窒化物層。 - 成長面方位が無極性面であり、c軸[0001]と垂直な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX回折強度の角度依存性の半値全幅a2が、
0.05°≦a2≦0.5°
を満足することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。 - 前記基板が六方晶系に属する結晶構造を有し、この基板の名目上の面方位が、成長させるIII−V族窒化物層の成長面方位と同一であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。
- 前記基板が、ZnOであることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。
- 前記基板が、表面粗さRaが3nm以下の面を有するZnO基板であることを特徴とする請求項8記載のIII−V族窒化物層。
- 前記基板が、800℃以上の高温でアニールされたm面を主面として有するZnO基板であることを特徴とする請求項8記載のIII−V族窒化物層。
- 前記基板が、1150℃未満の温度でアニールされているか、またはアニールされていないm面以外の無極性面を主面として有するZnO基板であることを特徴とする請求項8記載のIII−V族窒化物層。
- 少なくともGaおよびNを構成元素として含むことを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。
- GaN層を含むことを特徴とする請求項12記載のIII−V族窒化物層。
- 500℃未満の成長温度で形成され、前記基板上に直接接して形成された第一層と、
400℃以上であってかつ第一層の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に形成された第二層と
を少なくとも有することを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。 - 前記第一層が450℃以下の成長温度で形成され、前記第二層が400〜1300℃の成長温度で形成されたことを特徴とする請求項14記載のIII−V族窒化物層。
- 前記第一層の厚みが、500nm未満であることを特徴とする請求項14または15記載のIII−V族窒化物層。
- 層の成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素がラジカルを含む形態で供給されて形成されたことを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。
- 層の成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素が分子状窒素ラジカルを含む形態で供給されて形成されたことを特徴とする請求項17記載のIII−V族窒化物層。
- III族元素が金属の形態として供給されて形成されたことを特徴とする請求項1〜18のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。
- パルスレーザ堆積法によって形成されたことを特徴とする請求項1〜19のいずれかに記載のIII−V族窒化物層。
- 請求項1〜20のいずれかに記載のIII−V族窒化物層と、この層の上に形成されたその他の層を有することを特徴とする積層構造。
- 前記その他の層が、前記III−V族窒化物層と格子整合する層を含むことを特徴とする請求項21記載の積層構造。
- 前記その他の層が、VPE法、CVD法、MBE法、スパッタ法、蒸着法およびこれらの2つ以上の方法の組み合わせからなる群より選ばれる成膜方法で形成されたことを特徴とする請求項21または22記載の積層構造。
- 六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長面において単結晶構造を保ちながら第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法。 - 前記第1サブ成長工程において、前記第一層を450℃以下の成長温度で形成し、前記第2サブ成長工程において、前記第二層を400〜1300℃の成長温度で形成することを特徴とする請求項24記載の製造方法。
- 前記第1サブ成長工程における前記第一層の成長速度が、10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満の範囲から選ばれ、前記第2サブ成長工程における前記第二層の成長速度が、30nm〜5000nm/時間の範囲から選ばれることを特徴とする請求項24または25記載の製造方法。
- 前記第2サブ成長工程における前記第二層の成長速度が、120nm/時間〜5000nm/時間の範囲から選ばれることを特徴とする請求項26記載の製造方法。
- 前記第1サブ成長工程において、成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素がラジカルを含む形態で供給されることを特徴とする請求項24〜27のいずれかに記載の製造方法。
- 前記第1サブ成長工程において、成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素が分子状窒素ラジカルを含む形態で供給されることを特徴とする請求項28記載の製造方法。
- 前記第1サブ成長工程において、間欠的に供給されるIII族元素の間隔時間が1m秒〜10秒の範囲から選ばれることを特徴とする請求項28または29記載の製造方法。
- さらに前記第2サブ成長工程において、成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素がラジカルを含む形態で供給されることを特徴とする請求項28〜30のいずれかに記載の製造方法。
- 前記第2サブ成長工程において、成長面に対して、III族元素が間欠的に供給され、V族元素が分子状窒素ラジカルを含む形態で供給されることを特徴とする請求項31記載の製造方法。
- 前記第1サブ成長工程において、パルスレーザ堆積法により前記第一層を成長することを特徴とする請求項24〜32のいずれかに記載の製造方法。
- III族元素を金属の形態で供給することを特徴とする請求項24〜33のいずれかに記載の製造方法。
- 前記第1サブ成長工程において、前記第一層の厚みが、500nm未満の範囲となるように成長することを特徴とする請求項24〜34のいずれかに記載の製造方法。
- 前記基板が、表面粗さRaが3nm以下の面を有するZnO基板であることを特徴とする請求項24〜35のいずれかに記載の製造方法。
- 前記基板が、m面を主面とするZnO基板であって、800℃以上の高温でアニールされていることを特徴とする請求項24〜35のいずれかに記載の製造方法。
