JP2009099694A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
原版の露光ショットサイズあるいは原版に描画されたチップの配置に起因する計測誤差を低減し、高い精度で基板の面位置を計測できる露光装置を提供する。
【解決手段】
基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有する。
【選択図】図8
原版の露光ショットサイズあるいは原版に描画されたチップの配置に起因する計測誤差を低減し、高い精度で基板の面位置を計測できる露光装置を提供する。
【解決手段】
基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有する。
【選択図】図8
Description
本発明は、原版上に描画されたパターンを基板上に露光する露光装置に関する。
フォトリソグラフィー技術を用いて半導体素子、液晶表示素子等のデバイスを製造する際に、原版であるマスク(レチクル)に描画されたパターンを投影光学系によってウェハ等の基板に投影してパターンを転写する投影露光装置が、従来から使用されている。
投影露光装置においては、集積回路の微細化及び高密度化に伴い、より高い解像力でレチクルのパターンをウェハに投影露光することが要求されている。
投影露光装置で転写できる最少の線幅(解像度)は、露光に用いる光の波長に比例し、投影光学系の開口数(N.A.)に反比例する。従って、波長を短くすればするほど解像度はよくなる。
このため、近年の光源は超高圧水銀ランプg線(波長約436nm)、i線(波長約365nm)から波長の短いKrFエキシマレーザ(波長約248nm)やArFエキシマレーザ(波長約193nm)が実用されている。
さらに、F2レーザ(波長約157nm)の実用化も進んでおり、将来的には波長が数nm〜百nmの極端紫外光(Extreme Ultra Violet:EUV光)の採用も見込まれている。
このように露光光の短波長化が進むにつれて、ウェハの表面位置計測であるフォーカス計測の精度にも高精度化が求められている。
通常、露光スリットの手前にフォーカス計測用のセンサーを配置した上で、露光の直前にウェハ表面位置計測を実施しながら、露光位置においてウェハ表面位置と投影光学系の焦点位置が合致する様にウェハステージが制御される。
このフォーカス計測を精度良く実施するためには、ウェハ面内に多くの計測位置を配置し、微細な計測ピッチにてショット内の多点を計測することが望まれるが、それでは計測時間の増大によりスループットが低下する。
投影露光装置においては、集積回路の微細化及び高密度化に伴い、より高い解像力でレチクルのパターンをウェハに投影露光することが要求されている。
投影露光装置で転写できる最少の線幅(解像度)は、露光に用いる光の波長に比例し、投影光学系の開口数(N.A.)に反比例する。従って、波長を短くすればするほど解像度はよくなる。
このため、近年の光源は超高圧水銀ランプg線(波長約436nm)、i線(波長約365nm)から波長の短いKrFエキシマレーザ(波長約248nm)やArFエキシマレーザ(波長約193nm)が実用されている。
さらに、F2レーザ(波長約157nm)の実用化も進んでおり、将来的には波長が数nm〜百nmの極端紫外光(Extreme Ultra Violet:EUV光)の採用も見込まれている。
このように露光光の短波長化が進むにつれて、ウェハの表面位置計測であるフォーカス計測の精度にも高精度化が求められている。
通常、露光スリットの手前にフォーカス計測用のセンサーを配置した上で、露光の直前にウェハ表面位置計測を実施しながら、露光位置においてウェハ表面位置と投影光学系の焦点位置が合致する様にウェハステージが制御される。
このフォーカス計測を精度良く実施するためには、ウェハ面内に多くの計測位置を配置し、微細な計測ピッチにてショット内の多点を計測することが望まれるが、それでは計測時間の増大によりスループットが低下する。
そこで、近年、フォーカス精度とスループットの向上という2つの要求を満たすため、ウェハを保持するステージを2つ搭載したツインステージ型露光装置が登場してきている。
このツインステージ型露光装置とは、実際にウェハ上に露光を行う露光ステーションと、ウェハ表面の凹凸情報を計測するフォーカス計測系とウェハの露光領域の位置を計測するアライメント計測系が配置されてある計測ステーションと、を有しているものである。
このため、露光ステーションにおける第1のウェハの光処理中に、計測ステーションにおいて第2のウェハの計測処理を行うことができ、ウェハ処理のスループットが高まり、装置はより効率的なものとなる。
このツインステージ型露光装置のフォーカス計測系においても、従来型の露光装置と同様に、ウェハ表面に対して斜めに計測光を照射する斜め入射型の面位置計測装置が用いられるのが一般的である。
この面位置計測装置は、ウェハ表面を被計測面として、当該被計測面にスリット状の計測光束を照射させる。
そして、その反射光束を受光部に配設されている光電変換素子から成る計測部上に再結像させることによって、計測部上の反射光の入射位置を検知する。
この構成において被計測面であるウェハ表面が上下方向に変位すると、その上下方向の変位に対応して計測部に入射するスリット反射光がその入射方向に対して直交する方向、すなわち、スリットの幅方向に横ずれする。
このことを利用して、ウェハ表面の上下方向の位置、すなわち、ウェハ表面の凹凸情報を計測する。
しかしながら、半導体ウェハ表面は通常、段差を有し、この段差の例としては、チップ領域とスクライブ領域の段差がある。
このスクライブ領域は、チップ領域を2分あるいはそれ以上に分割する位置に設置される場合が多く、面位置計測装置の計測光束はチップ領域とスクライブ領域の両者にかかり、位置計測結果に誤差が生ずることがある。
この計測誤差への対応策として、特開平4−340705号公報(特許文献1)で計測光束の面積を可変とする方法が提案され、チップ領域に対して計測光領域を同じ大きさとし、計測精度が向上されている。
また、面位置計測装置の多点配置されている計測位置は、露光エリアに対して固定されているため、露光ショットサイズが小さい場合には、露光エリアから外れてしまう計測位置が存在する。
例えば、図3に示すように露光ショットのX方向の幅である露光ショットサイズ30と計測位置31のピッチが一致した場合、両脇の計測位置31a,31aが、スクライブ領域32に重なり、斜線部で示した領域が未計測領域33,33になる。
この未計測領域33,33により、ショット内の計測精度は低下してしまう。
この計測精度低下への対応策として、特開平11−135411号公報(特許文献2)で光学部材を調整するアクチュエーターを用いる計測位置の可変機構が提案され、露光ショットサイズに応じて計測位置を調整する。
特開平4−340705号公報
特開平11−135411号公報
このツインステージ型露光装置とは、実際にウェハ上に露光を行う露光ステーションと、ウェハ表面の凹凸情報を計測するフォーカス計測系とウェハの露光領域の位置を計測するアライメント計測系が配置されてある計測ステーションと、を有しているものである。
このため、露光ステーションにおける第1のウェハの光処理中に、計測ステーションにおいて第2のウェハの計測処理を行うことができ、ウェハ処理のスループットが高まり、装置はより効率的なものとなる。
このツインステージ型露光装置のフォーカス計測系においても、従来型の露光装置と同様に、ウェハ表面に対して斜めに計測光を照射する斜め入射型の面位置計測装置が用いられるのが一般的である。
この面位置計測装置は、ウェハ表面を被計測面として、当該被計測面にスリット状の計測光束を照射させる。
そして、その反射光束を受光部に配設されている光電変換素子から成る計測部上に再結像させることによって、計測部上の反射光の入射位置を検知する。
この構成において被計測面であるウェハ表面が上下方向に変位すると、その上下方向の変位に対応して計測部に入射するスリット反射光がその入射方向に対して直交する方向、すなわち、スリットの幅方向に横ずれする。
このことを利用して、ウェハ表面の上下方向の位置、すなわち、ウェハ表面の凹凸情報を計測する。
しかしながら、半導体ウェハ表面は通常、段差を有し、この段差の例としては、チップ領域とスクライブ領域の段差がある。
このスクライブ領域は、チップ領域を2分あるいはそれ以上に分割する位置に設置される場合が多く、面位置計測装置の計測光束はチップ領域とスクライブ領域の両者にかかり、位置計測結果に誤差が生ずることがある。
この計測誤差への対応策として、特開平4−340705号公報(特許文献1)で計測光束の面積を可変とする方法が提案され、チップ領域に対して計測光領域を同じ大きさとし、計測精度が向上されている。
また、面位置計測装置の多点配置されている計測位置は、露光エリアに対して固定されているため、露光ショットサイズが小さい場合には、露光エリアから外れてしまう計測位置が存在する。
例えば、図3に示すように露光ショットのX方向の幅である露光ショットサイズ30と計測位置31のピッチが一致した場合、両脇の計測位置31a,31aが、スクライブ領域32に重なり、斜線部で示した領域が未計測領域33,33になる。
この未計測領域33,33により、ショット内の計測精度は低下してしまう。
