JPWO2006109678A1 - 電子部品の製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
略円柱状を呈してなり、その外周面に上記ベース回路シートを連続的に保持しながら回転するように構成したアンビルローラ及び、上記インターポーザを保持し、上記アンビルローラの外周面に略外接する軌跡円上で上記インターポーザを周回させるように構成したエンドエフェクタを有し、上記ベース側端子と上記インターポーザ側端子とが対面するよう、上記ベース回路シートの表面に上記インターポーザを配置するように構成したコンバータユニットと、
上記コンバータユニットに向けて上記インターポーザを連続的に供給するように構成したインターポーザ供給ユニットとを有しており、
該インターポーザ供給ユニットは、上記インターポーザを保持するキャリアを有しており、該キャリアを介して上記インターポーザを搬送するように構成してあることを特徴とする電子部品の製造装置にある。
2 インターポーザ供給ユニット
21 キャリア
3 コンバータユニット
35 アンビルローラ
371〜376 エンドエフェクタ
4 プレスユニット
5 RF−IDメディア(電子部品)
50 インターポーザ
51 ICチップ(半導体チップ)
53 チップ保持部材
530 チップ保持部材
60 ベース回路シート
61 ベース部材
610 連続ベース部材
7 インターポーザカッティングユニット
8 トランスポータユニット
9 キャリア配置ユニット
上記キャリア配置ユニットが配置した上記各キャリアに上記インターポーザを移載するように構成したトランスポータユニットとを有してなることが好ましい。
上記トランスポータユニットは、上記キャリアと係合して該キャリアの位置を調整するように構成した係合部を備えており、かつ、上記各キャリアへの上記インターポーザの移載を時間的に並行して実施するように構成してあることが好ましい。
上記トランスポータユニットは、上記インターポーザカッティングユニットが切り出した上記インターポーザのうち、上記行又は列に沿って略一直線上に配置された2以上の複数のインターポーザを、上記キャリアにそれぞれ移載するように構成してあることが好ましい。
本例は、半導体チップ51を実装したシート片状のインターポーザ50を利用した電子部品5を作製する製造装置に関する例である。この内容について、図1〜図24を用いて説明する。
本例の電子部品の製造装置1は、図1〜図3に示すごとく、シート状のチップ保持部材53に半導体チップ51を実装してなると共に該半導体チップ51から延設された接続端子であるインターポーザ側端子52を有するインターポーザ50を、シート状のベース部材61よりなり、その表面にベース側端子62を設けたベース回路シート60に接合した電子部品5を作製するための装置である。
また、インターポーザ供給ユニット2は、インターポーザ50を保持するキャリア21を有しており、該キャリア21を介してインターポーザ50を搬送するように構成してある。
以下に、この内容について詳しく説明する。
この電子部品の製造装置1は、図1及び図2に示すごとく、上記コンバータユニット3及び上記インターポーザ供給ユニット2のほか、ICチップ51を2次元的に配置した大判のチップ保持部材530からインターポーザ50を切り出すインターポーザカッティングユニット7と、インターポーザ50を引き渡した後の空のキャリア21を回収して配置するキャリア配置ユニット9と、インターポーザカッティングユニット7からインターポーザ50を受け取りキャリア21に移載するトランスポータユニット8と、ベース回路シート60に対してインターポーザ50を加圧して接合するように構成したプレスユニット4とを有している。
この回転翼920は、上記略円柱形状空間の軸芯を回転軸として回転するように構成してある。そして、回転翼920における外周側に突出する4カ所の翼端921が、レボルバハウジング910の内周面に近接するように構成してある。そして、回転翼920が、その回転に伴って、レボルバハウジング910の内周面に沿って周方向に、複数のキャリア21を並行して前進させるように構成してある。
なお、ここで、キャリア配置ユニット9が、キャリア21を略一直線上に配置する工程の内容については、使用済みの空のキャリア21の回収動作と併せて後で詳しく説明する。
Claims (11)
- シート状のチップ保持部材に半導体チップを実装してなると共に該半導体チップから延設された接続端子であるインターポーザ側端子を有するインターポーザを、シート状のベース部材よりなり、その表面にベース側端子を設けたベース回路シートに接合した電子部品を作製するための電子部品の製造装置であって、
略円柱状を呈してなり、その外周面に上記ベース回路シートを連続的に保持しながら回転するように構成したアンビルローラ及び、上記インターポーザを保持し、上記アンビルローラの外周面に略外接する軌跡円上で上記インターポーザを周回させるように構成したエンドエフェクタを有し、上記ベース側端子と上記インターポーザ側端子とが対面するよう、上記ベース回路シートの表面に上記インターポーザを配置するように構成したコンバータユニットと、
