JPS62278164A - 磁気ヘツド・スライダ用材料 - Google Patents
磁気ヘツド・スライダ用材料Info
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- JPS62278164A JPS62278164A JP61120855A JP12085586A JPS62278164A JP S62278164 A JPS62278164 A JP S62278164A JP 61120855 A JP61120855 A JP 61120855A JP 12085586 A JP12085586 A JP 12085586A JP S62278164 A JPS62278164 A JP S62278164A
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- G—PHYSICS
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
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-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明はコンピュータ用を始め、オーディオ用。
ＶＴＲ用等の記録再生用磁気ヘッドスライダ用材料や磁
気テープ用耐摩耗性機能部材料に関する。
気テープ用耐摩耗性機能部材料に関する。
従来からかかる記録再生用磁気へソドスライダには、多
結晶Ｎｉ−Ｚｎフェライト、 Ｍｎ−Ｚｎフェライトや
単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェライトあるいは高硬度パーマロ
イなどが用いられていた。
結晶Ｎｉ−Ｚｎフェライト、 Ｍｎ−Ｚｎフェライトや
単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェライトあるいは高硬度パーマロ
イなどが用いられていた。
今日では記録密度の高密度化並びに耐摩耗性特性の改善
が切望されており、一層、薄膜磁気ヘッド化が進められ
ており、この薄膜磁気ヘッド化に伴い、記録再生のため
の磁気回路部材用材料と耐摩耗性スライダ材料の各々に
、それぞれに要求される特性を満足した最適の材料が選
定されつつある。
が切望されており、一層、薄膜磁気ヘッド化が進められ
ており、この薄膜磁気ヘッド化に伴い、記録再生のため
の磁気回路部材用材料と耐摩耗性スライダ材料の各々に
、それぞれに要求される特性を満足した最適の材料が選
定されつつある。
すなわち、磁気回路用としては、高周波域の磁気特性が
優れたパーマロイ、センダストあるいはアモルファスの
薄膜を使用し、一方、耐摩耗性が要求される機能部材用
としては、アルミナ系材料が望ましいと考えられている
。
優れたパーマロイ、センダストあるいはアモルファスの
薄膜を使用し、一方、耐摩耗性が要求される機能部材用
としては、アルミナ系材料が望ましいと考えられている
。
かかる耐摩耗性摺動部材用材料は、非磁性材料であるが
、耐摩耗性を始め精密加工性、加工能率。
、耐摩耗性を始め精密加工性、加工能率。
高強度１組織の緻密性、さらには記録媒体とのなしみ、
潤滑性、金属薄膜との熱的整合性などの諸特性が要求さ
れている。
潤滑性、金属薄膜との熱的整合性などの諸特性が要求さ
れている。
従来、磁気ヘッド・スライダ用材料として、特開昭５５
−１６３６６５号公報に記載のＡ６２Ｏ３−ＴｉＣ材料
は、種々の特性が優れ、かかる耐摩耗性機能部材として
最適の材料の一つであるが、記録媒体とのなじみ、潤滑
性及び精密加工性、特に加工歩留りの点では必ずしも安
定した材料とはいえない。
−１６３６６５号公報に記載のＡ６２Ｏ３−ＴｉＣ材料
