JPWO2007000995A1 - 露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
露光装置(EX)は、露光光(EL)が照射される基板(P)を保持する基板ホルダ(4H)と、基板ホルダ(4H)で基板(P)を保持する前に、基板(P)上に液体(LQ)の膜を形成する膜形成装置(60)とを備えている。また、露光装置(EX)は、液体(LQ)の膜に接触する光学部材(33)を有し、光学部材(33)と液体(LQ)とを介して基板(P)に計測光(La)を照射して、露光処理に関する計測を行う計測装置(30)とを備え、計測装置(30)は、基板(P)上の露光光(EL)が照射される照射領域(AR)の外側に計測光(La)を照射する。
Description
本発明は、液体を介して基板を露光する露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法に関するものである。
本願は、2005年6月28日に出願された特願2005−187889号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本願は、2005年6月28日に出願された特願2005−187889号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
半導体デバイス等のマイクロデバイス(電子デバイスなど)の製造工程の一つであるフォトリソグラフィ工程では、マスクのパターン像を感光性の基板上に露光する露光装置が用いられる。マイクロデバイスの製造においては、デバイスの高密度化のために、基板上に形成されるパターンの微細化が要求されている。この要求に応えるために露光装置の更なる高解像度化が望まれており、その高解像度化を実現するための手段の一つとして、下記特許文献に開示されているような、基板上に液体の液浸領域を形成し、その液体を介して基板上に露光光を照射して基板を露光する液浸露光装置が案出されている。
国際公開第99/49504号パンフレット
ところで、液浸露光装置においては、高い屈折率を有する液体を使用することによって解像度及び焦点深度を向上することができるが、液体の物性によっては、基板上から液体を回収することが困難となる可能性がある。例えば液体の粘度が高く、液体を十分に回収できずに基板上に液体が残留すると、その残留した液体によって、露光処理及び/又は計測処理を良好に行うことができなくなる可能性がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、基板を良好に液浸露光できる露光装置及び方法、並びにその露光装置又は露光方法を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第1の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)を露光する露光装置において、露光光(EL)が照射される基板(P)を保持する基板保持部材(4H)と、基板保持部材(4H)で基板(P)を保持する前に、基板(P)上に液体(LQ)の膜を形成する膜形成装置(60)とを備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第1の態様によれば、基板保持部材で基板を保持する前に、膜形成装置によって基板上に液体の膜を形成することにより、その形成された液体の膜を介して基板を良好に露光することができる。
本発明の第2の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)を露光する露光装置において、露光光(EL)が照射される基板(P)を保持する基板保持部材(4H)と、その表面に液体(LQ)の膜が形成された基板(P)を基板保持部材(4H)に搬入する第1搬送装置(81)とを備えた露光装置(EX)が提供される。
本発明の第2の態様によれば、その表面に液体の膜が形成された状態の基板を基板保持部材に搬入することにより、その液体の膜を介して基板を良好に露光することができる。
本発明の第3の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)を露光する露光装置において、その表面に液体(LQ)の膜が形成された基板(P)を保持する基板保持部材(4H)と、液体(LQ)の膜に接触する第1光学部材(33)を有し、第1光学部材(33)と液体(LQ)とを介して基板(P)に計測光(La)を照射して、露光処理に関する計測を行う計測装置(30)とを備え、計測装置(30)は、基板(P)上の露光光(EL)が照射される照射領域(AR)の外側に計測光(La)を照射する露光装置(EX)が提供される。
本発明の第3の態様によれば、基板の表面に形成された液体の膜と第1光学部材とを接触させ、第1光学部材と液体の膜とを介して基板に計測光を照射することにより、基板上に計測光を良好に到達させることができ、計測処理を精度良く行うことができる。また、基板上の露光光が照射される照射領域の外側に計測光を照射することにより、計測処理を良好に行うことができる。
本発明の第4の態様に従えば、上記態様の露光装置(EX)を用いるデバイス製造方法が提供される。
本発明の第4の態様によれば、露光処理及び計測処理を良好に行うことができる露光装置を用いてデバイスを製造することができる。
本発明の第5の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)を露光する露光方法において、基板(P)の表面に液体(LQ)の膜を形成した後、基板(P)を基板保持部材(4H)で保持し、液体(LQ)の膜を介して露光光(EL)を基板(P)に照射する露光方法が提供される。
本発明の第6の態様に従えば、液体(LQ)を介して基板(P)を露光する露光方法において、液体(LQ)の膜が表面に形成された基板(P)を基板保持部材(4H)で保持し、液体(LQ)の膜に第1光学部材(33)を接触させるとともに、第1光学部材(33)と液体(LQ)とを介して基板(P)に計測光(La)を照射して、露光処理に関する計測を行う露光方法が提供される。
本発明の第7の態様に従えば、上記態様の露光方法を用いるデバイス製造方法が提供される。
4…基板ステージ、4H…基板ホルダ(基板保持部材)、30…フォーカス・レベリング検出系(計測装置)、33…光学部材、50…アライメント系(計測装置)、52…基準マーク、54…アライメントマーク、60…膜形成装置、81…搬送装置、AR…照射領域(投影領域)、EL…露光光、EX…露光装置、La…検出光(計測光)、LQ…液体、LS1…最終光学素子(第2光学部材)、P…基板、PL…投影光学系
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。なお、以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内における所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれに直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持する基板ホルダ4Hと、基板ホルダ4Hを保持して移動可能な基板ステージ4と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)、保護膜などの膜を塗布したものを含む。マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。
第1実施形態について説明する。図1は第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板Pを保持する基板ホルダ4Hと、基板ホルダ4Hを保持して移動可能な基板ステージ4と、マスクステージ3に保持されているマスクMを露光光ELで照明する照明光学系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターン像を基板P上に投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置7とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材(フォトレジスト)、保護膜などの膜を塗布したものを含む。マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。