この計測精度低下への対応策として、特開平11−135411号公報(特許文献2)で光学部材を調整するアクチュエーターを用いる計測位置の可変機構が提案され、露光ショットサイズに応じて計測位置を調整する。
上述した特開平11−135411号公報(特許文献2)の従来例においては、ウェハ上に転写するパターンの露光ショットサイズやチップの配置に応じて、面位置計測装置の計測位置の面積や位置を可変することにより、面位置計測精度の低下を防止する。
しかし、露光装置に対するウェハ表面の絶対位置の計測精度が要求される面位置計測装置に可変機構を設けるため、経時的な計測値変動が発生し、焦点位置合わせ精度が低下し、計測精度の安定性を低下させる。
例えば、面位置計測装置の計測原点が変動した場合、変動分がウェハ表面形状とみなされてしまい、ウェハステージによってウェハ表面を投影光学系の像面に位置合わせしても、面位置計測装置の変動分が焦点位置のずれになってしまう。
そこで、本発明は、原版の露光ショットサイズあるいは原版に描画されたチップの配置に起因する計測誤差を低減し、高い精度で基板の面位置を計測できる露光装置を提供することを目的とする。
しかし、露光装置に対するウェハ表面の絶対位置の計測精度が要求される面位置計測装置に可変機構を設けるため、経時的な計測値変動が発生し、焦点位置合わせ精度が低下し、計測精度の安定性を低下させる。
例えば、面位置計測装置の計測原点が変動した場合、変動分がウェハ表面形状とみなされてしまい、ウェハステージによってウェハ表面を投影光学系の像面に位置合わせしても、面位置計測装置の変動分が焦点位置のずれになってしまう。
そこで、本発明は、原版の露光ショットサイズあるいは原版に描画されたチップの配置に起因する計測誤差を低減し、高い精度で基板の面位置を計測できる露光装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するための本発明の露光装置は、基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して、前記基板上にショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動速度に応じて前記面位置計測手段の計測タイミングを制御する手段と、を有することを特徴とする。
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動速度に応じて前記面位置計測手段の計測タイミングを制御する手段と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して、前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版のパターンにおけるチップの配置に応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、
前記指定した複数の計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有することを特徴とする。
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版のパターンにおけるチップの配置に応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、
前記指定した複数の計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有することを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置は、基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して、前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版のパターンにおけるチップの配置に応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動速度に応じて前記面位置計測手段の計測タイミングを制御する手段と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、原版の露光ショットサイズあるいは原版に描画されたチップの配置に起因する計測誤差を低減し、高い精度で基板の面位置を計測できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
以下、図1、図2を参照して、本発明の実施例1のツインステージ型露光装置について説明する。
本実施例1のツインステージ型露光装置とは、2つの計測ステーション1と露光ステーション2とを有する露光装置である。
計測ステーション1では、基板であるウェハ5のショット配列及び表面の凹凸等の計測処理が主に行われ、露光ステーション2ではウェハ5の露光処理が主に行われる。
露光ステーション2は、レチクル3を支持するレチクルステージ4と、ウェハ5を支持し、2つの計測ステーション1、露光ステーション2の間で移動可能な2つのウェハステージ6およびウェハステージ7を備えている。
また、レチクルステージ4に支持されている原版であるレチクル3を露光光で照明する照明光学系8と、露光光で照明されたレチクル3のレチクルパターン像をウェハステージ6、7に支持されているウェハ5に投影露光する投影光学系9を備えている。
さらに、露光装置全体の動作を統括制御する図示されない制御装置をも備えている。
本実施例1のツインステージ型露光装置とは、2つの計測ステーション1と露光ステーション2とを有する露光装置である。
計測ステーション1では、基板であるウェハ5のショット配列及び表面の凹凸等の計測処理が主に行われ、露光ステーション2ではウェハ5の露光処理が主に行われる。
露光ステーション2は、レチクル3を支持するレチクルステージ4と、ウェハ5を支持し、2つの計測ステーション1、露光ステーション2の間で移動可能な2つのウェハステージ6およびウェハステージ7を備えている。
また、レチクルステージ4に支持されている原版であるレチクル3を露光光で照明する照明光学系8と、露光光で照明されたレチクル3のレチクルパターン像をウェハステージ6、7に支持されているウェハ5に投影露光する投影光学系9を備えている。
さらに、露光装置全体の動作を統括制御する図示されない制御装置をも備えている。
図1の本実施例1では、2つのウェハステージ6およびウェハステージ7を備えているが、3つ以上のウェハステージを有する露光装置であってもよい。
ここでは、本実施例1の露光装置として、レチクル3とウェハ5とを走査方向に互いに同期移動しつつ、レチクル3に形成されたレチクルパターンをウェハ5に露光する走査型露光装置(スキャニングステッパ)を使用する実施例を説明する。
本実施例1において、投影光学系9の光軸と一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内でレチクル3とウェハ5との同期移動方向(走査方向)をY軸方向、Z軸方向及びY軸方向に垂直な方向(非走査方向)をX軸方向とする。
また、X軸、Y軸、及びZ軸回り方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
レチクル3上の所定の照明領域は照明光学系8により均一な照度分布の露光光で照明される。
照明光学系8から射出される露光光としては、これまで主流だった水銀ランプに代わって、KrFエキシマレーザが用いられ、さらに、短波長のArFエキシマレーザやF2レーザが用いられてもよい。
また、より微細な半導体素子等を製造するために、露光光として波長が数nm〜百nmの極端紫外光(Extreme Ultra Violet:EUV光)を用いてもよい。
レチクルステージ4は、レチクル3を載置して移動する手段で、投影光学系9の光軸に垂直な平面内、すなわちXY平面内で2次元移動可能及びθZ方向に微小に回転可能である。
レチクルステージ4は、最低1軸駆動であれば良いが、6軸駆動であればなお良い。
レチクルステージ4は、リニアモータ等の図示されないレチクルステージ駆動装置により姿勢を制御して駆動され、レチクルステージ駆動装置は図示されない制御装置により制御される。
レチクルステージ4上にはミラー10aが設けられ、ミラー10aに対向する位置にはレーザ干渉計11aが設けられる。
レチクルステージ4上のレチクル3の2次元方向の位置、及び回転角はレーザ干渉計11aによりリアルタイムで計測され、計測結果は図示されない制御装置に出力される。
ここでは、本実施例1の露光装置として、レチクル3とウェハ5とを走査方向に互いに同期移動しつつ、レチクル3に形成されたレチクルパターンをウェハ5に露光する走査型露光装置(スキャニングステッパ)を使用する実施例を説明する。
本実施例1において、投影光学系9の光軸と一致する方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直な平面内でレチクル3とウェハ5との同期移動方向(走査方向)をY軸方向、Z軸方向及びY軸方向に垂直な方向(非走査方向)をX軸方向とする。
また、X軸、Y軸、及びZ軸回り方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