は、種々の特性が優れ、かかる耐摩耗性機能部材として
最適の材料の一つであるが、記録媒体とのなじみ、潤滑
性及び精密加工性、特に加工歩留りの点では必ずしも安
定した材料とはいえない。
また、特開昭５７−１９８５７８号公報ニハ、Ａ７！２
Ｏ３−ＴｉＣ材料の記録媒体とのなじみや潤滑性を改善
した！■気ヘッド・スライダ用材料として、Ｔｉ０２−
Ａ１２ ｏ、系材料が提案され、多くの面で優れた特
性を有し、該耐摩耗性機能部材材料に最適な材料の一つ
であるが、材料の機能加工性と機械的特性、特に機械加
工歩留りの悪いことが問題となる。
Ｏ３−ＴｉＣ材料の記録媒体とのなじみや潤滑性を改善
した！■気ヘッド・スライダ用材料として、Ｔｉ０２−
Ａ１２ ｏ、系材料が提案され、多くの面で優れた特
性を有し、該耐摩耗性機能部材材料に最適な材料の一つ
であるが、材料の機能加工性と機械的特性、特に機械加
工歩留りの悪いことが問題となる。
さらに、特開昭６０−１７１６１７号公報には、スライ
シング工程でのチッピングを改善した材料としてジルコ
ニアを主成分とする薄ｌＩ！ｉｆｆ気ヘッド用セラミ’
７クス基板が提案されているが、部分安定化したＺｒＯ
２主成分の材料では熱劣化の問題があり、基板への膜付
けの際の数百℃までの加熱や冷却に起因して単斜晶が増
加し、強度の劣化や堆積変化に伴い基板の反りが生じる
という問題がある。
シング工程でのチッピングを改善した材料としてジルコ
ニアを主成分とする薄ｌＩ！ｉｆｆ気ヘッド用セラミ’
７クス基板が提案されているが、部分安定化したＺｒＯ
２主成分の材料では熱劣化の問題があり、基板への膜付
けの際の数百℃までの加熱や冷却に起因して単斜晶が増
加し、強度の劣化や堆積変化に伴い基板の反りが生じる
という問題がある。
このように強靭なセラミックスを磁気へ・ノド・スライ
ダ用材料として使用した場合には加工性が悪く複雑な加
工が困難となる。
ダ用材料として使用した場合には加工性が悪く複雑な加
工が困難となる。
本発明の目的は、磁気ヘッド・スライダの耐摩耗性機能
部材に要求される耐摩耗性を始め、精密加工性、加工能
率、高強度１組織の緻密性、記録媒体とのなじみ、潤滑
性などの諸特性を満足し、特に精密加工性１強度、潤滑
性に優れた特性を有する磁気ヘッド・スライダ用材料を
提供することにある。
部材に要求される耐摩耗性を始め、精密加工性、加工能
率、高強度１組織の緻密性、記録媒体とのなじみ、潤滑
性などの諸特性を満足し、特に精密加工性１強度、潤滑
性に優れた特性を有する磁気ヘッド・スライダ用材料を
提供することにある。
本発明は、上述の問題点に鑑み、特に精密加工性１強度
、潤滑性に優れた特性を有する磁気へ・ノド・スライダ
用材料を種々検討した結果、Ｚｒ０２−＾１２Ｏ３系材
料がこれらの諸特性を満足し、磁気ヘッド・スライダ用
材料として満足すべき特性を有する点に着目して完成し
たものである。
、潤滑性に優れた特性を有する磁気へ・ノド・スライダ
用材料を種々検討した結果、Ｚｒ０２−＾１２Ｏ３系材
料がこれらの諸特性を満足し、磁気ヘッド・スライダ用
材料として満足すべき特性を有する点に着目して完成し
たものである。
すなわち、本発明に係る磁気ヘッド・スライダ用材料は
、ＺｒＯ２成分を６５〜９０重量％と、残部がその２重
！ｉ％以下をＹ２Ｏ３，ＭｇＯの少なくとも１種からな
る結合剤で置換したａｚ２Ｏ３成分とからなり、高強度
、高靭性で摺動性のよい正方晶結晶構造を実質的に有す
る。
、ＺｒＯ２成分を６５〜９０重量％と、残部がその２重
！ｉ％以下をＹ２Ｏ３，ＭｇＯの少なくとも１種からな
る結合剤で置換したａｚ２Ｏ３成分とからなり、高強度
、高靭性で摺動性のよい正方晶結晶構造を実質的に有す
る。
ＺｒＯ２を実質的に正方晶構造とするためには、ＺｒＯ
２にＹ２Ｏ３ 、ＭｇＯ，ＣｅＯ等の安定化剤を少なく
とも１種を含有せしめることが必要である。
