JPWO2006030743A1 - 試料中のプロトン性溶媒量を局所的に測定する方法、装置 - Google Patents
試料中のプロトン性溶媒量を局所的に測定する方法、装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
同文献では、CPMG(Carr-Purcell-Meiboom-Gill)法により横緩和時定数を求めている。
核磁気共鳴法を用いて試料中の特定箇所のプロトン性溶媒量を局所的に測定する方法であって、
静磁場におかれた前記試料の特定箇所に対し、前記試料より小さい小型RFコイルを用いて、励起用振動磁場を複数回、順次印加するとともに前記励起用振動磁場に対応する複数のエコー信号を取得する第1ステップと、
前記複数のエコー信号の強度から、T2緩和時定数を算出する第2ステップと、
前記試料中のプロトン性溶媒量とT2緩和時定数との相関関係を示すデータを取得し、該データと第2ステップで算出された前記T2緩和時定数とから、前記試料中の特定箇所における前記プロトン性溶媒量を求める第3ステップと、
を含むことを特徴とする測定方法
が提供される。
核磁気共鳴法を用いて試料中の特定箇所のプロトン性溶媒量を局所的に測定する装置であって、
前記試料に対して静磁場を印加する静磁場印加部と、
前記試料に対し励起用振動磁場を印加するとともに、前記励起用振動磁場に対応するエコー信号を取得する、前記試料より小さい小型RFコイルと、
前記エコー信号の強度から、T2緩和時定数を算出し、算出した前記T2緩和時定数から、試料中の特定箇所における前記プロトン性溶媒量を算出する演算部と、
を備えることを特徴とする測定装置
が提供される。
さらに、本明細書において、プロトン性溶媒とは、自分自身で解離してプロトンを生じる溶媒をいう。プロトン性溶媒としては、たとえば、水;
メタノールおよびエタノール等のアルコール;
酢酸等のカルボン酸;
フェノール;
液体アンモニア;
が挙げられる。
このうち、プロトン性溶媒を水やアルコールとした場合には、本発明におけるプロトン性溶媒量をより、安定的に測定することができる。
(a)90°パルス、および、
(b)(a)のパルスの時間τ経過後からはじまり、時間2τの間隔で印加されるn個の180°パルス
からなるパルスシーケンスとすることができる。こうすることにより、T2緩和時定数を正確に求めることができる。
前記小型RFコイルにより取得されたエコー信号を検出するとともに、該エコー信号を前記演算部に送出するエコー信号検出部と、
前記小型RFコイル、前記RF信号生成部および前記エコー信号検出部を接続する分岐部に設けられ、前記小型RFコイルと前記RF信号生成部とが接続された状態と、前記小型RFコイルと前記エコー信号検出部とが接続された状態とを切り替えるスイッチ回路と、
をさらに備える構成とすることができる。
このように、一対のコイル部を連結した平面型の小型RFコイル、いわゆる8の字コイルを使用することで、より正確に水分量を計測することが可能となる。
このような構成によれば、使用者が支持体を把持し、その先端部を試料に接近させるだけで、測定を行うことができるので、測定装置の操作性を向上させることができる。
例えば、本発明によれば、高分子膜、この高分子膜を挟んで配置されたアノード電極、およびカソード電極を有する燃料電池と、
前記燃料電池に酸化ガスを供給するための酸化ガス供給部と、
前記燃料電池に燃料ガスを供給するための燃料ガス供給部と、
前記燃料ガス供給部から前記燃料電池に向かって排出される前記燃料ガスに対し、水蒸気を混合し、前記燃料ガスおよび水蒸気を前記燃料電池に供給する水蒸気混合部と、
前記高分子膜中の水分量を測定する上述したいずれかの測定装置と、
前記測定装置からの水分量の測定結果を取得し、この測定結果に基づいて、前記水蒸気混合部から供給される水蒸気量を調整するように、前記水蒸気混合部を制御する制御部とを備えることを特徴とする燃料電池システム
を提供することができる。
はじめに、後述する各実施形態におけるプロトン性溶媒量の測定手順について、測定原理とともに説明する。
以下、測定対象となるプロトン性溶媒としては、水を例にあげて説明する。
ステップ104について、以下、詳細に説明する。ステップ104では、試料に対し励起用高周波パルスを印加するが、この励起用高周波パルスは、複数のパルスからなるパルスシーケンスとし、これに対応するエコー信号群を取得するようにすることが好ましい。こうすることにより、T2緩和時定数を正確に求めることができる。パルスシーケンスは、以下の(a)、(b)からなるものとすることが好ましい。
(a)90°パルス、および、
(b)(a)のパルスの時間τ経過後からはじまり、時間2τの間隔で印加されるn個の180°パルス
静磁場中に置かれた水素原子核は静磁場に沿った方向(便宜上、Z方向とする)に正味の磁化ベクトルを持ち、特定の周波数(これを共鳴周波数と呼ぶ)のRF波をZ軸に垂直なX軸方向で外部から照射することで磁化ベクトルはY軸の正方向に傾斜し、核磁気共鳴信号(NMR信号と呼ぶ)を観測することができる。この際、最大強度のNMR信号を取得するために照射されたX軸方向の励起パルスを90°パルスと呼ぶ。
Hahnエコー法とCPMG法は、以下の点で相違する、