- 前記基板が、1150℃未満の温度でアニールされているか、またはアニールされていないm面以外の無極性面を主面として有するZnO基板であることを特徴とする請求項24〜35のいずれかに記載の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のIII−V族窒化物層を形成するように条件が選ばれる請求項24〜38のいずれかに記載の製造方法。
- 請求項24〜39のいずれかに記載の製造方法で形成したIII−V族窒化物層の上に、さらに、少なくとも格子整合する層を含むその他の層を、VPE法、CVD法、MBE法、スパッタ法、蒸着法およびこれらの2つ以上の方法の組み合わせからなる群より選ばれる成膜方法で成膜する工程を有する積層構造の製造方法。
- 格子定数が異なる基板上に成長することによって形成された六方晶系に属するIII−V族窒化物層であって、
前記基板は、無極性面を主面として有するZnO基板であり、
III族元素と窒素ラジカルが供給されるパルスレーザ堆積法によって成長され、
組成が、InxAlyGa(1−x−y)N(但し、xおよびyは、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1を満たす数である。)で表され、
次の(i)〜(v)の条件の中の少なくとも1つを満足することを特徴とするIII−V族窒化物層。
(i) 成長面方位が{0001}に対して垂直な面(以下、無極性面という。)であり、成長面方位に対して垂直、かつ、c軸[0001]に平行となる面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b1が、
0.01°≦b1≦0.5°
を満たす。
(ii) 成長面方位が無極性面であり、{0001}面におけるX線回折強度の、成長面と平行な方向から入射するX線に対する角度依存性の半値全幅b2が、
0.01°≦b2≦0.5°
を満たす。
(iii) 成長面方位が無極性面であり、成長面方位と成す角度が60°以上、かつ90°未満となる{1−100}面、または{11−20}面を回折面としたとき、当該回折面と垂直かつ、c軸[0001]に平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅b3が、
0.01°≦b3≦0.5°
を満たす。
(iv) 成長面方位が無極性面であり、前記成長面方位を{ijk0}と表記した場合、成長面から[0001]および[000−1]方向にのみ傾いた{ijk2}面を回折面としたとき、成長面から当該回折面までの傾きと等しい角度、かつ同じ方向に{0001}面を傾けた面と平行な方向から入射するX線に対する、当該回折面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅b4が
0.01°≦b4≦0.5°
を満たす。
(v) 成長面方位が無極性面であり、成長面と垂直かつ、c軸[0001]と平行となる面と平行な方向から入射するX線に対する、当該成長面のX線回折強度の角度依存性の半値全幅a1が、
0.01°≦a1≦0.25°
を満たす。 - 請求項41記載のIII−V族窒化物層と、
このIII−V族窒化物層と格子整合する層であって、この層の上に、VPE法、CVD法、MBE法、スパッタ法、蒸着法およびこれらの2つ以上の方法の組み合わせからなる群より選ばれる成膜方法で形成されたその他の層と
を有することを特徴とする積層構造。 - 六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法。 - 六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法。 - 六方晶系に属するIII−V族窒化物層を、格子定数が異なる基板(但し、Liを主要構成元素として含有する基板を除く。)上に成長する方法であって、
(a)六方晶系の無極性面、または六方晶系の無極性面と格子構造が一致する面を主面として有する基板を用意する工程と、
(b)前記基板の主面上に、前記III−V族窒化物層を少なくとも2段階で成長する工程であって、
(b−1)III族元素を供給休止期間が0.001秒から10秒の範囲となるように間欠的に供給しながら、500℃未満の成長温度で、成長速度が10nm/時間より大きく、かつ300nm/時間未満で、第一層を前記基板の主面に成長させる第1サブ成長工程、および
(b−2)400℃以上であってかつ第1サブ成長工程の成長温度より高温の成長温度で、前記第一層上に第二層を成長させる第2サブ成長工程
を含む成長工程と
を有するIII−V族窒化物層の製造方法。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006076733 | 2006-03-20 | ||
JP2006076733 | 2006-03-20 | ||
JP2006231274 | 2006-08-28 | ||
JP2006231274 | 2006-08-28 | ||
JP2006334612 | 2006-12-12 | ||
JP2006334612 | 2006-12-12 | ||
PCT/JP2007/055577 WO2007119433A1 (ja) | 2006-03-20 | 2007-03-19 | Iii-v族窒化物層およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007119433A1 true JPWO2007119433A1 (ja) | 2009-08-27 |
Family
ID=38609223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008510817A Pending JPWO2007119433A1 (ja) | 2006-03-20 | 2007-03-19 | Iii−v族窒化物層およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100163931A1 (ja) |
EP (1) | EP2009148A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2007119433A1 (ja) |
TW (1) | TW200805455A (ja) |
WO (1) | WO2007119433A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5272390B2 (ja) * | 2007-11-29 | 2013-08-28 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物半導体の製造方法、iii族窒化物半導体発光素子の製造方法、及びiii族窒化物半導体発光素子、並びにランプ |
