JP2008042082A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【課題】FFPを小さくすることができながら、光出力−動作電流特性のキンクの発生を抑制することができる、リッジ導波路型の半導体レーザを提供する。
【解決手段】半導体レーザ1は、n型GaAs基板2上に、n型AlGaAsクラッド層32、MQW活性層33、p型InGaAlP下クラッド層34、p型InGaPエッチングストップ層35およびp型InGaAlP上クラッド層36の積層構造を有している。p型InGaAlP上クラッド層36は、p型InGaPエッチングストップ層35よりも幅狭な断面台形状に形成されている。n型GaAs基板2上は、p型GaAsコンタクト層37の上面を除いて、絶縁膜6によって覆われている。p型InGaAlP下クラッド層34は、p型不純物のドーピング濃度の相対的に高い高濃度層41と、その高濃度層41上に形成され、p型不純物のドーピング濃度の相対的に低い低濃度層42とを備えている。
【選択図】図1
【解決手段】半導体レーザ1は、n型GaAs基板2上に、n型AlGaAsクラッド層32、MQW活性層33、p型InGaAlP下クラッド層34、p型InGaPエッチングストップ層35およびp型InGaAlP上クラッド層36の積層構造を有している。p型InGaAlP上クラッド層36は、p型InGaPエッチングストップ層35よりも幅狭な断面台形状に形成されている。n型GaAs基板2上は、p型GaAsコンタクト層37の上面を除いて、絶縁膜6によって覆われている。p型InGaAlP下クラッド層34は、p型不純物のドーピング濃度の相対的に高い高濃度層41と、その高濃度層41上に形成され、p型不純物のドーピング濃度の相対的に低い低濃度層42とを備えている。
【選択図】図1
Description
この発明は、レーザ光を出射する半導体レーザに関する。
近年、半導体レーザは、CD(Compact Disc)やDVD(Digital Versatile Disc)などの光ディスクに対して情報を記録/再生するための光ピックアップなどに多用されている。
たとえば、DVD用光ピックアップには、リッジ導波路型の半導体レーザが用いられる。このリッジ導波路型の半導体レーザでは、図3に示すように、n型基板(図示せず)上に、n型バッファ層(図示せず)、n型クラッド層91、活性層92、p型下クラッド層93、p型エッチングストップ層94、p型上クラッド層95およびp型コンタクト層96が、n側基板側からこの順に積層されている。そして、p型上クラッド層95およびp型コンタクト層96は、p型エッチングストップ層94よりも幅狭な断面台形状のリッジ部として形成されている。また、n型クラッド層91、活性層92、p型下クラッド層93、p型エッチングストップ層94、p型上クラッド層95およびp型コンタクト層96は、p型コンタクト層96の上面を除いて、絶縁膜97によって覆われている。この絶縁膜97上には、メタル層(図示せず)が形成され、このメタル層は、絶縁膜97から露出するp型コンタクト層96の上面に接続される。
特開2005−175450号公報
特開2005−183927号公報
たとえば、DVD用光ピックアップには、リッジ導波路型の半導体レーザが用いられる。このリッジ導波路型の半導体レーザでは、図3に示すように、n型基板(図示せず)上に、n型バッファ層(図示せず)、n型クラッド層91、活性層92、p型下クラッド層93、p型エッチングストップ層94、p型上クラッド層95およびp型コンタクト層96が、n側基板側からこの順に積層されている。そして、p型上クラッド層95およびp型コンタクト層96は、p型エッチングストップ層94よりも幅狭な断面台形状のリッジ部として形成されている。また、n型クラッド層91、活性層92、p型下クラッド層93、p型エッチングストップ層94、p型上クラッド層95およびp型コンタクト層96は、p型コンタクト層96の上面を除いて、絶縁膜97によって覆われている。この絶縁膜97上には、メタル層(図示せず)が形成され、このメタル層は、絶縁膜97から露出するp型コンタクト層96の上面に接続される。
このようなリッジ導波路型の半導体レーザでは、p型上クラッド層95と絶縁膜97との屈折率差が大きいため、光の横方向(n型基板の表面と平行な方向)の閉じ込めが強く、FFP(Far Field Pattern:ファーフィールドパターン)が大きくなる傾向にある。
