JPWO2005112008A1 - 薄膜磁気ヘッド用基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[図3]中間層の厚さに対する耐電圧の関係を示すグラフである。
[図4]アンダーコート膜の厚さに対する耐電圧の関係を示すグラフである。
[図5]バイアス電界とリーク電流との関係を示すグラフである。
[図6]本発明の薄膜磁気ヘッドスライダーの主要部を示す斜視図である。
[図7](a)は従来の薄膜磁気ヘッドスライダーの構造を模式的に示す断面図であり、(b)は書き込み素子の形状を模式的に示す平面図である。
[図8](a)は、本実施例における電気/磁気トランスデューサ素子と、パターニングされた中間層2との配置関係を示すレイアウト図であり、(b)は、そのB−B’線断面図である。
[図9]本発明の実施例2に関する図面であり、ウエハ状基板の主面の一部を拡大して示す模式図である。
[図10]表面粗度の測定結果を示すグラフである。
2 中間層
3、13 アンダーコート膜
14 書き込み素子
16 読み出し素子
85 下部の磁気シールド膜
87 GMR素子
88 上部の磁気シールド膜
Claims (22)
- 主面を有するセラミックス基板と、前記セラミックス基板の主面を覆うアルミニウム酸化物からなるアンダーコート膜とを備え、前記アンダーコート膜上に電気/磁気トランスデューサ素子が形成される薄膜磁気ヘッド用基板であって、
前記セラミックス基板の主面およびアンダーコート膜の間に形成された中間層を更に備えており、
前記中間層は、前記アルミニウム酸化物以外の物質から形成され、しかも、前記セラミックス基板の主面の一部を前記アンダーコート膜と接触させるようにパターニングされている、薄膜磁気ヘッド用基板。 - 前記中間層は、前記電気/磁気トランスデューサ素子が形成されない領域に開口部を有している、請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記アンダーコート膜上に形成される前記電気/磁気トランスデューサ素子は、下部磁気シールド膜と、前記下部磁気シールド膜上に形成された磁気抵抗素子と、前記磁気抵抗素子を覆うように前記下部磁気シールド膜上に形成された上部シールド膜とを有する電気/磁気トランスデューサ素子であり、
前記中間層は、前記磁気抵抗素子を前記セラミックス基板の主面に投影した領域の全体を覆うようにパターニングされている、請求項2に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。 - 前記中間層は、前記下部磁気シールド膜を前記セラミックス基板の主面に投影した領域の全体を覆うようにパターニングされている、請求項3に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記中間層の一部は、位置合わせのためのアライメントマークを構成している、請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記中間層の一部は、識別情報を示すパターンを構成している、請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記識別情報は前記セラミックス基板に固有の情報を含んでいる請求項6に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記識別情報を示すパターンは、前記セラミックス基板の主面の複数の領域に記録されており、前記領域毎に異なる情報が割り当てられている請求項6または7に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記複数の領域の各々は、前記基板の分割後に、異なる薄膜磁気ヘッドを構成するように配列されている請求項8に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記中間層の厚さは1nmから1μmの範囲の値である請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記中間層は金属膜またはSi膜からなる請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記中間層は、Cu、Cuを含む合金、Cr、Crを含む合金、またはSiの膜である請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記アンダーコート膜の厚さは10nmから1μmの範囲の値である請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記セラミックス基板は、24〜75mol%のα−Al2O3と、2mol%以下の添加剤とを含むアルミナ系セラミックス材料からなる請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 前記セラミックス基板は、さらに金属の炭化物または金属の炭酸窒化物を含む請求項14に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。
- 請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板と、
前記薄膜磁気ヘッド用基板のアンダーコート膜上に形成された電気/磁気トランスデューサ素子と
を備えている薄膜磁気ヘッドスライダー。 - 請求項16に記載の薄膜磁気ヘッドスライダーを備えるハードディスクドライブ装置。
- 主面を有するセラミックス基板と、前記セラミックス基板の主面を覆うアンダーコート膜とを備え、前記アンダーコート膜上に電気/磁気トランスデューサ素子が形成される薄膜磁気ヘッド用基板を製造する方法であって、
前記セラミックス基板上に、アルミニウム酸化物以外の物質からなるパターニングされた中間層を形成する工程と、
前記セラミックス基板上に、前記パターニングされた中間層を覆うようにアルミニウム酸化物からなるアンダーコート膜を形成する工程と、
を包含する薄膜磁気ヘッド用基板の製造方法。 - 前記パターニングされた中間層を形成する工程は、
前記セラミックス基板上に、前記アルミニウム酸化物以外の物質からなる膜を堆積する工程と、
前記膜の上にパターニングされたレジストマスクを形成する工程と、
前記レジストマスクによって覆われていない領域から前記膜をエッチングすることにより、前記パターニングされた中間層を形成する工程と、
前記レジストマスクを除去する工程と、
を含む、請求項18に記載の薄膜磁気ヘッド用基板の製造方法。 - 前記パターニングされた中間層を形成する工程は、
前記セラミックス基板上に、パターニングされたレジストマスクを形成する工程と、
前記レジストマスク上に前記アルミニウム酸化物以外の物質からなる膜を堆積する工程と、
前記レジストマスクを除去するリフトオフにより、前記膜の一部から前記パターニングされた中間層を形成する工程と、
を含む、請求項18に記載の薄膜磁気ヘッド用基板の製造方法。 - 前記セラミックス基板上に前記パターニングされた中間層を形成する工程は、
前記電気/磁気トランスデューサ素子が形成されない領域に開口部を有するように前記中間層をパターニングする、請求項18に記載の薄膜磁気ヘッド用基板。 - 請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド用基板を用意する工程と、
前記アンダーコート膜上に電気/磁気トランスデューサ素子を形成する工程と、
を包含する薄膜磁気ヘッドスライダーの製造方法。
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