JPWO2005124981A1 - リニアモータ及びリニアモータの製造方法 - Google Patents

リニアモータ及びリニアモータの製造方法 Download PDF

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Abstract

パイプ状部材11と、パイプ状部材11内に複数の磁石12を、互いに隣り合う磁石12の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して収納される固定子10と、パイプ状部材11の外周面に対向配置され移動可能な可動子20とを有するリニアモータ1であり、パイプ状部材11は、一端部11aにパイプ状部材11内から磁石12が抜けることを規制する抜け止構造30を有する。 これによりパイプ状部材内に複数の磁石が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に取り付けることが可能である。

Description

この発明は、リニアモータに関し、特に、複数の磁石を直列配置した固定子と、この固定子の外周面に対向配置され移動可能な可動子とからなるリニアモータ及びリニアモータの製造方法に関するものである。
例えば、OA機器における印字ヘッドや露光走査ヘッド、医療機器における露光走査手段等における直線移動精度が要求される部位には、リニアモータを利用することが提案されている。
中でも、特開平10−313566号に代表されるシャフト型リニアモータは従来の平板状磁石を用いたリニアモータに比べ、速度性能及び省スペースといった面でOA機器等における精密搬送に適しているが、図18に示すように、中心に貫通孔のある円筒磁石100を使い、センタ軸101を用いてパイプ102に収納されて隣り合う円筒磁石100を密着させている。このようにして作成した固定子110に可動子120を移動可能に配置している。このような構造では、一般的に、円筒磁石100は貫通孔を設けるために高価であり、かつセンタ軸101を用いるため部品点数が増え、コスト面で不利となっている。
特開平10−313566号公報(第1頁〜第5頁、図1〜図5)
従来のリニアモータは、円筒磁石を用いているので高価である。即ち、磁石は円筒にするため貫通孔を開けねばならず、磁石の製造コストが高価になる。また、複数の磁石を反発し合う方向に配列するために、センタ軸を用いており、センタ軸を用いる分部品点数が増えて、高価となる。
この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、部品点数を削減した安価な構造で、パイプ状部材内に複数の磁石が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に磁石を取り付けることが可能なリニアモータ及びリニアモータの製造方法を提供することを目的としている。
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
(1)パイプ状部材と、
前記パイプ状部材内に複数の磁石を、互いに隣り合う前記磁石の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して収納される固定子と、
前記パイプ状部材の外周面に対向配置され移動可能な可動子とを有するリニアモータであり、
前記パイプ状部材は、一端部に前記パイプ状部材内から前記磁石が抜けることを規制する抜け止構造を有することを特徴とするリニアモータである。
(2)前記抜け止構造は、前記パイプ状部材の一端部が密閉、または一端部の内径が前記磁石の外径より小径であることを特徴とする(1)に記載のリニアモータである。
(3)前記抜け止構造は、前記パイプ状部材の一端部にブロック部材を設けた構成であることを特徴とする(1)に記載のリニアモータである。
(4)前記ブロック部材は、前記パイプ状部材の一端部の外径と略同外径で、前記一端部に接合固定されることを特徴とする(3)に記載のリニアモータである。
(5)前記ブロック部材は、前記パイプ状部材の一端部の内径より外径が小さく、前記一端部に挿着して固定されることを特徴とする
(3)に記載のリニアモータである。
(6)前記ブロック部材は、前記パイプ状部材の一端部に挿着されて前記磁石に当接する突き当て部を有することを特徴とする(4)に記載のリニアモータである。
(7)前記接合固定は、溶接、接着、圧着、締付を含むことを特徴とする(4)に記載のリニアモータである。
(8)前記ブロック部材は、柱状またはパイプ状であることを特徴とする(3)乃至(6)のいずれか1項に記載のリニアモータである。