２にＹ２Ｏ３ 、ＭｇＯ，ＣｅＯ等の安定化剤を少なく
とも１種を含有せしめることが必要である。
これらの安定化剤はＺｒＯ２’に対してＹ２ ｏａの場
合には１．８〜１０．５重量％、ＭｇＯでは２．０〜４
．３重量％、ＣｅＯ２の場合には８．２〜１３．４重量
％含有させる必要がある。
合には１．８〜１０．５重量％、ＭｇＯでは２．０〜４
．３重量％、ＣｅＯ２の場合には８．２〜１３．４重量
％含有させる必要がある。
正方晶のＺｒＯ２が存在すると、外部応力に対して正方
品から単斜晶の結晶構造への変態が起こる結果、いわゆ
る応力誘起変態機構によって機械的特性、特に強度や靭
性が向上する作用がある。
品から単斜晶の結晶構造への変態が起こる結果、いわゆ
る応力誘起変態機構によって機械的特性、特に強度や靭
性が向上する作用がある。
また、正方晶ＺｒＯ２は一般に粒成長を起こし易いが、
４１２２Ｏ３と複合化させることにより、複合化による
結晶粒の微細化の効果が大きく、平均結晶粒１．５μｍ
以下となってチッピングが少な（なり、耐摩耗性、材料
の緻密さが改善されるばかりでなく、前述の熱劣化の問
題も大幅に改善される。
４１２２Ｏ３と複合化させることにより、複合化による
結晶粒の微細化の効果が大きく、平均結晶粒１．５μｍ
以下となってチッピングが少な（なり、耐摩耗性、材料
の緻密さが改善されるばかりでなく、前述の熱劣化の問
題も大幅に改善される。
本発明においては安定化剤を含むＺｒＯ２成分は、Ｙ２
Ｏａ 、ＭｇＯを含むＡＡ２ｏａ成分ト共ニ木系材料の
主成分であり、６５重量％未満では強度や靭性が不定で
、これまで多用されてきたＡｉ＋２Ｏ３−ＴｉＣ系材料
と比べてスライシング工程でのチッピングや潤滑性が改
善されず、９０重量％を越えると基板への膜付けの際の
数１００℃までの加熱や冷却に起因してＺｒＯ２の単斜
晶が増加し、強度の劣化や基板の反りが生じるという問
題が発生するので、安定化剤を含むＺｒＯ２成分は６５
〜９０重璽％とする。
Ｏａ 、ＭｇＯを含むＡＡ２ｏａ成分ト共ニ木系材料の
主成分であり、６５重量％未満では強度や靭性が不定で
、これまで多用されてきたＡｉ＋２Ｏ３−ＴｉＣ系材料
と比べてスライシング工程でのチッピングや潤滑性が改
善されず、９０重量％を越えると基板への膜付けの際の
数１００℃までの加熱や冷却に起因してＺｒＯ２の単斜
晶が増加し、強度の劣化や基板の反りが生じるという問
題が発生するので、安定化剤を含むＺｒＯ２成分は６５
〜９０重璽％とする。
また、本系材料に含有されるａ１２Ｏ３の２重量％以下
をｙ２ ｏ３ 、ＭｇＯの少なくとも１種で置換するが
、２重量％以下（○を含まず）とする理由は下記による
。
をｙ２ ｏ３ 、ＭｇＯの少なくとも１種で置換するが
、２重量％以下（○を含まず）とする理由は下記による
。
すなわち、ｎｘ２Ｏ３の一部をＹ２Ｏ３やＭｇＯで置換
することによって焼結促進効果が発揮され、Ｙ２Ｏ３や
？１ｇＯを全く含まないものに比べて順次焼結温度が低
くなり、均一微細な組織をもつ焼結体が得られるが、置
換量が２重量％を越えると焼結体にスポットが増加し硬
さも低下する。
することによって焼結促進効果が発揮され、Ｙ２Ｏ３や
？１ｇＯを全く含まないものに比べて順次焼結温度が低
くなり、均一微細な組織をもつ焼結体が得られるが、置
換量が２重量％を越えると焼結体にスポットが増加し硬
さも低下する。
上記本発明の磁気ヘッド・スライダ用材料は以下の要領
によって製造される。
によって製造される。
共沈法によって得たＹ２Ｏ３ 、ＭｇＯ，ＣｅＯ等の安
定化剤を所定量含む部分安定化ＺｒＯ２粉末と、ｙ２
ｏ３ 、ＭｇＯの少なくとも１種で２重量％以下を置換
した高純度ａ１２Ｏ３粉末とを所定量配合し湿式混合粉
砕した後、乾燥、整粒して原料粉末を調整する。また、
ＺｒＯ２、Ａｊ！２Ｏ３の原料粉末として塩化Ｚｒ、Ｙ