レチクル3上の所定の照明領域は照明光学系8により均一な照度分布の露光光で照明される。
照明光学系8から射出される露光光としては、これまで主流だった水銀ランプに代わって、KrFエキシマレーザが用いられ、さらに、短波長のArFエキシマレーザやF2レーザが用いられてもよい。
また、より微細な半導体素子等を製造するために、露光光として波長が数nm〜百nmの極端紫外光(Extreme Ultra Violet:EUV光)を用いてもよい。
レチクルステージ4は、レチクル3を載置して移動する手段で、投影光学系9の光軸に垂直な平面内、すなわちXY平面内で2次元移動可能及びθZ方向に微小に回転可能である。
レチクルステージ4は、最低1軸駆動であれば良いが、6軸駆動であればなお良い。
レチクルステージ4は、リニアモータ等の図示されないレチクルステージ駆動装置により姿勢を制御して駆動され、レチクルステージ駆動装置は図示されない制御装置により制御される。
レチクルステージ4上にはミラー10aが設けられ、ミラー10aに対向する位置にはレーザ干渉計11aが設けられる。
レチクルステージ4上のレチクル3の2次元方向の位置、及び回転角はレーザ干渉計11aによりリアルタイムで計測され、計測結果は図示されない制御装置に出力される。
図示されない制御装置は、レーザ干渉計11aの計測結果に基づいて図示されないレチクルステージ駆動装置を駆動し、レチクルステージ4に支持されているレチクル3の位置決めを行う。
投影光学系9は、レチクル3のレチクルパターンを所定の投影倍率βでウェハ5に投影露光する光学系で、複数の光学素子で構成され、これらの光学素子は金属部材としての鏡筒で支持されている。
本実施例1において、投影光学系9は、投影倍率βが、例えば1/4あるいは1/5の縮小投影系である。
ウェハステージ6、7はウェハ5を載置して移動する手段で、ウェハチャックを通して保持するZステージと、Zステージを支持するXYステージと、XYステージを支持するベースとを備えている。
ウェハステージ6、7は、図示されないリニアモータ等のウェハステージ駆動装置により姿勢を制御して駆動され、ウェハステージ駆動装置は図示されない制御装置により制御される。
また、ウェハステージ6、7上にはウェハステージ6、7と共に移動するミラー10b、10cが設けられている。
また、ミラー10b、10cに対向する位置にはレーザ干渉計11b、11c、12b、12cが設けられている。
ウェハステージ6、7のXY方向の位置、及びθZは、レーザ干渉計11b、11cによりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置に出力される。
また、ウェハステージ6、7のZ方向の位置、及びθX、θYについてはレーザ干渉計12b、12cによりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置に出力される。
これらレーザ干渉計11b、11c、12b、12cの計測結果に基づいてウェハステージ駆動装置を通してXYZステージを駆動し、ウェハ5のXYZ方向における位置を調整し、ウェハステージ6、7に支持されているウェハ5の位置決めを行う。
投影光学系9は、レチクル3のレチクルパターンを所定の投影倍率βでウェハ5に投影露光する光学系で、複数の光学素子で構成され、これらの光学素子は金属部材としての鏡筒で支持されている。
本実施例1において、投影光学系9は、投影倍率βが、例えば1/4あるいは1/5の縮小投影系である。
ウェハステージ6、7はウェハ5を載置して移動する手段で、ウェハチャックを通して保持するZステージと、Zステージを支持するXYステージと、XYステージを支持するベースとを備えている。
ウェハステージ6、7は、図示されないリニアモータ等のウェハステージ駆動装置により姿勢を制御して駆動され、ウェハステージ駆動装置は図示されない制御装置により制御される。
また、ウェハステージ6、7上にはウェハステージ6、7と共に移動するミラー10b、10cが設けられている。
また、ミラー10b、10cに対向する位置にはレーザ干渉計11b、11c、12b、12cが設けられている。
ウェハステージ6、7のXY方向の位置、及びθZは、レーザ干渉計11b、11cによりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置に出力される。
また、ウェハステージ6、7のZ方向の位置、及びθX、θYについてはレーザ干渉計12b、12cによりリアルタイムで計測され、計測結果は制御装置に出力される。
これらレーザ干渉計11b、11c、12b、12cの計測結果に基づいてウェハステージ駆動装置を通してXYZステージを駆動し、ウェハ5のXYZ方向における位置を調整し、ウェハステージ6、7に支持されているウェハ5の位置決めを行う。
レチクルステージ4の近傍には、レチクルステージ4上に配置されているレチクル基準マーク13と投影光学系9とを通してウェハステージ6、7上のステージ基準プレート14を計測するレチクルアライメント計測系15aが設けられている。
このレチクルアライメント計測系15aは、ウェハ5を露光する光源と同一の光源を用い、投影光学系9を通してレチクル基準マーク13と、図2に示されるレチクルアライメント計測系用基準マーク19を照射している。
そして、レチクルアライメント計測系15aは、その反射光を計測するための例えばCCDカメラなどの光電変換素子を搭載して、この光電変換素子の信号を元に、レチクル3とウェハ5の位置合わせを行う。
この時、レチクル基準マーク13とレチクルアライメント計測系用基準マーク19の位置およびフォーカスを合わせることで、レチクル3と投影光学系9の光軸とステージの位置合わせをすることができる。
また、レチクルアライメント計測系15aにより計測する基準マーク19は反射型のマークでも良いし、透過型レチクルアライメント計測系15bを用いて透過型の基準マーク19を計測することもできる。
透過型レチクルアライメント計測系15bは、ウェハ5を露光する光源と同一の光源と、照明光学系8を用い、投影光学系9を通してレチクル基準マーク13とレチクルアライメント計測系用基準マーク19を照射する。
そして、透過型レチクルアライメント計測系15bは、その透過光を計測するための光量センサーなどを搭載している。
この時、ウェハステージ7をX方向(もしくはY方向)およびZ方向に駆動させながら透過光の光量を測定し光量が最大になる点を見つける。
これにより、レチクル基準マーク13とレチクルアライメント計測系用基準マーク19の位置およびフォーカスを合わせることができる。
このようにレチクルアライメント計測系15a、透過型レチクルアライメント計測系15bのどちらを用いても、レチクルと投影光学系の光軸とステージの位置合わせをすることができる。
このレチクルアライメント計測系15aは、ウェハ5を露光する光源と同一の光源を用い、投影光学系9を通してレチクル基準マーク13と、図2に示されるレチクルアライメント計測系用基準マーク19を照射している。
そして、レチクルアライメント計測系15aは、その反射光を計測するための例えばCCDカメラなどの光電変換素子を搭載して、この光電変換素子の信号を元に、レチクル3とウェハ5の位置合わせを行う。
この時、レチクル基準マーク13とレチクルアライメント計測系用基準マーク19の位置およびフォーカスを合わせることで、レチクル3と投影光学系9の光軸とステージの位置合わせをすることができる。
また、レチクルアライメント計測系15aにより計測する基準マーク19は反射型のマークでも良いし、透過型レチクルアライメント計測系15bを用いて透過型の基準マーク19を計測することもできる。
透過型レチクルアライメント計測系15bは、ウェハ5を露光する光源と同一の光源と、照明光学系8を用い、投影光学系9を通してレチクル基準マーク13とレチクルアライメント計測系用基準マーク19を照射する。
そして、透過型レチクルアライメント計測系15bは、その透過光を計測するための光量センサーなどを搭載している。
この時、ウェハステージ7をX方向(もしくはY方向)およびZ方向に駆動させながら透過光の光量を測定し光量が最大になる点を見つける。
これにより、レチクル基準マーク13とレチクルアライメント計測系用基準マーク19の位置およびフォーカスを合わせることができる。
このようにレチクルアライメント計測系15a、透過型レチクルアライメント計測系15bのどちらを用いても、レチクルと投影光学系の光軸とステージの位置合わせをすることができる。
ウェハステージ6、7の1つのコーナーにあるステージ基準プレート14とは、ウェハ5表面とほぼ同じ高さに設置されている。
このステージ基準プレート14には、ウェハライメント計測系17が計測する基準マーク18と、レチクルアライメント計測系15a、透過型レチクルアライメント計測系15bが計測する基準マーク19とを備えている。
また、ステージ基準プレート14はウェハステージ6、7の複数のコーナーに配置されていても良いし、1つのステージ基準プレート14が複数の基準マーク18、基準マーク19を含んでいても良い。
また、基準マーク18と基準マーク19との位置関係(XY方向)は既知であるとする。
なお、このウェハライメント計測系用基準マーク18とレチクルアライメント計測系用基準マーク19は共通のマークであっても良い。
