JPWO2006009174A1 - 赤外線センサおよびその製造方法 - Google Patents
赤外線センサおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2006009174A1 JPWO2006009174A1 JP2006529245A JP2006529245A JPWO2006009174A1 JP WO2006009174 A1 JPWO2006009174 A1 JP WO2006009174A1 JP 2006529245 A JP2006529245 A JP 2006529245A JP 2006529245 A JP2006529245 A JP 2006529245A JP WO2006009174 A1 JPWO2006009174 A1 JP WO2006009174A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- pyroelectric element
- infrared sensor
- conductive paste
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N15/00—Thermoelectric devices without a junction of dissimilar materials; Thermomagnetic devices, e.g. using the Nernst-Ettingshausen effect
- H10N15/10—Thermoelectric devices using thermal change of the dielectric constant, e.g. working above and below the Curie point
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
【解決手段】赤外線センサ1の製造方法は、一方の主面に、熱伝導の低い材料からなる複数個の支持部22a,22bと第1の電極23aとが一体形成された基台20を準備する工程と、一方の主面に、前記第1の電極23aと導通接続する第2の電極12aが形成された焦電素子10を準備する工程と、前記第1の電極23a面上に、前記支持部22a,22bよりも高くなるように一定量の導電ペースト24aを載せる工程と、前記焦電素子10を、前記第2の電極12aが前記導電ペースト24aと接するように前記支持部22a,22bの上面に載置し、前記導電ペースト24aを硬化させる工程を含む。
Description
本発明は、赤外線センサおよびその製造方法、特に小型の赤外線センサおよびその製造方法に関するものである。
赤外線センサは、焦電素子が持つ焦電効果を利用して、人の侵入や火災等を検知するセンサである。ここで、焦電効果とは、人や炎等から発生する赤外線がセンサ内部に搭載されている焦電素子に入射することで発生する温度変化により焦電素子内の自発分極が変化し、その変化量に応じた電荷が発生する現象をいう。
そして、赤外線センサは、焦電素子内の自発分極の変化により発生する電荷量に応じて出力が変わることを利用し、この出力の変化を回路処理して対象物を検出するものである。
そして、赤外線センサは、焦電素子内の自発分極の変化により発生する電荷量に応じて出力が変わることを利用し、この出力の変化を回路処理して対象物を検出するものである。
この種の赤外線センサとして、焦電素子を基台から一定距離だけ離して支持するように、焦電素子の両端または四隅部分と基台との間に支持部を設ける構造のものがある(特許文献1)。
このような構造の赤外線センサの場合、焦電素子と支持部や、支持部と基台との位置関係にずれがあると、焦電素子に形成された電極の近傍の熱流がばらつく。したがって、焦電素子に赤外線が入射した時、熱流のばらつきにより焦電素子の温度が変動し、焦電素子の出力が赤外線の入射量に対して一定にならないという問題があった。
このような問題を解決するものとして、焦電素子裏面の両端にスクリーン印刷法を用いて支持部となる導電ペーストを印刷、固化するようにした赤外線センサの製造方法が提案されている(特許文献2)。
そして、この特許文献2では、さらに、支持部を高く形成したい場合は、複数回の印刷、固化を繰り返すことにより支持部の厚みを増すことが示されている。
特開平8−35880号公報
特許第3209034号公報
そして、この特許文献2では、さらに、支持部を高く形成したい場合は、複数回の印刷、固化を繰り返すことにより支持部の厚みを増すことが示されている。
しかしながら、スクリーン印刷には、その印刷表面が平坦ではなく凹凸ができてしまうという問題点がある。1回目の印刷で凹凸ができた印刷表面にさらに繰り返し印刷を重ねると、製造されるセンサによっては、最終的に作製される支持部の高さにばらつきが生じる。したがって、焦電素子と基台間の空間(隙間)部分の大きさがばらつくことになる。
