JPWO2005088790A1 - 半導体レーザ素子、およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記の(1)のような従来の半導体レーザ素子では、p型埋め込み層107が設けられている。そのため、製造コストの増加という問題が生じていた。また、3回の結晶成長工程を必要とするので、製造工程数も増加するという問題も生じていた。
上記の(2)のような、従来の半導体レーザ素子では、第2の半導体レーザ部(L12’)を配置する領域を確保するとき、第1の積層体が一度のエッチングで(1回のエッチングで)除去されている。かかるような場合、この1回のエッチング除去に起因して、第1の積層体の最上層の凸凹が、露出した半導体基板の面上に悪影響を及ぼすことがある。
いる。
2 n型クラッド層(半導体レーザ層)
3 活性層(半導体レーザ層)
4 p型クラッド層(半導体レーザ層)
5 p型コンタクト層(半導体レーザ層)
6 リッジ
7 ブロック層
8 p型電極(第1型電極)
9 第1電極
10 第2電極
11 n型電極(第2型電極)
12 分離溝(溝)
21 半導体基板
22 積層構造(第1結晶成長層)
23 n型クラッド層(半導体レーザ層)
24 活性層(半導体レーザ層)
25 p型クラッド層(半導体レーザ層)
26 p型のGaAs層(コンタクト層;半導体レーザ層)
27 リッジ
30 積層構造(第2結晶成長層;半導体レーザ層)
31 積層構造(第3結晶成長層;半導体レーザ層)
38 リッジ
42 p電極(第1型電極)
43 p電極(第1型電極)
44 n電極(第2型電極)
LD1〜LD5 半導体レーザ素子
L1 半導体レーザ部
L2 半導体レーザ部
L11 半導体レーザ部
L12 半導体レーザ部
〔半導体レーザ素子LD1について〕
図1は、シングルビーム型の半導体レーザ素子LD1の斜視図を示している。
この半導体レーザ素子LD1では、n型クラッド層2・活性層3・p型クラッド層4・p型コンタクト層5が、この順で、一定面積のn型の半導体基板1上に(すなわち半導体基板1側から)成膜されるようになっている。
上述した第1回目の結晶成長に続いて、p型クラッド層4・p型コンタクト層5が、エッチング処理を施されることによって、断面を台形状とするリッジ6が形成されるようになっている(リッジ形成工程が行われるようになっている)。そして、このリッジ6は、光の出力方向(光軸)と同方向のストライプ状を有するように形成されるようになっている。
リッジ6を形成した後、第2回目の結晶成長(n型半導体の成長)を行うことによって、リッジ6の天面を除いて、電流ブロック層7が形成されるようになっている(電流ブロック形成工程が行われるようになっている)。
続いて、電流ブロック層7の上面に、p型電極(p電極)8が形成されるようになっている(第1型電極の製造工程が行われるようになっている)。このp型電極(第1型電極)8は、第1の電極(第1電極)9と第2の電極(第2電極)10とから構成されるようになっている。
そして、へき開によって素子分離を行う場合に、第1電極9が電流ブロック層7から剥がれないようにするため、第2電極10よりも十分に薄い膜厚に設定されている。例えば、1μm以下、好ましくは100nm以下、さらに好ましくは10〜30nmの厚さに設定されるようになっている。
一方、第2電極10は、金を主体とする電極材料で構成されるようになっている(第2電極形成工程が行われるようになっている)。
n型電極(n電極)11は、半導体基板1の裏面(n型クラッド層2の積層面の反対面)に形成されるようになっている。そして、n型電極(第2型電極)11は、半導体基板1とオーミックコンタクトを良好に得られる電極材料であることが好ましい。
上述のように、電極(p型電極8・n型電極11)が形成されると、まず、ウエハ状態から、Y方向にスクライブ線を入れて加圧し、バー状に素子分離(へき開工程)が行われるようになっている。
以上のように、本発明の半導体レーザ素子LD1は、半導体基板1上の一方の面に、半導体レーザ層を設けるとともに、この半導体レーザ層および半導体基板1を挟持するように、半導体レーザ層側にp型電極8を設ける一方、半導体基板1側にn型電極11を設けるようになっている。
本発明の第2の実施形態を図2を参照しながら説明する。なお、実施の形態1で用いた部材と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付記し、その説明を省略する。そして、変更点を中心説明していく。
本発明の第3の実施形態を図3を参照しながら説明する。なお、実施の形態1・2で用いた部材と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付記し、その説明を省略する。そして、変更点を中心説明していく。
本発明の第4の実施形態を図4を参照しながら説明する。なお、実施の形態1〜3で用いた部材と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付記し、その説明を省略する。そして、変更点を中心説明していく。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