(i)CPMG法では、180°励起パルスがY軸方向であり、収束するエコーはY軸の正方向のみとなる。Hahnエコーでは、Y軸の正から負方向へとエコー信号の収束が移動する。
(ii)CPMG法では、(a)静磁場の不均一性、(b)RFコイルが照射する励起パルス強度の不均一性があった場合でも、それを補償することができ、正確なT2緩和時定数を計測できる。
(iii)CPMG法では、補償機能として、上記(a)、(b)を原因とした、不可逆な位相分散過程が生じないように、同一のY軸の正方向に常に位相を収束させるような180°励起パルスを用いている。
(a)静磁場の不均一性は以下の要因で生ずる。
・磁石自身が製造過程の都合上、完全な均一磁場にはない。
・被計測物である試料とそれを入れる容器や周囲空気が持つそれぞれの磁化率の相違により磁場の不均一性が生ずる。
・RFコイル、容器など、装置を構成する材料が持つ磁化率がそれぞれ異なるために磁場の不均一性が生ずる。
・地磁気、建物、床材などの装置が設置された周囲環境により磁場が歪められて、磁場の不均一性が生ずる。
・磁石が置かれた周囲環境の影響を受け、磁石温度が変動したり、温度分布が生ずるなどの時間的な変動や空間的な温度むらのために、磁場の不均一性が生ずる。
・有限長のコイルでは、照射される励起パルス強度が位置によって異なる。例えば、コイルの中心では強く、端に行くほど弱くなる。これにより励起パルス強度の不均一性が生ずる。
・RFコイルの製作過程において、導線を均一間隔で対称に巻くことは困難であること、また、共振回路としてのコンデンサーに接続する配線部では必ず非対称になることから、励起パルス強度に不均一性が生ずる。
・照射するパルス強度は、上の二つの要因も受けて、完全には「90°」「180°」励起パルスに調整することは困難である。
上述したCPMG法の補償機能について、図3を参照して説明する。なお、図で示される座標は、回転座標系である。試料の中に、静磁場の不均一性が無視できるような小さな領域の核磁化として、PとQを考える。Pにおける磁場がQにおける磁場より強いものとする。このとき、図3(a)に示すように、90°パルスをx’軸方向へ印加すると、P、Qの核磁化は、回転座標系で同じ場所(y’軸)から歳差運動を始め、時間の経過とともに、Pの位相がQの位相より進んだものとなる(図3(b))。そこで、90°パルスから時間τ経過した時点でy’軸方向に180°パルスを印加すると、P、Qの核磁化はy’軸の周りに180°回転し、パルスを印加する前とy’軸に関して対称な配置になる(図3(c))。この配置では、より進んだ位相をもっていた核磁化Pが、逆にQより遅れた位相をもつため、これからさらに時間τ経過した時刻では、どちらの核磁化も同時にy′軸に達することになる(図3(d))。このような関係は、試料の中のあらゆる領域の核磁化について成り立つため、すべての核磁化は、この時刻にy’軸に集まり、その結果、大きなNMR信号が得られる。
T2緩和時定数は、スピンエコー法を利用することにより的確に測定することができる(図4)。
共鳴励起された磁化ベクトルM−yは時間と共に緩和していく。この際に実際に観測される磁気共鳴信号の時間変化は、スピン−格子緩和時定数T1、スピン−スピン緩和時定数T2のみでは表すことができない別の時定数のT2 *により緩和していく。この様子が図4の最下段に信号強度の時間変化として90°励起パルスの直後から示されている。一般的に、この波線で示された実際に計測される磁気共鳴信号強度は急速に減衰し、その時定数T2 *はT2よりも短い。このT2緩和による減衰曲線よりも実際に観測される減衰信号が速く減衰してしまう原因は静磁場マグネットの作る外部静磁場の不均一性、試料の磁気的性質や形状による試料内磁場の不均一性などにより試料の全体に渡って均一な磁場が確保されていないことによる。このような実際に計測される磁気共鳴信号の時間変化を自由誘導減衰と呼ぶ。
・試料や装置特性としての磁場の不均一性の最小化
・信号強度の定量化(減衰曲線はT2緩和時定数。装置には依存しない。)
などが可能となる。
詳細に説明すると、2τ間隔で、180°パルスを照射し続け、2τ,4τ,6τ,・・・の偶数番目のエコー信号のピーク強度を取得する。この複数のエコー信号のピーク強度は時間とともに、徐々に小さくなる。時間とともに減衰する複数のエコー信号の強度を、指数関数でフィッティングし、上記式(A)から、T2緩和時定数を求めることができる。
ステップ108では、緩和時定数から水分量を算出する。試料中の水分量とT2緩和時定数とは、正の相関を持つ。水分量の増加につれてT2緩和時定数が増大する。この相関関係は、試料の種類や形態等により異なるので、あらかじめ、水分濃度がわかっている測定対象試料と同種の試料について検量線を作成しておくことが望ましい。すなわち、水分量が既知の複数の標準試料に対して水分量とT2緩和時定数との関係を測定し、この関係を表す検量線をあらかじめ求めておくことが望ましい。このようにして作成した検量線を参照することで、T2緩和時定数測定値から試料中の水分量を算出することができる。
ナフィオン(登録商標)膜などの高分子材料には、分子鎖の形状によって水分子が入り込める程度の隙間がある。水分子は高分子に吸着しているものと、空間を自由に運動しているものとがあり、吸着し、運動が束縛された状態の水分子のT2緩和時定数は短くなり、逆に、自由にランダムに運動できる水分子ではT2緩和時定数は長くなる。
