JPWO2007055237A1 - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2005年11月9日に出願された特願2005−324619号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
なお、基板テーブル4T、5Tの上面4F、5Fはその一部、例えば基板Pを囲む所定領域のみ、基板Pの表面とほぼ同じ高さとしてもよい。また、本実施形態では基板ホルダ4H、5Hと基板テーブル4T、5Tとを別々に構成し、例えば真空吸着などによって基板ホルダ4H、5Hを基板テーブル4T、5Tの凹部に固定しているが、基板ホルダ4H、5Hを基板テーブル4T、5Tと一体に形成してもよい。
もちろん、第1ステーションで基板Pに投影されるパターンと第2ステーションで基板Pに投影されるパターンが異なるだけで、第1露光条件と第2露光条件とが同じであってもよい。
なお、第1ステーションにおいても走査露光を実行し、第2ステーションにおいて静止露光を実行してもよい。また、両方のステーションで静止露光、又は走査露光を実行してもよい。
なお、本実施形態の検出系9は、投影光学系PL1を使わずに基板P上のアライメントマークAMを検出するが、投影光学系PL1の少なくとも一部の光学素子を通過した検出光Laで基板P上のアライメントマークAMを検出してもよい。
Claims (18)
- 多重露光のための露光装置であって、
第1ステーションと、
第2ステーションと、
基板を保持し、少なくとも前記第1ステーションと前記第2ステーションとの間を移動可能な第1可動部材と、
基板を保持し、少なくとも第1ステーションと第2ステーションとの間を移動可能な第2可動部材と、
前記第1ステーションに配置された第1検出系と、を備え、
前記第1ステーションにおいて、前記第1可動部材に保持された基板のアライメント情報が前記第1検出系を使って取得され、
前記第1ステーションにおいて、前記アライメント情報に基づいて前記第1可動部材に保持された基板が露光され、
前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光の少なくとも一部と並行して、前記第2ステーションにおいて、前記第2可動部材に保持された基板が露光され、
前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光と、前記第2ステーションにおける前記第2可動部材に保持された基板の露光とが完了した後に、前記第1可動部材が前記第1ステーションから前記第2ステーションに移動され、
前記前記第2ステーションにおいて、前記アライメント情報に基づき、前記第1可動部材に保持された基板が露光される露光装置。 - 前記第1ステーションに配置された第2検出系を更に備え、
前記第1ステーションにおいて前記第2検出系を使って取得された前記第1可動部材に保持された基板の面情報に基づいて、前記第1ステーションおよび前記第2ステーションにおいて前記第1可動部材に保持された基板が露光される請求項1記載の露光装置。 - 前記第2検出系は、前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光中に前記面情報を取得する請求項2記載の露光装置。
- 前記第1検出系は、前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光中にも、前記第1検出系を使って、前記第1可動部材に保持された基板のアライメント情報を取得し、
前記露光中に取得されたアライメント情報に基づき、前記第2ステーションにおいて前記第1可動部材に保持された基板が露光される請求項1〜3のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記第1ステーションと前記第2ステーションとで、前記第1可動部材に保持された基板に対する露光条件が異なる請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光条件は、前記基板の移動条件、前記基板に対する露光ビームの照射条件、及び前記露光ビームのビーム路を満たす媒体条件の少なくとも1つを含む請求項5記載の露光装置。
- 前記第1ステーションで、又は前記第2ステーションで、又は両方で、前記第1可動部材に保持された基板に、前記露光ビームが液体を介して照射される請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1ステーションでは、前記液体を介さずに前記露光ビームが前記第1可動部材に保持された基板に照射され、
前記第2ステーションでは、前記液体を介して前記露光ビームが前記第1可動部材に保持された基板に照射される請求項7記載の露光装置。 - 前記第2ステーションに配置され、前記露光ビームを射出する射出面が前記液体と接触する光学部材をさらに備え、
前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光と、前記第2ステーションにおける前記第2可動部材に保持された基板の露光とが完了した後、前記第2ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光が開始されるまでの間、前記第1可動部材と前記第2可動部材との少なくとも一方を前記光学部材と対向させ、前記光学部材の射出面側の光路空間を前記液体で満たし続ける請求項8記載の露光装置。 - 前記アライメント情報を取得するために、前記第1検出系は、液体を介さずに検出光を前記第1可動部材に保持された基板に照射して、前記アライメント情報を取得する請求項1〜9のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1検出系を使って、前記第1可動部材に保持された基板上のアライメントマークを検出することによって、前記アライメント情報が取得される請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光と、前記第2ステーションにおける前記第2可動部材に保持された基板の露光とが完了した後に、前記第2可動部材を前記第2ステーションから前記第1ステーションに移動し、
前記第1ステーションにおいて、前記第2可動部材から多重露光後の基板をアンロードする請求項1〜11のいずれか一項記載の露光装置。 - 請求項1〜請求項12のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板の多重露光を実行することと;
該多重露光された基板を現像することを含むデバイス製造方法。 - 多重露光するための露光方法であって、
第1ステーションにおいて、第1可動部材に保持された基板のアライメント情報を取得し;
前記第1ステーションにおいて、前記アライメント情報に基づいて、前記第1可動部材に保持された基板を露光し;
第2ステーションにおいて、前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光の少なくとも一部と並行して、第2可動部材に保持された基板を露光し;
前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光と、前記第2ステーションにおける第2可動部材に保持された基板の露光とが完了した後に、前記第1ステーションから前記第2ステーションに前記第1可動部材を移動し、前記アライメント情報に基づいて、前記第2ステーションにおいて前記第1可動部材に保持された基板を露光する露光方法。 - 前記第1ステーションにおける前記第1可動部材に保持された基板の露光中に、前記第1可動部材に保持された基板の表面の面情報を取得し;
前記面情報に基づいて、前記第1ステーション及び前記第2ステーションにおいて、前記第1可動部材に保持された基板が露光される請求項14記載の露光方法。 - 前記第1ステーションにおいては、液体を介さずに、前記第1可動部材に保持された基板に露光ビームが照射され、
前記第2ステーションにおいては、液体を介して、前記第1可動部材に保持された基板に露光ビームが照射される請求項14又は15記載の露光方法。 - 前記第1ステーションにおいては、実質的に静止した前記第1可動部材に保持された基板に露光ビームが照射され、
前記第2ステーションにおいては、前記第1可動部材に保持された基板を移動しながら、前記第1可動部材に保持された基板に露光ビームが照射される請求項14〜16のいずれか一項記載の露光方法。 - 請求項14〜請求項17のいずれか一項記載の露光方法を用いて基板の多重露光を実行することと;
該多重露光された基板を現像することを含むデバイス製造方法。
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