JPWO2006070580A1 - オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1光学部材は、光軸と直交する平面内の第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記光軸と直交する平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力の複数の第1入射面と、該複数の第1入射面に対応するように形成されて前記第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記第2方向にほぼ無屈折力の複数の第1射出面とを備え、
前記第2光学部材は、前記複数の第1入射面に対応するように形成されて前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第2入射面と、前記複数の第1入射面に対応するように形成されて前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第2射出面とを備えていることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記第1光学要素は、光軸と直交する平面内の第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記光軸と直交する平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力の入射面と、前記第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記第2方向にほぼ無屈折力の射出面とを備え、
前記第2光学要素は、前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の入射面と、前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の射出面とを備え、
前記第1光学要素と前記第2光学要素との少なくとも一方は複数であることを特徴とするオプティカルインテグレータを提供する。
前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置された第1形態または第2形態のオプティカルインテグレータを備えていることを特徴とする照明光学装置を提供する。
前記所定のパターン上の照明領域を前記照明光学装置を用いて照明する照明工程と、
前記照明領域内の前記所定のパターンの像を前記投影光学系を用いて前記感光性基板上に投影する投影工程と、
前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
3 回折光学素子(光束変換素子)
4 アフォーカルレンズ
6 円錐アキシコン系
7 ズームレンズ
8 マイクロフライアイレンズ(シリンドリカルマイクロフライアイレンズ)
8a 第1フライアイ部材(第1光学部材)
8b 第2フライアイ部材(第2光学部材)
9 コンデンサー光学系
10 マスクブラインド
11 結像光学系
M マスク
PL 投影光学系
W ウェハ
Claims (30)
- 光の入射側から順に第1光学部材と第2光学部材とを備えた波面分割型のオプティカルインテグレータにおいて、
前記第1光学部材は、光軸と直交する平面内の第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記光軸と直交する平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力の複数の第1入射面と、該複数の第1入射面に対応するように形成されて前記第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記第2方向にほぼ無屈折力の複数の第1射出面とを備え、
前記第2光学部材は、前記複数の第1入射面に対応するように形成されて前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第2入射面と、前記複数の第1入射面に対応するように形成されて前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の複数の第2射出面とを備えていることを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の第1入射面の各々は、前記第1方向に沿って短辺を有し且つ前記第2方向に沿って長辺を有する矩形状であることを特徴とする請求項1に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1入射面は、前記光軸と直交する平面に沿って稠密配置されていることを特徴とする請求項2に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1入射面は、前記第1方向に沿って並列的に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第2入射面は、前記第2方向に沿って並列的に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第2入射面の各々は、前記第1方向に沿って長辺を有し且つ前記第2方向に沿って短辺を有する矩形状であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1光学部材と前記第2光学部材との合成系の前記第1方向に関する後側焦点位置および前記第2方向に関する後側焦点位置は、前記第2光学部材よりも後側に位置することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記オプティカルインテグレータ中において、前記第1方向に屈折力を有する光学面は前記第1入射面および前記第1射出面のみであり、
前記オプティカルインテグレータ中において、前記第2方向に屈折力を有する光学面は前記第2入射面および前記第2射出面のみであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記第2入射面の前記所定の屈折力は、前記第2射出面の前記所定の屈折力よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 第1光学要素と、該第1光学要素の後側に配置された第2光学要素とを備えた波面分割型のオプティカルインテグレータにおいて、