焦電素子が発する熱はこの空間にも伝わる。そして、この空間の大きさがばらつくと、空間の温度変化と焦電素子の温度変化の関係にばらつきが生じることになる。そして、焦電素子の温度変化はこの空間の温度変化の影響を受けるため、センサの検出精度が一定しない要因となる。
また、スクリーン印刷は、スキージをスクリーンに押し当て、加圧している状態でスクリーン上を滑らし、予めスクリーン上に載せておいたペーストをメッシュ穴を通じて焦電素子上に塗布するという方法であるため、厳密には一定量のペーストを供給できず、また、スクリーンと焦電素子の間の部分ににじみが発生してしまう可能性がある。このため、印刷結果が意図した面積よりも大きくなる可能性がある。支持部の上面の面積が大きくなると、焦電素子と接する面積が大きくなることになる。したがって、焦電素子と支持部間の熱伝導性にばらつきが生じ、センサの検出精度が一定しない要因ともなる。
以上のような熱に関する問題は、特に赤外線センサの小型化が進むにつれて顕在化している。従来の赤外線センサは、人の侵入や火災の検知器のように比較的サイズの大きなセット品に搭載されることが多かったため、センサ自体の小型化がそれほど強く求められることはなかった。しかしながら、近年求められている無線機器等の小型セット品への搭載を可能にするためには、赤外線センサをさらに小型化する必要がある。そして、小型化が進めば進むほど、基台と焦電素子間の空間の大きさや、支持部と焦電素子との接着面積の微小な狂いなどが検出精度に大きく影響を与えることになる。
本発明は、上記課題を解決するものであり、小型で、検出精度の高い赤外線センサ、およびその製造方法を提供することを目的としている。
上記の課題を解決すべく本発明(請求項1)の赤外線センサの製造方法は、
一方の主面に、熱伝導の低い材料からなり、所定の高さを有する複数個の支持部と、第1の電極とが一体形成された基台を準備する工程と、
前記第1の電極面上に、前記支持部よりも高くなるように所定量の導電ペーストを載せる工程と、
一方の主面に第2の電極が形成された焦電素子を、前記第2の電極が前記導電ペーストと接するように前記支持部の上面に載置し、前記導電ペーストを硬化させる工程と
を含むことを特徴とする。
一方の主面に、熱伝導の低い材料からなり、所定の高さを有する複数個の支持部と、第1の電極とが一体形成された基台を準備する工程と、
前記第1の電極面上に、前記支持部よりも高くなるように所定量の導電ペーストを載せる工程と、
一方の主面に第2の電極が形成された焦電素子を、前記第2の電極が前記導電ペーストと接するように前記支持部の上面に載置し、前記導電ペーストを硬化させる工程と
を含むことを特徴とする。
また、本発明(請求項2)の赤外線センサは、
一方の主面に所定の高さを有する複数個の支持部と第1の電極が形成された基台と、前記支持部の上面に載置された焦電素子とを備える赤外線センサであって
、
前記支持部は熱伝導の低い材料からなり、前記基台と一体形成されており、
前記焦電素子の一方の主面には第2の電極が形成されており、
前記第2の電極は前記第1の電極と対向する位置にあって、硬化した所定量の導電ペーストを介して前記第1の電極と導通接続されていること
を特徴とする。
一方の主面に所定の高さを有する複数個の支持部と第1の電極が形成された基台と、前記支持部の上面に載置された焦電素子とを備える赤外線センサであって
、
前記支持部は熱伝導の低い材料からなり、前記基台と一体形成されており、
前記焦電素子の一方の主面には第2の電極が形成されており、
前記第2の電極は前記第1の電極と対向する位置にあって、硬化した所定量の導電ペーストを介して前記第1の電極と導通接続されていること
を特徴とする。
また、請求項3の赤外線センサは、前記第1の電極は金属板であることを特徴とする。
また、請求項4の赤外線センサは、前記熱伝導の低い材料の主成分が、ガラス、セラミックおよび樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする。
本発明の赤外線センサの製造方法を用いれば、支持部を基台とともに一体形成するので、支持部の高さのばらつきは低減される。したがって、焦電素子と基台間の空間(隙間)の温度変化のばらつきは低減され、検出精度にばらつきの少ない赤外線センサを作製することができる。また、焦電素子側と基台側の電極間を導通させるために載せられる導電ペーストは、支持部よりも高くなるように所定量を載せ、その後に支持部上面に焦電素子を載置するようにしているので、導電ペーストと焦電素子との接着面積のばらつきも低減される。したがって、焦電素子と支持部間の熱伝導性のばらつきは低減され、検出精度にばらつきの少ない赤外線センサを作製することができる。
なお、上述のように、第1の電極面上に所定量の導電ペーストを載せるにあたっては、
(a)第1の電極面上に、略同一量(一定量)の導電ペーストを載せる
(b)第1の電極の、導電ペーストを載せる部分の面積が略同一面積となるように導電ペーストを載せる、
(c)第1の電極面上に載せられた導電ペーストが、支持部よりもある程度以上高くなるようにする、
(d)導電ペーストの粘度や流動特性などのばらつきを抑制する、
などの要件を満たすようにした場合、硬化した導電ペーストと焦電素子との接着面積のばらつきをより確実に低減して、検出精度の高い赤外線センサを得ることが可能になる。
(a)第1の電極面上に、略同一量(一定量)の導電ペーストを載せる
(b)第1の電極の、導電ペーストを載せる部分の面積が略同一面積となるように導電ペーストを載せる、
(c)第1の電極面上に載せられた導電ペーストが、支持部よりもある程度以上高くなるようにする、
(d)導電ペーストの粘度や流動特性などのばらつきを抑制する、
などの要件を満たすようにした場合、硬化した導電ペーストと焦電素子との接着面積のばらつきをより確実に低減して、検出精度の高い赤外線センサを得ることが可能になる。
本発明の構造では、焦電素子が受光し放熱する熱の通り道の一つに、硬化した導電ペースト(以下、単に「導電ペースト」ともいう)を経由して基台側の電極に伝わる経路がある。従来、この基台側の電極はめっきによって形成する場合が多いが、めっき膜は金属板に比べて厚みが薄く、熱伝導性は悪い。熱伝導性の悪いめっき膜を上記の経路における基台側の電極として用いると、仮に焦電素子と硬化した導電ペースト間の熱伝導にばらつきがあっても、導電ペーストとめっき膜間が熱伝導の律速部分となるので、それほど問題とはならない。
一方、金属板は、めっき膜に比べて厚みが大きく、熱伝導性は良好である。このため、本発明のように、熱伝導性の良い金属板を基台側の電極として用いると、仮に焦電素子と硬化した導電ペースト間の熱伝導にばらつきがあった場合は、導電ペーストと金属板間が熱伝導の律速部分とはならないので、ばらつきが抑制されないことになる。したがって、金属板を用いるということは、焦電素子側から見れば、検出精度の安定に寄与しない要因となり得る。
しかしながら、本発明では、焦電素子の一方の主面の第2の電極が、硬化した所定量の導電ペーストを介して第1の電極と導通接続されているので、焦電素子と硬化した導電ペースト間の接着面積のばらつきが少なく、焦電素子と導電ペースト間の熱伝導のばらつきも小さくなる。
したがって、本発明のように、基台側の電極に金属板を用いたとしても、その熱伝導性の良さがセンサの検出精度に実質的に影響を与えることはない。
したがって、本発明のように、基台側の電極に金属板を用いたとしても、その熱伝導性の良さがセンサの検出精度に実質的に影響を与えることはない。
また、本発明の赤外線センサは、支持部の材料を、例えばガラス、セラミックや樹脂のような熱伝導の低い材料であることを特徴としている。これにより、焦電素子が発生する熱を逃がすルートが、焦電素子と基台間の空間と、両者をつなぐ硬化した導電ペースト部分に実質的に絞り込まれる。焦電素子が発する熱を伝える媒体を増やすことなく絞り込めるので、センサの検出精度のばらつきがより小さくなる。
1,2,3 赤外線センサ
10,60 焦電素子
11a,11b (表面の)電極
12a,12b (裏面の)電極(第2の電極)
13 セラミック基板
14a,14b (裏面の)電極
20,40,50 基台
21 基板
22a〜22f 支持部
23a,23b 電極(第1の電極)
24a,24b 導電ペースト
25a〜25d 接続電極
26 金属製の配線プレート
27 ピン
30 ケース
31 枠
32 透光性窓
10,60 焦電素子
11a,11b (表面の)電極
12a,12b (裏面の)電極(第2の電極)
13 セラミック基板
14a,14b (裏面の)電極
20,40,50 基台
21 基板
22a〜22f 支持部
23a,23b 電極(第1の電極)
24a,24b 導電ペースト
25a〜25d 接続電極
26 金属製の配線プレート
27 ピン
30 ケース
31 枠
32 透光性窓
以下に本発明の実施例を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
まず、本発明の赤外線センサの構造とその製造方法の概要を以下に説明する。
図1は、本実施例の赤外線センサ1の分解斜視図である。赤外線センサ1は、大きく、焦電素子10、基台20、ケース30とから構成される。図2は、焦電素子10の裏側を示す斜視図である。図3は、基台20の裏側を示す斜視図である。
焦電素子10は、焦電性を有するセラミック基板13と、その表面に薄膜で形成された電極11a,11b、裏面に薄膜で形成された電極14a,14bと、第2の電極である電極12a,12bとで構成されている。表面の電極11a,11bは裏面の電極14a,14bとそれぞれ対向する位置に形成されている。裏面の電極12a,12bは基台側の電極と導通するための機能を有する電極部分であり、裏面の電極14a,14bとそれぞれつながっている。
基台20はガラス材料によって形成された基板21を本体とし、同じくガラスを材料とした4箇所の支持部22a〜22dが一体形成されている。本実施例における支持部22a〜22dの形状は、上面が平坦な直方体としている。本実施例においては、従来の印刷による形成方法とは異なり、カーボン治具を用いて基板21とともに一体形成しているため、その高さや形状は所定のものが設けられている。またその形成位置は、後に焦電素子10が載置された際に、焦電素子10の四隅がその上に位置するように位置決めされている。仮に、一体形成ではなく、基板21と支持部22a〜22dとを別体で作っておき、それを後から接合するような製造方法を採用すると、接合のために何らかの接合剤を用いる必要が生じる。接合剤の厚みによっては支持部22a〜22dの高さにばらつきが生じる可能性がある。また、別体で作っておいた支持部22a〜22dを基板21上に置き、搭載面付近を溶解して接合する方法を用いる場合でも、溶解する量によって高さにばらつきが生じる可能性がある。
支持部22aと22b、22cと22dの間には、第1の電極である金属板の電極23a,23bがそれぞれ基板21の表面に露出するように形成されている。この電極23a,23bは、上述したカーボン治具による基板21の形成の際に、予め金型成形しておいた金属製の配線プレート26を基板21とともに一体形成し、配線プレート26の一部が支持部22aと22b、22cと22dの間に露出するようにして形成したものである。焦電素子10は、裏面の電極12a,12bがこの電極23a,23bと対向するように載置され、それぞれが導通接続されることになる。
なお、基台20の裏側に設けられている接続電極25a〜25dも、上述の金属製の配線プレート26の一部が露出したものであり、SMD構造の電極である。電極23aは、GND電極である接続端子25a,25bとつながれている。一方、電極23bはFET(図示せず)のゲートに接続され、FETのドレインとソースはそれぞれ基台20裏面に設けた接続電極25c,25dとにつながれている。
ケース30は、赤外線のみを透過する透光性窓32と、それを囲む金属製の枠31から構成されている。これらの焦電素子10、基台20、ケース30が合わせられ、赤外線センサ1となる。
次に、本発明の製造方法について、図4(a)〜(d)の工程断面図を用いて詳細に説明する。
まず、図4(a)に示すように、基台20を準備する。上述の通り、支持部22a,22bと厚み100μm程度の金属板からなる電極23a、接続電極25a,25bは、基板21と共に一体形成して作製する。基台20においては、支持部22a,22bが基板21から盛り上がるように形成し、電極23aがその支持部22a,22bの間で基板21表面に露出するように形成する。一体形成するため、支持部22a,22bの高さBは所定の高さとなっている。
次に、図4(b)に示すように、ピン27に導電ペースト24aを所定量付着させ、それを電極23a面上に転写する。この時、導電ペースト24aの上部が、支持部22a,22bよりも高くなるように、ペーストの量や粘度を調整しておく。
次に、図4(c)、(d)に示すように、裏面に第2の電極である電極12aを形成しておいた焦電素子10を、電極12aが導電ペースト24aと接するように、支持部22a,22bの上面に載置する。所定の高さに形成した支持部22a,22bの間に、所定量の導電ペースト24aを支持部22a,22bよりも高くなるように載せ、その状態で焦電素子10を載置するので、電極12aと導電ペースト24aとの接着面積Cは、ほぼ所定の大きさとなる。
最後に、導電ペースト24aを硬化させ、焦電素子10と基台20とを固着する(図示せず)。
以上のように、焦電素子10と基台20間の高さBは所定のサイズで形成されるため、焦電素子10と基台20間の空間の大きさは一定し、したがって空間の温度変化のばらつきも抑制される。また、焦電素子10と硬化した導電ペースト24aとの接着面積Cも所定の大きさとなるため、焦電素子10から基台20へ伝わる熱量のばらつきも抑制される。これらのことから、検出精度にばらつきの少ない赤外線センサを作製することができる。
特に、本発明の赤外線センサは、基台側の電極23aに金属板を用いた場合に効果を発揮する。
本発明の構造では、焦電素子10から発生した熱の通り道の一つに、硬化した導電ペースト24aを経由して基台側の電極23aに伝わる経路がある。
従来、この基台側の電極はめっきによって形成する場合が多いが、めっき膜の厚みは10μm程度であり金属板に比べて厚みが薄く、熱伝導性は悪い。熱伝導性の悪いめっき膜を上記の経路における基台側の電極として用いると、仮に焦電素子と硬化した導電ペースト間の熱伝導にばらつきがあっても、導電ペーストとめっき膜間が熱伝導の律速部分となるので、それほど問題とはならない。
