JP2011009611A - インテグレータおよびそのインテグレータを用いた光照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形状のレンズ41を側面が当接するように一方向に並べ、低融点ガラスによって互いに融着させて、短冊状のレンズセグメント42を形成する。その長手方向の両端には、ガラス板からなる保持しろ板43が接続される。レンズセグメント42の保持しろ板43を保持枠51a,51bの溝51cにはめ込んで、複数のレンズセグメント42を隙間なく並べ、両側に保持枠51dを取り付けてインテグレータのレンズユニットを製作する。このように構成された2組のレンズユニットを筐体内に対向させて配置してインテグレータを構成する。このように構成されたインテグレータは、光源から出た光を被照射面に照射する光照射装置において照度分布を均一するために用いられる。
【選択図】 図2
Description
インテグレータ105は、そのレンズに入射した光の照度分布を被照射面において均一にする機能を有する。そしてインテグレータ105から出射した光は、第2の反射鏡106により反射され、コリメータレンズ107に入射する。コリメータレンズ107から出射する光は平行光となり、被照射面108に照射される。図5の場合、被照射面108にはマスクMが置かれ、マスクMに形成されたマスクパターンが、投影レンズ109を介して、基板W上に投影され露光される。
なお、投影レンズ109を用いず、マスクMと基板Wとを密着または近接し、マスクパターンを基板上に露光する装置についても、光照射装置の構成は同様である。また、被照射面に、マスクMではなく被処理物を配置し、光を照射して、光化学反応により被処理物の改質等を行なう場合もある。例えば、液晶表示素子用の光配向膜を配置し、光配向処理等を行なっている。
特に、レンズとレンズとの間は、被照射面の照度分布異常の原因となる隙間が生じないようにしなければならないため、組み上げには熟練した技能を要する。また、レンズとレンズとの間に隙間が生じないように、結合材をたくさんもって接合しろを大きくとり過ぎても、接合しろの影が生じて光の利用効率が低下してしまう。
本発明は、以上のような問題を解決するためになされたものであって、レンズとレンズとの間に隙間が生じないように簡易に組み合わせることができる構造を有するインテグレータおよびこのインテグレータを用いた光照射装置を提供することを目的とする。
(1)複数の矩形状のレンズを組み合わせて構成された面状のレンズユニットが、筐体の両端に対向して配置されたインテグレータにおいて、上記レンズユニットを次のように形成する。
矩形状のレンズを一方向に突き合わせて互いに融着させた短冊状の複数のレンズセグメントを、上記レンズのレンズ面が面状になるように前記一方向とは直交する方向に、融着もしくは接着させることなく間隔を詰めて並べて面状のレンズユニットを形成する。
すなわち、矩形状のレンズを一方向に突き合わせて互いに融着させ、短冊状のレンズセグメントを構成する。そして、このレンズセグメントの上記一方向とは直交する方向の端面を互いに突き合わせ、間隔を開けずに並べて面状のレンズセグメントを構成する。
上記レンズセグメントの上記一方向に直交する方向の端面は、該端面を突き合せたとき隙間が生じないように平面状にされ、融着もしくは接着させることなく間隔を詰めて並べられる。
(2)上記(1)において、前記レンズセグメントの長手方向の両端にガラス板を取り付け、長手方向に沿ってのびる溝を有する保持枠の溝に、レンズセグメントの上記ガラス板をはめ込み、上記レンズユニットを保持枠によって囲む。
(3)上記(1)または(2)のインテグレータを用い、光源と、前記インテグレータから出射される光を平行光にさせるコリメータレンズと、該コリメータレンズを通過した光が照射される被照射面とを有する光照射装置を構成する。