JP2011023537A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体素子、エピタキシャル基板、及びiii族窒化物半導体素子を作製する方法 |
JP2012253123A (ja) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii族窒化物半導体発光素子 |
US9299560B2 (en) | 2012-01-13 | 2016-03-29 | Applied Materials, Inc. | Methods for depositing group III-V layers on substrates |
TW201337050A (zh) * | 2012-03-14 | 2013-09-16 | Univ Nat Chiao Tung | 纖鋅礦結構材料之非極性晶面 |
CN104471676B (zh) * | 2012-06-18 | 2017-09-29 | 美国海军部政府代表 | 低温下立方和六方InN及其与AlN的合金的等离子体辅助原子层外延 |
US10937649B2 (en) | 2012-06-18 | 2021-03-02 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Epitaxial growth of cubic and hexagonal InN films and their alloys with AlN and GaN |
WO2015190000A1 (ja) | 2014-06-13 | 2015-12-17 | ウシオ電機株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
WO2016098518A1 (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 三菱化学株式会社 | GaN基板 |
CA3132525A1 (en) | 2016-05-26 | 2017-11-30 | Robbie Jorgenson | Group iiia nitride growth method and system |
JP6994835B2 (ja) * | 2017-03-03 | 2022-01-14 | 株式会社サイオクス | 窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板 |
WO2019039207A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | 日本碍子株式会社 | 13族元素窒化物層、自立基板および機能素子 |
JP6722361B2 (ja) * | 2018-03-01 | 2020-07-15 | 株式会社アルバック | 窒化ガリウム薄膜の製造方法 |
US20230238478A1 (en) * | 2020-06-15 | 2023-07-27 | Google Llc | Low-defect optoelectronic devices grown by mbe and other techniques |
CN116264251A (zh) * | 2021-12-15 | 2023-06-16 | 苏州能讯高能半导体有限公司 | 半导体器件的外延结构及其制备方法、半导体器件 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005522889A (ja) * | 2002-04-15 | 2005-07-28 | ザ リージェント オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア | 金属・有機化学気相成長によって成長した非極性a平面窒化ガリウム薄膜 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3912117B2 (ja) * | 2002-01-17 | 2007-05-09 | ソニー株式会社 | 結晶成長方法、半導体発光素子及びその製造方法 |
US20060145182A1 (en) * | 2003-07-15 | 2006-07-06 | Hiroshi Fujioka | Nitride semiconductor element and method for manufacturing thereof |
JP2005075651A (ja) | 2003-08-29 | 2005-03-24 | National Institute For Materials Science | ウルツ鉱型iii−v族窒化物薄膜とその製造法 |
US7154163B2 (en) * | 2004-05-05 | 2006-12-26 | Supernova Optoelectronics Corp. | Epitaxial structure of gallium nitride series semiconductor device utilizing two buffer layers |
-
2007
- 2007-03-19 US US12/293,643 patent/US20100163931A1/en not_active Abandoned
- 2007-03-19 EP EP07739020A patent/EP2009148A4/en not_active Withdrawn
- 2007-03-19 WO PCT/JP2007/055577 patent/WO2007119433A1/ja active Application Filing
- 2007-03-19 JP JP2008510817A patent/JPWO2007119433A1/ja active Pending
- 2007-03-20 TW TW096109670A patent/TW200805455A/zh unknown
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005522889A (ja) * | 2002-04-15 | 2005-07-28 | ザ リージェント オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア | 金属・有機化学気相成長によって成長した非極性a平面窒化ガリウム薄膜 |
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