一方、本実施例においては基台側の電極23aに金属板を用いており、その金属板は厚みが100μm程度であり、めっき膜に比べて厚みが大きく、熱伝導性は良い。このため、仮に焦電素子10と硬化した導電ペースト24a間の熱伝導にばらつきがあった場合は、硬化した導電ペースト24aと金属板の電極23a間が熱伝導の律速部分とはならないので、ばらつきが抑制されないことになる。金属板を用いるということは、焦電素子側から見れば、発生した熱を焦電素子10内で保持することなく外部へ放熱し易くなる構造であることを意味し、検出精度の安定に寄与しない要因となり得る。
しかしながら、本発明では、図4に示すように、焦電素子10の一方の主面(裏面)の電極(第2の電極)12が、硬化した所定量の導電ペースト24aを介して基台側の電極(第1の電極)23aと導通接続されているので、焦電素子10と硬化した導電ペースト24a間の接触面積のばらつきが少なく、焦電素子10と硬化した導電ペースト24a間の熱伝導のばらつきも小さくなる。したがって、基台側の電極23aに金属板を用いたとしても、その熱伝導性の良さがセンサの検出精度に実質的に影響を与えることはない。
なお、本発明の赤外線センサの製造方法において、基台側の電極(第1の電極)23a,23b面上に所定量の導電ペースト24a,24bを載せるにあたって、
(a)基台側の電極(第1の電極)23a,23b上に、略同一量(一定量)の導電ペースト24a,24bを載せる、
(b)基台側の電極(第1の電極)23a,23bの、導電ペースト24a,24bを載せる部分の面積が略同一面積となるように導電ペースト24a,24bを載せる、
(c)基台側の電極(第1の電極)23a,23b上に載せられた導電ペースト24a,24bが、支持部22a〜22dよりもある程度以上高くなるようにする、
(d)導電ペースト24a,24bの粘度や流動特性などのばらつきを抑制する、
などの要件を満たすようにすることが望ましい。上記の要件を満たすことにより、硬化した導電ペーストと焦電素子との接着面積のばらつきをより確実に低減して、検出精度の高い赤外線センサを得ることが可能になる。
(a)基台側の電極(第1の電極)23a,23b上に、略同一量(一定量)の導電ペースト24a,24bを載せる、
(b)基台側の電極(第1の電極)23a,23bの、導電ペースト24a,24bを載せる部分の面積が略同一面積となるように導電ペースト24a,24bを載せる、
(c)基台側の電極(第1の電極)23a,23b上に載せられた導電ペースト24a,24bが、支持部22a〜22dよりもある程度以上高くなるようにする、
(d)導電ペースト24a,24bの粘度や流動特性などのばらつきを抑制する、
などの要件を満たすようにすることが望ましい。上記の要件を満たすことにより、硬化した導電ペーストと焦電素子との接着面積のばらつきをより確実に低減して、検出精度の高い赤外線センサを得ることが可能になる。
図5は、本実施例の赤外線センサ2の分解斜視図である。実施例1の赤外線センサ1とは、支持部の数の点で異なる。
実施例1の赤外線センサ1の基台20では、合計4つの支持部を基台上に一体形成していた。これに対し、本実施例の赤外線センサ2の基台40には、実施例1の支持部に加え、支持部22e,22fを追加している。
例えば、焦電素子10を保持する強度を高めようとして支持部の数を増加させたとしても、本発明の効果を損なうことはない。本発明は支持部の数で制限されるものではない。
図6は、本実施例の赤外線センサ3の分解斜視図である。実施例1の赤外線センサ1とは、支持部の数と、支持部と第1の電極との位置関係、焦電素子の形状の点で異なる。
本実施例の赤外線センサ3の焦電素子60の形状は、実施例1の焦電素子10よりも細長い形状としている。また、実施例1の赤外線センサ1の基台20では、基板21の四隅に4つ支持部が設けられ、組となる2つの支持部の間に第1の電極が形成され、その第1の電極面上に導電ペーストが載せられていた。これに対し、本実施例の赤外線センサ3の基台50には、基板21の左右に支持部22a,22bをそれぞれ1つづつ設け、その支持部22a,22bを結ぶ延長線上の外側に導電ペースト24a,24bをそれぞれ載せている。
焦電素子の形状が、例えば本実施例のように細長い場合は、実施例1のように四隅を支持しなくとも、2箇所で支持しても問題ないケースもある。この場合、本実施例のように第1の電極となる電極23a,23bを支持部22a,22bの外側に配置し、その電極面上に導電ペースト24a,24bをそれぞれ載せても、本発明の効果を損なうことはない。また、第1の電極となる電極23a,23bを支持部22a,22bの内側に配置しても構わない。本発明は支持部の数や、支持部と第1の電極との位置関係によって制限されるものではない。