面位置計測手段であるフォーカス計測系16は、基板であるウェハ5の表面位置を計測する手段である。
フォーカス計測系16は、複数の計測位置31を計測し、指定手段により計測位置31を選択する。
この複数の計測位置31は、ウェハステージ7の移動方向と直交する方向に等間隔に配置される。
フォーカス計測系16は計測光をウェハ5表面に投射する投射系とそのウェハ5からの反射光を受光する受光系とを備えており、フォーカス計測系16の計測結果は図示されない制御装置に出力される。
図示されない制御装置は、フォーカス計測系16の計測結果に基づいてZステージを駆動し、Zステージに保持されているウェハ5のZ軸方向における位置(フォーカス位置)及び傾斜角を調整することが可能である。
このステージ基準プレート14には、ウェハライメント計測系17が計測する基準マーク18と、レチクルアライメント計測系15a、透過型レチクルアライメント計測系15bが計測する基準マーク19とを備えている。
また、ステージ基準プレート14はウェハステージ6、7の複数のコーナーに配置されていても良いし、1つのステージ基準プレート14が複数の基準マーク18、基準マーク19を含んでいても良い。
また、基準マーク18と基準マーク19との位置関係(XY方向)は既知であるとする。
なお、このウェハライメント計測系用基準マーク18とレチクルアライメント計測系用基準マーク19は共通のマークであっても良い。
面位置計測手段であるフォーカス計測系16は、基板であるウェハ5の表面位置を計測する手段である。
フォーカス計測系16は、複数の計測位置31を計測し、指定手段により計測位置31を選択する。
この複数の計測位置31は、ウェハステージ7の移動方向と直交する方向に等間隔に配置される。
フォーカス計測系16は計測光をウェハ5表面に投射する投射系とそのウェハ5からの反射光を受光する受光系とを備えており、フォーカス計測系16の計測結果は図示されない制御装置に出力される。
図示されない制御装置は、フォーカス計測系16の計測結果に基づいてZステージを駆動し、Zステージに保持されているウェハ5のZ軸方向における位置(フォーカス位置)及び傾斜角を調整することが可能である。
図2を参照して、本実施例1のツインステージ型露光装置におけるアライメントおよびフォーカスの計測手順を説明する。
まず、アライメントの基準計測として、計測ステーション1へウェハ5が搬入された後に、ウェハライメント計測系用基準マーク18をウェハライメント計測系17で計測する。
次に、グローバルアライメントを行う。
アライメント計測系がショット領域6bの周辺にあるウェハライメントマーク20を複数個測定し、ウェハライメント計測系用基準マーク18からのウェハライメントマーク20までの距離を元にショットの座標を統計的に予測する。
この時、ウェハライメントマーク20の測定点数が多ければ多いほど、ショット座標の予測精度が上がることになる。
また、1点あたりの測定精度が高ければ高いほど同じくショット座標の予測精度が上がることになるので、露光の際の重ね合わせ精度は向上することになる。
次に、フォーカスの基準計測として、計測ステーション1においてフォーカス計測系16を用いてステージ基準プレート14を計測する。
この際、フォーカス計測系16は計測用マークをステージ基準プレート14上に投影してフォーカス計測を行う為、ステージ基準プレート14上の任意の場所を計測することが可能である。
この後、ウェハ5の表面内の各ショットに対するウェハ5の表面位置計測、所謂フォーカスマッピングを行いウェハ5の表面の凹凸をフォーカス計測系16にて実施する。
なお、この間、Z方向用レーザ干渉計12cはミラー10cを常に測定し続け、その距離が常に一定になるようにウェハステージ6の位置を制御する。
まず、アライメントの基準計測として、計測ステーション1へウェハ5が搬入された後に、ウェハライメント計測系用基準マーク18をウェハライメント計測系17で計測する。
次に、グローバルアライメントを行う。
アライメント計測系がショット領域6bの周辺にあるウェハライメントマーク20を複数個測定し、ウェハライメント計測系用基準マーク18からのウェハライメントマーク20までの距離を元にショットの座標を統計的に予測する。
この時、ウェハライメントマーク20の測定点数が多ければ多いほど、ショット座標の予測精度が上がることになる。
また、1点あたりの測定精度が高ければ高いほど同じくショット座標の予測精度が上がることになるので、露光の際の重ね合わせ精度は向上することになる。
次に、フォーカスの基準計測として、計測ステーション1においてフォーカス計測系16を用いてステージ基準プレート14を計測する。
この際、フォーカス計測系16は計測用マークをステージ基準プレート14上に投影してフォーカス計測を行う為、ステージ基準プレート14上の任意の場所を計測することが可能である。
この後、ウェハ5の表面内の各ショットに対するウェハ5の表面位置計測、所謂フォーカスマッピングを行いウェハ5の表面の凹凸をフォーカス計測系16にて実施する。
なお、この間、Z方向用レーザ干渉計12cはミラー10cを常に測定し続け、その距離が常に一定になるようにウェハステージ6の位置を制御する。
計測ステーション1でのアライメント、フォーカスマッピング計測が終了すると計測ステーションにあるウェハステージ6は露光ステーション側2に移動し、露光ステーション側にあるウェハステージ7は計測ステーション側1に移動する。
露光ステーション側に移動したウェハステージ6は、計測ステーションでウェハライメント計測系17を用いてウェハライメント計測系用基準マーク18を、レチクルアライメント計測系15aまたは透過型レチクルアライメント計測系15bを用いて計測する。
そして、この時の計測位置を基準としてグローバルアライメントで統計的に求めたショットの座標から各ショットの露光位置(XY方向)を算出する。
次に、レチクルアライメント計測系用基準マーク19を、レチクルアライメント計測系15aを用いて計測し、投影光学系9の焦点面をステージ基準プレート14に合わせる。
そして先程、計測ステーション1側で記憶したステージ基準プレート14とウェハ5の表面の凹凸の差分に基づいて、投影光学系9の焦点面とウェハ5の表面の合焦位置(Z方向)を算出する。
これらのアライメント、フォーカス計測により求めた各ショットにおける最適なXYZ位置となる様に、露光時のステージ位置をレーザ干渉計12b、レーザ干渉計11bを用いて制御しながら、露光シーケンスを開始する。
また、露光ステーション2で投影光学系9の焦点面とステージ基準プレート14を合わす為に、レチクルアライメント計測系用基準マーク19を計測するのは透過型レチクルアライメント計測系15bを用いても良い。
なお、この間もZ方向用レーザ干渉計12bはミラー10bを測定し続け、その距離が常に一定になるようにウェハステージ7の位置を制御する。
露光ステーション側に移動したウェハステージ6は、計測ステーションでウェハライメント計測系17を用いてウェハライメント計測系用基準マーク18を、レチクルアライメント計測系15aまたは透過型レチクルアライメント計測系15bを用いて計測する。
そして、この時の計測位置を基準としてグローバルアライメントで統計的に求めたショットの座標から各ショットの露光位置(XY方向)を算出する。
次に、レチクルアライメント計測系用基準マーク19を、レチクルアライメント計測系15aを用いて計測し、投影光学系9の焦点面をステージ基準プレート14に合わせる。
そして先程、計測ステーション1側で記憶したステージ基準プレート14とウェハ5の表面の凹凸の差分に基づいて、投影光学系9の焦点面とウェハ5の表面の合焦位置(Z方向)を算出する。
これらのアライメント、フォーカス計測により求めた各ショットにおける最適なXYZ位置となる様に、露光時のステージ位置をレーザ干渉計12b、レーザ干渉計11bを用いて制御しながら、露光シーケンスを開始する。
また、露光ステーション2で投影光学系9の焦点面とステージ基準プレート14を合わす為に、レチクルアライメント計測系用基準マーク19を計測するのは透過型レチクルアライメント計測系15bを用いても良い。
なお、この間もZ方向用レーザ干渉計12bはミラー10bを測定し続け、その距離が常に一定になるようにウェハステージ7の位置を制御する。
次に、本実施例1のツインステージ型露光装置の計測ステーション1について詳述する。
計測ステーション1にてフォーカスマッピング計測を行うフォーカス計測系16は、図4に示されるようにウェハステージ6がスキャン露光時に移動する露光スキャン方向6aと直交する方向に複数の計測位置31が設けられる。図4では5箇所の計測位置31が一列に配置されている。
この複数の計測位置31は、様々な露光ショットサイズあるいはチップの配置に対応するために、等間隔で、可能な限り間隔を狭く配置したほうがよい。
この1つの計測位置31はスリット状のマークから構成されており、このマークは、ウェハ6上に塗布されたフォトレジストに感光しないように、LED(レーザ発光ダイオード)光などの非露光光を用いて、投影光学系9からウェハ6上に結像されている。
ウェハ上で結像したマークは、反射して受光系に入射して、光電変換素子(例えば、CCD)上に再結像される。
計測原理としては、ウェハが上下すると、光電変換素子上に結像したマークも移動するので、この光電変換素子上での移動量からウェハの位置を画像処理により算出している。