1/T2(全体)=(吸着した水の量)/(吸着した水のT2’)+(自由な水の量)/(自由な水のT2’’)・・・(1)
(1)式においては、吸着した水と自由な水とに分類して項を分けたが、さらに詳細にみると、局所的な静磁場不均一性を感じている水と、均一な静磁場を感じている水とがある。このことを考慮すると、上記(1)式は以下のようになる。
1/T2(全体)=x/T2(a1)+y/T2(a2)+z/T2(b1)+w/T2(b2) ・・・式(2)
x:吸着した水であって局所的な静磁場不均一性を感じている水の量
y:吸着した水であって均一な静磁場を感じている水の量
z:自由な水であって局所的な静磁場不均一性を感じている水の量
w:自由な水であって均一な静磁場を感じている水の量
T2(a1):吸着した水であって局所的な静磁場不均一性を感じている水の緩和時定数
T2(a2):吸着した水であって均一な静磁場を感じている水の緩和時定数
T2(b1):自由な水であって局所的な静磁場不均一性を感じている水の緩和時定数
T2(b2):自由な水であって均一な静磁場を感じている水の緩和時定数
図5は、本実施形態に係る水分量測定装置1Aの概略構成を示す図である。この測定装置1Aは、試料中の特定箇所の水分量を局所的に測定するものであり、試料115を載置する試料載置台116、試料115に対して静磁場を印加する磁石113(静磁場印加部)、試料115の特定箇所に設けられた小型RFコイル114、および、小型RFコイル114により取得されたエコー信号に基づいて水分量を算出する演算部130を備える。
(a)90°パルス、および、
(b)(a)のパルスの時間τ経過後からはじまり、時間2τの間隔で印加されるn個の180°パルス
からなるパルスシーケンスとすることができる。T2緩和時定数と試料中の水分量との相関関係を明確に把握するためには、振動磁場の与え方を適切にすることが重要となる。上記のようなパターンとすることにより、T2緩和時定数と試料中の水分量との相関関係が明確に把握することが可能となる。
本実施形態は、水分量測定装置の他の例に関する。図8は、本実施形態の水分量測定装置の構成を示す図である。
小型RFコイル114とRF信号生成部(RF増幅器106)とが接続された第1状態、および、
小型RFコイル114とエコー信号検出部(位相検波器110)とが接続された第2状態
とを切り替える機能を有する。
(i)本計測システムの小型コイルで検出できる試料体積は、大型コイルに比べて小さくなる。この検出可能な試料体積は、おおよそ、(コイルの内側面積×コイル半径の深さ)である。体積に比例して減少する微弱なNMR信号を、低ノイズ、高感度で計測するためには、送信系において、RF増幅器106の増幅用大型トランジスタから漏れてくるノイズを遮断することが必要となる。また、受信系では高感度のプリアンプ112を使用する必要がある。高感度のプリアンプ112の使用に当たっては、送信時に小型コイルに送られる大電圧の励起パルスからプリアンプ112を保護できるように、プリアンプ112を切断しなければならない。
(ii)試料体積内の核磁化を励起する際に、適切な励起パルスパワーで、具体的には、90度パルスと180度パルスの強度が1:2となるように、核磁化を励起する必要がある。励起パルスパワーの調整を適切に行うことができないと、目標としているCPMG法のパルス系列とはならず、計測されるT2(CPMG)値の信頼性が低下するため、データがばらつく。この現象は、従来のクロスダイオードを用いて、小型コイルの送受信切り替えを行う際には顕著に現れる。大型コイルでは、励起パルス強度が非常に大きく、クロスダイオードでの損失が無視できるほど小さいとみなせるが、小型コイルの場合には、励起パルス強度が大型コイルのそれよりも小さいために、クロスダイオードでの損失が無視できない。このため、適切な励起パルス強度とするためには損失が極力少ない「送受信切り替えスイッチ」が必要となる。
本実施形態は、以上の実施形態に記載の水分量測定装置1A,1Bの水分量算出部124における水分算出方法の別の例に関する。図10は、本実施形態の水分量算出部124および検量線テーブル126の構成を示す図である。
本実施形態の測定装置2では、図11に示すように、磁石(静磁場印加部)213と、小型RFコイル214とが支持体201に取り付けられている。他の点は、前記各実施形態と同様である。
磁石213は、前記各実施形態の測定装置1A,1Bの磁石113よりも小さい小型の磁石である。前記各実施形態では、磁石113により、試料115全体に静磁場を印加していたが、本実施形態では、磁石213を使用することにより、試料115の特定箇所に静磁場を印加することとなる。
この支持体201の先端部の端面の中央には、突起部201Aが形成されている。
支持体201の内部には、磁石213が収納されている。磁石213からの静磁場H0は、支持体201の中心軸と同じ方向となっている。
この場合には、支持体201の中心軸と垂直方向に励起用振動磁場H1が加えられる必要があり、図12にも示すように、2個の渦巻き状(リング状)のコイル部214Aを連結した、いわゆる「8の字型」または、「バタフライ型」の小型RFコイル214が使用される。
一対のコイル部214Aは、静磁場方向と略直交する方向にそって配置されており、一方のコイル部214Aは、導線が右巻きに巻かれたものであり、他方のコイル部214Aは、導線が左巻きにまかれたものである。