また、上述の実施例では支持部の材料にガラスを用いているがセラミックや樹脂を用いても構わない。いずれの材料も熱伝導が悪いので、焦電素子の熱が逃げるルートを、焦電素子と基台間の空間と、両者をつなぐ導電ペースト部分に実質的に絞り込むことができる。
また、基台と支持部との素材が異なった組み合わせであっても構わない。例えば基台をセラミックとし、支持部をガラスとしても構わない。
また、上述の実施例では支持部の形状を直方体としているが、円環状でも構わず、また上面が平坦ではなく円すい状に面頂が尖っていても構わない。
また、上述の実施例では赤外線センサの実装面の構造をSMD構造としているが、3端子型の構造に本発明を適用しても構わない。
また、上述の実施例では焦電素子の裏面電極が2つに分かれているデュアルタイプとして図示しているが、3つ以上に分かれた多素子タイプに適用しても構わない。
上述のように本発明によれば、複雑な構造や、複雑な製造工程を必要とせずに、小型で、検出精度が高く、無線機器等の小型セット品への搭載が可能な赤外線センサを提供することが可能になる。
したがって、本発明は、無線機器等の小型セット品に用いられる赤外線センサやその製造技術に関する分野に広く適用することが可能である。
また、本発明は、人体の検知や、防犯機器などに用いられる汎用の赤外線センサの分野にも利用することが可能である。
したがって、本発明は、無線機器等の小型セット品に用いられる赤外線センサやその製造技術に関する分野に広く適用することが可能である。
また、本発明は、人体の検知や、防犯機器などに用いられる汎用の赤外線センサの分野にも利用することが可能である。
Claims (4)
- 一方の主面に、熱伝導の低い材料からなり、所定の高さを有する複数個の支持部と、第1の電極とが一体形成された基台を準備する工程と、
前記第1の電極面上に、前記支持部よりも高くなるように所定量の導電ペーストを載せる工程と、
一方の主面に第2の電極が形成された焦電素子を、前記第2の電極が前記導電ペーストと接するように前記支持部の上面に載置し、前記導電ペーストを硬化させる工程と
を含むことを特徴とする赤外線センサの製造方法。 - 一方の主面に所定の高さを有する複数個の支持部と第1の電極が形成された基台と、前記支持部の上面に載置された焦電素子とを備える赤外線センサであって、
前記支持部は熱伝導の低い材料からなり、前記基台と一体形成されており、
前記焦電素子の一方の主面には第2の電極が形成されており、
前記第2の電極は前記第1の電極と対向する位置にあって、硬化した所定量の導電ペーストを介して前記第1の電極と導通接続されていること
を特徴とする赤外線センサ。 - 前記第1の電極は金属板であることを特徴とする、請求項2に記載の赤外線センサ。
- 前記熱伝導の低い材料の主成分は、ガラス、セラミックおよび樹脂からなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする、請求項2または請求項3のいずれかに記載の赤外線センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004211838 | 2004-07-20 | ||
JP2004211838 | 2004-07-20 | ||
PCT/JP2005/013318 WO2006009174A1 (ja) | 2004-07-20 | 2005-07-20 | 赤外線センサおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006009174A1 true JPWO2006009174A1 (ja) | 2008-05-01 |
Family
ID=35785281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006529245A Pending JPWO2006009174A1 (ja) | 2004-07-20 | 2005-07-20 | 赤外線センサおよびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7629581B2 (ja) |
EP (1) | EP1770382A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2006009174A1 (ja) |
CN (1) | CN1985156B (ja) |
WO (1) | WO2006009174A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008036837A1 (de) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Epcos Ag | Sensorvorrichtung und Verfahren zur Herstellung |