ウェハステージ6のスキャン露光時に移動する方向と直交する方向に複数個並んでいる計測位置31は、ウェハステージ6の移動速度と共に一定のタイミングで計測することで、ウェハ5全面を計測し、ウェハ5の表面形状を算出している。
ここで、計測ピッチsと、ステージ速度v、計測タイミングtとの関係は、s=v×tであり、計測タイミングtを変えることにより、ウェハ5上での計測位置31の位置を変えることが可能である。
計測ステーション1にてフォーカスマッピング計測を行うフォーカス計測系16は、図4に示されるようにウェハステージ6がスキャン露光時に移動する露光スキャン方向6aと直交する方向に複数の計測位置31が設けられる。図4では5箇所の計測位置31が一列に配置されている。
この複数の計測位置31は、様々な露光ショットサイズあるいはチップの配置に対応するために、等間隔で、可能な限り間隔を狭く配置したほうがよい。
この1つの計測位置31はスリット状のマークから構成されており、このマークは、ウェハ6上に塗布されたフォトレジストに感光しないように、LED(レーザ発光ダイオード)光などの非露光光を用いて、投影光学系9からウェハ6上に結像されている。
ウェハ上で結像したマークは、反射して受光系に入射して、光電変換素子(例えば、CCD)上に再結像される。
計測原理としては、ウェハが上下すると、光電変換素子上に結像したマークも移動するので、この光電変換素子上での移動量からウェハの位置を画像処理により算出している。
ウェハステージ6のスキャン露光時に移動する方向と直交する方向に複数個並んでいる計測位置31は、ウェハステージ6の移動速度と共に一定のタイミングで計測することで、ウェハ5全面を計測し、ウェハ5の表面形状を算出している。
ここで、計測ピッチsと、ステージ速度v、計測タイミングtとの関係は、s=v×tであり、計測タイミングtを変えることにより、ウェハ5上での計測位置31の位置を変えることが可能である。
このため、図5(a)に示されるように、露光ショットサイズ30に応じて、任意に計測開始位置36を選択することも可能であり、計測時間が処理能力時間内であれば、計測タイミングを調整して、任意に設定した計測ピッチで計測することも可能である。
例えば、図5(b)に示されるように、ショット内の計測開始位置36と計測終了位置37をショット境界から等間隔にして、その間の計測位置31は、計測位置数を決めて等間隔で計測することも可能である。
また、スループットは低下するが、ステージ速度を下げて、微細ピッチで計測し、高精度にウェハ5の表面形状を算出することも可能である。
また、図5(c)に示されるように、一つのショット内に複数のチップ34,35を配置する場合、計測位置31がチップ34,35間の境界であるスクライブ領域32と重なることもある。
フォーカス計測系16の計測位置31がスクライブ領域32と重なった場合には、チップ内領域とスクライブ領域32の高さが異なるために計測誤差が発生する。
この場合も、計測タイミングを変えることで、スクライブ領域32上は計測しないことも可能である。
例えば、図5(b)に示されるように、ショット内の計測開始位置36と計測終了位置37をショット境界から等間隔にして、その間の計測位置31は、計測位置数を決めて等間隔で計測することも可能である。
また、スループットは低下するが、ステージ速度を下げて、微細ピッチで計測し、高精度にウェハ5の表面形状を算出することも可能である。
また、図5(c)に示されるように、一つのショット内に複数のチップ34,35を配置する場合、計測位置31がチップ34,35間の境界であるスクライブ領域32と重なることもある。
フォーカス計測系16の計測位置31がスクライブ領域32と重なった場合には、チップ内領域とスクライブ領域32の高さが異なるために計測誤差が発生する。
この場合も、計測タイミングを変えることで、スクライブ領域32上は計測しないことも可能である。
また、シングルステージ構成の場合は、露光直前にウェハ5の表面のフォーカス計測を実施して、露光処理を行う露光装置においては、ウェハ5上の露光エリア内にフォーカス計測系16の計測位置31が配置され、計測位置31は露光エリアに対して固定される。
この場合、常に、露光エリア40内の決められた位置をフォーカス計測系16にて計測することとなる。
このため、図6(a)に示されるように、露光ショットサイズ30によっては、フォーカス計測系16の計測位置31が、露光ショットの境界線であるスクライブ領域32と重なることもある。
この場合、両脇のスクライブ領域32と重なった計測位置31a,31aは、計測誤差の原因になるので、通常5箇所の計測位置31が実質3箇所になってしまい、斜線領域が、未計測領域33になってしまう。
未計測領域33は、特に、θY方向のレベリング精度に影響し、計測位置のスパンpの割合で計測精度が低下する。
または、図6(b)に示されるように、一つのショット内に複数のチップ38,39を配置する場合も、計測位置31bが、チップ間38,39のスクライブ領域32と重なることもある。
以上の場合においても、本実施例1のツインステージ型露光装置においては、ウェハ5の表面形状を事前に計測することが可能である。
このため、ウェハステージ7の位置を調整して、ショットに対するフォーカス計測系16の計測位置31の位置を調整することが可能である。
よって、図6(a)では、ウェハステージ7を矢印方向41に移動することによって、図6(c)のように、スクライブ領域32と重なっていた実質3箇所だった計測位置31を4箇所にすることができる。
また、図6(b)でも同様に、ウェハステージ7を矢印方向41に移動することによって、スクライブ領域32と重なっていた計測位置31を図6(d)に示されるようにチップ38,39の領域内に配置することができる。
以上のように、ウェハステージ7の位置を調整することにより、スクライブ領域32と重なる計測位置31を極力少なくし、ショット内に配置できる計測位置31を可能な限り多くすることが可能である。
この場合、常に、露光エリア40内の決められた位置をフォーカス計測系16にて計測することとなる。
このため、図6(a)に示されるように、露光ショットサイズ30によっては、フォーカス計測系16の計測位置31が、露光ショットの境界線であるスクライブ領域32と重なることもある。
この場合、両脇のスクライブ領域32と重なった計測位置31a,31aは、計測誤差の原因になるので、通常5箇所の計測位置31が実質3箇所になってしまい、斜線領域が、未計測領域33になってしまう。
未計測領域33は、特に、θY方向のレベリング精度に影響し、計測位置のスパンpの割合で計測精度が低下する。
または、図6(b)に示されるように、一つのショット内に複数のチップ38,39を配置する場合も、計測位置31bが、チップ間38,39のスクライブ領域32と重なることもある。
以上の場合においても、本実施例1のツインステージ型露光装置においては、ウェハ5の表面形状を事前に計測することが可能である。
このため、ウェハステージ7の位置を調整して、ショットに対するフォーカス計測系16の計測位置31の位置を調整することが可能である。
よって、図6(a)では、ウェハステージ7を矢印方向41に移動することによって、図6(c)のように、スクライブ領域32と重なっていた実質3箇所だった計測位置31を4箇所にすることができる。
また、図6(b)でも同様に、ウェハステージ7を矢印方向41に移動することによって、スクライブ領域32と重なっていた計測位置31を図6(d)に示されるようにチップ38,39の領域内に配置することができる。
以上のように、ウェハステージ7の位置を調整することにより、スクライブ領域32と重なる計測位置31を極力少なくし、ショット内に配置できる計測位置31を可能な限り多くすることが可能である。
本実施例1の露光装置においては、上述したウェハ5の表面位置を事前に計測するフォーカスマッピング計測のメリットを生かし、ウェハ5上の露光ショットに対するフォーカス計測系16の計測位置31を指定する指定手段を有している。
この指定手段は、表面形状の計測のためにウェハ5の表面位置を計測する場合に、レチクル3のパターンのサイズに応じて、基板上であるウェハ5上の複数の計測位置をウェハステージ7またはフォーカス計測系16に指定する手段である。
または、この指定手段は、表面形状の計測のためにウェハ5の表面位置を計測する場合に、レチクル3におけるチップの配置に応じて、ウェハ5上の複数の計測位置をウェハステージ7またはフォーカス計測系16に指定する手段である。
この指定手段は、フォーカス計測系16が設けている計測位置の配置レイアウトと計測時のウェハステージ6の速度を登録しておき、露光ショットサイズあるいはチップの配置情報から、フォーカス計測系16の計測位置を指定する処理系である。
この処理系では、露光ショットサイズあるいはチップの配置情報から、チップ間の境界線であるスクライブ領域に、フォーカス計測系16の計測位置が重ならないように計測位置の位置を指定することができる。
露光ショットに対する計測位置が決定した場合、実際に指定された計測位置で面位置計測手段であるフォーカス計測系16による計測が行われるようにウェハステージ7の移動を制御する調整手段を設けている。
ここで、指定された前記計測位置は、ウェハステージ7の移動方向と直交する方向にウェハステージ7は位置調整される。
または、調整手段は、指定された計測位置で面位置計測手段であるフォーカス計測系16による計測が行われるようにウェハステージ7の移動速度に応じてフォーカス計測系16の計測タイミングを調整する手段である。
この調整手段は、非スキャン方向には、ウェハステージ7の位置を調整し、スキャン方向には、フォーカス計測系16の計測タイミングを調整することにより、処理系にて指定された計測位置に計測位置を位置調整する制御系である。
この指定手段は、表面形状の計測のためにウェハ5の表面位置を計測する場合に、レチクル3のパターンのサイズに応じて、基板上であるウェハ5上の複数の計測位置をウェハステージ7またはフォーカス計測系16に指定する手段である。
または、この指定手段は、表面形状の計測のためにウェハ5の表面位置を計測する場合に、レチクル3におけるチップの配置に応じて、ウェハ5上の複数の計測位置をウェハステージ7またはフォーカス計測系16に指定する手段である。
この指定手段は、フォーカス計測系16が設けている計測位置の配置レイアウトと計測時のウェハステージ6の速度を登録しておき、露光ショットサイズあるいはチップの配置情報から、フォーカス計測系16の計測位置を指定する処理系である。
この処理系では、露光ショットサイズあるいはチップの配置情報から、チップ間の境界線であるスクライブ領域に、フォーカス計測系16の計測位置が重ならないように計測位置の位置を指定することができる。
露光ショットに対する計測位置が決定した場合、実際に指定された計測位置で面位置計測手段であるフォーカス計測系16による計測が行われるようにウェハステージ7の移動を制御する調整手段を設けている。
ここで、指定された前記計測位置は、ウェハステージ7の移動方向と直交する方向にウェハステージ7は位置調整される。
または、調整手段は、指定された計測位置で面位置計測手段であるフォーカス計測系16による計測が行われるようにウェハステージ7の移動速度に応じてフォーカス計測系16の計測タイミングを調整する手段である。
この調整手段は、非スキャン方向には、ウェハステージ7の位置を調整し、スキャン方向には、フォーカス計測系16の計測タイミングを調整することにより、処理系にて指定された計測位置に計測位置を位置調整する制御系である。
次に、図7、8を用いて本実施例1の処理フローについて説明する。
まず、露光装置の入力装置51であるモニター上からレチクル情報である露光ショットサイズあるいはチップの配置情報を入力する。(ステップs101)
一度入力されたデータは、露光装置の記憶装置(不図示)に記憶され、レチクルIDから、記憶されているデータを読み出すことも可能である。
記憶装置に登録されたレチクル情報は、記憶装置から計測位置処理系52へ転送される。
フォーカス計測系16の情報である計測位置サイズ、計測位置配置、計測時間などの情報は、事前に計測位置処理系52に登録されている。
また、ウェハステージ7の情報である計測時のステージ速度も、計測位置処理系52に登録されている。
次に、計測位置処理系にて、上述した様々な情報を加味して、ショット内に配置される計測位置が最も多くなり、スクライブ領域に計測位置が極力、重ならない条件を決定する。(ステップs102)
もし、スクライブ領域と重なってしまう計測位置が生じた場合には、その計測位置の計測可否を選択できる機能を設けている。
通常、スクライブ領域と重なった計測位置は、計測誤差が発生するため、計測値を無効にした方が、他の計測位置と共に近似平面を算出する際の誤差を低減できるからである。
次に、計測位置処理系52にて決定した計測位置情報が計測位置制御系53に転送されて、決定した計測位置になるように、計測タイミング、計測開始位置などの調整条件を算出する。(ステップs103)
そして、計測位置制御系53にて算出された調整条件に、フォーカス計測系16、ウェハステージ7を調整しながら、フォーカスマッピング計測を行う。
また、調整方法は、スキャン方向には、露光ショットに対する計測開始位置とフォーカス計測系16の計測タイミングを調整し、非スキャン方向には、ステージにより露光ショットに対する計測位置の位置を調整する。
なお、以上の説明では、フォーカス計測系16の計測位置は、計測位置処理系52に、登録されている条件により自動で計測位置を決定しているが、手動にて任意に設定することも可能である。
この場合は、入力装置51であるモニター上に計測位置を直接入力し、その情報が直接、計測位置制御系53に転送され、フォーカスマッピング計測を行う。
まず、露光装置の入力装置51であるモニター上からレチクル情報である露光ショットサイズあるいはチップの配置情報を入力する。(ステップs101)
一度入力されたデータは、露光装置の記憶装置(不図示)に記憶され、レチクルIDから、記憶されているデータを読み出すことも可能である。
記憶装置に登録されたレチクル情報は、記憶装置から計測位置処理系52へ転送される。
フォーカス計測系16の情報である計測位置サイズ、計測位置配置、計測時間などの情報は、事前に計測位置処理系52に登録されている。
また、ウェハステージ7の情報である計測時のステージ速度も、計測位置処理系52に登録されている。
次に、計測位置処理系にて、上述した様々な情報を加味して、ショット内に配置される計測位置が最も多くなり、スクライブ領域に計測位置が極力、重ならない条件を決定する。(ステップs102)
もし、スクライブ領域と重なってしまう計測位置が生じた場合には、その計測位置の計測可否を選択できる機能を設けている。
通常、スクライブ領域と重なった計測位置は、計測誤差が発生するため、計測値を無効にした方が、他の計測位置と共に近似平面を算出する際の誤差を低減できるからである。
次に、計測位置処理系52にて決定した計測位置情報が計測位置制御系53に転送されて、決定した計測位置になるように、計測タイミング、計測開始位置などの調整条件を算出する。(ステップs103)
そして、計測位置制御系53にて算出された調整条件に、フォーカス計測系16、ウェハステージ7を調整しながら、フォーカスマッピング計測を行う。
また、調整方法は、スキャン方向には、露光ショットに対する計測開始位置とフォーカス計測系16の計測タイミングを調整し、非スキャン方向には、ステージにより露光ショットに対する計測位置の位置を調整する。
なお、以上の説明では、フォーカス計測系16の計測位置は、計測位置処理系52に、登録されている条件により自動で計測位置を決定しているが、手動にて任意に設定することも可能である。
この場合は、入力装置51であるモニター上に計測位置を直接入力し、その情報が直接、計測位置制御系53に転送され、フォーカスマッピング計測を行う。
以上説明したように、本実施例1のツインステージ型露光装置において、露光ショットサイズまたはチップの配置に応じて、フォーカス計測系16の計測位置31の位置を指定することにより、正確なウェハ5の表面形状の計測が可能になる。
本実施例1によれば、露光ショットサイズに応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置にステージを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して、ウェハステージの位置を調整することで、面位置計測装置の計測位置に可変機構を設けなくても、露光ショットサイズに応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
さらに、露光ショットサイズに応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置に面位置計測手段の計測タイミングを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して面位置計測手段の計測タイミングを調整することで、面位置計測手段の計測位置に可変機構を設けなくても、露光ショットサイズに応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
さらに、チップの配置に応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置にステージを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して、面位置計測手段の計測タイミングを調整することで、面位置計測手段の計測位置に可変機構を設けなくても、チップの配置に応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
さらに、チップの配置に応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置に面位置計測手段の計測タイミングを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して面位置計測手段の計測タイミングを調整することで、面位置計測手段の計測位置に可変機構を設けなくても、チップの配置に応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
