CN2461025Y - 高质量光学积分器件 - Google Patents
高质量光学积分器件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2461025Y CN2461025Y CN 00244379 CN00244379U CN2461025Y CN 2461025 Y CN2461025 Y CN 2461025Y CN 00244379 CN00244379 CN 00244379 CN 00244379 U CN00244379 U CN 00244379U CN 2461025 Y CN2461025 Y CN 2461025Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- integration device
- integral element
- high quality
- quality optical
- hexagon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims abstract description 16
- 208000036829 Device dislocation Diseases 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 238000009499 grossing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011449 brick Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
高质量光学积分器件,属于对其结构的改进。其特征是每个积分元件的两端面均为凸透镜,中间介质为长方体结构。每个积分元件通过积木方式错位排列于内六边形框内,且任意相邻元件的中心距相等。该产品对光源进入系统的光进行微分、积分,在系统的出射面得到高均匀性的光能分布,对衍射效应有很好的平滑作用,大大提高光刻分辨力,提高了线条质量,其工艺简单,加工容易,成本低。
Description
本实用新型是一种高质量光学积分器件，属于对光学积分器件的进一步改进。广泛适用于各种光学光刻设备的照明系统，用于提高照明均匀性、平滑衍射效应和增大线条侧壁陡度。
在现有的光学光刻设备中，其照明系统所用的积分器件主要有两类：一类是由两组蝇眼透镜构成，每组蝇眼透镜都是由小六边形平凸透镜胶合在平板玻璃上而成，这种器件加工和装配都非常困难，且光在两平板间来回反射，而影响照明均匀性和平滑衍射的效果；另一类是双凸的小正方形积分棒并排捆绑而成的积分镜，这种器件由于其相邻元件间间距不等，而照明均匀性和线条的侧壁陡度。这两类积分器件都采用圆形或方光拦控制聚光角，其线条侧壁陡度都很差。
本实用新型的目的在于避免上述现有技术的不足，而提供一种高质量光学积分器件，以提高照明均匀性、平滑衍射效应，提高线条侧壁陡度，从而提高光刻分辨力，同时降低加工和装配难度。
本实用新型的目的可以通过以下措施来达到：每个积分元件的两端为凸球面镜，中间介质为长方体结构，每个积分元件通过积木方式错位排列于内六边形框内，且任意相邻积分元件的中心距相等。
本实用新型的目的还可以通过以下措施来达到：内六边形框由两条直边和四条锯齿边组成，积分元件错位排列镶嵌其中；控制器件聚光角的光栏为六边形。
本实用新型相比已有技术具有如下优点：1．每个积分元件的侧面为方形，工艺简单，降低加工难度，成本低。2．积分元件的两球面镜之间为同一种介质，避免光的多次反射，提高照明均匀性和平滑衍射效果。3．各积分元件错位排列于内六边形框内，保证任意元件间间距相等，整个结构均匀、连续，达到提高照明均匀性效果。4．采用内六边形光栏与积分器件配合控制系统聚光角，其对称性好，对掩摸上的同一图形各方向能得到相同的光照度，更能提高线条的侧壁陡度和光刻分辨力。5．此器件用于接近、接触式光刻机，在φ100的照明面积内均匀性达到3％，线条分辨率达到0.8μm，侧壁陡度达85°以上。很好的改善了图形的传递品质。下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
图1为积分元件结构图。
图2为积分元中间长方体剖面图。
图3为积分器件结构图。
图4为六边形光拦结构图。
如图1所示，每个积分元件的两端面均为凸球面结构(1)，中间部分为长方体结构(2)。如图2所示，这种结构降低了加工难度，其次，两球面间为同一种介质，避免了光的多次反射。
图示3，积分元件按积木式错位排列在内六边形锯齿框(3)内，锯齿框是由两条直边(4)和四条锯齿边(5)构成的内六边形结构。由于积分元件的中间部分断面为长方形(如图2)，拼接后保证了任意相邻两个积分元件间间距相等，整个结构均匀、连续。
图示4，积分器件的通光光栏(6)为六边形结构，这种结构对称性好，对掩摸上的同一图形，各个方向能得到相同的光照度。内六边形两平行边间的距离控制了聚光角的大小。使系统大大提高了均匀性和衍射平滑效应。
Claims (3)
1．高质量光学积分器件，由凸透镜、柱面镜和控制聚光角的光栏组成，其特征在于每个积分器件的两端面均为凸球面镜(1)，中间介质为长方体结构(2)，每个积分元件通过积木方式错位排列于内六边形框(3)内，且任意相邻积分元件的中心距相等。
2．如权利要求1所述的高质量光学积分器件，其特征在于内六边形框由两条直边(4)和四条锯齿边(5)组成，积分器件错位排列镶嵌其中。