(1)矩形状のレンズを一方向に突き合わせて互いに融着させて短冊状の複数のレンズセグメントを構成しており、個々のレンズの突合せ面を切削して一方向に接続することで、短冊状のレンズセグメントを製作することができる。このため、個々のレンズセグメントにおいて、レンズとレンズとの接続面に隙間が生じにくくすることができる。また、この段階では、レンズを一方向に接続しているだけで、レンズを縦横方向に接続しないので、比較的容易に組み立てることができる。
次に、上記のように製作したレンズセグメントを前記一方向とは直交する方向に、融着もしくは接着させることなく間隔を詰めて並べてレンズユニットを構成しているので、レンズが縦横方向に面状に並列配置されたレンズユニットを容易に精度よく組み立てることができる。
また、レンズセグメントの前記一方向とは直交する方向の端面に凹凸等があっても、個々のレンズセグメントの突合せ面を切削するなどして、平面状にすれば、レンズとレンズとの間に隙間が生じないように簡易に組み合わせることができる。
(2)前記レンズセグメントの長手方向の両端に保持しろとなるガラス板を取り付け、長手方向に沿ってのびる溝を有する保持枠の溝に上記ガラス板をはめ込み、上記ガラス板をスライドさせて保持枠に装着することで、レンズユニットを容易に組み立てることができる。
(3)短冊状のレンズセグメントを融着もしくは接着させることなく間隔を詰めて並べて面状のレンズユニットを形成しているので、ある1つのレンズに汚れや傷が生じても、そのレンズを含むレンズセグメントを容易に交換することができる。
このため、レンズユニットの修復作業が容易であり、また、レンズユニット全体ではなく、レンズセグメントを1つ交換すればいいので、交換部品のコストも安価になる。
図1に示すインテグレータ4は、主に、被照射面が大きい大型の露光装置に用いられるタイプである。被照射面が大きくなると、インテグレータに組み込まれる個々のレンズも一般に大きくなる。インテグレータには、ロッド状のレンズを用いるものもあるが、レンズが大きくなると高価になりコストアップの原因になる。
そのため、図1に示すものでは、例えば図1(a)に示すような円形状の開口あるいは(b)示すような矩形状の開口を有するアルミニウムよりなる筐体50内に、縦横方向に並列配置された矩形状のレンズを有するレンズユニット40a,40bを対向させて配置している。レンズユニット40a、40bは図1(c)に示すように保持枠51により保持され、上記筐体50内に取り付けられる。
なお、ここでは、上記個々の矩形状のレンズが縦横方向に並列配置されたものをレンズユニット40(40a,40b) といい、レンズユニット40が保持枠51により保持された状態のものをレンズ枠44という。また、レンズユニットを構成する個々のレンズをレンズ41といい、このレンズ41を一方向に突き合わせて互いに融着させて構成された短冊状のレンズ群をレンズセグメント42という。
同図に示すように、レンズユニット40は、レンズ41が縦方向に組み合わされた複数の短冊状のレンズセグメント42を、上記レンズ41のレンズ面(光が入出射する面)が面状になるように横方向に突き合わせて並べて構成されている。
短冊状のレンズセグメントを複数並べて矩形状に構成されたレンズユニット40は、その周囲がアルミニウムなどからなる保持枠51(51a,51b,51d)で囲われている。
レンズセグメント42の長手方向の両端には、レンズ加工がされていない板状のガラスである保持しろ板43が接続され、保持しろが形成されている。
また、保持しろ板43に対向する一対の保持枠51a,51bには、長手方向に沿ってのびる溝51cが形成され、レンズセグメント42のガイドレールとして機能するようになっている。すなわち、レンズセグメント42の保持しろ板43が、保持枠51a,51bの溝51cにスライドしてはめ込むことができるように構成されている。
保持枠51dの長手方向の両端に、例えば上記保持しろ板43と同様の形状の保持しろ51eが設けておけば、この保持しろ51eを一対の保持枠51a,51bの溝51cにはめ込み、固定することでレンズ枠44を容易に組み立てることができる。