本実施形態の露光装置EXは、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに焦点深度を実質的に広くするために液浸法を適用した液浸露光装置であって、液体LQを介して基板P上に露光光ELを照射することによって基板Pを露光する。本実施形態の露光装置EXは、基板P上に液体LQの膜を形成する膜形成装置60と、膜形成装置60によって液体LQの膜が形成された基板Pを基板ホルダ4H(基板ステージ4)に搬入する搬送装置81とを備えている。露光装置EXは、投影光学系PLと基板P上に形成された液体LQの膜とを介してマスクMを通過した露光光ELを基板ホルダ4Hに保持された基板P上に照射することによって、マスクMのパターン像を基板P上に露光する。
照明光学系ILは、マスクM上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ELで照明するものである。照明光学系ILから射出される露光光ELとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)などが用いられる。本実施形態においてはArFエキシマレーザ光が用いられる。
マスクステージ3は、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置5の駆動により、マスクMを保持した状態で、X軸、Y軸、及びθZ方向に移動可能である。マスクステージ3(ひいてはマスクM)の位置情報はレーザ干渉計92によって計測される。レーザ干渉計92は、マスクステージ3上に設けられた移動鏡91を用いて、マスクステージ3の位置情報を計測する。制御装置7は、レーザ干渉計92の計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置5を駆動し、マスクステージ3に保持されているマスクMの位置制御を行う。
なお、移動鏡91は平面鏡のみでなくコーナーキューブ(レトロリフレクタ)を含むものとしてもよいし、移動鏡91をマスクステージ3に固設する代わりに、例えばマスクステージ3の端面(側面)を鏡面加工して形成される反射面を用いてもよい。また、マスクステージ3は、例えば特開平8−130179号公報(対応米国特許第6,721,034号)に開示される粗微動可能な構成としてもよい。
投影光学系PLは、マスクMのパターン像を所定の投影倍率で基板Pに投影するものであって、複数の光学素子を有しており、それら光学素子は鏡筒PKで保持されている。投影光学系PLの光軸AXはZ軸方向と平行である。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは縮小系、等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。また本実施形態においては、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い最終光学素子LS1のみが、基板P上に形成された液体LQの膜と接触する。
基板ステージ4は、基板Pを保持する基板ホルダ4Hを有しており、ベース部材BP上で、基板ホルダ4Hに基板Pを保持して移動可能である。基板ホルダ4Hは、基板ステージ4上に設けられた凹部98に配置されており、基板ステージ4のうち凹部98以外の上面97は、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面とほぼ同じ高さ(面一)になるような平坦面となっている。なお、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と基板ステージ4の上面97との間に段差があってもよい。また、基板ステージ4の上面97はその一部、例えば基板Pを囲む所定領域のみ、基板Pの表面とほぼ同じ高さとしてもよい。さらに、基板ホルダ4Hを基板ステージ4の一部と一体に形成してもよいが、本実施形態では基板ホルダ4Hと基板ステージ4とを別々に構成し、例えば真空吸着などによって基板ホルダ4Hを凹部98に固定している。
基板ステージ4は、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置6の駆動により、基板Pを保持した状態で、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6自由度の方向に移動可能である。基板ステージ4(ひいては基板P)の位置情報はレーザ干渉計94によって計測される。レーザ干渉計94は、基板ステージ4に設けられた移動鏡93を用いて、基板ステージ4のX軸、Y軸、及びθZ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ4に保持されている基板Pの表面の面位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)は、後に詳述するフォーカス・レベリング検出系30によって検出される。制御装置7は、レーザ干渉計94の計測結果及びフォーカス・レベリング検出系30の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置6を駆動し、基板ステージ4(基板ホルダ4H)に保持されている基板Pの位置制御を行う。
なお、レーザ干渉計94は基板ステージ4のZ軸方向の位置、及びθX、θY方向の回転情報をも計測可能としてよく、その詳細は、例えば特表2001−510577号公報(対応国際公開第1999/28790号パンフレット)に開示されている。さらに、移動鏡93を基板ステージ4に固設する代わりに、例えば基板ステージ4の一部(側面など)を鏡面加工して形成される反射面を用いてもよい。
マスクステージ3の近傍には、マスクM上のアライメントマークと、基板ステージ4上に設けられた基準マーク板上の基準マーク(第1基準マーク)とを投影光学系PLを介して同時に観察するための露光波長の光を用いたTTR方式のアライメント系からなるマスクアライメント系40が設けられている。マスクアライメント系40は、マスクM上のアライメントマークと、それに対応する基準マーク板上の第1基準マークとを同時に観察する。本実施形態のマスクアライメント系40では、例えば特開平7−176468号公報(対応米国特許5,646,413号)に開示されているような、マークに対して光を照射し、CCDカメラ等で撮像したマークの画像データを画像処理してマーク位置を検出するVRA(ビジュアル・レチクル・アライメント)方式が採用されている。
投影光学系PLの先端近傍には、基板P上のアライメントマークや、基板ステージ4上に設けられた基準マーク板上の基準マーク(第2基準マーク)などを検出するオフアクシス方式のアライメント系50が設けられている。本実施形態のアライメント系50では、例えば特開平4−65603号公報(対応米国特許5,995,234号)に開示されているような、基板P上の感光材を感光させないブロードバンドな検出光を対象マークに照射し、その対象マークからの反射光により受光面に結像された対象マークの像と不図示の指標(アライメント系50内に設けられた指標板上の指標パターン)の像とを撮像素子(CCD等)を用いて撮像し、それらの撮像信号を画像処理することでマークの位置を計測するFIA(フィールド・イメージ・アライメント)方式が採用されている。
次に、図2を参照しながら膜形成装置60について説明する。膜形成装置60は、基板ホルダ4Hで基板Pを保持する前に、基板P上に液体LQの膜を形成するものである。図2において、膜形成装置60は、基板Pを保持するホルダ61と、ホルダ61を回転可能に支持する支持部材62と、支持部材62を回転することによって、基板Pを保持するホルダ61を回転する駆動装置63と、ホルダ61に保持された基板Pと対向する位置に設けられ、基板P上に液体LQを供給する供給口65を有するノズル部材64とを備えている。膜形成装置60は、駆動装置63を用いてホルダ61に保持された基板Pを回転しつつ、ノズル部材64から基板Pに対して液体LQを供給することによって、基板P上に液体LQの膜を形成する。すなわち、本実施形態の膜形成装置60は、所謂スピンコーティング方式によって基板P上に液体LQの膜を形成する。なお、基板P上に液体LQの膜を形成することができるのであれば他の方式(例えば、スキャンコーティング方式など)を採用することができる。
次に、液体LQについて説明する。なお以下の説明において、露光光EL(ArFエキシマレーザ光)に対する液体LQの屈折率や最終光学素子LS1の屈折率を、単に、屈折率、と記載する。本実施形態においては、液体LQとして、露光光EL(ArFエキシマレーザ光)を透過可能であるとともに、最終光学素子LS1の屈折率とほぼ同じかそれよりも高い屈折率を有する液体を用いる。本実施形態においては、最終光学素子LS1は石英で形成されており、その石英の屈折率は1.5程度である。一方、本実施形態の液体LQの屈折率は1.5〜1.8程度である。なお、最終光学素子LS1は蛍石で形成されていてもよい。本実施形態においては、高い屈折率を有する液体LQを用いるため、解像度や焦点深度を大幅に向上することができる。
また、液体LQが所定の粘度を有している場合、基板Pの表面を液体LQの膜で良好に覆うことができ、基板Pの表面に液体LQの膜を形成した状態で搬送装置81によって円滑に搬送可能である。例えば、室温における水の粘度は1.0×10−3〔Pa・s〕程度であるが、それよりも高い粘度を有する液体LQを用いることによって、基板Pの表面を液体LQで良好に覆うことができ、基板Pの表面に液体LQの膜を形成した状態で搬送装置81によって搬送した場合でも、基板P上からの液体LQの流出を抑制することができる。例えば、液体LQとしてグリセロールを用いることができる。なお、20℃でのグリセロールの粘度は、約1.5〔Pa・s〕である。
図3は搬送装置81の動作を説明するための図である。搬送装置81は、その表面に液体LQの膜が形成された基板Pを、基板ホルダ4Hに搬入(ロード)するためのものである。搬送装置81は、膜形成装置60によって液体LQの膜が形成された基板Pを、膜形成装置60から受け取り、基板ホルダ4Hに搬入する。ここで、基板ステージ4は、露光処理位置EPと基板交換位置RPとの間で移動可能である。露光処理位置EPとは、基板ホルダ4Hに保持された基板Pに露光光ELを照射することができる位置、具体的には投影光学系PLの最終光学素子LS1と対向する位置である。基板交換位置(ローディングポジション)RPは、投影光学系PLに対して離れた位置に設定され、基板ステージ4(基板ホルダ4H)に対する基板Pの搬入(ロード)及び搬出(アンロード)を行う位置である。搬送装置81によって基板Pを基板ホルダ4Hに搬入する際、制御装置7は、基板ステージ4を基板交換位置RPに移動し、その基板交換位置RPにおいて、搬送装置81により基板ステージ4の基板ホルダ4Hに基板Pを搬入する。なお、基板Pのロードとアンロードとを異なる位置で行ってもよい。また、本実施形態においては、搬送装置81を含む搬送システムの搬送経路上には、基板P上から流出した液体LQを回収する回収機構83が設けられている。
次に、基板Pの面位置情報を計測するフォーカス・レベリング検出系30について図4及び図5を参照しながら説明する。図4はフォーカス・レベリング検出系30の要部を示す斜視図、図5は側断面図である。フォーカス・レベリング検出系30は、基板ホルダ4Hに保持された基板P上に形成された液体LQの膜に接触する光学部材33と、光学部材33と液体LQとを介して基板P上に検出光Laを照射する投射系31と、投射系31から射出され、基板P上で反射した検出光Laを受光可能な受光系32とを備えている。光学部材33は、露光光ELが通過する最終光学素子LS1を囲むように複数設けられている。すなわち、光学部材33は、基板P上の露光光ELが照射される照射領域ARの外側に配置されている。照射領域ARは、前述の照明領域と共役な投影光学系PLの投影領域である。また、投射系31及び受光系32のそれぞれは、各光学部材33のそれぞれに対応するように複数設けられている。
本実施形態において、光学部材33は、投影領域(照射領域)ARの外側に4つ設けられている。具体的には、光学部材33は、投影領域AR(最終光学素子LS1)の+X側、−X側、+Y側、及び−Y側のそれぞれに配置されている。投射系31及び受光系32のそれぞれは、その4つの光学部材33のそれぞれに対応するように4つずつ設けられている。
光学部材33のそれぞれはプリズム部材によって構成されており、投射系31から射出された検出光Laを透過可能である。また、光学部材33のそれぞれは、基板Pの表面と対向し、その基板Pの表面と略平行な下面33Kを有している。光学部材33の下面33Kはほぼ平坦である。ここで、基板ホルダ4Hは、基板Pの表面とXY平面とが略平行となるように基板Pを保持しており、光学部材33の下面33KはXY平面と略平行な面となっている。検出光Laを基板P上に照射するときには、制御装置7は、光学部材33の下面33Kと基板P上に形成された液体LQの膜とを接触させる。なお、光学部材33の下面33Kは曲面であってもよい。
また、最終光学素子LS1は、投影光学系PLの直下に配置される基板Pの表面と対向し、その基板Pの表面(XY平面)と略平行な下面LKを有している。本実施形態において、最終光学素子LS1の下面LKはほぼ平坦である。露光光ELを基板P上に照射するときには、制御装置7は、最終光学素子LS1の下面LKと基板P上に形成された液体LQの膜とを接触させる。一方、最終光学素子LS1の上面LJは、マスクM側(投影光学系PLの物体面側)に向かって膨らむような凸状の領域を有している。上面LJの凸状の領域は曲面状となっている。なお、最終光学素子LS1の上面LJや下面LKの形状は、投影光学系PLが所望の性能を得られるように適宜設定される。例えば、最終光学素子LS1の上面LJは球面形状でもよいし、非球面形状でもよい。
本実施形態においては、光学部材33の下面33Kと最終光学素子LS1の下面LKとはZ軸方向に関してほぼ同じ位置(高さ)に設けられている。これにより、基板P上の液体LQの膜に対して、光学部材33の下面33Kと最終光学素子LS1の下面LKとのそれぞれを一緒に接触させることができる。なお、基板P上の液体LQの膜に対して、光学部材33の下面33Kと最終光学素子LS1の下面LKとのそれぞれを一緒に接触させることができるのであれば、光学部材33の下面33Kと最終光学素子LS1の下面LKとのZ軸方向に関する位置(高さ)が異なっていてもよい。
光学部材33のそれぞれは、投射系31に対して所定の位置にある第1側面33Aと、受光系32に対して所定の位置にある第2側面33Bとを有している。投射系31から射出された検出光Laは、第1側面33Aに照射される。第1側面33Aに照射された検出光Laは、光学部材33を通過した後、下面33Kより射出される。光学部材33の下面33Kと基板P上の液体LQの膜とは接触しているため、下面33Kから射出された検出光Laは、気体部分を通過すること無く、液体LQに入射する。液体LQに入射した検出光Laは、基板Pの表面に斜め方向より入射し、その基板Pの表面で反射する。下面33Kを含む光学部材33は、投影領域ARの外側に設けられており、検出光Laは、基板P上の投影領域ARの外側に照射される。基板Pの表面で反射した検出光Laは、液体LQを通過した後、光学部材33の下面33Kより光学部材33に入射する。光学部材33の下面33Kと基板P上の液体LQの膜とは接触しているため、基板Pの表面で反射した検出光Laは、気体部分を通過すること無く、光学部材33の下面33Kに斜め方向より入射する。下面33Kより入射し、光学部材33を通過した検出光Laは、第2側面33Bを介して光学部材33から射出される。光学部材33の第2側面33Bより射出された検出光Laは、受光系32に受光される。フォーカス・レベリング検出系30は、受光系32の受光結果に基づいて、基板ホルダ4Hに保持されている基板Pの面位置情報、具体的には基板Pの表面のZ軸方向の位置情報を検出することができる。また、フォーカス・レベリング検出系30は、複数の受光系32の受光結果に基づいて、基板ホルダ4Hに保持されている基板PのθX方向及びθY方向(傾斜方向)の位置情報を検出することができる。また、1つの投射系31から複数の検出光Laを基板P上に照射し、基板P上で反射した複数の検出光Laを受光系32で受光することにより、フォーカス・レベリング検出系30は、受光系32の受光結果に基づいて、基板ホルダ4Hに保持されている基板PのθX方向及びθY方向(傾斜方向)の位置情報を検出することができる。
このように、フォーカス・レベリング検出系30は、光学部材33及び液体LQを介して、基板P上の露光光ELが照射される投影領域ARの外側に検出光Laを照射することによって、基板Pの面位置情報を検出する。また、フォーカス・レベリング検出系30は、基板P上に形成された液体LQの膜に接触する下面33Kを有する光学部材33を有しており、液体LQと光学部材33の下面33Kとを密着させた状態で、基板Pの表面に検出光Laを照射するようになっている。すなわち、検出光Laは、液体LQと光学部材33の下面33Kとで形成される界面を介して、液体LQに入射するようになっている。したがって、投射系31から射出され、光学部材33を通過した検出光Laは、気体部分を通過することなく、液体LQを介して、基板Pの表面に到達することができる。
液体と気体とで形成される界面の状態(形状など)は変化しやすいため、図6Aの模式図に示すように、検出光Laが液体LQと気体とで形成される界面を介して液体LQに入射する場合、検出光Laの光路が界面で変動したり、あるいは検出光Laが界面で散乱したり、あるいは揺らぎが生じる可能性がある。その場合、基板Pの表面に検出光Laが良好に到達できない不都合が生じる可能性がある。本実施形態では、図6Bの模式図に示すように、光学部材33の下面33Kと基板P上の液体LQの膜とが接触するので、投射系31から射出され、光学部材33を通過した検出光Laは、気体部分を通過することなく、すなわち、液体と気体とで形成される界面を通過することなく、基板Pの表面に照射される。したがって、投射系31から射出された検出光Laは、その光路が変動したり、散乱するなどの不都合を生じることなく、光学部材33及び液体LQを介して基板Pの表面に良好に到達することができる。同様に、液体LQと光学部材33の下面33Kとは密着しているので、基板Pの表面に照射され、その基板Pの表面で反射した検出光Laは、気体部分を通過することなく、すなわち、液体と気体とで形成される界面を通過することなく、液体LQを介して、光学部材33の下面33Kに入射することができる。したがって、基板Pの表面で反射した検出光Laは、その光路が変動したり、散乱するなどの不都合を生じることなく、液体LQ及び光学部材33を介して受光系32に到達することができる。
また、フォーカス・レベリング検出系30は、光学部材33及び液体LQを介して基板P上の投影領域ARの外側に検出光Laを照射する構成であるため、検出光Laを基板Pの表面に円滑に照射することができる。すなわち、投影光学系PLの構成や周辺部材の配置などによっては、検出光Laを、基板Pの表面のうち最終光学素子LS1と対向する位置や、基板P上の投影領域ARに照射することが困難となる可能性があるが、本実施形態においては、基板P上の投影領域ARの外側に検出光Laを照射するので、露光装置EXを構成する各種部材の配置の自由度を向上しつつ、検出光Laを円滑に照射することができる。
また、図1等に示すように、アライメント系50のうち、基板P上に形成された液体LQの膜と接触可能な位置には光学部材53が設けられている。光学部材53は、基板Pの表面と対向し、その基板Pの表面と略平行な下面53Kを有している。アライメント系50の光学部材53は、投影光学系PLの最終光学素子LS1及びフォーカス・レベリング検出系30の光学部材33とは離れた位置、すなわち投影光学系PLの投影領域ARの外側に設けられている。制御装置7は、アライメント系50を用いて対象マーク(基板P上のアライメントマーク、基準マーク板上の基準マーク)を検出するために対象マークに検出光を照射するとき、光学部材53と液体LQとを接触させる。アライメント系50は、光学部材53と液体LQとを介して、投影領域ARの外側に配置された対象マークに検出光を照射して対象マークを計測する。なお、本実施形態では光学部材53の下面53KがZ軸方向に関して光学部材33の下面33K及び/又は最終光学素子LS1の下面LKとほぼ同じ位置(高さ)に設定されるが、その下面53Kは下面33L及び/又は下面LKと異なる位置に設定してもよい。
次に、上述の構成を有する露光装置EXを用いて基板Pを露光する方法について、図7のフローチャート図を参照しながら説明する。
まず、不図示の搬送装置によって、基板Pが、露光装置EXとは別の処理装置から膜形成装置60に搬送される。この処理装置は、半導体ウエハ等の基材上に感光材を塗布するコーティング装置(コータ・デベロッパ装置)を含む。感光材を含む基板Pは、コーティング装置より不図示の搬送装置によって膜形成装置60のホルダ61に搬入される。膜形成装置60は、コーティング装置から搬送され、ホルダ61に保持された基板Pの表面に液体LQの膜を形成する(ステップSA1)。本実施形態においては、図2等に示すように、基板Pの表面の全域に液体LQの膜が形成される。
膜形成装置60を用いて基板Pの表面に液体LQの膜を形成した後、制御装置7は、搬送装置81を用いて、その表面に液体LQの膜が形成された基板Pを基板ステージ4の基板ホルダ4Hに搬入する(ステップSA2)。本実施形態の膜形成装置60は、搬送装置81を含む基板Pを搬送する搬送システムの搬送経路上に設けられた構成となっている。
図3を参照して説明したように、搬送装置81を用いて基板Pを基板ホルダ4Hに搬入(ロード)するとき、制御装置7は、基板ステージ4を基板交換位置RPに移動する。搬送装置81は、基板交換位置RPにおいて、基板Pを基板ホルダ4Hに搬入する。
本実施形態の液体LQの粘度は高いので、搬送装置81を用いて基板Pを搬送しているときにも、基板P上に形成された液体LQの膜の状態は維持される。また、搬送装置81による基板Pの搬送中に、基板P上より液体LQが流出しても、搬送装置81を含む搬送システムの搬送経路上には回収機構83が設けられているため、その流出した液体LQを回収機構83で回収することができる。したがって、基板P上より流出した液体LQが周囲に飛散するなどの不都合を防止できる。
基板交換位置RPにおいて基板Pを基板ステージ4上の基板ホルダ4Hに搬入した後、制御装置7は、基板ステージ4をXY平面内で移動し、基板交換位置RPから露光処理位置EPに移動する。制御装置7は、基板ステージ4を露光処理位置EPに移動したとき、図8に示すように、基板P上の液体LQの膜と最終光学素子LS1とを離した状態で基板Pと最終光学素子LS1とを対向させる。そして、制御装置7は、図8に示す状態から、基板ステージ4を+Z方向に移動(上昇)することによって、基板P上の液体LQの膜と、最終光学素子LS1の下面LK及びフォーカス・レベリング検出系30の光学部材33の下面33Kとを接触させる。上述のように、最終光学素子LS1の下面LKと光学部材33の下面33Kとは、基板P上の液体LQの膜に一緒に接触可能な位置関係に設定されている。
なお、基板P上の液体LQの膜と光学部材33の下面33Kとを接触させるときに、基板ステージ4の+Z方向への移動とともに、XY方向に移動してもよい。また、基板ステージ4の移動により基板Pが光学部材33の下方に進入する直前までに基板PのZ方向の位置を調整しておき、基板Pが光学部材33の下方に進入した時点で基板P上の液体LQの膜と光学部材33の下面33Kとが接触するようにしてもよい。
次に、制御装置7は、アライメント系50を用いて、基板P上のアライメントマークの計測動作を含むアライメント処理を行う(ステップSA3)。
図9は、基板ホルダ4Hで基板Pを保持した状態の基板ステージ4を上方から見た平面図である。図9に示すように、基板P上にはマトリクス状に複数のショット領域S1〜S21が設定されている。また、基板P上には、複数のショット領域S1〜S21のそれぞれに付随してアライメントマーク54が形成されている。制御装置7は、レーザ干渉計94によって基板ステージ4の位置情報をモニタしつつ、基板ステージ4をXY方向に移動しながら、アライメント系50によって、例えば基板P上の一部のアライメントマーク54の位置計測を行い、基板P上に設けられた複数のショット領域S1〜S21それぞれの位置座標(配列座標)を決定する。
上述したように、アライメント系50のうち、基板P上の液体LQの膜と接触可能な位置には光学部材53が設けられている。本実施形態においては、基板Pのアライメント処理を行うためにアライメント系50によって基板P上のアライメントマーク54を液体LQを介して計測する際、制御装置7は、アライメント系50に設けられた光学部材53と、基板P上の液体LQの膜とを接触させた状態で、アライメントマーク54を計測する。
また、基板P上のアライメントマーク54の計測を行う前又は後に、アライメント系50のベースライン計測が行われる。図9に示すように、基板ステージ4上には第1、第2基準マーク51、52を有する基準マーク板FMが設けられている。制御装置7は、基準マーク板FM上の第1基準マーク51とそれに対応するマスクM上のマスクアライメントマークとを上述のマスクアライメント系40を用いて検出し、第1基準マーク51とそれに対応するマスクアライメントマークとの位置関係を計測する。また、制御装置7は、基準マーク板FM上の第2基準マーク52をアライメント系50を用いて検出することで、アライメント系50の検出基準位置と第2基準マーク52との位置関係を計測する。そして、制御装置7は、第1基準マーク51とそれに対応するマスクアライメントマークとの位置関係と、アライメント系50の検出基準位置と第2基準マーク52との位置関係と、既知の第1基準マーク51と第2基準マーク52との位置関係とに基づいて、投影光学系PLによるマスクパターンの投影中心とアライメント系50の検出基準位置との距離(位置関係)、すなわち、アライメント系50のベースライン情報を求める。
ここで、基準マーク板FMの第1、第2基準マーク51、52を液体LQを介して計測する場合には、基準マーク板FM上に液体LQの膜が形成される。例えば基準マーク板FM近傍に液体LQの膜を形成可能な膜形成装置を設けておくことにより、その膜形成装置を用いて基準マーク板FM上に液体LQの膜を形成することができる。アライメント系50は、基準マーク板FM上に形成された液体LQの膜と光学部材53とを接触させ、その光学部材53と液体LQとを介して、第2基準マーク52を計測する。同様に、マスクアライメント系40は、基準マーク板FM上に形成された液体LQの膜と投影光学系PLの最終光学素子LS1とを接触させ、その投影光学系PLと液体LQとを介して、第1基準マーク51を計測する。