上記コンバータユニットに向けて上記インターポーザを連続的に供給するように構成したインターポーザ供給ユニットとを有しており、
該インターポーザ供給ユニットは、上記インターポーザを保持するキャリアを有しており、該キャリアを介して上記インターポーザを搬送するように構成してあることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項1において、上記インターポーザ供給ユニットは、上記キャリアを搬送するコンベアベルトと、隣り合う上記キャリアの搬送間隔を調整するように構成したインターバル調整機構とを備えていることを特徴とする電子部品の製造装置。
- 請求項1において、上記電子部品の製造装置は、上記インターポーザを上記エンドエフェクタに引き渡した後の空の上記キャリアを回収して配置するように構成したキャリア配置ユニットと、
上記キャリア配置ユニットが配置した上記各キャリアに上記インターポーザを移載するように構成したトランスポータユニットとを有してなることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項2において、上記電子部品の製造装置は、上記インターポーザを上記エンドエフェクタに引き渡した後の空の上記キャリアを回収して配置するように構成したキャリア配置ユニットと、
上記キャリア配置ユニットが配置した上記各キャリアに上記インターポーザを移載するように構成したトランスポータユニットとを有してなることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項3において、上記キャリア配置ユニットは、互いに間隙を設けて上記各キャリアを配置するように構成してあり、
上記トランスポータユニットは、上記キャリアと係合して該キャリアの位置を調整するように構成した係合部を備えており、かつ、上記各キャリアへの上記インターポーザの移載を時間的に並行して実施するように構成してあることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項4において、上記キャリア配置ユニットは、互いに間隙を設けて上記各キャリアを配置するように構成してあり、
上記トランスポータユニットは、上記キャリアと係合して該キャリアの位置を調整するように構成した係合部を備えており、かつ、上記各キャリアへの上記インターポーザの移載を時間的に並行して実施するように構成してあることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項3において、上記電子部品の製造装置は、2以上の複数の行と2以上の複数の列とが形成されるように2次元的に上記半導体チップを実装した大判の上記チップ保持部材を基にして、上記半導体チップの2次元的な配置が維持されるように個々の上記インターポーザを切り出すインターポーザカッティングユニットを有しており、
上記トランスポータユニットは、上記インターポーザカッティングユニットが切り出した上記インターポーザのうち、上記行又は列に沿って略一直線上に配置された2以上の複数のインターポーザを、上記キャリアにそれぞれ移載するように構成してあることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項4において、上記電子部品の製造装置は、2以上の複数の行と2以上の複数の列とが形成されるように2次元的に上記半導体チップを実装した大判の上記チップ保持部材を基にして、上記半導体チップの2次元的な配置が維持されるように個々の上記インターポーザを切り出すインターポーザカッティングユニットを有しており、
上記トランスポータユニットは、上記インターポーザカッティングユニットが切り出した上記インターポーザのうち、上記行又は列に沿って略一直線上に配置された2以上の複数のインターポーザを、上記キャリアにそれぞれ移載するように構成してあることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 請求項7において、上記電子部品の製造装置は、不良品である上記インターポーザを検出すると共に、上記コンバータユニットに対して良品である上記インターポーザのみを選択的に供給するように構成したインターポーザ選別機構を備えていることを特徴とする電子部品の製造装置。
- 請求項8において、上記電子部品の製造装置は、不良品である上記インターポーザを検出すると共に、上記コンバータユニットに対して良品である上記インターポーザのみを選択的に供給するように構成したインターポーザ選別機構を備えていることを特徴とする電子部品の製造装置。
- 請求項1〜10のいずれか1項において、上記半導体チップは、RF−IDメディア用のICチップであり、上記ベース回路シートには、上記ICチップと電気的に接続されるアンテナパターンを設けてあることを特徴とする電子部品の製造装置。
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