ここで、一例として上述した、複数の半導体レーザ部L11・L12が、互いに異なる発光波長を有するようになっている半導体レーザ素子LD5(後述の図7参照)について、図5A〜図5Fおよび図6G〜図6Kを用いて説明する。なお、各図面において、便宜上、図示できない部材番号については、他の図面を参照するものとする。
〈第1回目の結晶成長(第1結晶成長)〉
図5Aに示すように、まず、半導体基板21の上に、MOCVD法を用いて、第1回目の結晶成長を行い(第1段階目の半導体結晶成長工程を行い)、ダブルへテロ用の積層構造(ダブルヘテロ構造)22を形成させる。
第1回目の結晶成長が終わると、図5Bに示すように、第1の半導体レーザ部L11用のリッジ27の形成が行われる(第1段階目のリッジ形成工程が行われるようになっている)。
リッジ27の形成が終わると、図5Cに示すように、半導体基板21の上に(具体的には、ダブルヘテロ構造22におけるp型のGaAs層26に)、第2回目の結晶成長を行うようになっている(第2段階目の半導体結晶成長工程が行われるようになっている)。
第2回目の結晶成長が終わると、図5Dに示すように、第2の半導体レーザ部L12の形成予定領域に位置する積層構造30(第2結晶成長層30)の除去(一部除去)が行われる(第1段階目の除去工程が行われるようになっている)。
続いて、共通のエッチャント(例えば燐酸系のもの)を用いて、p型のGaAs層26と、AlGaAsからなるp型クラッド層25・活性層24・n型クラッド層23とで構成される層22(第1回目の結晶成長時に形成した層22)が、エッチィングによって除去されるようになっている(第2段階目の除去工程が行われるようになっている)。
続いて、図5Fに示すように、MOCVD法を用いて、半導体基板21の上に、第3回目の結晶成長を行うようになっている。具体的には、ダブルへテロ用の積層構造31(第3結晶成長層31;半導体レーザ層)を形成させるようになっている(第3段階目の半導体結晶成長工程が行われるようになっている)。
続いて、図6Gに示すように、第2の半導体レーザ部L12として利用する部分以外の第3回目の結晶成長層31(第3結晶成長層31)が除去されるようになっている(第3段階目の除去工程が行われるようになっている)。
続いて、図6Hに示すように、第2の半導体レーザ部L12用のリッジ38が形成されるようになっている(第2段階目のリッジ形成工程が行われるようになっている)。
リッジ38の形成が終わると、図6Iに示すように、半導体基板21の上に(具体的には、ダブルヘテロ構造31におけるp型のGaAs層37に)、第4回目の結晶成長を行うようになっている(第4段階目の半導体結晶成長工程が行われるようになっている)。
次に、図6Jに示すように、第1半導体レーザ部L11のリッジ27、および、第2半導体レーザ部L12のリッジ38の頂上部を覆う電流ブロック層(n型層39・n型層40)に開口を形成するようになっている(開口形成工程が行われるようになっている)。
そして、開口を設けることで、リッジ27・リッジ38への電流通路を形成させた後、図6Kに示すように、開口を覆うようにして、第1半導体レーザ部L11・第2の半導体レーザ部L12の各々に、p型電極42・p型電極43を設けるようになっている。
そして、一枚のウエハに、上記のような工程を経ることによって形成された複数の半導体レーザ部(L11・L12)を有する半導体レーザ素子LD5は、スクライブ法等を利用して、バー状に分離されるようになっている。
以上のように、本発明の半導体レーザ素子LD5の製造方法では、複数のリッジ27・38の形成される半導体レーザ層を設ける半導体レーザ層形成工程が、各リッジ27・38に対応する半導体レーザ層(半導体レーザ部L11・L12)を形成する半導体レーザ部形成工程を複数含んでいる。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (26)
- 半導体基板上の一方の面に半導体レーザ層を設けるとともに、この半導体レーザ層および上記半導体基板を挟持するように、上記半導体レーザ層側に第1型電極を設ける一方、上記半導体基板側に第2型電極を設けた半導体レーザ素子において、
上記第1型電極は、第1電極と、この第1電極を覆う第2電極とから構成されていることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 上記半導体レーザ層には、ストライプ状でかつ隆起したリッジが設けられており、
上記第1電極は、上記リッジの少なくとも天部を覆うように形成される一方、
上記第2電極は、上記半導体レーザ層の一面の面積よりも、小さな面積で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 上記第2電極は、上記半導体レーザ層の周端部から離間するように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザ素子。
- 上記半導体レーザ層の周端部から離間している距離は、10μm以上かつ30μm以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体レーザ素子。
- 上記第1電極の膜厚は、上記第2電極の膜厚よりも薄いことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 上記第1電極の膜厚は、10nm以上かつ30nm以下であることを特徴とする請求項5に記載の半導体レーザ素子。
- 上記半導体レーザ層には、ストライプ状でかつ隆起したリッジが複数設けられており、
上記第1電極は、上記リッジの少なくとも天部を覆うように形成される一方、
上記第2電極は、上記各リッジに対応した半導体レーザ層の一面の面積よりも、小さな面積で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ素子。 - 上記半導体レーザ層には、上記の複数設けられたリッジ同士を区切る溝が形成されており、
上記第1電極は、上記溝によって区切られた半導体レーザ層の一面に対応して設けられていることを特徴とする請求項7に記載の半導体レーザ素子。 - 半導体基板上の一方の面に半導体レーザ層を設けるとともに、この半導体レーザ層および上記半導体基板を挟持するように、上記半導体レーザ層側に第1型電極を設ける一方、
上記半導体基板側に第2型電極を設けた半導体レーザ素子の製造方法において、
上記第1型電極は、第1電極と、この第1電極を覆う第2電極とから構成されており、
この第1型電極の製造工程は、上記第1電極を形成させる第1電極形成工程と、上記第2電極を形成させる第2電極形成工程とから構成されていることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記半導体レーザ層に、ストライプ状でかつ隆起したリッジを設けるリッジ形成工程が含まれ、
このリッジ形成工程後に、上記第1電極形成工程を行って、上記第1電極を、上記リッジの少なくとも天部を覆うように形成させる一方、
上記第2電極形成工程を行って、上記第1電極上に、上記第2電極を、上記半導体レーザ層の一面の面積よりも、小さな面積で形成させることを特徴とする請求項9に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記第2電極形成工程では、上記半導体レーザ層の周端部から離間するように上記第2電極を形成させていることを特徴とする請求項10に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 上記半導体レーザ層に、ストライプ状でかつ隆起したリッジを複数設けるリッジ形成工程が含まれ、
このリッジ形成工程後に、上記第1電極形成工程を行って、上記第1電極を、上記リッジの少なくとも天部を覆うように形成させる一方、
上記第2電極形成工程を行って、上記第1電極上に、上記第2電極を、上記各リッジに対応した半導体レーザ層の一面の面積よりも、小さな面積で形成させることを特徴とする請求項9に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記リッジ形成工程で設けられた複数のリッジ同士を区切る溝を、上記半導体レーザ層に形成させる溝形成工程が含まれており、
上記第1電極形成工程では、上記溝形成工程によって形成された溝によって区切られた半導体レーザ層の一面に対応して、第1電極を形成させていることを特徴とする請求項12に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記の第1電極および第2電極における、少なくとも一方は、リフトオフ法を用いて形成されていることを特徴とする請求項9に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 上記複数のリッジの形成される半導体レーザ層を設ける半導体レーザ層形成工程は、
各リッジに対応する半導体レーザ層を形成する半導体レーザ部形成工程を複数含んでおり、
上記の各半導体レーザ部形成工程は、複数段階の半導体結晶成長工程を含むように構成されるとともに、
各段階の半導体結晶成長工程によって形成された半導体レーザ層を除去していく除去工程が、複数含まれていることを特徴とする請求項12に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記の除去工程は、段階的に複数含まれるようになっており、
各除去工程は、上記の各段階の半導体結晶成長工程によって形成された半導体レーザ層に対応して、各半導体レーザ層を除去するようになっていることを特徴とする請求項15に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記の段階的な半導体結晶成長工程では、前段階の半導体結晶成長工程での結晶成長温度よりも、後段階の半導体結晶成長工程での結晶成長温度のほうが低くなっていることを特徴とする請求項15に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 活性層を上下のクラッド層で挟むとともに、上記の上クラッド層の一部にストライプ状のリッジが形成され、このストライプ状のリッジの天面を除くリッジの両側を電流ブロック層で覆ったリッジストライプ型の半導体レーザ素子において、
上記半導体レーザ素子の上面に、第1電極が形成されるとともに、この第1電極上に第2電極が形成され、
上記第1電極は、上記第2電極よりも薄くするとともに、少なくとも、上記リッジの天面の全面を覆うように形成され、
上記第2電極は、上記リッジのストライプ方向の両端から一定の距離隔てて形成されていることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 活性層を上下のクラッド層で挟むとともに、上記の上クラッド層の一部にストライプ状のリッジが形成され、このストライプ状のリッジの天面を除くリッジの両側を電流ブロック層で覆ったリッジストライプ型の半導体レーザ部を、共通の半導体基板上に、複数備えたマルチビーム型の半導体レーザ素子において、
上記各半導体レーザ部の上面には、第1電極が形成されるとともに、この第1電極上に第2電極が形成され、
上記第1電極は、上記第2電極よりも薄くするとともに、少なくとも、上記リッジの天面の全面を覆うように形成され、
上記第2電極は、上記リッジのストライプ方向の両端から一定の距離隔てて形成されていることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 上記複数の半導体レーザ部の間には、半導体レーザ部同士を電気的に分離するための溝が設けられ、
上記第1電極は、この溝を避けた位置に形成されるようになっていることを特徴とする請求項19に記載の半導体レーザ素子。 - 活性層を上下のクラッド層で挟むとともに、上記の上クラッド層の一部にストライプ状のリッジが形成され、このストライプ状のリッジの天面を除くリッジの両側を電流ブロック層で覆ったリッジストライプ型の半導体レーザ素子の製造方法において、
少なくとも、上記リッジの天面の全面を覆うように、第1電極を形成する第1電極形成工程と、
上記第1の電極上に、第2電極を形成する第2電極形成工程と、
上記ストライプ状のリッジと、直交する半導体レーザ素子端面をへき開するへき開工程とを含み、
上記第1電極形成工程では、上記第1電極を上記第2電極よりも、薄い厚さとなるよう
に形成する一方、
上記第2電極形成工程では、第2電極を上記リッジのストライプ方向の両端から、一定の距離隔てて形成することを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 活性層を上下のクラッド層で挟むとともに、上記の上クラッド層の一部にストライプ状のリッジが形成され、このストライプ状のリッジの天面を除くリッジの両側を電流ブロック層で覆ったリッジストライプ型の半導体レーザ部を、共通の半導体基板上に、複数備えたマルチビーム型の半導体レーザ素子の製造方法において、
少なくとも、上記各リッジの天面の全面を覆うように、第1電極を形成する第1電極形成工程と、
上記第1の電極上に、第2電極を形成する第2電極形成工程と、
上記ストライプ状のリッジと、直交する半導体レーザ素子端面をへき開するへき開工程とを含み、
上記第1電極形成工程では、上記第1電極を上記第2電極よりも、薄い厚さとなるように形成する一方、
上記第2電極形成工程では、第2電極を上記リッジのストライプ方向の両端から、一定の距離隔てて形成することを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記複数の半導体レーザ部の間に、半導体レーザ部同士を電気的に分離するための溝を形成する溝形成工程が含まれ、
上記第1電極形成工程では、上記第1電極を、上記溝を避けた位置に形成させるようになっていることを特徴とする請求項22に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記の第1電極形成工程および第2電極形成工程における、少なくとも一方は、リフトオフ法を用いて形成させていることを特徴とする請求項21に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
- 半導体基板上に、第1回目の結晶成長と第2回目の結晶成長とを含む結晶成長を行い、第1の半導体レーザ部を作成するとともに、
上記半導体基板上の上記第1の半導体レーザ部の位置する領域とは別の領域での上記第1回目および上記第2回目の結晶成長で成長した結晶を除去した後、
上記半導体基板上で結晶成長させて、半導体基板上の上記別の領域に、第2の半導体レーザを作成する半導体レーザ素子の製造方法において、
上記別の領域上の上記第1回目および上記第2回目の結晶成長で成長した結晶を除去する場合に、
上記第1回目の結晶成長で成長した結晶の層が露出するように、上記第2回目の結晶成長で成長した結晶を除去する第2結晶成長層除去工程と、
上記第1の結晶成長で成長した結晶を除去する第1結晶成長層除去工程と、
を含むことを特徴とする請求項22に記載の半導体レーザ素子の製造方法。 - 上記第1回目の結晶成長時の成長温度よりも、上記第2回目の結晶成長時の成長温度が低く設定されていることを特徴とする請求項25に記載の半導体レーザ素子の製造方法。
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