なお、ベースライン計測において、マスクアライメント系40による第1基準マーク51の検出と、アライメント系50による第2基準マーク52の検出とは、同時に行うこともできるし、マスクアライメント系40による第1基準マーク51の検出及びアライメント系50による第2基準マーク52の検出の一方を行った後に、他方を行うようにしてもよい。特に後者では、マスクアライメント系40とアライメント系50とで基準マーク板FM上の同一の基準マークを検出することとしてもよい。すなわち、アライメント系50のベースライン計測では基準マークが1つでも構わない。
制御装置7は、上述の基板P上のアライメントマーク54の検出の結果得られた基板P上の複数のショット領域S1〜S21の位置座標と、先に計測したベースライン情報とに基づいて、基板P上の各ショット領域S1〜S21とマスクM(投影領域AR)とを位置合わせしつつ、基板P上の複数のショット領域S1〜S21のそれぞれにマスクMのパターン像を順次露光する(ステップSA4)。
本実施形態の露光装置EXは、マスクMと基板Pとを所定の走査方向(例えばY軸方向)に同期移動しつつマスクMに形成されたパターンを基板Pに露光する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)である。制御装置7は、レーザ干渉計92、94によって、マスクM(マスクステージ3)、基板P(基板ステージ4)の位置情報を計測しながら、露光光ELに対してマスクM及び基板Pを移動しつつ、各ショット領域S1〜S21を順次露光する。制御装置7は、1つのショット領域の露光終了後に、基板P(基板ステージ4)をステッピング移動して次のショット領域を露光開始位置に移動し、以下、ステップ・アンド・スキャン方式で基板Pを移動しながら各ショット領域S1〜S21を順次走査露光する。制御装置7は、最終光学素子LS1の下面LKと基板P上の液体LQの膜とを接触させた状態で、基板P上の各ショット領域S1〜S21を順次露光する。最終光学素子LS1と液体LQとの間には気体部分が無いため、露光光ELは、基板P上に良好に到達することができる。
また、制御装置7は、基板Pを露光するとき、フォーカス・レベリング検出系30を用いて基板Pの面位置情報を計測しつつ基板Pを露光する。制御装置7は、フォーカス・レベリング検出系30の検出結果に基づいて、基板ステージ駆動装置6を介して基板ステージ4(基板ホルダ4H)に保持されている基板PのZ軸、θX、及びθY方向の位置制御を行い、投影光学系PL及び液体LQを介して形成される像面と基板Pの表面との位置関係を調整しつつ、基板Pを露光する。上述のように、フォーカス・レベリング検出系30を用いて基板Pの面位置情報を検出するとき、フォーカス・レベリング検出系30の光学部材33と基板P上の液体LQの膜とは接触される。フォーカス・レベリング検出系30は、光学部材33と液体LQとを接触させた状態で基板Pの表面に検出光Laを照射するので、基板Pの面位置情報を精度良く検出することができる。
また、本実施形態においては、基板Pを移動しつつ露光した場合でも、基板P上の液体LQの膜の状態が維持されるように(基板P上から液体LQが無くならないように)、液体LQの物性などに応じて、基板P(基板ステージ4)の移動条件や、液体LQの膜形成条件などが最適化されている。ここで、基板Pの移動条件とは、基板Pの移動速度、加速度、減速度、移動方向、移動軌跡、基板Pを所定方向へ移動するときの移動距離、及び基板Pを移動するときの基板Pの表面と最終光学素子LS1の下面LK及び光学部材33の下面33Kとの距離等を含む。また、液体LQの膜形成条件(塗布条件)とは、液体LQの膜厚等を含む。なお、本実施形態においては、基板P上に形成される液体LQの膜厚は5mm以下に設定される。こうすることにより、基板P上からの液体LQの流出を抑制できる。また、液体LQを通過することによって露光光ELや検出光Laの光量が低下する可能性があるが、液体LQの膜厚を所定値以下(5mm以下)にすることにより、露光光ELや検出光Laを所望の光量で基板P上に到達させることができる。また、基板Pを露光するために、最終光学素子LS1及び光学部材33に対して基板Pを移動する場合、基板P上の液体LQの膜と最終光学素子LS1及び光学部材33との接触と離間とを繰り返しつつ、基板Pを移動するようにしてもよい。
基板Pの露光が終了した後、制御装置7は、搬送装置81(あるいは別の搬送装置)を用いて、露光光ELが照射された後の基板Pを、基板P上の液体LQとともに搬出する(ステップSA5)。基板ホルダ4Hから搬出された基板Pは、液体LQの膜を除去された後、例えば現像処理など、所定の処理を施される。搬送装置81を含む搬送システムの搬送経路上には回収機構83が設けられているため、基板P上より液体LQが流出しても、その流出した液体LQを回収機構83で回収することができる。なお、露光後の基板Pを基板ホルダ4Hから搬出する際には、搬送装置81とは別の搬送装置を用いて基板Pを搬出するようにしてもよい。
以上説明したように、基板ホルダ4Hで基板Pを保持する前に、その基板Pの表面に予め液体LQの膜を形成することにより、露光処理位置EPにおいて液体LQの供給動作及び回収動作を行うことなく、基板ホルダ4Hで保持した基板Pを液浸露光することができる。本実施形態のように、粘度が高い液体LQを用いる場合には、その液体LQを基板P上から回収することが困難となる可能性が高い。また、液体LQの粘度に限らず、例えば液体LQの表面張力や、基板Pの表面に対する液体LQの親和性(濡れ性)など、液体LQの各種物性によっても、基板P上から液体LQを回収することが困難となる可能性がある。基板P上に液体の液浸領域を形成するために液体の供給動作と回収動作とを並行して行う構成の場合、基板P上から液体LQを十分に回収できず、基板P上に液体LQが残留すると、基板P上に液体LQが有る領域と無い領域とが混在する状況が発生する。その場合、液体LQが有る領域と無い領域とで露光状態及び/又は計測状態が互いに異なることになるため、基板P上にマスクMのパターン像を良好に露光できなくなったり、あるいはフォーカス・レベリング検出系30などを用いた各種計測処理を良好に行うことができなくなる可能性がある。本実施形態においては、基板Pの表面のほぼ全域に予め液体LQの膜を形成し、液体LQの回収動作を行うことなく、露光処理及び計測処理を行うようにしたので、露光処理及び計測処理を精度良く行うことができる。
そして、液体LQの膜が形成された基板Pを基板ホルダ4Hに搬入可能な搬送装置81を設けたので、基板ホルダ4H(基板ステージ4)とは別の位置に設けられた膜形成装置60を用いて、基板P上に液体LQの膜を良好に形成した後、その基板Pを基板ホルダ4Hに搬入して基板Pを良好に液浸露光することができる。すなわち、露光処理位置EPで基板P上に液体LQの膜を形成しようとした場合、液体LQの物性によっては、基板P上に液体LQの膜を良好に形成することが困難となる可能性がある。また、露光処理位置EPで基板P上に液体LQの膜を形成しようとした場合、投影光学系PLや基板ステージ4の近傍に膜形成装置を設ける必要が生じ、基板ステージ4等の各種駆動機構の駆動の自由度を低下させたり、周辺機器の配置の自由度を低下させる可能性がある。本実施形態においては、基板P上に液体LQの膜を形成するための専用の膜形成装置60を基板ホルダ4H(基板ステージ4)とは別の位置に設けたので、液体LQの物性に柔軟に対応しつつ、液体LQの膜を基板P上に円滑に形成することができる。
また、露光光ELが照射された後の基板Pは、搬送装置81(あるいは別の搬送装置)によって液体LQとともに基板ホルダ4Hから搬出されるので、基板ホルダ4Hから搬出した後、基板P上の液体LQの膜を取り除くことができる所定の装置を用いて、基板P上の液体LQの膜を良好に取り除くことができる。なお、この液体LQの膜を除去する装置は、露光装置EX内に設けてもよいし、現像処理が行われるコータ・デベロッパ装置、あるいは両装置間のインターフェース部に設けてもよい。
そして、フォーカス・レベリング検出系30は、基板Pの表面に形成された液体LQの膜に光学部材33を接触させた状態で、検出光Laを用いて基板Pの面位置情報を精度良く検出することができる。また、フォーカス・レベリング検出系30は、基板P上の露光光ELが照射される照射領域ARの外側に検出光Laを照射しているので、検出光Laを円滑に照射して基板Pの面位置情報を精度良く検出することができる。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略もしくは省略する。