このような構成においては、静磁場H0方向と小型RFコイル214の励起用振動磁場H1の方向とは直交するので、NMR信号を受信できる。
このような測定装置2を用いる場合には、支持体201の先端に取り付けられた小型RFコイル214を、試料に接触させればよい。
本実施形態では、支持体201に静磁場H0を印加する小型の磁石213を取り付けているため、前記各実施形態で示したような大型の磁石113が不要となり、測定装置2の小型化を図ることができる。
さらに、支持体201は、スティック状であるため、使用者が支持体201を把持し、その先端部を試料に接触させるだけで、測定を行うことができるので、測定装置の操作性を向上させることができる。
図13,14を参照して、第五の実施形態について説明する。
本実施形態は、第一の実施形態の測定装置1Aを備えた燃料電池システム3に関する。
図13に示すように、燃料電池システム3は、測定装置1Aと、燃料電池31と、燃料電池31に酸化ガス(酸素や空気等)を供給する酸化ガス供給部32と、燃料電池31に燃料ガス(水素ガス等)を供給する燃料ガス供給部33と、酸化ガス供給部32から燃料電池31に向かって供給される酸化ガスおよび、燃料ガス供給部33から燃料電池31に向かって供給される燃料ガスに水蒸気を混合する水蒸気混合部34,35と、制御部36とを有する。
触媒層311Aと、拡散層312Aとで、アノード電極314が構成され、触媒層311Bと拡散層312Bとで、カソード電極315が構成される。
セパレータ313Aには、燃料ガスが供給され、燃料ガスの流路となる溝が形成されている。
また、セパレータ313Bには、酸化ガスが供給され、酸化ガスの流路となる溝が形成されている
酸化ガス供給部32と燃料電池31との間には、水蒸気混合部34が設けられている。水蒸気混合部34では、水蒸気を発生させ、酸化ガス供給部32から燃料電池31に向かって供給される酸化ガスに水蒸気を混合する。このようにして水蒸気と混合された酸化ガスが、燃料電池31に供給される。
同様に、燃料ガス供給部33と、燃料電池31との間にも、水蒸気混合部35が設けられている。この水蒸気混合部35では、水蒸気を発生させ、燃料ガス供給部33から燃料電池31に向かって供給される燃料ガスに水蒸気を混合している。水蒸気と混合した燃料ガスは、燃料電池31に送られる。
このように、水蒸気を酸化ガス、燃料ガスに混合することで燃料電池31の高分子膜115を湿潤させている。
制御部36は測定装置1Aおよび水蒸気混合部34,35に接続されている。
制御部36では、測定装置1Aからの水分量の測定結果および、水分量の分布を取得し、この測定結果に基づいて、水蒸気混合部34,35で生成され、燃料電池31に供給される水蒸気量を調整するように、水蒸気混合部34,35を制御する。
また、カソード電極315側での水素イオンと酸素ガスとの反応により水が生成する。そのため、高分子膜115中、特にカソード電極315側の水分量が過剰となることがある。水分量が過剰となると、セパレータ313Bの流路内に水が凝集し、酸化ガスの流れを妨げることとなり、発電効率が下がる可能性がある。
一方で、高分子膜115に充分な水蒸気が供給されず、高分子膜115が乾燥している状態になると、プロトン伝導性が低下し、燃料電池31の発電効率が低下する。従って、高分子膜115が乾燥状態となり、プロトン伝導性が低下することは好ましくない。
このような燃料電池システム3では、測定装置1Aにより、高分子膜115中の水分量を測定し、高分子膜115中の水分量を適度なものに調整することができる。これにより、燃料電池31の発電効率を高めることができる。
これにより、アノード電極314側、或いは、カソード電極315側のどちらからの側の水蒸気の供給が、発電効率に有効であるかどうかを把握することも可能である。
さらに、本実施形態の燃料電池システム3は、燃料電池31が長時間運転された際に生じる発電効率の低下の原因を探るための有用なデータを「高分子膜の含水量」という視点から提供することができる。
さらに、本実施形態では、燃料電池システム3は、測定装置1Aを備えるものとしたが、これに限らず、前記各実施形態、さらには、後述する第六実施形態の測定装置の何れもを備えるものとすることもできる。
図27,28を参照して、本実施形態について説明する。
本実施形態は、前記各実施形態の水分量測定装置1A,1B,2の出力部の別の例を示す。
出力部132は、水分量算出部124で算出した、複数の小型RFコイル114(図28には、小型RFコイル114を図示するが、小型RFコイル214でもよい)の測定領域毎の水分量を取得する測定データ取得部132Aと、取得した水分量を同一画面の区画された領域に表示する表示部132Bとを有する。
表示部132Bでは、図28に示すように、小型RFコイル114の配置位置に応じて、画面が複数の領域に区画されている。各領域は、各小型RFコイル114の測定領域の水分量に応じて、所定の色が表示される。
このように、表示部132Bの各領域に各小型RFコイル114の測定領域の水分量に応じた色を表示することで、各小型RFコイル114での計測位置と、水分量との関係を直感的に把握することができる。
これにより、使用者にとって使い勝手のよい測定装置とすることができる。