、 ＡＩなどの混合溶液より上記組成に合成された粉
末を用いてもよい。
定化剤を所定量含む部分安定化ＺｒＯ２粉末と、ｙ２
ｏ３ 、ＭｇＯの少なくとも１種で２重量％以下を置換
した高純度ａ１２Ｏ３粉末とを所定量配合し湿式混合粉
砕した後、乾燥、整粒して原料粉末を調整する。また、
ＺｒＯ２、Ａｊ！２Ｏ３の原料粉末として塩化Ｚｒ、Ｙ
、 ＡＩなどの混合溶液より上記組成に合成された粉
末を用いてもよい。
この原料粉末を黒鉛型内に充填し、それぞれ最適の焼結
温度１３００〜１６００℃で１００〜３００ ｋｇ／
ａＪの圧力を加え、それぞれ所定時間保持焼結して相対
密度９９％以上のＺｒＯ２−Ａｎ！２Ｏａ系セラミック
ス焼結体を得る。
温度１３００〜１６００℃で１００〜３００ ｋｇ／
ａＪの圧力を加え、それぞれ所定時間保持焼結して相対
密度９９％以上のＺｒＯ２−Ａｎ！２Ｏａ系セラミック
ス焼結体を得る。
また、このＺｒＯ２−Ａｊ＋２Ｏ３系セラミックス焼結
体は、熱間等方圧加圧焼結法（ＩＩＩＰ）でも製造する
ことができる。すなわち上記原料粉末を金型プレス、冷
間静水圧プレス（ＣＴＰ）、ドクターブレード法、スリ
ップキャスティング法等の各種成形方法により成形し、
この成形体を大気中で１３５０〜１６００℃の温度で焼
成して相対密度を９４．５％以上にした後で１２Ｏ０〜
１５００℃でＨＩＰ して相対密度９９％以上のＺｒＯ
２−Ａｌｚｏａ系セラミックス焼結体を得る。
体は、熱間等方圧加圧焼結法（ＩＩＩＰ）でも製造する
ことができる。すなわち上記原料粉末を金型プレス、冷
間静水圧プレス（ＣＴＰ）、ドクターブレード法、スリ
ップキャスティング法等の各種成形方法により成形し、
この成形体を大気中で１３５０〜１６００℃の温度で焼
成して相対密度を９４．５％以上にした後で１２Ｏ０〜
１５００℃でＨＩＰ して相対密度９９％以上のＺｒＯ
２−Ａｌｚｏａ系セラミックス焼結体を得る。
このようにして得たＺｒＯ２Ａｆ２Ｏ３系セラミフクス
焼結体は磁気ヘッド・スライダの形状に切断し仕上げ加
工して製造する。
焼結体は磁気ヘッド・スライダの形状に切断し仕上げ加
工して製造する。
本発明の磁気ヘッド・スライダ用材料について以下実施
例を示す。
例を示す。
実施例１
共沈法によって得られたＹ２Ｏ３ 、ＭｇＯ，ＣｅＯの
安定化剤を第１表に示す割合で含む部分安定化ＺｒＯ２
粉末と純度９９．９％、平均粒子径０．５μ閏のＡｚ２
Ｏ．粉末とを同じく第１表に示す割合に配合し、純水を
溶媒としてジルコニア・ボール・ミルで２４時間混合粉
砕した後、乾燥整粒して原料粉末を調整した。
安定化剤を第１表に示す割合で含む部分安定化ＺｒＯ２
粉末と純度９９．９％、平均粒子径０．５μ閏のＡｚ２
Ｏ．粉末とを同じく第１表に示す割合に配合し、純水を
溶媒としてジルコニア・ボール・ミルで２４時間混合粉
砕した後、乾燥整粒して原料粉末を調整した。
この原料粉末を５０Ｘ５０ｎ、高さ６０ｍの黒鉛型内に
充填して、それぞれ最適の焼結温度１３００〜１６００
℃で１００〜３００ｋｇ／ｃＩＩ＋の圧力を加え、６０
分間保持して、ついで圧力を除去し放冷することにより
、５０Ｘ５０Ｘ５．５ 龍の焼結体を得た。焼結体の密
度は水中置換法で測定し、理論密度で除して相対密度を
求めた。切断加工性及び耐チッピング性は各試験片を治
具で固定し、これに滑車を介して１０ｋｇの重錘をつけ
、レジンボンドダイヤモンド切断砥石を用い、重錘の荷
重により試験片を５０■１長さに切断する試験を行い、
切断に要する時間を測定して加工性を、また切断加工時
に稜に生じるチッピングのを無、大きさを顕微鏡で観察
して耐チッピング性を評価した。諸物性値及び評価結果
を第１表に示す。
充填して、それぞれ最適の焼結温度１３００〜１６００
℃で１００〜３００ｋｇ／ｃＩＩ＋の圧力を加え、６０
分間保持して、ついで圧力を除去し放冷することにより