図10は第2実施形態に係る露光装置EXを示す図である。図10において、投影光学系PLの最終光学素子LS1の下面LKは、基板Pから離れるように形成された凹面領域2を有している。基板P上に形成された液体LQの膜は、最終光学素子LS1の凹面領域2を含む下面LKに接触する。下面LKの凹面領域2は曲面状となっている。なお、最終光学素子LS1の上面LJや下面LKの形状は、投影光学系PLが所望の性能を得られるように適宜設定される。例えば、最終光学素子LS1の下面LKは球面形状でもよいし、非球面形状でもよい。また、最終光学素子LS1の上面LJは球面形状でもよいし、非球面形状でもよい。
なお、投影光学系PLの像面側の開口数(NA)が液体LQの屈折率よりも小さい場合、例えば最終光学素子LS1を高屈折率の光学材料で形成した場合には、最終光学素子LS1の下面LK及び上面LJの少なくとも一方は平面でもよい。
本実施形態においては、上述の第1実施形態と同様に、屈折率が高い液体(例えばグリセロールなど)LQを使用しているため、投影光学系PLの像面側の開口数を大きくすることができる。そして、最終光学素子LS1の下面LKに凹面領域2を設けたことにより、投影光学系PLの像面側の開口数が、最終光学素子LS1の屈折率より大きい場合でも、露光光ELを投影光学系PLの像面側まで良好に到達させることができる。
基板P上に形成された液体LQの膜と最終光学素子LS1の下面LKとを接触させる場合には、図8を参照して説明したように、制御装置7は、基板交換位置RPにおいて基板Pを基板ステージ4上の基板ホルダ4Hに搬入した後、最終光学素子LS1及び光学部材33と基板ホルダ4Hに保持された基板P上の液体LQの膜とが接触しないように、基板ステージ4を基板交換位置RPから露光処理位置EPに移動し、その後、基板ステージ4を上方に移動することによって、最終光学素子LS1と基板ホルダ4Hに保持された基板P上の液体LQの膜とを接触させる。これにより、基板P上の液体LQを最終光学素子LS1の下面LKの凹面領域2に入り込ませ、最終光学素子LS1の下面LKと液体LQとを接触させることができる。
なお、上述の第1、第2実施形態においては、図8を参照して説明したように、基板交換位置RPにおいて基板Pを基板ステージ4上の基板ホルダ4Hに搬入した後、最終光学素子LS1及び光学部材33と基板ホルダ4Hに保持された基板P上の液体LQの膜とが接触しないように、基板ステージ4を基板交換位置RPから露光処理位置EPに移動し、その後、基板ステージ4を上方に移動することによって、最終光学素子LS1と基板ホルダ4Hに保持された基板P上の液体LQの膜とを接触させているが、例えば基板交換位置RPと異なる基板ステージ4の移動経路の途中で、基板P上の液体LQの膜と、最終光学素子LS1及び/又は光学部材33とを接触させつつ、基板ステージ4を基板交換位置RPから露光処理位置EPに移動するようにしてもよい。あるいは、基板P上の液体LQの膜と最終光学素子LS1及び光学部材33との接触と離間とを繰り返しつつ、基板交換位置RPから露光処理位置EPに基板ステージ4を移動するようにしてもよい。
なお、上述の第1、第2実施形態においては、フォーカス・レベリング検出系30で基板Pの面位置情報を検出しつつ、基板Pに露光光ELを照射しているが、基板Pを露光する前に、フォーカス・レベリング検出系30を用いて基板ホルダ4Hに保持された基板Pの面位置情報を予め計測した後、その計測結果に基づいて、基板PのZ軸、θX、及びθY方向の位置を制御しつつ、基板Pを露光するようにしてもよい。具体的には、制御装置7は、基板Pを露光する前に、基板ステージ4のXY方向の位置情報をレーザ干渉計94で計測しつつ、フォーカス・レベリング検出系30を用いて基板ホルダ4Hに保持された基板Pの面位置情報を液体LQを介して検出し、その検出結果を記憶する。そして、制御装置7は、記憶した記憶情報(基板Pの面位置情報)に基づいて、基板PのZ軸、θX、及びθY方向の位置を制御しつつ、液体LQを介して基板Pを露光する。この場合、フォーカス・レベリング検出系30(光学部材33)を投影光学系PLから離して設けてもよいし、1つの光学部材33を複数対の投射系31及び受光系32で兼用することとしてもよい。
なお、フォーカス・レベリング検出系30を用いて投影光学系PLから離れた位置で、投影光学系PLと液体LQとが接触していない状態で基板Pの面位置情報を取得してもよい。この場合、基板P上に液体LQの膜を形成する前に、基板Pの面位置情報を取得してもよい。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図11は第3実施形態に係る露光装置EXを説明するための図である。図11において、投影光学系PLの先端近傍には、基板P上に液体LQを供給可能な供給口71を有するノズル部材70が設けられている。ノズル部材70は、露光光ELの光路空間(投影領域AR)に対して、光学部材33よりも外側に設けられている。供給口71は、ノズル部材70のうち、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と対向する下面70Kに設けられている。
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図11は第3実施形態に係る露光装置EXを説明するための図である。図11において、投影光学系PLの先端近傍には、基板P上に液体LQを供給可能な供給口71を有するノズル部材70が設けられている。ノズル部材70は、露光光ELの光路空間(投影領域AR)に対して、光学部材33よりも外側に設けられている。供給口71は、ノズル部材70のうち、基板ホルダ4Hに保持された基板Pの表面と対向する下面70Kに設けられている。
本実施形態においては、基板ホルダ4Hには液体LQの膜が形成されていない基板Pが搬入される。制御装置7は、基板P(基板ステージ4)の上方に設けられたノズル部材70から、基板ホルダ4Hに保持されている基板P上に液体LQを供給することによって、基板P上に液体LQの膜を形成する。すなわち、本実施形態の露光装置EXは、基板ホルダ4Hで基板Pを保持した後、基板P上に液体LQの膜を形成するノズル部材70を含む膜形成装置を有した構成となっている。
ノズル部材70の供給口71から供給される液体LQによって基板P上に液体LQの膜を形成する際、制御装置7は、基板Pを保持した基板ステージ4をXY方向に移動しつつ、ノズル部材70の供給口71から基板Pに対して液体LQを供給する。本実施形態の膜形成装置は、基板Pの上方より基板Pに対して液体LQを供給可能なノズル部材70を有しているので、基板ステージ4などの駆動の自由度を低下することなく、簡易な構成で、基板P上に液体LQの膜を円滑に形成することができる。
また、基板ステージ4の上面97には、基板ホルダ4Hに保持された基板Pを囲むように、液体LQを回収する回収口(回収機構)72が形成されている。基板Pの表面より液体LQが流出した場合でも、その流出した液体LQは回収口72によって回収される。
次に、上述の構成を有する露光装置EXを用いて基板Pを露光する方法について説明する。まず、基板ホルダ4H(基板ステージ4)に基板Pが搬入される。上述のように、本実施形態においては、基板ホルダ4Hに搬入される基板P上には液体LQの膜は形成されていない。基板ホルダ4Hに基板Pが搬入された後、制御装置7は、基板ステージ4をXY方向に移動しつつ、ノズル部材70の供給口71より基板P上に液体LQを供給することによって、基板P上に液体LQの膜を形成する。本実施形態においては、制御装置7は、ノズル部材70の供給口71より供給した液体LQによって、基板Pの表面のほぼ全域に液体LQの膜を形成する。
基板P上に液体LQの膜を形成した後、制御装置7は、上述の実施形態同様、アライメント系50を用いて、液体LQを介して基板P上のアライメントマーク54を計測する。制御装置7は、レーザ干渉計94によって基板ステージ4の位置情報をモニタしつつ、基板ステージ4をXY方向に移動しながら、アライメント系50によって、基板P上のアライメントマーク54の位置計測を行い、基板P上に設けられた複数のショット領域S1〜S21それぞれの位置座標(配列座標)を決定する。
制御装置7は、上述の基板P上のアライメントマーク54の検出の結果得られた基板P上の複数のショット領域S1〜S21の位置座標と、先に計測したベースライン情報とに基づいて、基板P上の各ショット領域S1〜S21とマスクM(投影領域AR)とを位置合わせしつつ、基板P上の複数のショット領域S1〜S21のそれぞれにマスクMのパターン像を順次露光する。制御装置7は、フォーカス・レベリング検出系30を用いて、基板Pの面位置情報を液体LQを介して計測しつつ、基板Pを露光する。
基板Pの露光が終了した後、制御装置7は、搬送装置81(あるいは別の搬送装置)を用いて、露光光ELが照射された後の基板Pを、基板P上の液体LQとともに搬出する。