JP5989296B2 (ja) * | 2010-04-28 | 2016-09-07 | ソニー株式会社 | 赤外線撮像装置 |
JP5481290B2 (ja) * | 2010-07-02 | 2014-04-23 | Necトーキン株式会社 | 焦電型赤外線センサ |
CN112701064B (zh) * | 2020-12-28 | 2023-04-14 | 东莞先导先进科技有限公司 | 红外探测器模组的封装治具及封装方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58182522A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 焦電型赤外線検出器 |
JPS63118524U (ja) * | 1987-01-26 | 1988-08-01 | ||
JPH04257279A (ja) * | 1991-02-09 | 1992-09-11 | Fuji Ceramics:Kk | 焦電型赤外線検出器 |
JPH07335999A (ja) * | 1994-06-15 | 1995-12-22 | Yazaki Corp | 複合回路基板の製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3590327A (en) * | 1969-04-24 | 1971-06-29 | Transmation Inc | System for maintaining uniform temperature conditions throughout a body |
US4214165A (en) * | 1979-02-21 | 1980-07-22 | Hughes Aircraft Company | Pyroelectric IR detector with signal capacitively coupled to an output circuit |
US4265968A (en) * | 1979-07-02 | 1981-05-05 | United Technologies Corporation | High strength, high thermally conductive articles |
GB2102200B (en) * | 1981-07-17 | 1985-05-30 | Philips Electronic Associated | Infra-red radiation detector |
JPH0620116Y2 (ja) * | 1988-10-05 | 1994-05-25 | 株式会社村田製作所 | 焦電型赤外線検出器 |
US5270555A (en) * | 1989-05-18 | 1993-12-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Pyroelectric IR-sensor with a molded inter connection device substrate having a low thermal conductivity coefficient |
US5420426A (en) | 1991-09-24 | 1995-05-30 | Nohmi Boasai Ltd. | Pyroelectric device |
JP2753905B2 (ja) * | 1991-09-24 | 1998-05-20 | 能美防災株式会社 | 焦電素子 |
JPH0835880A (ja) | 1994-07-20 | 1996-02-06 | Daishinku Co | 赤外線検出器 |
JP3209034B2 (ja) * | 1995-04-06 | 2001-09-17 | 株式会社村田製作所 | 赤外線検出器の製造方法 |
JPH09184756A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 焦電型赤外線検出器とその製造方法 |
ATE311020T1 (de) * | 2000-04-14 | 2005-12-15 | Hitachi Metals Ltd | Antennenanordnung und kommunikationsgerät mit einer derartigen antennenanordnung |
JP4062906B2 (ja) * | 2001-10-26 | 2008-03-19 | 松下電工株式会社 | 赤外線センサの製造方法 |
-
2005
- 2005-07-20 EP EP05766236A patent/EP1770382A1/en not_active Withdrawn