JPN6012038726; 小林篤, 川口祐司, 太田実雄, 藤岡洋: '室温成長バッファー層を用いたZnO基板上GaN薄膜の高品質化' 日本結晶成長学会誌 Vol.32, No.3,, 20050817, Page.152 * |
JPN6012038727; 小林篤, 太田実雄, 尾嶋正治, 藤岡洋: '室温成長バッファー層を用いたGaN/ZnOヘテロ構造の作製と評価' 第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 Vol.52nd, No.1, 20050329, Page.415, [31a-L-19] * |
JPN6012038728; T. OHGAKI, et al.: 'Structure and properties of GaN films grown on single crystalline ZnO substrates by molecular beam e' Journal of Crystal Growth Vol.275, 2005, p.e1143-e1148 * |
JPN6012038729; HONGMEI WANG, et al.: 'Anisotropic structural characteristics of (1120) GaN templatesand coalesced epitaxial lateral overgr' APPLIED PHYSICS LETTE VOLUME 84, NUMBER 4, 20040126, p.499-501 * |
JPN6012038730; C.D.LEE, et al.: 'Morphology and surface reconstructions of GaN (1100) surfaces' APPLIED PHYSICS LETTERS VOLUME 82, NUMBER 11, 20030317, p.1793-1795 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2009148A1 (en) | 2008-12-31 |
TW200805455A (en) | 2008-01-16 |
WO2007119433A1 (ja) | 2007-10-25 |
EP2009148A4 (en) | 2011-05-25 |
US20100163931A1 (en) | 2010-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2007119433A1 (ja) | Iii−v族窒化物層およびその製造方法 | |
US8309982B2 (en) | Group-III nitride semiconductor light-emitting device, method for manufacturing the same, and lamp | |
JP4510934B2 (ja) | 窒化物系半導体発光素子およびその製造方法 | |
US20080191203A1 (en) | Method for Producing Gan Film, Semiconductor Device, Method for Generating Thin Film of Nitride of Group III Element and Semiconductor Device Having Thin Film of Nitride of Group III Element | |
US10224458B2 (en) | Group III nitride laminate, luminescence element comprising said laminate, and method of producing group III nitride laminate | |
JP5559814B2 (ja) | 窒化物系半導体発光ダイオードおよびその製造方法 | |
JPWO2007129773A1 (ja) | Iii族窒化物化合物半導体積層構造体 | |
JPH11354846A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及び窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法 | |
JP2008266113A (ja) | Iii−v族窒化物層およびその製造方法 | |
WO2017150280A1 (ja) | 縦型紫外発光ダイオード | |
KR20150110765A (ko) | 단결정 알루미늄 질화물 기판을 포함하는 광전자 소자들 | |
EP2071053B1 (en) | Filming method for iii-group nitride semiconductor laminated structure | |
JP2017154964A (ja) | 結晶基板、紫外発光素子およびそれらの製造方法 | |
JP7352271B2 (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP5507234B2 (ja) | ZnO系半導体装置及びその製造方法 | |
JP2010053002A (ja) | 半導体積層構造 | |
JP2010056435A (ja) | 化合物エピタキシャル層の製造方法および半導体積層構造 | |
JP2008053703A (ja) | AlN層およびAlGaN層並びにそれらの製造方法 | |
WO2010024411A1 (ja) | 化合物エピタキシャル層の製造方法、化合物エピタキシャル層、半導体積層構造および半導体発光デバイス | |
JP7296614B2 (ja) | 窒化物半導体の製造方法、窒化物半導体、及び発光素子 | |
JP6934473B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
JP2008053640A (ja) | Iii−v族窒化物層およびその製造方法 | |
Bousquet et al. | Effect of buffer layer preparation on GaN epilayers grown by gas-source molecular-beam epitaxy | |
WO2021172531A1 (ja) | 窒化物半導体基板、半導体素子及び窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP2980379B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子及び窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121127 |