(9)前記パイプ状部材の抜け止構造を有する一端部に対して反対側の他端部に、前記磁石を保持する保持部材を設けたことを特徴とする(1)乃至(8)のいずれか1項に記載のリニアモータである。
(10)前記パイプ状部材の反対側の他端部に、雌ネジ部を有する取付ブロック部材を設け、この取付ブロック部材に前記保持部材を螺着したことを特徴とする(9)に記載のリニアモータである。
(11)前記保持部材は、前記磁石を押圧して保持する突起部を有することを特徴とする(9)または(10)に記載のリニアモータである。
(12)前記磁石は、円柱形状であることを特徴とする(1)乃至(11)のいずれか1項に記載のリニアモータである。
(13)前記互いに隣り合う前記磁石の間に、軟磁性体を配置したことを特徴とする(1)乃至(12)のいずれか1項に記載のリニアモータである。
(14)前記磁石が希土類磁石であることを特徴とする(1)乃至(13)のいずれか1項に記載のリニアモータである。
(15)前記希土類磁石がネオジム系磁石であることを特徴とする(14)に記載のリニアモータである。
(16)一端部にパイプ状部材内から磁石が抜けることを規制する抜け止構造を有するパイプ状部材内に、他端部から複数の磁石を互いに隣り合う前記磁石の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して固定子を収納し、
他端部に前記磁石を保持する保持部材を設け、
前記パイプ状部材の外周面に可動子を移動可能に配置したことを特徴とするリニアモータの製造方法である。
前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。
(1)に記載の発明によれば、パイプ状部材の一端部にパイプ状部材内から磁石が抜けることを規制する抜け止構造を有することで、他端部側から磁石を組み付けて保持することができる。この磁石の組付けによりセンタ軸をなくすことができ、部品点数を削減した安価な構造で、パイプ状部材内に複数の磁石が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に磁石を取り付けることができる。
(2)に記載の発明によれば、パイプ状部材の一端部が密閉、または一端部の内径が磁石の外径より小径であり、パイプ状部材の加工により抜け止構造を簡単に設けることができる。
(3)に記載の発明によれば、パイプ状部材の一端部にブロック部材を設け、パイプ状部材は加工を行なうことなく、別部材のブロック部材により抜け止構造を簡単に設けることができる。
(4)に記載の発明によれば、ブロック部材がパイプ状部材の一端部の外径と略同外径で、一端部に接合固定され、パイプ状部材の外周面に可動子を移動可能に配置する際にブロック部材が邪魔になることがない。
(5)に記載の発明によれば、ブロック部材がパイプ状部材の一端部の内径より外径が小さく、一端部に挿着して固定され、パイプ状部材の外周面に可動子を移動可能に配置する際にブロック部材が邪魔になることがない。
(6)に記載の発明によれば、ブロック部材が突き当て部を有し、この突き当て部を磁石に当接して保持する。
(7)に記載の発明によれば、接合固定が溶接、接着、圧着、締付を含み、パイプ状部材の一端部にブロック部材を簡単かつ強固に接合固定することができる。
(8)に記載の発明によれば、ブロック部材が柱状またはパイプ状であり、安価なブロック部材を用いてパイプ状部材に簡単に設けることができる。
(9)に記載の発明によれば、パイプ状部材の抜け止構造を有する一端部に対して反対側の他端部に、磁石を保持する保持部材を設けることで、パイプ状部材内に複数の磁石が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に磁石を取り付けることができる。
(10)に記載の発明によれば、パイプ状部材の反対側の他端部に取付ブロック部材を設け、この取付ブロック部材の雌ネジ部に保持部材を螺着することで、磁石がガタ付かないように簡単且つ確実に取り付けることができる。
(11)に記載の発明によれば、保持部材の突起部により磁石を押圧して保持することで、磁石がガタ付かないようにより簡単且つ確実に取り付けることができる。
(12)に記載の発明によれば、磁石は、円柱形状であり、従来のような中心に貫通孔を設けることがない分、磁石の製造コストが安価になる。
(13)に記載の発明によれば、互いに隣り合う磁石の間に、軟磁性体を配置することで、磁石反発力を抑制することができ、かつ周囲への漏れ磁束を大きくする(推力を向上する)ことができるのでより好ましい。