3．如权利要求1或2所述的高质量光学积分器件，其特征在于控制器件聚光角的光栏为六边形(6)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 00244379 CN2461025Y (zh) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 高质量光学积分器件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 00244379 CN2461025Y (zh) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 高质量光学积分器件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2461025Y true CN2461025Y (zh) | 2001-11-21 |
Family
ID=33604070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 00244379 Expired - Fee Related CN2461025Y (zh) | 2000-09-06 | 2000-09-06 | 高质量光学积分器件 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2461025Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7578606B2 (en) | 2004-07-27 | 2009-08-25 | Dolby Laboratories Licensing Corporation | Luminance-preserving, parallax-reducing diffuser |
| CN101936503A (zh) * | 2009-06-29 | 2011-01-05 | 优志旺电机株式会社 | 积分仪及使用该积分仪的光照射装置 |
-
2000
- 2000-09-06 CN CN 00244379 patent/CN2461025Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7578606B2 (en) | 2004-07-27 | 2009-08-25 | Dolby Laboratories Licensing Corporation | Luminance-preserving, parallax-reducing diffuser |
| US8294658B2 (en) | 2004-07-27 | 2012-10-23 | Dolby Laboratories Licensing Corporation | Parallax-reducing, luminance-preserving diffuser |
| CN101936503A (zh) * | 2009-06-29 | 2011-01-05 | 优志旺电机株式会社 | 积分仪及使用该积分仪的光照射装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7637627B2 (en) | Arrangement for the illumination of a field | |
| JP2003503755A5 (zh) | ||
| CN201464788U (zh) | 一种高光效的微型投影光学引擎 | |
| CN102402111B (zh) | 一种高亮度led照明匀光系统 | |
| WO2003023832A1 (fr) | Procede et systeme d'exposition, et procede de construction de dispositif associe | |
| US7252393B1 (en) | Triangular prism dual lamp coupler | |
| CN2461025Y (zh) | 高质量光学积分器件 | |
| WO2015000097A1 (zh) | 步进扫描投影光刻机的照明系统 | |
| CN203557830U (zh) | 一种固化光学系统以及印刷设备 | |
| WO2021031273A1 (zh) | 一种实现电子变焦的光学透镜模组 | |
| CN2896319Y (zh) | 数字投影光学引擎 | |
| CN2891006Y (zh) | 新型匀光器件及带该匀光器件的光学引擎照明系统 | |
| CN103105737A (zh) | 使用拼接的多光源的光刻装置 | |
| CN216979585U (zh) | 一种光刻机用高分辨率uv-led光引擎系统 | |
| CN2549478Y (zh) | 微阵列浮雕积分器件 | |
| CN101566306A (zh) | 聚焦透镜及照明装置 | |
| US7036937B2 (en) | Illuminating device reusing polarized light | |
| CN104793282A (zh) | 侧入式导光板的光耦合模块及使用该模块的背光模组 | |
| Cassarly | Recent advances in mixing rods | |
| CN218068471U (zh) | 一种微阵列投影光学系统 | |
| CN220851893U (zh) | 微光耦合单元、阵列、照明装置、车灯及车辆 | |
| CN101915392B (zh) | 出光表面积至少为10mm2的面光源用的反射器 | |
| CN108644620A (zh) | 一种led固化装置及框胶固化系统 | |
| CN1617044A (zh) | 基于反射型复眼的照明系统 | |
| KR20060003451A (ko) | 조명 렌즈계 및 이를 채용한 프로젝션 시스템 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |