JP4327690B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
(2波長半導体レーザの構造)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体レーザ装置の構造を示した模式図であり、図1(a)は斜視図、図1(b)は断面図である。
次に、上記構造の半導体レーザ装置を製造する方法について、図2、図3、図4を参照して説明する。図2、図3、図4は、本実施形態における製造方法の各工程を示す断面図である。
次に上記構造の半導体レーザを製造する第2の方法について、図5の工程断面図を参照して説明する。
102、202、302 n型GaAsバッファ層
103、203、303 n型(AlxGa1-x)yIn1-yPクラッド層
104、204、304 GaAs/AlGaAs系の活性層
105、205、305 p型(AlxGa1-x)yIn1-yP第1クラッド層
106、206、306 p型GaInPエッチングストップ層
107、207、307 p型(AlxGa1-x)yIn1-yP第2クラッド層
108、208、308 p型GaInP中間層
109、209、309 p型GaAsコンタクト層
110、210、310 赤外レーザ素子
112、212、312 n型GaAsバッファ層
113、213、313 n型(AlxGa1-x)yIn1-yPクラッド層
114、214、314 GaInP/AlGaInP系の活性層
115、215、315 p型(AlxGa1-x)yIn1-yP第1クラッド層
116、216、316 p型GaInPエッチングストップ層
117、217、317 p型(AlxGa1-x)yIn1-yP第2クラッド層
118、218、318 p型GaInP中間層
119、219、319 p型GaAsコンタクト層
120、220、320 赤色レーザ素子
130、230、330 分離溝
131、231、331 窓構造
132、232 誘電体電流ブロック層
332 AlInP電流ブロック層
333 絶縁膜
401 n型GaAs基板
402 n型GaAsバッファ層
403 n型AlGaInPクラッド層
404 発振波長が660nmの多重量子井戸構造活性層
405 p型AlGaInP第1クラッド層
406 GaInPエッチング停止層
407 p型AlGaInP第2クラッド層
408 p型GaInP中間層
409 p型GaAsコンタクト層
410、410a ZnO膜
411 絶縁膜
412 窓構造
Claims (7)
- 第1の波長の光を発する第1の半導体レーザ素子と、第2の波長の光を発する第2の半導体レーザ素子とが同一の基板上に形成されてなるモノリシックタイプの半導体レーザ装置であって、
前記第1の半導体レーザ素子および前記第2の半導体レーザ素子はそれぞれ、少なくとも第1導電型クラッド層、活性層、第2導電型クラッド層をこの順に積層してなるダブルへテロ構造と、
少なくとも前記第2導電型クラッド層と、その上に設けられたコンタクト層と、を含むリッジ形状の導波路を有しており、
前記第1の半導体レーザ素子と前記第2の半導体レーザ素子には、それぞれ共振器端面に高濃度の不純物が導入された窓構造領域が形成され、
前記第1の半導体レーザ素子における前記活性層は、前記第2の半導体レーザ素子における活性層よりも前記不純物に対する拡散係数が小さい材料からなり、
前記第1の半導体レーザ素子における前記コンタクト層は、前記第2の半導体レーザ素子における前記コンタクト層よりも膜厚が薄いことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 前記第1の半導体レーザ素子および前記第2の半導体レーザ素子において、
前記リッジの側面を覆うように電流ブロック層が形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。 - 前記第1の半導体レーザ素子の前記コンタクト層と前記第2の半導体レーザ素子の前記コンタクト層とで、膜厚差が0.01μm以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の半導体レーザ素子における前記コンタクト層と前記第2の半導体レーザ素子における前記コンタクト層とは、いずれもAlxGa1-xAs(0≦x≦0.4)からなることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の半導体レーザ素子における前記コンタクト層と前記第2の半導体レーザ素子における前記コンタクト層は、それぞれキャリア濃度が5×1017cm-3以上であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記電流ブロック層は、少なくとも前記リッジ形状の導波路における前記窓構造が形成された領域の上面を覆っていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の半導体レーザ素子と前記第2の半導体レーザ素子との間には分離溝が設けられており、前記分離溝内に絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
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