本実施例1によれば、露光ショットサイズに応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置にステージを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して、ウェハステージの位置を調整することで、面位置計測装置の計測位置に可変機構を設けなくても、露光ショットサイズに応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
さらに、露光ショットサイズに応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置に面位置計測手段の計測タイミングを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して面位置計測手段の計測タイミングを調整することで、面位置計測手段の計測位置に可変機構を設けなくても、露光ショットサイズに応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
さらに、チップの配置に応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置にステージを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して、面位置計測手段の計測タイミングを調整することで、面位置計測手段の計測位置に可変機構を設けなくても、チップの配置に応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
さらに、チップの配置に応じて、ウェハに対する面位置計測手段の計測位置の位置を指定することができ、指定された位置に面位置計測手段の計測タイミングを調整して、ウェハ表面位置を計測することができる。
従って、面位置計測手段の計測位置に対して面位置計測手段の計測タイミングを調整することで、面位置計測手段の計測位置に可変機構を設けなくても、チップの配置に応じて最適な計測位置での計測が可能になる。
次に、図9を参照して、本発明の実施例2のシングルステージ型液浸露光装置について説明する。
液浸型露光装置とは、投影光学系9とウェハ5との間の少なくとも一部を屈折率が1よりも大きい液体50で浸してN.A.の増大を図ることにより、解像力の向上を図る露光装置である。
この本実施例2の液浸露光装置においては、ウェハ5と投影光学系9のウェハ5側先端面を構成する光学素子との間の空間に、フォトレジスト層の屈折率に近い屈折率を有する液体50が充填されている。
これにより、ウェハ5側から見た投影光学系9の有効開口数が増加し、解像力を向上させることができる。
この本実施例2の液浸露光装置は、使用する液体50を選択することによって、良好な焼き付け性能を獲得できる。
通常のシングルステージ型露光装置ではグローバルアライメントを行った後に露光と同時に先読みのフォーカス系でフォーカス位置の追い込みを行う。
しかし、液浸露光装置では、露光する前にウェハ5と投影光学系9の間をフォトレジスト層の屈折率に近い屈折率を有する液体50で浸すために、フォーカス計測系16がフォトレジスト層の凹凸情報を計測することができなくなる。
つまり、シングルステージ型液浸露光装置では露光と同時にショットのフォーカス計測を行うことができないので、露光前に予めフォーカスマッピングを行っておく必要がある。
なお、ウェハ5と投影光学系9の間を浸す液体50は、液体供給装置21によって露光前に供給され、露光後に液体回収装置22によって回収される。
そこで、本実施例2のシングルステージ型液浸露光装置の場合は、露光の前にフォーカスマッピングとグローバルアライメントを行う。
その後に液体供給装置21がウェハ5と投影光学系9の間に液体50を供給しショットの露光を行い、露光後に液体回収装置22が液体50を回収する。以上のようなシーケンスを取る必要がある。
この場合においても、本実施例1のツインステージ型露光装置と同様に、露光前にウェハの表面位置を事前に計測することができる。
よって、本実施例1で説明した場合と同様に、露光ショットサイズまたはチップの配置に応じて、フォーカス計測系16の計測位置31の位置を指定することにより、正解なウェハ5の表面形状の計測が可能になる。
本発明の実施例は、基板であるウェハ5の表面形状を予め計測し、ウェハ5の計測データを基にウェハ5を載置するウェハステージ7の姿勢を制御し、基板上であるウェハ5上に原版であるレチクル3のパターンを露光する全ての露光装置に適用される。
すなわち、ツインステージ型露光装置の計測ステーションでの適用に限らず、例えばシングルステージ型液浸露光装置など、露光前にウェハ表面形状の計測を予め行う必要がある全ての露光装置に適用することができる。
液浸型露光装置とは、投影光学系9とウェハ5との間の少なくとも一部を屈折率が1よりも大きい液体50で浸してN.A.の増大を図ることにより、解像力の向上を図る露光装置である。
この本実施例2の液浸露光装置においては、ウェハ5と投影光学系9のウェハ5側先端面を構成する光学素子との間の空間に、フォトレジスト層の屈折率に近い屈折率を有する液体50が充填されている。
これにより、ウェハ5側から見た投影光学系9の有効開口数が増加し、解像力を向上させることができる。
この本実施例2の液浸露光装置は、使用する液体50を選択することによって、良好な焼き付け性能を獲得できる。
通常のシングルステージ型露光装置ではグローバルアライメントを行った後に露光と同時に先読みのフォーカス系でフォーカス位置の追い込みを行う。
しかし、液浸露光装置では、露光する前にウェハ5と投影光学系9の間をフォトレジスト層の屈折率に近い屈折率を有する液体50で浸すために、フォーカス計測系16がフォトレジスト層の凹凸情報を計測することができなくなる。
つまり、シングルステージ型液浸露光装置では露光と同時にショットのフォーカス計測を行うことができないので、露光前に予めフォーカスマッピングを行っておく必要がある。
なお、ウェハ5と投影光学系9の間を浸す液体50は、液体供給装置21によって露光前に供給され、露光後に液体回収装置22によって回収される。
そこで、本実施例2のシングルステージ型液浸露光装置の場合は、露光の前にフォーカスマッピングとグローバルアライメントを行う。
その後に液体供給装置21がウェハ5と投影光学系9の間に液体50を供給しショットの露光を行い、露光後に液体回収装置22が液体50を回収する。以上のようなシーケンスを取る必要がある。
この場合においても、本実施例1のツインステージ型露光装置と同様に、露光前にウェハの表面位置を事前に計測することができる。
よって、本実施例1で説明した場合と同様に、露光ショットサイズまたはチップの配置に応じて、フォーカス計測系16の計測位置31の位置を指定することにより、正解なウェハ5の表面形状の計測が可能になる。
本発明の実施例は、基板であるウェハ5の表面形状を予め計測し、ウェハ5の計測データを基にウェハ5を載置するウェハステージ7の姿勢を制御し、基板上であるウェハ5上に原版であるレチクル3のパターンを露光する全ての露光装置に適用される。
すなわち、ツインステージ型露光装置の計測ステーションでの適用に限らず、例えばシングルステージ型液浸露光装置など、露光前にウェハ表面形状の計測を予め行う必要がある全ての露光装置に適用することができる。
次に、図10及び図11を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図10は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
露光装置を用いてウェハを露光する工程と、前記ウェハを現像する工程とを備え、具体的には、以下の工程から成る。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。
ステップ3(ウェハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
ステップ4(ウェハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウェハ上に実際の回路を形成する。
ステップ5(組立)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。
ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
図10は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
露光装置を用いてウェハを露光する工程と、前記ウェハを現像する工程とを備え、具体的には、以下の工程から成る。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。
ステップ3(ウェハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
ステップ4(ウェハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウェハ上に実際の回路を形成する。
ステップ5(組立)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。
ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