なお、第3実施形態において、制御装置7は、ノズル部材70を用いて基板Pの表面のほぼ全域に液体LQの膜を形成した後、基板Pを露光する前に、基板ステージ4のXY方向の位置情報をレーザ干渉計94で計測しつつ、フォーカス・レベリング検出系30を用いて基板ホルダ4Hに保持された基板Pの面位置情報を液体LQを介して検出し、その検出結果を記憶し、その記憶情報に基づいて、基板PのZ軸、θX、及びθY方向の位置を制御しつつ、液体LQを介して基板Pを露光するようにしてもよい。
なお、第3実施形態においては、ノズル部材70を用いて基板P上に液体LQの膜を形成した後、アライメント系50を用いて基板P上のアライメントマーク54を液体LQを介して検出しているが、液体LQの膜が形成されていない基板Pを基板ホルダ4Hに搬入した後、ノズル部材70を用いた液体LQの膜の形成動作を行う前に、アライメント系50を用いて基板P上のアライメントマーク54を液体LQを介さずに検出するようにしてもよい。この場合、ベースライン情報を求めるためにアライメント系50を用いて基準マーク板FM上の第2基準マーク52を計測するときには、液体LQを介さずにアライメント系50による第2基準マーク52の計測動作が行われる。すなわち、アライメント系50を用いて基準マーク板FMの第2基準マーク52を計測するときには、第2基準マーク52上には液体LQの膜が形成されない。制御装置7は、ベースライン情報と、アライメント系50で液体LQを介さずに計測した基板P上のアライメントマーク54の位置情報とに基づいて、基板P上の各ショット領域S1〜S21とマスクM(投影領域AR)との位置合わせを行うことができる。そして、アライメント系50による計測動作が完了した後、制御装置7は、ノズル部材70を用いて基板P上に液体LQの膜を形成し、液体LQを介して基板Pを露光する。ノズル部材70を用いて基板P上に液体LQの膜を形成した後、基板Pを露光するときには、フォーカス・レベリング検出系30で基板Pの面位置情報を液体LQを介して検出しつつ、その検出結果に基づいて基板Pの位置を制御しながら基板Pに露光光ELを照射してもよいし、基板Pに露光光ELを照射する前にフォーカス・レベリング検出系30を用いて基板Pの面位置情報を液体LQを介して検出し、その検出結果を記憶し、その記憶情報に基づいて基板Pの位置を制御しつつ基板Pに露光光ELを照射してもよい。
なお、第3実施形態においては、ノズル部材70を用いて基板Pの表面に液体LQの膜を形成した後、基板Pに露光光ELを照射しているが、ノズル部材70より液体LQを供給しつつ、フォーカス・レベリング検出系30による基板Pの面位置情報の検出、及び基板Pの露光を行うようにしてもよい。例えば、図11に示すように、基板P(基板ステージ4)を+X方向に移動しつつ、露光光ELの光路空間(投影領域AR)に対して−X側に設けられたノズル部材70の供給口71より液体LQを基板P上に供給することにより、基板Pと光学部材33との間、及び基板Pと最終光学素子LS1との間を液体LQで満たしつつ、フォーカス・レベリング検出系30の検出光Laの照射、及び露光光ELの照射を行うことができる。この場合、アライメント系50を用いて、液体LQを介さずに基板P上のアライメントマーク54や基準マーク板FM上の第2基準マーク52を計測した後、ノズル部材70より液体LQを供給しつつ、フォーカス・レベリング検出系30による基板Pの面位置情報の検出、及び基板Pの露光が行われる。
あるいは、第3実施形態において、ノズル部材70から基板P上に液体LQを供給する前に、アライメント系50を用いて、液体LQを介さずに基板P上のアライメントマーク54及び基準マーク板FM上の第2基準マーク52を計測するとともに、フォーカス・レベリング検出系30を用いて、液体LQを介さずに、基板Pの面位置情報を検出するようにしてもよい。この場合、制御装置7には、フォーカス・レベリング検出系30によって液体LQを介さずに検出された基板Pの面位置情報が記憶される。そして、その後、制御装置7は、ノズル部材70を用いて、基板Pの表面に液体LQの膜を形成し、記憶してある基板Pの面位置情報に基づいて、基板Pの位置を制御しつつ、液体LQを介して基板Pを露光する。基板Pを露光するときには、ノズル部材70を用いて基板Pの表面のほぼ全域に液体LQの膜を形成した後、基板P上に露光光ELを照射するようにしてもよいし、ノズル部材70より基板P上に液体LQを供給しつつ基板P上に露光光ELを照射するようにしてもよい。
なお、上述の第1〜第3実施形態において、フォーカス・レベリング検出系30の光学部材33は、最終光学素子LS1を囲むように4つ設けられているように説明したが、その配置は任意に設定可能である。例えば、図12Aに示すように、光学部材33を最終光学素子LS1の−X側、+Y側、及び−Y側のそれぞれに配置するようにしてもよいし、図12Bに示すように、最終光学素子LS1の+Y側、及び−Y側のそれぞれに配置するようにしてもよいし、図12Cに示すように、最終光学素子LS1の−X側、及び−Y側のそれぞれに配置するようにしてもよいし、図12Dに示すように、最終光学素子LS1の−Y側のみに設けるようにしてもよい。
また、上述の各実施形態では基板Pの全面に液体LQの膜を形成するものとしたが、これに限らず、例えば露光処理及び/又は計測処理すべき領域のみが覆われるように液体LQの膜を形成することとしてもよい。
なお、上述の各実施形態において、基板P上に膜を形成する液体LQとしては、例えばイソプロパノール、ヘキサン、ヘプタン、デカン等の所定液体が挙げられる。あるいは、これらの液体のうち任意の2種類以上の所定液体が混合されたものであってもよい。あるいは、液体LQとして純水を用いてもよい。あるいは、純水に上記所定液体が添加(混合)されたものであってもよい。あるいは、純水に、H+、Cs+、K+、Cl−、SO4 2−、PO4 2−等の塩基又は酸を添加(混合)したものであってもよい。更には、純水にAl酸化物等の微粒子を添加(混合)したものであってもよい。これら液体LQは、ArFエキシマレーザ光を透過可能である。
また、上述の各実施形態においては、露光光ELとしてArFエキシマレーザ光を用いているが、上述したように、F2レーザ光などの各種露光光(露光ビーム)を採用することができ、液体LQは、露光光(露光ビーム)EL、投影光学系PLの開口数、最終光学素子LS1の屈折率などに応じて最適なものを適宜使用することができる。例えば、露光光ELの光源がF2レーザである場合、液体LQとしては、F2レーザ光を透過可能な、例えば過フッ化ポリエーテル(PFPE)やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。
なお、上述の各実施形態においては、基板P上の液体LQの膜に接触する光学部材を有する計測装置として、フォーカス・レベリング検出系30及びアライメント系50を例にして説明したが、露光処理に関する計測を行う計測装置であれば、任意の計測装置を用いることができる。
なお、上述の各実施形態においては、露光装置EXが基板P上に液体LQの膜を形成するための膜形成装置を有した構成であるが、基板P上に液体LQの膜を形成するための膜形成装置を露光装置EXとは別に設けるようにしてもよい。この場合、露光装置EXは、その露光装置EXとは別の膜形成装置によって液体LQの膜が形成された基板Pを、搬送装置81を用いて基板ホルダ4H(基板ステージ4)に搬入することができる。
なお、上述の各実施形態において、投影光学系は、先端の光学素子(LS1)の像面側の光路空間を液体で満たしているが、例えば国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているように、先端の光学素子の物体面側の光路空間も液体で満たす投影光学系を採用することもできる。
なお、上記各実施形態では干渉計システム(92、94)を用いてマスクステージ3、及び基板ステージ4の各位置情報を計測するものとしたが、これに限らず、例えば各ステージに設けられるスケール(回折格子)を検出するエンコーダシステムを用いてもよい。この場合、干渉計システムとエンコーダシステムの両方を備えるハイブリッドシステムとし、干渉計システムの計測結果を用いてエンコーダシステムの計測結果の較正(キャリブレーション)を行うことが好ましい。また、干渉計システムとエンコーダシステムとを切り替えて用いる、あるいはその両方を用いて、ステージの位置制御を行うようにしてもよい。
なお、上記各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