FFPを小さくするには、p型下クラッド層93の層厚を大きくすればよい。しかしながら、p型下クラッド層93の層厚を大きくすると、図3に矢印で示すように、p型コンタクト層96から導入される電流が横方向に拡がり、横方向における電流密度の分布が不均一となる。すなわち、p型下クラッド層93において、p型上クラッド層95の直下の領域で電流密度が大きくなり、その周囲の領域で電流密度が小さくなる。このような電流密度分布が生じると、これに応じて、活性層でのキャリアの分布が不均一となり、半導体レーザの光出力−動作電流特性が非直線となるキンクを生じてしまう。
FFPを小さくするには、p型下クラッド層93の層厚を大きくすればよい。しかしながら、p型下クラッド層93の層厚を大きくすると、図3に矢印で示すように、p型コンタクト層96から導入される電流が横方向に拡がり、横方向における電流密度の分布が不均一となる。すなわち、p型下クラッド層93において、p型上クラッド層95の直下の領域で電流密度が大きくなり、その周囲の領域で電流密度が小さくなる。このような電流密度分布が生じると、これに応じて、活性層でのキャリアの分布が不均一となり、半導体レーザの光出力−動作電流特性が非直線となるキンクを生じてしまう。
そこで、この発明の目的は、FFPを小さくすることができながら、光出力−動作電流特性のキンクの発生を抑制することができる、リッジ導波路型の半導体レーザを提供することである。
前記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、第1導電型を有する基板と、前記基板上に積層され、前記第1導電型を有する第1導電型クラッド層と、前記第1導電型クラッド層上に積層された活性層と、前記活性層上に積層され、前記第1導電型とは異なる第2導電型を有する第2導電型下クラッド層と、前記第2導電型下クラッド層上に積層され、前記基板の表面と平行な方向に前記第2導電型下クラッド層よりも幅狭な断面台形状に形成されており、前記第2導電型を有する第2導電型上クラッド層と、前記第2導電型上クラッド層の側面および第2導電型下クラッド層上の前記第2導電型上クラッド層の側方の領域を覆う絶縁膜とを含み、前記第2導電型下クラッド層は、前記第2導電型の不純物濃度が相対的に高い高濃度層と、前記第2導電型の不純物濃度が相対的に低い低濃度層とを備えていることを特徴とする、半導体レーザである。
この構成によれば、第2導電型下クラッド層は、第2導電型の不純物濃度が相対的に高い高濃度層と、第2導電型の不純物濃度が相対的に低い低濃度層とを備えている。低濃度層は、不純物濃度が低いために抵抗値が高いので、第2導電型下クラッド層の層厚が厚くても、第2導電型上クラッド層から活性層に向けて流れる電流の横方向への拡がりを抑制することができる。その結果、活性層に流れ込む電流の密度をほぼ均一にすることができ、光出力−動作電流特性のキンクの発生を抑制することができる。よって、第2導電型下クラッド層の層厚を大きくして、FFPを小さくすることができながら、光出力−動作電流特性のキンクの発生を抑制することができる。
なお、請求項2に記載のように、前記高濃度層は、前記第2導電型下クラッド層の前記基板側の下層部に設けられ、前記低濃度層は、前記第2導電型下クラッド層の前記高濃度層上の上層部に設けられていてもよい。この構成が採用される場合、第2導電型下クラッド層を成長させる工程において、その工程の後半に第2導電型の不純物を含むドーパントガスの量を前半よりも減らすことにより、高濃度層および低濃度層を容易に得ることができる。
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体レーザの構成を示す模式的な断面図である。
この半導体レーザ1は、n型GaAs(ガリウムヒ素)基板2上に、たとえば、780nm波長帯のレーザ光を出射する第1レーザ構造部3を備えている。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体レーザの構成を示す模式的な断面図である。
この半導体レーザ1は、n型GaAs(ガリウムヒ素)基板2上に、たとえば、780nm波長帯のレーザ光を出射する第1レーザ構造部3を備えている。