図11は、ステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。
ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップ13(電極形成)では、ウェハに電極を形成する。
ステップ14(イオン打込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。
ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。
ステップ16(露光)では、露光装置によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。
ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。
ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。
ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップ13(電極形成)では、ウェハに電極を形成する。
ステップ14(イオン打込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。
ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。
ステップ16(露光)では、露光装置によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。
ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。
ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
1: 計測ステーション 2: 露光ステーション
3: レチクル 4: レチクルステージ
5: ウェハ 6: ウェハステージ
7: ウェハステージ 8: 照明光学系
9: 投影光学系
10a: レチクルステージ上ミラー
10b: 露光ステーション上ミラー
10c: 計測ステーション上ミラー
11a: レチクルステージ上ミラー計測用XY方向用レーザ干渉計
11b: 露光ステーション上ミラー計測用XY方向用レーザ干渉計
11c: 計測ステーション上ミラー計測用XY方向用レーザ干渉計
12b: 露光ステーション上ミラー計測用Z方向用レーザ干渉計
12c: 計測ステーション上ミラー計測用Z方向用レーザ干渉計
13: レチクル基準マーク 14: ステージ基準プレート
15a: レチクルアライメント計測系
15b: 透過型レチクルアライメント計測系
16: フォーカス計測系 17: ウェハライメント計測系
18: ウェハライメント計測系用基準マーク
19: レチクルアライメント計測系用基準マーク
20: ウェハライメントマーク 21: 液体供給装置
22: 液体回収装置 51: 入力装置
52: 計測位置処理系
53: 計測位置制御系
3: レチクル 4: レチクルステージ
5: ウェハ 6: ウェハステージ
7: ウェハステージ 8: 照明光学系
9: 投影光学系
10a: レチクルステージ上ミラー
10b: 露光ステーション上ミラー
10c: 計測ステーション上ミラー
11a: レチクルステージ上ミラー計測用XY方向用レーザ干渉計
11b: 露光ステーション上ミラー計測用XY方向用レーザ干渉計
11c: 計測ステーション上ミラー計測用XY方向用レーザ干渉計
12b: 露光ステーション上ミラー計測用Z方向用レーザ干渉計
12c: 計測ステーション上ミラー計測用Z方向用レーザ干渉計
13: レチクル基準マーク 14: ステージ基準プレート
15a: レチクルアライメント計測系
15b: 透過型レチクルアライメント計測系
16: フォーカス計測系 17: ウェハライメント計測系
18: ウェハライメント計測系用基準マーク
19: レチクルアライメント計測系用基準マーク
20: ウェハライメントマーク 21: 液体供給装置
22: 液体回収装置 51: 入力装置
52: 計測位置処理系
53: 計測位置制御系
Claims (9)
- 基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - 基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して、前記基板上にショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズに応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、
前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動速度に応じて前記面位置計測手段の計測タイミングを制御する手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - 基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して、前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版のパターンにおけるチップの配置に応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、
前記指定した複数の計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動を制御する手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - 基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して、前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版のパターンにおけるチップの配置に応じて、前記基板上の前記複数の計測位置を指定する指定手段と、
前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように前記ステージの移動速度に応じて前記面位置計測手段の計測タイミングを制御する手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - 前記指定した複数の計測位置は、前記ステージの移動方向と直交する方向に位置調整されることを特徴とする請求項1または3に記載の露光装置。
- 前記面位置計測手段は、前記複数の計測位置を計測し、前記指定手段により前記計測位置を選択することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記複数の計測位置は、前記ステージの移動方向と直交する方向に等間隔に配置されることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 基板の表面形状を計測し、該計測の結果に基づいて、前記基板を載置して移動するステージの姿勢を制御して前記基板上のショット領域に原版のパターンを露光する露光装置において、
前記基板の表面位置を計測する面位置計測手段と、
前記表面形状の計測のために前記基板上の複数の計測位置の表面位置を計測する場合に、前記原版の前記パターンのサイズおよび前記パターンにおけるチップの配置の少なくとも一つに応じて前記基板上の前記複数の計測位置を指定する手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - 前記指定した計測位置で前記面位置計測手段による計測が行なわれるように、前記ステージの移動速度と前記面位置計測手段の計測タイミングとを制御する手段を有することを特徴とする請求項8に記載の露光装置。
請求項1から9のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007268425A JP2009099694A (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007268425A JP2009099694A (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009099694A true JP2009099694A (ja) | 2009-05-07 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007268425A Pending JP2009099694A (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
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2007
- 2007-10-15 JP JP2007268425A patent/JP2009099694A/ja active Pending
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