レンズセグメント42は、矩形状のレンズ41を側面が当接するように一方向に並べ、隣り合うレンズの側面を低融点ガラス45によって互いに融着させた短冊状のものである。長手方向の両端には、前記したようにレンズ加工がされていない板状の保持しろが形成されている。
まず、図3(a)に示すように、レンズ41を突き合わせる側面に対して垂直方向の寸法が、所定の長さaとなるように削る。ついで、互いのレンズ41を低融点ガラス45により融着して、一方向に積み上げる。
ここでは、個々のレンズ41の上下の接続面を切削面とし、横方向を意識しないで縦方向に接続すればいいので、接続面に隙間が生じにくくなる。
所定の枚数のレンズ41を融着できたら、その長手方向両端に、ガラス板で形成される保持しろ用の保持しろ板43を取り付ける。
このようにしてレンズ群を形成することで、個々のレンズの縦方向の寸法aと横方向の寸法bを精度よく出すことができる。このようにして製作された短冊状のレンズ群(レンズセグメント42)を複数形成する。
ついで、図3(c)に示すように、各々の短冊状レンズ群(レンズセグメント42)の縦方向の長さが揃うように、下側の保持しろ板43を削る。
このように形成されたレンズセグメント42を、前記したように保持枠51の溝に保持しろの部分を挿入して順に送って詰めてレンズユニットを形成する。
また、短冊状のレンズセグメントを保持枠の溝に沿って順に詰めてレンズユニットを形成しているので、ある1つのレンズに汚れや傷が生じても、そのレンズを含むレンズセグメントを交換するだけでよい。レンズセグメントの交換作業も容易であり、またレンズユニット全体ではなく、レンズセグメントを1つ交換すればよいので、交換部品のコストも安価になる。
光源部1からの光は、平面鏡2で折り返され、シャッタ3を介して本発明のインテグレータ4に入射する。インテグレータ4は光照射領域において照度分布を均一にするとともに所望の形状の光照射領域を形成する。
インテグレータ4は前記図1に示したように、筐体50内に縦横方向に並列配置された矩形状のレンズを有するレンズユニット40a,40bを対向させて配置したものである。
光照射面6には、例えば前記図5に示したように、マスクステージに保持されたマスクが配置され、光照射装置からの光は、このマスクを介してワークステージ上に保持された、レジスト等の感光剤が塗布されたディスプレイパネル基板やプリント基板、またはカラーフィルタ基板といったワークに照射される。マスクにはパターンが形成されており、マスク形成されたパターンがワーク上の感光剤に露光形成される。
1a ランプ
1b ミラー
2 平面鏡
3 シャッタ
4 インテグレータ
5 コリメータミラー
6 光照射面
10 制御部
11 ランプ電源
40,40a、40b レンズユニット
41 レンズ
42 レンズセグメント
43 保持しろ板
44 レンズ枠
45 低融点ガラス
50 筐体
51,51a,51b,51d 保持枠
51c 溝
51e 保持しろ
Claims (3)
- 複数の矩形状のレンズを組み合わせて構成された面状のレンズユニットが、筐体の両端に対向して配置されたインテグレータにおいて、
前記レンズユニットは、矩形状のレンズが一方向に突き合わせて互いに融着させた短冊状の複数のレンズセグメントから構成され、該レンズセグメントを前記一方向とは直交する方向に、融着もしくは接着させることなく間隔を詰めて並べて形成されたものである
ことを特徴とするインテグレータ。 - 前記レンズユニットは保持枠によって囲われ、
前記レンズセグメントの長手方向の両端にガラス板が取り付けられ、
前記保持枠は、前記ガラス板に対向する辺に、長手方向に沿ってのびる溝を有し
前記レンズセグメントのガラス板が、前記保持枠の溝にはめ込まれている
ことを特徴とする請求項1に記載のインテグレータ。 - 請求項1または2に記載のインテグレータと、光源と、前記インテグレータから出射される光を平行光にさせるコリメータレンズと、該コリメータレンズを通過した光が照射される被照射面とを有する
ことを特徴とする光照射装置。
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