第1レーザ構造部3は、図1に示す断面と垂直な方向に延びており、n型GaAs基板2側から、n型GaAsバッファ層31、第1導電型クラッド層としてのn型InGaAlP(インジウムガリウムアルミニウムリン)クラッド層32、InGaP(インジウムガリウムリン)/InGaAlPからなるMQW(Multiple Quantum Well:多重量子井戸)活性層33、第2導電型下クラッド層としてのp型InGaAlP下クラッド層34、p型InGaPエッチングストップ層35、第2導電型上クラッド層としてのp型InGaAlP上クラッド層36およびp型GaAsコンタクト層37を、この順に積層した構造を有している。
p型InGaAlP上クラッド層36およびp型GaAsコンタクト層37は、p型InGaPエッチングストップ層35よりもn型GaAs基板2の表面と平行な方向に幅狭な断面台形状に形成されており、p型InGaPエッチングストップ層35上に突出したエアリッジ部を構成している。
また、n型GaAs基板2上には、たとえば、SiN(窒化シリコン)からなる絶縁膜6が形成されている。絶縁膜6は、p型InGaPエッチングストップ層35の表面、ならびにp型InGaAlP上クラッド層36およびp型GaAsコンタクト層37の側面を覆っており、p型GaAsコンタクト層37の表面は、絶縁膜6から露出している。
また、n型GaAs基板2上には、たとえば、SiN(窒化シリコン)からなる絶縁膜6が形成されている。絶縁膜6は、p型InGaPエッチングストップ層35の表面、ならびにp型InGaAlP上クラッド層36およびp型GaAsコンタクト層37の側面を覆っており、p型GaAsコンタクト層37の表面は、絶縁膜6から露出している。
絶縁膜6上には、Ti(チタン)層7およびAu(金)層8の2層構造を有するメタル層9(p側電極)が形成されている。このメタル層9(Ti層7)は、絶縁膜6から露出するp型GaAsコンタクト層37の表面に接触している。メタル層9上には、Auからなる配線10が形成されている。
また、n型GaAs基板2の裏面には、その全面に、Au/Ge(ゲルマニウム)層11、Ni(ニッケル)層12およびAu層13をn型GaAs基板2側からこの順に積層した構造を有する裏面メタル層14(n側電極)が形成されている。
また、n型GaAs基板2の裏面には、その全面に、Au/Ge(ゲルマニウム)層11、Ni(ニッケル)層12およびAu層13をn型GaAs基板2側からこの順に積層した構造を有する裏面メタル層14(n側電極)が形成されている。
そして、この半導体レーザ1では、p型InGaAlP下クラッド層34が、p型不純物のドーピング濃度の相対的に高い高濃度層41を下層部に備え、p型不純物のドーピング濃度の相対的に低い低濃度層42を下層部に備えている。より具体的には、p型InGaAlP下クラッド層34は、全体で約4000Åの層厚を有しており、そのうち、上層部に形成される低濃度層42は、約1000〜3000Åの層厚を有している。そして、高濃度層41のp型不純物のドーピング濃度が、たとえば、1.2×1018cm-3であるのに対し、低濃度層42のp型不純物のドーピング濃度は、たとえば、8.0×1017cm-3以上1.2×1018cm-3未満にされている。このようなp型不純物のドーピング濃度の異なる高濃度層41および低濃度層42を有するp型InGaAlP下クラッド層34は、たとえば、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:有機金属化学気相成長)法によりp型InGaAlP下クラッド層34を成長させる工程において、その成長途中でp型不純物を含むドーパントガスの量を減らすことにより得ることができる。
このように、p型InGaAlP下クラッド層34の低濃度層42は、そのp型不純物のドーピング濃度が8.0×1017cm-3以上1.2×1018cm-3未満の低濃度とされ、その抵抗値が高いので、p型InGaAlP下クラッド層34の層厚が約4000Åで厚くても、図2に示すように、p型GaAsコンタクト層37からMQW活性層33に向けて流れる電流の横方向への拡がりを抑制することができる。その結果、MQW活性層33に流れ込む電流の密度をほぼ均一にすることができ、半導体レーザ1の光出力−動作電流特性のキンクの発生を抑制することができる。よって、p型InGaAlP下クラッド層34の層厚を大きくして、FFPを小さくすることができながら、半導体レーザ1の光出力−動作電流特性のキンクの発生を抑制することができる。