(14)に記載の発明によれば、磁石が希土類磁石であり、他の磁石に比べて高い推力が得られる。
(15)に記載の発明によれば、希土類磁石がネオジム系磁石であり、さらに他の磁石に比べて高い推力が得られる。
(16)に記載の発明によれば、一端部に抜け止構造を有するパイプ状部材内に、他端部から複数の磁石を互いに隣り合う磁石の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して固定子を収納し、他端部に保持部材を設けて磁石を保持する。この磁石の組付けによりセンタ軸をなくすことができ、部品点数を削減した安価な構造で、パイプ状部材内に複数の磁石が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に磁石を取り付けることができる。
リニアモータを示す図である。 リニアモータの一端部の要部断面図である。 リニアモータの他端部の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 抜け止構造の他の実施の形態の要部断面図である。 リニアモータの他端部の要部断面図である。 互いに隣り合う磁石の間に軟磁性体を配置する実施の形態の要部断面図である。 磁束密度の計算例を示す図である。 磁石長さ変更時の推力のシミュレーションを示す図である。 磁石内径変更時の推力のシミュレーションを示す図である。 磁石外径変更時の推力のシミュレーションを示す図である。 動作点、パーミアンス係数を説明する図である。 従来のリニアモータを示す図である。
以下、この発明のリニアモータ及びリニアモータの製造方法の実施の形態について説明するが、この発明は、この実施の形態に限定されない。また、この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明はこれに限定されない。
図1はリニアモータを示す図、図2はリニアモータの一端部の要部断面図、図3はリニアモータの他端部の要部断面図である。
この実施の形態のリニアモータ1は、図示しない保持部材に固定された固定子10と、固定子10の外周面に沿って直線移動する可動子20とから構成されている。
固定子10は、パイプ状部材11と、パイプ状部材11内に収納される複数の磁石12とからなる。パイプ状部材11内に直列状に配置された複数の磁石12は、隣り合う磁石12が密着するように隙間なく配列されている。
可動子20は、電磁コイル21と、電磁コイル21の内周面を巻回するボビン22を有する。ボビン22と、パイプ状部材11の外周面とは微小な間隙に保持されている。パイプ状部材11と電磁コイル21は摺動しても、摺動しなくてもどちらでもよい。また、電磁コイル21の巻き数の決め方は、得たい推力以上となるように、かつリニアモータの電圧降下と駆動回路での電圧降下が電源電圧以下となるように、適当な巻き数、巻き線径を決めることが好ましい。
パイプ状部材11は、一端部11aにパイプ状部材11内から磁石12が抜けることを規制する抜け止構造30を有し、他端部11bに取付ブロック部材31を有する。この実施の形態の抜け止構造30は、パイプ状部材11の一端部11aに蓋80を一体に形成して密閉する構造であるが、例えば別部材により蓋を形成して溶接や接着等で接合固定して密閉してもよい。
取付ブロック部材31は、雌ネジ部31aを有している。複数の磁石12を雌ネジ部31aから挿入し、パイプ状部材11の他端部11bから複数の磁石12を互いに隣り合う磁石12の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して固定子10を収納する。この取付ブロック部材31の雌ネジ部31aに保持部材32の雄ネジ32aを螺着して組み付ける。保持部材32は、頭部に工具係合溝32bを有する。この工具係合溝32bに図示しない工具を係合し、保持部材32を取付ブロック部材31の雌ネジ部31aに螺着することで、磁石12を押し込み保持する。パイプ状部材11の一端部11a側から外周面に可動子20を移動可能に配置する。
このように、一端部11aに抜け止構造を有するパイプ状部材11内に、他端部11b側から複数の磁石12を互いに隣り合う磁石12の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して固定子10を収納し、他端部11bに保持部材32を設けて磁石12を保持する。この磁石12の組付けによりセンタ軸をなくすことができ、部品点数を削減した安価な構造で、パイプ状部材11内に複数の磁石12が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に磁石12を取り付けることができる。