、５０Ｘ５０Ｘ５．５ 龍の焼結体を得た。焼結体の密
度は水中置換法で測定し、理論密度で除して相対密度を
求めた。切断加工性及び耐チッピング性は各試験片を治
具で固定し、これに滑車を介して１０ｋｇの重錘をつけ
、レジンボンドダイヤモンド切断砥石を用い、重錘の荷
重により試験片を５０■１長さに切断する試験を行い、
切断に要する時間を測定して加工性を、また切断加工時
に稜に生じるチッピングのを無、大きさを顕微鏡で観察
して耐チッピング性を評価した。諸物性値及び評価結果
を第１表に示す。
第 １ 表
なお、加工性は第１表に示す比較例の部分安定化Ｚｒ○
２の切断所要時間を基準時間とし、各試料淘毎の切断所
要時間を基準時間で除し、１００倍した数値を比切断加
工性として示す。
２の切断所要時間を基準時間とし、各試料淘毎の切断所
要時間を基準時間で除し、１００倍した数値を比切断加
工性として示す。
この表から、本発明のＺｒＯ２−Ａ１２Ｏ３系材料は従
来のＡ１２Ｏａ−ＭｇＯ系やＡｊ！２Ｏ３ ＴｉＣ系
材料に比べて特に耐チンピング性や強度において格段に
優れていることが言える。
来のＡ１２Ｏａ−ＭｇＯ系やＡｊ！２Ｏ３ ＴｉＣ系
材料に比べて特に耐チンピング性や強度において格段に
優れていることが言える。
このようにして得られた焼結体を、ダイヤモンド砥石に
より２ａｍ Ｘ ４ 鶴断面、長さ２Ｏ０の直方体とな
し、その−万端を鋭角な刃状に成形した。さらに外形４
５ｍ−ｘ内径１００厚さＩｏｔａのドーナツ型円板のフ
ェライトを用い、本発明の材料と組合せて回転するフェ
ライトに焼結体の鋭角な刃先を接触させて実施するいわ
ゆるピン−ディスク方式の摩擦摩耗試験を行った。試験
結果を第１図に示す。
より２ａｍ Ｘ ４ 鶴断面、長さ２Ｏ０の直方体とな
し、その−万端を鋭角な刃状に成形した。さらに外形４
５ｍ−ｘ内径１００厚さＩｏｔａのドーナツ型円板のフ
ェライトを用い、本発明の材料と組合せて回転するフェ
ライトに焼結体の鋭角な刃先を接触させて実施するいわ
ゆるピン−ディスク方式の摩擦摩耗試験を行った。試験
結果を第１図に示す。
第１図より本発明のＺｒＯ２−Ａ１２Ｏ３系材料は従来
（７）Ａ１２ ｏａ−ＭｇＯ系やＡｇ３０ｇ ＴｉＣ
系材料に比べて、特に相手材料を摩耗させず潤滑性に優
れることがわかる。
（７）Ａ１２ ｏａ−ＭｇＯ系やＡｇ３０ｇ ＴｉＣ
系材料に比べて、特に相手材料を摩耗させず潤滑性に優
れることがわかる。
同図において、試料Ｎｏ、 １４と１５として示す本発
明外の試料も本発明と同様に優れた潤滑性を示すが、第
１表に示すように抗折力、耐ピツチング性において問題
がある。
明外の試料も本発明と同様に優れた潤滑性を示すが、第
１表に示すように抗折力、耐ピツチング性において問題
がある。
以上の試験結果より本発明のＺｒＯ２−Ａｊ！２Ｏ３系
材料は磁気ヘッドスライダ用材料に要求される諸特性を
満足していることがわかる。
材料は磁気ヘッドスライダ用材料に要求される諸特性を
満足していることがわかる。
以上説明したように、本発明の磁気ヘッドスライダ用材
料は、磁気へノド・スライダの耐摩耗性機能部材に要求
される耐摩耗性をはじめ、精密加工性、加工能率、高強
度１組織の緻密性、記録の媒体とのなじみ、潤滑性など
の諸特性を満足し、特に清書加工性２強度、潤滑性に優
れた特性を有する磁気ヘッド・スライダ用材料であるの
で、チッピングも少なく微細な加工を行うことができ、
薄膜磁気ヘントスライダとして好適なものを得ることが
できるという効果を奏することができる。
料は、磁気へノド・スライダの耐摩耗性機能部材に要求
される耐摩耗性をはじめ、精密加工性、加工能率、高強
度１組織の緻密性、記録の媒体とのなじみ、潤滑性など
の諸特性を満足し、特に清書加工性２強度、潤滑性に優
れた特性を有する磁気ヘッド・スライダ用材料であるの