また、露光装置EXとしては、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第1パターンの縮小像を投影光学系(例えば1/8縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系)を用いて基板P上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で第2パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、上記各実施形態では投影光学系PLを備えた露光装置を例に挙げて説明してきたが、投影光学系PLを用いない露光装置及び露光方法に本発明を適用することができる。投影光学系を用いない場合であっても、露光光はマスク又はレンズなどの光学部材を介して基板に照射され、そのような光学部材と基板との間の所定空間に液浸領域が形成される。
また、本発明は、例えば特開平10−163099号公報及び特開平10−214783号公報(対応米国特許第6,590,634号)、特表2000−505958号公報(対応米国特許第5,969,441号)、米国特許第6,208,407号などに開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
更に、例えば特開平11−135400号公報(対応国際公開1999/23692)、及び特開2000−164504号公報(対応米国特許第6,897,963号)に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)、マイクロマシン、MEMS、DNAチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6,778,257号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスク(可変成形マスクとも呼ばれ、例えば非発光型画像表示素子(空間光変調器)の一種であるDMD(Digital Micro-mirror Device)などを含む)を用いてもよい。
また、例えば国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。
さらに、例えば特表2004−519850号公報(対応米国特許第6,611,316号)に開示されているように、2つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、1回のスキャン露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置にも本発明を適用することができる。
なお、本国際出願で指定又は選択された国の法令で許容される限りにおいて、上記各実施形態及び変形例で引用した露光装置などに関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
以上のように、本願実施形態の露光装置EXは、本願請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図13に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、前述した実施形態の露光装置EXによりマスクのパターンを基板に露光する工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱(キュア)及びエッチング工程などの基板処理プロセスを含むステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
本発明によれば、液浸露光装置において基板の位置情報を円滑に計測することができ、露光処理を精度良く行うことができる。それゆえ、本発明は、例えば半導体素子、液晶表示素子又はディスプレイ、薄膜磁気ヘッド、CCD、マイクロマシン、MEMS、DNAチップ、レチクル(マスク)のような広範囲な製品を製造するための露光方法及び装置に極めて有用となる。
Claims (22)
- 液体を介して基板を露光する露光装置において、
露光光が照射される基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材で前記基板を保持する前に、前記基板上に前記液体の膜を形成する膜形成装置とを備えた露光装置。 - 前記膜形成装置によって前記液体の膜が形成された前記基板を前記基板保持部材に搬入する第1搬送装置を備えた請求項1記載の露光装置。
- 液体を介して基板を露光する露光装置において、
露光光が照射される基板を保持する基板保持部材と、
その表面に液体の膜が形成された基板を前記基板保持部材に搬入する第1搬送装置とを備えた露光装置。 - 前記液体の膜に接触する第1光学部材を有し、前記第1光学部材と前記液体とを介して前記基板に計測光を照射して、露光処理に関する計測を行う計測装置を備え、
前記計測装置は、前記基板上の前記露光光が照射される照射領域の外側に前記計測光を照射する請求項1〜3のいずれか一項記載の露光装置。 - 液体を介して基板を露光する露光装置において、
その表面に液体の膜が形成された基板を保持する基板保持部材と、
前記液体の膜に接触する第1光学部材を有し、前記第1光学部材と前記液体とを介して前記基板に計測光を照射して、露光処理に関する計測を行う計測装置とを備え、
前記計測装置は、前記基板上の前記露光光が照射される照射領域の外側に前記計測光を照射する露光装置。 - 前記第1光学部材は、前記基板上の前記露光光が照射される照射領域の外側に配置される請求項4又は5記載の露光装置。
- 前記計測装置は、前記基板の面位置情報を計測する第1計測装置を含む請求項4〜6のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記計測装置は、前記基板上のアライメントマーク及び前記基板保持部材に設けられた基準の少なくとも一方を計測する第2計測装置を含む請求項4〜7のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光光が照射された後の基板を、前記基板上の液体とともに前記基板保持部材から搬出する第2搬送装置を備えた請求項1〜8のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記液体の膜に接触し、前記露光光が通過する第2光学部材を備えた請求項1〜9のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項1〜請求項10のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
- 液体を介して基板を露光する露光方法において、
前記基板の表面に前記液体の膜を形成した後、前記基板を基板保持部材で保持し、
前記液体の膜を介して露光光を前記基板に照射する露光方法。 - 前記基板は、前記基板保持部材に搬入されるまでの搬送経路の途中で前記液体の膜が形成される請求項12記載の露光方法。
- 前記基板保持部材に保持された基板上の前記液体の膜に第1光学部材を接触させるとともに、前記第1光学部材と前記液体とを介して前記基板に計測光を照射して、露光処理に関する計測を行う請求項12又は13記載の露光方法。
- 液体を介して基板を露光する露光方法において、
前記液体の膜が表面に形成された基板を基板保持部材で保持し、
前記液体の膜に第1光学部材を接触させるとともに、前記第1光学部材と前記液体とを介して前記基板に計測光を照射して、露光処理に関する計測を行う露光方法。 - 前記計測光は、少なくとも露光光が照射される照射領域以外に照射される請求項14又は15記載の露光方法。
- 前記計測光の照射によって前記基板の位置情報を計測する請求項14〜16のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記基板はその表面が所定面とほぼ平行になるように前記基板保持部材に保持され、前記位置情報は、前記所定面と垂直な方向に関する位置情報、及び前記所定面内での位置情報の少なくとも一方を含む請求項17記載の露光方法。
- 前記計測光は、前記露光処理前、及び/又は前記露光処理中に前記基板に照射される請求項14〜18のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記露光された基板はその表面の液体とともに前記基板保持部材から搬出される請求項12〜19のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記露光処理時、前記液体の膜に第2光学部材を接触させるとともに、前記第2光学部材と前記液体とを介して露光光を前記基板に照射する請求項12〜20のいずれか一項記載の露光方法。
- 請求項12〜21のいずれか一項記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。
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