また、磁石12は、円柱形状であり、従来のような中心に貫通孔を設けることがない分、磁石12の製造コストが安価になる。磁石12の材料としては、磁束密度の大きい希土類磁石が好ましい。特に、希土類磁石はネオジム系磁石、例えば、ネオジム−鉄−ボロン磁石(Nd−Fe−B磁石)が好ましく、他の磁石に比べて高い推力が得られる。
パイプ状部材11の材料としては、アルミニウム合金、銅合金、非磁性ステンレス鋼等の非磁性材料で形成される。また、パイプ状部材11は、その外側に配置される可動子20に作用する磁界を減少させないように、できるだけ薄いほうが好ましい。一例として、パイプ状部材11は、厚さ約1mmのステンレス鋼で形成される。
図1乃至図3に示す実施に形態の抜け止構造30は、パイプ状部材11の一端部11aを密閉し、パイプ状部材11の加工により抜け止構造を簡単に設けることができるが、これに限定されず、図4乃至図10に示すように構成することができる。
図4に示す実施の形態は、パイプ状部材11の一端部11aを内側に屈曲し、密閉しない開口部11a1を形成し、この開口部11a1の径D1を磁石12の外径D2より小径に形成した密閉しない構造である。この実施の形態も図1乃至図3に示す実施に形態と同様に、パイプ状部材11の加工により抜け止構造30を簡単に設けることができる。
図5に示す実施の形態は、パイプ状部材11の一端部11aにブロック部材40を設けた構成である。ブロック部材40は、柱状であるが、パイプ状でもよい。この実施の形態では、パイプ状部材11の加工を行なうことなく、別部材のブロック部材40により抜け止構造を簡単に設けることができる。
ブロック部材40はパイプ状部材11の一端部11aの外径D3と略同外径D4に形成され、一端部11aに接合固定される。この接合固定は、溶接、あるいは接着による。ブロック部材40がパイプ状部材11の一端部11aの外径D3と略同外径D4であり、パイプ状部材11の外周面に可動子20を移動可能に配置する際にブロック部材40が邪魔になることがない。
図6に示す実施の形態も図5に示す実施の形態と同様に、パイプ状部材11の一端部11aにブロック部材40を設けた構成であるが、ブロック部材40は、パイプ状部材11の一端部11aの内径D5より外径D6が小さく、一端部11aに挿着して固定される。この固定は、溶接、接着、あるいは圧着による。ブロック部材40がパイプ状部材11の一端部11aの内径D5より小さい外径であり、パイプ状部材11の外周面に可動子20を移動可能に配置する際にブロック部材40が邪魔になることがない。
図7に示す実施の形態は、図6の実施の形態と同様に、ブロック部材40は、パイプ状部材11の一端部11aの内径D5より外径D6が小さく、一端部11aに挿着されるが、ボルト等の締付手段41を一端部11aからブロック部材40に螺着し、簡単かつ確実に締付固定される。このボルト等の締付手段41は、頭部がパイプ状部材11の一端部11aの外周から突出する長さを抑えて、パイプ状部材11の外周面に可動子20を移動可能に配置する際に締付手段41の頭部が邪魔になることがないようにする。
図8に示す実施の形態は、図5の実施の形態と同様に、ブロック部材40は、パイプ状部材11の一端部11aに接合固定されるが、ブロック部材40が突き当て部40aを有し、この突き当て部40aが一端部11aに挿着されて磁石12に当接して保持する。突き当て部40aは、パイプ状部材11の一端部11aの内径D5と略同径になっているが、これに限定されず内径D5より小径でもよい。
図9に示す実施の形態も図6に示す実施の形態と同様に、ブロック部材40は、パイプ状部材11の一端部11aの内径D5より外径D6が小さく、一端部11aに挿着して固定されるが、ブロック部材40はパイプ状である。このブロック部材40の内径D10は、磁石12の外径D2より小径であり、磁石12が抜けることがないように保持している。ブロック部材40の固定は、溶接、接着、あるいは圧着による。
図10に示す実施の形態は、図9のブロック部材40の実施の形態の変形例を示す。図10(a)のブロック部材40は、パイプ状を半分にしたものであり、図10(b)のブロック部材40は、パイプ状を2分割したものであるが、これに限定されず、3分割状でもよく、抜け落ちることがない構造であればよい。
このように、ブロック部材40が柱状またはパイプ状であり、安価なブロック部材40を用いてパイプ状部材11に簡単に設けることができる。