以上、この発明の一実施形態を説明したが、この発明は他の形態で実施することもできる。たとえば、前述の実施形態では、p型InGaAlP下クラッド層34の上層部に、高濃度層41よりもp型不純物のドーピング濃度の低い低濃度層42が形成されているが、この低濃度層42は、p型InGaAlP下クラッド層34内であれば、p型InGaAlP下クラッド層34の中層部に形成されてもよい。すなわち、p型InGaAlP下クラッド層34において、厚さ方向の中央部に低濃度層42が形成され、その上下に低濃度層42よりもp型不純物のドーピング濃度の高い高濃度層41が形成されてもよい。
また、前述の実施形態の場合と各半導体部分の導電型を反転した構成が採用されてもよい。すなわち、前述の実施形態におけるp型の部分がn型であり、n型の部分がp型である構成が採用されてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
1 半導体レーザ
2 n型GaAs基板
6 絶縁膜
32 n型AlGaAsクラッド層
33 MQW活性層
34 p型AlGaAs下クラッド層
36 p型AlGaAs上クラッド層
41 高濃度層
42 低濃度層
2 n型GaAs基板
6 絶縁膜
32 n型AlGaAsクラッド層
33 MQW活性層
34 p型AlGaAs下クラッド層
36 p型AlGaAs上クラッド層
41 高濃度層
42 低濃度層
Claims (2)
- 第1導電型を有する基板と、
前記基板上に積層され、前記第1導電型を有する第1導電型クラッド層と、
前記第1導電型クラッド層上に積層された活性層と、
前記活性層上に積層され、前記第1導電型とは異なる第2導電型を有する第2導電型下クラッド層と、
前記第2導電型下クラッド層上に積層され、前記基板の表面と平行な方向に前記第2導電型下クラッド層よりも幅狭な断面台形状に形成されており、前記第2導電型を有する第2導電型上クラッド層と、
前記第2導電型上クラッド層の側面および第2導電型下クラッド層上の前記第2導電型上クラッド層の側方の領域を覆う絶縁膜とを含み、
前記第2導電型下クラッド層は、前記第2導電型の不純物濃度が相対的に高い高濃度層と、前記第2導電型の不純物濃度が相対的に低い低濃度層とを備えていることを特徴とする、半導体レーザ。 - 前記高濃度層は、前記第2導電型下クラッド層の前記基板側の下層部に設けられ、
前記低濃度層は、前記第2導電型下クラッド層の前記高濃度層上の上層部に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体レーザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006217162A JP2008042082A (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 半導体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006217162A JP2008042082A (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 半導体レーザ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008042082A true JP2008042082A (ja) | 2008-02-21 |
Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2006217162A Pending JP2008042082A (ja) | 2006-08-09 | 2006-08-09 | 半導体レーザ |
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JP (1) | JP2008042082A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080757A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
-
2006
- 2006-08-09 JP JP2006217162A patent/JP2008042082A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010080757A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
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