本参考例では、高分子膜(試料)のT2緩和時定数が水分含有量に対して強い依存性を持つことについての確認を行った。
第一の実施形態で説明した構成の測定装置の小型RFコイルを、標準的なソレノイドコイル(以下、標準コイルという)にかえて計測を行った。
標準コイルの直径は25mm、長さは38mmであり、測定対象となる高分子膜よりも充分に大きい。
このような標準コイルでは内部に挿入された試料(高分子膜)の核磁化を均一に励起でき、計測の信頼性が高い。
試料として、膜厚500μm、寸法15mm×15mmの高分子膜(旭硝子株式会社製)を用いた。
80℃に保持した3%過酸化水素水に、前記高分子膜を入れ、1時間攪拌した。その後、1N塩酸、イオン交換水の順に、前記高分子膜を入れ、各溶液において、1時間攪拌した(標準化処理)。
その後、室温の蒸留水に高分子膜を浸し、保管した。
高分子膜を75℃に昇温し、所定の水蒸気濃度雰囲気中で加湿するために、図15に示す加湿・昇温セル4を製作した。
高分子膜を75℃としたのは、高分子膜を燃料電池に使用することを想定したからである。燃料電池は60〜70℃で運転される。
図15に示す加湿・昇温セル4中では、高分子膜は、セル中に配置される上部部材41と、下部部材42との間に挟まれて配置される。
また、上部部材41と、下部部材42とに挟まれた高分子膜の表面上には加湿窒素ガスが流れる流路が形成されている。流路は、高分子膜表面上の12.2mm×12.0mmの領域内に形成されており、この領域内に9本設けられている。
各流路の幅と、深さは1.0mmであり、流路のピッチは1.4mmである。
加湿窒素ガス流量は50ml/minである。
まず、窒素ガスを室温の第一のバブラーで洗浄した後、温調された第二のバブラーにおいて、細孔径10μmの多孔質ガラス板から窒素ガスを噴出させた。これにより、所定の水蒸気濃度の加湿窒素ガスが生成されることとなる。
加湿後の加湿窒素ガスが凝縮しないように、加湿窒素ガスが通過する全ての配管を77℃にして、加湿窒素ガスを加湿・昇温セル4に導入した。
加湿・昇温セル4の温調は、セル内に75℃の液体を流すことで行い、高分子膜は加湿・昇温セル4の温度と等しいとした。
このようにして加湿・昇温セル4中に所定の水蒸気濃度の加湿窒素ガスを導入し、4時間以上、定常状態を保った。これにより、所定の水分量の高分子膜を得た。
加湿・昇温セル4を流れる加湿窒素ガスの水蒸気濃度を変え、各水蒸気濃度において、前記標準コイルを用い、T2緩和時定数を計測した結果を図16に示す。図16には、CPMG法とHahnエコー法のそれぞれを用いて測定した結果が示されている。
なお、CPMG法によるT2緩和時定数(CPMG)のばらつきは、18ms〜26msであった。
また、水蒸気濃度の誤差および変動は、バブラー温度の変動が主な要因である。バブラーの温度変動は−0.5℃〜+0.5℃であり、これに対応する水蒸気濃度の変動は−2%〜+2%と算出される。
にCPMG法によるT2緩和時定数(CPMG)が増加することが分かる。これにより、水蒸気濃度の増加が高分子膜の含水量を増加させ、高分子膜内を自由に運動できる水分子が増加していると考えられる。
従って、CPMG法によるT2緩和時定数(CPMG)を計測することで、高分子膜中の含水量を算出することができるといえる。
一方、Hahnエコー法により、T2緩和時定数(Hahn)を計測した場合には、Hahnエコー法によるT2緩和時定数(Hahn)は、水蒸気濃度に依存せず、略一定となってしまうことがわかる。
核磁気共鳴(NMR)法を元に、(i)小型RFコイルを用いた局所計測と、(ii)高分子膜のT2緩和時定数が水分含有量に対して強い依存性を持つことを利用して、高分子膜の水分含有量を局所・短時間・高感度での計測が可能となる。以下、実施例に基づいて説明する。
第一の実施形態で説明した構成の測定装置を用い、試料中の水分量を局所的に測定した。この装置では、小型RFコイルを用い、CPMG法を用いてマルチエコー信号を計測した。
試料として、膜厚500μm、寸法16mm×16mmのフレミオン(登録商標)膜を用いた。
はじめに、小型RFコイルにより適切にNMR信号が取得できることを示すために、CPMG法を用いてマルチエコー信号を計測した。ここでは、直径1.1mmの小型RFコイルを用い、試料としては純粋を使用した。結果を図2に示す。これにより、小型RFコイルが90°−180°励起パルスを適切に照射し、純水試料のT2緩和時定数がソレノイドコイルと同等に計測できていることが分かる。
上記装置を用い、高分子膜の水分含有量を変化させ、CPMG法とHahnエコー法のそれぞれを用いてT2緩和時定数を計測した結果を図17に示す。横軸の水蒸気濃度は、高分子膜の周囲の水蒸気濃度を示しており、膜はその水蒸気濃度に平衡な水分含有量を有する。すなわち、横軸は、高分子膜の水分含有量と見なしてよい。この図から、膜の水分含有量の増加に従って、CPMG法によるT2緩和時定数は長くなるが、Hahnエコー法によるT2緩和時定数は一定であることが分かる。
本実施例では、小型表面コイルを用いた場合に、標準コイルと同等のT2(CPMG)が計測できることを検証した。時間的に安定した試料の硫酸銅水溶液を用いてT2(CPMG)計測を行った。