次に、リニアモータの他端部の他の実施の形態を、図11に基づいて説明する。図11はリニアモータの他端部の要部断面図である。この実施の形態のパイプ状部材11の他端部11bには、図1乃至図3に示す実施の形態と同様に、取付ブロック部材31が設けられ、この取付ブロック部材31に保持部材32を螺着して組み付けられるが、保持部材32は磁石12を押圧する突起部32cを有する。
このように、パイプ状部材11の反対側の他端部11bに取付ブロック部材31を設け、この取付ブロック部材31に保持部材32を螺着し、突起部32cにより磁石12を押圧することで、磁石12がガタ付かないように簡単且つ確実に取り付けることができる。
取付ブロック部材31の外形は、四角でも、円筒でもよい。また、取付ブロック部材31とパイプ状部材11の他端部11bとの固定は、ねじ止め、溶接、接着などが実施される。
また、パイプ状部材11の内径≦取付ブロック部材31の内径にすることで、パイプ状部材11と取付ブロック部材31を先に固定し、その後磁石12を通すことができるので、そのほうが好ましい。その際、保持部材32は突起部32cを有する形状とし、その突起部32cが磁石12を押し込む長さ以上になっていることで、磁石12を密着させて押し込むことができる。
また、この実施の形態では、図12に示すように、互いに隣り合う磁石12の間に、軟磁性体50を配置する。軟磁性体50は、例えば鉄などが用いられる。互いに隣り合う磁石12の間に、軟磁性体50を配置することで、磁石反発力を抑制することができ、かつ周囲への漏れ磁束を大きくする(推力を向上する)ことができるのでより好ましい。挿入する軟磁性体50は、磁極ピッチの1/10以下にするのが好ましい。磁極ピッチの1/10以上にすると、漏れ磁束が小さくなるので効果がない。軟磁性体50の両端は磁石の長さがピッチ長にならなくても良い。また、パイプ状部材11の長さが決まった際には、全長の調整のために、両端の磁石の長さを他とは変更することもあり得る。
この実施の形態では、図13乃至図16に示すように、それぞれのパラメータを振って、磁石の使用量を極力減らし、所望の推力が得られるリニアモータを設計することができる。図13は磁束密度の計算例を示し、図14は磁石長さ変更時の推力のシミュレーション、図15は磁石内径変更時の推力のシミュレーション、図16は磁石外径変更時の推力のシミュレーションである。
この方法は、リニアモータの設計に一般的に用いられる方法である。この際、磁石には、不可逆減磁がある。反発する方向に磁石を配置するため、パーミアンスが小さくなる。
即ち、磁石に外部から磁界が加えられると着磁され、その外部磁界を取り除いた後でも、磁石からは磁束を外部に放出する。その磁束量が残留磁束密度(Br)であるが、実際には着磁の場合とは逆方向の磁界(反磁界)が加わった状態で使用されるので、残留磁束密度より小さい磁束密度しか外部には放出されない。 反磁界はN極とS極が近づく程、すなわち磁石の寸法比(長さ/直径)が小さいほど大きくなり、この反磁界を考慮し、磁石に有効に働く磁界は図16の−Hdである時、磁石はB−H曲線(減磁曲線)上のH=−Hdに対応する磁束密度Bdを放出していることになる。
ここで、p=Bd/Hdをパーミアンス係数といい、図17の原点から勾配Bd/Hdの直線とB−H曲線との交点Pを作動点と呼ぶ。パーミアンスとは「浸透しやすさ=磁束の通り易さ」という意味で、磁束を電流に置換えた時の電気伝導度(電流/電圧)に相当している。動作点Pは磁石の形状や周囲の状況によって変化し、例えば着磁後の磁石の動作点が図17のP点であったとすると、その磁石に鉄片が吸着されると、磁石に働く有効磁界は原点方向にずれる。
また、例えば、保磁力の小さい磁石を用いると、常温でも減磁石が生じてしまうので、ある程度の保磁力が必要となる。不可逆減磁が生じる温度も、先の電磁場計算ソフトウェアによりパーミアンスを計算し、磁石のB−H特性曲線から減磁温度を計算することができる。
磁石は希土類磁石が好ましく用いられ、この希土類磁石ではネオジム系磁石を用いるのが好ましいが、保磁力が十分であり不可逆減磁が使用温度範囲で発生せず、かつ必要な推力が得られるだけの磁石エネルギーがあれば特に限定されない。ネオジム系磁石などを用いる場合には、錆の問題が生じ、パイプ状部材11内に挿入されてはいるが、パイプ状部材11の一端部11aの固定に円筒状の部材を用いれば、そこから錆が外へ飛散し、使用する装置に影響を与える可能性がある。また、磁石製造段階から、リニアモータ1の組み立て段階までに錆が生じれば、磁石の破損にも結びつく。そこで、磁石にはメッキを施すのが望ましく、例えばニッケルメッキやアルミメッキなどが一般的である。特にメッキの種類には制限はない。