前記第1光学要素は、光軸と直交する平面内の第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記光軸と直交する平面内で前記第1方向と直交する第2方向にほぼ無屈折力の入射面と、前記第1方向に所定の屈折力を有し且つ前記第2方向にほぼ無屈折力の射出面とを備え、
前記第2光学要素は、前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の入射面と、前記第2方向に所定の屈折力を有し且つ前記第1方向にほぼ無屈折力の射出面とを備え、
前記第1光学要素と前記第2光学要素との少なくとも一方は複数であることを特徴とするオプティカルインテグレータ。 - 前記第1光学要素および前記第2光学要素はそれぞれ複数設けられ、
前記複数の第2光学要素は前記複数の第1光学要素に対応するように前記複数の第1光学要素の後側に配置されていることを特徴とする請求項10に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記複数の第1光学要素の各々は、前記第1方向に沿って短辺を有し且つ前記第2方向に沿って長辺を有する矩形状の断面を有することを特徴とする請求項11に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素の入射面は、前記光軸と直交する平面に沿って稠密配置されていることを特徴とする請求項12に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第1光学要素の各々は、前記第1方向に沿って並列的に配置されていることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第2光学要素の各々は、前記第2方向に沿って並列的に配置されていることを特徴とする請求項11乃至14のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記複数の第2光学要素の各々は、前記第1方向に沿って長辺を有し且つ前記第2方向に沿って短辺を有する矩形状であることを特徴とする請求項11乃至15のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第2光学要素の前記入射面の前記所定の屈折力は、前記第2光学要素の前記射出面の前記所定の屈折力よりも大きいことを特徴とする請求項10乃至16のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記第1光学要素と前記第2光学要素との合成系の前記第1方向に関する後側焦点位置および前記第2方向に関する後側焦点位置は、前記第2光学要素の前記射出面よりも後側にそれぞれ位置することを特徴とする請求項10乃至17のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。
- 前記オプティカルインテグレータ中において、前記第1方向に屈折力を有する光学要素は前記第1光学要素のみであり、
前記オプティカルインテグレータ中において、前記第2方向に屈折力を有する光学要素は前記第2光学要素のみであることを特徴とする請求項10乃至18のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 前記第1光学要素中の前記入射面および前記射出面は一体的に前記第1光学要素上に形成され、
前記第2光学要素中の前記入射面および前記射出面は一体的に前記第2光学要素上に形成されていることを特徴とする請求項10乃至19のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータ。 - 光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、
前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置された請求項1乃至20のいずれか1項に記載のオプティカルインテグレータを備えていることを特徴とする照明光学装置。 - 前記オプティカルインテグレータと前記被照射面との間の光路中に配置されて、前記オプティカルインテグレータからの光を前記被照射面へ重畳的に導くための導光光学系を備えていることを特徴とする請求項21に記載の照明光学装置。
- 前記照明光学装置は前記被照射面上に矩形状の照明領域を形成し、
前記矩形状の照明領域の短辺方向は前記第1方向に対応し、前記矩形状の照明領域の長辺方向は前記第2方向に対応することを特徴とする請求項21または22に記載の照明光学装置。 - 請求項21乃至23のいずれか1項に記載の照明光学装置と、前記被照射面に配置された所定のパターンを感光性基板に投影露光するための投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
- 前記照明光学装置は前記所定のパターン上に矩形状の照明領域を形成し、
前記矩形状の照明領域の短辺方向は前記第1方向に対応し、前記矩形状の照明領域の長辺方向は前記第2方向に対応することを特徴とする請求項24に記載の露光装置。 - 前記投影光学系により前記矩形状の照明領域内に位置する前記所定のパターンの像を前記感光性基板上の矩形状の投影領域内に形成し、
前記矩形状の投影領域の短辺方向に沿って前記感光性基板を前記投影光学系に対して相対移動させることにより、前記所定のパターンを前記感光性基板に投影露光することを特徴とする請求項25に記載の露光装置。 - 請求項21乃至23のいずれか1項に記載の照明光学装置を介してマスクを照明し、照明された前記マスクのパターンを投影光学系を介して感光性基板に投影露光することを特徴とする露光方法。
- 前記第1方向に対応する方向に沿って短辺を有し且つ前記第2方向に対応する方向に沿って長辺を有する矩形状の照明領域を前記マスク上に形成することを特徴とする請求項27に記載の露光方法。
- 前記矩形状の照明領域の短辺方向に沿って前記マスクおよび前記感光性基板を前記投影光学系に対して相対移動させることにより、前記マスクのパターンを前記感光性基板に投影露光することを特徴とする請求項28に記載の露光方法。
- 請求項24乃至26のいずれか1項に記載の露光装置を用いてデバイスを製造する方法において、
前記所定のパターン上の照明領域を前記照明光学装置を用いて照明する照明工程と、
前記照明領域内の前記所定のパターンの像を前記投影光学系を用いて前記感光性基板上に投影する投影工程と、
前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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