図20には、上から順に、10〜20回計測して算出したT2(CPMG)の平均値、標準コイルでのT2(CPMG)の平均値を基準とした場合の比率(括弧内の数値)、計測のばらつきを示す標準偏差、標準偏差を平均値で徐した変動係数を示した。
図19の横軸は、同一試料、同一条件の下、標準コイルで計測したT2(CPMG)であり、図中の細かい破線が標準コイルと同じT2(CPMG)となった場合を表す。エラーバーは、10〜20回計測して算出したT2(CPMG)のばらつきを示す標準偏差(図20の標準偏差)である。
これに対し、直径0.8mmのコイルでは、T2(CPMG)の平均値が、標準コイルのT2(CPMG)に比べ、1.32〜1.54倍に長くなった。また、直径0.8mmのコイルの変動係数は0.14〜0.16であり、直径2.0mmのコイルの変動係数に比べて増加した。
本実施例では、小型表面コイルおよび標準コイルを用いて、高分子膜からのT2緩和時定数をCPMG法により、計測した。
ここでは、参考例と同様の高分子膜を使用した。
また、小型表面コイルとしては、直径が0.8mmのものと、直径が2.0mmのものとを使用した。各小型表面コイルは、それぞれ直径50μmのポリウレタン皮膜付導線を渦巻き状に3.5回巻いた後、形状を保つように30μm厚の粘着性ポリイミドフィルムで挟み込んだものである。
参考例と同様の方法で高分子膜に標準化処理を施し、その後、室温の蒸留水に浸して保管した。
この高分子膜を乾燥したティッシュペーパに10秒間、3回押し付けて、高分子膜表面の水分を取った。
そして、この高分子膜を二枚のカバーガラス(寸法18mm×18mm×肉厚0.12mm)に挟み、乾燥しないように周囲をポリイミ
ドフィルムで密閉した。小型表面コイルはポリイミドフィルムの中央に貼り付けられ、コイルと水溶液の距離は30μm厚のポリイミドフィルムを含んで0.15mmであった。
また、計測時の高分子膜の温度は、23℃であった。
図21から、直径2.0mmの小型表面コイルでは標準コイルとほぼ同等のT2緩和時定数(CPMG)の値が計測されていることがわかる。また、直径0.8mmの小型表面コイルでは、実施例2での硫酸銅水溶液での計測結果と同様に、T2緩和時定数(CPMG)の値が増加している。直径0.8mmの小型表面コイルで計測したT2緩和時定数の平均値は、標準コイルでのT2緩和時定数(CPMG)の平均値を基準とした場合、1.20倍となる。
計測のばらつきは、直径2.0mmの小型表面コイルでは標準偏差が47ms、変動係数が0.047であり、直径0.8mmの小型表面コイルでは標準偏差が340ms、変動係数が0.31であった。
実施例2に比べて、直径0.8mmの小型表面コイルでの計測のばらつきが大きくなった理由としては、高分子膜からのエコー信号の強度が小さく、信号対雑音比が大きく低下していることが考えられる。
また、標準コイルでのT2緩和時定数(CPMG)に対する直径0.8mmの小型表面コイルでのT2緩和時定数(CPMG)の比率が、実施例2に比べて減少していることがわかる。
実施例3でも延べたが、標準コイルでのT2緩和時定数(CPMG)に対する、小型表面コイルでのT2緩和時定数(CPMG)の比率は、小型表面コイルの直径や、幾何形状による励起強度分布の不均一性に主に依存し、同一形状の小型表面コイルであれば前記比率は、一定になると考えられる。
そのため、この比率を小型表面コイルの直径や、小型表面コイルの幾何形状による補正因子と見なして、小型表面コイルでのT2緩和時定数(CPMG)の値をこれで除すれば、標準コイルでの計測値に換算できる。
本実施例では、第二の実施形態に記載の装置(図8)において、複数の小型表面コイルを用い、複数チャンネル計測システムによって試料を測定し、大型ソレノイドコイルと同等なT2(CPMG)値が計測できることを検証した。
本実施例では、前記第一の実施形態に記載の測定装置を使用し、高分子膜中のメタノール量の測定を行った。
本実施例では、メタノールの含有量の異なる以下の2種類の高分子膜の測定を行った。
・メタノール含有量30mgの高分子膜
・メタノール含有量115mgの高分子膜
なお、高分子膜としては、乾燥状態における膜厚500μm、乾燥状態における寸法11mm×11mmの高分子膜(旭硝子株式会社製、商品名フレミオン)を用いた。
[メタノール含有量115mgの高分子膜の調整方法]
まず、充分にドライヤーで乾燥させた高分子膜を用意した。そして、乾燥時の高分子膜の重量を測定した(ここでは、90mgであった)。
次に、この高分子膜をメタノールに浸し、1ヶ月以上放置した。
メタノールに浸した前記高分子膜の重量を測定し、この重量から乾燥時の高分子膜の質量をひき、これを高分子膜に含まれるメタノール量とした。ここでは、メタノール量は115mgであった。
なお、メタノール含有量115mgの高分子膜は、膨潤しており、厚さ0.6mmであり、平面における寸法が約16mm×約16mmとなっていた。
充分にドライヤーで乾燥させた高分子膜を用意した。そして、乾燥時の高分子膜の重量を測定した(ここでは、90mgであった)。
一方、メタノールに浸した高分子膜をドライヤーで適度に乾燥させて、高分子膜に含まれるメタノール量を調整した。
その後、高分子膜の重量を測定し、この重量から乾燥時の高分子膜の質量をひき、これを高分子膜に含まれるメタノール量とした。ここでは、メタノール量は30mgであった。