- 2005-07-20 WO PCT/JP2005/013318 patent/WO2006009174A1/ja active Application Filing
- 2005-07-20 CN CN2005800240875A patent/CN1985156B/zh active Active
- 2005-07-20 JP JP2006529245A patent/JPWO2006009174A1/ja active Pending
-
2007
- 2007-01-19 US US11/624,953 patent/US7629581B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58182522A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 焦電型赤外線検出器 |
JPS63118524U (ja) * | 1987-01-26 | 1988-08-01 | ||
JPH04257279A (ja) * | 1991-02-09 | 1992-09-11 | Fuji Ceramics:Kk | 焦電型赤外線検出器 |
JPH07335999A (ja) * | 1994-06-15 | 1995-12-22 | Yazaki Corp | 複合回路基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1985156A (zh) | 2007-06-20 |
US7629581B2 (en) | 2009-12-08 |
CN1985156B (zh) | 2012-11-07 |
EP1770382A1 (en) | 2007-04-04 |
WO2006009174A1 (ja) | 2006-01-26 |
US20070114415A1 (en) | 2007-05-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5885690B2 (ja) | 電子部品および電子機器 | |
JP2009140973A (ja) | 電子部品とその製造方法 | |
US9225882B2 (en) | Electronic component packaging that can suppress noise and electronic apparatus | |
JPWO2006009174A1 (ja) | 赤外線センサおよびその製造方法 | |
JPS5985123A (ja) | 圧電振動子用気密ベ−ス | |
JP2008235523A (ja) | 抵抗素子を有する電子部品およびその製造法 | |
JP4583188B2 (ja) | 加速度センサ | |
EP0736911B1 (en) | Method of manufacturing an infrared detector | |
JP2002009264A (ja) | 固体撮像素子および撮像装置 | |
JP2002139373A (ja) | 重量センサ | |
JP2007010377A (ja) | 加速度センサ | |
JP2870021B2 (ja) | 部品搭載用回路基板 | |
JP3106970B2 (ja) | 加速度センサ | |
JPH0645859Y2 (ja) | 赤外線検出器 | |
JPH1126910A (ja) | 電子部品のはんだ付け構造 | |
JPS58131808A (ja) | ハイブリツド集積回路 | |
JPS5646566A (en) | Solid image pickup device | |
JP2000068103A (ja) | チップ型電子部品 | |
JP2004363528A (ja) | 抵抗素子の製造法、並びに当該抵抗素子を用いた電子機器操作用応力センサ | |
JP2000261123A (ja) | チップ抵抗器の実装構造およびチップ抵抗器の実装方法 | |
JP2000003801A (ja) | 表面実装型抵抗器とその製造方法 | |
JP4813862B2 (ja) | チップ型抵抗器 | |
JP2003152158A5 (ja) | ||
JP2000043305A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
JP2002057001A (ja) | 面実装型電子部品集合体及びその製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100422 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101012 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110802 |