このリニアモータは、パイプ状部材と、パイプ状部材内に複数の磁石を、互いに隣り合う磁石の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して収納される固定子と、パイプ状部材の外周面に対向配置され移動可能な可動子とを有し、パイプ状部材は、一端部にパイプ状部材内から磁石が抜けることを規制する抜け止構造を有する。この抜け止構造により、他端部側から磁石を組み付けて保持することができ、部品点数を削減した安価な構造で、パイプ状部材内に複数の磁石が抜けることがなく、しかもガタ付かないように簡単且つ確実に磁石を取り付けることができる。

Claims (16)

  1. パイプ状部材と、
    前記パイプ状部材内に複数の磁石を、互いに隣り合う前記磁石の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して収納される固定子と、
    前記パイプ状部材の外周面に対向配置され移動可能な可動子とを有するリニアモータであり、
    前記パイプ状部材は、一端部に前記パイプ状部材内から前記磁石が抜けることを規制する抜け止構造を有することを特徴とするリニアモータ。
  2. 前記抜け止構造は、前記パイプ状部材の一端部が密閉、または一端部の内径が前記磁石の外径より小径であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載のリニアモータ。
  3. 前記抜け止構造は、前記パイプ状部材の一端部にブロック部材を設けた構成であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載のリニアモータ。
  4. 前記ブロック部材は、前記パイプ状部材の一端部の外径と略同外径で、前記一端部に接合固定されることを特徴とする請求の範囲第3項に記載のリニアモータ。
  5. 前記ブロック部材は、前記パイプ状部材の一端部の内径より外径が小さく、前記一端部に挿着して固定されることを特徴とする請求の範囲第3項に記載のリニアモータ。
  6. 前記ブロック部材は、前記パイプ状部材の一端部に挿着されて前記磁石に当接する突き当て部を有することを特徴とする請求の範囲第4項に記載のリニアモータ。
  7. 前記接合固定は、溶接、接着、圧着、締付を含むことを特徴とする請求の範囲第4項に記載のリニアモータ。
  8. 前記ブロック部材は、柱状またはパイプ状であることを特徴とする請求の範囲第3項乃至請求の範囲第6項のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  9. 前記パイプ状部材の抜け止構造を有する一端部に対して反対側の他端部に、前記磁石を保持する保持部材を設けたことを特徴とする請求の範囲第1項乃至請求の範囲第8項のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  10. 前記パイプ状部材の反対側の他端部に、雌ネジ部を有する取付ブロック部材を設け、この取付ブロック部材に前記保持部材を螺着したことを特徴とする請求の範囲第9項に記載のリニアモータ。
  11. 前記保持部材は、前記磁石を押圧して保持する突起部を有することを特徴とする請求の範囲第9項または請求の範囲第10項に記載のリニアモータ。
  12. 前記磁石は、円柱形状であることを特徴とする請求の範囲第1項乃至請求の範囲第11項のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  13. 前記互いに隣り合う前記磁石の間に、軟磁性体を配置したことを特徴とする請求の範囲第11項乃至請求の範囲第12項のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  14. 前記磁石が希土類磁石であることを特徴とする請求の範囲第1項乃至請求の範囲第13項のいずれか1項に記載のリニアモータ。
  15. 前記希土類磁石がネオジム系磁石であることを特徴とする請求の範囲第14項に記載のリニアモータ。
  16. 一端部にパイプ状部材内から磁石が抜けることを規制する抜け止構造を有するパイプ状部材内に、他端部から複数の磁石を互いに隣り合う前記磁石の同じ磁極が対向する方向で直列状に配置して固定子を収納し、
    他端部に前記磁石を保持する保持部材を設け、
    前記パイプ状部材の外周面に可動子を移動可能に配置したことを特徴とするリニアモータの製造方法。
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