なお、メタノール含有量30mgの高分子膜は、厚さ0.5mmであり、平面における寸法が約11mm×約11mmとなっていた。
第一の実施形態に記載の測定装置を用いた。
測定装置の小型表面コイルとしては、直径2.0mm、3.5回巻きのものを使用した。
CPMG法を用い、偶数番目のエコー信号の強度を取得し、この強度の減衰から、T2緩和時定数(CPMG)を算出した。
ここで、測定を行う際には、高分子膜を2枚のカバーガラス(厚さ0.12mm)によりはさみ、その周囲をポリイミドフィルムで密閉した。これにより、高分子膜からのメタノールの蒸発を防止することができる。
高分子膜中のメタノール量を測定する際には、小型コイルをカバーガラスに当接させた。
そして、図23に示したエコー信号の減衰曲線からT2緩和時定数(CPMG)を算出した。
なお、ここでは、図23に示すようなエコー信号の取得を5回行い、T2緩和時定数(CPMG)の算出を5回行った。T2緩和時定数(CPMG)の平均値は428.5msであり、その標準偏差は88.3msであった。
図24に、メタノール含有量115mgの高分子膜からのエコー信号の一例を示す。
次に、図24に示したエコー信号の減衰曲線からT2緩和時定数(CPMG)を算出した。
なお、本実施例では、メタノール含有量115mgの高分子膜からのT2緩和時定数(CPMG)の取得を6回行った。T2緩和時定数(CPMG)の平均値は1715.9msであり、その標準偏差は359.1msであった。
また、高分子膜のメタノールの含有による膨潤を考慮し、図26には、単位体積あたりのメタノール量(mg/mm3)と、T2緩和時定数との関係を示す。
メタノール含有量と共にT2緩和時定数(CPMG)は長くなり、メタノール含有量が高濃度の領域と低濃度領域ではT2緩和時定数(CPMG)に明確な差が生ずる。
これにより、CPMG法によりT2緩和時定数を計測することで、メタノール含有量が算出できることがわかる。
さらに、前記実施形態、実施例においては、高分子膜中のプロトン性溶媒量を測定したが、これに限らず、例えば、フォトレジスト膜中に残存する溶媒(プロトン性溶媒)の量を測定してもよい。
一般に、フォトレジスト膜を被塗布面に形成した後、100℃〜200℃で加熱され、適度に乾燥される。このようにフォトレジスト膜を適度に乾燥することで、露光工程での必要とされるフォトレジスト膜の機械的強度を付与することができる。
ここで、フォトレジスト膜をソフトベークする際には、レジスト中の溶媒を完全に乾燥させず、露光時の化学反応が適切に行われるよう、溶媒を一定量、フォトレジスト膜中に残存させることが好ましい。本発明の測定装置により、フォトレジスト膜中に残存する溶媒量を把握することで、所望の溶媒量を有するフォトレジスト膜を得ることが可能となる。
例えば、検量線テーブル126に、試料中に含まれるプロトン性溶媒の種類毎のプロトン性溶媒量と、T2緩和時定数との相関関係を示す情報(検量線)が格納されていてもよい。
ユーザが、測定装置を使用する際に、測定対象となるプロトン性溶媒を特定するための情報(プロトン性溶媒の種類)を入力する。測定装置のデータ受付部120では、この情報を受付、水分量算出部124に送出する。
水分量算出部124において、プロトン性溶媒量を算出する際には、受け付けたプロトン性溶媒の種類に応じた検量線を検量線テーブル126から取得し、試料中のプロトン性溶媒量を算出する。
Claims (25)
- 核磁気共鳴法を用いて試料中の特定箇所のプロトン性溶媒量を局所的に測定する方法であって、
静磁場におかれた前記試料の特定箇所に対し、前記試料より小さい小型RFコイルを用いて、励起用振動磁場を複数回、順次印加するとともに前記励起用振動磁場に対応する複数のエコー信号を取得する第1ステップと、
前記複数のエコー信号の強度から、T2緩和時定数を算出する第2ステップと、
前記試料中のプロトン性溶媒量とT2緩和時定数との相関関係を示すデータを取得し、該データと第2ステップで算出された前記T2緩和時定数とから、前記試料中の特定箇所における前記プロトン性溶媒量を求める第3ステップと、
を含むことを特徴とする測定方法。 - 前記プロトン性溶媒は、水であることを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
- 前記小型RFコイルとして、平面型コイルを用いることを特徴とする請求項2に記載の測定方法。
- 前記第1ステップにおいて、所定のパルスシーケンスで前記励起用振動磁場を印加することを特徴とする請求項2に記載の測定方法。
- 前記第1ステップにおいて、
(a)90°パルス、および、
(b)(a)のパルスの時間τ経過後からはじまり、時間2τの間隔で印加されるn個の180°パルス
からなるパルスシーケンスで、前記励起用振動磁場を印加することを特徴とする請求項4に記載の測定方法。 - 前記90°パルスが第1位相にあり、
n個の前記180°パルスが、前記第1位相と90°ずれた第2位相にある
ことを特徴とする請求項5に記載の測定方法。 - 前記第1ステップおよび前記第3ステップにおける前記パルスシーケンスは、前記90°パルスより時間τだけ前の時刻に印加される180°パルスを含むことを特徴とする請求項5に記載の測定方法。
- 前記第1ステップにおいて、複数の前記小型RFコイルを用い、前記試料の複数箇所に対し、励起用振動磁場を印加するとともに、前記励起用振動磁場に対応するエコー信号を取得し、