で、チッピングも少なく微細な加工を行うことができ、
薄膜磁気ヘントスライダとして好適なものを得ることが
できるという効果を奏することができる。
第１図はピン−ディスク方式の摩擦摩耗試験結果を表わ
す。
す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、安定化剤を含むＺｒＯ＿２成分が６５〜９０重量％
と、残部がその２重量％以下を結合剤で置換したＡｌ＿
２Ｏ＿３成分とからなることを特徴とする磁気ヘッド・
スライダ用材料。 ２、結合剤がＹ＿２Ｏ＿３、ＭｇＯの少なくとも１種で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の磁
気ヘッド・スライダ用材料。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61120855A JPS62278164A (ja) | 1986-05-26 | 1986-05-26 | 磁気ヘツド・スライダ用材料 |
| US07/058,529 US4814915A (en) | 1986-05-26 | 1987-05-26 | Magnetic head slider and material therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61120855A JPS62278164A (ja) | 1986-05-26 | 1986-05-26 | 磁気ヘツド・スライダ用材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62278164A true JPS62278164A (ja) | 1987-12-03 |
| JPH0319184B2 JPH0319184B2 (ja) | 1991-03-14 |
Family
ID=14796615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61120855A Granted JPS62278164A (ja) | 1986-05-26 | 1986-05-26 | 磁気ヘツド・スライダ用材料 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4814915A (ja) |
| JP (1) | JPS62278164A (ja) |
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| AU652872B2 (en) * | 1991-12-25 | 1994-09-08 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Method for producing zirconia-based sintered body |
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1986
- 1986-05-26 JP JP61120855A patent/JPS62278164A/ja active Granted
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1987
- 1987-05-26 US US07/058,529 patent/US4814915A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4814915A (en) | 1989-03-21 |
| JPH0319184B2 (ja) | 1991-03-14 |
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