前記第2ステップにおいて、前記試料の複数箇所に対しT2緩和時定数を算出し、
前記第3ステップにおいて、前記T2緩和時定数に基づいて、前記試料の前記複数箇所における水分量を求める、
ことを特徴とする請求項2に記載の測定方法。 - 前記第3ステップの後、前記試料の前記複数箇所における水分量に基づいて前記試料の水分量分布を提示する第4ステップをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の測定方法。
- 前記試料が水分を含有する膜であることを特徴とする請求項2に記載の測定方法。
- 核磁気共鳴法を用いて試料中の特定箇所のプロトン性溶媒量を局所的に測定する装置であって、
前記試料に対して静磁場を印加する静磁場印加部と、
前記試料に対し励起用振動磁場を印加するとともに、前記励起用振動磁場に対応するエコー信号を取得する、前記試料より小さい小型RFコイルと、
前記エコー信号の強度から、T2緩和時定数を算出し、算出した前記T2緩和時定数から、試料中の特定箇所における前記プロトン性溶媒量を算出する演算部と、
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記プロトン性溶媒は、水であることを特徴とする請求項11に記載の測定装置。
- 前記小型RFコイルは、平面型コイルであることを特徴とする請求項12に記載の測定装置。
- 前記小型RFコイルは、平面型コイルであり、
導線が右巻きに巻かれたコイル部と、導線が左巻きにまかれたコイル部とを連結したものであることを特徴とする請求項11に記載の測定装置。 - 前記小型RFコイルおよび
前記静磁場印加部を支持する支持体を有し、
前記支持体は、スティック状であり、その先端部に前記小型RFコイルが取り付けられていることを特徴とする請求項11に記載の測定装置。 - 試料の種類毎に、試料中の水分量とT2緩和時定数との相関関係を示す情報を保有する記憶部をさらに備え、
前記演算部は、前記記憶部から測定対象の試料に対応する前記情報を取得し、該情報に基づいて水分量を算出することを特徴とする請求項12に記載の測定装置。 - 前記小型RFコイルは、所定のパルスシーケンスで前記励起用振動磁場を印加することを特徴とする請求項12に記載の測定装置。
- 前記小型RFコイルは、
(a)90°パルス、および、
(b)(a)のパルスの時間τ経過後からはじまり、時間2τの間隔で印加されるn個の180°パルス
からなるパルスシーケンスで、前記励起用振動磁場を印加することを特徴とする請求項17に記載の測定装置。 - 前記90°パルスが第1位相にあり、
n個の前記180°パルスが、前記第1位相と90°ずれた第2位相にある
ことを特徴とする請求項18に記載の測定装置。 - 前記パルスシーケンスは、前記90°パルスより時間τだけ前の時刻に印加される180°パルスを含むことを特徴とする請求項18に記載の測定装置。
- 前記小型RFコイルを複数備え、該複数の小型RFコイルは、前記試料の複数箇所に対し、励起用振動磁場を印加するとともに、前記励起用振動磁場に対応するエコー信号を取得し、
前記演算部は、前記試料の前記複数箇所における水分量を算出する、
ように構成されていることを特徴とする請求項12に記載の測定装置。 - 前記試料の水分量分布を提示する出力部をさらに備え、
前記演算部は、前記試料の前記複数箇所における水分量に基づいて前記試料の水分量分布を算出し、
前記出力部は、前記演算部により算出された前記水分量分布を提示する
ことを特徴とする請求項21に記載の測定装置。 - 前記演算部が、
前記エコー信号の強度から水分量計算値を計算する計算部と、
前記水分量計算値に対し、前記小型RFコイルのサイズに応じた補正を施し、前記水分量を算出する補正部と、
を含むことを特徴とする請求項12に記載の測定装置。 - 前記小型RFコイルに前記励起用振動磁場を発生させるRF信号を生成するRF信号生成部と、
前記小型RFコイルにより取得されたエコー信号を検出するとともに、該エコー信号を前記演算部に送出するエコー信号検出部と、
前記小型RFコイル、前記RF信号生成部および前記エコー信号検出部を接続する分岐部に設けられ、前記小型RFコイルと前記RF信号生成部とが接続された状態と、前記小型RFコイルと前記エコー信号検出部とが接続された状態とを切り替えるスイッチ回路と、
をさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の測定装置。 - 請求項11に記載の測定装置において、
前記小型RFコイルを複数備えるとともに、前記試料のプロトン性溶媒量分布を提示する出力部をさらに備え、
該複数の小型RFコイルは、前記試料の複数箇所に対し、励起用振動磁場を印加するとともに、前記励起用振動磁場に対応するエコー信号を取得し、
前記演算部は、前記試料の前記複数箇所におけるプロトン性溶媒量を算出し、
前記出力部は、前記演算部で算出した前記試料の前記複数箇所毎のプロトン性溶媒量を取得する測定データ取得部と、
前記測定データ取得部で取得したプロトン性溶媒量を、一画面の区画された領域に表示する表示部とを有することを特徴とする測定装置。
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